DE60010698T2 - Befestigungsvorrichtung - Google Patents

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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Befestigungs- bzw. Halterungseinrichtung an einem Werkzeug für das Haltern eines Werkstücks und ein entsprechendes Verfahren. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine hydraulische Halterungseinrichtung an einem Werkzeug zum Haltern eines flexiblen Substrats, wie z. B. einer gedruckten Schaltkreisplatine in einer Siebdruckmaschine oder in einer Bestückungsmaschine.
  • Die Herstellung großer Mengen elektronischer Schaltkreise wird in der Praxis unter Verwendung von automatischen Ausrüstungen bewerkstelligt. Typischerweise wird zunächst eine viskose Lötpaste unter Verwendung einer Schablonendruckmaschine auf eine gedruckte Schaltkreisplatine aufgebracht, wobei die Lötpaste auf ausgewählte Bereiche bzw. Flächen einer gedruckten Schaltkreisplatine durch eine Schablone hindurch aufgebracht wird und elektronische Komponenten werden dann auf der aufgebrachten Lötpaste unter Verwendung einer Anordnungs- bzw. Positionierungsmaschine aufgebracht, die oft auch als eine Aufnahme- und Anordnungsmaschine oder Bestückungsmaschine (Pick-and-Place-Maschine) bezeichnet wird. Die gedruckte Schaltkreisplatine und die Bauteile werden dann in einem Verflüssigungsofen auf eine Temperatur erhitzt, die ausreichend ist, um die Lötpaste zum Schmelzen zu bringen, was bewirkt, daß das geschmolzene Lötmittel über die Leitungen bzw. Anschlußdrähte der Komponenten bzw. Bauteile und die benachbarten Bereiche der gedruckten Schaltkreisplatine fließt und dadurch Lötverbindungen bildet, um den elektronischen Schaltkreis fertigzustellen.
  • Derartige Siebdruckmaschinen und Bestückungsmaschinen umfassen normalerweise eine Halterungseinrichtung zum Unterstützen der unteren Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine während der Bearbeitung. Bei Siebdruckmaschinen wird die gedruckte Schaltkreisplatine durch die Halterungseinrichtung angehoben, bis die obere Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine mit der Schablone in Kontakt tritt. In dieser angehobenen Position wird Lötpaste unter Druck auf die Oberfläche der Schablone aufgebracht. Der durch den Druckkopf aufgebrachte Druck drückt die Lötpaste durch die Öffnungen in der Schablone hindurch und auf die obere Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs während des Druckens eine Durchbiegung der gedruckten Schaltkreisplatine weg von der Schablone verhindert. In Bestückungsmaschinen drückt ein Aufnahme- und Anordnungskopf nacheinander elektronische Bauteile auf vorbestimmte Stellen auf der gedruckten Schaltkreisplatine, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs verhindert, daß sich die gedruckte Schaltkreisplatine verbiegt, wenn durch den Aufnahme- und Anordnungskopf Druck darauf ausgeübt wird.
  • Wenn Bauteile auf nur einer Fläche der Platine vorgesehen sind, müssen die Halterungseinrichtungen der Maschine nur eine flache bzw. ebene Fläche unterstützen und man muß nur geringfügige Modifikationen an den Halterungseinrichtungen vornehmen, um eine Anpassung an unterschiedliche Maße vorzunehmen. Um jedoch die Oberfläche von gedruckten Schaltkreisplatinen besser auszunutzen und kompaktere Schaltungen herzustellen, werden Bauteile oftmals auf beiden Flächen dieser Platinen angeordnet. In solchen Fällen wird, nachdem die Bauteile auf einer Fläche der Platine montiert worden sind, die Platine dann umgedreht und Bauteile werden auf der anderen Fläche der Platine montiert. Dementsprechend ist eine zweite Halterungs- bzw. Halterungseinrichtung erforderlich, welche der dreidimensionalen Oberfläche angepaßt ist, die durch die Bauteile erzeugt wird, welche auf der einen Oberfläche der Platine montiert sind. Da jedes neue Schaltkreislayout eine andere dreidimensionale Form hat, muß diese zweite Halterungseinrichtung im Werkzeug für jedes Layout maßgeschneidert bzw. eigens hergestellt werden.
  • Eine maßgeschneiderte Halterungseinrichtung kann gebildet werden durch manuelles Anordnen von Blöcken auf der Oberfläche der Halterungseinrichtung, um mit den Bereichen der Platine in Kontakt zu treten, die nicht durch Bauteile besetzt sind. Diese Technik ist jedoch zeitraubend, weil ein Benutzer die Blöcke jedesmal neu positionieren muß, wenn eine gedruckte Schaltkreisplatine bearbeitet werden muß, die ein anderes Schaltkreislayout hat. Diese Technik ist besonders umständlich und zeitraubend, wenn eine große Anzahl verschiedener Typen von Schaltkreisplatinen in derselben Montagelinie bzw. -kette hergestellt werden.
  • Eine maßgeschneiderte Halterungseinrichtung kann auch durch ein Array von elektronisch adressierbaren Stiften bereitgestellt werden, die an Positionen zurückgezogen werden, wo ein Bauteil auf der gedruckten Schaltkreisplatine montiert ist, und die ausgefahren werden, um mit der Platinenfläche in Kontakt zu treten, um eine Unterstützung bzw. Halterung zu gewährleisten. Ein Computerprogramm lenkt die Halterungseinrichtung so, daß sie die Stifte bzw. Zapfen so konfiguriert, daß sie jeder gedruckten Schaltkreisplatine angepaßt sind, welche hergestellt werden soll. Dieses Verfahren stellt eine schnellere Einrichtung bereit, um eine Veränderung von einer Werkstück- bzw. Werkzeugkonfiguration zu einer anderen zu wechseln im Vergleich zu der manuellen Montage von Blöcken. Jedoch muß für das Layout jeder Platine eine getrennte Computerdatei erzeugt werden. Da weiterhin in den Bereichen der Platinen, die durch Komponenten besetzt sind, keine Unterstützung bereitgestellt wird, können bestimmte Bereiche der Platine unzureichend unterstützt sein. Nicht unterstützte Bereiche der Platine können sich während der Verarbeitung bzw. Bearbeitung verbiegen, was zu einer Fehlausrichtung zwischen der Schablone oder dem Aufnahme- und Anordnungskopf und der Platine führt.
  • Eine maßgeschneiderte Halterungseinrichtung kann weiterhin durch einen Robotermechanismus bereitgestellt werden, der Stützpfeiler aus einem Reservoir zieht und diese Stützpfeiler an den erforderlichen Positionen anordnet, um die Platine zu unterstützen. Dieses Verfahren ist schneller und konsistenter als das manuelle Anordnen von Halterungsblöcken, jedoch ist auch hier wiederum eine getrennte Computerdatei bzw. Datenbank für jeden Platinentyp erforderlich, um festzulegen, wo die Stifte bzw. Zapfen angeordnet werden sollen, und es kann auch nur eine Unterstützung bereitstellen, wo eindeutig Platz auf der Platine ist, um mit den Zapfen oder Stiften in Kontakt zu treten.
  • In der GB-A-2 322 089 ist eine pneumatische Halterungseinrichtung an einem Werkzeug dargestellt.
  • Vor der Verwendung einer maßgeschneiderten Halterungseinrichtung mit einem neuen Platinenlayout muß ein Benutzer die Passung zwischen der Halterungseinrichtung und der Platine sorgfältig untersuchen, um sicherzustellen, daß eine Fehlausrichtung und Toleranzen in den Abmessungen nicht verursachen, daß ein Block, ein ausgestreckter Stift oder Zapfen mit einem Bauteil in Kontakt tritt. Ein solcher Kontakt bewirkt, daß die Halterungseinrichtung des Werkzeugs die Platine nach oben verbiegt, was zu einer Fehlausrichtung der Lötpaste oder der Bauteile führt. Wichtiger ist noch, daß die Durchbiegung der Platine nach oben gegen die Schablone eine Beschädigung der Schablone oder des Druckkopfs der Siebdruckmaschine verursachen kann.
  • Die Untersuchung der Halterungseinrichtung jedesmal dann, wenn ein neuer Typ einer Platine hergestellt werden soll, verkompliziert den Herstellungsvorgang und vermindert den Durchsatz. Weiterhin werden, wenn die Bedienperson bzw. der Benutzer die Passung zwischen der Platine und der Befestigung nicht richtig untersucht, große Zahlen fehlausgerichteter Platinen hergestellt werden oder es kann ein teurer Schaden an der Ausrüstung entstehen.
  • Darüber hinaus erfordert selbst dann, wenn eine Fertigungslinie bzw. eine Serienfertigungsanlage nur einen einzelnen Typ einer gedruckten Schaltkreisplatine herstellt, jede Oberfläche der Platine eine andere Oberfläche der Halterungseinrichtung. Eine ebene Halterungseinrichtung unterstützt die unbesetzte Oberfläche der Platine, während die andere Oberfläche einen Siebdruck erhält und mit Bauteilen besetzt wird, und dann stützt eine maßgeschneiderte Halterungseinrichtung die jetzt besetzte Oberfläche, während die andere Oberfläche der Platine im Siebdruckverfahren bedruckt und mit Bauteilen besetzt wird. Selbst diese Werkzeugveränderung vermindert den Durchsatz der Fertigungslinie bzw. des Fließbandes.
  • In Anbetracht der oben dargelegten Probleme, die mit bekannten Halterungseinrichtungen und Werkzeugen verknüpft sind, ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Halterungseinrichtung bereitzustellen, die sich der Form einer unregelmäßigen Oberfläche eines Werkstücks anpaßt, wie z. B. eine gedruckte Schaltkreisplatine, die Komponenten hat, welche an der unteren Fläche derselben befestigt werden, welche gehaltert bzw. unterstützt werden soll, ohne eine vorherige Konfiguration oder Information bezüglich der Form der Oberfläche, die gehaltert werden soll, zu benötigen.
  • Gemäß der Erfindung definieren die Ansprüche 1, 9, 26, 30, 32, 34, 51, 65, 66 und 80 eine Halterungseinrichtung an einem Werkzeug und die Ansprüche 46, 72 und 59 definieren ein Verfahren zum Haltern eines Werkstücks und Anspruch 18 definiert einen Halterungsblock.
  • Dementsprechend stellt die vorliegende Erfindung eine Halterungseinrichtung für das Haltern eines Werkstücks bereit, mit: einem Hauptteil, welcher eine Oberfläche aufweist, auf welcher ein Werkstück in Gebrauch gehaltert wird, und mit einer Mehrzahl von Bohrungen darin, mit einer Mehrzahl von Halterungselementen zum Haltern des Werkstücks, die jeweils gleitbar in einer entsprechenden der Bohrungen angeordnet sind, so daß sie von der Oberfläche des Hauptteils ausfahrbar sind, mit zumindest einem Fluidreservoir, welches in Fluidverbindung mit den Halterungselementen steht, um so ein Gleiten einiger der Halterungselemente bei Verschiebung des Fluids in dem zumindest einen Fluidreservoir zu bewirken, und mit einer Fluidsteuereinrichtung zum Verschieben des Fluids in das zumindest eine Reservoir, um zu bewirken, daß die Halterungselemente in eine Halterungsposition in Kontakt mit dem Werkstücks ausgefahren werden, und Verriegeln der Halterungselemente in der Stützposition.
  • Nach einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Block bereitgestellt mit einer Mehrzahl von Zylindern. Jeder Zylinder umgibt einen Kolben, welcher einen Stab antreibt, der aus der oberen Fläche des Blockes herausfährt. Die Zylinder sind mit einem Drucksensor und einem Akkumulator verbunden. Ein regelbares Ventil ist zwischen den Akkumulator und die Zylinder geschaltet. Das Öffnen des Ventils ermöglicht, daß hydraulisches Fluid zwischen die Zylinder und den Akkumulator fließt. Der Drucksensor überwacht den hydrostatischen Druck des hydraulischen Fluids in den Zylindern. Eine Druckluftquelle ist mit dem Akkumulator über ein weiteres Ventil verbunden, so daß, wenn das Ventil geöffnet wird, eine Kraft erzeugt wird, um Fluid in die Zylinder zu treiben, was bewirkt, daß die Kolben sich von dem Block aus erstrecken. In ähnlicher Weise ist eine Vakuumquelle ebenfalls mit dem Akkumulator über ein drittes Ventil verbunden, so daß dann, wenn dieses Ventil offen und das Druckluftventil geschlossen ist, ein Vakuum an dem Akkumulator angelegt wird, um Fluid aus den Zylindern abzuziehen, um dadurch zu bewirken, daß die Kolben sich in den Block zurückziehen. Der Drucksensor und das Ventil sind mit einer Steuerung verbunden, welche das Ventil in Reaktion auf eine Steuersequenz und den hydrostatischen Druck in dem Zylinder das Ventil öffnet und schließt.
  • Die Halterungseinrichtung nach diesem Aspekt paßt sich folgendermaßen einer unebenen Oberfläche an. Die Steuerung öffnet ein Fluidventil und das Vakuumventil, um aus den Zylindern Fluid abzuziehen, was bewirkt, daß der Kolben die Stäbe in den Block zurückzieht. Ein Werkstück wird oberhalb der Halterungseinrichtung angeordnet. Das Werkstück kann im wesentlichen flach bzw. eben sein oder kann auch daran befestigte dreidimensionale Strukturen haben. Bei einer Ausführungsform ist das Werkstück eine gedruckte Schaltkreisplatine, die entweder mit Bauteilen besetzt ist oder ansonsten unbesetzt ist. Die Steuerung schließt das Vakuumventil und öffnet das Druckluftventil, wodurch Fluid in die Zylinder gedrückt wird und die Stäbe anhebt. Wenn alle Stäbe mit der Oberfläche des Werkstücks in Kontakt getreten sind, steigt der Druck des Fluids, wie er durch den Drucksensor erfaßt wird, an. Wenn dieser Druck einen vorbestimmten Schwellwert erreicht, schließt die Steuerung das Fluidventil und das Druckluftventil und die Positionen der Stäbe werden fixiert. Einer auf die obere Fläche des Werkstücks aufgebrachten Kraft, beispielsweise durch den Druckkopf einer Siebdruckmaschine, wirken die Stäbe entgegen und eine Verbiegung des Werkstücks wird verhindert.
  • Bei einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird ein Halterungseinrichtungsmodul mit einer Mehrzahl von Zylindern bereitgestellt. Jeder Zylinder umgibt einen Kolben, wobei ein Teil des Kolbens aus der Oberfläche bzw. Oberseite des Moduls heraussteht. Die Zylinder sind mit einem Fluidreservoir und einer Druckhülle verbunden. Ein Steuerventilaufbau ist zwischen das Fluidreservoir und die Zylinder geschaltet. Das Öffnen des Ventils läßt Fluid zwischen den Zylindern und dem Fluidreservoir fließen und gewährleistet somit das Anheben oder Absenken der Kolben.
  • Die Halterungseinrichtung nach diesem Aspekt paßt sich folgendermaßen an eine unebene Oberfläche an. Ein pneumatischer Druck wirkt auf einen Hauptkolben, der innerhalb einer Fluidquelle angeordnet ist. Das Fluid wirkt dann auf ein Steuerventil, während dieses in einer offenen Position ist, um für die Zylinder des Moduls Fluid bereitzustellen, was bewirkt, daß ein Teil der Kolben aus dem Hauptteil bzw. Korpus des Moduls hervorsteht. Ein Werkstück wird oberhalb der Halterungseinrichtung positioniert. Das Werkstück kann im wesentlichen eben sein oder es kann darauf befestigte, dreidimensionale Strukturen haben. Dieses Werkstück kann ein gedruckter Schaltkreis sein, der entweder mit Bauteilen besetzt oder unbesetzt ist. Jeder Kolben, welcher mit dem Werkstück in Kontakt tritt, bleibt in dieser Kontaktposition, während die anderen Kolben weiterhin aus dem Modul ausgefahren bzw. herausgedrückt werden. Nachdem alle Kolben einen Kontakt mit dem Werkstück hergestellt haben, schließt das Steuerventil und verhindert damit, daß das Fluid weiter in die Zylinder eintritt oder diese verläßt und blockiert damit in effektiver Weise die Kolben in einer festen Position. Einer auf die Oberseite des Werkstücks beispielsweise durch den Druckkopf einer Siebdruckmaschine aufgebrachten Kraft wirkt jeder Kolben entgegen und eine Verbiegung des Werkstücks wird verhindert. Um die Kolben abzusenken, öffnet sich das Steuerventil und läßt das Fluid durch das Ventil aus den Zylindern austreten und die Kolben ziehen sich in das Modul zurück.
  • Bei einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann die Fluidquelle in Form eines hydraulischen Schlauchs oder Rohres vorliegen, welcher bzw. welches einen ersten Hauptkolben darin aufweist, um Fluid in Richtung des Steuerventils und in die Zylinder zu drücken, was bewirkt, daß sich die Kolben nach oben bewegen und sich um ein Stück aus der Oberfläche des Moduls heraus zu erstrecken.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann das hydraulische Rohr durch ein Fluidreservoir ersetzt werden.
  • Bei einer anderen Ausführungsform der Erfindung wird ein zweites Fluidreservoir in Verbindung mit dem ersten Fluidreservoir verwendet, um Fluid in die Zylinderabschnitte oberhalb der Kolben zu drücken. Eine zweite pneumatische Druckquelle bringt Druck direkt auf das Steuerventil und gleichzeitig auf das zweite Fluidreservoir auf. Dementsprechend wird das Steuerventil geöffnet und läßt Fluid von den Zylinderabschnitten unterhalb der Kolben in das erste Reservoir fließen, während Fluid aus dem zweiten Reservoir in die Zylinderabschnitte oberhalb der Kolben gedrückt wird, was bewirkt, daß ein Teil der Kolben sich in das Modul zurückzieht. In ähnlicher Weise kann an dem ersten Fluidreservoir ein erster pneumatischer Druck angelegt werden, um Fluid durch das Steuerventil hindurch und in die Zylinderabschnitte unterhalb der Kolben hineinzudrücken. Dies drückt das Fluid, welches in den Zylinderabschnitten oberhalb der Kolben enthalten ist, zurück in das zweite Fluidreservoir und drängt dadurch einen Teil der Kolben aus dem Modul heraus.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung sind die Zylinder- und Kolbenaufbauten durch Stangenaufbauten ersetzt, die jeweils Halterungsstangen bzw. -stäbe enthalten, welche an ihren unteren Abschnitten durch eine große einzelne Kavität einstöckig miteinander verbunden sind. Aufbringen eines ersten pneumatischen Druckes auf einen Hauptkolben innerhalb eines Fluidreservoirs drückt Fluid durch einen Einwege-Pfad in einem Steuerventil und in die große, einzelne Kavität. Das Fluid in der großen einzelnen Kavität drückt auf die Haltestäbe, so daß sie aus dem Modul herausfahren, bis jeder der Stäbe mit dem Werkstück Kontakt hat. Um die Halterungsstäbe zurückzuziehen, wird ein zweiter pneumatischer Druck auf den Steuerventilaufbau aufgebracht, um einen Strömungspfad zu öffnen, der es dem Fluid ermöglicht, aus der großen, einzelnen Kavität in das Fluidreservoir zu fließen.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist das Steuerventil durch eine permanente Öffnung zwischen einem einzelnen Reservoir und einer großen einzelnen Kavität unterhalb einer Reihe von Stangenaufbauten ersetzt. Das einzelne Reservoir enthält einen Hauptkolben, mit welchem ein Hauptstab verbunden ist. Eine erste pneumatische Druckquelle wirkt auf den Hauptstab und den Hauptkolben, um die Kombination in Richtung des Fluids in dem Fluidreservoir auszustrecken bzw. auszudehnen, was das Fluid in dem Fluidreservoir durch die permanente Öffnung hindurch und die große einzelne Kavität hineindrückt und damit die Stäbe anhebt. Eine zweite pneumatische Druckquelle wirkt auf den Hauptstab und den Hauptkolben, um die Kombination von dem Fluid in dem Fluidreservoir weg zurückzuziehen, wodurch das Fluid aus der großen einzelnen Kavität heraus und zurück in das Fluidreservoir gezogen wird, wodurch wiederum die Stäbe zurückgezogen werden. Eine dritte pneumatische Druckquelle wirkt auf eine Klammer, die vorgesehen ist, um zu verhindern oder zuzulassen, daß die Kombination aus Hauptkolben und Hauptstab sich in dem Reservoir bewegt. Im Ergebnis wird, wenn Druck auf die Klammer aufgebracht ist, der Hauptstab außer Eingriff gebracht und kann sich bei Aufbringen eines auf ihn von irgendeiner der ersten oder zweiten pneumatischen Druckquellen aufgebrachten Druckes bewegen.
  • Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachstehend lediglich beispielhaft unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, von denen:
  • 1 schematisch eine Querschnittansicht einer Halterungseinrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 2 schematisch eine Querschnittsansicht der Halterungseinrichtung nach 1 in einer ersten, ein Werkstück aufnehmenden Position zeigt,
  • 3 schematisch eine Querschnittsansicht der Halterungseinrichtung nach 1 in einer zweiten, mit dem Werkstück in Eingriff stehenden Position darstellt, wobei die Halterungsstäbe teilweise ausgefahren sind,
  • 4 schematisch eine Querschnittsansicht der Halterungseinrichtung nach 1 in einer dritten, das Werkstück haltenden Position zeigt,
  • 5 schematisch eine ebene Draufsicht auf eine Halterungseinrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 6 schematisch eine ebene Draufsicht auf eine Halterungseinrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 7 schematisch eine Draufsicht auf eine Halterungseinrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 8 eine perspektivische Explosionsdarstellung eines Halterungseinrichtungsmoduls einer Halterungseinrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung darstellt,
  • 9 schematisch eine Querschnittsansicht einer Halterungseinrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 10 eine perspektivische Ansicht eines Halterungseinrichtungsmoduls der Halterungseinrichtung nach 9 zeigt,
  • 11 eine perspektivische Ansicht eines Kolbenaufbaus der Halterungseinrichtung nach 9 zeigt,
  • 12 eine perspektivische Ansicht der Kolbeneinheit des Kolbenaufbaus nach 11 zeigt,
  • 13 schematisch eine Querschnittsansicht einer Halterungseinrichtung gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 14 schematisch eine Querschnittsansicht einer Halterungseinrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 15 schematisch eine Querschnittsansicht einer Halterungseinrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 16 eine perspektivische Ansicht eines Halterungseinrichtungsmoduls einer Halterungseinrichtung gemäß einer zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 17 eine ebene Draufsicht auf das Halterungseinrichtungsmodul nach 16 zeigt,
  • 18 eine Querschnittsansicht (entsprechend dem Schnitt A-A) des Halterungseinrichtungsmoduls nach 16 zeigt,
  • 19 in vergrößertem Maßstab einen Teil (Teil B) der Querschnittsansicht nach 18 zeigt,
  • 20 in vergrößertem Maßstab einen weiteren Teil (Teil C) der Querschnittsansicht nach 18 zeigt, dargestellt in einer ersten, offenen Ausgestaltung,
  • 21 in vergrößertem Maßstab den anderen Teil (Teil C) der Querschnittsansicht nach 18 in einer zweiten, geschlossenen Ausbildung zeigt,
  • 22 eine Querschnittsansicht eines Halterungseinrichtungsmoduls einer Halterungseinrichtung gemäß einer elften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 23 in vergrößertem Maßstab einen Teil (Teil D) der Querschnittsansicht nach 22 zeigt,
  • 24 in vergrößertem Maßstab einen weiteren Teil (Teil E) der Querschnittsansicht nach 22 zeigt, und
  • 25 in vergrößertem Maßstab einen vertikalen Schnitt (entsprechend der Schnittlinie F-F) des Halterungseinrichtungsmoduls nach 22 zeigt.
  • 14 stellen eine Halterungseinrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar.
  • Die Befestigungs- bzw. Halterungseinrichtung weist einen Halterungsblock 3 auf, der obere und untere und in dieser Ausführungsform im wesentlichen parallele Oberflächen 4 und 5 hat, wobei die obere Fläche 4 eine Fläche definiert, auf welcher ein Werkstück werden soll und die untere Fläche 5 auf einer Plattform gehaltert ist, die fixiert oder vertikal bewegbar sein kann, um den Halterungsblock 3 anzuheben oder abzusenken. Der Halterungsblock 3 enthält eine Mehrzahl von Zylindern 7, welche sich in dieser Ausführungsform im wesentlichen senkrecht zu der oberen Fläche 4 erstrecken und in einer Mehrzahl von parallelen Reihen angeordnet sind, weiterhin eine Kavität 9, die als ein Verteiler wirkt, welcher jeweils eines der, in dieser Ausführungsform unteren, Enden der Zylinder 7 miteinander verbindet. Der Halterungsblock 3 enthält weiterhin eine Mehrzahl von Öffnungen 10 in der oberen Fläche 4 entsprechend den jeweiligen Zylindern 7 und einen Anschluß 11, der in Fluidverbindung mit der Kavität 9 steht.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine Mehrzahl von Kolbeneinheiten 12 auf, die in den entsprechenden Zylindern 7 angeordnet sind, so daß sie bei Aufbringen eines hydraulischen Drucks auf die Kavität 9 angetrieben werden können. Jeder Kolbenaufbau 12 weist einen Kolben 13 auf, der eine ringförmige Dichtung 14, in dieser Ausführungsform einen O-Ring, aufweist, und der eine in den jeweiligen Zylinder 7 passende Dichtung darstellt, sowie einen Stab 15, der mit dem Kolben 13 verbunden ist, wobei sich der Stab 15 bei Einbringen eines hydraulischen Fluids in die Kavität 9 aus der oberen Fläche 4 des Halterungsblocks 3 durch die jeweiligen Öffnungen 10 heraus erstreckt und beim Abziehen hydraulischen Fluids aus der Kavität 9 zurückgezogen wird. Vorzugsweise ist die ringförmige Dichtung 14 aus einem elastomeren Material, wie z. B. einem Buna-Kautschuk, hergestellt. In dieser Ausführungsform ist jeder der Stäbe 15 mit einer Endkappe 17 versehen. Vorzugsweise sind die Endkappen 17 aus einem relativ weichen Material gebildet, wie z. B. einem Kunststoff, um so die Oberfläche des gehalterten Werkstücks nicht zu beschädigen. Vorzugsweise sind die Endkappen 17 aus einem Material gebildet, welches einen hohen Reibungskoeffizienten hat, um auf diese Weise einen verbesserten Eingriff mit einem gehalterten Werkstück zu gewährleisten.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin einen Sammler 21 und eine Versorgungsleitung 23, die einen unteren Abschnitt des Sammlers 21 mit dem Anschluß 11 in dem Halterungsblock 3 verbindet. Der Sammler 21 hält ein ausreichendes Volumen einer hydraulischen Flüssigkeit, um in der Lage zu sein, die Kolbenaufbauten 12 in die voll ausgefahrenen Positionen anzutreiben, wobei diese Ausdehnung ein vollständiges Füllen der Kavität 9 und der Zylinder 7 mit hydraulischem Fluid erfordert.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin einen Drucksensor 25 und ein erstes Ventil 27 in der Versorgungsleitung 23 auf, wobei der Drucksensor 25 dafür vorgesehen ist, den hydrostatischen Druck des hydraulischen Fluids in der Kavität 9 zu erfassen, wobei das erste Ventil 27 dafür vorgesehen ist, die Kavität 9 und den Sammler 21 wahlweise miteinander zu verbinden. In dieser Ausführungsform ist der Drucksensor 25 ein elektronischer Sensor, der eine Spannung proportional zu dem er faßten Druck erzeugt. In alternativen Ausführungsformen könnte der Drucksensor 25 ein pneumatischer oder mechanischer Sensor sein, der ein pneumatisches oder mechanisches Signal erzeugt, welches den erfaßten Druck anzeigt. In dieser Ausführungsform ist das erste Ventil 27 ein elektrisch betätigtes, normalerweise geschlossenes Ventil. In einer alternativen Ausführungsform könnte das erste Ventil 27 ein pneumatisches oder mechanisches Ventil sein, das in Reaktion auf ein pneumatisches oder mechanisches Signal betätigt wird.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin ein zweites Ventil 29 auf, in diesem Fall ein durch einen Führungszapfen betätigtes, durch eine Feder rückholbares Ventil mit zwei Positionen, welches erste, zweite und dritte Anschlüsse 41, 43, 45 aufweist. Der erste Anschluß 41 des dritten Ventils 39 ist durch eine Leitung 47 mit dem zweiten Anschluß 33 des zweiten Ventils 29 verbunden. Der zweite Anschluß 43 des dritten Ventils 39 ist über eine Leitung 49 mit der Atmosphäre verbunden. Der dritte Anschluß 45 des dritten Ventils 39 ist über eine Leitung 51 mit einer Druckluftquelle (nicht dargestellt) verbunden. In einer Position des dritten Ventils 39 steht der erste Anschluß 41 mit dem zweiten Anschluß 43 in Verbindung, so daß der zweite Anschluß 33 des zweiten Ventils 39 mit Atmosphäre verbunden ist, während das zweite Ventil 29, wenn es in der ersten Position ist, mit dem Sammler 21 verbunden ist. In der zweiten Position des dritten Ventils 39 steht der erste Anschluß 41 mit dem dritten Anschluß 45 in Verbindung, so daß die Druckluftquelle mit dem zweiten Anschluß 33 des zweiten Ventils 29 verbunden ist, wobei das zweite Ventil 29, wenn es sich in der zweiten Position befindet, mit dem Sammler 21 verbunden ist.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine Steuerung 53 zum Steuern des Betriebs der ersten, zweiten und dritten Ventile 27, 29, 39 in Reaktion auf das durch den Drucksensor 25 erzeugte Drucksignal auf. Wenn die Halterungseinrichtung als Teil einer Maschine vorgesehen ist, wie z. B. einer Siebdruckmaschine oder einer Bestückungsmaschine, kann die Steuerung 53 entweder so ausgestaltet sein, daß sie in Verbindung mit der Steuerung der Maschine arbeitet oder daß sie als Teil der Maschinensteuerung vorgesehen ist. In dieser Ausführungsform ist die Steuerung 53 eine programmierbare Logiksteuerung, welche programmierte Anweisungen ausführt. In einer alternativen Ausführungsform könnte die Steuerung 53 ein programmierbarer Computer sein.
  • Es wird nunmehr unter Bezug auf die 24 eine Betriebsweise der Halterungseinrichtung beschrieben. Wenn die Kolbenaufbauten 12 sich in der abgesenkten Position befinden, das erste Ventil 27 geschlossen und die zweiten und dritten Ventile 29, 30 in der ersten Position sind, wie es in 2 dargestellt ist, wird ein Werkstück 25 in einer Position im Abstand über der oberen Fläche 4 des Halterungsblocks 3 befestigt. In dieser Ausführungsform ist das Werkstück 25 eine gedruckte Schaltkreisplatine 57, deren untere Fläche mit elektronischen Bauteilen 59 besetzt ist.
  • Unter dem Einfluß der Steuerung 53 wird das erste Ventil 27 geöffnet und das zweite Ventil 39 in die zweite Position geschaltet, was es ermöglicht, daß Druckluft in den Sammler 21 fließt und Fluid aus dem Sammler 21 in die Kavität 9 drückt. Dieser Fluidstrom bewirkt, daß die Kolben 13 der Kolbeneinheiten 12 in den entsprechenden Zylindern nach oben getrieben werden und dadurch bewirkt, daß die Stäbe 15 der Kolbeneinheiten 12 aus der oberen Fläche 4 des Halterungsblocks 3 herausgefahren werden und sich der bestückten, gedruckten Schaltkreisplatine annähern.
  • Wie in 3 dargestellt, wird der Antrieb der Kolbeneinheiten 12 und das Ausfahren der Stäbe 15 fortgesetzt, bis einer der Stäbe 15 mit der unteren Fläche der bestückten, gedruckten Schaltkreisplatine 57 in Kontakt tritt. Wenn einer der Stäbe 15, und zwar in 4 der am weitesten rechte, mit einem Bauteil 59 auf der unteren Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine 57 in Kontakt tritt, so wird dieser Stab 15 nicht weiter ausgefahren, weil die Reaktionskraft des Bauteils 59 auf den Stab 15 derart ist, daß das Fluid vorzugsweise in die Zylinder 7 fließt, welche die anderen Kolbeneinheiten 12 aufnehmen, die sich frei bewegen können und damit dem Fluidstrom weniger Widerstand entgegensetzen. Dieses gezielte Füllen der Zylinder 7 setzt sich fort, während ein Stab 15 nach dem anderen mit einem Bauteil 59 oder der unteren Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine 57 in Kontakt kommt, und zwar bis zu dem Punkt, an welchem jeder der Stäbe 15 mit dem Werkstück 55 in Kontakt steht, wie es in 4 dargestellt ist. An diesem Punkt wird ein (weiterer) Fluidstrom verhindert und der Druck in der Kavität 9 steigt schnell an. Wenn durch den Drucksensor 25 ein vorbestimmter Druck erfaßt wird, so wird das erste Ventil 27 geschlossen und man läßt das dritte Ventil 39 unter dem Einfluß der Steuerung 53 in die erste Position zurückkehren.
  • In dieser vollständig unterstützten Position kann man auf die obere Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine 57 einwirken, beispielsweise durch einen Druckkopf einer Siebdruckmaschine oder durch das Anordnen weiterer Bauteile 59 durch eine Anordnungs- bzw. Bestückungsmaschine. Wenn das Volumen des Fluids in den Zylindern 7 und der Kavität 9 konstant gehalten wird, verbiegt sich das Werkstück 25 in Reaktion auf das Aufbringen einer Kraft entlang der Reihe von Stäben 15 nicht, und eine lokal auf das Werkstück 55 an einem einzelnen Punkt aufgebrachte Kraft findet Widerstand aufgrund der Steifigkeit, welche durch den viskosen Strom zwischen den Zylindern 7 gewährleistet wird. Wenn die Halterungseinrichtung in einer Siebdruckmaschine verwendet wird, können die Reihen von Stäben 15 mit dem Siebdruckkopf ausgerichtet werden, so daß der durch den Druckkopf entlang der Linie oder Zeile der Lötpaste aufgebrachten Kraft durch die Reihen von Stäben 15 ein Widerstand entgegengesetzt wird.
  • Wenn die Bearbeitung des Werkstücks 55 unter dem Einfluß der Steuerung 53 abgeschlossen worden ist, wird das zweite Ventil 29 in die zweite Position umgeschaltet und das erste Ventil 27 wird geöffnet, um die Vakuumquelle mit dem Sammler 21 zu verbinden, wodurch Fluid aus der Kavität 9 in den Sammler 21 abgezogen wird. Dieses Abziehen von Fluid aus der Kavität 9 bewirkt, daß die Kolbeneinheiten 12 abgesenkt werden und die Stäbe 15 in den Halterungsblock 3 zurückgezogen werden. Nach einer vorbestimmten Zeitdauer, die ausreichend ist, um zu ermöglichen, daß alle Stäbe 15 vollständig zurückgezogen werden, wird das erste Ventil 27 geschlossen und man läßt das zweite Ventil 29 in die erste Position zurückkehren. Das Werkstück 55 kann dann entfernt werden und die Halterungseinrichtung kann erneut in Betrieb genommen werden, um ein weiteres Werkstück 55 zu haltern.
  • Nachstehend wird eine andere Betriebsweise der Halterungseinrichtung beschrieben.
  • Unter dem Einfluß der Steuerung wird, wenn die Plattform sich in der abgesenkten Position befindet, das Ventil 27 geöffnet und das dritte Ventil 39 wird in die zweite Position geschaltet, um Druckluft in den Sammler 21 fließen zu lassen und um zu bewirken, daß die Kolbeneinheiten 12 in die ausgefahrene Position gefahren werden. Indem man Druckluft in den Sammler 21 fließen läßt, wird Fluid von dem Sammler 21 in die Kavität 9 gedrückt. Dieser Fluidstrom bewirkt, daß die Kolben 13 der Kolbeneinheiten 12 in den entsprechenden Zylindern 7 nach oben gefahren werden und dadurch bewirken, daß die Stäbe 15 der Kolbeneinheiten 12 aus der oberen Fläche 4 des Halterungsblockes 3 ausgefahren werden. Wenn die Stäbe 15 sich in der vollständig ausgefahrenen Position befinden, wird unter dem Einfluß der Steuerung 53 das dritte Ventil 39 in die erste Position umgeschaltet.
  • Dann wird ein Werkstück 55 in einer Position oberhalb der oberen Fläche 4 des Halterungsblocks 53 fixiert. In diesem Ausführungsbeispiel ist das Werkstück 55 eine gedruckte Schaltkreisplatine 57, deren untere Fläche mit elektronischen Bauteilen 59 bestückt ist.
  • Unter dem Einfluß der Steuerung 53 wird dann die Plattform angehoben, so daß, während ein Stab 15 nach dem anderen mit einem Bauteil 59 oder der unteren Fläche des Werkstücks in Kontakt tritt, diese Stäbe 15 die Kolben 13 in die Zylinder 7 zurückdrücken und Fluid von der Kavität 9 in den Sammler 21 verschieben. Der Druckwiderstand aufgrund der Viskosität des Fluids hält die Stäbe 15 in der ausgefahrenen Position, bis sie mit dem Werkstück 55 in Eingriff kommen. Wenn die Plattform ihre obere Position erreicht hat, schließt die Steuerung 53 das erste Ventil 27 und verriegelt damit die Stäbe 15 in ihrer Position.
  • In dieser vollständig unterstützten Position kann man auf die obere Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine 57 einwirken, beispielsweise durch den Druckkopf einer Siebdruckmaschine oder durch die Aufbringung weiterer Komponenten 59 durch eine Bestückungsmaschine.
  • Wenn die Bearbeitung des Werkstücks 55 abgeschlossen ist, wird die Plattform unter dem Einfluß der Steuerung 53 abgesenkt. Das Werkstück 55 kann entfernt werden und die Halterungseinrichtung kann erneut in Betrieb genommen werden, um ein weiteres Werkstück 55 zu haltern bzw. zu unterstützen.
  • Es versteht sich, daß die Halterungseinrichtung keine vorherige Einrichtung oder Anpassung erfordert, wenn ein anderes Werkstück 55 verwendet bzw. aufgebracht wird. Stattdessen paßt sich die Halterungseinrichtung automatisch der unteren Fläche des Werkstücks 55 an, unabhängig von der Position oder Höhe irgendwelcher Gegenstände oder Ausgestaltungen auf dieser Fläche.
  • In einer alternativen Ausführungsform könnten der Sammler 21 und die zweiten und dritten Ventile 29, 39 durch einen Antriebskolben ersetzt werden, der mit einer Betätigung verbunden und innerhalb eines Hauptzylinders gleitbar angeordnet ist, welcher ein hydraulisches Fluid enthält. Im Betrieb hebt die Betätigung den Antriebskolben an, um Fluid aus der Kavität 9 in den Hauptzylinder zu ziehen, und senkt den Antriebskolben ab, um Fluid aus dem Hauptzylinder in die Kavität 9 zu drücken. 5 veranschaulicht schematisch eine Halterungseinrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Die Halterungseinrichtung dieser Ausführungsform ist derjenigen der oben beschriebenen ersten Ausführungsform sehr ähnlich und demnach werden zur Vermeidung einer unnötigen Wiederholung der Beschreibung nur die Unterschiede im einzelnen beschrieben, wobei gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen sind.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der oben beschriebenen ersten Ausführungsform dadurch, daß der Halterungsblock 3 eine Mehrzahl von Anschlüssen 11 enthält, die jeweils einer der Reihen von Zylindern 7 zugeordnet sind.
  • Die Betriebsweise ist dieselbe wie in der oben beschriebenen ersten Ausführungsform.
  • 6 zeigt schematisch eine Halterungseinrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Halterungseinrichtung dieser Ausführungsform ist der der oben beschriebenen zweiten Ausführungsform sehr ähnlich, so daß zur Vermeidung einer unnötigen Wiederholung der Beschreibung nur die Unterschiede im einzelnen beschrieben werden, wobei gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen sind.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der oben beschriebenen zweiten Ausführungsform dadurch, daß jede der Reihen von Zylindern 7 in dem Halterungsblock 3 mit einer getrennten Verteilerkavität 9 verbunden ist.
  • Die Betriebsweise ist dieselbe wie bei der oben beschriebenen zweiten Ausführungsform.
  • 9 zeigt schematisch eine Halterungseinrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Die Halterungseinrichtung dieser Ausführungsform ist der der oben beschriebenen dritten Ausführungsform sehr ähnlich, so daß zur Vermeidung einer unnötigen Wiederholung der Beschreibung nur die Unterschiede im einzelnen beschrieben werden, wobei gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen sind.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der oben beschriebenen dritten Ausführungsform dadurch, daß jede der getrennten Verteilerkavitäten 9 über ein getrenntes Ventil 27 mit der Versorgungsleitung 23 verbunden ist.
  • Die Betriebsweise dieser Halterungseinrichtung ist dieselbe wie bei der oben beschriebenen dritten Ausführungsform, wobei alle Ventile 27 gleichzeitig geschlossen werden, wenn der vorbestimmte Druck durch den Drucksensor 25 erfaßt wird. Diese Ausführungsform erlaubt in vorteilhafter Weise, daß einzelne der Reihen von Zylindern 7 gegenüber der Versorgungsleitung 23 isoliert werden, indem die jeweiligen Ventile 27 geschlossen gehalten werden, wenn das Werkstück 25 diese Reihen von Zylindern 7 und damit die entsprechenden Kolbeneinheiten 12 nicht abdeckt bzw. überspannt, wodurch die notwendige Überführung von Fluid minimal gemacht wird, um ein vollständiges Unterstützen bzw. Haltern des Werkstücks 55 sicherzustellen.
  • Die Halterungseinrichtung dieser Ausführungsform ist insbesondere dort anwendbar, wo während der Verarbeitung bzw. Bearbeitung eine relativ hohe Kraft auf das Werkstück 55 aufgebracht wird und wo die Kraft gleichzeitig über eine Reihe der Stäbe 15 aufgebracht wird, wie z. B. durch einen Siebdruckkopf, da die Trennung jeder Verteilerkavität 9 durch die Ventile 27 eine Fluidübertragung in benachbarte Verteilerkavitäten 59 verhindert. Die Halterungseinrichtungen der zweiten und dritten Ausführungsformen sind eher für Anwendungen geeignet, bei welchen jeweils eine kurze Zeitdauer eine relativ geringe Kraft auf das Werkstück 55 aufgebracht wird, wie es z. B. bei Bestückungsmaschinen der Fall ist, da unter diesen Bedingungen die inhärente Steifigkeit verhindert, daß ein einzelner Stab 15 oder eine Gruppe von Stäben 15 herabgedrückt werden.
  • 8 zeigt ein Halterungseinrichtungsmodul 61 einer Halterungseinrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • In dieser Ausführungsform ist die Halterungseinrichtung aus einer Mehrzahl der Halterungseinrichtungsmodule 61 aufgebaut, wobei die Anzahl der Halterungseinrichtungsmodule 61, die jeweils einbezogen wird, durch die Größe des zu haltenden Werkstücks bestimmt wird. Dieses Halterungseinrichtungsmodul ist dafür ausgelegt, daß es in die Halterungseinrichtung der oben beschriebenen dritten und vierten Ausführungsformen eingebaut wird.
  • Das Halterungseinrichtungsmodul 61 weist einen Hauptteil 63 auf, in dieser Ausführungsform ein länglicher Körper, der obere und untere, in dieser Ausführung im wesentlichen parallele, Flächen 64, 65 hat und der erste und zweite Reihen von Zylindern 67 umfaßt, die sich in dieser Ausführungsform im wesentlichen senkrecht zu der oberen Fläche 64 erstrecken.
  • Das Halterungseinrichtungsmodul 61 weist weiterhin ein erstes, unteres Teil 68 auf, welches an der unteren Fläche 65 des Hauptteils 63 befestigt ist, und umfaßt erste und zweite Kavitäten 69, in dieser Ausführungsform längliche Kanäle, welche als Verteiler wirken, die jeweils eines der Enden, in dieser Ausführung der unteren Enden, der Zylinder 67 in den jeweiligen Reihen von Zylindern 67 sowie erste und zweite Anschlüsse 71 in Fluidverbindung mit entsprechenden der ersten und zweiten Kavitäten 69 verbinden. In einer bevorzugten Ausführungsform kann eine Dichtung zwischen dem unteren Teil 68 und dem Hauptteil 63 angeordnet werden, um eine fluiddichte Abdichtung zu gewährleisten.
  • Das Halterungseinrichtungsmodul 61 weist weiterhin ein zweites oberes Teil 73 auf, welches an der oberen Fläche 64 des Hauptteils 63 befestigt ist und erste und zweite Reihen von Öffnungen 75 aufweist, welche den Reihen von Zylindern 67 in dem Hauptteil 63 entsprechen.
  • Das Halterungseinrichtungsmodul 61 weist weiterhin eine Mehrzahl von Kolbeneinheiten 77 auf, die gleitbar in entsprechenden Zylindern 67 angeordnet sind, so daß sie bei Aufbringen eines hydraulischen Drucks in den jeweiligen Kavitäten 69 angetrieben werden können. In derselben Weise wie bei den oben beschriebenen Ausführungsformen weist jeder Kolbenaufbau 77 einen Kolben 79 auf, der eine ringförmige Dichtung 81 aufweist, in diesem Fall einen O-Ring, und der eine Dichtpassung in dem jeweiligen Zylinder 67 aufweist, sowie einen Stab 83, der mit dem Kolben 79 verbunden ist, wobei die Stäbe 83 bei Einführen eines hydraulischen Fluids in die Kavitäten 69 durch das obere Teil 73 ausfahrbar sind. Wegen der Klarheit der Darstellung sind nur zwei Kolbeneinheiten 77 dargestellt.
  • Die 912 veranschaulichen eine Halterungseinrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Die Halterungseinrichtung weist einen Halterungsblock 91, der obere und untere, in dieser Ausführungsform im wesentlichen parallele, Flächen 92, 93 aufweist, wobei die obere Fläche 92 eine Fläche definiert, über welcher ein Werkstück gehaltert bzw. unterstützt werden soll, und wobei die untere Oberfläche 93 auf einer Plattform gehaltert wird, die in einer festen Position sein kann oder die vertikal bewegbar ist, um den Halterungsblock 91 anzuheben oder abzusenken.
  • Der Halterungsblock 91 umfaßt eine Mehrzahl von Zylindern 97, welche sich in dieser Ausführungsform im wesentlichen senkrecht zu der oberen Fläche 94 erstrecken und welche in ersten und zweiten parallelen Reihen angeordnet sind, und erste und zweite Kavitäten 98, die als Verteiler wirken und jeweils eines, in dieser Ausführungsform das untere, der Enden der Zylinder 97 der jeweiligen ersten und zweiten Reihen von Zylindern 97 miteinander verbinden. Der Halterungsblock 91 weist weiterhin erste und zweite Anschlüsse 99 in Fluidverbindung mit entsprechenden der ersten und zweiten Verteilerkavitäten 98 auf, wobei ein länglicher Strömungskanal 100 sich durch einen oberen Bereich desselben erstreckt und in Fluidverbindung mit jedem der Zylinder 97 steht, und einen dritten Anschluß 101 in Verbindung mit dem Strömungskanal 100. Der dritte Anschluß 101 ist über eine erste pneumatische Zufuhrleitung 102 mit einer ersten Pneumatikquelle bzw. Pneumatikversorgung verbunden (nicht dargestellt).
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine Mehrzahl von Kolbenaufbauten 103 auf, die in entsprechenden der Zylinder 97 angeordnet sind. In dieser Ausführungsform wird jeder Kolbenaufbau 103 in dem jeweiligen Zylinder 97 durch eine C-Klammer gehalten. Wie in den 11 und 12 dargestellt, weist jeder Kolbenaufbau 103 eine Kolbenhülse 104 auf, in dieser Ausführungsform ein längliches, zylindrisches, rohrförmiges Element, das an seinen Enden Öffnungen 105, 106 hat und welches in enger Passung in dem jeweiligen Zylinder 97 liegt, und weist eine Kolbeneinheit 107 auf, die gleitbar in der Kolbenhülse 104 angeordnet ist.
  • Die Kolbenhülse 104 enthält erste und zweite ringförmige Zylinderdichtungen 108 im Abstand voneinander, in dieser Ausführungsform O-Ringe, und zwar am oberen, äußeren Ende desselben, um eine Dichtpassung mit dem jeweiligen Zylinder 97 aufrechtzuerhalten, sowie eine ringförmige Nut 109, die in Fluidverbindung mit dem Strömungskanal 100 steht. Die Kolbenhülse 104 enthält weiterhin erste und zweite Öffnungen 111 in ihrer umlaufenden Wand, welche einen Fluidverbindungspfad zwischen dem inneren Volumen derselben und der ringförmigen Nut 109 bereitstellen. Die Kolbenhülse 104 enthält weiterhin eine ringförmige Kolbenstabdichtung in ihrer Innenfläche an derselben axialen Position wie die erste Zylinderdichtung 108, um eine Dichtpassung mit der Kolbeneinheit 107 aufrechtzuerhalten.
  • Die Kolbeneinheit 107 weist einen Kolben 115 auf, der eine ringförmige Kolbendichtung 117 enthält, in dieser Ausführungsform einen O-Ring, und der eine dichtende Passung in der jeweiligen Kolbenhülse 104 hat, und weist einen Stab 119 auf, der mit dem Kolben 115 verbunden ist, wobei der Stab 119 mit Dichtpassung in der Kolbenstabdichtung 112 liegt und bei Einführen eines hydraulischen Fluids in die jeweilige Verteilerkavität aus der oberen Fläche 92 des Halterungsblocks 91 ausfahrbar ist. Bei diesem Aufbau wird innerhalb der Kolbenhülse 104 zwischen der Kolbenstabdichtung 112 und der Kolbendichtung 117 eine Kammer 121 definiert, wobei die Öffnungen 111 als Einlaß- oder Auslaßanschlüsse dienen.
  • Der Halterungsblock 91 weist weiterhin eine Kolbenkavität 122 auf, in dieser Ausführungsform eine längliche Kavität, und einen Antriebskolben 123, der ringförmige Dichtungen 127, in dieser Ausführungsform O-Ringe, hat, und der in dichtender Passung in der Kolbenkavität 122 liegt. Die Kolbenkavität 122 weist erste und zweite Anschlüsse 128, 129 an ihren entgegengesetzt liegenden Enden auf. Der Antriebskolben 123 ist gleitbar in der Kolbenkavität 122 aufgenommen und definiert ein Fluidreservoir 131, welches ein hydraulisches Fluid enthält, wobei das Volumen dieses Reservoirs 131 ausreichend ist, um die Kolbeneinheiten 107 in ihrer vollständig ausgefahrenen Position zu bewegen, wobei dieses Ausfahren ein vollständiges Füllen der Verteilerkavitäten 98 und der Kolbenhülsen 104 erfordert und durch die Bewegung des Antriebs- bzw. Treiberkolbens 123 gesteuert wird. Der erste Anschluß 128 der Kolbenkavität 122 ist über eine zweite pneumatische Versorgungsleitung 133 mit einer zweiten Pneumatikversorgung (nicht dargestellt) verbunden.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine Fluidversorgungsleitung 135 auf, welche die Anschlüsse 99 der Verteilerkavitäten 98 und den zweiten Anschluß 129 der Kolbenkavität 122 miteinander verbindet, sowie eine Ventileinheit 136, welche erste und zweite Ventile 137, 139 aufweist, und zwar in dieser Ausführungsform ein zapfenbetätigtes, durch eine Feder rückholbares Ventil mit zwei Positionen und ein Ein-Wege-Ventil (Rückschlagventil), die parallel zu der Fluidversorgungsleitung 135 geschaltet sind, wobei der Zapfen des ersten Ventils 137 mit der ersten pneumatischen Versorgungsleitung 102 verbunden ist und das zweite Ventil 139 dafür ausgelegt ist, einen Strom nur von dem Fluidreservoir 131 zu den Verteilerkavitäten 98 zuzulassen. In der ersten Position des ersten Ventils 137 ist dieses Ventil 137 geschlossen und eine Strömung ist nur über das Ein-Weg-Ventil 139 möglich. In der zweiten Position des ersten Ventils 137 ist das Ventil 137 offen und Fluid kann durch dieses hindurchfließen.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine Steuerung (nicht dargestellt) auf, um die Betriebsweise der ersten und zweiten Pneumatikversorgungen zu steuern. Wenn die Halterungseinrichtung als Teil einer Maschine vorgesehen ist, wie z. B. einer Siebdruckmaschine oder Bestückungsmaschine, so kann die Steuerung so ausgestaltet sein, daß sie entweder in Verbindung mit der Steuerung der Maschine arbeitet oder sie kann auch als Teil der Steuerung der Maschine vorgesehen sein. In dieser Ausführungsform ist die Steuerung eine programmierbare Steuerung, welche programmierte Anweisungen ausführt, die in einem Speicher gespeichert sind. In einer alternativen Ausführungsform könnte die Steuerung ein programmierter Computer sein.
  • Die Betriebsweise der Halterungseinrichtung wird nachstehend beschrieben.
  • Wenn die Kolbeneinheiten 107 in der abgesenkten Position sind, so wird ein Werkstück 145 in einer Position im Abstand über der oberen Fläche 92 des Halterungsblocks 91 fixiert bzw. befestigt. In dieser Ausführungsform ist das Werkstück 145 eine gedruckte Schaltkreisplatine 147, deren untere Fläche mit elektronischen Bauteilen 149 bestückt ist.
  • Wenn die erste Pneumatikversorgung abgeschaltet ist und das erste Ventil 137 sich in der ersten Position befindet, wird der Treiberkolben 123 durch Aufbringen eines vorbestimmten Pneumatikdrucks durch die zweite pneumatische Versorgungsleitung 133 angetrieben. Dieser pneumatische Druck bewirkt, daß der Treiberkolben 123 nach vorn bewegt wird und daß das hydraulische Fluid in dem Reservoir 131 über das zweite Ventil 139 durch die Fluidversorgungsleitung 135 und in die Verteilerkavitäten 98 und die Kolbenhülsen 104 gedrückt wird. Dieser Fluidstrom bewirkt, daß die Kolben 115 der Kolbeneinheiten 107 in den jeweiligen Kolbenhülsen 104 nach oben getrieben werden, und dadurch bewirken, daß die Stäbe 119 der Kolbeneinheiten 107 aus der oberen Fläche 92 des Halterungsblocks 91 ausgefahren werden und sich der bestückten, gedruckten Schaltkreisplatine 147 annähern.
  • Dieses Antreiben der Kolbeneinheiten 107 und das Ausfahren der Stäbe 119 setzt sich fort, wenn einzelne Stäbe 119 mit der unteren Fläche der bestückten gedruckten Schaltkreisplatine 147 in Kontakt treten. Wenn einzelne Stäbe 119 mit einem Bauteil 149 auf der unteren Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine 147 in Kontakt treten, so wird dieser eine Stab 119 nicht mehr weiter ausgefahren, weil die Reaktion bzw. Reaktionskraft des Bauteils 149 auf den Stab 119 derart ist, daß sie bewirkt, daß das Fluid vorzugsweise in die Kolbenhülsen 104 strömt, welche die anderen Kolbeneinheiten 107 aufnehmen, die sich frei bewegen können und die demnach dem Fluidstrom weniger Widerstand entgegensetzen. Dieses Füllen von ausgewählten Kolbenhülsen 104 wird fortgesetzt, während jeder der Stäbe 119 mit einem Bauteil 149 oder der unteren Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine 147 in Kontakt tritt, bis zu einem Punkt, an welchem alle Stäbe 119 mit dem Werkstück 145 in Kontakt stehen, wie es in 9 dargestellt ist. An diesem Punkt steigt der Druck in den Verteilerkavitäten 98 schnell an. Wenn der Druck in den Verteilerkavitäten 98 den vorbestimmten Druckwert der ersten pneumatischen Versorgung erreicht, wird die Bewegung des Treiberkolbens 123 beendet, da die Drücke, welche auf die entgegengesetzt liegenden Treiberflächen des Treiberkolbens 123 wirken, gleich sind. An diesem Punkt kann die erste Pneumatikversorgung abgeschaltet werden, wobei ein Fluidstrom von den Verteilerkavitäten 98 durch das zweite Ventil 139 verhindert wird.
  • In dieser vollständig unterstützten Position kann auf die obere Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine 147 eingewirkt werden, beispielsweise durch einen Druckkopf einer Siebdruckmaschine oder durch Anordnen weiterer Komponenten durch eine Bestückungsmaschine. Wenn das Volumen des Fluids in den Kolbenhülsen 104 und den Verteilerkavitäten 98 festgelegt bzw. konstant ist, verbiegt sich das Werkstück 145 nicht in Reaktion auf das Aufbringen einer Kraft entlang der Reihe von Stäben 119 und einer lokal auf das Werkstück 145 an einem einzelnen Punkt aufgebrachten Kraft widersteht die Steifigkeit, welche durch die viskose Strömung zwischen den Kolbenhülsen 104 bereitgestellt wird. Wenn die Halterungseinrichtung in einer Siebdruckmaschine verwendet wird, können die Reihen von Stäben 119 mit dem Siebdruckkopf ausgerichtet werden, so daß die durch den Druckkopf entlang der Linie bzw. Zeile der Lötpaste aufgebrachte Kraft durch die Reihen von Stäben 119 aufgefangen wird.
  • Wenn die Bearbeitung des Werkstücks 145 abgeschlossen ist, wird unter dem Einfluß der Steuerung ein pneumatischer Druck in die erste pneumatische Versorgungsleitung 102 eingeführt, wobei dieser Druck das erste Ventil 137 in die zweite Position umschaltet und dadurch zuläßt, daß Fluid durch das erste Ventil 137 aus den Verteilerkavitäten 98 fließt, und bewirkt, daß die Kolbeneinheiten 107 nach unten in die zurückgezogene Position zurückgetrieben werden durch die Wirkung des pneumatischen Drucks, der in den Kammern 121 der Kolbenaufbauten 103 wirkt. Wenn die Kolbeneinheiten 107 in die zurückgezogene Position getrieben bzw. gedrückt werden, wird Fluid aus den Verteilerkavitäten 98 zu dem Reservoir 131 übertragen, wobei diese Fluidüberführung bewirkt, daß der Treiberkolben 123 zurück zu der Ausgangsposition bewegt wird. Nach einer vorbestimmten Zeitdauer, die ausreichend ist, um zu ermöglichen, daß alle Kolbeneinheiten 107 vollständig zurückgezogen worden sind, wird der pneumatische Druck in der ersten pneumatischen Versorgungsleitung 102 weggenommen bzw. entlastet, wodurch das erste Ventil 137 in seine erste Position zurückkehren kann. Das Werkstück kann dann entfernt werden und die Halterungseinrichtung kann erneut in Betrieb genommen werden, um ein weiteres Werkstück 145 aufzunehmen.
  • 13 veranschaulicht schematisch eine Halterungseinrichtung gemäß einer siebten Ausführungsform der Erfindung.
  • Die Halterungseinrichtung dieser Ausführungsform ist derjenigen der oben beschriebenen sechsten Ausführungsform sehr ähnlich und demnach werden zur Vermeidung einer unnötigen Wiederholung der Beschreibung nur die Unterschiede im einzelnen beschrieben, wobei gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der oben beschriebenen sechsten Ausführungsform in der Art und Weise, auf welche die Kolbeneinheiten 107 in die zurückgezogene Position zurückgebracht werden.
  • Gegenüber der oben beschriebenen sechsten Ausführungsform unterscheidet sich diese Ausführungsform dadurch, daß der Halterungsblock 91 weiterhin eine zweite Kolbenkavität 152 aufweist, in diesem Fall eine längliche Kavität, und einen zweiten Antriebskolben 53, welcher ringförmige Dichtungen 157 umfaßt, in der vorliegenden Ausführungsform O-Ringe, und sich in dichtender Passung in der zweiten Kolbenkavität 152 befindet. Die zweite Kolbenkavität 152 enthält erste und zweite Anschlüsse 158, 159 an ihren entgegengesetzten Enden. Der zweite Treiberkolben 153 ist gleitbar in der Kolbenkavität 152 angeordnet und definiert ein zweites Fluidreservoir 161, welches ein hydraulisches Fluid enthält, wobei das Volumen dieses Reservoirs 161 ausreichend ist, um in der Lage zu sein, die Kolbeneinheiten 107 in die vollständig zurückgezogene Position zu fahren, wobei dieses Zurückziehen ein vollständiges Füllen der Rückholkammern 121 in den Kolbenaufbauten 103 erfordert und durch die Bewegung der zweiten Kolbentreiber 153 gesteuert wird.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich weiterhin gegenüber der oben beschriebenen sechsten Ausführungsform dadurch, daß die erste pneumatische Versorgungsleitung 102 nicht mit dem Führungszapfen des ersten Ventils 137 verbunden ist und der Anschluß 101 in Verbindung mit dem Strömungskanal 100 steht, sondern stattdessen mit dem Führungszapfen des ersten Ventils 137 und dem ersten Anschluß 158 der zweiten Kolbenkavität 152.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich weiterhin von der oben beschriebenen sechsten Ausführungsform dadurch, daß sie eine zweite Fluidversorgungsleitung 163 enthält, welche den zweiten Anschluß 159 der zweiten Kolbenkavität 152 mit dem Anschluß 101 des Strömungskanals 100 verbindet.
  • Die Betriebsweise dieser Halterungseinrichtung ist im wesentlichen dieselbe wie die der oben beschriebenen sechsten Ausführungsform, statt daß jedoch die Kolbeneinheiten 107 durch das Zuführen des zweiten pneumatischen Drucks direkt in die Rückholkammern 151 in den Kolbenaufbauten 103 erfolgt, und der zweite pneumatische Druck auf den zweiten Treiberkolben 153 wirkt, um Fluid aus dem zweiten Fluidreservoir 161 in die Rückholkammern 121 in die Kolbenaufbauten 103 zu drücken.
  • 14 zeigt eine Halterungseinrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Die Halterungseinrichtung weist einen Halterungsblock 191 auf, der obere und untere, in diesem Fall im wesentlichen parallele, Flächen 192, 193 hat, wobei die obere Fläche 192 eine Oberfläche definiert, über welcher ein Werkstück gehaltert werden soll, und die untere Oberfläche 193 auf einer Plattform gehaltert und unterstützt ist, die sich in einer festen Position befinden oder vertikal bewegt werden kann, um den Halterungsblock 191 anzuheben oder abzusenken.
  • Der Halterungsblock 191 enthält eine Mehrzahl von Bohrungen 197, welche in dieser Ausführungsform sich im wesentlichen senkrecht zu der oberen Fläche 192 desselben erstrecken und welche in einer Mehrzahl paralleler Reihen angeordnet sind, sowie eine Kavität 198, die als ein Verteiler wirkt und bestimmte, in dieser Ausführungsform die unteren, Enden der Bohrungen 197 verbindet. Der Halterungsblock 191 enthält weiterhin einen Anschluß 199 in Fluidverbindung mit der Verteilerkavität 198.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine Mehrzahl von Kolbenaufbauten 202 auf, die in den jeweiligen Bohrungen 197 angeordnet sind. In dieser Ausführungsform wird jeder Kolbenaufbau 202 in der jeweiligen Bohrung 197 gehalten. Jeder Kolbenaufbau 202 weist eine Kolbenhülse 203 auf, in dieser Ausführungsform ein zylindrisches, rohrförmiges Element mit Öffnungen 204, 205 an ihren Enden, und welche in Preßpassung in der entsprechenden Bohrung 197 ist, sowie eine Kolbeneinheit 206, die gleitbar innerhalb der Kolbenhülse 203 angeordnet ist.
  • Die Kolbenhülse 203 weist eine ringförmige Stabdichtung 212 auf, in dieser Ausführungsform einen O-Ring, und zwar an dem oberen, inneren Ende derselben, um eine Dichtpassung mit der Kolbeneinheit 206 aufrechtzuerhalten.
  • Die Kolbeneinheit 206 weist einen Stab 219 auf, der sich in Dichtpassung in der Kolbenstabdichtung 212 bewegt und der bei Einführen von Fluid in die Verteilerkavität 198 von der oberen Fläche 192 des Halterungsblocks 191 ausstreckbar ist. Die Kolbenstange bzw. der Kolbenstab 219 weist ein Stopteil 220 auf, in diesem Fall eine C-Klammer, und zwar am unteren Ende derselben bzw. desselben, um zu verhindern, daß der Kolbenstab 219 aus der Kolbenhülse 203 herausgetrieben wird beim Einführen von Fluid in die Verteilerkavität 198.
  • Der Halterungsblock 191 enthält weiterhin eine Kolbenkavität 222, in dieser Ausführungsform eine längliche Kavität, deren eines Ende geschlossen und deren anderes Ende offen ist, sowie einen Treiberkolben 223, der eine ringförmige Dichtung 227, in dieser Ausführungsform einen O-Ring, aufweist, und der sich in Dichtpassung in der Kolbenkavität 222 befindet. Die Kolbenkavität 222 enthält einen Anschluß 229 an ihrem geschlossenen Ende. Der Treiberkolben 223 ist in der Kolbenkavität 222 gleitbar angeordnet und definiert ein Fluidreservoir 231, welches ein Hydraulikfluid enthält, wobei das Volumen dieses Reservoirs 231 ausreichend ist, um die Kolbenstangen bzw. -stäbe 219 in ihre voll ausgefahrenen Positionen zu fahren, wobei dieses Ausfahren ein vollständiges Füllen der Verteilerkavität 198 erfordert und durch Bewegung des Treiberkolbens gesteuert wird.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine pneumatische Betätigung 232 auf, welche einen Treiberstab 233 umfaßt, der mit dem Treiberkolben 223 verbunden ist, um den Treiberkolben 223 bei Betätigung derselben anzutreiben. In dieser Ausführungsform weist die pneumatische Betätigung 232 erste und zweite Anschlüsse 234, 235 auf, die mit ersten bzw. zweiten pneumatischen Versorgungsleitungen 236, 237 verbunden sind, wobei mit diesen pneumatischen Versorgungen bzw. -quellen (nicht dargestellt) Verbindungen zum Ausfahren bzw. Zurückziehen der Treiberstange 233 bestehen.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine Fluidversorgungsleitung 238 auf, welche den Anschluß 199 der Verteilerkavität 198 und den Anschluß 229 der Kolbenkavität 222 miteinander verbindet, und weist eine Ventileinheit 239 auf, welche erste und zweite Ventile 240, 241, und zwar in dieser Ausführungsform ein zapfenbetätigtes, durch Federkraft zurückbewegtes Ventil mit zwei Positionen bzw. ein Rückschlagventil, auf, welche in der Fluidversorgungsleitung 238 parallel angeordnet sind, wobei der Zapfen des ersten Ventils 240 mit der zweiten pneumatischen Versorgungsleitung 237 verbunden ist und das zweite Ventil 241 dafür ausgelegt ist, einen Strom nur von dem Reservoir 231 in die Verteilerkavität 198 zuzulassen. In der ersten Position des ersten Ventils 240 ist dieses Ventil 240 geschlossen und eine Strömung ist nur über das Ein-Wege-Ventil 241 (Rückschlagventil) möglich. In der zweiten Position des ersten Ventils 240 ist das erste Ventil 240 offen und Fluid kann hindurchfließen.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine Steuerung (nicht dargestellt) auf zum Steuern des Betriebs der ersten und zweiten Pneumatikversorgungen. Wenn die Halterungseinrichtung als Teil einer Maschine bereitgestellt wird, wie z. B. einer Siebdruckmaschine oder einer Bestückungsmaschine, kann die Steuerung entweder so ausgestaltet sein, daß sie in Verbindung oder Zusammenarbeit mit der Steuerung der Maschine arbeitet, oder sie kann als Teil der Steuerung der Maschine vorgesehen sein. In dieser Ausführungsform ist die Steuerung eine programmierbare Steuerung, welche programmierte Befehle, die in einem Speicher gespeichert sind, ausführt. In einer alternativen Ausführungsform könnte die Steuerung ein programmierter Computer sein.
  • Die Betriebsweise der Halterungseinrichtung wird nachstehend beschrieben.
  • Wenn sich die Kolbeneinheiten 206 in der abgesenkten, zurückgezogenen Position befinden, wird ein Werkstück 245 in einer Position im Abstand über der oberen Fläche 192 des Halterungsblocks 191 fixiert. In dieser Ausführung ist das Werkstück 245 eine gedruckte Schaltkreisplatine 247, deren untere Fläche mit elektronischen Bauteilen 249 bestückt ist.
  • Wenn die zweite pneumatische Versorgung abgeschaltet ist und das erste Ventil 240 sich in der ersten Position befindet, wird der Treiberkolben 223 durch Aufbringen eines vorbestimmten pneumatischen Drucks auf die erste pneumatische Versorgungsleitung 236 angetrieben. Dieser pneumatische Druck betätigt den pneumatischen Betätiger 232 und bewirkt, daß der Treiberkolben 223 sich nach vorn bewegt und das Fluid in dem Reservoir 231 durch das zweite Ventil 241 durch die Fluidversorgungsleitung 238 und in die Verteilerkavität 198 gedrückt wird. Dieser Fluidstrom bewirkt, daß die Kolbeneinheiten 206 in den entsprechenden Kolbenhülsen 203 nach oben getrieben werden und dadurch bewirken, daß die Stäbe 219 der Kolbeneinheiten 206 aus der oberen Fläche 192 des Halterungsblockes 191 ausgefahren werden und sich der bestückten, gedruckten Schaltkreisplatine 247 annähern.
  • Das Treiben der Kolbeneinheiten 206 und das Ausfahren der Stäbe 219 wird fortgesetzt, während einzelne Stäbe 219 mit der unteren Fläche der bestückten, gedruckten Schaltkreisplatine 247 in Kontakt treten. Wenn einzelne der Stäbe 219 mit einer Komponente 249 an der unteren Oberfläche der gedruckten Schaltkreisplatine 247 in Kontakt kommen, so wird der jeweilige Stab 219 nicht weiter ausgefahren, weil die Reaktionskraft der Komponente 249 auf den Stab 219 derart ist, daß sie bewirkt, daß andere Kolbeneinheiten 206 sich (weiter) bewegen, die dem Fluidstrom weniger Widerstand entgegensetzen. Dieses Füllen der Verteilerkavität 198 geht weiter, während ein Stab 219 nach dem anderen mit einer Komponente 249 oder der unteren Fläche der gedruckten Schaltkreisplatine 247 in Kontakt tritt, bis zu einem Punkt, an welchem alle Stäbe 219 mit dem Werkstück 245 in Kontakt stehen, wie es in 14 dargestellt ist. An diesem Punkt steigt der Druck in der Verteilerkavität 198 schnell an. Wenn der Druck in der Verteilerkavität 198 den vorbestimmten Druck der ersten Pneumatikversorgung erreicht, hört die Bewegung des Treiberkolbens 223 auf, weil die Drücke auf den entgegengesetzt liegenden Treiberflächen des Treiberkolbens 223 gleich sind. An die sem Punkt kann die erste pneumatische Versorgung abgeschaltet werden, wobei ein Fluidstrom aus der Verteilerkavität 198 durch das zweite Ventil 241 verhindert wird.
  • In dieser vollständig unterstützten Position kann auf die obere Fläche des Werkstücks 245 eingewirkt werden, beispielsweise durch einen Druckkopf einer Siebdruckmaschine oder durch das Aufbringen weiterer Komponenten durch eine Bestückungsmaschine. Wenn das Volumen des Fluids in der Verteilerkavität 198 festgehalten wird bzw. konstant bleibt, verbiegt sich das Werkstück 245 in Reaktion auf das Aufbringen einer Kraft entlang der Reihe von Stäben 219 nicht und einer Kraft, die lokal auf das Werkstück 245 an einem einzelnen Punkt aufgebracht wird, wird durch die Steifigkeit Widerstand entgegengesetzt, welcher durch die viskose Strömung in der Verteilerkavität 198 bereitgestellt wird. Wenn die Halterungseinrichtung in einer Siebdruckmaschine verwendet wird, kann die Reihe von Stäben 219 mit dem Siebdruckkopf ausgerichtet werden, so daß die durch den Druckkopf entlang der Linie oder Zeile der Lötpaste aufgebrachte Kraft durch die Reihen von Stäben 219 einen Widerstand erfährt.
  • Wenn die Bearbeitung bzw. Verarbeitung des Werkstücks 245 abgeschlossen ist, so wird unter dem Einfluß der Steuerung ein pneumatischer Druck in der zweiten Pneumatikversorgungsleitung 237 eingeführt, wobei dieser Druck das erste Ventil 240 in die zweite Position umschaltet, und dadurch einen Fluidstrom durch das erste Ventil 240 aus der Verteilerkavität 198 ermöglicht und bewirkt, daß der Treiberkolben 223 durch die pneumatische Betätigung 232 zurückgetrieben wird, was einen Fluidstrom von der Verteilerkavität 198 in das Reservoir 231 bewirkt und wiederum bewirkt, daß die Kolbeneinheiten 206 in die zurückgezogenen Positionen nach unten getrieben werden. Nach einer vorbestimmten Zeitdauer, die ausreichend ist, um alle Kolbeneinheiten 206 vollständig zurückzuziehen, wird der pneumatische Druck in der zweiten pneumatischen Versorgungsleitung 237 abgeschaltet und erlaubt dadurch, daß das erste Ventil 240 in seine erste Position zurückkehren kann. Das Werkstück 245 kann dann entfernt werden und die Halterungseinrichtung kann dann erneut in Betrieb genommen werden, um ein weiteres Werkstück 245 zu haltern.
  • 15 zeigt schematisch eine Halterungseinrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Die Halterungseinrichtung dieser Ausführungsform ist derjenigen der oben beschriebenen achten Ausführungsform sehr ähnlich und demnach werden zur Vermeidung einer unnötigen Wiederholung der Beschreibung nur die Unterschiede im einzelnen beschrieben, wobei gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sind. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der oben beschriebenen achten Ausführungsform in der Art und Weise der Verbindung zwischen der Verteilerkavität 198 und dem Fluidreservoir 231.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der oben beschriebenen achten Ausführungsform dadurch, daß die Ventileinheit 239 fortgelassen ist und daß die Verteilerkavität 231 direkt mit dem Reservoir 231 verbunden ist. In dieser Ausführungsform ist der Anschluß 199 an die Verteilerkavität 198 in Form einer Öffnung zwischen der Verteilerkavität 198 und dem Reservoir 231 bereitgestellt.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich weiterhin von der oben beschriebenen achten Ausführungsform dadurch, daß die pneumatische Betätigung 232 eine Klammer 251 für das Verriegeln der Position des Treiberstabs 233 und damit des Treiberkolbens 223 aufweist, um das Volumen des Fluids in der Verteilerkavität 198 festzulegen. In dieser Ausführungsform ist die Klammer 251 eine pneumatisch betätigte Klammer, welche normalerweise die Treiberstange 233 verriegelt, und welche beim Aufbringen eines pneumatischen Druckes gelöst wird. Die Klammer 251 weist einen Anschluß 253 auf, der mit einer dritten pneumatischen Versorgungsleitung 255 verbunden ist, welche wiederum mit einer dritten Pneumatikversorgung (nicht dargestellt) verbunden ist.
  • Die Betriebsweise dieser Halterungseinrichtung ist im wesentlichen dieselbe wie die der oben beschriebenen achten Ausführungsform, jedoch ist, statt daß der Fluidstrom aus der Verteilerkavität 198 durch ein Rückschlagventil verhindert wird, der Antriebskolben 223 physikalisch bzw. körperlich durch die Klammer 251 verriegelt, wobei die Klammer 251 durch Betätigen der dritten Pneumatikversorgung gelöst wird, wenn eine Bewegung des Treiberkolbens 223 erforderlich ist.
  • Die 16-21 zeigen ein Halterungseinrichtungsmodul 261 einer Halterungseinrichtung gemäß einer zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • In dieser Ausführungsform ist die Halterungseinrichtung aus einer Mehrzahl der Halterungseinrichtungsmodule 261 aufgebaut, wobei die Anzahl der Halterungseinrichtungsmodule 261, die jeweils verwendet werden, durch die Größe des jeweils zu halternden Werkstücks bestimmt wird.
  • Das Halterungseinrichtungsmodul 261 weist einen Hauptteil 263 auf, in dieser Ausführungsform einen länglichen Körper, der obere und untere, in dieser Ausführungsform im wesentlichen parallele, Oberflächen 264, 265 enthält. Der Hauptteil 263 enthält eine Mehrzahl von Zylindern 267, welche sich in dieser Ausführungsform im wesentlichen senkrecht zu der oberen Fläche 264 desselben erstrecken und welche in ersten und zweiten parallelen Reihen und ersten und zweiten Kavitäten 268 angeordnet sind, die als Verteiler wirken und von den Enden der Zylinder 267 der jeweiligen ersten und zweiten Reihen von Zylindern jeweils eines, in diesem Fall die unteren, miteinander verbinden. Das Hauptteil 263 weist weiterhin erste und zweite Anschlüsse in Fluidverbindung mit entsprechenden der ersten und zweiten Verteilerkavitäten 268 auf.
  • Das Halterungseinrichtungsmodul 261 weist weiterhin einen Verbindungsblock 270 und eine Ventileinheit 271 auf, die an der unteren Fläche 265 des Hauptteils 263 und an entgegengesetzten Enden derselben befestigt sind, sowie eine Fluidtreibereinheit 272, die in dieser Ausführungsform als ein länglicher Abschnitt ausgebildet ist, welcher sich zwischen dem Verbindungsblock 270 und der Ventileinheit 271 erstreckt, und erste und zweite Befestigungsblöcke 273, die an der unteren Fläche 265 des Hauptteils 263 an Positionen zwischen dem Verbindungsblock 270 und der Ventileinheit 271 befestigt sind.
  • Das Halterungseinrichtungsmodul 261 weist weiterhin ein oberes Teil 273 auf, in dieser Ausführungsform eine Platte, welche an der oberen Fläche 264 des Hauptteils 263 befestigt ist und erste und zweite Reihen von Öffnungen 265 umfaßt, welche den Reihen von Zylindern 267 in dem Hauptteil 263 entsprechen.
  • Das Halterungseinrichtungsmodul 261 weist weiterhin eine Mehrzahl von Kolbenaufbauten 282 auf, die in entsprechenden der Zylinder 267 angeordnet sind. In dieser Ausführungsform wird jeder Kolbenaufbau 282 in dem jeweiligen Zylinder 267 gehalten. Jeder Kolbenaufbau 282 weist eine Kolbenhülse 283 auf, in dieser Ausführungsform ein zylindrisches, rohrförmiges Element, welche Öffnungen 284, 285 an ihren Enden hat und welche in Preßpassung in dem jeweiligen Zylinder 267 sitzt, und eine Kolbeneinheit 186, die gleitbar in der Kolbenhülse 283 angeordnet ist.
  • Die Kolbenhülse 283 weist eine ringförmige Stabdichtung 292 auf, in diesem Fall einen O-Ring, und zwar an ihrem oberen, inneren Ende, um eine Dichtpassung mit der Kolbeneinheit 226 aufrechtzuerhalten, sowie eine ringförmige zylindrische Dichtung 295, in dieser Ausführungsform ein O-Ring, und zwar am unteren, äußeren Ende derselben, um eine Dichtpassung mit dem entsprechenden Zylinder 267 aufrechtzuerhalten.
  • Die Kolbeneinheit 286 weist einen Stab 299 auf, der in Dichtpassung in der Kolbenstabdichtung 292 angeordnet ist und der von der oberen Fläche 264 des Hauptteils 262 beim Einleiten von Hydraulikfluid in die Verteilerkavitäten 268 ausgefahren werden kann. Die Kolbenstange 299 weist ein Stopteil 301 auf, in diesem Fall eine C-Klammer, und zwar am unteren Ende derselben, um zu verhindern, daß der Stab bzw. die Stange 299 aus der Kolbenhülse 283 herausgetrieben wird, wenn Fluid in die Verteilerkavitäten 268 eingeleitet wird.
  • Die Fluidtreibereinheit 272 weist eine Kolbenkavität 302 auf, in dieser Ausführungsform eine längliche Kavität, sowie einen Treiberkolben 303, der eine ringförmige Dichtung 307 aufweist, in dieser Ausführung einen O-Ring, und der sich in Dichtpassung in der Kolbenkavität 302 befindet. Die Kolbenkavität 302 ist an einem, nämlich dem hinteren Ende, mit dem Verbindungsblock 270 verbunden und an dem anderen, vorderen Ende mit der Ventileinheit 271. Der Treiberkolben 303 ist gleitbar in der Kolbenkavität 302 angeordnet und definiert ein Fluidreservoir 305, welches ein Hydraulikfluid enthält, wobei das Volumen dieses Reservoirs 305 ausreichend ist, um in der Lage zu sein, die Kolbeneinheiten 282 in die voll ausgefahrenen Positionen zu bringen, wobei das Ausfahren ein voll ständiges Füllen der Verteilerkavitäten 268 und der Zylinder 272 erfordert und durch die Bewegung des Treiberkolbens 303 gesteuert wird.
  • Wie in den 20 und 21 dargestellt, weist die Ventileinheit 271 ein Hauptteil 309 auf, in dieser Ausführungsform ein länglicher Körper, welcher einen ersten Anschluß 311 an einem Ende in abgedichteter Verbindung mit dem Fluidreservoir 305 hat, und einen zweiten Anschluß 313 in seiner umlaufenden Wand in dichter Verbindung mit den Verteilerkavitäten 268, wobei eine Kolbeneinheit 315 gleitbar in dem Hauptteil 309 zwischen einer ersten, offenen Position (wie sie in 20 dargestellt ist), in welcher ein Fluidverbindungspfad zwischen den ersten und zweiten Anschlüssen 311, 313 bereitgestellt wird, und einer zweiten, geschlossenen Position (in 21 dargestellt), in welcher kein Fluidverbindungspfad zwischen den ersten und zweiten Anschlüssen 311, 313 bereitgestellt wird, gleitend bewegbar angeordnet ist, und wobei eine Membrandichtung 316 das Hauptteil 309 und die Kolbeneinheit 315 abgedichtet verbindet, um einen Fluidstrom darüber hinaus zu verhindern. Die Ventileinheit 271 weist weiterhin ein Vorspannelement 317 auf, in dieser Ausführungsform eine Druckfeder, welche die Kolbeneinheit 315 in die offene Position vorspannt, und eine Einstellschraube 318, um eine Einstellung der Vorspannkraft des Vorspannelements 317 zu ermöglichen. Ein Vorspannen des Vorspannelements 317 gewährleistet in vorteilhafter Weise, daß, wenn die Kraft, die erforderlich ist, um das Zusammendrücken des Vorspannelements 317 zu beginnen, überschritten wurde, eine sehr geringe Zusatzkraft erforderlich ist, um das Vorspannelement 317 zusammenzudrücken.
  • Die Kolbeneinheit 315 weist einen Kolben 319 auf, der eine (hohle) Bohrung 320 aufweist, welche sich in axialer Richtung durch den Kolben hindurch erstreckt, wobei ein Ende derselben durch eine starre Kugel 322 abgedichtet ist, die in Preßpassung in der Bohrung 320 sitzt, und das andere Ende durch eine Schraube 323 verschlossen ist, welche die flexible Membran 316 festhält. Der Kolben 319 enthält erste, zweite und dritte Gruppen von Querbohrungen 324, 326 und 328, die einen Fluidpfad durch die Bohrung 320 des Kolbens 317 in die Verteilerkavitäten 268 erlaubt. Die Kolbeneinheit 315 umfaßt weiterhin eine ringförmige Kolbendichtung 329, in dieser Ausführungsform einen O-Ring, und zwar an der Außenoberfläche an einem Ende des Kolbens 319, um eine Dichtung zwischen der Kolbeneinheit 315 und dem Hauptteil 309 bereitzustellen, wenn die Kolbeneinheit 315 sich in der geschlossenen Position befindet. In dieser Ausführungsform steht die Kolbendichtung 329 mit einer einwärts etwas geneigten Oberfläche des Hauptteils 309 in Eingriff, um eine besonders gute bzw. dichte Abdichtung bereitzustellen und um einen Abschluß der Verteilerkavitäten 268 so lange sicherzustellen, wie die Pneumatikversorgung zu dem Treiberkolben 319 aufrechterhalten wird.
  • Die Halterungseinrichtung weist weiterhin eine Steuerung (nicht dargestellt) auf, um die Arbeitsweise der Pneumatikversorgung und der Vakuumquelle zu steuern. Wenn die Halterungseinrichtung als Teil einer Maschine, wie z. B. einer Siebdruckmaschine oder einer Bestückungsmaschine, vorgese hen ist, kann die Steuerung entweder so ausgestaltet sein, daß sie in Verbindung oder Zusammenarbeit mit der Steuerung der Maschine arbeitet, oder sie kann als Teil der Steuerung der Maschine bereitgestellt werden. In dieser Ausführungsform ist die Steuerung eine programmierbare Steuerung, welche programmierte Anweisungen, die in einem Speicher gespeichert sind, ausführt. In einer alternativen Ausführungsform könnte die Steuerung ein programmierter Computer sein.
  • Die Arbeitsweise der Halterungseinrichtung wird nachstehend beschrieben.
  • Wenn die Kolbeneinheiten 286 sich in der abgesenkten Position befinden, wird ein Werkstück (nicht dargestellt) an einer Position im Abstand oberhalb der Halterungseinrichtung fixiert. Typischerweise kann das Werkstück eine gedruckte Schaltkreisplatine sein, deren untere Fläche mit elektronischen Bauteilen bestückt ist.
  • Die Pneumatikversorgung wird dann betätigt, um den Treiberkolben 303 nach vorn zu treiben, wobei diese Bewegung des Treiberkolbens 303 bewirkt, daß Fluid in dem Reservoir 305 durch die erste Gruppe von Öffnungen 324 in dem Kolben 319 hindurch, in den hohlen Körper 320 des Kolbens 319 hinein, durch die zweite Gruppe von Öffnungen 326 in dem Kolben 319 hindurch und in die Verteilerkavitäten 268 strömt. Dieser Fluidstrom bewirkt, daß die Kolbeneinheiten 286 in den jeweiligen Kolbenhülsen 283 nach oben gedrückt bzw. getrieben werden, und bewirkt dadurch, daß die Stäbe 299 der Kolbeneinheiten 286 ausgefahren werden und sich dem Werkstück annähern.
  • Dieses Treiben der Kolbeneinheiten 286 und Ausfahren der Stäbe 289 wird fortgesetzt, während ein Stab 299 nach dem anderen mit der unteren Fläche des Werkstücks in Eingriff tritt. Wenn einzelne der Stäbe 299 mit der unteren Fläche des Werkstücks in Eingriff getreten sind, wird die jeweilige Stange bzw. der jeweilige Stab 299 nicht weiter ausgefahren, weil die Reaktion des Werkstücks auf den Stab 299 derart ist, daß sie bewirkt, daß die anderen Kolbeneinheiten 286 bewegt werden, welche dem Fluidstrom einen geringeren Widerstand entgegensetzen. Dieses Füllen der Verteilerkavitäten 268 wird fortgesetzt, während die jeweiligen Stangen 299 mit der unteren Fläche des Werkstücks in Kontakt treten, bis zu einem Punkt, an welchem alle Stäbe 299 in Kontakt mit dem Werkstück sind. An diesem Punkt steigt der Druck in den Verteilerkavitäten 268 und dem Reservoir 305 schnell an. Wenn der Druck einen vorbestimmten Wert erreicht hat, der ausreichend ist, um die Vorspannkraft des Vorspannelements 317 zu überwinden, wobei das Fluid auf das eine Ende des Kolbens 319 und durch die dritte Gruppe von Öffnungen 328 auf die flexible Membran 316 wirkt, wird die Kolbeneinheit 315 in die geschlossene Position bewegt und schließt dadurch den Fluidverbindungspfad zwischen dem Reservoir 305 und den Verteilerkavitäten 268 und setzt damit das Volumen des Fluids in den Verteilerkavitäten 268 fest, so daß der Fluiddruck, der auf die Stäbe 250 aufgebracht wird, um sie anzuheben, durch die durch die Feder 240 aufgebrachte Kraft begrenzt wird, die wiederum durch Auswahl einer geeigneten Feder und durch Einstellung der Schraube 250 eingestellt werden kann.
  • In dieser voll unterstützten Position kann auf die Oberfläche des Werkstücks eingewirkt werden, wie z. B. durch einen Druckkopf einer Siebdruckmaschine oder durch das Aufbringen weiterer Bauteile durch eine Bestückungsmaschine. Wenn das Volumen an Fluid in den Verteilerkavitäten 268 fest bzw. konstant ist, verbiegt sich das Werkstück nicht in Reaktion auf das Aufbringen einer Kraft entlang jeder Reihe von Stäben 299, und einer lokal auf das Werkstück an einem einzelnen Punkt aufgebrachten Kraft wird durch die Steifigkeit, welche durch die viskose Strömung in den Verteilerkavitäten 268 gewährleistet wird, ein Widerstand entgegengesetzt. Soweit die Halterungseinrichtung in einer Siebdruckmaschine verwendet wird, können die Reihen von Stäben 299 mit dem Siebdruckkopf ausgerichtet werden, so daß die durch den Druckkopf entlang der Linie bzw. Zeile der Lötpaste aufgebrachte Kraft durch die Reihen von Stäben 299 einen Widerstand findet.
  • Wenn die Verarbeitung des Werkstücks abgeschlossen ist, wird unter dem Einfluß der Steuerung die Pneumatikversorgung abgeschaltet, was bewirkt, daß das Vorspannelement 317 die Kolbeneinheit 315 wieder in die offene Position bringt. Eine (nicht dargestellte) Vakuumquelle wird dann an der Kolbenkavität 302 angelegt, um den Treiberkolben 303 in die Ausgangsposition zurückzuziehen, wobei diese Bewegung des Treiberkolbens 303 einen Fluidstrom aus den Verteilerkavitäten 268 in das Reservoir 305 bewirkt und wiederum bewirkt, daß die Kolbeneinheiten 286 nach unten in die zurückgezogene Position getrieben werden. Nach einer vorbestimmten Zeitdauer, die ausreichend ist, um zu ermöglichen, daß alle Kolbeneinheiten 286 vollständig zurückgezogen werden, kann die Vakuumquelle wieder abgeschaltet werden. Das Werkstück kann dann entfernt werden und die Halterungseinrichtung kann erneut in Betrieb genommen werden, um ein weiteres Werkstück zu haltern.
  • Die 2225 stellen ein Halterungseinrichtungsmodul einer Halterungseinrichtung gemäß einer elften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Die Befestigungs- bzw. Halterungseinrichtung dieser Ausführungsform ist der der oben beschriebenen zehnten Ausführungsform sehr ähnlich und demnach werden zur Vermeidung einer unnötigen Wiederholung der Beschreibung nur die Unterschiede im einzelnen beschrieben, wobei gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sind. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der oben beschriebenen zehnten Ausführungsform prinzipiell in dem Aufbau der Fluidtreibereinheit 272.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der oben beschriebenen zehnten Ausführungsform dadurch, daß die Fluidtreibereinheit 272 keinen Treiberkolben 303 enthält, sondern stattdessen eine aufblasbare Blase oder Hülle 331, deren Innenvolumen das Fluidreservoir 305 festlegt. In dieser Ausführungsform ist die Blase 331 eine längliche Blase, die um eine hohle Welle 333 herum in einer länglichen Vertiefung 335 in dem Hauptteil 263 liegt. Die hohle Welle 333 enthält eine Mehrzahl von Öffnungen 337 entlang ihrer Länge und definiert den Hauptstrompfad von dem Reservoir 305 zu der Ventileinheit 271. Wie in 25 dargestellt, enthält die Kavität 235 eine Mehrzahl von Kanälen oder Nuten 339 in ihrer Oberfläche, die dazu dienen, an der Blase bzw. Hülle 331 angelegten Druck oder Vakuum zu kanalisieren.
  • Diese Ausführungsform unterscheidet sich auch dadurch, daß die Ventileinheit 271 ein Strömungssteuerelement 341 aufweist, um den Fluidstrom von dem Reservoir 305 durch die Ventileinheit 271 zu steuern, in entgegengesetzter Richtung jedoch eine im wesentlichen unbehinderte Strömung zuläßt. In dieser Ausführungsform weist das Strömungssteuerelement 341 einen Ring aus einem federnd nachgiebigen Material auf, der derart montiert ist, daß eine Strömung von dem Reservoir 305 nur durch die zentrale Öffnung hindurch verläuft und eine Strömung in das Reservoir 305 durch die zentrale Öffnung und deren Umgebung verläuft, wobei die Umgebung durch den Fluidstrom in das Reservoir weggedrückt bzw. -gebogen wird.
  • Die Arbeitsweise dieser Halterungseinrichtung ist im wesentlichen dieselbe wie die der oben beschriebenen zehnten Ausführungsform, jedoch wird anstatt des durch einen Treiberkolben bewirkten bzw. getriebenen Fluidstroms der Fluidstrom durch das Zusammendrücken oder Aufweiten der Blase 331 bewirkt.
  • Es versteht sich schlußendlich, daß die vorliegende Erfindung in ihren bevorzugten Ausführungsformen beschrieben wurde und auf viele verschiedene Arten modifiziert werden kann, ohne vom Schutzumfang der Erfindung abzuweichen, wie er durch die anhängenden Ansprüche definiert wird.

Claims (93)

  1. Halterungseinrichtung an einem Werkzeug zur Halterung von Werkstücken, deren untere Flächen Elemente unterschiedlicher Höhen aufweisen, mit: einem Hauptteil, welches eine Mehrzahl von Zylinderbohrungen, zumindest einen Verteiler für ein Haltefluid, welcher mit den Zylinderbohrungen in Fluidverbindung steht, und eine Oberfläche aufweist, auf bzw. über welcher ein Werkstück im Gebrauch gehaltert wird, einer Mehrzahl von Halterungselementen für die Halterung des Werkzeuges, wobei die Halterungselemente gleitbar in den entsprechenden Zylinderbohrungen angeordnet sind, so daß zumindest einzelne der Halterungselemente so bewegt werden, daß sie gegenüber der Oberfläche des Hauptteils unterschiedliche Höhen einnehmen, wenn sie eine Halterungsposition in einem passenden Kontakt mit einer unteren Fläche des Werkstücks einnehmen, zumindest einem Vorrat bzw. Reservoir für Haltefluid, um Halterungs- bzw. Haltefluid aufzunehmen, und welches weiterhin in Fluidverbindung zu dem zumindest einen Verteiler für das Haltefluid steht, um eine Verschiebung von Haltefluid zwischen dem zumindest einen Reservoir für das Haltefluid und dem zumindest einen Verteiler für das Haltefluid beim Gleiten zumindest einzelner der Halterungselemente bei der Einnahme der Halterungsposition zu gewährleisten, einer Strömungssteuereinheit, um eine Verschiebung von Haltefluid zwischen dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid und dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid in der Weise zu ermöglichen, daß die Halterungselemente in die Lage versetzt werden, die Halterungs- bzw. Stützposition einzunehmen, wobei zumindest einzelne der Stützelemente derart bewegt werden, daß zumindest einzelne der Stützelemente aus einer Position, in welcher sie nicht in passendem Kontakt mit der unteren Fläche des Werkstückes stehen, die Halterungsposition in passendem Kontakt mit der unteren Fläche des Werkstückes einnehmen, in welcher einzelne der Stützelemente unterschiedliche Höhen gegenüber anderen Stützelementen einnehmen, entsprechend den Elementen bzw. Eigenschaften der unteren Fläche des Werkstücks, und Verriegeln der Halterungselemente, wenn sie sich in der Halterungsposition befinden.
  2. Halterungseinrichtung an einem Werkzeug nach Anspruch 1, wobei die Strömungssteuereinheit dafür ausgelegt ist, Haltefluid von dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid in der Weise zu verschieben, daß die Halterungs- bzw. Stützelemente veranlaßt werden, auszufahren, um die Halterungsposition in passendem Kontakt mit dem Werkstück einzunehmen, wobei zumindest einzelne der Halte rungselemente entsprechend den Eigenschaften der unteren Oberfläche des Werkstücks auf unterschiedliche Höhen angehoben werden.
  3. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 1, wobei die Strömungssteuereinheit dafür ausgelegt ist, eine Verschiebung von Haltefluid von dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu verschieben, um so zu bewirken, daß die Halterungselemente in eine ausgestreckte Position ausgefahren werden, und um anschließend eine Verschiebung von Haltefluid von dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu ermöglichen, um zu ermöglichen, daß zumindest einzelne der Halterungselemente so abgesenkt werden, daß sie die Halterungsposition in passendem Kontakt mit dem Werkstück einnehmen, wobei zumindest einige der Halterungselemente entsprechend den Eigenschaften der unteren Oberfläche des Werkstückes auf unterschiedliche Höhen abgesenkt werden.
  4. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Strömungssteuereinheit eine Quelle positiven pneumatischen Drucks (pneumatischen Überdrucks) aufweist, die wirksam mit dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid in Fluidverbindung steht, um Haltefluid von dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid an den zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu verschieben, um so die Halterungselemente auszufahren.
  5. Halterungseinrichtung für ein Werkzeug nach Anspruch 4, wobei die Strömungssteuereinheit eine Vakuumquelle enthält, die in wirksamer Fluidverbindung mit dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid steht, um Haltefluid von dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu verschieben, um so die Halterungselemente zurückzuziehen.
  6. Halterungseinrichtung für ein Werkzeug nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der zumindest eine Reservoir für das Haltefluid einen Sammler bzw. Sammelraum mit festem Volumen aufweist, der mit dem zumindest einen Fluidreservoir in Fluidverbindung steht, um eine Quelle positiven pneumatischen Drucks bereitzustellen, die mit einem oberen Ende des Sammelraums in wirksamer Fluidverbindung steht, um einen positiven pneumatischen Druck an dem darin enthaltenen Haltefluid anzulegen, um dieses Haltefluid aus dem Sammelraums in den zumindest einen Verteiler für das Haltefluid zu verschieben, um so die Halterungselemente auszufahren.
  7. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 6, wobei die Strömungssteuereinheit eine Vakuumquelle aufweist, die in wirksamer Fluidverbindung mit einem oberen Ende des Sammelraums steht, um ein Vakuum an dem dann enthaltenen Haltefluid anzulegen, um das Haltefluid aus dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem Sammelraum hin zu verschieben, um so die Halterungselemente zurückzuziehen.
  8. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 7, wobei die Strömungssteuereinheit erste und zweite Steuerventile aufweist, die so betreibbar sind, daß sie wahlweise entweder die Quelle positiven pneumatischen Drucks oder die Vakuumquelle mit dem Akkumulator bzw. Sammelraum in Fluidverbindung bringen.
  9. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 8, wobei das erste Steuerungsventil ein Ventil mit drei Anschlüssen aufweist, welches mit dem Sammelraum, der Vakuumquelle und dem zweiten Steuerventil in Fluidverbindung steht, wobei das erste Steuerventil so betreibbar ist, daß es den Sammelraum mit entweder der Vakuumquelle oder dem zweiten Steuerventil in Fluidverbindung bringt, und das zweite Ventil ein Ventil mit drei Anschlüssen aufweist, welches in Fluidverbindung mit dem ersten Steuerventil, der positiven pneumatischen Druckquelle und der Atmosphäre in Verbindung steht, wobei das zweite Steuerventil so betreibbar ist, daß es, wenn das erste Steuerventil in Fluidverbindung mit dem Sammelraum des zweiten Steuerventils steht, den Sammelraum entweder mit der positiven pneumatischen Druckquelle oder der Atmosphärenumgebung in Fluidverbindung bringt.
  10. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 4 bis 9, wobei die positive pneumatische Druckquelle dafür ausgelegt ist, einen vorbestimmbaren Druck auf das Haltefluid auszuüben, welcher einer durch die Halterungselemente auf das Werkstück auszuübenden Kraft entspricht.
  11. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Strömungssteuereinheit zumindest einen Kolbenantriebsaufbau aufweist, welcher einen Fluidtreibkolben aufweist, der entweder in dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid oder einer Antriebseinheit angeordnet ist, um den Treibkolben des Haltefluids in dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid gleiten zu lassen.
  12. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 11, wobei der Treibkolben des Haltefluids zumindest einen schwebend gelagerten (frei fliegenden) Kolben aufweist.
  13. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 12, wobei die Antriebseinheit eine positive Druckquelle aufweist, die im Betrieb in Fluidverbindung mit dem zumindest einen Reservoir des Haltefluids an einer Position in Verbindung steht, die bezüglich des Treibkolbens für das Haltefluid der Fluidverbindung zwischen dem entsprechenden zumindest einen Reservoir für das Haltefluid oder dem zumindest einen Verteiler für das Haltefluid verbunden ist, um den Treibkolben für das Haltefluid gleitend zu bewegen, damit er Haltefluid aus dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid in den zumindest einen Verteiler für Haltefluid verschiebt und um dadurch die Halterungselemente auszufahren.
  14. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 13, wobei die positive Druckquelle eine pneumatische Druckquelle aufweist.
  15. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 13 oder 14, wobei die Antriebseinheit eine Quelle für negativen Druck aufweist, die mit dem jeweiligen zumindest einen Reservoir für das Haltefluid an einer Stelle bezüglich des Treibkolbens für das Haltefluid in Verbindung steht, die der Fluidverbindung zwischen dem zumindest einen Reservoir für das Haltefluid und dem zumindest einen Verteiler für das Haltefluid gegenüberliegt, um den Treibkolben für das Haltefluid gleitend zu bewegen, damit er das Haltefluid von dem zumindest einen Verteiler für das Haltefluid in das entsprechende, zumindest eine Reservoir für das Haltefluid verschiebt, und dadurch die Halterungselemente zurückzieht.
  16. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 15, wobei die Quelle für negativen Druck eine Vakuumquelle aufweist.
  17. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 11, wobei die Antriebseinheit einen Hydraulikzylinder aufweist, der mit dem Treibkolben für das Haltefluid über eine Verbindungsstange in Verbindung steht, um die Verbindungsstange wahlweise in einer ersten Richtung anzutreiben, um Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für das Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für das Haltefluid zu verschieben, um dadurch die Halterungselemente auszufahren, und in einer zweiten, entgegengesetzten Richtung anzutreiben, um das Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für das Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für das Haltefluid zu verschieben, um dadurch die Halterungselemente zurückzuziehen.
  18. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 11, wobei die Antriebseinheit einen Pneumatikzylinder aufweist, der mit dem Treibkolben für das Haltefluid über eine Verbindungsstange verbunden ist, um so die Verbindungsstange wahlweise in einer ersten Richtung anzutreiben, um Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für das Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für das Haltefluid zu verschieben und dadurch die Halterungselemente auszufahren, und in einer zweiten, entgegengesetzten Richtung anzutreiben, um das Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für das Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für das Haltefluid zu verschieben und dadurch die Halterungselemente zurückzuziehen.
  19. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 18, wobei der Pneumatikzylinder pneumatische Anschlüsse an entgegengesetzten Enden aufweist, um zu ermöglichen, daß die Verbindungsstange bei Aufbringen eines pneumatischen Druckes auf den Kolben wahlweise in entgegengesetzten Richtungen angetrieben wird, und die Strömungssteuereinheit eine erste pneumatische Druckquelle aufweist, die so betreibbar ist, daß sie in Fluidverbindung zu einem Fluidanschluß des Pneumatikzylinders steht, um den Treibkolben für das Haltefluid in der ersten Richtung zu verschieben, um Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für das Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für das Haltefluid zu verschieben und dadurch die Halterungselemente auszufahren, und eine zweite pneumatische Druckquelle aufweist, die wirksam mit dem anderen Fluidanschluß des Pneumatikzylinders verbunden ist, um den Treibkolben für das Haltefluid in der anderen, zweiten Richtung gleitend zu bewegen, um so Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für das Haltefluid zu verschieben und dadurch die Halterungselemente zurückzuziehen.
  20. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 18 oder 19, wobei der Pneumatikzylinder eine Klammer aufweist, die zwischen einem ersten, festgeklemmten Zustand, in welchem die Klammer die Verbindungsstange einklemmt, um einen Betrieb des Pneumatikzylinders zu verhindern, und einem zweiten, offenen Zustand betätigbar ist, in welchem die Verbindungsstange frei bewegbar und der Pneumatikzylinder betriebsbereit ist.
  21. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 20, wobei die Klammer eine pneumatisch betätigte Klammer ist, die normalerweise in dem festgeklemmten Zustand ist und die bei Aufbringen eines pneumatischen Betätigungsdrucks darauf in den offenen Zustand bringbar ist.
  22. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 11 bis 21, wobei die Antriebseinheit so ausgelegt ist, daß sie einen vorbestimmbaren Druck auf das Haltefluid ausübt, welcher einer Kraft entspricht, die durch die Halterungselemente auf das Werkstück ausgeübt werden soll.
  23. Halterungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22, wobei die Strömungssteuereinheit zumindest eine Ventileinheit aufweist, die zumindest eines des zumindest einen Reservoirs für das Haltefluid und zumindest einen des zumindest einen Verteilers für Haltefluid in wirksamer Fluidverbindung anschließt.
  24. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 22, wobei das Hauptteil eine Mehrzahl von Reihen von Zylinderbohrungen und einen Verteiler für Haltefluid aufweist, welcher in Fluidverbindung zu jenen steht.
  25. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 22, wobei das Hauptteil eine Mehrzahl von Reihen von Zylinderbohrungen und eine Mehrzahl von Verteilern für Haltefluid aufweist, die jeweils in Fluidverbindung zu einer Mehrzahl der Reihen von Zylinderbohrungen stehen.
  26. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 22, wobei das Hauptteil eine Mehrzahl von Reihen von Zylinderbohrungen und eine Mehrzahl von Verteilern für Haltefluid aufweist, die jeweils in Fluidverbindung zu einer entsprechenden der Reihen von Zylinderbohrungen stehen.
  27. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 24, mit: einem Reservoir für Haltefluid, welches in wirksamer Fließverbindung zu dem einen Verteiler für Haltefluid steht.
  28. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 25 oder 26, mit: einem Reservoir für Haltefluid, welches in wirksamer Fluidverbindung mit den Verteilern für Haltefluid steht.
  29. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 25 oder 26, mit: einer Mehrzahl von Reservoirs für Haltefluid, die jeweils mit einem entsprechenden der Verteiler für Haltefluid verbunden sind.
  30. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 27, wobei die Strömungssteuereinheit eine Ventileinheit aufweist, die eine wirksame Fluidverbindung des einen Reservoirs für Haltefluid und des einen Verteilers für Haltefluid herstellt.
  31. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 28, wobei die Strömungssteuereinheit eine Ventileinheit aufweist, welche eine wirksame Fluidverbindung zwischen dem einen Reservoir für Haltefluid und jedem Verteiler für Haltefluid herstellt.
  32. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 28, wobei die Strömungssteuereinheit eine Mehrzahl von Ventileinheiten aufweist, die jeweils eine wirksame Fluidverbindung des einen Reservoirs für Haltefluid mit einem entsprechenden der Verteiler für Haltefluid herstellen.
  33. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 29, wobei die Strömungssteuereinheit eine Mehrzahl von Ventileinheiten aufweist, die jeweils eine wirksame Fluidverbindung zwischen entsprechenden der Reservoirs für Haltefluid und der Verteiler für Haltefluid herstellen.
  34. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 23, wobei die bzw. jede Ventileinheit ein druckempfindliches Absperrventil aufweist bzw. aufweisen, welches bzw. welche so ausgestaltet sind, daß sie automatisch schließen und die Verschiebung von Haltefluid zwischen dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid und dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid verhindern, wenn der durch das Haltefluid ausgeübte Druck einen vorbestimmten Wert überschreitet.
  35. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 34, wobei das Abschaltventil einen Kolbenkörper aufweist, der einen ersten Anschluß umfaßt, welcher in wirksamer Fluidverbindung zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid steht, und einen zweiten Anschluß umfaßt, der in Fluidverbindung zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid steht, wobei die Kolbeneinheit in dem Kolbenkorpus gleitbar zwischen einer ersten, offenen Position angeordnet ist, in welcher eine Fluidverbindung zwischen den ersten und zweiten Anschlüssen bereitgestellt wird, und einer zweiten, geschlossenen Position gleitbar angeordnet ist, in welcher keine Fluidverbindung zwischen den ersten und zweiten Anschlüssen bereitgestellt wird, wobei ein Vorspannelement für das im Normalfall Vorspannen einer Kolbeneinheit in die offene Position vorgesehen ist, mit einer Vorspannkraft, die derart ist, daß die Kolbeneinheit die geschlossene Position einnimmt, wenn der durch das Haltefluid ausgeübte Druck einen vorbestimmten Wert überschreitet, und mit einer Membrandichtung, welche die Kolbeneinheit mit dem Kolbenkorpus dicht abschließend verbindet.
  36. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 25, wobei die Kolbeneinheit einen Kolben aufweist mit einer Aussparung bzw. Kavität und zumindest zwei Sätzen von radialen Bohrungen, die in Fluidverbindung mit der Aussparung stehen und derart angeordnet sind, daß sie eine Fluidverbindung zwischen den ersten und zweiten Anschlüssen durch die axiale Bohrung bereitstellen, wenn die Kolbeneinheit sich in der offenen Position befindet, und keine Fluidverbindung zwischen den ersten und zweiten Anschlüssen bereitstellen, wenn die Kolbeneinheit sich in der geschlossenen Position befindet.
  37. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 36, wobei die Aussparung in dem Kolben eine Hohlbohrung aufweist, die an einem Ende durch eine starre Kugel verschlossen ist.
  38. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 35 bis 37, wobei das Abschaltventil weiterhin eine Einstellschraube aufweist, um eine Einstellung der Vorspannkraft des Vorspannelementes zu ermöglichen.
  39. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 23, wobei die oder jede Ventileinheit ein Ventil aufweist, welches das entsprechende, zumindest eine Reservoir für Haltefluid und den entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid verbindet, um den Strom von Haltefluid zwischen diesen zu steuern, und die Strömungssteuereinheit weiterhin einen Drucksensor aufweist, der in Fluidverbindung zu dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid steht, um den durch das Haltefluid ausgeübten Druck zu erfassen, und wobei eine Steuerung wirksam in Fluidverbindung mit dem Drucksensor und dem Ventil steht, um das Ventil zu schließen, wenn der durch das Haltefluid ausgeübte Druck einen vorbestimmten Wert überschreitet.
  40. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 23, wobei die oder jede Ventileinheit erste und zweite Ventile aufweist, die parallel angeordnet sind und das entsprechende, zumindest eine Reservoir für Haltefluid und den entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid) wirksam in Fluidverbindung bringen, wobei das erste Ventil ein Einwege-Rückschlagventil ist, welches dafür ausgestaltet ist, einen Strom von Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu erlauben, und das zweite Ventil so betreibbar ist, daß es eine Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid herstellt, um einen Strom von Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu ermöglichen.
  41. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 40, wobei das zweite Ventil ein pneumatisch betätigtes Ventil ist.
  42. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 41, wobei die Strömungssteuereinheit eine pneumatische Druckquelle aufweist, die in wirksamer Fluidverbindung mit dem zweiten Ventil steht, um dasselbe zu betätigen und dadurch die Stützelemente bzw. Halterungselemente auszufahren.
  43. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 18, wobei der pneumatische Zylinder pneumatische Anschlüsse an seinen entgegengesetzten Enden aufweist, um zu ermöglichen, daß die Verbindungsstange bei Aufbringen eines pneumatischen Drucks in entgegengesetzte Richtungen angetrieben werden kann, wobei die Strömungssteuereinheit zumindest eine Ventileinheit aufweist, die eine wirksame Fluidverbindung von zumindest einem Reservoir für Haltefluid und zumindest einem Verteiler für Haltefluid herstellt, wobei die oder jede Ventileinheit erste und zweite Ventile umfaßt, die parallel zueinander angeordnet sind und eine wirksame Fluidverbindung zwischen dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid und dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid herstellen, wobei das erste Ventil ein Einwege-Rückschlagventil ist, welches so ausgestaltet ist, daß es eine Strömung von Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid erlaubt, und das zweite Ventil ein pneumatisch betätigtes Ventil ist, welches so betreibbar ist, daß es eine Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid mit dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid herstellt, um einen Strom von Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu ermöglichen, wobei eine erste pneumatische Druckquelle in wirksamer Fluidverbindung mit dem Fluidanschluß des pneumatischen Zylinders steht, um den Treibkolben für Haltefluid gleitend zu bewegen, damit er Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid verschiebt und dadurch die Halterungs- bzw. Stützelemente ausfährt, und eine zweite pneumatische Druckquelle wirksam sowohl mit dem anderen Fluidanschluß des Pneumatikzylinders als auch mit dem zweiten Ventil verbunden ist, um gleichzeitig das zweite Ventil zu betätigen, um eine Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid mit dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid herzustellen und den Treibkolben für Haltefluid gleitend zu bewegen, damit dieser Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid verschiebt und dadurch die Halterungselemente zurückzieht.
  44. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 43, wobei das Hauptteil zumindest einen Verteiler für Rückkehr- bzw. Rückholfluid umfaßt, welcher eine Fluidverbindung der Zylinderbohrungen bildet, wobei die Zylinderbohrungen an einem Ende mit dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Zufuhrfluid und an einem anderen Ende mit dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid verbunden sind, und wobei das Hauptteil weiterhin aufweist: zumindest eine Einheit zur Versorgung mit positivem Druck, die in wirksamer Fluidverbindung mit zumindest einem der zumindest aus einem bestehenden Verteiler für Rückkehrfluid verbunden ist, um die Halterungselemente in eine zurückgezogene Position zurückzubewegen.
  45. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 44, wobei die oder jede positive Druckversorgungseinheit eine Quelle für positiven Druck aufweist.
  46. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 45, wobei die Quelle für positiven Druck eine pneumatische Druckquelle aufweist.
  47. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 44, wobei die oder jede Zufuhreinheit für positiven Druck ein Reservoir für Rückkehrfluid aufweist, um ein zurückkehrendes Fluid aufzunehmen, sowie einen Treibkolben für Rückkehrfluid, der gleitbar in dem Reservoir für Rückkehrfluid angeordnet ist, und eine Quelle für positiven Druck, welche mit dem Reservoir für Rückkehrfluid an einer Stelle in Fluidverbindung steht, die bezüglich des Treibkolbens für das Rückkehrfluid gegenüber der Verbindung zwischen dem Reservoir für Rückkehrfluid und dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid angeordnet ist.
  48. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 47, wobei der Treibkolben für Rückkehrfluid einen fliegenden bzw. frei bewegbaren Kolben aufweist.
  49. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 47 oder 48, wobei die Quelle für positiven Druck eine pneumatische Druckquelle aufweist.
  50. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 23, wobei das Hauptteil zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid aufweist, welcher die Zylinderbohrungen miteinander verbindet, wobei die Zylinderbohrungen an einem Ende mit dem entsprechenden, zumindest einen Verteil für Zufuhrfluid und an einem anderen Ende mit dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid in Fluidverbindung stehen, und die Stromsteuereinheit zumindest eine Ventileinheit umfaßt, die eine wirksame Fluidverbindung zumindest eines Reservoirs für Haltefluid und zumindest einen Verteiler für Haltefluid bildet, die oder jede Ventileinheit erste und zweite Ventile umfaßt, die parallel angeordnet sind und eine wirksame Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Reservoirs für Haltefluid und des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid bildet, wobei das erste Ventil ein Einwege-Rückschlagventil ist, welches so ausgestaltet ist, daß es einen Strom von Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid erlaubt und das zweite Ventil ein pneumatisch betätigtes Ventil ist, welches so betreibbar ist, daß es eine Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid mit dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid bildet, um zu ermöglichen, daß ein Strom von Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid fließt, wobei eine pneumatische Druckquelle wirksam in Fluidverbindung sowohl zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid als auch zu dem zweiten Ventil steht, um gleichzeitig das zweite Ventil zu betätigen, um den entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid mit dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu verbinden, und Rückkehrfluid in den entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid zu führen, um so die Halterungselemente zurückzuziehen und Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu verschieben.
  51. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 23, wobei das Hauptteil zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid umfaßt, welcher eine Fluidverbindung der Zylinderbohrungen bildet, wobei die Zylinderbohrungen an einem Ende mit dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Zufuhrfluid verbunden sind und an einem anderen Ende mit dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid verbunden sind, und welcher weiterhin aufweist: zumindest eine Versorgungseinheit für positiven Druck, die in wirksamer Fluidverbindung mit zumindest einem Verteiler für Rückkehrfluid steht, um die Halterungselemente zurückzuziehen, wobei die oder jede Versorgungseinheit für positiven Druck ein Reservoir für Rückkehrfluid aufweist, um ein Rückkehrfluid aufzunehmen, ein Treibkolben für Rückkehrfluid gleitbar in dem Reservoir für Rückkehrfluid angeordnet ist und eine Quelle für positiven pneumatischen Druck mit dem Reservoir für Rückkehrfluid an einer Stelle in Fluidverbindung steht, die bezüglich des Treibkolbens für Rückkehrfluid der Verbindung zwischen dem Reservoir für Rückkehrfluid und dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid gegenüberliegt, und wobei die Stromsteuereinheit zumindest eine Ventileinheit umfaßt, die im Betrieb zumindest ein Reservoir für Haltefluid und zumindest einen Verteiler für Haltefluid verbindet, wobei die oder jede Ventileinheit erste und zweite Ventile umfaßt, die parallel angeordnet sind und eine wirksame Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Reservoirs für Haltefluid und des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid bilden, wobei das erste Ventil ein Einwege-Rückschlagventil ist, welches dafür ausgelegt ist, einen Strom an Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir von Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid fließen zu lassen, und das zweite Ventil ein pneumatisch betätigtes Ventil ist, welches so betreibbar ist, daß es eine Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid mit dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid herstellt, um einen Strom von Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu ermöglichen, und wobei eine pneumatische Druckquelle in wirksamer Weise eine Fluidverbindung sowohl zu dem Reservoir für Rückkehrfluid als auch zu dem zweiten Ventil herstellt, um gleichzeitig das zweite Ventil zu betätigen, um eine Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid mit dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid herzustellen, und den Treibkolben für das Rückkehrfluid gleitend zu bewegen, um Rückkehrfluid aus dem Reservoir für Rückkehrfluid in den entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid zu verschieben, um so die Halterungselemente zurückzuziehen und Haltefluid von dem ent sprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem jeweiligen, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu verschieben.
  52. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 51, wobei das oder jedes Reservoir für Haltefluid eine Kavität in dem Hauptteil aufweist.
  53. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 52, wobei das oder jedes Reservoir für Haltefluid ein einstöckig an dem Hauptteil angebrachtes Rohr aufweist.
  54. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 53, wobei die Halterungselemente jeweils einen Kolben sowie eine Stange aufweisen, deren Durchmesser geringer ist als der des Kolbens und welche an dem Kolben befestigt ist.
  55. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 53, wobei die Halterungselemente jeweils eine Stange aufweisen.
  56. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 55, wobei das Hauptteil eine Mehrzahl von Zylinderhülsenaufbauten umfaßt, die in entsprechenden Zylinderbohrungen angeordnet sind und in welchen die entsprechenden Halterungselemente gleitbar angeordnet sind.
  57. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 56, wobei die Halterungselemente jeweils eine Endkappe aufweisen, die an einem Ende derselben befestigt ist.
  58. Halterungseinrichtung eines Werkzeuges nach einem der Ansprüche 1 bis 57, wobei das Hauptteil einen Hauptteilabschnitt aufweist, der eine Mehrzahl von Zylinderbohrungen umfaßt, wobei ein unterer Abschnitt an einer unteren Fläche des Hauptteilabschnittes befestigt ist und zumindest einen Kanal entlang einer oberen Fläche desselben umfaßt und wobei zumindest ein Auslaßloch in Fluidverbindung mit dem zumindest einen Kanal steht, wobei der zumindest eine Kanal den zumindest einen Verteiler für ein Zuführfluid definiert, und mit einem oberen Abschnitt, der an einer oberen Fläche des Hauptteilabschnittes montiert ist, wobei der obere Abschnitt eine Mehrzahl von Öffnungen aufweist, die mit den Zylinderbohrungen in dem Hauptteilabschnitt ausgerichtet sind und durch welche die entsprechenden Halterungselemente ausfahrbar sind.
  59. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 58, wobei das Hauptteil weiterhin eine Dichtung aufweist, die zwischen dem Hauptteilabschnitt und dem unteren Abschnitt angeordnet ist.
  60. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 59, wobei das Hauptteil zumindest ein Modul aufweist und welche weiterhin aufweist: ein Basisteil, auf welchem das Hauptteil montierbar ist.
  61. Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 60, wobei das Hauptteil eine Mehrzahl von Halterungsmodulen aufweist, die jeweils zumindest eine Reihe von Zylinderbohrungen aufweisen.
  62. Siebdruckmaschine, welche die Halterungseinrichtung eines Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 61 sowie eine gedruckte Schaltkreisplatine aufweist, die in der Nähe der Oberfläche des Hauptteils desselben angeordnet sind.
  63. Bestückungsmaschine, welche die Halterungseinrichtung des Werkzeugs nach einem der Ansprüche 1 bis 61 aufweist, sowie eine gedruckte Schaltkreisplatine, die in der Nähe der Oberfläche des Hauptteils derselben angeordnet ist.
  64. Verfahren zum Haltern von Werkstücken, deren untere Flächen Elemente bzw. Merkmale unterschiedlicher Höhen haben, wobei das Verfahren die Schritte aufweist: Bereitstellen einer Halterungseinrichtung eines Werkzeugs, welche ein Hauptteil mit einer Mehrzahl von Zylinderbohrungen, zumindest einen Verteiler für Haltefluid, der in Fluidverbindung mit den Zylinderbohrungen steht, und eine Oberfläche aufweist, über welche ein Werkstück im Gebrauch gehaltert wird, mit einer Mehrzahl von Halterungselementen zum Haltern des Werkstückes, wobei die Halterungselemente gleitbar in entsprechenden Zylinderbohrungen angeordnet sind und wobei zumindest ein Reservoir für Haltefluid Haltefluid enthält und wirksam in Fluidverbindung mit dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid steht, Verschieben von Haltefluid zwischen dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid und dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid in der Weise, daß die Halterungselemente eine Halterungsposition in passendem Kontakt mit einer unteren Fläche des Werkstückes einnehmen, wobei zumindest einzelne der Halterungselemente in der Weise bewegt werden, daß zumindest einzelne der Halterungselemente aus einer Position, die nicht in passendem Kontakt mit der unteren Fläche des Werkstücks steht, die Position in passendem Kontakt mit der unteren Fläche des Werkstücks einnehmen, in denen einzelne der Halterungselemente unterschiedliche Höhen gegenüber anderen der Halterungselemente einnehmen entsprechend den Eigenschaften bzw. Merkmalen der unteren Fläche des Werkstücks, und Verriegeln der Halterungselemente, wenn sie sich in der Halterungsposition befinden.
  65. Verfahren nach Anspruch 64, wobei der Schritt des Verschiebens des Haltefluids den Schritt aufweist: Verschieben von Haltefluid von dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem zumindest einen Verteiler von Haltefluid in der Weise, daß die Halterungselemente ausgefahren werden, um die Halterungsposition einzunehmen, in der sie sich in passendem Kontakt mit dem Werkstück befinden, wobei zumindest einzelne der Halterungselemente entsprechend den Eigenschaften bzw. Merkmalen der unteren Fläche des Werkstücks auf unterschiedliche Höhen angehoben werden.
  66. Verfahren nach Anspruch 64, wobei der Schritt des Verschiebens von Haltefluid die Schritte aufweist: Verschieben von Haltefluid von dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem zumindest einen Verteiler von Haltefluid in der Weise, daß die Halterungselemente in eine ausgestreckte Position ausgefahren werden, und nachfolgendes Zulassen einer Verschiebung von Haltefluid von dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid in der Weise, daß zumindest einzelne der Halterungselemente abgesenkt werden, um die Halterungsposition in einem passenden Kontakt mit dem Werkstück einzunehmen, wobei zumindest einzelne der Halterungselemente in Übereinstimmung mit Merkmalen der unteren Fläche des Werkstücks auf unterschiedliche Höhen abgesenkt werden.
  67. Verfahren nach einem der Ansprüche 64 bis 66, wobei die Verschiebung von Haltefluid von dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem zumindest einen Verteiler von Haltefluid für das Ausfahren der Halterungselemente durch Aufbringen eines positiven pneumatischen Druckes auf das zumindest eine Reservoir für Haltefluid bewirkt wird.
  68. Verfahren nach Anspruch 67, wobei die Verschiebung von Haltefluid von dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem zumindest einen Reservoir für Haltefluid für das Zurückziehen der Halterungselemente bewirkt wird durch Anlegen eines Vakuums an das zumindest eine Reservoir für Haltefluid.
  69. Verfahren nach Anspruch 67 oder 68, wobei der positive pneumatische Druck einen vorbestimmbaren Druck auf das Haltefluid ausübt, welcher einer Kraft entspricht, die durch die Halterungselemente auf das Werkstück ausgeübt werden soll.
  70. Verfahren nach einem der Ansprüche 64 bis 66, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs weiterhin zumindest einen Treibkolbenaufbau aufweist, welcher einen Treibkolben für das Haltefluid aufweist, der gleitbar in dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid angeordnet ist.
  71. Verfahren nach Anspruch 70, wobei der Treibkolben für das Haltefluid einen fliegend bzw. frei beweglich gelagerten Kolben aufweist.
  72. Verfahren nach Anspruch 71, wobei die Verschiebung von Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid für das Ausfahren der Halterungselemente durch Aufbringen eines positiven Druckes auf das entsprechende, zumindest eine Reservoir für Haltefluid an einer Stelle bewirkt wird, die bezüglich des Treibkolbens für das Haltefluid gegenüber der Fluidverbindung zwischen dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid und dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid liegt.
  73. Verfahren nach Anspruch 72, wobei der positive Druck einen pneumatischen Druck aufweist.
  74. Verfahren nach Anspruch 72 oder 73, wobei die Verschiebung von Haltefluid von dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid für das Zurückziehen der Halterungselemente bewirkt wird durch Anlegen eines negativen Druckes an dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid an einer Stelle, die bezüglich des Treibkolbens für Haltefluid gegenüber der Fluidverbindung zwischen dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid und dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid liegt.
  75. Verfahren nach Anspruch 74, wobei der negative Druck ein Vakuum aufweist.
  76. Verfahren nach Anspruch 70, wobei die Verschiebung von Haltefluid zwischen dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid und dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid durch Betätigung eines Hydraulikzylinders bewirkt wird, der mit dem Treibkolben für Haltefluid über eine Verbindungsstange verbunden ist, um so die Verbindungsstange wahlweise in einer ersten Richtung anzutreiben, um Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu verschieben, um die Halterungselemente auszufahren, und in einer zweiten, entgegengesetzten Richtung, um Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu verschieben, um die Halterungselemente zurückzuziehen.
  77. Verfahren nach Anspruch 70, wobei die Verschiebung von Haltefluid zwischen dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid und dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid bewirkt wird durch Betätigung eines Pneumatikzylinders, der über eine Verbindungsstange mit dem Treibkolben für Haltefluid verbunden ist, in der Weise, daß die Verbindungsstange wahlweise in einer ersten Richtung angetrieben wird, um Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu verschieben, um die Halterungselemente auszufahren, und in einer zweiten entgegengesetzten Richtung, um Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu verschieben, um die Halterungselemente zurückzuziehen.
  78. Verfahren nach einem der Ansprüche 70 bis 77, wobei der Treibkolbenaufbau in der Weise betreibbar ist, daß er einen vorbestimmbaren Druck auf das Haltefluid ausübt, welcher einer Kraft entspricht, die von den Halterungselementen auf das Werkstück ausgeübt werden soll.
  79. Verfahren nach einem der Ansprüche 64 bis 78, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs weiterhin zumindest eine Ventileinheit aufweist, die eine Fluidverbindung zumindest eines Reservoirs für Haltefluid mit zumindest einem Verteiler für Haltefluid herstellt.
  80. Verfahren nach einem der Ansprüche 64 bis 78, wobei das Hauptteil eine Mehrzahl von Reihen von Zylinderbohrungen und einen damit in Fluidverbindung stehenden Verteiler für Haltefluid umfaßt.
  81. Verfahren nach einem der Ansprüche 64 bis 78, wobei das Hauptteil eine Mehrzahl von Reihen von Zylinderbohrungen und eine Mehrzahl von Verteilern für Haltefluid umfaßt, die jeweils in Fluidverbindung mit einer Mehrzahl von Reihen von Zylinderbohrungen stehen.
  82. Verfahren nach einem der Ansprüche 64 bis 78, wobei das Hauptteil eine Mehrzahl von Reihen von Zylinderbohrungen und eine Mehrzahl von Verteilern für Haltefluid umfaßt, welche jeweils in Fluidverbindung zu einer entsprechenden der Reihen von Zylinderbohrungen stehen.
  83. Verfahren nach Anspruch 80, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs weiterhin ein Reservoir für Haltefluid aufweist, welches in wirksamer Fluidverbindung zu dem einen Verteiler für Haltefluid steht.
  84. Verfahren nach Anspruch 81 oder 82, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs weiterhin ein Reservoir für Haltefluid aufweist, welches wirksam in Fluidverbindung zu den Verteilern für Haltefluid steht.
  85. Verfahren nach Anspruch 81 oder 82, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs weiterhin eine Mehrzahl von Reservoirs für Haltefluid aufweist, welche jeweils in Fluidverbindung zu einem entsprechenden der Verteiler für Haltefluid stehen.
  86. Verfahren nach Anspruch 83, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs eine Ventileinheit aufweist, die das eine Reservoir für Haltefluid und den einen Verteiler für Haltefluid wirksam in Fluidverbindung bringt.
  87. Verfahren nach Anspruch 84, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs eine Ventileinheit aufweist, welche das eine Reservoir für Haltefluid und jeden der Verteiler für Haltefluid wirksam in Fluidverbindung bringt.
  88. Verfahren nach Anspruch 84, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs eine Mehrzahl von Ventileinheiten aufweist, welche jeweils das eine Reservoir für Haltefluid mit einem entsprechenden der Verteiler für das Haltefluid wirksam in Fluidverbindung bringt.
  89. Verfahren nach Anspruch 85, wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeugs eine Mehrzahl von Ventileinheiten aufweist, die jeweils entsprechende der Reservoirs für Haltefluid und der Verteiler für Haltefluid wirksam in Fluidverbindung miteinander bringen.
  90. Verfahren nach Anspruch 79, wobei die oder jede Ventileinheit ein druckempfindliches Abschaltventil aufweist, welches automatisch schließt und eine Verschiebung von Haltefluid zwischen dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid und dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid verhindert, wenn der durch das Haltefluid ausgeübte Druck einen vorbestimmten Wert überschreitet.
  91. Verfahren nach Anspruch 79, wobei die oder jede Ventileinheit ein Ventil umfaßt, welches das entsprechende, zumindest eine Reservoir für Haltefluid und den entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid in Fluidverbindung miteinander bringt, um den Strom von Haltefluid dazwischen zu steuern, und wobei die Halterungseinrichtung des Werkzeuges weiterhin einen Drucksensor aufweist, der in Fluidverbindung mit dem zumindest einen Verteiler für Haltefluid steht, um den durch das Haltefluid ausgeübten Druck zu erfassen, sowie eine Steuerung, die in wirksamer Fluidverbindung zu dem Drucksensor und dem Ventil steht, wobei das Ventil geschlossen wird, wenn der durch das Haltefluid ausgeübte Druck einen vorbestimmten Wert überschreitet.
  92. Verfahren nach Anspruch 79, wobei die oder jede Ventileinheit erste und zweite Ventile umfaßt, die parallel angeordnet sind und die wirksam eine Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Reservoirs für Haltefluid und des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid herstellen, wobei das erste Ventil ein Einwege-Rückschlagventil ist, welches einen Strom von Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zuläßt, und das zweite Ventil so betreibbar ist, daß es eine Fluidverbindung des entsprechenden, zumindest einen Verteilers für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid herstellt, und dabei den Strom von Haltefluid von dem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Haltefluid zu dem entsprechenden, zumindest einen Reservoir für Haltefluid zuläßt.
  93. Verfahren nach einem der Ansprüche 64 bis 92, wobei das Hauptteil zumindest einen Verteiler für Rückkehrfluid aufweist, welcher eine Fluidverbindung der Zylinderbohrungen bildet, wobei die Zylinderbohrungen an einem Ende in Fluidverbindung mit einem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Zuführfluid und an einem anderen Ende mit einem entsprechenden, zumindest einen Verteiler für Rückholfluid hat, und wobei eine Verschiebung von Haltefluid von zumindest einem Verteiler für Zufuhrfluid für das Zurückholen der Halterungselemente in eine zurückgezogene Position bewirkt wird durch Anbringen eines positiven Druckes auf zumindest einen Verteiler für das Rückholfluid.
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