DE4446179A1

DE4446179A1 - Halterung für scheibenförmige Substrate

Info

Publication number: DE4446179A1
Application number: DE19944446179
Authority: DE
Inventors: Helmut Dr Grimm; Klaus Eller
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Buehler Alzenau GmbH
Priority date: 1994-12-23
Filing date: 1994-12-23
Publication date: 1996-06-27
Anticipated expiration: 2014-12-24
Also published as: DE4446179C2

Description

Die Erfindung betrifft eine Halterung für schei benförmige Substrate, vorzugsweise für Brillenglä ser für die Oberflächenbeschichtung in der Prozeß kammer einer Vakuumbeschichtungsanlage sowie eine Vorrichtung zum Öffnen der Halterung für das Be stücken und/oder Entnehmen von Substraten, mit ei nem Rahmen und mit mehreren an diesem befestigten, federnden Haltenasen oder Haltefingern und mit an diesen vorgesehenen, den radial äußeren Rand des Substrates umgreifenden Zinken oder Zähnen.

Bekannt ist eine Linsenhalterung, insbesondere ei ne Halterung für in einer Hochvakuum-Aufdampfanla ge - oder -Sputteranlage zu beschichtenden Bril lengläsern bei der die kreisscheibenförmige Linse zwischen zwei Ringen mit gleichen Durchmessern eingespannt wird (EP 0 406 484 A1).

Bekannt ist auch eine Linsenhalterung für Bril lenglaslinsen bei der die Linse von einem an sei ner Innenseite mit Gabeln versehenen elastisch verformbaren Ringen gehalten wird, wozu die Linsen eine bestimmte Größe und Form aufweisen müssen (DE 02 15 261 A2).

Bekannt ist weiterhin eine Vorrichtung zum Halten von im wesentlichen flachen Substraten, wie bei spielsweise Linsen, mit unterschiedlicher Größe für das Anordnen in einer Vakuumbearbeitungsan lage, mit einer äußeren, im wesentlichen starren Halterung und einer in die Halterung einlegbaren Federspange für das Substrat (EP 0.547.312 A1).

Bekannt ist darüber hinaus auch eine Vakuum-Be schichtungsanlage zum Aufdampfen von Vergütungs schichten auf optische Substrate wir Kunststoff- Brillengläser bei der die Trägermittel eine Mehr zahl wenigstens angenähert kreissegmentförmige, flächige Trägerplatten umfassen, welche zueinander kalottenförmig sowie je um 180° wendbar an einer gemeinsamen Drehachse abgestützt sind, wobei jede Trägerplatte in Öffnungsbereichen eine Mehrzahl mit mindestens einer Haltefeder versehene Substrathalterungen aufweist, von denen mindestens eine nach beiden Seiten aus der Trägerplattenebene bis zu einem vorgegebenen Winkel heraus frei kippbar ist. (DOS 37 15 831 A1).

Schließlich ist eine Vorrichtung zur Halterung von vier Linsen bekannt (GB 2.159.541 A) bei der die Linsen in einem Gestell gehalten sind, das aus zwei kreuzweise zueinander angeordneten Profil schienen gebildet ist, wobei die eine Schiene fe dernde Arm-Paare aufweist, die die Linsen jeweils gegen ein von zwei rechtwinklig zueinander ste henden Partien der beiden Schienen gebildeten Rah menteil preßt.

Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Halterung der in Frage stehenden Art zu schaffen, die geeignet ist auch solche Lin sen zu halten, die bereits ihre endgültige, d. h. unrunde Form erhalten haben, die darüber hinaus einen besonders festen Sitz der Linsen in der Hal terung gewährleistet, bei der die Linse weitgehend unabhängig von ihrer jeweiligen Formgebung stets eine zentrale Position in der Halterung einnimmt und bei der des Öffnen der Halterung eine beson ders schonende Entnahme der Linse aus der Halte rung bzw. eine besonders leichte Bestückung der Vorrichtung ermöglicht.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß alle Haltefinger halbkreisförmig gebogen und in radialer Ausrichtung auf einem Kreisbogen ver teilt um einen Mittenbereich herum angeordnet sind, wobei die Haltefinger jeweils mit einem Ende fest am Rahmen angeordnet sind und die bogenförmi gen Partien der Haltefinger jeweils in eine Dreh richtung ausgerichtet sind und wobei ein Sockel teil mit einer der Anzahl der als Blattfedern aus gebildeten Haltefinger der Halterung entsprechen den Anzahl von sich parallel zueinander erstreckenden auf der Oberseite des Sockelteils fest angeordneten, mit den Haltefingern in Wirk verbindung bringbaren Bolzen vorgesehen ist, bei dem die Bolzen auf einen Kreisbogen verteilt ange ordnet sind und der Durchmesser des Kreisbogens etwa dem halben Durchmesser des Kreisbogens ent spricht, auf dem die Haltefinger der Halterung an geordnet sind.

Weitere Einzelheiten und Merkmale ergeben sich aus den Patentansprüchen.

Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausfüh rungsmöglichkeiten zu, eine davon ist in den an hängenden Zeichnungen rein schematisch näher dar gestellt und zwar zeigen:

Fig. 1 eine Halterung für ein scheibenförmiges Substrat in perspektivischer Darstellung

Fig. 2 eine Vorrichtung zum Öffnen bzw. schlie ßen der Halterung nach Fig. 1

Fig. 3 eine Halterung nach Fig. 1, aufgesetzt auf die Vorrichtung gemäß Fig. 2 im ge schlossenen Zustand und

Fig. 4 die Halterung gemäß Fig. 1 mit einge setzter Brillenlinse.

Die Halterung 2 besteht aus einem ringförmigen Rahmen 2 und vier an seiner kreiszylindrischen In nenfläche 10 befestigten halbkreisförmig bzw. bo genförmig gebogenen, als Blattfedern ausgebildeten Haltefinger 6, 6′, . . . . Die Vorrichtung 4 zum Öffnen der Halterung 2 ist aus einem kreiszylin drischen Sockelteil 8 gebildet, auf dessen der Halterung 2 zugekehrten Oberseite vier Bolzen 9, 9′, 9′′, 9′′′ so angeordnet sind, daß sie sich al le parallel zueinander erstrecken und alle auf ei nem Kreisbogen verteilt vorgesehen sind, dessen Durchmesser d etwa halb so groß bemessen ist, als der Durchmesser D des Rahmens 5, wobei die Länge der Bolzen 9, 9′, . . . so bemessen ist, daß die Bol zen mit den Haltefingern 6, 6′, . . . in Eingriff bringbar sind, wie dies in Fig. 3 dargestellt ist.

Zum Einlegen einer Linse 3 in den Rahmen, werden Rahmen 2 und Vorrichtung 4 in der in Fig. 2 darge stellten Art und Weise ineinandergeschoben. Wird nun der Rahmen 5 gegenüber dem Sockelteil 8 ver dreht, bzw. werden beide Teile in Pfeilrichtung A, B gedreht, dann spreizen die Bolzen 9, 9′, . . . die Haltefinger 6, 6′, . . . derart auseinander, daß sich das in Fig. 1 strichliert angedeutete Mittenfeld b vergrößert und zwar so weit, bis die in Fig. 4 dargestellte Linse 3 zwischen die gabelförmigen Zinken 7, 7′, bzw. 7′′, 7′′′, bzw . . . . eingeführt werden kann. Nach dem Entfernen des Sockels 8 nach unten zu (in Pfeilrichtung c) legen sich die vier Haltefinger 6, 6′, . . . an die Linse 3 an und zwar derart, daß die Zinken-Paare 7, 7′ bzw. 7′′, 7′′′ usw. den umlaufenden Rand der Linse 3 umfassen und die Linse im Zentrum des Rahmens 5 arretiert hal ten, so daß eine Oberfläche beschichtet werden kann. Um sicherzustellen, daß nicht auch gleich zeitig die Unterseite eine Beschichtung erhält ist, wie dies nur in Fig. 1 dargestellt ist, ein Gewebe aus Metall- oder Mineralfaser-Fäden 12 über die von den Haltefingern 6, 6′, . . . eingenommene kreisring-förmige Partie gespannt. Diese Gaze ist am Rahmen 5 von einem Sprengring 13 und im übrigen mit ihrer Innenkante an den Haltefingern 6, 6′, . . . mit Hilfe einer endlosen Zugfeder 11 gehalten, die durch Bohrungen 14 in den Haltefingern 6, 6′, . . . hindurchgeführt ist. Die Gaze 12 ist derart engma schig gewebt, daß beim Vakuum-Beschichtungs-Prozeß keine Beschichtung der der Quelle abgekehrten Sei tenfläche des Substrats 3 erfolgt. Ein auf dem Sockelteil 8 vorgesehener (nicht näher dargestell ter) zylindrischer Ansatz oder Stempel kann die Aufnahme der Linse 3 erleichtern, in dem diese zu nächst auf den Aufnahmestempel 15 aufgelegt wird bevor das Ineinanderschieben der beiden Teile 4 und 2 erfolgt und damit das eigentliche Aufspreizen bzw. das Auseinanderbiegen der Haltefinger 6, 6′, . . . erfolgt.

Bezugszeichenliste

2 Halterung
3 Substrat, Linse
4 Vorrichtung zum Öffnen
5 Rahmen
6, 6′, 6′′ . . . Haltefinger, Haltenase
7, 7′, 7′′ . . . Zinken, Zahn
8 Sockelteil
9, 9′, . . . Bolzen
10 kreiszylindrische Innenfläche
11 Zugfeder, endlose Spiralfeder
12 Gewebe, Gaze
13 Sprengring
14, 14′, . . . Bohrung
15 Aufnahmestempel

Claims

1. Halterung (2) für scheibenförmige Substrate (3), vorzugsweise für Brillengläser für die Oberflächenbeschichtung in der Prozeßkammer einer Vakuumbeschichtungsanlage sowie Vor richtung zum Öffnen der Halterung (4) für das Bestücken und/oder Entnehmen von Substraten, mit einem Rahmen (5) und mit mehreren an die sem befestigten, federnden Haltenasen oder Haltefingern (6, 6′, . . . ) und mit an diesen vorgesehenen, den radial äußeren Rand des Substrates (3) umgreifenden Zinken oder Zäh nen (7, 7′, . . . ), dadurch gekennzeichnet, daß alle Haltefinger (6, 6′, . . . ) halbkreisförmig gebogen und in radialer Ausrichtung auf einem Kreisbogen verteilt um eine Mittenbereich (b) herum angeordnet sind, wobei die Haltefinger jeweils mit einem Ende fest am Rahmen (5) an geordnet beispielsweise verschraubt sind und die bogenförmigen Partien der Haltefinger je weils in eine Drehrichtung ausgerichtet sind.

2. Halterung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß der Rahmen (5) als Kreiszylin der ausgebildet ist und die sich radial nach innen zu erstreckenden Haltefinger (6, 6′, . . . ) an ihren freien Enden jeweils Zinkenpaare (7, 7′, . . . ) aufweisen, wobei der Abstand der einzelnen Zinken an jedem Haltefinger etwa der Dicke (a) der Substrate (3) entspricht.

3. Halterung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein Sockelteil (8) mit einer der Anzahl der als Blattfedern ausgebildeten Haltefinger (6, 6′, . . . ) der Halterung (2) entsprechenden Anzahl von sich parallel zueinander erstreckenden auf der Oberseite des Sockel teils (8) fest angeordneten mit den Haltefin gern im Eingriff bringbaren Bolzen (9, 9′, . . . ), wobei die Bolzen (9, 9′, . . . ) auf einen Kreisbogen verteilt vorgesehen sind und der Durchmesser (d) des Kreisbogens etwa dem halben Durchmesser (D) des Kreisbogens ent spricht, auf dem die Haltefinger (6, 6′, . . . ) der Halterung (2) angeordnet sind.

4. Halterung nach den vorhergehenden Ansprüchen, gekennzeichnet durch eine mit den radial in neren Partien der Haltefinger (6, 6′, . . . ) ver bundene endlose Spiralfeder (11) und einem etwa kreisscheibenförmigen Zuschnitt aus ei ner Gaze (12) oder einem Gewebe aus Metallfä den, dessen radial äußerer Rand mit den Rahm en (5) und dessen radial innen liegender Rand mit der Endlos-Feder (11) fest verbunden sind, wobei die Endlosfeder (11) durch ent sprechende Bohrungen an den freien Enden der Haltefinger (6, 6′, . . . ) hindurchgeführt ist oder mit den freien Enden fest verbunden, beispielsweise verschweißt ist.