DE2451994A1 - Verfahren und anordnung zur erzeugung photoelektrischer signale - Google Patents

Description

• Verfahren und Anordnung zur Erzeugung photoelektrischer Signale.
• Photoelektrische Schrittgeber #or Messung von Positionsänderungen, Interferenzrefraktometer zur Messung der Änderung der optischen Dicke und ähnliche Interferometer, die die Interferenz von zwei und Mehr Strahlen in Interferenzmodulationen umsetzen, sind bekannt.
• D A S 1548707, fD 0 s 2003492, Veröffentlichung: A conference on Moire Fringe Technology 19. -20. June 1972, Birni#hill Institute, National Engineering Laboratory East Kilbride Glasgow, Brit. Pat 942094.
• Falls bei Unbekannten Vorzeichen der Änderung des Messparameters mehr als eine Modulationsperiode durchlaufen wird, ist es notwendig, das Vorzeichen ebenfalls photoelektrisch zu vermitteln. Der wichtigste dafür bekannte Weg ist die Erzeuguhg von Drehfeldsignalen aus verketteten phasenverschobenen Komponenten. Zwei gleichstromfreie sin- cos Signale, die aus 90° phasenverschobenen Gegentaktpaaren photoelektrischer Signale mit Gleichstrommittelwerten # 0 abgeleitet sind, definieren am einfachsten solche Drehfelder.
• Zur fehlerfreien Messung kleiner Bruchteile eines Drehfeldumlaufes ist es zweckmässig, die Drehfelderwinkel aus dem Signalverhältnis als arc tan Werte zu messen, Daher darf das Signalverhältnis nur von der Messgrösse abhängen. Die Bemühungen bei der Konstruktion von Gebern der dargelegten Art haben zum Ziel mehrere Signale aus dem gleichen Lichtbündelquerschnitt aus einer Lichtquelle stammend abzuleiten, um bei Störeinflüssen das Signalverhältnis nicht zu beeinträchtigen. Bei Messung von Kartesischen Koordinaten ist es auch vorteilhaft, die Messinformation aus dem gleichen Bündelquerschnitt zu beziehen, da dessen optischer Schwerpunkt dann Bezugspunkt für beide Koordinaten sein kann.
• Die präzisesten Geräte konnten seither mit Hilfe aufwendiger Kristall-Polarisationsoptischer Bauteile hergestellt werden, da durch eine physikalische Strahlenteilung nach Polarisationsschwingungsrichtungen die Lichtflussverhältnisbildung bei linearen Empfängereigenschaften optimal gelöst ist.
• Ziel dieser Anrnlung ist es, Verfahren und Anordnungen anzugeben, die aus einem Beleuchtungsbündelquerschnitt am Messort Gegentakt oder zusätzlich vorzugsweise 900 phasenverschobenen Signale ahzuleiten gestatten und dabei den technischen, bzw. den Materialaufwand zu verringern. Ausserdem wird gezeigt, dass bei der Messung nUch zwei Koordinaten eine besonders einfache und effektive Trennung der nicht flüsse und damit der signale nach Koordinaten erreicht werden kann.
• nas Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass in einem ersten flächigen Gebiet ein Beleuchtungsbündel im auffallenden oder durchgehenden Sicht in zumindest zwei gegen einander geneigte zumindest teilkohärente erste Teilbündel zerlegt wird, die in einem im Strahlengang nachfolgenden zweiten Gebiet zumindest streckenweise von einander räumlich getrennt verlaufen, und dass die jeweiligen ersten Teilbündel in dem Trennungsgebiet durch winkelaufspaltende Mittel so in zweite Teilbündel zerlegt werden, dass jecils ein Paar erster Teilbündel, jedes fiir sich gleichartig,in jeweils mindestens zwei zweite Teilbündel zerlegt wird, wobei sie zu diesem Paar erster Teil bündel nicht coplanar verlaufen, und die nach einer Strahlumlenkung in einem dritten flächigen Gebiet, jeweils vorzugsweise in Bündelpaaren aus verschiedenen ersten Teilbündeln stammend, in mindestens zwei getrennten, diesen verschiedenen l ersten Teilbündeln gemeinsame Überschneidungsflächen gleitet werden, und dass in der jeweiligen Überschneidungsfläche des dritten flächigen Gebietes die zweiteh Teflbündel unterschiedlicher Richtung zumindest in einem Paar von sich durchdringenden,zumindest teilkohärenten mit einander fluchtenden Teilbündeln in die gleiche Richtung umgelenkt werden, und dass die dadurch im dritten flächigen Gebiet rtickgemischten, mit einander interferierenden Teilbündel,mindestens ein Rückgemischter aus jeder Überschneidungsfläche, zugeordneten photoelektrischen Empfängern zugeleitet werden, und dass mindestens zwei photoelektrische Signals, die mit der Veränderung des Messparameters zyklisch variieren, miteinander zur Signalauswertung verknüpft werden.
• Rei der Messung in zwei Koordinaten kann jeweils ein Paar von Überschneidungsflächen, die von einander getrennt in dem dritten flachigen Gebiet liegen, einer Messkoordinate zugeordnet werden. Die verschiedenen Strahlaufspaltungs- und Umlenkfunktionen können durch unterschiedliche Bauelemente bzw. Effekte bewirkt werden. Die Aufspaltung des Beleuchtungsbündels in erste Teilbündel ist durch Beugung an stati#-stisch oder regelmässig angeordneten brechenden, absorbierenden oder reflektierenden Streuzentren möglich.
• Bei regelmässig angeordneten Streuzentren , das heisst ein- oder zweidimensionalen Beugungsgittern werdne Beleuchtungsbündel in entsprechende wohldefinierte Teilbündel einzelner Beugungsordnungen zerlegt Diese können paarweise durch Blenden ausgesondert werden. Bei statistischen Strukturen ist es zweckmässig durch Blendenpaare aus den ## Streukeulen Raumwinkelbereiche zu isolieren, die einem Ortsfrequen%band mit einem Ortsfrequenzverhältnis kleiner als 1 s 2 entsprechen. Zur eindimensionalen Messung von Strecken oder auch von Gangunterschieden in Refraktometern können bei Beleuchtung mit polarisiertem Licht auch doppelbrechende Strahlaufspalter, wie Wollastonprismen als Aufspalter für erste rpeilbiindel nützlich sein. Die Aufspaltung in zweite Teilbündel erfordert keine Kohärenz zwischen den, aus. einem ersten Teilbündel abgeleiteten, zweiten Teilbündeln, nur die jeweils gleichartigen zweiten Teilbflndel aus verschiedenen ersten Teilbündeln müssen zueinander kohärent bleiben.
• Bei Beleuchtung mit einem Spektralband oder diskreten verschiedenen Wellenlängen kann die zweite Aufspaltung unter Wahrung der Anforderung an die zeitliche Kohärenz durch die Verwendung möglichst übereinstimmender ( zusammen gleich, aus gleichem Material gefertigter) Dispersionsprismen, vorzugsweise Geradsichtprismen,erreicht werden. Analog sind auch Beugungsgitter , in eine Ordnung geblazed, verwendbar.
• Beugungsgitter, vorzugsweise in einer Koordinate geteilt, die das Ticht vorzugsweise in zwei Beugungsordnungen lenken, sind als zweite Aufspalter genau so verwendbayr wie Wollastons prismen. Bei Wollatonprismen, die ebenfalls paarweise gleich sein müssen, sind zwei Relativorientierungen in den von einander örtlich getrennten ersten Teilbündeln möglich.
• zinke Orientrerung erfordert die Beleuchtung mit polarisiertem nicht in beiden STiichtausbreittmgskomponenten des Vollastonprismas. Die andere um 1800 verdrehte Anordnung der Aufspaltebene, die im dritten Gebiet in den Überschneidungsflächen gleich polarisierte Teilstrahlen vereinigt, kann sowohl mit polarisiertem, als auch mit natürlichem Licht beleuchtet werden. Die in dem dritten flächigen Gebiet in den Überschneidungsflächen angeordneten Bauelemente zur Rückmischung der zweiten Teilstrahlen können wahlweise die die gleichen sein, wie die bereits beschriebenen, im ersten flächigen Gebiet angeordneten. Es ist untweckmässig im drift ten flächigen Gebiet eine statistische Streustruktur anzuordnen, falls in dem ersten flächigen Gebiet bereits eine statistische ,Streustraktur liegt. Es ist zweckmässig, dass das die Wellenlängenabhängigkeit der Winkeländerung bestimmende Gesetz für die im ersten und dritten flächigen Gebiet angeordneten Bauelemente gleich ist, um bei polychromatischer Beleuchtung für alle Wellenlängen, bzw. Winkel die vollständige Richtungsrückmischung zu erreichen. Die Mittel, die zur Str;xhlfiihrung durch Richtungsänderung aus dem ersten flächigen Gebiet in das dritte flächige Gebiet notwendig sind, sind je nach Beleuchtung, Anordnung und Aufgabenstellung sehr verschieden.
• In Fig. 1. und Fig. 2. sind zwei Anordnungen zur Durchführung der Verfahren schematisch dargestellt.
• Fig. 1. zeigt eine vorzugsweise für Laserlichtbeleuchtung geeignete Anordnung zur Messung in einer Ortskoordinate.
• Fig. 2. zeigt eine mit Glühlampenlicht oder Elektroluminiszenzbeleuchtung betreibbare Anordnung zur Messung in zwei Ort sko ordinatem.
• In Fig. 1. wird ein Beugungsgitter (3-), das als Massverkör# perung dient, entsprechend der zu messenden Ortskoordinate X bewegt. Das aus (1) stammende divergente Laserlicht wird durch den Kollimator (2) in ein Parallelbündel umgeformt, das in dem ersten flächigen Gebiet des Beugungsgitters neben den nicht dargestellten Beugungsordnungen geringer Intensität in die + ersten Beugungsordnungen aufgespalten wird. Diese zueinander kohärenten Teilbündel fallen, örtlich von einander getrennt, auf die als Umlenkspiegel wirkenden Spiegelgitter (10 und 11) und werden aus der Ebene der + ersten Beugungsordnungen heraus durch Beugung in gegen einander geneigte zweite Teilstrahlen (18, 19 und 20, 21) aufgespalten.
• In einem dritten flächigen Gebiet liegen die beiden berschneidungsflächen (15 und 16), die als Beugungsgitter mit der gleichen Gitterkonstante wie (3) ausgebildet sind.
• Durch Versatz der Teilungsphase der Gitter gegen einander wird der Interferenzphasenunterschied zwischen den miteinander interferierenden wieder vereinigten zweiten Teilstrahlen gewählt. Durch die Ausbildung der Gitter (14, 15) als absorptionsfreie Phasengitter sind die mit + 2 bezeichneten Strahlenpaare zweiter Beugungsordnung in Gegenphase zu dem mit O bezeichneten Strahlenpaar nullter Beugungsordnung.
• Daher liefern die Empfänger-Signalverstärkersysteme (8a, 8b) gleichstromfreie, sinusförmige Ausgangssignale durch Differenzbildung der Gegentakteingangssignale. Damit beide Ausgänge zusammmn ein elektrisches zirkulares Drehfeld definieren, das entsprechend der Bewegung von (3) umläuft, wird die Phasenverschiebung zwischen (8a und 8b) durch den Gitterversatz zu 900 gemacht.
• Nicht dargestellt ist eine vorteilhaft den Gittern (14, 15) gemeinsam nachgeordnete Sammellinse, um das nicht in den, den Beugungsordnungen entsprechenden Punkten der Brennebene auf die Empfänger zu konzentrieren. Die Gitter (14, 15) könnten auch Transmissionsgitter mit Spiecrelstrichen sein um auf beiden Seiten der Gitterfläche gegenphasig modulierte Teilbündel abnehmen zu können.
• Von V. V. Kulinetzki und S. A. Strzhner wurde in "Optical Technology" Vol. ?;8 Nr. 10 Oktober 19?1 S 588 - 590 eine Gitteranordnung veröffentlicht, die zeigt, dass es ohne abbildende Systeme und ohne besondere Anforderungen an die Kohärenzeigenschaften der Lichtquelle möglich ist, Längenmesssysteme zu bauen. Es wird dabei kollimiertes senkrecht auf ein bewegtes spiegelndes Messgitter auffallendes Tjicht als als + ernte Beugungsordnungen reflektiert. Mit den Gitterflächen und Strichrichtungen zum rdessgitter parallel beidseitig des Beleuchtungsbündels angeordnete einkoordinatig geteilte Spiegelgitter werfen, das einfallende licht der + ersten Ordnungen beugend, dieses in sich zurück, sodass es am Meesgitter nochmals gebeugt zur Messung der Modulation wieder vereinigt abgenommen werden kann.
• Das Verfahren dieser Anmeldung auf diese Anordnung zu übertragen, erfordert nur, dass die beidseitig zum Beleuchtungsstrahl angeordneten Spiegelgitter als Kreuzgitter geteilt werden um die nicht coplanare zusätzliche Strahlaufspaltung zu erreichen. Werden die beiden mit jeweils gleicher Gitterkonstanten in (x) und (y) geteilten Spiegelgitter in der y Koordinate nur in einer Beugungsordnung, ausgenommen die nullte Beugungsordnung, geblazed, so kann bei Beleuchtung mit zwei, z,B. roten und grünen Wellenlängenbereichen die, auf die Dispersionsaufspaltung in y folgende Beugung auf dem Messgitter in einer "roten" und in einer "grünen" Sour erfolgen, die heben der Spur liegen, an der das einfallende Licht gebeugt wird. Bei Versetzung dieser beiden Spuren gegen einander kann jede erwünschte Phasenverschiebung der Signale erreicht werden. Werden die x-y Gitter in y in der nullten und ersten Ordnung gebla zed, so wird neben der Beleuchtungsspur des Messgitters nur eine zweite Spur, in der Teilungsphase verschoben, benötigt, auf der die Strahlen jeweils einer erstenyBeugungsordnung rückgemischt werden.
• Auch bei drei Durchlichtgittern, ### 1. zur Strahlaufspaltung, 2. zur Strahlumlenkung, und 3. zur Rückmischung, die zur Wahrung der örtlichen und zeitlichen Kohärenz der rückgemischten Strahlen mit entsprechenden Abständen und Orientierung angeordnet sind, kann das zweite Strahlumlenkungsgitter zur nicht coplanaren Aufspaltung in zwei Beugungskoordinaten geteilt sein.
• In Fig. 2 wird eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens schematisiert und vereinfacht vorgestellt, die bezogen auf den Schwerpunkt des Beleuchtungsstrahles x und y lageänderungen der als Kreuzliniengitters geteilten Massverkör# perung (103) misst.
• Die Lichtquelle (101)> ein p-n Übergang einer Elektroluminiszenz diode, wird durch den Kollimator ( 102) nach Unendlich abgebildet. Die Objektive (104 und 106) bilden die Ebene (103) afokal und telezentrisch in die Ebene' (107)' ab. In der gemeinsamen Brennebene (105) der Objektive (104 und 106) ist eine Blendenflache angeordnet, die nur Öffnungen, für die nach x (112, 113) und y (110, 111) gbbeugten in + ersten Ordnungen vervielfachten Bildern der Lichtquelle (1C1) hat.
• Die Blendenöffnungen sind paarweise mit Laminar-Phasen-Gitter besetzt, die die Lichtquellenbilder abbildenisn Strahlen zu je 40 % der Intensität in je zwei zweite Teilbündel, entsprechend dem Verfahren der Erfindung, aufspalten, Die acht zweiten Teilbündel durchsetzen sich überlappend in vier Flächenteilen des Objektivs (106) und werden in den vier tJberschneidungsflächen der Ebene (10) an den dort angeordneten, in der jeweiligen Messkoordinate (x, 114,115; y, 116, 117) geteilten Beugungsgitter rückgemischt. Nach jedem Beugungsgitter (114, 115, 116, 117) verlaufen die Gerätefunktionen völlig analog zu@ den bei Fig. 1. beschriebenen Funktionen* Da der zentrale Plächenteil von (105) ausgeblendet ist, könnte zur Verwendung eines Relexionsgitters anstelle von (103), das Beleuchtungslicht durch einen kleinen, unterhalb der Fläche (105) zentral gelegenen,Spiegel eingespiegelt werden, sodass das Objektiv (104) die Rolle von (102) mit übernehmen kann* Bei Ausbildung der vier Rückmischgitter (114, 115, 116, 117) als spiegelnde Phasengitter und geeignet gewählten Winkelaufspaltungen in der Ebene (105) können die lichtempfänger (108, 109) unter Verwendung des Objektivs (106) in die, dann auf der Oberfläche von (105) entstehenden Lichtquellenbilder positioniert werden. Zerlegt man zumindest eines der Lichtquellenbilder in zumindest zwei von einander auf verschiedenen Empfängern getrennte Teilbilder mit einer Trennkante, die dem zentralen Streifen der Interferenzen gleicher Neigung in den Lichtquellenbildern bei relltiver Defokussierung von (103) zu (107) entspricht, so wird die Defokussierung mess- und regelbar. Wertet man durch die Auswertung der Drehfeldsignale, zu deren Erzeugung auch die Summe,der von einem Lichtquellenbild auf verschiedenen Empfängern erzeugten Signale heran gezogen werden kann, den Umlauf sinn der Drehfeldsignale gegen den Umlaufsinn und die Elliptizität der Signale aus einem pder mehreren aufgespaltenen Lichtquellenbildern aus, so ist das Vorzeichen und der Betrag der Defokussierung für Mess- und Regelzwecke zugänglich.
• Da s erste flächige Gebiet (103) kann auch eine Scene in der landschaft oder eine aus einem Sicherheitsabstand beobachtete Werkstückoberfläche sein. Die Beleuchtung kann dann natürlich oder künstlich sein. Mit steigendem Abstand der Objekfläche vom optischen System und steigenden Abmessungen der messtechnisch erfassten Fische, ist wegen des Preises und der Unhandlichkeit grosser CbWektive keine telezentrische Abbildung mehr möglich. Die Objektive (106, i4) rücken dann zu einem Fernrohobjektiv zusammen, in dessen Pupillenebene die Flache (105) rückt. Bei ausgedehnter Objektfläche ohne Beleuchtungseinschränkung entstehen Schwierigkeiten durch Bildüberlappungen in der Ebene (1070)- Diese werden dadurch umgangen, dass mit einem Fernrohrobjektiv ein Zwischenbild auf eine Gesichtsfeldblende entworfen wird, die in einem optischen System wie in Fig. 2. an die Stelle des ausgeleuchteten Bereiches von (103) gelegt wird. Neben den physikalisch bedingten Eigenschaften einer solchen Anordnung hat eine solche Anordnung auch gerätetechnisch-ökono mische Vorteile, da ein einziges System durch verschiedenartige vorgesetzte Fernrohre an die Unterschiedlich#### Aufgaben angepasst werden kann, Zur Steigerung des Signalzu Rauschabstandes in den Sigaalen können in der beschriebenen Zwischenbildebene sogar kohärente quantenoptische Verstärker angeordnet werden.
• Bei grossen Objektentfernungen ist die parallele Anordnung mehreren optischer Systeme mit voruzgsweise gemeinsamen Empfängern möglich, um das Signal-zu Rauschverhältnis durch die Steigerung des genutzten Lichtflusses ZU verbessern. Die geometrisch-optische Strahlführung kann dabei auch der Strahlführung in den bekannten Basisentfernungsmes# sern entsprechen Anstelle der optischen Überlagerung in Basisentfernungsmessern können auch elektrische Signalvergleiche zwischen zwei gleichen, um parallaktische Winkel reell oder virtuell verschwenkbaren Systemen vorgenommen werden. dabei übernehmen die Verhältnis- oder Differenzsignale von sich entsprechen# den Empfängern der beiden Systeme die Rolle der Teilbilder von aufgespaltenen Lichtquellenbildern bei dem Vergleich von Drehsinn und Elliptizität der geschilderten Defokussierungsmessung.
• Die geschilderten Anordnungen schöpfen das Verfahren zur Erzeugung von photoelektrischen Signalen noch nicht aus, in Refraktometern z.B. würden die Bauteile von der Strahlaufspaltung bis zur Rückmischung fest angeordnet um die Messküvette in einem der ersten Teilbündel anzuordnen. Bei der Geräteausbildung mit in zwei Koordinaten getrennten ersten Teil# bündeln,bietet sich in einem Refraktometer wegen der hohen Symmetrie an,das zweite Paar von ersten Teilbündeln zur Überwachung und Kompensation von gerätebedingten Nullpunktdriften zu verwenden.

Claims (17)

Ansprüche.

1. Verfahren zur Erzeugung von photoelektrischen Signalen, vorzugsweise von Drehfeldsignalen zur Messung von Positionsänderungen in mindestens einer Koordinate, 7llr Messung von Gangunterschiedsänderungen von zwei oder mehr interferierenden Signalen, dadurch gekennzeichnet, dass a) in einem ersten flächigen Gebiet (3, 103) ein Beleuchtungsbündel in zuminest zwei gegen einander geneigte, zumindest teilkohärente erste Teilbündel zerlegt wird, die b) in einem im Strehlengang nachfolgenden zweiten Gebiet(105) zumindest streckenweise von einander getrennt verlaufen, und dass c) die jeweiligen ersten Teilbündel in dem Trennungsgebiet durch winkelaufspaltende Mittel (10, 11, 110, 111, 112, 113) so in zweite Teilbündel (18, 19, 20, 21) zerlegt werden, dass jeweils mindestens zwei erste Teilbündel, jeder für sich gleichartig, in jeweils mindestens zwei zweite Teilbündel zerlegt werden, wobei diese zu einer jeweiligen Gruppe von nachträglich zur Wechselwirkung gebrachten ersten Teilbündem nicht coplanar verlaufen, und dass d) die in den Verfahrensschritten a) bis d) erzeugten und behandelten Teilbündel im Strahlverlauf zeitlich vor einem dritten flächigen Gebiet so richtungsum1enkend (10, 11, 104, 106) beeinflusst werden, dass e) in mindestens zwei von einander trennbaren Überschneidungsflächen (14, 15, 114, 115, 116, 117) mindestens zweier zweiter Teilbündel (18, 20) eines dritten flächigen Gebietes (107) zweite Teilbündel aus unterschiedlichen ersten Teilbü ndeln in mindestens einem Strahlenpaar nach Fluchtung und Richtung vereinigt werden, und dass f) aus jeder Überschneidungsfläche (14, 15) mindestens ein System von nach Fluchtung und Richtung rückgemischter Teilbündel auf zugeordneten photoelektrischen Empfängern in elektrische Signale (8a,b; 108a,b; 1C9a,b) umgesetzt werden, und dass g) mindestens zwei elektrische Signale (8a,b) zur Auswertung auf die jeweiligen Messparameter ( x, y) mit einander verkrnipft werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, dass die ersten (103) und dritten (107) flächigen Gebiete durch ein abbildendes System (104, 106) optisch zueinander konjugiert angeordnet werden.

3 Verfahren nach den Ansprüchen 1. , 2., dadurch gekennzeichnet, dass zur Strahlaufspaltung im ersten flächigen Gebiet und oder zur Strahlrückmischung im dritten flächigeh Gebiet periodische ( 3, 103; 14, 15, 114, 115, 116, 117) oder statistisch angeordnete Streuzentren verwendet werden.

4. Verfahren nach den Ansprichen 1., 2., dadurch gekennzeichnet, dass zur Strablaufspaltung im ersten flächigen Gebiet und oder zur Strahlrückmischung im dritten flächigen Gebiet kristalloptische, drei Strahlen in feste Winkelbeziehungen setzende Bauelemente verwendet werden.

5. Verfahren nach den Ansprüchen 1., 2,, 3., 3.> 4. dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufspaltung der ersten Teilbflndel in jeweils mehrere zweite Teilbündel im zweiten Gebiet einkoordinatig geteilte Beugungsgitter (10, 11, 114, 115, 116, 117) verwendet werden.

6. Verfahren nach den Ansprüchen 1., 2., 3., 4. dadurch gekennzeichnet, dss zur Auf spaltung der ersten Teilbündel in jeweils mehrere zweite Teilbündel im zweiten Gebiet bei gleichzeitiger, die Strahlüberschneidung einleitender Umlenkung in zwei Kojrdinaten geteilte Beugungsgitter verwendet werden.

7. Ve37flshren nach den Ansprtichen 1. bis 4. dadurch gekennzei-chnet, dass zur Aufspaltung der ersten Teilbündel in jeweils mehrere zweite Teilbündel winkelaufspaltende kristalloptische Bauelemente verwendet werden.

8. Verfahren nach den Ansprüchen 1. bis 4. dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufspaltung der ersten Teilbündel in jeweils mehrere zweite Teilbündel wellenlängenabhängig winkeldispergierende Bauelemente verwendet werden.

9. Verfahren nach den Ansprüchen 1. bis 8. dadurch gekennzeichnet, dass ein nach Anspruch 1. f) rückgemischtes System von Teilbündeln in mindestens zwei photoelektrische Signale umgesetzt wird, die zu Strahlen zugeordnet sind, die symmetrisch zu einem Richtungsvektor durch die jeweilige Überschneidungsfläche (14, 15, 114, 115, 116, 117) im dritten flächigen Gebiet liegen.

10. Verfahren nach den Ansprüchen 1. und 9. @ dadurch gekennzeichnet, dass Drehfeldsignale aus verschiedenen Systemen von Teilbündeln@ abgeleitet (8a, 8b; 108a,b; 1Q9a,b), mit Drehfeldsignalen nach Anspruch 9. abgeleitet, gemeinsam ausgewertet werden, um Messm signale für die in Strahlrichtung gelegene Koponente von lageänderungen von optisch wirksamen Elementen zu gewinnen.

11. Verfahren nach den Ansprüchen 1. bis 10. dadurch gekennzeichnet, dass zur Einschränkung der Felder in den flächigen ersten (3, 103) und dritten Gebieten (107) Blenden ( 2, 14, 15, 102, 107) verwendet werden.

12. Verfehren nach den Ansprüchen 1. bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Einschränkung der Zahl und der Raumwinkelbereiche der Systeme von ersten oder zweiten Teilbündeln Systeme(105)) von zueinander mindestens paarweise konkruenten Blenden verwendet werden.

13. Anordnung nach den Ansprüchen 1. bis 12. dadurch gekennzeichnet, dass einem Flächenelement der Objektebene (103) eines abbildenden Systemes in der dazu konjugierten Bildebene (107) mindestens zwei von einander trennbare Flächenelemente zugeordnet sind, welchen jeweils mindestens ein Ausgang (8a, 8b, 109a,b) für photoelektrische erzeugte Signale nachgeordnet iat,

14. Anordnung nach den ansprüchen 1. und 3. bis 12. dadurch gekennzeichnet, dass einem Querschnitt eines Beleuchtungsbündels (2) mindestens'zwei von einander trennbare Querschnitte von signaltragenden Bündelsystemen zugeordnet sind, und dass aus jedem Querschnitt mindestens einem Bündelsystem ein Ausgang photoelektrischer Signale zugeordnet ist.

15. Anordnung nach, den Ansprüchen 1. bis 14. dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Systeme optisch parallel angeordnet sind mit vorzugsweise flr' mehrere Systeme gemeinsam angeordnete entsprechende Empfänger.

16. Anordnung nach den Ansprüchen 1. bis 15. dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Systeme mit reell oder virtuell zueinander einstellbaren Parallaxwinkeln bezüglich der Objektebene zu einer Einheit mit einander verbunden sind, und dass die Ausgänge entsprechender Empfänger nach Anspruch 9.

mit einander verkniipft sind.

17. Anordnung nach den Ansprüchen 1. bis 15. dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei optoelektrische Systeme , die sich auf verschiedene Teile der Objektfläche beziehen fest mit einander verbunden sind, und dass Drehungen der Objektebene (103) relativ zu den verbundenen Systemen in einer den Signalausgängen der Systeme nachgeschalteten Vergleicherstufe für Drehfeldsignale ah dem Winkeldiskriminatorausgang der Verleicherstufe als Mess- und Regelsignal anliegen, L e e r s e i t e