DE589974T1 - Verfahren und system zur prüfung kapazitiver akustischer wandler. - Google Patents

Verfahren und system zur prüfung kapazitiver akustischer wandler.

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DE589974T1
DE589974T1 DE0589974T DE92912298T DE589974T1 DE 589974 T1 DE589974 T1 DE 589974T1 DE 0589974 T DE0589974 T DE 0589974T DE 92912298 T DE92912298 T DE 92912298T DE 589974 T1 DE589974 T1 DE 589974T1
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DE
Germany
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test line
capacitance
transducers
preamplifier
control unit
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Erling Frederiksen
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Hottinger Bruel and Kjaer AS
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Bruel and Kjaer AS
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G01R31/2829Testing of circuits in sensor or actuator systems

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Claims (12)

EP-A-O 589 974 (92 91.2298.4) A/S Brüel & Kjar u.Z. : £&Rgr;-39&Idigr;)8 Patentansprüche (Deutsche Übersetzung nach Artikel 67 EPÜ)
1. Verfahren zum Testen eines oder mehrerer kapazitiver Wandler, vorzugsweise akustischer Wandler, durch eine zentrale Steuereinheit, wobei die Wandler mit einem Eingang eines Vorverstärkers (4) mit relativ hohem Eingangswiderstand (6) verbunden sind und wobei sich eine Prüfleitung von der zentralen Steuereinheit zu den Wandlern erstreckt, wobei die Prüfung jedes Wandlers mit
° Hilfe eines Prüfsignals ausgeführt wird, das über die Prüfleitung (81) übertragen wird und wobei ein Kondensator in der Prüfleitung zu der Verbindung zwischen dem Wandler und dem Eingang des Vorverstärkers (4) eingefügt ist, gekennzeichnet durch eine relativ kleine Kapazität ^ mit einem sehr hohen äquivalenten Parallelwiderstand {Leckwiderstand) in der Prüf leitung (81) und durch
mittels der Prüfleitung {8') gemessene Frequenzkennwerte, die mit vorher ermittelten Kennwerten verglichen werden, um gegebenenfalls in dem Wandler auftretende Fehler zu erkennen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfleitung {8') in der zentralen Steuereinheit mit einem Wechselschalter (1) in Verbindung steht, der entweder mit einem Gehäuse oder einer Prüf-Wechselspannung verbunden ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität (10) in der Prüf leitung (81)
3^ einen Wert von etwa 0,1 pF aufweist.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der äquivalente Parallelwiderstand (Leckwiderstand) der Kapazität (10) in der Prüf leitung (81) etwa 107 M Q beträgt .
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität (10) in der Prüf leitung (81) mittels eines Substrats (14) mit einer Lötschicht (12) auf der einen Seite und mit einer Leiterbahn auf der gegen-
1^ überliegenden Seite versehen ist {Fig. 5).
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lötschicht (12) mittels eines Laserstrahls oder einer anderen Abtrageinrichtung beschnitten wird, bis die gewünschte Kapazität des Kondensators (10) erreicht worden ist.
7. System zum Ausführen des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche 1 bis 6 zum Prüfen eines oder mehrerer Wandler, vorzugsweise kapazitiver Wandler, von einer zentralen Steuereinheit aus, wobei die Wandler einzeln mit einem Eingang eines Vorverstärkers (4) mit relativ hohem Eingangswiderstand (6) verbunden sind und wobei eine Prüfleitung von der zentralen Steuereinheit mit jedem der Wandler verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüf leitung (81) mit dem Verbindungspunkt zwischen dem Wandler und dem Eingang des Vorverstärkers (4) über eine relativ geringe Kapazität (10) mit sehr hohem äquivalenten Parallelwiderstand (Leckwiderstand) verbunden ist.
8. System nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfleitung (8') mit einem Umschalter (1) in der zentralen Steuereinheit in Verbindung steht, wobei der Umschalter entweder mit einem Gehäuse oder einer Prüf-Wechselspannung verbunden ist.
9. Systen nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität (10) in der Prüf leitung (81) einen Wert vdh etwa 0,1 pF aufweist.
10. System nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der äquivalente Parallelwiderstand der Kapazität (10) eine Größenordnung von 10 M &OHgr; aufweist.
11. System nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität der Prüfleitung (8') eine einstellbare Schraube in einer Kapsel (20) ist, wobei die einstellbare Schraube gegenüber dem verbleibenden Abschnitt der Kapsel elektrisch isoliert ist.
12. System nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität der Prüf leitung (81) eine einstellbare Schraube (16) in einem Adapter (19) in Form einer getrennten Einheit zwischen der Kapsel (20) und dem Vorverstärker (18) ist.
4 ÜSS9
Geänderte Patentansprüche
[eingegangen beim Internationalen Bureau am 8. September 1992 {08 . 09 . 92); ^{ursprüngliche Ansprüche 2 und 8 sind gestrichen; ursprüngliche Ansprüche 1 und 6 geändert, andere Ansprüche ungeändert aber umnumeriert (3 Seiten)3
1. Verfahren zum Testen eines oder mehrerer kapazitiver Wandler, vorzugsweise akustischer Wandler, durch eine zentrale Steuereinheit, wobei jeder Wandler mit einem Eingang eines Vorverstärkers (4) mit relativ hohem Eingangswiderstand {6) verbunden ist und wobei sich eine Prüfleitung von der zentralen Steuereinheit zu dem Wandler erstreckt, wobei die Prüfung jedes Wandlers mit Hilfe eines Prüfsignals ausgeführt wird, das über die Prüfleitung (8') übertragen wird und wobei ein Kondensator mit relativ kleiner Kapazität in der Prüfleitung zu der Verbindung zwischen dem Wandler und dem Eingang des Vorverstärkers (4) eingefügt ist, gekennzeichnet durch eine relativ kleine Kapazität in der Prüfleitung (81) mit einem sehr hohen äquivalenten Parallelwiderstand {Leckwiderstand) und durch mittels der Prüfleitung (8') gemessene Frequenzkennwerte, die mit vorher ermittelten Kennwerten verglichen werden, um gegebenenfalls in dem Wandler auftretende Fehler zu erkennen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität (10) in der Prüf leitung {8') einen Wert von etwa 0,1 pF aufweist.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der äquivalente Parallelwiderstand (Leckwiderstand) der Kapazität (10) in der Prüf leitung (81) etwa &Igr;&Ogr;7 &Mgr; &OHgr; beträgt .
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität (10) in der Prüf leitung (81) mittels eines Substrats (14) mit einer Lot schicht (12) auf
der einen Seite und mit einer Leiterbahn auf der gegenüberliegenden Seite versehen ist (Fig. 5).
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Lötschicht (12) mittels eines Laserstrahls oder einer anderen Abtrageinrichtung beschnitten wird, bis die gewünschte Kapazität des Kondensators (10) erreicht worden ist.
6. System zum Ausführen des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche 1 bis 5 zum Prüfen eines oder mehrerer Wandler, vorzugsweise kapazitiver Wandler, von einer zentralen Steuereinheit aus, wobei die Wandler einzeln mit einem Eingang eines Vorverstärkers (4) mit relativ hohem Eingangswiderstand (6) verbunden sind und wobei eine Prüfleitung von der zentralen Steuereinheit mit jedem der Wandler verbunden ist, wobei die Prüfleitung (81) mit dem Verbindungspunkt zwischen dem Wandler und dem Eingang des Vorverstärkers (4) über eine relativ geringe Kapazität (10) verbunden ist, gekennzeichnet durch eine relativ geringe Kapazität in der Prüfleitung (81) mit sehr hohem äquivalenten Parallelwiderstand {Leckwiderstand), ·
7. Systen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität (10) in der Prüfleitung (81) einen Wert von etwa 0,1 pF aufweist.
8. System nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der äquivalente Parallelwiderstand der Kapazität
(10) eine Größenordnung von 10 M &OHgr; aufweist.
9. System nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität der Prüfleitung (81) eine einstellbare Schraube in einer Kapsel (20) ist, wobei die einstellbare Schraube gegenüber dem verbleibenden Abschnitt der Kapsel elektrisch isoliert ist.
ÜS89
10. System nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität der Prüf leitung (8') eine einstellbare Schraube (16) in einem Adapter (19) in Form einer getrennten Einheit zwischen der Kapsel (20) und dem Vorverstärker (18) ist.
DE0589974T 1991-05-31 1992-05-29 Verfahren und system zur prüfung kapazitiver akustischer wandler. Pending DE589974T1 (de)

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DK105091A DK167636B1 (da) 1991-05-31 1991-05-31 Fremgangsmaade og apparat til overvaagning af akustiske transducere
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JP2001000019U (ja) 2001-05-18
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