DE60006396T2

DE60006396T2 - Tröpfchenaufzeichnungsverfahren und dazugehöriges gerät

Info

Publication number: DE60006396T2
Application number: DE60006396T
Authority: DE
Inventors: Robert Harvey; Paul Raymond Royston DRURY
Original assignee: Xaar Technology Ltd
Current assignee: Xaar Technology Ltd
Priority date: 1999-07-30
Filing date: 2000-07-28
Publication date: 2004-09-09
Anticipated expiration: 2020-07-29
Also published as: GB9917996D0; JP4467858B2; DE60006396D1; ES2204665T3; ATE253461T1; EP1200266B1; AU6300200A; CN1367737A; EP1200266A1; WO2001008888A1; US6705704B2; US20030016256A1; JP2010030314A; CN1170682C; JP2003505281A

Description

Diese Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zur Tröpfchenablagerung, bei denen Tröpfchen aus einer Kammer durch Änderung des Kammervolumens aus einer Düse auf Anforderung ausgespritzt werden.
Die Änderung des Kammervolumens wird vorzugsweise durch piezoelektrische Aktuatoren bewirkt, z. B. durch Biegen des piezoelektrischen Materials, das die Kammer begrenzt. Eine derartige Anordnung ist in unserer früheren Spezifikation EP 0 277 703 A gezeigt. Derartige Vorrichtungen sind gekennzeichnet durch lang gestreckte, Tinte enthaltende Kammern mit Düsen in den Stirnwänden der Kammern (die als eine Konfiguration "mit stirnseitigem Austritt" bekannt ist).
Bei diesen Vorrichtungen besteht ein Problem darin, dass sich die Tinte in Perioden des Nichtgebrauuchs in den Kammern verschlechtern kann, was zu einer Ansammlung von festen Partikeln am Ende der Kammer führt, die die Düse verstopfen können. Das gleiche Problem kann auftauchen, wenngleich in einem geringeren Umfang, wenn die Düse sich in einer der langen Wände der Kammer befindet, z. B. in ihrer Mitte (d. h. eine Konfiguration "mit seitlichem Austritt"). Die vorliegende Erfindung ist in ihren bevorzugten Ausführungsformen auf die Lösung dieses Problems durch das Schaffen einer Reinigungsströmung durch die Düse gerichtet.
In einem Aspekt schafft die Erfindung ein Verfahren, das das Verändern des Flüssigkeitsdrucks in einer lang gestreckten Kammer durch das Verändern des Volumens der Kammer umfasst, um Tröpfchen durch eine Düse an einem Ende hiervon für die Ablagerung auszuspritzen, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren den Schritt umfasst, bei dem in der Kammer eine Flüssigkeitsströmung hervorgerufen wird, die jene übersteigt, die zum Nachfüllen der ausgespritzten Tröpfchen erforderlich wäre, wobei die Strömung das innere Ende der Düse passiert.
In einem weiteren Aspekt schafft die Erfindung eine Ablagerungsvorrichtung mit einer lang gestreckten Kammer, die an einem Ende eine Düse besitzt, durch die im Betrieb Flüssigkeitströpfchen von der Kammer für eine Ablagerung ausgespritzt werden, und Mitteln zum Verändern des Flüssigkeitsdrucks in der Kammer, um ein Ausspritzen der Tröpfchen zu bewirken, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung Mittel umfasst, die eine Flüssigkeitsströmung in der Kammer hervorrufen, die jene übersteigt, die zum Nachfüllen der ausgespritzten Tröpfchen erforderlich wäre, wobei die Strömung das innere Ende der Düse passiert.
In einem weiteren Aspekt schafft die Erfindung eine Tröpfchenablagerungsvorrichtung mit einer lang gestreckten Kammer, die eine Düse besitzt, durch die im Betrieb Flüssigkeitströpfchen von der Kammer für eine Ablagerung ausgespritzt werden, und Mitteln zum Verändern des Flüssigkeitsdrucks in der Kammer, um ein Ausspritzen der Tröpfchen zu bewirken, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung Mittel umfasst, die eine Flüssigkeitsströmung in der Kammer hervorrufen, die jene übersteigt, die zum Nachfüllen der ausgespritzten Tröpfchen erforderlich wäre, wobei die Strömung das innere Ende der Düse passiert und die Kammer eine longitudinale Barriere aufweist, um die sich die Flüssigkeitsströmung an einem Ende der Kammer bewegt.
Die Düse kann sich in einer Stirnwand der Kammer oder in einer longitudinalen Wand davon befinden.
Die Kammer kann in Längsrichtung durch eine Barriere unterteilt sein, wobei die Flüssigkeitsströmung auf einer Seite der Barriere eine bestimmte Richtung besitzt und auf der anderen Seite eine hierzu entgegengesetzte Richtung besitzt.
In einer Ausführungsform mit seitlichem Austritt kann sich an einem Ende der lang gestreckten Kammer eine Plenumkammer befinden, durch die die Flüssigkeit von einer Seite der Barriere zur anderen strömt, wobei die Plenumkammer so beschaffen ist, dass Druckwellen in der in der lang gestreckten Kammer befindlichen Flüssigkeit durch die in der Plenumkammer befindliche Flüssigkeit reflektiert werden.
Wenigstens eine Wand der Kammer kann aus piezoelektrischem Material gebildet sein und kann Elektroden umfassen, die das Material im Schermodus verformen, wenn an sie eine Potentialdifferenz angelegt wird.
In einem weiteren Aspekt schafft die Erfindung eine Tröpfchenablagerungsvorrichtung mit einer lang gestreckten Kammer, die an einem Ende eine Düse besitzt, durch die im Betrieb Flüssigkeitströpfchen von der Kammer für eine Ablagerung ausgespritzt werden, wobei wenigstens eine longitudinale Wand der Kammer aus piezoelektrischem Material gebildet ist, und mit Elektrodenmitteln, die an das piezoelektrische Material eine Potentialdifferenz anlegen, um es im Schermodus zu verformen und dadurch ein Ausspritzen der Tröpfchen zu bewirken, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine Barriere umfasst, die sich in Längsrichtung der Kammer erstreckt, wodurch darin mehrere Strömungsdurchlässe definiert sind, wobei ein Ende der Barriere von der Düse beabstandet ist, wodurch eine Flüssigkeitsströmung von einem Strömungsudurchlass zum anderen das innere Ende der Düse passiert.
Die Barriere kann sich im Allgemeinen planparallel zu der longitudinalen Wand erstrecken.
Alternativ kann die longitudinale Wand in Längsrichtung durch die Barriere unterteilt sein.
Das piezoelektrische Material kann entgegengesetzt gepolte Bereiche umfassen, einen auf jeder Seite der Barriere, wobei das Anlegen der Potentialdifferenz an das Material dieses in eine Chevron-Form verformt.
Alternativ kann das piezoelektrische Material auf jeder Seite der Baumere entgegengesetzt gepolte Bereiche umfassen, wobei das Anlegen der Potentialdifferenz an das Material diese beiderseits der Barriere in eine Chevron-Form verformt.
Die Barriere kann die Achse der Düse umfassen.
Die Barriere kann eine longitudinale Wand aus piezoelektrischem Material umfassen, die auf einer der Flüssigkeit ausgesetzten Seite der Wand eine erste Elektrode auf Massepotential und auf der anderen Seite der Wand, die nicht der Flüssigkeit ausgesetzt ist, eine zweite Elektrode besitzt.
Somit kann die Barriere zwei der Wände umfassen, wovon jede auf einer Seite der Flüssigkeit ausgesetzt ist, wobei die jeweils anderen Seiten jeder Wand voneinander beabstandet und einander zugewandt sind.
Es kann eine Lochplatte vorhanden sein, die zwischen einem Ende der Barriere und einer Struktur, die eine Stirnwand der Kammer bildet, angeordnet ist, worin die Düse definiert ist.
Die Erfindung wird nun lediglich beispielhaft unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben, in der:
1 einen Druckkopf gemäß der Erfindung zeigt;
2A, 2B und 2C einen Längsschnitt, einen Querschnitt und eine perspektivische Ansicht eines Teils des Druckkopfes gemäß der Erfindung zeigen;
3 eine weitere Ausführungsform der Erfindung zeigt;
4 einen Teil des Druckkopfes von 1 zeigt;
5 und 6 weitere Ausführungsformen der Erfindung zeigen;
7 eine Variation der Ausführungsform von 2 zeigt.
In 1 umfasst ein Drucker (soweit das für diese Erfindung relevant ist) einen Matrixdruckkopf 10 mit Seitenbreite, der mehrere Druckkopfmodule 12 enthält, wovon jedes 64 Kanäle umfasst, die in einer Düse 14 enden. Papier oder ein anderes Druckmedium 16 bewegt sich am Druckkopf vorbei, wie durch Pfeile 18 angegeben ist, und durch die Ablagerung von Tröpfchen von der Düse in einer programmierten Folge wird ein Druckbild aus Punkten erzeugt. Die Module 12 sind relativ zu Papierzufuhrrichtung angewinkelt, um die Druckauflösung zu erhöhen (um den Punktabstand zu verringern).
An Stelle einer Matrix mit Seitenbreite könnte eine kleinere Anzahl von Modulen 12 (oder nur ein einzelnes Modul) in Verbindung mit einem an sich bekannten geeigneten Verfahrmechanismus verwendet werden, der das Modul oder die Module quer über die Breite des Papiers hin und her bewegt. Es ist jedoch die Matrix mit Seitenbreite gezeigt, da das Problem der Sauberhaltung der Düsen bei einer Matrix mit Seitenbreite, die eine große Anzahl von Düsen aufweist, besonders wichtig ist. Tinte wird, wie durch einen Pfeil 20 angegeben ist, von einem Verteilerbehälter 22 bei einer Rate zugeführt, die größer ist als die, die für eine Ablagerung von Tröpfchen erforderlich ist, wird durch die Gravitation zum Zirkulieren durch den Druckkopf veranlasst, wie später beschrieben wird, und kehrt anschließend über einen Sammelbehälter oder über einen Sumpf und eine Pumpe 26 zu dem Verteilerbehälter 22 zurück. Der Druck, der durch den Verteilerbehälter zum Zirkulieren durch den Druckkopf geliefert wird, beträgt typischerweise 10 mm Wassersäule.
Bevor die Struktur der Druckkopfmodule 12 genau betrachtet wird, wird Bezug auf die 2A, 2B und 2C genommen, die die Erfindung schematisch veranschaulichen.
2A ist ein Längsschnitt durch einen typischen Druckkopf, der aus zwei Scheiben 30, 32 aus entgegengesetzt gepoltem piezoelektrischem Material, wie etwa Bleizirkonattitan (PZT) gebildet ist. Die Scheiben weisen parallele Kanäle 34 auf, die in sie gesägt sind, und sind einander zugewandt zusammengefügt, wobei die Kanäle übereinstimmen, um eine lang gestreckte Kammer 36 zu bilden. Zwischen den Scheiben befindet sich eine Platte aus Polyimid-Material 38, wie etwa UPILuEX (Handelsbezeichnung), die eine Barriere bildet, die die Kammer in zwei Strömungsdurchlässe teilt. Jede Scheibe besitzt typischerweise eine Dicke von 150 μm und die Platte 38 besitzt eine Dicke von 20 μm bis 50 μm. Eine Düsenplatte 40 ist über dem Ende jeder Kammer angeordnet, um diese zu schließen und eine entsprechende Düse 42 zu schaffen. Elektroden 44, 46 sind über und unter der Platte 38 auf jeder Seite der Kammern vorgesehen, um die Seitenwände (z. B. 48) der Kammern im Schermodus in eine Chevron-Form zu biegen, um das Volumen der Kammer zu verändern und ein Tröpfchen 49 mittels einer akustischen Druckwelle auszustoßen, wie in EP 0 277 703 A beschrieben ist.
In jeder Kammer 36 ist die Barriereplatte 38 an ihrer Kante 50, die der Düse am nächsten ist, ausgeschnitten, um einen Weg zu schaffen, damit Tinte längs des oberen Teils der Kammer zur Düse und längs des unteren Teils von der Düse weg strömen kann, wie durch Pfeile 52 angegeben ist, wobei die Strömung um das Ende der Barriere das innere Ende der Düse passiert und diese reinigt.
Es ist selbstverständlich, dass eine Barriere planparallel zur der die Elektroden tragenden Seitenwand 44 der Kammern, anstatt diese zu schneiden vorgesehen sein kann, wie in am Bezugszeichen 54 von 3 gezeigt ist.
4 ist eine Explosionsansicht eines der Druckkopfmodule 12. Zwei entgegengesetzt gepolte PZT-Scheiben 56, 58 mit gesägten parallelen Kanälen, die sich teilweise durch ihre Dicke erstrecken, sind Rücken an Rücken zusammengefügt, so dass die ungesägten Abschnitte 60, 62 eine Barriere zwischen den beiden Teilen einer Kammer, die durch Paare aus passenden, Rücken an Rücken angeordneten Kanälen gebildet ist, zu bilden. Elektroden sind in ähnlicher Weise zu den Elektroden 44, 46 von 2 in den akustisch aktiven Abschnitten der Kanäle vorgesehen, um die anteiligen Wellen abzulenken und Tröpfchen durch die Düse 14 gemäß bekannten Prinzipien auszustoßen. Zwischen den Enden der Scheiben 56, 58 und einer Platte 64, in der die Düsen 14 vorgesehen sind, ist eine Platte 66 sandwichartig eingesetzt, deren lang gestreckten Öffnungen definiert sind, um die Kanäle jedes Paars über das Ende der Barriere zu verbinden, die durch die ungesägten Abschnitte 60, 62 gebildet ist. Einlass- und Auslassverteiler 60 bzw. 70 sind so konfiguriert, dass sie Platten überdecken, um die offenen oberen Oberflächen jedes Kanals zu verschließen. Das zusammengefügte Modul ist in dem Druckkopf 10 von 2 zwischen den Einlass- und Auslass-Plenumkammern 74, 76 aufgenommen. Im Betrieb wird Tinte, die die durch die Düse ausgestoßene Tintenmenge übersteigt, in jeder Kammer durch die Scheibe 56 nach außen, über die inneren Flächen der Düse über die Öffnung 68 in der Platte 66 und zurück über die Scheibe 58 zur Zirkulation gebracht.
5 zeigt eine Modifikation des Moduls von 4. In dieser Ausführungsform sind die Scheiben 56, 58 jeweils durch zwei Paare von Scheiben 78, 80 ersetzt, die zueinander entgegengesetzt gepolt sind und mit einer Schicht 82 eines Haftfilms zwischen ihnen zusammengefügt sind. Die Kanäle 84 sind vollständig durch die Scheiben jedes Paars gesägt und die beiden Scheibenpaare sind aufeinander abgestimmt mit einer Trägerplatte 86 zusammengefügt. Die abgestimmten Kanalpaare bilden gemeinsam entsprechende Kammern 87, wobei eine Barriere durch die Trägerplatte 86, die sich in ihrer Längsrichtung erstreckt, gebildet ist und eine Zirkulation wie in 4 um das Ende der Platte über eine Lochplatte 66 erfolgt, wobei die Strömung durch Pfeile 52 angegeben ist. Die Barriere 86 ist wie in den bisher beschriebenen weiteren Ausführungsformen so ausgerichtet, dass sie die Achsen der Düsen 14 enthält. Die Abschnitte des entgegengesetzt gepolten piezoelektrischen Materials zwischen jedem Kanal sind auf jeder Seite mit (nicht gezeigten) Elektroden versehen, um beim Anlegen eines Antriebspotentials eine Verformung in eine Chevron-Form zu bewirken, wie in EP 0 277 703 A beschrieben ist.
6 zeigt die relevanten Teile einer weiteren Ausführungsform der Erfindung, bei der eine Strömung über die Fläche der Düse durch die Schaffung einer Tintenzirkulation um eine Barriere bewirkt wird, wobei Merkmale enthalten sind, die eine Korrosion der Elektroden verringern.
PZT-Scheiben 88, 89 sind gesägt und liegen mit den Vorderseiten aneinander an, um Kanäle in Dreiergruppen zu bilden. Elektroden sind an den Wänden 96, 98 zwischen den Kanälen vorgesehen, wobei sich die Masseelektroden in den Kanälen 90 und 94 und die Leitungselektrode im Kanal 92 befinden. Dieser Kanal wird mittels einer Maskenplatte 100 oder einer Hinterfüllung mit einer flexiblen Dichtungsmasse frei von Tinte gehalten. Dadurch sind nur die Elektroden, die mit der Tinte in Kontakt sind, auf Massepotential, wobei die auf Leitungspotential befindlichen Elektroden davon isoliert sind. Somit ist eine elektrolytische Korrosion zwischen den Elektroden und anderen leitenden Teilen, die damit elektrisch verbunden und aus einem unterschiedlichen Metall sind, verhindert.
Es wird eine Zirkulation der Tinte z. B. vom Kanal 90 um das Ende der Barriere, die durch die Wände 96, 98 gebildet ist, und den Blindkanal 92 über die Lochplatte 66 und zurück über den Kanal 94 bewirkt, wie durch Pfeile 52 angegeben ist. Die Strömung passiert die Düse 102 auf halbem Wege zwischen den Kanälen 90 und 94, die auf das verschlossene Ende des Blindkanals 92 ausgerichtet sind. Die Kanäle 90, 94 und die Öffnung in der Platte 66 bilden somit eine einzelne Tröpfchenausstoßkammer, die eine Barriere 96, 98 enthält. In normalen Umständen werden gewöhnliche Signale an die beiden Elektrodenpaare an der Wand 96 und an der Wand 98 sowie außerdem an die Elektrodenpaare an den anderen longitudinalen Wänden der Kanäle 90, 94 angelegt.
7 zeigt die Erfindung, die bei einem Druckkopf mit seitlichem Austritt angewendet ist. Eine Kammer 130 ist in Längsrichtung durch eine Barriere 136 unterteilt, um obere und untere Strömungsdurchlässe 150, 152 zu bilden. Eine Plenumkammer 140 an einem Ende der Kammer ermöglicht, dass Tinte durch den Durchlass 152 nach außen strömt, zirkuliert und über den Durchlass 150 zurückkehrt.
Eine Düse 100 ist auf halbem Wege längs des Durchlasses 150 in der longitudinalen oberen Wand der Kammer 130 vorgesehen. Tinte, die längs des Durchlasses 150 strömt, spült das innere Ende der Düse 100 aus und hält sie sauber. Das Volumen der Plenumkammer 140 ist so gewählt, dass es für die darin befindliche Tinte ausreichend groß ist, damit sie einen negativen Reflexionskoeffizienten besitzt und dadurch Druckwellen in der gleichen Weise wie beim Vorhandensein einer Verteilerverbindung zu einem Tinteneinlass oder -auslass reflektiert.
Ein weiterer Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, dass die Einlass- und Auslassverbindungen des Druckkopfes zu den Zuführungs- bzw. Rückführungsverteilern für Tinte sich an derselben Seite des Druckkopfes befinden. Die Herstellung und die Installation sind dadurch vereinfacht.

Claims

Verfahren für die Ablagerung von Tröpfchen, das umfasst: Verändern des Flüssigkeitsdrucks in einer langgestreckten Kammer (84) durch Verändern des Volumens der Kammer, um Tröpfchen durch eine Düse (14) an einem Ende hiervon für die Ablagerung auszuspritzen, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren den Schritt umfasst, bei dem in der Kammer eine Flüssigkeitsströmung (52) hervorgerufen wird, die jene übersteigt, die zum Nachfüllen der ausgespritzten Tröpfchen erforderlich wäre, wobei die Strömung das innere Ende der Düse passiert.
Tröpfchenablagerungsvorrichtung, mit einer langgestreckten Kammer (84), die an einem Ende eine Düse (14) besitzt, durch die im Betrieb Flüssigkeitströpfchen von der Kammer für eine Ablagerung ausgespritzt werden, und Mitteln zum Verändern des Flüssigkeitsdrucks in der Kammer durch Verändern des Volumens der Kammer, um ein Ausspritzen der Tröpfchen zu bewirken, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung Mittel umfasst, die eine Flüssigkeitsströmung (52) in der Kammer hervorrufen, die jene übersteigt, die zum Nachfüllen der ausgespritzten Tröpfchen erforderlich wäre, wobei die Strömung das innere Ende der Düse passiert.
Tröpfchenablagerungsvorrichtung, mit einer langgestreckten Kammer, die eine Düse (100) besitzt, durch die in Betrieb Flüssigkeitströpfchen von der Kammer (130) für eine Ablagerung ausgespritzt werden, und Mitteln zum Verändern des Flüssigkeitsdrucks in der Kammer durch Verändern des Volumens der Kammer, um ein Ausspritzen der Tröpfchen zu bewirken, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung Mittel umfasst, die eine Flüssigkeitsströmung durch die Kammer hervorrufen, die jene übersteigt, die zum Nachfüllen der ausgespritzten Tröpfchen notwendig ist, wobei die Strömung das innere Ende der Düse passiert und die Kammer eine longitudinale Barriere (136) aufweist, um die sich die Flüssigkeitsströmung an einem Ende der Kammer bewegt.
Vorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Düse (100) eine longitudinale Wand der Kammer ist.
Vorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Kammer in Längsrichtung durch eine Barriere (38, 86) unterteilt ist und die Flüssigkeitsströmung auf einer Seite der Barriere eine bestimmte Richtung besitzt und auf der anderen Seite eine hierzu entgegengesetzte Richtung besitzt.
Vorrichtung nach Anspruch 3 oder Anspruch 4, die an einem Ende der langgestreckten Kammer eine Plenumkammer (140) umfasst, durch die die Flüssigkeit von einer Seite der Barriere zur anderen strömt, wobei die Plenumkammer so beschaffen ist, dass Druckwellen in der in der langgestreckten Kammer befindlichen Flüssigkeit durch die in der Plenumkammer befindliche Flüssigkeit reflektiert werden.
Vorrichtung nach einem vorhergehenden Anspruch, bei der das Volumen der Kammer mittels eines piezoelektrischen Materials, das die Kammer begrenzt, verändert wird.
Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der wenigstens eine longitudinale Wand der Kammer aus dem piezoelektrischen Material gebildet ist und Elektroden (44, 46) umfasst, die das Material im Schermodus verformen, wenn an sie eine Potenzialdifferenz angelegt wird.
Vorrichtung nach Anspruch 8, bei der sich die Barriere im allgemeinen planparallel zu der longitudinalen Wand erstreckt.
Vorrichtung nach Anspruch 9, bei der die Barriere eine longitudinale Wand (96) aus piezoelektrischem Material, die auf einer der Flüssigkeit ausgesetzten Seite der Wand eine erste Elektrode auf Massepotenzial und auf der anderen Seite der Wand, die nicht der Flüssigkeit ausgesetzt ist, eine zweite Elektrode besitzt.
Vorrichtung nach Anspruch 10, bei der die Barriere zwei der Wände (96, 98) umfasst, wovon jede auf einer Seite der Flüssigkeit ausgesetzt ist, während die jeweils anderen Seiten jeder Wand voneinander beabstandet und einander zugewandt sind.
Vorrichtung nach den Ansprüchen 10 oder 11, mit einer Lochplatte (100), die zwischen einem Ende der Barriere und einer Struktur, die eine Stirnwand der Kammer bildet, angeordnet ist, worin die Düse definiert ist.
Tröpfchenablagerungsvorrichtung, mit einer langgestreckten Kammer (36), die an einem Ende eine Düse (42) besitzt, durch die im Betrieb Flüssigkeitströpfchen von der Kammer für eine Ablagerung ausgespritzt werden, wobei wenigstens eine longitudinale Wand der Kammer aus piezoelektrischem Material gebildet ist, und mit Elektrodenmitteln (44, 46), die an das piezoelektrische Material eine Potenzialdifferenz anlegen, um es im Schermodus zu verformen und dadurch ein Ausspritzen der Tröpfchen zu bewirken, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine Barriere (38) umfasst, die sich in Längsrichtung der Kammer erstreckt, wodurch darin mehrere Strömungsdurchlässe (44, 46) definiert sind, wobei ein Ende (50) der Barriere von der Düse beabstandet ist, wodurch eine Flüssigkeitsströmung von einem Strömungsdurchlass zum anderen das innere Ende der Düse passiert.
Vorrichtung nach Anspruch 13, bei der die longitudinale Wand in Längsrichtung durch die Barriere unterteilt ist.
Vorrichtung nach Anspruch 14, bei der das piezoelektrische Material entgegengesetzt gepolte Bereiche umfasst, einen auf jeder Seite der Barriere, wobei das Anlegen der Potenzialdifferenz an das Material dieses in eine Chevron-Form verformt.
Vorrichtung nach Anspruch 14, bei der das piezoelektrische Material auf jeder Seite der Barriere entgegengesetzt gepolte Bereiche besitzt, wobei das Anlegen der Potenzialdifferenz an das Material diese beiderseits der Barriere in eine Chevron-Form verformt.
Vorrichtung nach Anspruch 13 oder einem hiervon abhängigen Anspruch, bei der die Barriere (38) die Achse der Düse enthält.