DE465699C - Aus Stuecken verschiedener Metalle bestehende Kathode zur Herstellung elektrischer Widerstaende - Google Patents
Aus Stuecken verschiedener Metalle bestehende Kathode zur Herstellung elektrischer WiderstaendeInfo
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- DE465699C DE465699C DEA48376D DEA0048376D DE465699C DE 465699 C DE465699 C DE 465699C DE A48376 D DEA48376 D DE A48376D DE A0048376 D DEA0048376 D DE A0048376D DE 465699 C DE465699 C DE 465699C
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine aus Stücken verschiedener Metalle bestehende Kathode,
durch deren Zerstäubung eine dünne, als Widerstand dienende Schicht auf einem nichtleitenden
Träger erzeugt wird. Es ist bekannt, elektrische Widerstände durch Zerstäubung einer Kathode herzustellen, deren Enden aus
einem sich schnell niederschlagenden Metall und deren Mittelstück aus einem sich langsam
niederschlagenden Metall bestehen. Durch Zerstäubung dieser Kathode werden auf einem
Widerstandsträger ein den eigentlichen Widerstand bildender Metallniederschlag und
außerdem stärkere, zur Bildung der Stromanschlußstellen dienende Niederschläge hervorgerufen.
Derartige Widerstände haben jedoch den Mangel, daß sie wegen des hohen Temperaturkoeffizienten
und der geringen Haltbarkeit des den eigentlichen Widerstand bildenden
dünnen Metallniederschlages nur in geringem Maße belastet werden können.
Es ist außerdem bekannt, hochohmige Widerstände durch Zerstäubung einer aus Konstantan
bestehendea Kathode herzustellen.
S5 Auch in diesem Falle können jedoch keine
Widerstände gewonnen werden, welche in hohem Maße belastet werden können.
Die Erfindung besteht darin, daß die Kathode mit einem aus einem bestimmten Metall,
ζ. Β. Nickel, bestehenden Träger versehen ist, über dessen Fläche Teile eines anderen
Metalls, z. B. Wismut, in Form von Scheiben o. dgl. verteilt sind, so daß durch die Zerstäubung der Kathode eine gleichmäßige
Legierung der verschiedenen Metalle auf dem Widerstandsträger erzeugt wird. Hierdurch ist der Vorteil erzielt, daß zur Erzeugung
der Widerstandsschicht verschiedene Metalle, z. B. Nickel und Wismut, verwendet werden können, die sich schwierig zwecks
Bildung einer Kathode legieren lassen, anderseits jedoch zur Erzeugung einer haltbaren
Widerstandschicht dienen können, die einen geringen Temperaturkoeffizienten besitzt, so
daß ein hoch belastbarer Widerstand gewonnen wird.
Auf der Zeichnung ist eine mit einer Kathode nach der Erfindung versehene Einrichtung
sowie ein einzelner, mittels dieser Einrichtung hergestellter Widerstand in" einer
Ausführungsform dargestellt.
Abb. ι ist ein senkrechter Schnitt durch
die ganze Einrichtung. Abb. 2 ist eine Unteransicht der Kathode der Einrichtung nach
Abb. i. Abb. 3 veranschaulicht einen einzelnen Widerstand in vergrößertem Maßstab.
In einem kugelförmigen Glasbehälter a,
dessen Oberteil b und Unterteil c durch Flanschen d und nicht dargestellte Befestigungsmittel
bekannter Art gasdicht, jedoch lösbar miteinander verbunden sind, ist eine kreisförmige,
aus Nickel bestehende Scheibe e angeordnet. Diese Nickelscheibe ist waagerecht an
einem" Draht/ aufgehängt, der durch das
Oberteil b nach außen geführt ist und als Stromzuleitung dient. In der Nickelscheibe e
sind Löcher vorgesehen, in denen die Schäfte g kleiner Scheiben h aus Wismut nietartig
befestigt sind. Die Scheiben h können auch fortfallen, wenn genügend dicke Wismutstifte
in den Löchern der Nickelscheibe durch Stauchen o. dgl. befestigt werden.
Unter der Nickelscheibe e ist in dem Glasbehälter
α eine Glasplatte i angeordnet, die zur Aufnahme der mit einer dünnen leitenden
Schicht zu versehenden, nichtleitenden Träger k dient. Die Glasplatte i ist auf einem
senkrechten Glasrohr m befestigt, das durch das Gehäuseunterteil c nach außen geführt und
am unteren Ende verschlossen ist. In das Glasrohr m ist ein zweiter Zuleitungsdraht η
hineingeführt, der im Innern des Behälters a aus dem Glasrohr-Mt heraustritt und am freien
ao Ende zu einer als Anode dienenden Spirale 0 ausgebildet ist.
Der aus dem Behälterunterteil c herausragende Teil des Glasrohrs m ist mit einem
seitlichen Stutzen p versehen, der an eine Luftpumpe und an eine Vorrichtung zur Einleitung
des für den Zerstäubungsvorgang benötigten Gases angeschlossen, werden kann.
Sollen die auf die Glasplatte i gelegten Träger k mit einem dünnen leitenden Überzug
versehen werden, so wird zunächst durch den Stutzen^ die Luft aus dem Behälter« entfernt.
Hierauf wird durch den Stutzen p Gas, das den Zerstäubyaigsvorgang· ermöglicht, eingeführt.
Alsdann wird die Glimmentladung eingeschaltet. Durch Zerstäubung der aus Stücken e und h verschiedener Metalle zusammengesetzten
Kathode wird jetzt auf den nichtleitenden Trägern k eine gleichmäßige
Legierung hervorgerufen, durch welche eine dünne, als Widerstand dienende Schicht gebildet
wird.
Durch Benutzung der beschriebenen Kathode ist der Vorteil erzielt, daß zur Erzeugung·
der WiderstajidscMcht solche Metalle
verwendet werden können, aus denen die Kathode durch Legierung nur schwierig oder
gar nicht hergestellt werden könnte. Es ist daher ein großer Spielraum bezüglich der !
Wahl der als Ausgangstoffe bei der Katho- j denzerstäubung zu benutzenden Metalle gegeben.
Durch die Wahl dieser Ausgangstoffe, z. B. Nickel und Wismut, und durch geeignete
Abstimmung des Verhältnisses ihrer freien Oberflächen kann auf dem nichtleitenden Träger
k ein Überzug hervorgerufen werden, der hohen spezifischen Widerstand und geringen
Temperaturkoeffizienten besitzt, so daß eine stärkere und haltbarere Schicht erzeugt werden
kann, als wenn ein einziges Metall oder eine aus Konstantan bestehende Legierung
als Ausgangstoff benutzt würde. _ Die auf den nichtleitenden Trägern k hervorgerufenen
Schichten können daher erheblich höher belastet werden als Schichten, die durch Zerstäubung
eines einzigen Metalls oder einer aus Konstantan bestehenden Legierung erzeugt sind.
Erforderlichenfalls icönrren Tiach der Erfindung
auch mehr als zwei Metalle als Ausgangstoffe bei der Kathodenzerstäubung benutzt
werden.
Die mit einer dünnen leitenden Schicht versehenen, nichtleitenden Träger k werden
zweckmäßig in einer Glasrohre q (Abb. 3) eingeschlossen. In diese Glasrohre wird,
nachdem die Luft aus ihr entfernt ist, vor dem Zuschmelzen Helium eingefüllt, um den
Widerstand konstant zu halten. Auf den Enden der Glasrohre q können noch in bekannter
Weise MetaUkappem / angeordnet werden,
mit denen die in die Glasrohre !eingeschmolzenen Zuleitungsdrähte 5 des Trägers k
in bekannter Weise elektrisch verbunden sind.
Claims (1)
- Patentanspruch:Aus Stücken verschiedener Metalle bestehende Kathode, durch deren Zerstäubung eine dünne, als Widerstand dienende Schicht auf einem nichtleitenden Träger erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer aus einem bestimmten Metall, z. B. Nickel, bestehenden flächenförmigen Kathode (e) Scheiben Qi) o. dgl. eines anderen Metalls, z. B. Wismut, angebracht sind, zum Zweck, eine gleichmäßige Legierung der verschiedenen Metalle auf dem Widerstandsträger zu erzeugen.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEA48376D DE465699C (de) | 1926-07-22 | 1926-07-22 | Aus Stuecken verschiedener Metalle bestehende Kathode zur Herstellung elektrischer Widerstaende |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEA48376D DE465699C (de) | 1926-07-22 | 1926-07-22 | Aus Stuecken verschiedener Metalle bestehende Kathode zur Herstellung elektrischer Widerstaende |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE465699C true DE465699C (de) | 1928-09-21 |
Family
ID=6936315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEA48376D Expired DE465699C (de) | 1926-07-22 | 1926-07-22 | Aus Stuecken verschiedener Metalle bestehende Kathode zur Herstellung elektrischer Widerstaende |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE465699C (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE764267C (de) * | 1934-06-14 | 1951-08-09 | Saint Gobain | Verfahren zur Herstellung von bandfoermig angeordneten elektrischen Widerstandsschichten |
DE1515314B1 (de) * | 1966-02-04 | 1973-05-30 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung mit Ringentladung |
DE3810667A1 (de) * | 1988-03-29 | 1989-10-19 | Siemens Ag | Elektrisches widerstandsmaterial fuer elektrothermische wandler in duennschichttechnik |
DE10039478A1 (de) * | 2000-08-08 | 2002-02-28 | Cemecon Ceramic Metal Coatings | Zerstäubungs-Bauteil |
-
1926
- 1926-07-22 DE DEA48376D patent/DE465699C/de not_active Expired
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE764267C (de) * | 1934-06-14 | 1951-08-09 | Saint Gobain | Verfahren zur Herstellung von bandfoermig angeordneten elektrischen Widerstandsschichten |
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DE10039478A1 (de) * | 2000-08-08 | 2002-02-28 | Cemecon Ceramic Metal Coatings | Zerstäubungs-Bauteil |
US6852201B2 (en) | 2000-08-08 | 2005-02-08 | Cemecon Ag | Sputter target and method of using a sputter target |
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