DE465699C - Aus Stuecken verschiedener Metalle bestehende Kathode zur Herstellung elektrischer Widerstaende - Google Patents

Aus Stuecken verschiedener Metalle bestehende Kathode zur Herstellung elektrischer Widerstaende

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DE465699C
DE465699C DEA48376D DEA0048376D DE465699C DE 465699 C DE465699 C DE 465699C DE A48376 D DEA48376 D DE A48376D DE A0048376 D DEA0048376 D DE A0048376D DE 465699 C DE465699 C DE 465699C
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors

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  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine aus Stücken verschiedener Metalle bestehende Kathode, durch deren Zerstäubung eine dünne, als Widerstand dienende Schicht auf einem nichtleitenden Träger erzeugt wird. Es ist bekannt, elektrische Widerstände durch Zerstäubung einer Kathode herzustellen, deren Enden aus einem sich schnell niederschlagenden Metall und deren Mittelstück aus einem sich langsam niederschlagenden Metall bestehen. Durch Zerstäubung dieser Kathode werden auf einem Widerstandsträger ein den eigentlichen Widerstand bildender Metallniederschlag und außerdem stärkere, zur Bildung der Stromanschlußstellen dienende Niederschläge hervorgerufen. Derartige Widerstände haben jedoch den Mangel, daß sie wegen des hohen Temperaturkoeffizienten und der geringen Haltbarkeit des den eigentlichen Widerstand bildenden dünnen Metallniederschlages nur in geringem Maße belastet werden können.
Es ist außerdem bekannt, hochohmige Widerstände durch Zerstäubung einer aus Konstantan bestehendea Kathode herzustellen.
S5 Auch in diesem Falle können jedoch keine Widerstände gewonnen werden, welche in hohem Maße belastet werden können.
Die Erfindung besteht darin, daß die Kathode mit einem aus einem bestimmten Metall, ζ. Β. Nickel, bestehenden Träger versehen ist, über dessen Fläche Teile eines anderen Metalls, z. B. Wismut, in Form von Scheiben o. dgl. verteilt sind, so daß durch die Zerstäubung der Kathode eine gleichmäßige Legierung der verschiedenen Metalle auf dem Widerstandsträger erzeugt wird. Hierdurch ist der Vorteil erzielt, daß zur Erzeugung der Widerstandsschicht verschiedene Metalle, z. B. Nickel und Wismut, verwendet werden können, die sich schwierig zwecks Bildung einer Kathode legieren lassen, anderseits jedoch zur Erzeugung einer haltbaren Widerstandschicht dienen können, die einen geringen Temperaturkoeffizienten besitzt, so daß ein hoch belastbarer Widerstand gewonnen wird.
Auf der Zeichnung ist eine mit einer Kathode nach der Erfindung versehene Einrichtung sowie ein einzelner, mittels dieser Einrichtung hergestellter Widerstand in" einer Ausführungsform dargestellt.
Abb. ι ist ein senkrechter Schnitt durch die ganze Einrichtung. Abb. 2 ist eine Unteransicht der Kathode der Einrichtung nach Abb. i. Abb. 3 veranschaulicht einen einzelnen Widerstand in vergrößertem Maßstab.
In einem kugelförmigen Glasbehälter a, dessen Oberteil b und Unterteil c durch Flanschen d und nicht dargestellte Befestigungsmittel bekannter Art gasdicht, jedoch lösbar miteinander verbunden sind, ist eine kreisförmige, aus Nickel bestehende Scheibe e angeordnet. Diese Nickelscheibe ist waagerecht an einem" Draht/ aufgehängt, der durch das
Oberteil b nach außen geführt ist und als Stromzuleitung dient. In der Nickelscheibe e sind Löcher vorgesehen, in denen die Schäfte g kleiner Scheiben h aus Wismut nietartig befestigt sind. Die Scheiben h können auch fortfallen, wenn genügend dicke Wismutstifte in den Löchern der Nickelscheibe durch Stauchen o. dgl. befestigt werden.
Unter der Nickelscheibe e ist in dem Glasbehälter α eine Glasplatte i angeordnet, die zur Aufnahme der mit einer dünnen leitenden Schicht zu versehenden, nichtleitenden Träger k dient. Die Glasplatte i ist auf einem senkrechten Glasrohr m befestigt, das durch das Gehäuseunterteil c nach außen geführt und am unteren Ende verschlossen ist. In das Glasrohr m ist ein zweiter Zuleitungsdraht η hineingeführt, der im Innern des Behälters a aus dem Glasrohr-Mt heraustritt und am freien ao Ende zu einer als Anode dienenden Spirale 0 ausgebildet ist.
Der aus dem Behälterunterteil c herausragende Teil des Glasrohrs m ist mit einem seitlichen Stutzen p versehen, der an eine Luftpumpe und an eine Vorrichtung zur Einleitung des für den Zerstäubungsvorgang benötigten Gases angeschlossen, werden kann.
Sollen die auf die Glasplatte i gelegten Träger k mit einem dünnen leitenden Überzug versehen werden, so wird zunächst durch den Stutzen^ die Luft aus dem Behälter« entfernt. Hierauf wird durch den Stutzen p Gas, das den Zerstäubyaigsvorgang· ermöglicht, eingeführt. Alsdann wird die Glimmentladung eingeschaltet. Durch Zerstäubung der aus Stücken e und h verschiedener Metalle zusammengesetzten Kathode wird jetzt auf den nichtleitenden Trägern k eine gleichmäßige Legierung hervorgerufen, durch welche eine dünne, als Widerstand dienende Schicht gebildet wird.
Durch Benutzung der beschriebenen Kathode ist der Vorteil erzielt, daß zur Erzeugung· der WiderstajidscMcht solche Metalle verwendet werden können, aus denen die Kathode durch Legierung nur schwierig oder gar nicht hergestellt werden könnte. Es ist daher ein großer Spielraum bezüglich der ! Wahl der als Ausgangstoffe bei der Katho- j denzerstäubung zu benutzenden Metalle gegeben. Durch die Wahl dieser Ausgangstoffe, z. B. Nickel und Wismut, und durch geeignete Abstimmung des Verhältnisses ihrer freien Oberflächen kann auf dem nichtleitenden Träger k ein Überzug hervorgerufen werden, der hohen spezifischen Widerstand und geringen Temperaturkoeffizienten besitzt, so daß eine stärkere und haltbarere Schicht erzeugt werden kann, als wenn ein einziges Metall oder eine aus Konstantan bestehende Legierung als Ausgangstoff benutzt würde. _ Die auf den nichtleitenden Trägern k hervorgerufenen Schichten können daher erheblich höher belastet werden als Schichten, die durch Zerstäubung eines einzigen Metalls oder einer aus Konstantan bestehenden Legierung erzeugt sind.
Erforderlichenfalls icönrren Tiach der Erfindung auch mehr als zwei Metalle als Ausgangstoffe bei der Kathodenzerstäubung benutzt werden.
Die mit einer dünnen leitenden Schicht versehenen, nichtleitenden Träger k werden zweckmäßig in einer Glasrohre q (Abb. 3) eingeschlossen. In diese Glasrohre wird, nachdem die Luft aus ihr entfernt ist, vor dem Zuschmelzen Helium eingefüllt, um den Widerstand konstant zu halten. Auf den Enden der Glasrohre q können noch in bekannter Weise MetaUkappem / angeordnet werden, mit denen die in die Glasrohre !eingeschmolzenen Zuleitungsdrähte 5 des Trägers k in bekannter Weise elektrisch verbunden sind.

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Aus Stücken verschiedener Metalle bestehende Kathode, durch deren Zerstäubung eine dünne, als Widerstand dienende Schicht auf einem nichtleitenden Träger erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer aus einem bestimmten Metall, z. B. Nickel, bestehenden flächenförmigen Kathode (e) Scheiben Qi) o. dgl. eines anderen Metalls, z. B. Wismut, angebracht sind, zum Zweck, eine gleichmäßige Legierung der verschiedenen Metalle auf dem Widerstandsträger zu erzeugen.
    Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
DEA48376D 1926-07-22 1926-07-22 Aus Stuecken verschiedener Metalle bestehende Kathode zur Herstellung elektrischer Widerstaende Expired DE465699C (de)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE764267C (de) * 1934-06-14 1951-08-09 Saint Gobain Verfahren zur Herstellung von bandfoermig angeordneten elektrischen Widerstandsschichten
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