DE4430652C2 - Galvanisches Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie dessen Verwendung zum galvanischen oder chemischen Behandeln, insbesondere zum kontinuierlichen Aufbringen metallischer Schichten auf einen Körper - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein galvanisches Verfahren zum galvanischen oder chemischen Behandeln, insbesondere zum kontinuierlichen Aufbringen metallischer Schichten auf einen Körper nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Aus der Theorie ist es bekannt, daß beim elektrolytischen Stofftransport die Abscheidungsrate mit ansteigenden Stromdichten proportional zunimmt. In der Praxis jedoch entsteht an der Kathode bei ansteigenden Stromdichten eine Diffusionsschicht, da der Materietransport zwischen Anode und Kathode langsamer ist als die Niederschlagsgeschwindigkeit der Ionen in unmittelbarer Nähe der Kathode. Je größer also die angelegte Stromdichte gewählt wird, desto größer ist die Diffusionsschicht um die Kathode und desto langsamer und unvollständiger ist die Abscheidungsrate der Ionen auf die Kathode. Ab einer bestimmten Reaktionsgeschwindigkeit kann das Nachliefern von Metallionen an die Phasengrenze zwischen den Bereichen Materietransport und Ladungsdurchtritt das Konsumieren an der Kathode nicht mehr ausgleichen. Die Stromdichte- Abscheidungsrate-Kurve weist daher einen asymptotischen Grenzwert auf, der, wie erwähnt, durch die elektrisch isolierende Diffusionsschicht bei ungenügendem Nachschub von Materie entsteht. Abhilfe kann durch Elektrolytbewegung geschaffen werden.

Wie Versuche gezeigt haben, nimmt mit zunehmender Intensität der Elektrolytbewegung die Diffusionsschichtdicke ab.

Andererseits werden metallische Niederschläge rauh und pulverig, wenn Stromdichten gewählt werden, die sich den theoretisch möglichen Grenzstromdichten nähern. Zur Gewinnung einwandfreier Überzugsqualitäten sind daher Stromdichten zu wählen, die weit unter der möglichen Grenzstromdichte liegen und in der Regel ca. nur ein Drittel der Grenzstromdichte betragen.

Insbesondere bei der Zinkabscheidung führt eine erhöhte Stromdichte bedingt durch die vorhandene Diffusionsschicht und dem damit verbundenen schlechten Materieaustausch zu unbrauchbaren Zinkniederschlägen am zu beschichtenden Körper. Sollte zusätzlich zu den Zinkionen im Elektrolyt eine Zinkanode Verwendung finden, um den prozentualen Anteil der Metallionen für die Dauer der Galvanisierung konstant zu halten, treten an der Zinkanode Passivitätserscheinungen auf, da die anodische Stromdichte aufgrund des Auflösungsprozesses an der Anode ansteigt.

Eine beidseitige Anordnung von Metallanoden zur Kathode hilft ebenfalls nicht weiter, da dann exzentrische Niederschläge produziert werden.

Aus der DE 34 39 750 A1 ist ein Verfahren bekannt, bei dem zur Erhöhung der Abscheidegeschwindigkeit von galvanisch auf zubringenden Beschichtungsmaterialien die Elektrolytlösung in Gegenrichtung zur Bewegungsrichtung des zu beschichtenden Körpers bewegt wird, wobei die sich aus den beiden Differenzgeschwindigkeiten ergebende Gesamtgeschwindigkeit an der Oberfläche des zu beschichtenden Körpers im Bereich der turbulenten Strömung liegt.

Auf diese Weise wird zwar durch eine turbulente Strömung die Diffusionsschichtdicke reduziert, jedoch gelingt damit der Abbau der Diffusionschicht nicht ausreichend. Dies zeigt sich z. B. bereits daran, daß dort für die anzulegende Stromdichte eine Obergrenze von 80 bis 90 A/dm² nicht überschritten werden darf. Am zu beschichtenden Körper ist daher dort weiterhin eine Diffusionsschicht von 10 bis 15 µ vorhanden.

Aus der US 5,312,530 ist eine ein- oder mehrteilige düsenartige Reinigungszelle für das Reinigen von Durchlaufgut unter Verwendung eines Agens bekannt, die düsenartig gestaltet den Austritt des Agens jetförmig unter einen Winkel von 40° bis 70° ermöglicht.

Hierzu dienen ein erster und ein zweiter Ringkörper, die einen kleinen Abstand zwecks Erzeugung einer laminaren Stromung in Förderrichtung des zu reinigenden Gutes haben. Den Ringkörpern nachgeordnet ist eine Drainagekammer mit einem Auslaß, die der Aufnahme und der Abführung von Verunreinigungen des durch die Zelle geführten Durchlaufgutes dient, wobei im Bereiche der Zuführöffnung für das Durchlauf­ gut sich ein ringförmiger Lufteinlaß zur Unterstützung des Reinigungsprozesses befindet.

Durch die Anordnung der Ringkörper und die unter Druck erfolgende Zuführung der Reinigungsflüssigkeit wird ein laminarer das Durchlaufgut ringförmig umfassender Reinigungsstrahl erzeugt, der wie ein "Messer" die am Durchlaufgut haftenden Verunreinigungen ablöst, welche über die Drainagekammer und deren Öffnung abgeführt werden.

Eine Benützung dieser Reinigungszelle als Galvanisierungszel­ le ist nicht möglich, da bei dieser Vorrichtung durch den sogenannten Mittelleitereffekt ein ständiges Umpolen von plus und minus an dem zu reinigenden Gut, z. B. Drähte, Rohre etc., stattfindet.

Ferner ist dort keine anodische Gegenfläche vorhanden, was zu einer anodischen Passivität führt, und somit eine galvanische Abscheidung unmöglich macht. Schließlich steht auch die dort vorhandene Luftzuführung der Anwendung dieser Reinigungszelle als Galvanisierzelle entgegen.

Aus der DE 33 17 970 A1 ist schließlich ein Verfahren bekannt geworden, eine Leiterplatte mittels eines aus zwei einander gegenüberliegenden Düsen austretenden Elektrolyten örtlich galvanisch zu beschichten.

Zwecks flächiger Beschichtung wird die Leiterplatte ähnlich wie bei einer Schwallötung an den Düsen vorbeigeführt, wozu das Elektrolyt aus einer Wanne den Düsen zugeführt und aus diesen ausgebracht wird. Die Düsen dienen also allein der gezielten partiellen Beschichtung der Leiterplatten und nicht der Erhöhung der Austrittsgeschwindigkeit des Elektrolytes, so daß das Problem der Auflösung einer Diffusionsschicht durch eine sich aus Geschwindigkeitsvektoren addierende Endgeschwindigkeit des Elektrolyten zur Erzeugung einer turbulenten Strömung dort nicht angesprochen und daher auch nicht gegeben ist.

Aufgabe der Erfindung ist es ein verbessertes galvanisches Verfahren, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zu schaffen, um zu ermöglichen, sowohl die Diffusionsschicht zwischen Elektrolyt und zu beschichtendem Körper annähernd vollständig aufzulösen als auch den asymptotischen Grenzwert der Abscheidungsrate-Kurve nach oben zu verschieben, um damit die Beschichtungszeit erheblich zu reduzieren und die Qualität der Metallbeschichtung zu verbessern.

Diese Aufgabe ist für das Verfahren durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 sowie für die Vorrichtung durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 2 gelöst.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht durch ein annähernd vollständiges Auflösen der Diffusionsschicht die Abscheidungsrate zu erhöhen bei gleichzeitiger Verbesserung der Überzugsqualität im gewählten Arbeitsbereich der Stromdichte-Abscheidungsrate-Kurve.

Infolge der erfindungsgemäßen Ausbildung des als unlösliche Anode wirkenden Düsenkörpers sowie der Drallneigung der Düsen für den Austritt des Elektrolyten wird der zu behandelnde Körper unabhängig von der Größe seines Durchmessers und seiner Oberflächenbeschaffenheit von allen Seiten gleichmäßig angeströmt. Durch das stufenweise partielle Verändern der Strömung längs des Körpers wird nicht nur ein Druckgefälle des eingespritzten Elektrolytes in Bezug auf die beaufschlagte Länge des Körpers beseitigt, sondern darüberhinaus vom Galvanisierungsprozeß her gesehen ein auf den Körper pulsierend wirkender elektrischer Stromfluß erzielt. Die Blenden wirken nämlich als Drosselstellen, an denen die Strömungsgeschwindigkeit zunimmt, was sich in Bezug auf den Materietransport als Stromerhöhung auswirkt. Sowohl das gerichtete, mit hoher Geschwindigkeit erfolgende allseitige Anströmen des Körpers, als auch das partielle Verändern der Strömungsgeschwindigkeit bewirken, daß die Diffusionsschicht längs der genannten Körperoberfläche annähernd vollständig zerstört wird, so daß ein ungestörter Materietransport zur Kathode gewährleistet ist.

Über die Strömungswirkung der Blenden erfolgt ferner eine selbsttätige Zentrierung des zu behandelnden Körpers im Düsenkörper, so daß ein gleichmäßiger geometrischer Abstand des Körpers zur Innenmantelwandung des Düsenkörpers gewährleistet ist. Gleichmäßige Schichtdicken werden dadurch erzielt und Kurzschlüsse vermieden. Darüberhinaus wird sichergestellt, daß der am Körper aufgebrachte Metallüberzug mechanisch nicht beschädigt wird.

Während die zum Stand der Technik zählenden Verfahren zur Galvanisierung, beispielsweise beim galvanischen Verzinken, an der Oberfläche eines zu beschichtenden Körpers eine maximale Stromdichte von 80 bis 90 A/dm² aufweisen, erlaubt das erfindungsgemäße Verfahren, z. B. ebenfalls beim galvanischen Verzinken eine Stromdichte von 10 bis 400 A/dm². Die Abscheidungsrate liegt daher, gemessen gegenüber dem Stand der Technik, um ca. das 3,5-fache höher.

Die aus nichtmetallischen, elektrisch nicht leitendem Material, wie Kunststoff oder Keramik bestehenden Blenden in Form von Ringscheiben ermöglichen durch Wahl des gegenseitigen Abstandes und des Innendurchmessers unter Berücksichtigung der Durchmesser der Austrittsöffnungen der Bohrungen, sowie ihrer Anzahl - Mengendurchsatz des Elektrolyten - sowie deren Stärke die Pulsbreite und Pulsfrequenz des auf den zu galvanisierenden Körpers wirkenden elektrischen Stromflusses optimal zu bestimmen. Bei der Verwendung von elektrisch leitendem Material der Blenden entstehen andere elektrische Felder im Elektrolyt und damit auch andere Beschichtungsarten. Bei alternierend angeordneten Blendmaterialien gilt ähnliches. Auf diese Weise gelingt es, wie Versuche gezeigt haben, Metallegierungen, sowie vorbestimmbare Gefügestrukturen galvanisch abzuscheiden, wie dies bisher nicht möglich war.

Je nach gewünschter Fertigungszeit sowie Qualität der Metallschicht oder deren Schichtdicke können beliebig viele erfindungsgemäße Vorrichtungen hintereinander liegend in Reihe geschaltet angeordnet werden.

Die Erfindung ist nachfolgend an Hand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles beschrieben.

Im einzelnen zeigen:

Fig. 1 eine Anordnung zum Galvanisieren mit einer Vorrichtung gemäß der Erfindung,

Fig. 2 einen Längsschnitt durch ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung, mit einem eine zentrale Durchgangsbohrung und in den dazu orthogonalen Bereichsebenen eine Mehrzahl von Düsenbohrungen aufweisenden Düsenkörper, der einen zu beschichtenden Körper umfaßt und mit einem der Zuführung von Elektrolyt dienenden Hohlkörper,

Fig. 3 eine Frontansicht der Vorrichtung nach Fig. 2 und

Fig. 4 eine Einzelheit aus Fig. 2 in vergrößerter Darstellung.

Wie Fig. 1 zeigt, befindet sich in einer Prozeßwanne 10 ein Arbeitsbehälter 12 zur Aufnahme von noch zu beschreibenden Vorrichtungen 14 zum Galvanisieren oder chemischen Behandeln, nach dem Ausführungsbeispiel zum kontinuierlichen Aufbringen einer Metallschicht auf einen durch den Arbeitsbehälter 12 und die Vorrichtungen 14 kontinuierlich geführten - hier stabförmig ausgebildeten - Körper 15.

Über eine Pumpe 16 wird ein in der Prozeßwanne 10 befindliches Elektrolyt 18 über eine Pumpleitung 19 und jeweils eine die Form eines Rohrstutzens aufweisende Zuführung 20 der einzelnen Vorrichtung 14 zugeführt. Das austretende Elektrolyt fließt in Richtung der Pfeile 17 in die Prozeßwanne 10 zurück. Die Strömungs­ geschwindigkeit des Elektrolyts kann über die Pumpe beeinflußt werden.

Eine der Vorrichtungen 14 ist in Fig. 2 vergrößert dargestellt. Wie dort gezeigt, durchströmt das über die Zuführung 20 eingeleitete Elektrolyt 18 die Vorrichtung 14 und gelangt dabei über einen Hohlkörper 30 in noch zu beschreibender Weise in einen Düsenkörper 34 und von dort, wie die einzelnen Pfeile zeigen, wieder in den Arbeitsbehälter 12 und von dort in die Prozeßwanne 10 zurück.

Die insgesamt mit der Bezugsziffer 14 bezeichnete Vorrichtung zur kontinuierlichen Galvanisierung von Drähten, Rohraußenflächen oder ähnlichen Körpern 15 umfaßt, wie die Fig. 2 und 3 zeigen, den vom Elektrolyt 18 durchfluteten, einen Druckbehälter bil­ denden Hohlkörper 30 mit zwei Stirnseiten 31 und 32 und den als Hohlkörper ausgebildeten Düsenkörper 34, der koaxial zum Hohlkörper 30 angeordnet ist. Düsenkörper 34 und Hohlkörper 30 haben eine gemeinsame zentrische Durchgangsöffnung 35. Der Düsenkörper 34 ist allseitig mit einer unlöslichen Metallschicht 38 eines Metalles aus der Platingruppe beschichtet. Diese Metallschicht 38 überdeckt auch die Stirnseiten 31 und 32 sowie die innere Mantelfläche des Hohlkörpers 30, und hat eine Dicke von 2 bis 20 µ. Wie die Fig. 2 zeigt, ist der Übersichtlichkeit halber nur die Durchgangsbohrung 35 mit der Metallschicht 38 gekennzeichnet. Auf diese Weise ist sichergestellt, daß die wirksamen Flächen des Düsenkörpers 34 keine Metallionen an das Elektrolyt 18 abgeben.

Mit der Mantelfläche des Hohlkörpers 30 ist die Zuführung 20 verbunden, die als tangential einmündender - vgl. Fig. 3 - Rohrstutzen 24 ausgebildet ist, der über eine Überwurfmutter 23 mit einem Flansch 22 der Pumpleitung 19 verbunden ist. Zwischen dem Flansch 22 und dem Rohrstutzen 24 ist eine O-Ring-Dichtung 25 angeordnet. Die Pumpenleitung 19 ist daher lösbar aber dichtend mit dem Rohrstutzen 24 verbunden.

Der Düsenkörper 34 weist über seinen gesamten Umfang verteilt eine Mehrzahl von in gleichen Abständen in Bezug auf die Längsachse 16 senkrecht dazu verlaufenden Querschnittsbereichen 11 verteilt angeordnete Bohrungen 44 auf, die jeweils in gleichen Winkeln α schräg zur und entgegen der Durchlaufrichtung sowie um einen Drallwinkel β geneigt - vgl. Fig. 3 und 4 - des mittig durch den Düsenkörper 34 geführten, zu beschichtenden Körpers 15 verlaufen. An der Austrittsseite 32 des Düsenkörpers 34 ist ein elektrisch nicht leitender Führungsring 26 angeordnet.

Wie Fig. 3 zeigt, ist die Symmetrieachse 41 des Rohrstutzens 20 parallel und exzentrisch um einen Abstand a zur Querachse 40 der Vorrichtung 14 versetzt. Dies hat zur Folge, daß das in den Hohlkörper 30 eingepumpte Elektrolyt 18 in seinem Strömungsverhalten möglichst ungestört in den Hohlkörper 30 eintritt und um den Düsenkörper 34 strömt. Die Einflußöffnungen der Bohrungen 44 liegen jeweils auf Flanken 46 der Außenmantelfläche des Düsenkörpers 34, die jeweils Teil von gleichmäßig hintereinander liegenden, im Querschnitt V-förmigen Einschnürungen 47 sind. Das eingepumpte Elektrolyt 18 strömt in diese Einschnürungen 47 und von dort ohne Druckverlust in die Bohrungen 44 ein sowie über die als Lavaldüsen wirkenden Austrittsöffnungen 37 in den Raum der Durchgangsöffnung 35. In die Durchgangsöffnung 35 des Düsenkörpers 34 sind - zu den Querschnittsbereichen 11 in Längsrichtung versetzt - die Längsachse 16 senkrecht schneidende Ebenen A bis E, Blenden 36 eingefügt, die jeweils eine Durchlaßöffnung 37 aufweisen.

In Fig. 4 ist eine der aus elektrisch nicht leitendem Material bestehenden Blenden 36 dargestellt. Für bestimmte Anwendungsfälle können diese Blenden 36 auch aus einem elektrisch leitenden Werkstoff bestehen, oder alternierend angeordnet aus elektrisch leitendem und nicht leitendem Material sein.

Die Durchflußöffnung 37 der Blenden 36 sind, bezogen auf die Durchflußrichtung des Elektrolytes, die entgegengesetzt zur Durchlaufrichtung des zu beschichtenden Körpers 15 gerichtet ist, in ihrem jeweiligen Querschnitt zwecks Verhinderung eines Druckgefälles im Düsenkörper 34 stufenweise vergrößert. Die kleinste Durchflußöffnung 37 befindet sich also in der Ebene E, während die größte Durchflußöffnung 37 sich in der Ebene A befindet.

Wie Fig. 4 weiter zeigt, weisen die Blenden 36 mehrere drallerzeugende, zur Durchlaßöffnung 37 tangential ausgerichtete Einschnitte 39 auf.

Die Wirkungsweise der beschriebenen Vorrichtung ist wie folgt:
Der zu beschichtende Körper 15 ist an einer nicht dar­ gestellten Stromquelle - beispielsweise über stromfüh­ rende Kontaktrollen - an ihrem Minuspol angeschlossen, während der Düsenkörper 34 über Stromschienen 13 mit dem Pluspol der nicht dargestellten Stromquelle verbun­ den ist. Die Stromdichte wird über an sich bekannte Schaltungselemente entsprechend dem durchzuführenden Verfahren auf 10 bis 400 A/dm² eingeregelt.

Die dem zu beschichtende Körper 15 aufgeprägte Eigengeschwindigkeit wirkt in der Durchlaufrichtung. Das zwischen dem Hohlkörper 30 und dem Düsenkörper 34 unter Druck stehende Elektrolyt 18 tritt durch die Boh­ rungen 44 des Düsenkörpers 34 hindurch.

Das über die Pumpe 16 bewegte Elektrolyt 18 wird beim Durchfließen der Bohrungen 44, da diese als Lavaldüsen wirken, beschleunigt und in einem Winkel α schräg zur und entgegen der Durchlaufrichtung des zu beschichten­ den Körpers 15 sowie unter dem Drallwinkel β einge­ spritzt. Durch die gleichmäßige Anordnung der Bohrungen 44 im Düsenkörper 34 ist ein gleichmäßiges Auftreffen des Elektrolytes 18 auf die gesamte Oberfläche des zu beschichtenden, sich entgegen der Strömungsrichtung bewegenden Körpers 15 gewährleistet.

Hierbei addieren sich die entgegengesetzt gerichteten Bewegungsvektoren des Körpers 15 und des eingespritzten Elektrolytes 18 und bewirken unter der Strahlwirkung der Bohrungen 44 an der Oberfläche des zu beschichten­ den Körpers 15 eine über die gesamte Oberfläche wirken­ de turbulente Umströmung. Diese turbulente Umströmung zerstört die bei der Galvanisierung entstehende Diffusionsschicht praktisch vollständig.

Durch die zwischen den jeweiligen Bereichsebenen 11 der Bohrungen 44 angeordneten Blenden 36 mit ihren gestuf­ ten Durchlaßöffnungen 37 wird der Druck des Elektroly­ tes 18 im Düsenkörper 34 über dessen gesamte Länge kon­ stant gehalten. Gleichzeitig wirken diese Blenden als örtlich begrenzte Stromschnellen für das Elektrolyt 18, so daß vom Galvanisierungsprozeß her gesehen, ein auf den Körper 15 pulsierend wirkender Stromfluß erzeugt wird.

Durch diese Maßnahmen können Stromdichten zwischen Elektrolyt 18 und Oberfläche des zu beschichtenden Körpers 15, am Beispiel einer galvanischen Verzinkung, von 10 bis 400 A/dm² gewählt werden. Auf diese Weise kann der galvanische Beschichtungsvorgang beschleunigt im Vergleich zu den bisher bekannten Verfahren und können wesentlich dickere Schichten pro Zeiteinheit aufgetragen werden als dies bislang möglich war.

Der Führungsring 26 hat die Aufgabe, einen Kurzschluß zwischen Körper 15 und Düsenkörper 34 zu verhindern, der dann zustande kommen würde, wenn der Körper 15 aufgrund der Relativbewegungen zwischen Körper 15 und Elektrolyt 18 und den dadurch hervorgerufenen Schwingungen den Düsenkörper 34 berühren würde.

Selbstverständlich ist es je nach Qualitätsanforderung, verwendeter Werkstoff oder Legierungsart möglich, mehr oder weniger Bereichsebenen 11 zu verwenden, als in diesem Ausführungsbeispiel beschrieben.

Claims (12)

1. Galvanisches Verfahren zum galvanischen oder chemischen Behandeln, insbesondere zum kontinuierlichen Aufbringen metallischer Schichten auf einen Körper, der entgegen der Strömungsrichtung eines einen Hohlkörper durchströmenden, mit Metallionen versetzten Elektrolytes geführt ist, der an den Minuspol einer Stromquelle angeschlossen ist, um als Kathode zu wirken, während der Hohlkörper mit dem Pluspol der Stromquelle verbunden ist, um als Anode zu wirken, wobei die über eine Pumpe beeinflußbare Strömungs­ geschwindigkeit des Elektrolytes und die Bewegungsge­ schwindigkeit des zu beschichtenden Körpers derart gewählt sind, daß an der Oberfläche des zu beschichtenden Körpers eine turbulente Strömung entsteht, gekennzeichnet durch ein allseits auf den Umfang des Körpers (15) gerichtetes Einspritzen des Elektrolytes (18) unter Winkeln (α, β) schräg zum und entgegen der Durchlaufrichtung des Körpers (15), wobei durch stufenweises partielles Verändern der Strömungsgeschwindigkeit des eingespritzten Elektrolytes (18) längs des zu behandelnden Körper (15) sowohl das Druck­ gefälle in Bezug auf die beaufschlagte Länge des Körpers beseitigt als auch ein pulsierend wirkender elektrischer Stromfluß erzeugt wird zwecks vollständiger Auflösung der Diffusionsschicht auf der gesamten Oberfläche des zu beschichtenden Körpers (15), und durch ein Einregeln des Stromes der Stromquelle derart, daß auf der Oberfläche des Körpers (15) eine Stromdichte von 10 bis 400 A/dm² herrscht.

2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Behandlung des Körpers (15) ein als Düsenkörper wirkender Hohlkörper (34) vorgesehen ist, der zentrisch in einem von Elektrolyt (18) durchfluteten Hohl­ körper (30) angeordnet ist, daß der Düsenkörper (34) eine Mehrzahl von radialen, als Düsen wirkende Bohrungen (44) aufweist, die in mehreren im Abstand voneinander liegenden Querschnittsbereichen (11) angeordnet sind, und sowohl zur Längsachse (16) des Düsenkörpers (34) als auch zum jeweiligen Querschnittsbereich (11) um Winkel (α) und (β) geneigt sind, und daß dem Düsenkörper (34) in seiner Durchgangsöffnung (35) angeordnete, den zu behandelnden Körper (15) umfassende, in Ebenen (A, B, C, D und E) zwischen den Austrittsöffnungen der Bohrungen (44) liegende Blenden (36) zugeordnet sind, deren Durchflußöffnungen (37) in ihrem Querschnitt entgegengesetzt zur Durchlaufrichtung (5) des Körpers (15) zwecks Verhinderung eines Druckgefälles im Düsenkörper (34) stufenweise vergrößert sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenkörper (34) allseitig und die innere Mantelfläche des Hohlkörpers (30) mit den Stirnseiten (31, 32) mit einer unlöslichen Metallschicht (38) eines Metalles aus der Platingruppe überzogen ist, dessen Schichtdicke 2 bis 20 µ beträgt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (36) aus elektrisch nicht leitendem Werkstoff bestehen.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (36) aus einem elektrisch leitenden Werkstoff bestehen.

6. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (36) aus elektrisch leitendem und nicht elektrisch leitendem Material bestehen und alternierend angeordnet sind.

7. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (36) drallerzeugende, zur Durchflußöffnung (37) tangential ausgerichtete Einschnitte (39) aufweisen.

8. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß an einer Austrittsöffnung (25) des Düsenkörpers (34), durch den der zu beschichtende Körper (15) den Düsenkörper (34) verläßt, ein Führungsring (26) aus einem elektrisch nicht leitfähigem Material angeordnet ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein der Zuführung von Elektrolyt dienender Rohrstutzen (24) mit seiner Längsachse (41) um den Abstand (a) zu der Querachse (40) der Vorrichtung (14) axial versetzt ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der den Düsenkörper (34) umfassende Hohlkörper (30) in einem, von dem Elektrolyt (18) durchfluteten Arbeitsbehälter (12) angeordnet ist.

11. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß beliebig viele Hohlkörper (30) nach den Ansprüchen 2. bis 8. hintereinander in Reihe geschaltet in dem Arbeitsbehälter (12) angeordnet sind.

12. Verwendung der Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 bis 11 zur galvanischen und chemischen Behandlung metallischer und nichtmetallischer Oberflächen.