DE59480T1 - Einrichtung zur messung der kennzeichen eines optischen systems. - Google Patents

Einrichtung zur messung der kennzeichen eines optischen systems.

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DE59480T1
DE59480T1 DE198282101639T DE82101639T DE59480T1 DE 59480 T1 DE59480 T1 DE 59480T1 DE 198282101639 T DE198282101639 T DE 198282101639T DE 82101639 T DE82101639 T DE 82101639T DE 59480 T1 DE59480 T1 DE 59480T1
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optical
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light beam
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Hiroshi Itabashi-Ku Tokyo Tamaki
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Tokyo Kogaku Kikai Kk Tokyo Jp
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Tokyo Kogaku Kikai Kk Tokyo Jp
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0228Testing optical properties by measuring refractive power
    • G01M11/0235Testing optical properties by measuring refractive power by measuring multiple properties of lenses, automatic lens meters

Claims (31)

80439 82 101 639.1 PATENTANSPRÜCHE
1. Vorrichtung zum Messen der optischen Eigenschaften eines optischen Systems, mit einer Kollimationseinrichtung zum Kollimieren eines von einer Lichtguelle kommenden Lichtstrahlen-Bündels, einer Auswähleinrichtung zum Auswählen eines Teils des von der Kollimationseinrichtung kommenden Lichtstrahlenbündels, einer Einrichtung zum Halten eines zu prüfenden optischen Systems zwischen der Kollimationseinrichtung und der Auswähleinrichtung, einer Detektoreinrichtung zum Erfassen des von der Auswähleinrichtung kommenden, ausgewählten Lichtstrahlenbündels, und einer Bestimmungseinrichtung zum Bestimmen der optischen Eigenschaften des zu prüfenden optischen Systems auf Grund der von der Detektoreinrichtung erfaßten Ergebnisse, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswähleinrichtung ein Bündelauswählmuster mit zwei Gruppen von geraden Linien besitzt, von denen jede Gruppe aus mindestens zwei parallel geraden Linien besteht, und die Gruppen von parallelen geraden Linien so angeordnet sind, daß sie in verschiedenen Richtungen orientiert sind, ohne sich zu schneiden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gruppen von parallelen geraden Linien in Bezug auf eine die optische Meßachse enthaltende Ebene symmetrisch angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Gruppen von geraden Linien mindestens eine
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gerade Linie besitzt, die von den anderen geraden Linien unterscheidbar ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Gruppen von parallelen geraden Linien ein lichtdurchlässiges Muster besitzt, durch welches das von dem zu prüfenden optischen System kommende Lichtstrahlenbündel hindurchtritt.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinrichtung mindestens einen Linienabtastsensor besitzt und daß die Vorrichtung ferner eine Antriebseinrichtung zum Herbeiführen einer Relativbewegung zwischen dem von der Auswähleinrichtung kommenden, ausgewählten Lichtstrahlenbündel und dem Linienabtastsensor in einer zu der optischen Meßachse rechtwinkligen Ebene besitzt.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinrichtung zwei Linienabtastsensoren besitzt, von denen der eine in einer zu der optischen Meßachse rechtwinkligen Ebene und der andere in einer Ebene angeordnet ist, die rechtwinklig ist zu einer optischen Achse, die mittels eines Strahlengangumlenkgliedes verändert worden ist, das zwischen dem ersten Liniensensor und der Auswähleinrichtung angeordnet ist, wobei der erste und der zweite Linienabtastsensor einander optisch schneiden.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmungseinrichtung geeignet ist, auf Grund der von der Detektoreinrichtung erfaßten Ergebnisse eine Gleichung für projizierte gerade Linien eines
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dem genannten Muster entsprechenden, projezierten Musters zu berechnen.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmungseinrichtung geeignet ist, auf Grund der Neigung und des Abstandes der Linien der projezierten Gruppen von parallelen Linien ein gedachtes Parallelogramm zu konstruieren und die optischen Eigenschaften des zu prüfenden optischen Systems auf Grund der Veränderung berechnet werden, die das gedachte Parallelogramm erfährt, je nachdem, ob sich das zu prüfende optische System in dem optischen Meßstrahlengang befindet oder nicht.
9. Vorrichtung zum Messen der optischen Eigenschaften eines optischen Systems, mit einer Kollimationseinrichtung zum Kollimieren eines von einer Lichtguelle kommenden Lichtstrahlenbündels, einer Auswähleinrichtung zum Auswählen eines Teils des von der Kollimationseinrichtung kommenden Lichtstrahlenbündels, einer Einrichtung zum Halten eines zu prüfenden optischen Systems zwischen der Kollimationseinrichtung und der Auswähleinrichtung, einer Detektoreinrichtung zum Erfassen des von der Auswähleinrichtung kommenden, ausgewählten Lichtstrahlenbündels, und einer Recheneinrichtung zum Berechnen der optischen Eigenschaften des zu prüfenden optischen Systems auf Grund der von der Detektoreinrichtung erfaßten Ergebnisse, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung ferner einen ersten Strahlenteiler zum Aufteilen des von dem zu prüfenden optischen System abgegebenen Lichtstrahlenbündels auf mindestens zwei
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Strahlengänge besitzt, von denen jeder mindestens eine der genannten Auswähleinrichtungen umfaßt, die ein Bündelauswählmuster besitzt, das aus mindestens zwei parallelen geraden Linien besteht, wobei die Auswähleinrichtungen so angeordnet sind, daß ihre Linienmuster unterschiedlich orientiert sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Bündelauswählmuster ein lichtdurchlässiges Muster besitzt, durch welches das von dem zu prüfenden optischen System kommende Licht hindurchtritt.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß hinter jeder der Auswähleinrichtungen ein zweiter Strahlenteiler angeordnet ist, der geeignet ist, das durch die Auswähleinrichtung getretene Lichtstrahlenbündel in mindestens zwei Teile zu teilen, die auf je einer Detektoreinrichtung auftreffen.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinrichtung mindestens zwei Linienabtastsensoren zum Abtasten und Erfassen von Lichtinformationen entlang von Linien besitzt.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Linienabtastsensoren aus einem CCD-Element besteht.
14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei der Linienabtastsensoren einander in einer Erfassungsebene schneiden, die von einer Relaisoptik definiert wird, die zwischen dem zu prüfenden
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optischen System und dem ersten Strahlenteiler angeordnet und den Linienabtastsensoren optisch zugeordnet ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Linienabtastsensoren parallel zueinander in einer Erfassungsebene angeordnet sind, die von einer Relaisoptik definiert wird, die zwischen dem zu prüfenden optischen System und dem ersten Strahlenteiler angeordnet und den Linienabtastsensoren optisch zugeordnet ist.
16. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinrichtung einen zweidimensionalen Sensor besitzt.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquellenanordnung mindestens zwei Lichtquellen zum Aussenden von Licht mit unterschiedlichen Wellenlängen besitzt und der erste Strahlenteiler geeignet ist, das von den Lichtquellen kommende Licht in Abhängigkeit von seiner Wellenlänge selektiv zu reflektieren oder durchzulassen.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 und 17, dadurch gekennzeichnet, daß in jedem der beiden durch den ersten Strahlenteiler bestimmten Strahlengänge eine Einrichtung zum abwechselnden Blockieren des Lichtstrahlenbündels in den beiden Strahlengängen angeordnet ist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 und 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinrichtung geeignet ist, mindestens zwei Punkte des zugeordneten projizierten Bildes des Linienmusters zu erfassen.
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20. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung geeignet ist, von den von der Detektoreinrichtung erfaßten Ergebnissen eine lineare Gleichung für das projizierte Bild des Linienmusters abzuleiten und diese Gleichung dazu verwendet wird, durch Berechnung von Veränderungen der Neigung und des Abstandes der Linien des projizierten Musters die optischen Eigenschaften des optischen Systems zu bestimmen.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung geeignet ist, auf Grund der Neigung und des Abstandes der Linien des projizierten Bildes ein gedachtes Parallelogramm zu konstuieren, und die optischen Eigenschaften des zu prüfenden optischen Systems auf Grund der Veränderung berechnet werden, die das gedachte Parallelogramm erfährt, je nachdem, ob sich das zu prüfende optische System in dem optischen Meßstrahlengang befindet oder nicht.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Gruppe von Linienmustern der Auswähleinrichtung mindestens ein Linienmuster umfaßt, das von den anderen Linienmustern unterscheidbar ist.
23. Vorrichtung zum Messen der optischen Eigenschaften eines optischen Systems, mit einer Kollimationseinrichtung zum Kollimieren eines von einer Lichtquelle kommenden Lichtstrahlenbündels, einer Auswähleinrichtung zum Auswählen eines Teils des von der Kollimationseinrichtung kommenden Lichtstrahlenbündels, einer Einrichtung zum Halten eines zu
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prüfenden optischen Systems zwischen der Kollimationseinrichtung und der Auswähleinrichtung, einer Detektoreinrichtung zum Erfassen des von der Auswähleinrichtung kommenden, ausgewählten Lichtstrahlenbündels, und einer Recheneinrichtung zum Berechnen der optischen Eigenschaften des zu prüfenden optischen Systems auf Grund der von der Detektoreinrichtung erfaßten Ergebnisse, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung ferner eine Einrichtung zum Herbeiführen einer Relativbewegung zwischen dem von der Auswähleinrichtung kommenden, ausgewählten Lichtstrahlenbündel und dem Linienabtastsensor in einer zu der optischen Meßachse rechtwinkligen Ebene besitzt, und die Auswähleinrichtung ein aus mindestens zwei parallelen geraden Linien bestehendes Bündelauswählmuster besitzt.
24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß das Bündelauswählmuster ein lichtdurchlässiges Muster besitzt, durch welches das von dem zu prüfenden optischen System kommende Licht hindurchtritt.
25. Vorrichtung nach Anspruch 23 oder 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Herbeiführen der Relativdrehung zum Drehen der Auswähleinrichtung um den Meßstrahlengang geeignet ist.
26. Vorrichtung nach Anspruch 23 oder 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Herbeiführen der Relativdrehung zum optischen Drehen des von dem zu prüfenden optischen System abgegebenen Lichtstrahlenbündels um den Meß-
strahlengang geeignet ist.
2 7. Vorrichtung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß das von dem zu prüfenden Lichtstrahlenbündel aüsgesandte Lichtstrahlenbündel auf mindestens zwei Strahlengänge aufgeteilt wird und die Bündeldreheinrichtung in mindestens einem dieser Strahlengänge angeordnet ist.
28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 23 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Gruppe von Parallellinienmustern mindestens ein von den anderen Linienmustern unterscheidbares Liniehmüster enthält.
29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 23 bis 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinrichtung mindestens zwei Linienabtastsensoren zum Abtasten und Erfassen von Lichtinformationen entlang von Linien besitzt.
30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 23 bis 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinrichtung geeignet ist, mindestens zwei Punkte des zugeordneten projizierten Bildes des Linienmusters zu erfassen und von den so erhaltenen Ergebnissen eine lineare Gleichung abgeleitet wird, die das projizierte Bild des Linienmusters betrifft und zur Berechnung der optischen Eigenschaften des zu prüfenden optischen Systems dazu verwendet wird, Veränderungen der Neigung und des Abstandes der Linien des projizierten Bildes zu ermitteln.
31. Vorrichtung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung geeignet ist, auf Grund der Neigung und des Abstandes der Linien des projizierten Bildes
ein gedachtes Parallelogramm zu konstuieren, und die optischen Eigenschaften des zu prüfenden optischen Systems auf Grund der Veränderung berechnet werden, die das gedachte Parallelogramm erfährt, je nachdem, ob sich das zu prüfende optische System in dem optischen Meßstrahlengang befindet oder nicht.
DE198282101639T 1981-03-03 1982-03-03 Einrichtung zur messung der kennzeichen eines optischen systems. Pending DE59480T1 (de)

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