DE4425209A1 - Process for joining compact sintered ceramic bodies - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten gesinterten Keramikteilen, insbesondere zum gasdichten Fügen von unterschiedlichen Keramiken mit voneinander verschiedenen Wärmeausdehnungskoeffizienten.The invention relates to a method for the integral joining of compact sintered ceramic parts, especially for gas-tight joining of different ceramics with different ones Coefficient of thermal expansion.
Keramische Werkstoffe sind auf Grund ihrer Werkstoffeigenschaften, wie niedriges spezifisches Gewicht, hohe Verschleißfestigkeit, günstige tribologische Eigenschaften, hohe Temperaturbestandigkeit und im allgemeinen auch chemische Beständigkeit wegen der hohen Härte, für spezielle Anwendungen sehr interessant.Because of their material properties, ceramic materials are like low specific weight, high wear resistance, favorable tribological Properties, high temperature resistance and in general also chemical Resistance due to the high hardness, very interesting for special applications.
Doch die Formgebungsverfahren sind nur begrenzt einsetzbar, so daß nur bestimmte Formen erzeugt werden können.But the molding processes can only be used to a limited extent, so that only certain ones Shapes can be created.
Insbesondere ist die Fertigung großer voluminöser Werkstücke als auch komplizierter Teile meist unmöglich oder unterliegt großen Schwierigkeiten.In particular, the manufacture of large, voluminous workpieces as well complicated parts mostly impossible or subject to great difficulties.
Aus den genannten Gründen sind Verbindungsverfahren für Keramikteile sehr wichtig.For the reasons mentioned, connection methods for ceramic parts are very important.
Bekannt sind Verfahren, die unter den Begriffen Löten, Diffusionsschweißen, Kleben, Einpressen und Nachsintern für Herstellung von Keramikverbunden und Keramik-Metall-Verbunden Anwendung finden.Processes are known which are called soldering, diffusion welding, Gluing, pressing and sintering for the production of ceramic composites and Ceramic-metal composites are used.
Die folgenden Betrachtungen sollen auf Verbindungsarten beschränkt werden, die auf mechanische Festigkeit und Stoffschlüssigkeit ausgerichtet sind. In der Patentschrift DE-PS 38 20 459 wird offenbart, daß die Verbindung durch das Einbringen eines reaktionsfähigen, elektrisch leitfähigen Materials zwischen die geschliffenen Keramikflächen erzielt wird, indem die Aufheizung der Schicht durch einen kurzzeitigen Stromstoß erfolgt, um Reaktionen mit der umgebenden Atmosphäre weitgehend zu vermeiden.The following considerations are intended to be limited to connection types that are geared towards mechanical strength and material cohesion. In the Patent DE-PS 38 20 459 discloses that the connection through the Introducing a reactive, electrically conductive material between the ground ceramic surfaces is achieved by heating the layer through a brief surge occurs to react with the surrounding Avoid atmosphere largely.
Die DE-PS 38 42 984 befaßt sich mit dem Fügen von Siliciumnitridformteilen unter Zwischenschaltung von im Hinblick auf die Bildung von Si₃N₄ stickstoffüber- und unterschüssigen siliciumhaltigen Schichten und Heißpressen der Fügestelle bei Drücken von mehr als 10 MPa und Temperaturen über 1500°C.DE-PS 38 42 984 deals with the joining of silicon nitride moldings under Interposition of nitrogen over and with regard to the formation of Si₃N₄ submerged silicon-containing layers and hot pressing of the joint Pressures of more than 10 MPa and temperatures above 1500 ° C.
In der DE-OS 36 12 458 wird für das Fügen von Siliciumcarbid eine maximal 1 µm dicke Schicht verschiedener Metalle zwischen die Fügeflächen gebracht. Bei inerter oder reduzierender Atmosphäre werden vorzugsweise bei einem Preßdruck von 15 bis 45 MPa und einer Temperatur zwischen 1500-1800°C die Fügeteile miteinander verschweißt. Die Schicht ist praktisch eine Aktivierungsschicht und nach dem Prozeß nicht mehr nachweisbar.In DE-OS 36 12 458 a maximum of 1 µm is used for joining silicon carbide brought a thick layer of different metals between the joining surfaces. With inert or reducing atmosphere are preferably at a pressure of 15 up to 45 MPa and a temperature between 1500-1800 ° C welded together. The layer is practically an activation layer and no longer detectable after the process.
Diese aufgezeigten Lösungen setzen entweder eine metallische Bindeschicht voraus oder verlangen hohe Drücke und Temperaturen.The solutions shown either require a metallic bonding layer or require high pressures and temperatures.
Außerdem wird eine hohe Reinheit und Oberflächengüte (poliert) der Fügeflächen verlangt.In addition, the joining surfaces are of high purity and surface quality (polished) demands.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine neuartige Möglichkeit zum stoffschlüssigen Fügen von Keramikteilen zu finden, die bei niedrigem Preßdruck und relativ niedriger Temperatur spannungsarme und mechanisch feste Keramikverbunde erzeugt. Dabei soll es nach Belieben möglich sein, Keramiken mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten zu verbinden.The invention is therefore based on the object of a novel possibility for cohesive joining of ceramic parts to be found at low pressure and relatively low temperature low stress and mechanically firm Ceramic composites generated. It should be possible to use ceramics at will to combine different coefficients of thermal expansion.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe bei einem Verfahren zum stoffschlüssigen Fügen von kompakten gesinterten Keramikkörpern, bei dem zwischen die zwei Fügeflächen der Keramikkörper eine Folie gelegt wird, wobei anschließend unter Druck und ho her Temperatur bei reaktionsunterstützender Atmosphäre die Fügekörper verbunden werden, dadurch gelöst, daß die Fügeflächen lediglich auf Oberflächenunebenheit von weniger als 0,5 µm sowie eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 1 µm ge schliffen werden, daß als Folie eine grüne Keramikfolie, deren Wärmeausdehnungs koeffizient nicht mehr als 1·10-6/K von den Wärmeausdehnungskoeffizienten der Keramikkörper abweicht, verwendet wird, daß die Folie in einer ersten Phase eines Temperatur-Zeit-Regimes zum Ausgasen der Binder und Lösungsmittel mindestens unter einem solchen Preßdruck zwischen den Fügeflächen gehalten wird, der ein Verrutschen der Fügeflächen und der Folie zueinander verhindert, und daß die Folie in einer zweiten und driften Phase des Temperatur-Zeit-Regimes unter einem Preß druck zwischen 50 und 100 kPa zur Kristallisation gebracht wird.According to the invention the object is achieved in a method for the integral joining of compact sintered ceramic bodies, in which a foil is placed between the two joining surfaces of the ceramic bodies, the joining bodies then being connected under pressure and high temperature in a reaction-supporting atmosphere, in that the joining surfaces be ground only on unevenness of less than 0.5 microns and a surface roughness of less than 1 micron that used as a green ceramic film, the coefficient of thermal expansion of which does not deviate more than 1 · 10 -6 / K from the coefficient of thermal expansion of the ceramic body is that the film is held in a first phase of a temperature-time regime for outgassing the binder and solvent at least under such a pressing pressure between the joining surfaces that prevents the joining surfaces and the film from slipping relative to one another, and that the film in egg ner second and drift phase of the temperature-time regime is brought to crystallization under a pressure between 50 and 100 kPa.
Zweckmäßig erfolgt in der ersten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes nach einer Aufheizung auf etwa 350°C eine Haltezeit von ca. 2 Stunden. Es erweist sich jedoch unter energetischen und Zeitaspekten als vorteilhaft, nach der Aufheizung auf ca. 350°C eine verlangsamte weitere Aufheizungsperiode auf ca. 400 bis 500°C innerhalb von 2 Stunden durchzuführen, die den Zweck der ersten Phase in gleicher Weise erfüllt.Appropriately, in the first phase of the temperature-time regime, there is a Heating to about 350 ° C a holding time of about 2 hours. It turns out however, from an energetic and time point of view, advantageous after heating up approx. 350 ° C a slower heating period to approx. 400 to 500 ° C to perform within 2 hours, the purpose of the first phase in the same Way fulfilled.
In der zweiten Phase wird vorteilhaft eine Temperatur von ca. 750°C eingestellt und für etwa 2 Stunden gehalten, um in der Folie Kristallisationskeime zu erzeugen. In the second phase, a temperature of approximately 750 ° C. is advantageously set and held for about 2 hours to produce nuclei in the film.
In der dritten Phase wird zweckmäßig die Sintertemperatur der Folie eingestellt und für ca. 3 Stunden gehalten, bis die Folie ausgesintert ist. Es wird vorzugsweise unter oxidierender Atmosphäre gesintert. Zum Fügen von Reinstaluminium (< 99,6% Al₂O₃) wird die erste Phase des Temperatur-Zeit-Regimes vorteilhaft direkt in die dritte Phase überführt, da die verwendete dotierte Compositfolie bereits über Kristallisationskeime verfügt.In the third phase, the sintering temperature of the film is expediently set and held for about 3 hours until the film is sintered. It is preferably under sintered oxidizing atmosphere. For joining pure aluminum (<99.6% Al₂O₃) the first phase of the temperature-time regime is advantageous transferred directly to the third phase, since the doped composite film already used has crystallization nuclei.
Obwohl lediglich für den Sinterprozeß oberhalb 800°C (zweite und dritte Phase) eine Beaufschlagung mit einem Preßdruck von ca. 50 kPa notwendig ist, erweist es sich als zweckmäßig, diesen Preßdruck bereits direkt zur Arretierung in der ersten Phase einzustellen und im gesamten Temperatur-Zeit-Regime beizubehalten.Although only for the sintering process above 800 ° C (second and third phase) it has to be applied with a pressure of approx. 50 kPa turns out to be expedient, this pressing pressure directly for locking in the first Phase and maintain it throughout the temperature-time regime.
Zum Fügen von Keramikkörpern mit unterschiedlichem Wärmekoeffizienten erweist es sich von Vorteil, zwischen die Fügeflächen mehrere Folien mit abgestuften Wärmeausdehnungskoeffizienten zu legen und dem oben beschriebenen Temperatur- Zeit-Regime zu unterwerfen.Proven to join ceramic bodies with different heat coefficients it is advantageous to have several foils with graded between the joining surfaces Thermal expansion coefficient and the temperature described above Submit time regime.
Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe bei dem erfindungsgemäßen Verfahren mit einer grünen Keramikfolie dadurch gelöst, daß die Folie aus gemahlenem Pulver besteht, wobei das Pulver eine Nennkorngröße von weniger als 3 µm aufweist.According to the invention, the object is achieved with the method according to the invention a green ceramic film solved in that the film of ground powder exists, the powder has a nominal grain size of less than 3 microns.
Vorzugsweise wird die Folie nach dem Doctor-Blade-Verfahren hergestellt. Zur Schaffung eines graduellen Übergangs des Wärmeausdehnungskoeffizienten von Fügekörper zu Fügekörper weist die Folie vorteilhaft einen geeigneten Mengenanteil vom Pulver jedes Fügekörpers auf; wobei die Unterschiede des Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Folie und Fügekörper jeweils kleiner als 1·10-6/K sind.The film is preferably produced using the doctor blade method. In order to create a gradual transition of the coefficient of thermal expansion from joint body to joint body, the film advantageously has a suitable proportion of the powder of each joint body; the differences in the coefficient of thermal expansion between the film and the joint body are each less than 1 · 10 -6 / K.
Für größere Unterschiede des Wärmeausdehnungskoeffizienten wird zweckmäßig ein Folienpaket mit graduellem Übergang des Wärmeausdehnungskoeffizienten zusammengestellt, das durch unterschiedliche Pulvermischungen von Materialanteilen beider Fügekörper Folien mit adaptiv eingestelltem Wärmeausdehnungskoeffizienten enthält.For larger differences in the coefficient of thermal expansion is appropriate a film package with a gradual transition of the coefficient of thermal expansion compiled by different powder mixtures of Material shares of both joining bodies foils with adaptively adjusted Contains coefficient of thermal expansion.
Dabei erweist es sich in häufigen Fällen als vorteilhaft, in den einzelnen Folien die Materialanteile der Fügekörper in gleichmäßige Stufen von Folie zu Folie und jeweils von Folie zu Fügekörper zu verändern.In many cases, it proves to be advantageous in the individual foils Material proportions of the joining elements in uniform steps from film to film and to change from foil to joint.
Für bestimmte Fälle zeigt es sich aber auch als zweckmäßig, daß die Materialanteile in den einzelnen Folien zwar in gleichmäßigen Stufen von Folie zu Folie und gegenüber einem Fügekörper geändert sind, aber zum zweiten Fügekörper ein Sprung bezüglich der kontinuierlichen abgestuften Änderung der Materialanteile vorliegt. In certain cases, however, it is also expedient that the material parts in the individual foils in even stages from foil to foil and compared to one joining body, but to the second joining body Leap in the continuous gradual change in material proportions is present.
Die Erfindung basiert auf der Überlegung, daß stoffschlüssige Verbunde von gesinterter Keramik durch Schweißen bzw. Erschmelzen des Oberflächenmaterials der Fügeflächen stets eine hohe Temperatur und/oder einen hohen Preßdruck auf die Fügeflächen zur Folge hat.The invention is based on the consideration that cohesive composites of sintered ceramic by welding or melting the surface material the joining surfaces always have a high temperature and / or a high pressure on the Results in joining surfaces.
Ursächlich dafür ist die Notwendigkeit, daß die Fügepartner in ihrem Adhäsionsverhalten und ihrem Wärmeausdehnungskoeffizienten einander angepaßt sind. Außerdem müssen Austauschprozesse durch die chemische Zusammensetzung möglich sein. Diese Forderungen werden selbst bei verschiedenartigen Keramiken durch die Zwischenlagerung keramischer Rohfolien (grüner Keramikfolien), die Mengenanteile beider Fügepartner halten, erreicht. Zur Anpassung von Fügekörpern mit Wärmeausdehnungskoeffizienten, die sich um mehr als 1·10-6/K unterscheiden, sind Folienpakete aus mehreren übereinanderliegenden derartigen Folien mit graduell den Fügekörpern angepaßten Wärmeausdehnungskoeffizienten geeignet.The reason for this is the need for the joining partners to be adapted to one another in terms of their adhesion behavior and their coefficient of thermal expansion. Exchange processes must also be possible due to the chemical composition. Even with different types of ceramics, these requirements are met by the intermediate storage of raw ceramic foils (green ceramic foils) that hold the proportions of both joining partners. For the adaptation of joining bodies with thermal expansion coefficients which differ by more than 1 · 10 -6 / K, foil packages made of several such superimposed foils with thermal expansion coefficients gradually adapted to the joining bodies are suitable.
Die Herstellung solcher, den Wärmeausdehnungskoeffizienten vermittelnder Folien ist erfindungsgemäß so vorgesehen, daß das gesinterte Keramikmaterial zu mahlen ist bis zur Nennkorngröße von < 3 µm. Dann werden Mengenanteile von verschiedenen Keramiken (oder auch Glasphasen bei Glaskeramik) miteinander vermischt und nach bekannten Techniken, z. B. nach dem Doctor-Blade-Verfahren (siehe beispielsweise Keramische Zeitschrift 44 (1992) 1, S. 23-27), keramische Rohfolien hergestellt. Entsprechend den Gemengeanteilen ergeben sich Keramikfolien mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten und unterschiedlicher stofflicher Zusammensetzung. Diese Folien werden zu einem graduellen Schichtenaufbau hinsichtlich Ausdehnungskoeffizient und stofflicher Zusammensetzung der Fügepartner geordnet und zwischen die gereinigten, geschliffenen und gesinterten Keramikkörper gelegt.The production of such foils which impart the coefficient of thermal expansion is provided according to the invention in such a way that the sintered ceramic material is ground is up to the nominal grain size of <3 µm. Then proportions of different ceramics (or glass phases with glass ceramics) with each other mixed and according to known techniques, e.g. B. according to the doctor blade method (see, for example, Keramische Zeitschrift 44 (1992) 1, pp. 23-27), ceramic Raw foils made. According to the proportions Ceramic foils with different coefficients of thermal expansion and different material composition. These slides become one gradual layer structure with regard to expansion coefficient and material The composition of the joining partners is sorted and between the cleaned, ground and sintered ceramic body.
Der Fügeprozeß läuft dann nach Arretierung der in Form und Größe angepaßten Rohfolien zwischen den Fügeflächen in drei wesentlichen Phasen ab. In einer ersten Phase werden Binder und Lösungsmittel aus der Rohfolie durch Ausgasen entfernt. Eine zweite Phase mit einer ausgeprägten Haltezeit sorgt für die Ausbildung von Kristallisationskeimen und eine dritte Phase führt bei gehaltener Sintertemperatur der Keramikbestandteile zum vollstandigen Aussintern der Keramikfolien. Gesintert wird bei einem Preßdruck von ca. 50 kPa in Normalrichtung der Fügeflächen und bei oxidierender Atmosphäre.The joining process then runs after locking the shape and size Raw foils between the joining surfaces in three essential phases. In a first Phase, binder and solvent are removed from the raw film by degassing. A second phase with a pronounced holding time ensures the formation of Crystallization nuclei and a third phase leads while the sintering temperature is maintained the ceramic components for complete sintering of the ceramic foils. Sintered is at a pressure of approx. 50 kPa in the normal direction of the joining surfaces and at oxidizing atmosphere.
Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet es, unter Verwendung von erfindungsgemäß hergestellten grünen Keramikfolien bei geringem Preßdruck auf die Fügeflächen und relativ geringen Temperaturen einen mechanisch stabilen, gas- und vakuumdichten Keramikverbund herzustellen.The method according to the invention allows using green ceramic films produced according to the invention at low pressure on the Joining surfaces and relatively low temperatures a mechanically stable, gas and to produce vacuum-tight ceramic composite.
Die Erfindung soll nachstehend anhand von drei Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Die Zeichnung zeigtThe invention will now be described with reference to three exemplary embodiments are explained. The drawing shows
Fig. 1 das erfindungsgemaß anzuwendende Temperatur-Zeit-Regime. Fig. 1 shows the temperature-time regime to be used according to the invention.
Das erfindungsgemäße Verfahren umfaßt im wesentlichen den Einsatz einer grünen Keramikfolie, die insbesondere die Stoffzusammensetzung und die Wärmeausdehnungskoeffizienten der Fügepartner vermittelt. Dabei wird für den Verbund das in Fig. 1 dargestellte Temperatur-Zeit-Regime angewendet, wobei die erste Phase die Folie von Bindern und Lösungsmitteln befreit, die zweite und dritte Phase die notwendigen Schritte zur Kristallisation der Folie beinhalten.The method according to the invention essentially comprises the use of a green ceramic film, which in particular conveys the composition of matter and the thermal expansion coefficients of the joining partners. The temperature-time regime shown in FIG. 1 is used for the composite, the first phase freeing the film from binders and solvents, the second and third phases containing the necessary steps for crystallizing the film.
Der Ausdehnungskoeffizient der Glaskeramik Bioverit I beträgt 11,6·10-6/K, der vom Vitronit 8, 7·10-6/K.The expansion coefficient of Bioverit I glass ceramic is 11.6 · 10 -6 / K, that of Vitronit 8, 7 · 10 -6 / K.
Aus den Gläsern, die zur Keramisierung von Bioverit I und von Vitronit geschmolzen wurden, wird ein Pulver gefertigt, welches in der Nennkorngröße < 3 µm ist. Aus diesem Pulver werden 3 Mischungen hergestellt.From the glasses used to ceramize Bioverit I and Vitronit have been melted, a powder is produced, which has the nominal grain size Is <3 µm. 3 mixtures are made from this powder.
Diese Mischungen werden vorteilhaft nochmals gemahlen (Aufmahlung). Von jeder Mischung wird eine Folie in der Stärke von 0,5 mm z. B. nach dem Doctor-Blade-Ver fahren [Keramische Zeitschrift 44 (1992), S. 23-27] hergestellt (grüne Rohfolie). Die Mischungen und ihre Aufmahlung gewahrleisten, daß der Wärmeausdehnungskoeffizient sich von Folie zu Folie und zu den Fügekörpern weniger als 1·10-6/K ändert.These mixtures are advantageously milled again (grinding). A film with a thickness of 0.5 mm is z. B. drive according to the Doctor Blade Ver [Ceramic Journal 44 (1992), pp 23-27] produced (green raw film). The mixtures and their grinding ensure that the coefficient of thermal expansion changes less than 1 · 10 -6 / K from film to film and to the joining bodies.
Dann werden je nach Größe der Fügefläche Folienabschnitte bereitgestellt.Then, depending on the size of the joining surface, foil sections are provided.
Die Fügeflächen der Fügepartner von Bioverit I und Vitronit werden geschliffen auf eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 1,0 µm. Die Oberflächenunebenheit darf dabei 0,5 µm nicht übersteigen. Anschließend werden die Fügeflächen von mechanischen Partikeln gereinigt. The joint surfaces of the Bioverit I and Vitronit joining partners are ground a surface roughness of less than 1.0 µm. The surface unevenness may do not exceed 0.5 µm. Then the joining surfaces of mechanical particles cleaned.
Auf die Fügefläche von Bioverit I wird das Folienstück der 1. Mischung gelegt, darauf das der 2. Mischung und anschließend das der 3. Mischung und obenauf das Fügeteil aus Vitronit.The piece of film of the 1st mixture is placed on the joint surface of Bioverit I, then that of the 2nd mixture and then that of the 3rd mixture and on top of that Joining part made of Vitronit.
Dieses Paket wird in einem Ofen so positioniert, daß die Paarung nicht verrutschen kann und auf die oben aufliegende Keramik ein Druck ausgeübt werden kann.This package is positioned in an oven so that the pairing does not slip can and a pressure can be exerted on the ceramic on top.
Zunächst genügt ein geringer Mindestandruck, der ein Verrutschen der Folien und Fügeflächen zueinander ausschließt. Dieser Druck ist zumindestens in der ersten Phase gemäß Fig. 1 ausreichend, um das Ausgasen der Lösungsmittel und Binder aus den Folien zu erreichen.First of all, a small minimum pressure is sufficient to prevent the foils and joining surfaces from slipping. This pressure is sufficient at least in the first phase according to FIG. 1 to achieve the outgassing of the solvents and binders from the films.
Zum Ausgasen ist eine Temperatur von 350°C erforderlich, die ca. 2 Stunden gehalten werden muß. Nach einem Aufheizvorgang von ca. 1 Stunde wird der Punkt A (siehe Fig. 1) erreicht, der dieser Temperatur entspricht, die gestrichelte Linie zum Punkt B′ deutet die erforderliche Haltezeit zum Ausgasen an. Energetisch günstiger ist jedoch die Variante eines langsamen weiteren Aufheizens innerhalb der notwendigen Haltezeit, wie es die durchgezogene Linie A-B in Fig. 1 angibt. Die Binder und Lösungsmittel gasen bei dieser Temperaturerhöhung weiterhin aus. Die Temperaturerhöhung muß jedoch bis zum Ende der notwendigen Haltezeit so begrenzt sein, daß Vorgänge, die der zweiten Phase vorbehalten sind, nicht bereits einsetzen. Das wird im angegebenen Beispiel bis ca. 500°C problemlos gewährleistet. Der Vorteil dieser modifizierten "Haltezeit" liegt in der Verkürzung der Aufheizzeit in der zweiten Phase.A temperature of 350 ° C is required for outgassing, which must be maintained for about 2 hours. After a heating process of about 1 hour, point A (see Fig. 1) is reached, which corresponds to this temperature, the dashed line to point B 'indicates the required holding time for outgassing. However, the variant of slow further heating within the necessary holding time is more energetically more favorable, as indicated by the solid line AB in FIG. 1. The binders and solvents continue to outgas at this temperature increase. However, the temperature increase must be limited until the end of the necessary holding time so that processes that are reserved for the second phase do not already start. In the example given, this is easily guaranteed up to approx. 500 ° C. The advantage of this modified "holding time" is that the heating-up time is reduced in the second phase.
In der zweiten Phase wird unabhängig vom gewählten Temperatur-Zeit-Regime der ersten Phase ein Vorgang der Bildung von Kristallisationskeimen bei einer Temperatur von ca. 750°C eingeleitet, der durch die durchgezogene Linie C-D in Fig. 1 angezeigt wird. Für diesen Vorgang ist ebenfalls eine zweistündige Haltezeit vorgesehen. Erst nach dessen Abschluß (im Punkt D) wird in der dritten Phase weiter aufgeheizt.In the second phase, regardless of the temperature-time regime chosen for the first phase, a process of nucleation is initiated at a temperature of approximately 750 ° C., which is indicated by the solid line CD in FIG. 1. A two-hour hold time is also provided for this process. Only after its completion (in point D) is heating continued in the third phase.
Die dritte Phase dient dazu, die Folien zu keramisieren. Dabei werden die Verbundflächen in Normalenrichtung mit einem Druck von ca. 50 kPa beaufschlagt und die Temperatur entsprechend Fig. 1 auf die Sintertemperatur von ca. 1050°C erhöht. Zum Aussintern der Folien wird diese Temperatur ca. 3 Stunden gehalten (Linie E - F). Danach erfolgt eine langsame Abkühlungsphase, in deren Ergebnis ein stoffschlüssiger, spannungsarmer und mechanisch fester Keramikverbund entsteht.The third phase is used to ceramize the foils. A pressure of approximately 50 kPa is applied to the composite surfaces in the normal direction and the temperature is increased to the sintering temperature of approximately 1050 ° C. in accordance with FIG. 1. This temperature is held for approx. 3 hours to sinter the foils (line E - F). This is followed by a slow cooling phase, the result of which is a cohesive, low-stress and mechanically strong ceramic composite.
Die verwendete Aluminiumoxidkeramik KER 710 hat einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 7,0·10-6/K und einen Al₂O₃-Gehalt von mehr als 95%. Der Unterschied des Wärmeausdehnungskoeffizienten gegenüber Bioverit I beträgt 4,6·10-6/K.The aluminum oxide ceramic KER 710 has a coefficient of thermal expansion of 7.0 · 10 -6 / K and an Al₂O₃ content of more than 95%. The difference in the coefficient of thermal expansion compared to Bioverit I is 4.6 · 10 -6 / K.
Aus dem Granulat von Bioverit I und dem Al₂O₃-Pulver werden Gemenge wie folgt hergestellt, wobei ein Mahlvorgang (wie im Beispiel 1) die Nennkorngröße der Gemenge von weniger als 3 µm sicherstellt:Mixtures from the granules of Bioverit I and the Al₂O₃ powder are as follows prepared, with a grinding process (as in Example 1) the nominal grain size of Batch of less than 3 µm ensures:
Aus diesen Mischungen werden Folien hergestellt.Films are made from these mixtures.
Die Folien werden auf das Außenmaß der Fügeflächen angepaßt. Die geschliffenen Fügeflächen (Oberflächenrauhigkeit < 1 µm) werden von mechanischen Partikeln gereinigt und die Folien in der Reihenfolge der Mischungsnumerierung auf die Fü gefläche von Bioverit I aufgelegt. Dabei entsteht bis zur 3. Folie ein gleichmäßiger Gradient der Mengenanteile von Bioverit I und der Anteile von Al₂O₃. Der Sprung des Gradienten der Mengenanteile beider Keramiken beim Übergang auf den Füge körper aus Al₂O₃ ist in diesem Fall tolerierbar, da für den Verbund und die Ver bundfertigkeit die Anpassung der Wärmeausdehnungskoeffizienten die entschei dende Rolle spielt. Der Einbau von geringen Mengen Al₂O₃ in die Folien beeinflußt den Ausdehnungskoeffizienten von Bioverit I in erheblichen Maße.The foils are adapted to the outer dimensions of the joining surfaces. The honed Joining surfaces (surface roughness <1 µm) are made up of mechanical particles cleaned and the foils in the order of the mixture numbering on the feet area of Bioverit I launched. This creates an even layer up to the 3rd film Gradient of the proportions of Bioverit I and the proportions of Al₂O₃. The jump of the gradient of the proportions of both ceramics at the transition to the joint body made of Al₂O₃ is tolerable in this case, since for the composite and Ver The ability to adjust the coefficient of thermal expansion is decisive important role. The installation of small amounts of Al₂O₃ in the films affected the expansion coefficient of Bioverit I to a considerable extent.
Nach dem gleichen Temperatur-Zeit-Regime wie im Beispiel 1 (durchgezogene Linie) wird der Verbund keramisiert. Ab ca. 800°C wird ein Preßdruck von mindestens 50 kPa (bis maximal 100 kPa) auf die Fügekörper senkrecht zu den Fügeflächen aufgebracht.According to the same temperature-time regime as in example 1 (solid Line) the composite is ceramized. From approx. 800 ° C a pressure of at least 50 kPa (up to a maximum of 100 kPa) on the joints perpendicular to the Joined surfaces applied.
In diesem Beispiel wird als Keramikgrünfolie eine Compositfolie (wie z. B. im Journ. Am. Ceram. Soc. 73 [1990] 1, S. 3476-3489 beschrieben) aus dotiertem Al₂O₃ verwendet.In this example a composite film (as e.g. in Journ. At the. Ceram. Soc. 73 [1990] 1, pp. 3476-3489) from doped Al₂O₃ used.
Für eine ausgewählte Verbindung von Keramikrohren untereinander oder mit einem beliebigen anderen Keramikteil (z. B. einer ebenen Platte) werden mittels eines geeigneten Werkzeugs Ringe aus der oben genannten Compositfolie ausgestanzt. Die Durchmesser dieser Grünfolienringe sollten 1 mm größer als der Durchmesser der Rohre sein, um das Schrumpfen der Folienringe im Fügeprozeß auszugleichen. Die Folienringe werden, wie bereits in den vorigen Beispielen beschrieben, zwischen den Fügeflächen sicher arretiert, zum Ausgasen von Binder und Lösungsmittel zunächst auf 350°C erhitzt und auf dieser Temperatur 2 Stunden gehalten (siehe 1. Phase in Fig. 1, Linie A-B′). Danach wird weiter erhitzt auf 1200°C und solange gehalten, bis die Folien fertig gesintert sind (Fig. 1, gestrichelte Linie B′-C-E′-F′). Ab einer Temperatur von ca. 800°C wird - wie bereits in den ersten beiden Beispielen beschrieben - ein Preßdruck von ca. 50 kPa senkrecht zu den Fügeflächen ausgeübt und oxidierende Atmosphäre zugegeben.For a selected connection of ceramic tubes to one another or to any other ceramic part (e.g. a flat plate), rings are punched out of the above-mentioned composite film using a suitable tool. The diameter of these green foil rings should be 1 mm larger than the diameter of the tubes in order to compensate for the shrinkage of the foil rings in the joining process. As already described in the previous examples, the foil rings are securely locked between the joining surfaces, are first heated to 350 ° C. for outgassing the binder and solvent and are kept at this temperature for 2 hours (see 1st phase in FIG. 1, line AB ′ ). Then it is further heated to 1200 ° C and held until the films are completely sintered ( Fig. 1, dashed line B'-CE'-F '). From a temperature of approx. 800 ° C - as already described in the first two examples - a pressure of approx. 50 kPa is exerted perpendicular to the joint surfaces and an oxidizing atmosphere is added.
In diesem Beispiel entfällt, wie die gestrichelte Linie in Fig. 1 deutlich macht, die zweite Phase des Temperatur-Zeit-Regimes, da die Bildung von Kristallisationskeimen infolge der Dotierung der Compositfolie nicht erforderlich ist. Damit liegt wiederum ein stoffschlüssiger, mechanisch fester und spannungsarmer Keramikverbund vor.In this example, as the dashed line in FIG. 1 clearly shows, the second phase of the temperature-time regime is omitted since the formation of nuclei due to the doping of the composite film is not necessary. This in turn results in a cohesive, mechanically strong and low-stress ceramic composite.
Claims (16)
- - die Fügeflächen lediglich auf Oberflächenunebenheit von weniger als 0,5 µm sowie eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 1 µm geschliffen werden,
- - als Folie eine grüne Keramikfolie, deren Wärmeausdehnungskoeffizient nicht mehr als 1·10-6/K von den Wärmeausdehnungskoeffizienten der Keramik körper abweicht, verwendet wird,
- - die Folie in einer ersten Phase eines Temperatur-Zeit-Regimes zum Ausgasen der Binder und Lösungsmittel mindestens unter einem solchen Preßdruck zwischen den Fügeflächen gehalten wird, der ein Verrutschen der Fügeflächen und der Folie zueinander verhindert, und
- - die Folie in einer zweiten und dritten Phase des Temperatur-Zeit-Regimes unter einem Preßdruck von mindestens 50 kPa zur Kristallisation gebracht wird, wobei der Preßdruck unterhalb des von den Fügekörpern maximal aufnehmbaren Preßdrucks bleiben muß.
- - the joining surfaces are only ground to an unevenness of less than 0.5 µm and a surface roughness of less than 1 µm,
- a green ceramic film is used as the film, the coefficient of thermal expansion of which does not deviate from the coefficient of thermal expansion of the ceramic body by more than 1 · 10 -6 / K,
- - The film is held in a first phase of a temperature-time regime for outgassing the binders and solvents at least under such a pressure between the joining surfaces that prevents the joining surfaces and the film from slipping relative to one another, and
- - The film is brought to crystallization in a second and third phase of the temperature-time regime under a pressure of at least 50 kPa, the pressure must remain below the maximum pressure that can be absorbed by the joining bodies.
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998006565A1 (en) * | 1996-08-13 | 1998-02-19 | Northrop Grumman Corporation | Stress-free bonding of dissimilar materials |
DE19814018A1 (en) * | 1998-03-28 | 1999-09-30 | Andreas Roosen | Ceramic-polymer, ceramic-ceramic or ceramic-metal composite, e.g. a piezoceramic-polymer composite for an ultrasonic transducer |
DE10203024A1 (en) * | 2002-01-26 | 2003-08-14 | Bosch Gmbh Robert | Ceramic substrate with defined curvature used to make pressure sensor |
WO2006081957A1 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Composite ceramic hollow fibres, method for production and use thereof |
WO2006081959A1 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Uhde Gmbh | Composite ceramic hollow fibres method for production and use thereof |
DE102008040260A1 (en) | 2007-07-13 | 2009-01-15 | Frauenhofer-Gesellschaft | Diffusion-bonded ceramic component and method for its production |
WO2011023371A2 (en) | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Uhde Gmbh | Method for potting ceramic capillary membranes |
FR2976939A1 (en) * | 2011-06-27 | 2012-12-28 | Air Liquide | Assembling first and second ceramic components made of elemental chemical composition comprises producing ceramic components, and sintering ceramic components at first temperature to eliminate organic additives present in components |
-
1994
- 1994-07-16 DE DE19944425209 patent/DE4425209A1/en not_active Withdrawn
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998006565A1 (en) * | 1996-08-13 | 1998-02-19 | Northrop Grumman Corporation | Stress-free bonding of dissimilar materials |
US5769986A (en) * | 1996-08-13 | 1998-06-23 | Northrop Grumman Corporation | Stress-free bonding of dissimilar materials |
US6315850B1 (en) | 1996-08-13 | 2001-11-13 | Northrop Grumman Corporation | Bonded structure of different materials which is substantially stress-free |
DE19814018A1 (en) * | 1998-03-28 | 1999-09-30 | Andreas Roosen | Ceramic-polymer, ceramic-ceramic or ceramic-metal composite, e.g. a piezoceramic-polymer composite for an ultrasonic transducer |
DE10203024A1 (en) * | 2002-01-26 | 2003-08-14 | Bosch Gmbh Robert | Ceramic substrate with defined curvature used to make pressure sensor |
DE10203024B4 (en) * | 2002-01-26 | 2009-11-26 | Robert Bosch Gmbh | Process for the preparation of a ceramic substrate |
WO2006081959A1 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Uhde Gmbh | Composite ceramic hollow fibres method for production and use thereof |
WO2006081957A1 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Composite ceramic hollow fibres, method for production and use thereof |
US7866486B2 (en) | 2005-02-04 | 2011-01-11 | Uhde Gmbh | Composite ceramic hollow fibres method for production and use thereof |
CN101115695B (en) * | 2005-02-04 | 2011-09-14 | 犹德有限公司 | Composite ceramic hollow fibres, method for production and use thereof |
DE102008040260A1 (en) | 2007-07-13 | 2009-01-15 | Frauenhofer-Gesellschaft | Diffusion-bonded ceramic component and method for its production |
WO2011023371A2 (en) | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Uhde Gmbh | Method for potting ceramic capillary membranes |
DE102009038814A1 (en) | 2009-08-31 | 2011-03-10 | Uhde Gmbh | Process for potting ceramic capillary membranes |
US8840711B2 (en) | 2009-08-31 | 2014-09-23 | Thyssenkrupp Uhde Gmbh | Method for potting ceramic capillary membranes |
FR2976939A1 (en) * | 2011-06-27 | 2012-12-28 | Air Liquide | Assembling first and second ceramic components made of elemental chemical composition comprises producing ceramic components, and sintering ceramic components at first temperature to eliminate organic additives present in components |
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