DE4425209A1

DE4425209A1 - Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten gesinterten Keramikteilen und Keramikfolie zur Durchführung des Verfahrens

Info

Publication number: DE4425209A1
Application number: DE19944425209
Authority: DE
Inventors: Christa Stopsack; Peter Atzrodt; Thomas Furche
Original assignee: Jenoptik Jena GmbH; Jenoptik AG
Current assignee: Jenoptik AG
Priority date: 1994-07-16
Filing date: 1994-07-16
Publication date: 1996-01-18

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten gesinterten Keramikteilen, insbesondere zum gasdichten Fügen von unterschiedlichen Keramiken mit voneinander verschiedenen Wärmeausdehnungskoeffizienten.

Keramische Werkstoffe sind auf Grund ihrer Werkstoffeigenschaften, wie niedriges spezifisches Gewicht, hohe Verschleißfestigkeit, günstige tribologische Eigenschaften, hohe Temperaturbestandigkeit und im allgemeinen auch chemische Beständigkeit wegen der hohen Härte, für spezielle Anwendungen sehr interessant.

Doch die Formgebungsverfahren sind nur begrenzt einsetzbar, so daß nur bestimmte Formen erzeugt werden können.

Insbesondere ist die Fertigung großer voluminöser Werkstücke als auch komplizierter Teile meist unmöglich oder unterliegt großen Schwierigkeiten.

Aus den genannten Gründen sind Verbindungsverfahren für Keramikteile sehr wichtig.

Bekannt sind Verfahren, die unter den Begriffen Löten, Diffusionsschweißen, Kleben, Einpressen und Nachsintern für Herstellung von Keramikverbunden und Keramik-Metall-Verbunden Anwendung finden.

Die folgenden Betrachtungen sollen auf Verbindungsarten beschränkt werden, die auf mechanische Festigkeit und Stoffschlüssigkeit ausgerichtet sind. In der Patentschrift DE-PS 38 20 459 wird offenbart, daß die Verbindung durch das Einbringen eines reaktionsfähigen, elektrisch leitfähigen Materials zwischen die geschliffenen Keramikflächen erzielt wird, indem die Aufheizung der Schicht durch einen kurzzeitigen Stromstoß erfolgt, um Reaktionen mit der umgebenden Atmosphäre weitgehend zu vermeiden.

Die DE-PS 38 42 984 befaßt sich mit dem Fügen von Siliciumnitridformteilen unter Zwischenschaltung von im Hinblick auf die Bildung von Si₃N₄ stickstoffüber- und unterschüssigen siliciumhaltigen Schichten und Heißpressen der Fügestelle bei Drücken von mehr als 10 MPa und Temperaturen über 1500°C.

In der DE-OS 36 12 458 wird für das Fügen von Siliciumcarbid eine maximal 1 µm dicke Schicht verschiedener Metalle zwischen die Fügeflächen gebracht. Bei inerter oder reduzierender Atmosphäre werden vorzugsweise bei einem Preßdruck von 15 bis 45 MPa und einer Temperatur zwischen 1500-1800°C die Fügeteile miteinander verschweißt. Die Schicht ist praktisch eine Aktivierungsschicht und nach dem Prozeß nicht mehr nachweisbar.

Diese aufgezeigten Lösungen setzen entweder eine metallische Bindeschicht voraus oder verlangen hohe Drücke und Temperaturen.

Außerdem wird eine hohe Reinheit und Oberflächengüte (poliert) der Fügeflächen verlangt.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine neuartige Möglichkeit zum stoffschlüssigen Fügen von Keramikteilen zu finden, die bei niedrigem Preßdruck und relativ niedriger Temperatur spannungsarme und mechanisch feste Keramikverbunde erzeugt. Dabei soll es nach Belieben möglich sein, Keramiken mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten zu verbinden.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe bei einem Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten gesinterten Keramikkörpern, bei dem zwischen die zwei Fügeflächen der Keramikkörper eine Folie gelegt wird, wobei anschließend unter Druck und ho her Temperatur bei reaktionsunterstützender Atmosphäre die Fügekörper verbunden werden, dadurch gelöst, daß die Fügeflächen lediglich auf Oberflächenunebenheit von weniger als 0,5 µm sowie eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 1 µm ge schliffen werden, daß als Folie eine grüne Keramikfolie, deren Wärmeausdehnungs koeffizient nicht mehr als 1·10^-6/K von den Wärmeausdehnungskoeffizienten der Keramikkörper abweicht, verwendet wird, daß die Folie in einer ersten Phase eines Temperatur-Zeit-Regimes zum Ausgasen der Binder und Lösungsmittel mindestens unter einem solchen Preßdruck zwischen den Fügeflächen gehalten wird, der ein Verrutschen der Fügeflächen und der Folie zueinander verhindert, und daß die Folie in einer zweiten und driften Phase des Temperatur-Zeit-Regimes unter einem Preß druck zwischen 50 und 100 kPa zur Kristallisation gebracht wird.

Zweckmäßig erfolgt in der ersten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes nach einer Aufheizung auf etwa 350°C eine Haltezeit von ca. 2 Stunden. Es erweist sich jedoch unter energetischen und Zeitaspekten als vorteilhaft, nach der Aufheizung auf ca. 350°C eine verlangsamte weitere Aufheizungsperiode auf ca. 400 bis 500°C innerhalb von 2 Stunden durchzuführen, die den Zweck der ersten Phase in gleicher Weise erfüllt.

In der zweiten Phase wird vorteilhaft eine Temperatur von ca. 750°C eingestellt und für etwa 2 Stunden gehalten, um in der Folie Kristallisationskeime zu erzeugen.

In der dritten Phase wird zweckmäßig die Sintertemperatur der Folie eingestellt und für ca. 3 Stunden gehalten, bis die Folie ausgesintert ist. Es wird vorzugsweise unter oxidierender Atmosphäre gesintert. Zum Fügen von Reinstaluminium (< 99,6% Al₂O₃) wird die erste Phase des Temperatur-Zeit-Regimes vorteilhaft direkt in die dritte Phase überführt, da die verwendete dotierte Compositfolie bereits über Kristallisationskeime verfügt.

Obwohl lediglich für den Sinterprozeß oberhalb 800°C (zweite und dritte Phase) eine Beaufschlagung mit einem Preßdruck von ca. 50 kPa notwendig ist, erweist es sich als zweckmäßig, diesen Preßdruck bereits direkt zur Arretierung in der ersten Phase einzustellen und im gesamten Temperatur-Zeit-Regime beizubehalten.

Zum Fügen von Keramikkörpern mit unterschiedlichem Wärmekoeffizienten erweist es sich von Vorteil, zwischen die Fügeflächen mehrere Folien mit abgestuften Wärmeausdehnungskoeffizienten zu legen und dem oben beschriebenen Temperatur- Zeit-Regime zu unterwerfen.

Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe bei dem erfindungsgemäßen Verfahren mit einer grünen Keramikfolie dadurch gelöst, daß die Folie aus gemahlenem Pulver besteht, wobei das Pulver eine Nennkorngröße von weniger als 3 µm aufweist.

Vorzugsweise wird die Folie nach dem Doctor-Blade-Verfahren hergestellt. Zur Schaffung eines graduellen Übergangs des Wärmeausdehnungskoeffizienten von Fügekörper zu Fügekörper weist die Folie vorteilhaft einen geeigneten Mengenanteil vom Pulver jedes Fügekörpers auf; wobei die Unterschiede des Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Folie und Fügekörper jeweils kleiner als 1·10^-6/K sind.

Für größere Unterschiede des Wärmeausdehnungskoeffizienten wird zweckmäßig ein Folienpaket mit graduellem Übergang des Wärmeausdehnungskoeffizienten zusammengestellt, das durch unterschiedliche Pulvermischungen von Materialanteilen beider Fügekörper Folien mit adaptiv eingestelltem Wärmeausdehnungskoeffizienten enthält.

Dabei erweist es sich in häufigen Fällen als vorteilhaft, in den einzelnen Folien die Materialanteile der Fügekörper in gleichmäßige Stufen von Folie zu Folie und jeweils von Folie zu Fügekörper zu verändern.

Für bestimmte Fälle zeigt es sich aber auch als zweckmäßig, daß die Materialanteile in den einzelnen Folien zwar in gleichmäßigen Stufen von Folie zu Folie und gegenüber einem Fügekörper geändert sind, aber zum zweiten Fügekörper ein Sprung bezüglich der kontinuierlichen abgestuften Änderung der Materialanteile vorliegt.

Die Erfindung basiert auf der Überlegung, daß stoffschlüssige Verbunde von gesinterter Keramik durch Schweißen bzw. Erschmelzen des Oberflächenmaterials der Fügeflächen stets eine hohe Temperatur und/oder einen hohen Preßdruck auf die Fügeflächen zur Folge hat.

Ursächlich dafür ist die Notwendigkeit, daß die Fügepartner in ihrem Adhäsionsverhalten und ihrem Wärmeausdehnungskoeffizienten einander angepaßt sind. Außerdem müssen Austauschprozesse durch die chemische Zusammensetzung möglich sein. Diese Forderungen werden selbst bei verschiedenartigen Keramiken durch die Zwischenlagerung keramischer Rohfolien (grüner Keramikfolien), die Mengenanteile beider Fügepartner halten, erreicht. Zur Anpassung von Fügekörpern mit Wärmeausdehnungskoeffizienten, die sich um mehr als 1·10^-6/K unterscheiden, sind Folienpakete aus mehreren übereinanderliegenden derartigen Folien mit graduell den Fügekörpern angepaßten Wärmeausdehnungskoeffizienten geeignet.

Die Herstellung solcher, den Wärmeausdehnungskoeffizienten vermittelnder Folien ist erfindungsgemäß so vorgesehen, daß das gesinterte Keramikmaterial zu mahlen ist bis zur Nennkorngröße von < 3 µm. Dann werden Mengenanteile von verschiedenen Keramiken (oder auch Glasphasen bei Glaskeramik) miteinander vermischt und nach bekannten Techniken, z. B. nach dem Doctor-Blade-Verfahren (siehe beispielsweise Keramische Zeitschrift 44 (1992) 1, S. 23-27), keramische Rohfolien hergestellt. Entsprechend den Gemengeanteilen ergeben sich Keramikfolien mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten und unterschiedlicher stofflicher Zusammensetzung. Diese Folien werden zu einem graduellen Schichtenaufbau hinsichtlich Ausdehnungskoeffizient und stofflicher Zusammensetzung der Fügepartner geordnet und zwischen die gereinigten, geschliffenen und gesinterten Keramikkörper gelegt.

Der Fügeprozeß läuft dann nach Arretierung der in Form und Größe angepaßten Rohfolien zwischen den Fügeflächen in drei wesentlichen Phasen ab. In einer ersten Phase werden Binder und Lösungsmittel aus der Rohfolie durch Ausgasen entfernt. Eine zweite Phase mit einer ausgeprägten Haltezeit sorgt für die Ausbildung von Kristallisationskeimen und eine dritte Phase führt bei gehaltener Sintertemperatur der Keramikbestandteile zum vollstandigen Aussintern der Keramikfolien. Gesintert wird bei einem Preßdruck von ca. 50 kPa in Normalrichtung der Fügeflächen und bei oxidierender Atmosphäre.

Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet es, unter Verwendung von erfindungsgemäß hergestellten grünen Keramikfolien bei geringem Preßdruck auf die Fügeflächen und relativ geringen Temperaturen einen mechanisch stabilen, gas- und vakuumdichten Keramikverbund herzustellen.

Die Erfindung soll nachstehend anhand von drei Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Die Zeichnung zeigt

Fig. 1 das erfindungsgemaß anzuwendende Temperatur-Zeit-Regime.

Das erfindungsgemäße Verfahren umfaßt im wesentlichen den Einsatz einer grünen Keramikfolie, die insbesondere die Stoffzusammensetzung und die Wärmeausdehnungskoeffizienten der Fügepartner vermittelt. Dabei wird für den Verbund das in Fig. 1 dargestellte Temperatur-Zeit-Regime angewendet, wobei die erste Phase die Folie von Bindern und Lösungsmitteln befreit, die zweite und dritte Phase die notwendigen Schritte zur Kristallisation der Folie beinhalten.

1. Beispiel Fügen von Bioverit I und Vitronit (Hersteller bzw. Vertreiber: Vitron GmbH Jena)

Der Ausdehnungskoeffizient der Glaskeramik Bioverit I beträgt 11,6·10^-6/K, der vom Vitronit 8, 7·10^-6/K.

Aus den Gläsern, die zur Keramisierung von Bioverit I und von Vitronit geschmolzen wurden, wird ein Pulver gefertigt, welches in der Nennkorngröße < 3 µm ist. Aus diesem Pulver werden 3 Mischungen hergestellt.

Diese Mischungen werden vorteilhaft nochmals gemahlen (Aufmahlung). Von jeder Mischung wird eine Folie in der Stärke von 0,5 mm z. B. nach dem Doctor-Blade-Ver fahren [Keramische Zeitschrift 44 (1992), S. 23-27] hergestellt (grüne Rohfolie). Die Mischungen und ihre Aufmahlung gewahrleisten, daß der Wärmeausdehnungskoeffizient sich von Folie zu Folie und zu den Fügekörpern weniger als 1·10^-6/K ändert.

Dann werden je nach Größe der Fügefläche Folienabschnitte bereitgestellt.

Die Fügeflächen der Fügepartner von Bioverit I und Vitronit werden geschliffen auf eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 1,0 µm. Die Oberflächenunebenheit darf dabei 0,5 µm nicht übersteigen. Anschließend werden die Fügeflächen von mechanischen Partikeln gereinigt.

Auf die Fügefläche von Bioverit I wird das Folienstück der 1. Mischung gelegt, darauf das der 2. Mischung und anschließend das der 3. Mischung und obenauf das Fügeteil aus Vitronit.

Dieses Paket wird in einem Ofen so positioniert, daß die Paarung nicht verrutschen kann und auf die oben aufliegende Keramik ein Druck ausgeübt werden kann.

Zunächst genügt ein geringer Mindestandruck, der ein Verrutschen der Folien und Fügeflächen zueinander ausschließt. Dieser Druck ist zumindestens in der ersten Phase gemäß Fig. 1 ausreichend, um das Ausgasen der Lösungsmittel und Binder aus den Folien zu erreichen.

Zum Ausgasen ist eine Temperatur von 350°C erforderlich, die ca. 2 Stunden gehalten werden muß. Nach einem Aufheizvorgang von ca. 1 Stunde wird der Punkt A (siehe Fig. 1) erreicht, der dieser Temperatur entspricht, die gestrichelte Linie zum Punkt B′ deutet die erforderliche Haltezeit zum Ausgasen an. Energetisch günstiger ist jedoch die Variante eines langsamen weiteren Aufheizens innerhalb der notwendigen Haltezeit, wie es die durchgezogene Linie A-B in Fig. 1 angibt. Die Binder und Lösungsmittel gasen bei dieser Temperaturerhöhung weiterhin aus. Die Temperaturerhöhung muß jedoch bis zum Ende der notwendigen Haltezeit so begrenzt sein, daß Vorgänge, die der zweiten Phase vorbehalten sind, nicht bereits einsetzen. Das wird im angegebenen Beispiel bis ca. 500°C problemlos gewährleistet. Der Vorteil dieser modifizierten "Haltezeit" liegt in der Verkürzung der Aufheizzeit in der zweiten Phase.

In der zweiten Phase wird unabhängig vom gewählten Temperatur-Zeit-Regime der ersten Phase ein Vorgang der Bildung von Kristallisationskeimen bei einer Temperatur von ca. 750°C eingeleitet, der durch die durchgezogene Linie C-D in Fig. 1 angezeigt wird. Für diesen Vorgang ist ebenfalls eine zweistündige Haltezeit vorgesehen. Erst nach dessen Abschluß (im Punkt D) wird in der dritten Phase weiter aufgeheizt.

Die dritte Phase dient dazu, die Folien zu keramisieren. Dabei werden die Verbundflächen in Normalenrichtung mit einem Druck von ca. 50 kPa beaufschlagt und die Temperatur entsprechend Fig. 1 auf die Sintertemperatur von ca. 1050°C erhöht. Zum Aussintern der Folien wird diese Temperatur ca. 3 Stunden gehalten (Linie E - F). Danach erfolgt eine langsame Abkühlungsphase, in deren Ergebnis ein stoffschlüssiger, spannungsarmer und mechanisch fester Keramikverbund entsteht.

2. Beispiel Fügen von Glaskeramik Bioverit I mit Aluminiumoxidkeramik (KER 710, Hersteller: Boartceramics Auma)

Die verwendete Aluminiumoxidkeramik KER 710 hat einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 7,0·10^-6/K und einen Al₂O₃-Gehalt von mehr als 95%. Der Unterschied des Wärmeausdehnungskoeffizienten gegenüber Bioverit I beträgt 4,6·10^-6/K.

Aus dem Granulat von Bioverit I und dem Al₂O₃-Pulver werden Gemenge wie folgt hergestellt, wobei ein Mahlvorgang (wie im Beispiel 1) die Nennkorngröße der Gemenge von weniger als 3 µm sicherstellt:

Aus diesen Mischungen werden Folien hergestellt.

Die Folien werden auf das Außenmaß der Fügeflächen angepaßt. Die geschliffenen Fügeflächen (Oberflächenrauhigkeit < 1 µm) werden von mechanischen Partikeln gereinigt und die Folien in der Reihenfolge der Mischungsnumerierung auf die Fü gefläche von Bioverit I aufgelegt. Dabei entsteht bis zur 3. Folie ein gleichmäßiger Gradient der Mengenanteile von Bioverit I und der Anteile von Al₂O₃. Der Sprung des Gradienten der Mengenanteile beider Keramiken beim Übergang auf den Füge körper aus Al₂O₃ ist in diesem Fall tolerierbar, da für den Verbund und die Ver bundfertigkeit die Anpassung der Wärmeausdehnungskoeffizienten die entschei dende Rolle spielt. Der Einbau von geringen Mengen Al₂O₃ in die Folien beeinflußt den Ausdehnungskoeffizienten von Bioverit I in erheblichen Maße.

Nach dem gleichen Temperatur-Zeit-Regime wie im Beispiel 1 (durchgezogene Linie) wird der Verbund keramisiert. Ab ca. 800°C wird ein Preßdruck von mindestens 50 kPa (bis maximal 100 kPa) auf die Fügekörper senkrecht zu den Fügeflächen aufgebracht.

3. Beispiel Verbinden von Reinstaluminiumoxid (< 99,6% Al₂O₃)

In diesem Beispiel wird als Keramikgrünfolie eine Compositfolie (wie z. B. im Journ. Am. Ceram. Soc. 73 [1990] 1, S. 3476-3489 beschrieben) aus dotiertem Al₂O₃ verwendet.

Für eine ausgewählte Verbindung von Keramikrohren untereinander oder mit einem beliebigen anderen Keramikteil (z. B. einer ebenen Platte) werden mittels eines geeigneten Werkzeugs Ringe aus der oben genannten Compositfolie ausgestanzt. Die Durchmesser dieser Grünfolienringe sollten 1 mm größer als der Durchmesser der Rohre sein, um das Schrumpfen der Folienringe im Fügeprozeß auszugleichen. Die Folienringe werden, wie bereits in den vorigen Beispielen beschrieben, zwischen den Fügeflächen sicher arretiert, zum Ausgasen von Binder und Lösungsmittel zunächst auf 350°C erhitzt und auf dieser Temperatur 2 Stunden gehalten (siehe 1. Phase in Fig. 1, Linie A-B′). Danach wird weiter erhitzt auf 1200°C und solange gehalten, bis die Folien fertig gesintert sind (Fig. 1, gestrichelte Linie B′-C-E′-F′). Ab einer Temperatur von ca. 800°C wird - wie bereits in den ersten beiden Beispielen beschrieben - ein Preßdruck von ca. 50 kPa senkrecht zu den Fügeflächen ausgeübt und oxidierende Atmosphäre zugegeben.

In diesem Beispiel entfällt, wie die gestrichelte Linie in Fig. 1 deutlich macht, die zweite Phase des Temperatur-Zeit-Regimes, da die Bildung von Kristallisationskeimen infolge der Dotierung der Compositfolie nicht erforderlich ist. Damit liegt wiederum ein stoffschlüssiger, mechanisch fester und spannungsarmer Keramikverbund vor.

Claims

1. Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten gesinterten Keramikkörpern, bei dem zwischen die zwei Fügeflächen der Keramikkörper eine Folie gelegt wird, wobei anschließend unter Druck und hoher Temperatur bei reaktionsunterstützender Atmosphäre die Fügekörper verbunden werden, dadurch gekennzeichnet, daß

- die Fügeflächen lediglich auf Oberflächenunebenheit von weniger als 0,5 µm sowie eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 1 µm geschliffen werden,
- als Folie eine grüne Keramikfolie, deren Wärmeausdehnungskoeffizient nicht mehr als 1·10^-6/K von den Wärmeausdehnungskoeffizienten der Keramik körper abweicht, verwendet wird,
- die Folie in einer ersten Phase eines Temperatur-Zeit-Regimes zum Ausgasen der Binder und Lösungsmittel mindestens unter einem solchen Preßdruck zwischen den Fügeflächen gehalten wird, der ein Verrutschen der Fügeflächen und der Folie zueinander verhindert, und
- die Folie in einer zweiten und dritten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes unter einem Preßdruck von mindestens 50 kPa zur Kristallisation gebracht wird, wobei der Preßdruck unterhalb des von den Fügekörpern maximal aufnehmbaren Preßdrucks bleiben muß.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der ersten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes nach einer Aufheizzeit eine Haltezeit von ca. 2 Stunden bei einer Temperatur von etwa 350°C folgt.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der ersten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes nach einer Aufheizung auf ca. 350°C eine weitere verlangsamte Aufheizperiode auf ca. 400 bis 500°C innerhalb von 2 Stunden erfolgt.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der zweiten Phase eine Temperatur von ca. 750°C eingestellt und für etwa 2 Stunden gehalten wird, so daß sich in der Folie Kristallisationskeime ausbilden.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in der dritten Phase eine Temperatur, die der Sintertemperatur der Keramikfolie entspricht, eingestellt und ca. 3 Stunden gehalten wird, so daß die Folie vollstandig gesintert wird.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte Phase des Temperatur-Zeit-Regimes unter oxidierender Atmosphäre stattfindet.

7. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß für den Verbund von Fügekörpern aus Reinstaluminiumoxid (< 99,6% Al₂O₃) die erste Phase des Temperatur-Zeit-Regimes direkt in die dritte Phase überführt wird.

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie in allen Phasen des Temperatur-Zeit-Regimes unter demselben Preßdruck behandelt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Folien mit abgestuften Wärmeausdehnungskoeffizienten zur Anpassung der Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen die Fügeflächen der Fügekörper gelegt werden.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß in einem aus mehreren Folien bestehenden Folienpaket Folien mit einem abgestuft unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten geordnet übereinander gelegt werden, wobei der Unterschied des Ausdehnungskoeffizienten zwischen jeweils benachbarten Folien nicht größer als 0,7·10^-6/K eingestellt wird.

11. Grüne Keramikfolie zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie aus gemahlenem Pulver beider Fügekörper besteht, wobei das Pulver eine Nennkorngröße von weniger als 3 µm aufweist.

12. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie nach dem Doctor-Blade-Verfahren hergestellt ist.

13. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß zur Schaffung eines graduellen Übergangs der Wärmeausdehnungskoeffizienten von Fügekörper zu Fügekörper die Folie einen geeigneten Mengenanteil vom Pulver jedes Fügekörpers aufweist, wobei die Unterschiede des Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Folie und Fügekörper jeweils kleiner als 1·10^-6/K sind.

14. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizient für Folien eines Folienpaketes mit graduellem Übergang des Wärmeausdehnungskoeffizienten durch unterschiedliche Pulvermischungen von Materialanteilen beider Fügekörper einstellbar ist.

15. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Materialanteile in den einzelnen Folien in nahezu gleichmäßigen Stufen von Folie zu Folie und jeweils von Fügekörper zu Folie verändert sind.

16. Grüne Keramikfolie nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Materialanteile in den einzelnen Folien in gleichmäßigen Stufen von Folie zu Folie verändert ist, jedoch zu mindestens einem Fügekörper ein Sprung bezüglich der kontinuierlichen graduellen Änderung der Materialanteile vorliegt.