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Die vorliegende Erfindung betrifft
in allgemeiner Form einen Messfühler
bzw. Sensor, der die Bestimmung des Vorliegens einer Gasströmung gestattet.
Die vorliegende Erfindung betrifft näherhin den Nachweis des Vorliegens,
der Strömungsrichtung und/oder
des Durchsatzes (Massen- oder Volumendurchsatz) einer Gasströmung in
einer Leitung.
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Derartige Messfühler sind beispielsweise in DE-A
4 408 270 und US-A-5 461 913 beschrieben.
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1A veranschaulicht
einen bekannten Messfühler
bzw. Sensor für
den Strömungssinn
eines in einer Leitung 1 zirkulierenden Gases. Im folgenden sei
beispielshalber angenommen, dass der Richtungssinn der Zirkulation
des Gases, so wie durch die Pfeile angedeutet, von links nach rechts
ist. Die Leitung 1 ist mit einer Abzweigung 2 versehen.
Im wesentlichen in der Mitte der Leitung 2 ist eine Heizvorrichtung ΔW angeordnet.
Zu beiden Seiten der Heizvorrichtung ΔW sind in symmetrischer Form
Mittel 3 und 4 zum Messen der Gastemperatur angeordnet.
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1B veranschaulicht
den Verlauf der Änderung
der Temperatur T in der Leitung 2. In Abwesenheit von Gas,
oder bei Vorliegen eines bewegungslosen Gases (Durchsatz Null) ist
das Temperaturprofil in der Leitung 2 symmetrisch, wie
in 1B voll ausgezogen
dargestellt. Näherhin
ist die Temperatur iden tisch auf dem Niveau der Detektoren 3 und 4 und
hat ein Maximum auf dem Niveau der Heizvorrichtung ΔW.
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Wenn in der Leitung 1 und
in der Leitung 2 ein Gas zirkuliert, wird dieses Profil
unsymmetrisch. Ein Beispiel einer derartigen Dissymmetrie ist gestrichelt
wiedergegeben. Die Temperatur T1 auf dem Niveau des Detektors 3 wird
kleiner als die Temperatur T2 auf dem Niveau des Detektors 4.
Man erhält
so einfach eine Anzeige der Strömungsrichtung
einer Gasströmung.
Des weiteren ist es möglich,
die Temperaturänderungen
relativ bezüglich
dem Gleichgewicht auf dem Niveau jedes der Detektoren T1 und T2
mit dem Wert des Durchsatzes in Verbindung zu setzen.
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Die entsprechenden Eichungen sind
auf enge Variationsbreiten begrenzt.
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Das System der 1A und 1B weist zahlreiche Nachteile auf. Es erfordert
eine Zweigleitung sowie einen Druckabfall in der Leitung 1.
Dieser Druckabfall ΔP
(der im wesentlichen dem schraffierten Bereich von 1A entspricht) ist erforderlich, damit
ein Teil des Gases in die Leitung 2 abgezweigt wird. Sie
stört daher
nachteilig die Druckbedingungen in der Leitung 1 stromaufwärts (P)
und stromabwärts
(P-ΔP) des
Messfühlers,
wie in 1A veranschaulicht.
Des weiteren bringt sie verhältnismäßig lange
Gleichgewichtseinstellungen im Druck und in der Temperatur mit sich.
Diese Phänomene
sind um so störender,
je schwächer
die zu messenden Durchsätze
sind.
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Ein derartiger Messfühler bzw.
Sensor besitzt eine geringe Dynamik. Er könnte nur innerhalb relativ
enger Variationsbreiten geeicht werden, beispielsweise von 1 bis
10 Liter pro Stunde.
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Neben diesen Systemen zur Bestimmung der
Richtung und des Durchsatzes einer Gasströmung gibt es einfachere Vorrichtungen
zur Messung nur des Gasdurchsatzes. 2 veranschaulicht
ein Beispiel einer derartigen Vorrichtung.
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Man betrachtet eine Leitung 10,
in welcher ein Gas zirkulieren kann. Im wesentlichen in der Mitte der
Leitung 10 wird ein Heizelement 11 kleiner Abmessungen
angeordnet. Man erkennt, dass für
ein gegebenes Gas, eine gegebene Temperatur, die thermischen Verluste
des Elements 11 mit dem Durchsatz zunehmen.
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Das Element 11 ist mit einem
Steuer- und Verarbeitungsmodul 12 verbunden. Der Modul 12 gewährleistet
mehrere Funktionen. Insbesondere steuert er die Heizung des Elements 11,
führt Messungen durch
und verarbeitet Messungen.
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Die zur Aufrechterhaltung der Temperatur des
Elements 11 erforderliche Energie oder die Temperaturänderungen
bzw. - schwankungen eines Elements 11,
dem eine konstante Energie zugeführt wird,
stehen mit dem Gasdurchsatz gemäß bekannten
Beziehungen in Verbindung. Es ist daher möglich, ausgehend von einer
Energiemessung bei konstanter Temperatur oder einer Temperaturmessung
bei konstanter Energie den Durchsatz zu berechnen.
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Die praktischen Vorrichtungen, welche
von dem in Verbindung mit 2 beschriebenen
Prinzip Gebrauch machen, erweisen sich als relativ komplex, sperrig
und kostspielig. Sie erfordern überdies
die Durchführung
einer Messung der Temperatur des Gases im Strömungszustand. Tatsächlich muss
man falsche Nachweise einer Verringerung/Erhöhung des Durchsatzes entsprechend
einer allgemeinen Erwärmung/Abkühlung des
Gases vermei den. Im übrigen gestatten
derartige Messfühler
bzw. Sensoren keine Messung des Richtungssinns des Durchsatzes.
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Bekannt sind auch Messfühler bzw.
Sensoren zur Bestimmung des Vorliegens von Gasteilchen. Beispielsweise
sucht man bei der Lecküberwachung in
einer gegen die Umgebungstemperatur durch eine Vakuumhülle geschützten kryogenen
Leitung das Vorliegen von Gasmolekülen in der Umhüllung nachzuweisen.
Hierzu kann man Überwachungssysteme verwenden,
welche den Druck in der Umhüllung
messen, oder auch Massenspektrometersysteme.
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Derartige Systeme sind verhältnismäßig kostspielig
und erfordern die Anbringung einer Öffnung zum Zugang zu der Vakuumumhüllung. Im
Falle fester, in die Vakuumumhüllung
eingebrachter Vorrichtungen sind die Montageverfahren besonders komplex,
um die Verbindung mit Steuereinheiten und Verarbeitungseinheiten
außerhalb
der Vakuumumhüllung
zu gewährleisten.
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Ein Ziel der vorliegenden Erfindung
ist die Schaffung eines neuen Messfühlers bzw. Sensors für das Vorliegen
oder Fehlen einer Gasströmung,
wobei der Messfühler
des weiteren den Richtungssinn und/oder den Durchsatz dieser Strömung liefern
können
soll und wobei dieser Messfühler
einen oder mehrere der Nachteile der bekannten Messfühler verringern
soll.
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Ein weiteres Ziel der vorliegenden
Erfindung ist die Schaffung eines derartigen Messfühlers mit großer Empfindlichkeit.
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Ein weiteres Ziel der vorliegenden
Erfindung ist die Schaffung eines derartigen Messfühlers mit hoher
Dynamik.
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Ein weiteres Ziel der vorliegenden
Erfindung ist die Schaffung eines derartigen Messfühlers, der nur
vernachlässigbare
Ladungsverluste hervorruft.
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Ein weiteres Ziel der vorliegenden
Erfindung ist die Schaffung eines derartigen Messfühlers, der Lecks
in einer kryogenen Leitung und außerhalb der Schutzhülle der
Leitung nachweisen kann.
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Zur Erreichung dieser Ziele sieht
die vorliegende Erfindung einen Messfühler für das Vorhandensein oder Fehlen
einer Gasströmung
vor, welcher zwei Thermistoren aufweist, die Rücken an Rücken an einem gleichen Träger angeklebt
sind, die zwischen einer Versorgungsleitung mit hoher Spannung und
einer Versorgungsleitung mit niedriger Spannung in Serie geschaltet
sind und deren Verbindungspunkt über
einen Detektionswiderstand mit einer mittleren Spannung verbunden
ist.
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Gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung sind die Thermistoren vom Typ mit positivem
Temperaturkoeffizienten.
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Gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung sind parallel zu jedem der Thermistoren
einstellbare Widerstände
vorgesehen.
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Gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung weist der Messfühler des weiteren Mittel zur
Bestimmung des Betrags des Stroms in dem Detektionswiderstand auf.
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Gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist der Messfühler in einer Gasleitung angeordnet,
derart dass die Trennungsebene der beiden Thermistoren rechtwinklig
zur Strömungsrichtung
der Gasströmung
verläuft.
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Diese und weitere Ziele, Gegenstände, Eigenschaften,
Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden in der folgen den,
nicht-einschränkenden
Beschreibung spezieller Ausführungsbeispiele
im einzelnen auseinandergesetzt, unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungsfiguren;
in diesen zeigen:
die bereits beschriebenen 1A, 1B und 2 Darstellungen
zum Stande der Technik und der damit verbundenen Probleme,
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3 einen
Kurvenverlauf der Änderung des
Widerstands eines Thermistors mit positivem Temperaturkoeffizienten
in Abhängigkeit
von der Temperatur,
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4 einen
Messfühler
gemäß der vorliegenden
Erfindung, in Anordnung in einer Leitung,
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5 ein
elektrisches Schaltschema eines Messfühlers gemäß der vorliegenden Erfindung,
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6 eine
Ausführungsform
eines Gasströmungs-Detektors
mit dem Messfühler
gemäß der vorliegenden
Erfindung,
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7 eine
Ausführungsform
eines Detektors für
den Richtungssinn einer Gasströmung,
mit dem Messfühler
gemäß der vorliegenden
Erfindung,
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8 schematisch
eine Ausführungsform
eines Massendurchsatzmeters unter Verwendung des Messfühlers gemäß der vorliegenden
Erfindung, sowie
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9 eine
Ausführungsform
eines in einer kryogenen Leitung angeordneten Leck-Detektors gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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Ein charakteristisches Merkmal der
vorliegenden Erfindung ist die Schaffung eines neuen Messfühlers bzw.
Sensors, welcher zwei Rücken
an Rücken
auf einen isolierenden Träger,
beispielsweise aus Glas oder Epoxyharz, aufgeklebte Thermistoren aufweist,
die mit derselben Masse verbunden sind.
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Es finden Thermistoren mit positivem
Temperaturkoeffizienten Anwendung (CTP-Thermistoren). 3 veranschaulicht schematisch
die Änderung
des Widerstands eines Thermistors in Abhängigkeit von der Temperatur.
Jeder CTP-Thermistor besitzt einen Arbeitspunkt P, um welchen herum
der Widerstand sehr stark und für
kleine Temperaturänderungen
im wesentlichen linear veränderlich
ist. Beispielsweise besitzt der von der Firma Philips unter der
Bezeichnung 2322 671 910 03 hergestellte und in den Handel gebrachte
CTP-Thermistor einen Widerstand, der für Temperaturänderungen
innerhalb eines Bereichs von nur 40°C zwischen 80 und 120°C zwischen
800 Ω und
100 kΩ variiert.
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4 zeigt
einen Messfühler 21 gemäß der vorliegenden
Erfindung in Anordnung in einer Leitung 20, in welcher
ein Gas wie beispielsweise Helium oder Stickstoff zirkulieren kann.
Es sei beispielshalber angenommen, dass das Gas, wie durch die Pfeile angedeutet,
sich von links nach rechts bewegt. Der Messfühler 21 ist so eingesetzt,
dass er sich in Querschnittsansicht im wesentlichen im Zentrum der
Leitung 20 befindet.
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Der Messfühler 21 weist zwei
Thermistoren CTP1 und CTP2 auf, die Rücken an
Rücken
auf einen isolierenden Träger 23 rechtwinklig
zur Achse der Leitung aufgeklebt sind. Der Träger 23 isoliert die Thermistoren CTP1 und CTP2 voneinander,
wenigstens gegenüber
kurzzeitigen thermischen Schwankungen. In Gegenwart einer Gasströmung wird
der nicht direkt der Strömung
ausgesetzte Thermistor viel weniger stark gekühlt als der andere, da er durch den
auf dem Niveau des Messfühlers
erzeugten Wirbel geschützt
ist. Die Form des Trägers 23 kann
im Sinne einer Begünstigung
dieses Effekts optimiert werden.
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Der Messfühler bzw. Sensor 21 ist
elektrisch mit einem Steuer- und
Messmodul 25 verbunden. In der Praxis wird der Messfühler 21 durch
eine einer Stopfenvorrichtung 27 zugeordnete Öffnung 26 in
die Leitung 20 eingebracht. Elektrische Verbindungen zwischen
dem Messfühler 21 und
dem Modul 25 verlaufen in einem Rohr 29 minimaler
Abmessungen.
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Man erkennt, dass die unterschiedliche
Abkühlung
der beiden Thermistoren eine Temperaturdifferenz zwischen ihnen
hervorruft, wenn sie in identischer Weise gespeist werden. Diese
Temperaturdifferenz ruft eine Differenz der Widerstandsbeträge der Thermistoren
hervor. Diese Differenz kann detektiert werden zur Anzeige des Vorliegens
einer Gasströmung,
ihrer Strömungsrichtung
und ihres Durchsatzes.
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Es wird die Verwendung von CTP-Thermistoren
statt von Thermistoren mit negativem Temperaturkoeffizienten (CTN)
vorgezogen, da sie sich unter konstanter Spannung selbsttätig temperaturregeln. Tatsächlich nimmt
bei abnehmender Temperatur dann der Widerstand des CTP-Thermistors
ab, was beinhaltet, dass die Verlustleistung V2/R
zunimmt und die Temperatur in ihren Arbeitspunkt zurückgeführt wird.
Falls umgekehrt die Temperatur zunimmt, nimmt dann der Widerstand
zu und die Verlustleistung nimmt ab, wodurch der CTP-Thermistor
auf eine niedrigere Temperatur zurückgeführt wird. Der Arbeitspunkt
wird durch die Speisespannung festgelegt. Die Regelung ist somit
automatisch.
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Des weiteren sind CTP-Thermistoren
kleiner Abmessungen besonders vorteilhaft, da sie schwächere Leistungen
erfordern, um sie in ihren Arbeitspunkt zurückzuführen.
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Ein Beispiel einer Montage des Messfühlers gemäß der Erfindung
ist schematisch in 5 veranschaulicht.
Die Thermistoren
CTP1 und CTP2 liegen in Reihe
zwischen zwei Speiseleitungen, einer positiven und einer negativen
+V bzw. –V.
Der Verbindungspunkt A der Thermistoren CTP1 und CTP2 ist mit
einer Masse der Vorrichtung (0 V) verbunden. Allgemeiner gesprochen
liegen die beiden Thermistoren CTP1 und CTP2 in
Reihe zwischen einer auf hohem Potential und einer auf niedrigem
Potential liegenden Leitung und ihr gemeinsamer Mittelpunkt ist mit
dem mittleren Potential verbunden. Die positive Speisespannung (+V),
die Spannung Null (Masse) und die negative Speisespannung (–V) sind
beispielsweise Speisespannungen von +12 V, 0 V und –12 V, wie
sie an den Anschlüssen
einer Gleichrichtschaltung aus dem Netz abgenommen werden.
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Zwischen dem Punkt A und Masse liegt
ein Detektionswiderstand r, an dessen Anschlüssen eine Detektionsspannung
v auftritt. Vorzugsweise liegen regelbare Widerstände R1 und
R2 parallel über
jedem Thermistor.
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In dem Detektionswiderstand r fließt der Unterschied
i zwischen dem Strom I1 in dem Thermistor CTP1 und dem
Strom I2 in dem Thermistor CTP2.
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Da die Speisespannungen der Thermistoren konstant
und identisch sind, ist jeweils jeder der Ströme I1 und I2 nur eine Funktion
des Betrags des Widerstands jedes der Thermistoren CTP1 und CTP2, d.
h. der Temperatur dieser Thermistoren, die vom Vorhandensein oder
Nichtvorhandensein eines Gases und einer Gasströmung abhängt.
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Die Thermistoren CTP1 und CTP2 werden vorzugsweise
so gewählt,
dass ihr Arbeitspunkt bei der Spannung V einer Temperatur im wesentlichen um
20 bis 30°C
größer als
der Temperatur des Gases entspricht.
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Beim Fehlen einer Gasströmung werden
die Thermistoren CTP1 und CTP2, da sie vom gleichen Typ
und innerhalb ein und derselben Charge gewählt sind und mit derselben
Spannung gespeist werden, durch ein und denselben Strom durchflossen,
und der Strom i ist Null. Jedoch gestatten die Widerstände R1 und
R2 eine Korrektur bezüglich
eines eventuellen Null-Fehlers.
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Falls ein Gas von links nach rechts
in der Leitung 20 strömt,
wird der Thermistor CTP1 stärker gekühlt als der Thermistor CTP2.
Nunmehr tritt in dem Massezweig ein Ungleichgewichtsstrom i auf.
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Jede Änderung des Stroms i ist mit
einer Änderung
des Gasdurchsatzes, und nur mit dieser, verbunden. Tatsächlich tritt,
wenn die Temperatur eines Gases im Ruhezustand variiert, kein Ungleichgewichtsstrom
auf, die beiden Thermistoren sind in gleicher Weise veränderlich.
Ein Vorteil des Messfühlers bzw.
Sensors gemäß der vorliegenden
Erfindung besteht daher darin, dass eine Messung der Temperatur des
Gases nicht erforderlich ist.
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Nunmehr werden anhand der 6 bis 8 verschiedene
Typen von Schaltungen zur Messung des Stroms i, der in dem Widerstand
r strömt,
oder der Spannung v an seinen Anschlüssen, beschrieben.
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Die Anordnung von 6 zeigt eine Ausführungsform eines unidirektionalen
Gasströmungsdetektors,
d. h. eines Detektors, der anzeigt, ob eine Gasströmung in
einem vorgegebenen Sinn besteht oder nicht besteht. Dieser Detektor
gestattet die Anzeige, ob ein positiver Strom i in dem Widerstand
r vorhanden ist.
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Die regelbaren Widerstände R1 und
R2 (5) werden vorteilhafterweise
durch die Reihenschaltung von zwei Festwiderständen R3 und R5, die durch einen
in Reihe mit ihnen liegenden Rheostaten getrennt sind, realisiert.
Der Mittelabgriff des Rheostaten R4 ist mit dem Punkt A verbunden.
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Die Schaltung weist einen gesteuerten Schalter,
beispielsweise einen Bipolar-Transistor N1, auf. Die Basis und der
Emitter des Transistors N1 sind mit den Anschlüssen des Widerstands r verbunden.
Der Kollektor des Transistors N1 ist mit der Kathode einer Elektrolumineszenz-Diode
LED1 verbunden, deren Anode mit der positiven Speiseleitung +V verbunden
ist.
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Man kann darüber hinaus Schutz-Dioden D1 bis
D3 vorsehen. Die Dioden D1 und D2 sind in Reihe miteinander parallel
zum Widerstand r geschaltet. Die Kathode der Diode D1 ist mit Masse
und die Anode der Diode D2 mit dem Punkt A verbunden. Die Diode
D3 ist antiparallel bezüglich
der Dioden D1 und D2 geschaltet, d. h. dass die Kathode der Diode
D3 mit dem Punkt A und ihre Anode mit Masse verbunden ist.
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Ein Widerstand R6 gestattet die Begrenzung des
Basisstroms des Transistors N1. Die Dioden D1, D2 und D3 verhindern,
dass die Basis-Emitter-Spannung zu groß wird.
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Ist der Strom i Null, so ist die
Basis-Emitter-Spannung Null und der Transistor N1 ist geöffnet.
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Ist der Strom i negativ, so ist die
Basis-Emitter-Spannung negativ und der Transistor N1 ist ebenfalls
gesperrt. Der Strom i fließt
durch die Diode D3.
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Ist der Strom i positiv, so ist die
Basis-Emitter-Spannung positiv und der Transistor N1 wird leitend,
sobald diese Span nung einen Schwellwert übersteigt. Ein Strom fließt dann
durch die Elektrolumineszenz-Diode LED1, wobei dieser Strom vorzugsweise
durch einen nicht dargestellten Widerstand begrenzt wird. Die Diode
LED1 zündet
und zeigt das Vorliegen des Stroms i an.
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Die Anordnung von 7 zeigt eine Ausführungsform eines bidirektionalen
Gasströmungsdetektors,
d. h. eines Detektors, der anzeigen kann, ob eine Gasströmung existiert
und in welchem Richtungssinn. Dieser Detektor gestattet die Anzeige,
ob ein positiver Strom oder ein negativer Strom in dem Widerstand
r vorliegt. Diese Anordnung verdoppelt das in 6 dargestellte Detektionssystem. Näherhin weist
der Detektor von 6 einen
NPN-Transistor N1 auf, Dioden D1–D2, einen Widerstand R6 und eine
Elektrolumineszenz-Diode LED1. Die Anordnung wird durch eine symmetrische
Schaltung komplettiert, welche einen PNP-Transistor P1, Dioden D3–D4 und
einen Widerstand R8 umfasst sowie eine Elektrolumineszenz-Diode
LED2.
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Man erkennt, dass je nach der Strömungsrichtung
des Stroms i -oberhalb
eines gewissen Schwellwerts – die
eine oder die andere der Elektrolumineszenz-Dioden LED1 und LED2
zündet.
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Die Schaltanordnung von 8 zeigt eine Ausführungsform
eines bidirektionalen Detektors für den Richtungssinn und den
Durchsatz einer Gasströmung.
Mit den Anschlüssen
des Widerstands r ist ein Analog-Digital-Wandler 15 verbunden,
in Zuordnung zu Eich- bzw. Kalibriermitteln, in Verbindung mit einer Digitalanzeige 16.
Der Analog-Digital-Wandler 15 kann einer Quadrierschaltung
zugeordnet sein.
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Eine vorhergehende Eichung bzw. Kalibrierung
eines derartigen Detektors ermöglicht
es, den Betrag des Ungleichgewichtsstroms zum stündlichen Massen- oder volumetrischen
Durchsatz eines Gases zu setzen. Beispielsweise hat sich für Helium
die Beziehung zwischen der Strömungsgeschwindigkeit und
dem Quadrat des Stroms als vollkommen reproduzierbar, zuverlässig und
genau erwiesen. Diese Beziehung ist im übrigen vollkommen linear, ausgehend
von einem so niedrigen Volumendurchsatz wie ein Liter pro Stunde
(1 l/h), und bis zu so hohen Durchsätzen wie 1200 l/h. Der Messfühler bzw.
Sensor gemäß der Erfindung
besitzt daher eine besonders große Dynamik.
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Außer einer hohen Verstärkung in
dynamischer Hinsicht weist der Messfühler gemäß der vorliegenden Erfindung
zahlreiche andere Vorteile auf.
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Bei Einbringung in einer Leitung
verursacht ein Messfühler
gemäß der Erfindung
nur sehr geringe Ladungsverluste.
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Der Messfühler gemäß der Erfindung ist in verschiedenen
Detektoren einsetzbar, ohne Rückgriff auf
irgendeine äußere Referenz.
Dies verringert die Zahl von in der Gasströmung angeordneten Elementen.
Die Ladungsverluste werden somit nochmals reduziert. Desgleichen
ist die Zahl der mechanischen und/oder elektronischen Vorrichtungen
verringert.
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Die durchzuführende Messung, um den Betrag
der Strömung
zu erhalten, ist besonders einfach, da es sich direkt um die Messung
eines Stroms handelt. Es ist keinerlei Vergleich oder zusätzliche
Verarbeitung erforderlich.
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Die vorliegende Erfindung ist selbstverständlich diversen
Abwandlungen und Modifizierungen zugänglich, die sich für den Fachmann
ergeben. Insbesondere kann der Messfühler gemäß der Erfindung in verschiedenen
Anwendungen in Gegenwart einer Gasströmung Anwendung finden, wie
beispielsweise Sicherheitsvorrichtungen. Des weiteren kann ein Messfühler gemäß der Erfin dung
Mitteln zur Regelung eines Durchsatzes in Verbindung mit einem Servoregelventil
zugeordnet sein.
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9 zeigt
ein anderes Anwendungsbeispiel eines Messfühlers 21 gemäß der Erfindung,
in Verbindung mit einem nicht dargestellten Steuer- und Verarbeitungsmodul.
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9 ist
ein Querschnitt durch eine Kryogenie- bzw. Tieftemperaturleitung 32,
in welcher ein Strömungsmittel
bei sehr niedriger Temperatur zirkuliert. Die Leitung 32 ist
von der Umgebungsatmosphäre
durch eine Vakuumumhüllung
oder Vakuumkammer 33 isoliert. Der Messfühler 21 gemäß der Erfindung
ist so angeordnet, dass einer der beiden Thermistoren, beispielsweise
der Thermistor CTP2, in Kontakt mit der Außenoberfläche der
Wandung 34 der Umhüllung 33 steht.
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Falls während der Strömung eines
Gases in der Leitung 32 diese leck wird, kommt es in der
Umhüllung 33 zur
Ausbildung von Konvektionsphänomenen,
die eine Abkühlung
des mit der Wandung 34 der Kammer 33 in Kontakt
stehenden Thermistors CTP2 hervorrufen. Da die Temperatur
des Thermistors CTP2 abnimmt, nimmt sein Widerstand ab,
und der Strom I2 tendiert zur Zunahme. Es tritt dann ein Ungleichgewicht
ein, das mittels jedem geeigneten Mittel detektiert werden kann,
zur Anzeige eines Lecks in der Umhüllung bzw. Kammer 11.