DE4430395A1 - Zweidimensionales Antriebssystem - Google Patents

Zweidimensionales Antriebssystem

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Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein zweidimen­ sionales Antriebssystem. Genauer bezieht sie sich auf ein zweidimensionales Antriebssystem, das zur Bewegung eines beweglichen Körpers in einer Ebene in der Lage ist.
Ein zweidimensionales Antriebssystem, das zur Bewegung ei­ nes bewegbaren Körpers in einer Ebene in der Lage ist, wurde in dem U.S. Patent Nr. 4 995 277 offenbart. Das her­ kömmliche zweidimensionale Antriebssystem weist auf: Ein Paar von feststehenden X-Führungen, die in einer X-Richtung angeordnet sind, ein Paar von feststehenden Y-Führungen, die in einer Y-Richtung angeordnet sind, die senkrecht zu der X-Richtung ist, eine X-Stange, deren Enden verschiebbar mit den feststehenden Y-Führungen verbunden sind, eine Y- Stange, deren Enden verschiebbar mit den feststehenden X- Stangen verbunden sind, einen bewegbaren Körper, der zur Bewegung auf der X-Stange und der Y-Stange in der Lage ist, und einen Antriebsmechanismus zum Bewegen der X-Stange und der Y-Stange in der X- bzw. der Y-Richtung. Z. B. werden Kugelumlaufspindeln, Synchronriemen, etc. als der Antriebsmechanismus verwendet. Durch die X-Y-Bewegung der X-Stange und der Y-Stange kann der bewegbare Körper in der X- bzw. der Y-Richtung in einer rechteckigen Ebene, die durch die feststehenden X- und Y-Führungen umgeben ist, bewegt werden.
Jedoch weist das herkömmliche zweidimensionale Antriebssy­ stem den folgenden Nachteil auf.
Das herkömmliche zweidimensionale Antriebssystem weist die Kugelumlaufspindeln oder die Synchronriemen zur Bewegung der X-Stange und der Y-Stange und die vier feststehenden Führungen für den Hochgeschwindigkeitsbetrieb und höhere Positionsgenauigkeit des bewegbaren Körpers auf. Mit dieser Struktur muß die Struktur des zweidimensionalen Antriebssy­ stems groß und komplex sein, und die Herstellungskosten desselben müssen dadurch hoch sein.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein zweidimensio­ nales Antriebssystem zu ermöglichen, das eine kleine und einfache Struktur aufweist.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein zweidimensionales Antriebssystem nach Anspruch 1.
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Ein zweidimensionales Antriebssystem nach einer Ausfüh­ rungsform der vorliegenden Erfindung weist auf:
Eine erste Welle und eine zweite Welle, die in einer ersten Richtung gegenseitig voneinander getrennt sind, wobei die erste Welle und die zweite Welle sich um die jeweiligen Achsen drehen können,
eine dritte Welle und eine vierte Welle, die in einer zwei­ ten Richtung, die senkrecht zu der ersten Richtung ist, ge­ genseitig voneinander getrennt sind, wobei die dritte Welle und die vierte Welle sich um ihre jeweiligen Achsen drehen können,
einen ersten Hebel, dessen eines Ende an der ersten Welle befestigt ist, wobei der erste Hebel zur Drehung zusammen mit der ersten Welle in der Lage ist,
einen zweiten Hebel, dessen eines Ende an der zweiten Welle befestigt ist, wobei der zweite Hebel zur Drehung zusammen mit der zweiten Welle in der Lage ist,
einen dritten Hebel, dessen eines Ende an der dritten Welle befestigt ist, wobei der dritte Hebel zur Drehung zusammen mit der dritten Welle in der Lage ist,
einen vierten Hebel, dessen eines Ende an der vierten Welle befestigt ist, wobei der vierte Hebel zur Drehung zusammen mit der vierten Welle in der Lage ist,
eine erste bewegbare Führung, die entlang der ersten Rich­ tung angeordnet ist, wobei ein Ende der ersten bewegbaren Führung drehbar mit dem anderen Ende des ersten Hebels ver­ bunden ist und das andere Ende der ersten bewegbaren Füh­ rung drehbar mit dem anderen Ende des zweiten Hebels ver­ bunden ist,
eine zweite bewegbare Führung, die entlang der zweiten Richtung angeordnet ist, wobei ein Ende der zweiten beweg­ baren Führung drehbar mit dem anderen Ende des dritten He­ bels verbunden ist und das andere Ende der zweiten bewegba­ ren Führung drehbar mit dem anderen Ende des vierten Hebels verbunden ist,
einen bewegbaren Körper, der sich auf der ersten bewegbaren Führung und der zweiten bewegbaren Führung bewegen kann, ein erstes Antriebsmittel zur Drehung der ersten Welle, und ein zweites Antriebsmittel zur Drehung der dritten Welle.
Bei dem zweidimensionalen Antriebssystem nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden die erste bewegbare Führung und die zweite bewegbare Führung, die einen Parallelverbindungsmechanismus bilden, durch das er­ ste Antriebsmittel und das zweite Antriebsmittel so bewegt, daß der bewegbare Körper mit der einfachen Struktur in ei­ ner Ebene bewegt werden kann. Mit einer solch einfachen Struktur kann das zweidimensionale Antriebssystem eine kleine Größe aufweisen. Darüberhinaus können, da Kugelum­ laufspindeln, Synchronriemen und feststehende Führungen nicht benötigt werden, die Herstellungskosten reduziert werden.
Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungs­ form des zweidimensionalen Antriebssystems,
Fig. 2 eine Draufsicht auf das in Fig. 1 gezeigte zweidimensionale Antriebssystem,
Fig. 3 eine Frontansicht desselben, die teilweise als Schnitt ausgeführt ist, und
Fig. 4 eine Frontansicht einer anderen Ausführungsform, die teilweise als Schnitt ausgeführt ist.
Zuerst wird eine erste Ausführungsform unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 erläutert.
Eine Basis (Grundplatte) 10 wird durch vier Beinabschnitte 12 getragen. Die in Fig. 1 gezeigte Basis 10 ist als eine rechteckige Platte ausgebildet, aber ihre Gestalt ist wähl­ bar, z. B. kann sie eine flache Gestalt mit einem zentralen Lochabschnitt aufweisen.
Eine erste Welle 14 ist senkrecht zu der Basis 10 vorgese­ hen. Die erste Welle 14 kann sich in einem Lager (Wellenlager) 16, das auf der Basis 10 befestigt ist, dre­ hen.
Eine zweite Welle 18 ist senkrecht zu der Basis 10 vorgese­ hen. Die zweite Welle 18 kann sich in einem Lager 16, das auf der Basis 10 befestigt ist, drehen. Die erste Welle 14 und die zweite Welle 18 sind in einer X-Richtung (eine er­ ste Richtung) gegenseitig voneinander getrennt, d. h. sie weisen in der X-Richtung einen Abstand voneinander auf.
Eine dritte Welle 20 ist senkrecht zu der Basis 10 vorgese­ hen. Die dritte Welle 20 kann sich in einem Lager 16, das auf der Basis 10 befestigt ist, drehen.
Eine vierte Welle 22 ist senkrecht zu der Basis 10 vorgese­ hen. Die vierte Welle 22 kann sich in einem Lager 16, das auf der Basis 10 befestigt ist, drehen. Die dritte Welle 20 und die vierte Welle 22 sind in einer Y-Richtung (eine zweite Richtung), die senkrecht zu der X-Richtung ist, ge­ genseitig voneinander getrennt.
Ein erster Endabschnitt eines ersten Hebels 24 ist an der ersten Welle 14 mit einem Keil 26 befestigt, 50 daß der er­ ste Hebel 24 zusammen mit der ersten Welle 14 gedreht wird.
Ein erster Endabschnitt eines zweiten Hebels 28 ist an der zweiten Welle 18 mit einem Keil 26 befestigt, so daß der zweite Hebel 28 zusammen mit der zweiten Welle 18 gedreht wird.
Ein erster Endabschnitt eines dritten Hebels 30 ist an der dritten Welle 20 mit einem Keil 26 befestigt, so daß der dritte Hebel zusammen mit der dritten Welle 20 gedreht wird.
Ein erster Endabschnitt eines vierten Hebels 32 ist an der vierten Welle 22 mit einem Keil 26 befestigt, so daß der vierte Hebel 32 zusammen mit der vierten Welle 22 gedreht wird.
Eine X-Stange (Stab) 34 ist ein Beispiel einer ersten be­ wegbaren Führung. Die jeweiligen Endabschnitte der X-Stange 34 sind entsprechend durch Verbindungsstücke (Flansch) 36a und 36b befestigt. Das Verbindungsstück 36a ist drehbar an dem anderen Endabschnitt des ersten Hebels 24 mit einem Wellenabschnitt (Wellenstück) 38 angebaut, das Verbindungs­ stück 36b ist drehbar an dem anderen Endabschnitt des zwei­ ten Hebels 28 mit einem Wellenabschnitt 38 angebaut. Die X- Stange 34 wird parallel zu der X-Achse gehalten. Derart wird ein Parallelverbindungsmechanismus zum Bewegen der X- Stange 34 in der Y-Richtung durch den ersten Hebel 24, den zweiten Hebel 28 und die X-Stange 34 gebildet. Es ist zu bemerken, daß die erste bewegbare Führung nicht auf die Stange (Stab) begrenzt ist, sondern daß z. B. eine Linear­ führung verwendet werden kann.
Eine Y-Stange 40 ist ein Beispiel für eine zweite bewegbare Führung. Die jeweiligen Endabschnitte der Y-Stange 40 sind entsprechend mit Verbindungsstücken 36c und 36d befestigt. Das Verbindungsstück 36c ist drehbar an dem anderen Endab­ schnitt des dritten Hebels 30 mit einem Wellenstück 38 an­ gebaut, das Verbindungsstück 36d ist drehbar an dem anderen Endabschnitt des vierten Hebels 32 mit einem Wellenstück 38 angebaut. Die Y-Stange 40 wird parallel zu der Y-Achse ge­ halten. Derart wird ein Parallelverbindungsmechanismus zum Bewegen der Y-Stange 40 in der X-Richtung durch den dritten Hebel 30, den vierten Hebel 32 und die Y-Stange 40 gebil­ det. Es ist zu bemerken, daß die zweite bewegbare Führung nicht auf die Stange (Stab) begrenzt ist, sondern daß z. B. eine Linearführung verwendet werden kann.
Der Abstand zwischen der ersten Welle 14 und dem Verbindungsstück 36a im ersten Hebel 24 (d. h. der Abstand der Anbaupunkte) ist gleich dem Abstand zwischen der zwei­ ten Welle 18 und dem Verbindungsstück 36b in dem zweiten Hebel 28. Der Abstand zwischen der dritten Welle 20 und dem Verbindungsstück 36c in dem dritten Hebel 30 ist gleich dem Abstand zwischen der vierten Welle 22 und dem Verbindungs­ stück 36d in dem vierten Hebel 32.
Die X-Stange 34 und die Y-Stange 40 sind durch einen beweg­ baren Körper 42 mit Lagern 44 geführt. Die X-Stange 34 und die Y-Stange 40 kreuzen sich in dem bewegbaren Körper 42 senkrecht (d. h. sie verlaufen senkrecht zueinander). Der­ art kann sich der bewegbare Körper 42 auf der X-Stange 34 und der Y-Stange 40 bewegen. Nämlich wird der bewegbare Körper 42 durch die Bewegung der X-Stange 34 und der Y- Stange 40 in der X- und der Y-Richtung bewegt. Werkzeuge, Arbeitsköpfe, Roboterköpfe, Meßausrüstungen, zu bearbei­ tende Werkstücke oder zu befördernde Werkstücke etc. können auf dem bewegbaren Körper 42 angeordnet oder montiert wer­ den.
Ein erster Motor 46 (erstes Antriebsmittel) ist ein Servo­ motor. Der erste Motor 46 ist an einer Bodenoberfläche (bodenseitigen Oberfläche) der Basis 10 durch ein Anbau­ bzw. Befestigungsteil 48 befestigt. Der erste Motor 46 ist direkt unter der ersten Welle 14 vorgesehen. Der erste Mo­ tor 46 treibt die erste Welle 14 direkt an. Wenn die erste Welle 14 durch den ersten Motor 46 gedreht wird, wird die zweite Welle 18 auch in derselben Richtung mit derselben Geschwindigkeit gedreht, da die zweite Welle mit der ersten Welle 14 verbunden ist (Parallelverbindungsmechanismus). Durch die Drehung der ersten Welle 14 und der zweiten Welle 18 werden der erste Hebel 24 und der zweite Hebel 28 ge­ dreht, so daß die X-Stange 34 in der Y-Richtung bewegt wer­ den kann. Es ist zu bemerken, daß der als erstes Antriebs­ mittel einer ersten Ausführungsform verwendete Servomotor zur präzisen Steuerung der Drehung der ersten Welle 14 dient, aber das andere Antriebsmittel, wie z. B. ein Ölmo­ tor, ein Rückstoßzylinder, o. a. entsprechend dem Anwen­ dungsbereich verwendet werden können. Bei der ersten Aus­ führungsform dreht das erste Antriebsmittel nur die erste Welle 14, aber es kann auch die zweite Welle 18 drehen oder es kann unabhängig und synchron beide drehen.
Ein zweiter Motor 50 (zweites Antriebsmittel) ist ein Servomotor. Der zweite Motor 50 ist an der Bodenoberfläche der Basis 10 durch ein Halterungsteil 48 befestigt. Der zweite Motor 50 ist direkt unter der dritten Welle 20 vor­ gesehen. Der zweite Motor 50 dreht die dritte Welle 20 di­ rekt. Wenn die dritte Welle 20 durch den zweiten Motor 50 gedreht wird, wird die vierte Welle 22 auch in derselben Richtung mit derselben Geschwindigkeit gedreht, da die vierte Welle 22 mit der dritten Welle 20 verbunden ist. Durch die Drehung der dritten Welle 20 und der vierten Welle 22 werden der dritte Hebel 30 und der vierte Hebel 32 gedreht, so daß die Y-Stange 40 in der X-Richtung bewegt werden kann. Es ist zu bemerken, daß der als zweites An­ triebsmittel bei der vorliegenden Ausführungsform verwen­ dete Servomotor zur präzisen Steuerung der Drehung der dritten Welle 20 dient, aber das andere drehende Antriebs­ mittel wie z. B. ein Ölmotor, ein Rückstoßzylinder, o. a. entsprechend des Anwendungsbereiches verwendet werden kön­ nen. Bei der vorliegenden Ausführungsform dreht das zweite Antriebsmittel nur die dritte Welle, aber es kann die vierte Welle drehen oder es kann unabhängig und synchron beide (Wellen) drehen.
Bei der vorliegenden Ausführungsform werden der erste Motor 46 und der zweite Motor 50 durch einen nicht gezeigten Steuerabschnitt gesteuert, der ein Computersystem beinhal­ tet. Die Drehrichtung, die Drehgeschwindigkeit und der Drehwinkel der ersten Welle und der zweiten Welle 18 werden durch Steuerung der Drehrichtung, der Drehgeschwindigkeit und des Drehwinkels der Ausgabewelle des ersten Motors 46 (d. h. der mit dem ersten Motor verbundenen Welle) gesteu­ ert. Durch diese Steuerung können die Bewegungsrichtung, die Bewegungsgeschwindigkeit und die Bewegungslänge (-strecke) der X-Stange 34 gesteuert werden.
Andererseits werden die Drehrichtung, die Drehgeschwindig­ keit und der Drehwinkel der dritten Welle 20 und der vier­ ten Welle 22 durch Steuerung der Drehrichtung, der Drehge­ schwindigkeit und des Drehwinkels einer Ausgabewelle des zweiten Motors 50 gesteuert. Durch diese Steuerung können die Bewegungsrichtung, die Bewegungsgeschwindigkeit und die Bewegungslänge der Y-Stange 40 gesteuert werden.
Durch die Steuerung der Bewegungsrichtung, der Bewegungsge­ schwindigkeit und der Bewegungslänge (-strecke) der X- Stange 34 und der Y-Stange 40 können die Bewegungsrichtung, die Bewegungsgeschwindigkeit und die Bewegungsstrecke des bewegbaren Körpers 42 in zwei Dimensionen gesteuert werden. Der Steuerabschnitt mit dem Computersystem kann die Bewe­ gung des bewegbaren Körpers 42 auf der Basis einer gespei­ cherten Datentabelle steuern, die die Bewegungsrichtung, die Bewegungsgeschwindigkeit und die Bewegungsstrecke des bewegbaren Körpers 42 in zwei Dimensionen bezüglich (d. h. in Form von) der Drehrichtung, der Drehgeschwindigkeit und des Drehwinkels der Ausgabewellen des ersten Motors 46 und des zweiten Motors 50 enthält.
In der Folge wird eine andere Ausführungsform unter Bezug­ nahme auf Fig. 4 beschrieben. Es ist zu bemerken, daß die die zweite Ausführungsform bildenden Teile, die bei der er­ sten Ausführungsform beschrieben wurden, mit denselben Be­ zugszeichen bezeichnet sind und deren Erläuterung hier weg­ gelassen wird.
Bei der ersten Ausführungsform ist gewünscht, daß die erste Welle 14 und die zweite Welle 18 synchron gedreht werden, und daß die dritte Welle 20 und die vierte Welle 22 syn­ chron gedreht werden, damit ein genauer Betrieb des zweidi­ mensionalen Antriebssystems möglich ist. Aber es ist sehr schwierig, die zwei Paare von Wellen präzise zu synchroni­ sieren, da die erste Welle 14 und die dritte Welle 20 durch die Motoren 46 und 50 direkt angetrieben werden, und die zweite Welle 18 und die vierte Welle 22 nicht direkt durch die Motoren angetrieben werden. Darüberhinaus neigen die zweite Welle 18 und die vierte Welle 22, da die Verriege­ lungs- bzw. Haltekraft der Motoren 46 und 50 nicht direkt auf die zweite Welle 18 und die vierte Welle 22 wirkt, dazu, durch eine externe Kraft gedreht zu werden, selbst falls die Motoren 46 und 50 gestoppt sind, so daß die Positionsgenauigkeit für den bewegbaren Körper 42 nicht ge­ steigert werden kann.
Zur Verbesserung der ersten Ausführungsform weist das in Fig. 4 gezeigte zweidimensionale Antriebssystem ein erstes Synchronisierungsmittel zum synchronen Drehen der ersten Welle 14 und der zweiten Welle 18 und ein zweites Synchro­ nisierungsmittel zum synchronen Drehen der dritten Welle 20 und der vierten Welle 22 auf.
Das erste Synchronisierungsmittel weist auf: Eine erste Riemenscheibe 52a, die an der ersten Welle 14 befestigt ist, eine erste Riemenscheibe 52b, die an der zweiten Welle 18 befestigt ist, und einen ersten Synchronriemen 54a, der mit den ersten Riemenscheiben 52a und 52b in Eingriff ist. Mit dem ersten Synchronisierungsmittel werden die Antriebs­ kraft und die Haltekraft (Verriegelungskraft) des ersten Motors 46 gleichmäßig auf die erste Welle 14 und die zweite Welle 18 übertragen, so daß die erste Welle 14 und die zweite Welle 18 synchron gedreht werden können, und so daß die zweite Welle 18 sicher angehalten bzw. verriegelt wer­ den kann, während der erste Motor 46 gestoppt ist.
Es ist zu bemerken, daß das erste Synchronisierungsmittel nicht auf die ersten Riemenscheiben 52a und 52b und den er­ sten Synchronriemen 54a begrenzt ist, sondern daß z. B. eine Kette und ein Paar von Zahnrädern als das erste Syn­ chronisierungsmittel verwendet werden können.
Das zweite Synchronisierungsmittel weist auf: Eine zweite Riemenscheibe 52c, die an der dritten Welle 20 befestigt ist, eine zweite Riemenscheibe (nicht gezeigt), die an der vierten Welle 22 befestigt ist, und einen zweiten Synchron­ riemen 54b, der mit den zweiten Riemenscheiben 52c, . . . in Eingriff steht. Durch das zweite Synchronisierungsmittel werden die Antriebskraft und die Halte- bzw. Verriegelungs­ kraft des zweiten Motors 50 gleichmäßig auf die dritte Welle 20 und die vierte Welle 22 übertragen, so daß die dritte Welle 20 und die vierte Welle 22 synchron gedreht werden können, und daß die vierte Welle 22 sicher angehal­ ten bzw. verriegelt werden kann, während der zweite Motor 50 stoppt bzw. gestoppt ist.
Es ist zu bemerken, daß das zweite Synchronisierungsmittel nicht auf die zweiten Riemenscheiben 52c, . . . und den zwei­ ten Synchronriemen 54b begrenzt ist, sondern daß z. B. eine Kette und ein Paar von Zahnrädern als das zweite Synchroni­ sierungsmittel verwendet werden kann.

Claims (7)

1. Zweidimensionales Antriebssystem mit
einer ersten bewegbaren Führung (34), die in einer ersten Richtung angeordnet ist, wobei die erste bewegbare Führung (34) sich in einer zweiten Richtung, die senkrecht zu der ersten Richtung ist, bewegen kann,
einer zweiten bewegbaren Führung (40), die in der zweiten Richtung angeordnet ist, wobei die zweite bewegbare Führung (40) sich in der ersten Richtung bewegen kann,
einem bewegbaren Körper (42), der sich auf der ersten be­ wegbaren Führung (34) und der zweiten bewegbaren Führung (40) bewegen kann,
einer ersten Welle (14) und einer zweite Welle (18), die voneinander in einer ersten Richtung getrennt sind, wobei die erste Welle (14) und die zweite Welle (18) sich um ihre Achsen drehen können,
einer dritten Welle (20) und einer vierte Welle (22), die voneinander in der zweiten Richtung getrennt sind, wobei die dritte Welle (20) und die vierte Welle (22) sich um ihre Achsen drehen können,
einem ersten Hebel (24), dessen eines Ende an der ersten Welle (14) befestigt ist, und dessen anderes Ende drehbar mit einem Ende der ersten bewegbaren Führung (34) verbunden ist,
einem zweiten Hebel (28), dessen eines Ende an der zweiten Welle (18) befestigt ist, und dessen anderes Ende drehbar mit dem anderen Ende der ersten bewegbaren Führung (34) verbunden ist,
einem dritten Hebel (30), dessen eines Ende an der dritten Welle (20) befestigt ist, und dessen anderes Ende drehbar mit einem Ende der zweiten bewegbaren Führung (40) verbun­ den ist,
einem vierten Hebel (32), dessen eines Ende an der vierten Welle (22) befestigt ist, und dessen anderes Ende drehbar mit dem anderen Ende der zweiten bewegbaren Führung (40) verbunden ist,
einem ersten Antriebsmittel (46) zum Drehen der ersten Welle (14) und/oder der zweiten Welle (18), und
einem zweiten Antriebsmittel (50) zum Drehen der dritten Welle (20) und/oder der vierten Welle (22).
2. Zweidimensionales Antriebssystem nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß das erste Antriebsmittel und das zweite Antriebsmittel jeweils einen Motor (46, 50) aufweist.
3. Zweidimensionales Antriebssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste bewegbare Führung und die zweite bewegbare Führung jeweils Stangen (34, 40) sind, die durch den beweg­ baren Körper (42) geführt sind.
4. Zweidimensionales Antriebssystem nach einem der An­ sprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch ein erstes Synchronisierungsmittel (52a, 52b, 54a) zum synchronen Drehen der ersten Welle (14) und der zweiten Welle (18).
5. Zweidimensionales Antriebssystem nach Anspruch 4, da­ durch gekennzeichnet, daß das erste Synchronisierungsmittel ein Paar von Riemenscheiben (52a, 52b), die entsprechend an der ersten Welle (14) bzw. der zweiten Welle (18) befestigt sind, und einen Synchronriemen (54a), der mit den Riemenscheiben (52a, 52b) in Eingriff steht, aufweist.
6. Zweidimensionales Antriebssystem nach einem der An­ sprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch ein zweites Synchronisierungsmittel (52c, 54b) zum synchro­ nen Drehen der dritten Welle (20) und der vierten Welle (22).
7. Zweidimensionales Antriebssystem nach Anspruch 6, da­ durch gekennzeichnet, daß das zweite Synchronisierungsmittel ein Paar von Riemenscheiben (52c), die entsprechend an der dritten Welle (20) bzw. der vierten Welle (22) befestigt sind, und einen Synchronriemen (54b), der mit den Riemenscheiben (52c) in Eingriff steht, aufweist.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11274031A (ja) * 1998-03-20 1999-10-08 Canon Inc 露光装置およびデバイス製造方法ならびに位置決め装置
US6463664B1 (en) * 2000-10-19 2002-10-15 Sandia Corporation Multi-axis planar slide system
DE10206414A1 (de) * 2001-03-16 2002-10-02 Siemens Ag Vorrichtung zur Positionierung eines Werkzeugs innerhalb eines vorgegebenen Arbeitsbereichs
TWI302862B (en) * 2006-05-18 2008-11-11 Univ Chung Yuan Christian Toggle-type positioning platform and toggle-type machine center
US7898204B2 (en) * 2007-01-05 2011-03-01 Active Precision, Inc. High-speed substrate manipulator
TW200909711A (en) * 2007-08-17 2009-03-01 Univ Nat Formosa Device for producing special track
US8137517B1 (en) 2009-02-10 2012-03-20 Wd Media, Inc. Dual position DC magnetron assembly
TWI367144B (en) * 2009-05-05 2012-07-01 Univ Chung Yuan Christian Three-link toggle type positioning platform
TWI395633B (zh) * 2010-04-23 2013-05-11 私立中原大學 肘節式定位平台
US8674327B1 (en) 2012-05-10 2014-03-18 WD Media, LLC Systems and methods for uniformly implanting materials on substrates using directed magnetic fields
JP7062677B2 (ja) * 2017-02-24 2022-05-06 マーポス、ソチエタ、ペル、アツィオーニ 機械部品の寸法および/または幾何学的検査のための二方向測定ヘッド
US11121115B2 (en) * 2018-09-20 2021-09-14 Asm Technology Singapore Pte Ltd. Y-theta table for semiconductor equipment
DE102022202904A1 (de) * 2022-03-24 2023-09-28 Hs-Tumbler Gmbh Behälter mit Antrieb für Bahnkurve

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0366420A2 (de) * 1988-10-28 1990-05-02 Mamiya Denshi Co. Ltd. Vorrichtung zum Antreiben eines Tisches
US4995277A (en) * 1988-05-31 1991-02-26 Ken Yanagisawa Two dimensional drive system
DE4234675A1 (de) * 1991-10-17 1993-04-22 Ken Yanagisawa Zweidimensionales antriebssystem

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3764900A (en) * 1972-02-03 1973-10-09 Univ Michigan Tech Electrolytic electrical field mapping device
US4176455A (en) * 1977-02-24 1979-12-04 Copeland Thomas M Plotting apparatus
US4995227A (en) * 1989-10-25 1991-02-26 Foster Harry C Power assisted reel type lawn mower

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4995277A (en) * 1988-05-31 1991-02-26 Ken Yanagisawa Two dimensional drive system
EP0366420A2 (de) * 1988-10-28 1990-05-02 Mamiya Denshi Co. Ltd. Vorrichtung zum Antreiben eines Tisches
DE4234675A1 (de) * 1991-10-17 1993-04-22 Ken Yanagisawa Zweidimensionales antriebssystem

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DE4430395C2 (de) 1999-12-30
US5477743A (en) 1995-12-26
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