DE4413127C1 - Verfahren zur Herstellung poröser, durchströmbarer Formkörper aus Siliciumcarbid und Formkörper - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Her­ stellung poröser, durchströmbarer Formkörper aus Sili­ ciumcarbid, bei dem aus Granulat einer Kornfraktion aus dem Korngrößenbereich von 0,2-10 mm oder aus Misch­ pulver, bei deren Bildung als Ausgangsstoffe außer einem verkokbaren organischen Binder noch Silicium, Kohlenstoff und/oder α-Siliciumcarbid eingesetzt werden, ein Grünkörper geformt wird, der in einer Inertgasatmosphäre oder im Vakuum durch Aufheizen auf eine Temperatur im Bereich von 600-1000°C verkokt wird und bei dem der nach dem Verkokungsprozeß entstan­ dene Formkörper auf eine Temperatur von 1600-2000°C aufgeheizt wird, wobei sich das Silicium mit Kohlenstoff zu β-Siliciumcarbid umsetzt. Sie bezieht sich ferner auf einen durchströmbaren Formkörper aus Siliciumcarbid, elektrisch aufheizbar über elektrische Kontakte, mit einer Porosität von 35-75%.

Damit ein keramisches Bauteil bei einer vorgegebenen Betriebsspannung und Betriebstemperatur als Wider­ standsheizelement eingesetzt werden kann, muß entweder sein elektrischer Gesamtwiderstand seiner geometrischen Gestalt entsprechend eingestellt werden oder diese un­ ter Berücksichtigung des spezifischen elektrischen Wi­ derstandes des Werkstoffes ausgelegt werden.

Handelt es sich beispielsweise um einen hochporösen SiC-Werkstoff wie im Falle eines Durchflußheizelementes (DFH) oder Dieselrußfilters, muß das Bauteil aufgrund der geringen Festigkeit des Werkstoffes eine relativ starke Wanddicke aufweisen, damit das Bauteil sowohl bei der Handhabung als auch bei dem Einsatz mechanisch hinreichend stabil ist. Aus der DE-OS 41 30 630 ist ein solches Dieselrußfilter bekannt.

Derartige Bauteile erfordern, da sie einen einheitli­ chen spezifischen elektrischen Widerstand aufweisen und da die gesamte Masse des Bauteils aufgeheizt werden muß, einen hohen Energie- und Zeitaufwand zur Errei­ chung der Betriebstemperatur. Für die Anwendung eines solchen rohrförmigen Bauelementes als Dieselrußfilter mit periodischer Regeneration wirkt diese Tatsache be­ sonders nachteilig, weil einerseits die vom Ruß belegte äußere Oberfläche des Filters bei der Regeneration we­ gen der Kühlwirkung des einströmenden Motorabgases nur langsam die Zündtemperatur des abgeschiedenen Rußes er­ reicht und zum anderen das abfiltrierte Abgas unnötig überheizt, da die Innentemperatur des Filters weit hö­ her liegt. Eine Umkehrung dieses Temperaturprofils würde also diese Nachteile deutlich verringern.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zu schaffen, das die Herstellung von Bauteilen der ein­ gangs bezeichneten Art ermöglicht, die mehr oder weni­ ger scharf begrenzte Teilbereiche, Schichten oder Zonen aufweisen, deren Anordnung im Bauteil dessen Tempera­ turprofil beim Stromdurchgang bestimmen. Die Bereiche sollen dabei je nach Vorgabe - unabhängig von deren Po­ rosität - einen niedrigeren oder höheren spezifischen Widerstand aufweisen.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die Ver­ fahrensmaßnahmen gemäß Anspruch 1 gelöst.

Teilbereiche oder Schichten mit unterschiedlichem spe­ zifischen elektrischen Widerstand können alleine da­ durch gebildet werden, daß - ohne daß Dotierungsstoffe eingesetzt werden - unterschiedliche Mischpulver oder Granulate für die einzelnen Teilbereiche eingesetzt werden. So erhält man beispielsweise einen Teilbereich mit relativ hohem elektrischen Widerstand, wenn ein Mischpulver aus wenig Binder, zu diesem in stöchiome­ trischem Verhältnis Silicium und möglichst viel α-Sili­ ciumcarbid eingesetzt wird. Je nach dem zu erzielenden spezifischen elektrischen Widerstand geht man somit von dem hierfür geeigneten Ausgangspulver oder Granulat aus.

Eine zusätzliche Möglichkeit der Ausbildung von im Hin­ blick auf die elektrischen Eigenschaften unterschiedli­ chen Bereichen bzw. Schichten erhält man durch den Ein­ satz der Dotierungsstoffe. Die Wirkung der Dotierungs­ stoffe im Hinblick auf die gewünschten elektrischen Eigenschaften ist dabei grundsätzlich an das Entstehen von α-Siliciumcarbid gebunden.

Die Dotierungsstoffe werden den Ausgangsstoffen für die Mischpulver bzw. Granulate in geeigneter Menge zuge­ mischt. Als Dotierungsstoffe können sowohl Elektronen­ donatoren wie Antimon Phosphor und Zinn als auch Elektronenrezeptoren wie Aluminium, Beryllium sowie Bor elementar oder chemisch gebunden, eingesetzt werden. Die Teilbereiche der Formkörper aus diesen so vordo­ tierten Materialien weisen nach der thermischen Behand­ lung, ihrer Dotierungsart entsprechend, der Art und Menge der Additive und - wie oben erwähnt - abhängig von den Ausgangsstoffen, unterschiedliche spezifische elektrische Widerstände auf.

Soll ein relativ geringer spezifischer elektrischer Wi­ derstand erzielt werden, dann ist in dem für den ent­ sprechenden Teilbereich vorgesehenen Mischpulver und/oder Granulat weniger als 70% α-Siliciumcarbid einzusetzen. In diesem Fall empfiehlt sich außerdem, daß die Aufheizung des nach dem Verkokungsprozeß ent­ standenen Vorkörpers unter Stickstoff und/oder stick­ stoffhaltiger Atmosphäre erfolgt.

Wird die Silicierung unter Argon durchgeführt, so wer­ den bei Materialien, die mit Beryllium, Bor und Alumi­ nium dotiert wurden, hohe Widerstandswerte bei Raumtem­ peratur (< 10³ Ohm×cm) erzielt, während z. B. der Wi­ derstandswert von Sb-dotiertem Material unter 10 Ohm×cm liegt. Wird dagegen die Silicierung unter Stickstoff oder stickstoffhaltigem Argon durchgeführt, findet eine zusätzliche N-Dotierung des Materials statt, wodurch die oben genannten Widerstandswerte bis zu einigen 10er-Potenzen herabgesetzt werden können.

Dabei ist von Vorteil, wenn zur Bildung einer Schicht und/oder eines Bereiches mit möglichst guter elektri­ scher Leitfähigkeit der Stickstoffanteil in der Sinter­ atmosphäre wenigstens 20% beträgt.

Um einen Formkörper zu erhalten, der als Filter einge­ setzt werden soll, empfiehlt es sich, bei der Herstel­ lung des Mischpulvers oder Granulats nach einer aus der DE-OS 41 30 630 bekannten Verfahrensweise vorzugehen. Bei Anwendung dieser Verfahrensweise werden die Füller­ körner mit dem Binder umhüllt und dabei ein sog. CM-Ma­ terial (CM = Coat Mix) erhalten:

Zur Herstellung des Mischpulvers wird zunächst aus einer Flüssigkeit, z. B. Alkohol, dem Binder, der in der Flüssigkeit ganz oder zum Teil lösbar ist, und den wei­ teren Komponenten des Mischpulvers eine Suspension ge­ bildet. Diese wird sodann in eine andere Flüssigkeit, mit der das Lösungsmittel mischbar, in der der Binder jedoch nicht oder nur schwer löslich ist, eingegeben, worauf sich die mit dem Binder überzogenen Körner als schlammige Masse absetzen. Die Körner werden durch Dekantieren von der überstehenden Flüssigkeit befreit und anschließend getrocknet.

Zu empfehlen ist, die Aufschlämmung in einer Mischkam­ mer mittels einer Mischdüse in die Abscheideflüssigkeit einzuspritzen, so daß die Körner mit dem Bindemittel gleichmäßig überzogen werden.

Der Anteil des Binders in dem verwendeten Schlamm sollte 5 bis 30 Gew% der trockenen Einwaage betragen.

Für die Mischpulver werden Ausgangspulver mit Korn­ größen im Bereich von 0,5-50 µm verwendet. Beim Mischvorgang agglomerieren diese bis zu 200 µm.

Unterschiedlich vordotierte Mischpulver oder Granulate können schicht- oder zonenweise zu einem Formkörper verarbeitet werden, der nach der Silicierung Schichten bzw. Zonen mit unterschiedlichen Widerstandswerten auf­ weist. Bei Anlegen einer elektrischen Spannung können somit gezielt Temperaturfelder innerhalb eines derarti­ gen Formkörpers erzeugt werden.

Zur Bildung eines Formkörpers mit einer wenigstens teilweise diesen bedeckenden Oberflächenschicht wird die Oberflächenschicht durch Aufsprühen einer dafür vorgesehenen Mischpulveraufschlämmung auf den Grünkör­ per gebildet.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird somit durch einen durchströmbaren Formkörper der eingangs be­ zeichneten Art gelöst, der gekennzeichnet ist durch Schichten und/oder Teilbereiche mit unterschiedlichem spezifischen elektrischen Widerstand, die sich durch Dotierungselemente, insbesondere deren Art und Menge, unterscheiden. Diese Schichten können zudem unter­ schiedliche Porositäten aufweisen.

Soll eine Schicht beispielsweise im Niederspannungsbe­ reich auf eine Betriebstemperatur von 700°C erhitzt werden, so sind - bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens - Geometrie (Dicke und Länge der Schicht) und der spezifische elektrische Widerstand entsprechend zu wählen.

Für den Fall, daß der durchströmbare Körper als Filter­ element, beispielsweise als Dieselrußfilter, zum Ein­ satz kommen soll und über die elektrischen Kontakte re­ generiert werden soll, ist insbesondere ein durchström­ barer Körper geeignet, der eine Oberflächenschicht auf­ weist, die gegenüber dem von der Oberflächenschicht be­ deckten Teil des Körpers eine höhere spezifische elek­ trische Leitfähigkeit aufweist.

Der spezifische elektrische Widerstand der Oberflächen­ schicht dieses Filterkörpers beträgt 10^-2 bis zu 10 Ohm×cm.

Ist der durchströmbare Körper rohrförmig, so kann er beispielsweise als Dieselrußfilter in der Art einge­ setzt werden, daß er von außen mit dem die Rußpartikel mitführenden Abgas eines Dieselmotors beaufschlagt wird. Diese Partikel dringen bei entsprechend gewählter Porosität nur etwa 0,5-2 mm in die Oberfläche des Filterkörpers ein. Zur Regeneration des Filters, d. h. zur Verbrennung der vom Filterkörper aufgefangenen Ruß­ partikel, genügt es daher, nur eine dieser Dicke ent­ sprechende Oberflächenschicht auf zuheizen. Die Dicke der Oberflächenschicht und deren spezifischer elektri­ scher Widerstand wird daher so gewählt, daß gerade der Bereich des Filters, in den die Rußpartikel eindringen, erhitzt werden kann. Mit anderen Worten: Die Oberflä­ chenschicht hat eine Dicke von maximal 2 mm.

Die Dicke der Oberflächenschicht kann gering gehalten werden, wenn die Oberflächenschicht zugleich feinporig ist, so daß die Rußpartikel in ihr aufgehalten werden. Um eine hohe Gasdurchlässigkeit des Filters zu erhal­ ten, wird der Teilbereich des Filters, der von der Oberflächenschicht bedeckt ist, grobporig gewählt.

Eine zweckmäßige Weiterausgestaltung des durchströmba­ ren Formkörpers als Dieselrußfilter besteht darin, daß die Wandung des Körpers an beiden Enden im Bereich der zur elektrischen Aufheizbarkeit angebrachten elektri­ schen Kontakte eine gegenüber wenigstens einem zwischen den Kontakten liegenden, durchgehenden Teilbereich eine höhere spezifische elektrische Leitfähigkeit aufweist. Eine unerwünschte Erhitzung der Enden des Körpers wäh­ rend der Regenerationsphase (beim Stromfluß) wird da­ durch vermieden. Vielmehr wird lediglich die dünne Oberflächenschicht auf die zur Verbrennung der Rußpar­ tikel erforderliche Temperatur erhitzt.

In der Zeichnung sind Formkörper dargestellt, die im Zusammenhang mit den nachstehend beschriebenen Ausfüh­ rungsbeispielen näher erläutert werden. Es sind ferner Versuchsdiagramme wiedergegeben, die ebenfalls nachste­ hend erläutert werden.

Es zeigen:

Fig. 1 Formkörper mit einem zwischen zwei nicht vordotierten Bereichen liegenden do­ tierten Bereich;

Fig. 2 Formkörper mit planarer Anordnung der Teilbereiche;

Fig. 3 Längs schnitt durch ein rohrförmiges Fil­ terelement;

Fig. 4 Diagramm: spezifischer ohmscher Wider­ stand von Formkörpern bzw. Formkörper­ teilbereichen in Abhängigkeit von unter­ schiedlichen Dotierungen;

Fig. 5 Diagramm: spezifischer ohmscher Wider­ stand von Formkörpern bzw. Formkörper­ teilbereichen in Abhängigkeit vom Stick­ stoffgehalt der Sinteratmosphäre.

Ausführungsbeispiel 1

Herstellung eines Formkörpers mit einem zwischen zwei nichtdotierten Bereichen liegenden dotierten Teilbe­ reich gemäß Fig. 1.

Zur Herstellung des nur mit Stickstoff zu dotierenden Granulates wurden 200 g Novolak-Harz in 1 l Ethanol ge­ löst und durch Zugabe von 397 g Si und 70 g Elektrogra­ phit (Partikeldurchmesser der eingesetzten Füllermate­ rialien zwischen 0,5 mm und 50 µm) eine Aufschlämmung hergestellt, die gemäß dem oben genannten Coat-Mix- Verfahren (DE-OS 41 30 630) mit Wasser verdüst wurde, wobei sich das im Wasser unlösliche Binderharz auf den Füllerpartikeln abschied. Durch Filtration wurde das so beschichtete Pulver von der Flüssigkeit abgetrennt, mit einem Taumelmischer agglomeriert und getrocknet. Die Fraktion der Agglomerate mit einem Korndurchmesser von 0,5-1 mm wurde durch Sieben abgetrennt.

Ein weiteres Granulat wurde wie oben beschrieben herge­ stellt, jedoch wurden dem Füllergemisch zusätzlich 10,7 g Aluminiumoxid als Vordotierungsmittel zugesetzt.

Zur Grünkörperherstellung wurde in einer Matrize einer Grundfläche von 15×70 mm ein etwa 12 mm breiter Be­ reich durch Folie abgetrennt. Außen wurde Material ohne Vordotierungen und innen das Aluminiumoxid-haltige Gra­ nulat eingefüllt. Fig. 1 verdeutlicht dies anhand einer Skizze.

Nach Entfernen der Folien wurde durch Gesenkpressen bei 130°C ein Grünkörper hergestellt.

Dieser Grünling wurde durch Erhitzen unter Argon auf 850°C verkokt, wobei unter Gewichtsverlust und Dimen­ sionsänderungen die Binderharzphase in Kohlenstoff überführt wurde.

Anschließend wurde der Körper unter Stickstoff gemäß DE-OS 41 30 630 in einem widerstandsbeheizten Ofen auf 1900°C aufgeheizt wobei die Anteile an freiem Kohlen­ stoff und freiem Silicium zu Siliciumcarbid umgesetzt wurden, ohne daß der Körper weitere Dimensionsänderun­ gen erfuhr.

Der elektrische Widerstand der einzelnen Zonen des Kör­ pers konnte nach der Vierpunktmethode bestimmt werden. An beiden Enden betrug er 0,007 Ωcm; die mit Al vordo­ tierte Phase in der Körpermitte wies einen spezifischen elektrischen Widerstand von 0,014 Ωcm auf.

Ausführungsbeispiel 2

Herstellung eines Formkörpers mit planarer Anordnung der Teilbereiche gemäß Fig. 2.

Gemäß Ausführungsbeispiel 1 wurden zwei Granulate her­ gestellt, wobei dem einen Ausgangs-Füllergemisch als Vordotierungsmittel 6,6 g Antimon und dem anderen 7,2 g Borcarbid zugesetzt wurden.

Weiterverwendet wurden die Granulatfraktionen 0,2-0,4 mm im Falle des Sb-vordotierten Materials, beim Bor-vordotierten Material wurde die Fraktion 1,0-1,6 mm eingesetzt.

Aus diesen Granulaten wurde mit Hilfe einer Formmatrize gemäß DE 39 25 844 C2 ein Körper hergestellt (Grundfläche der Matrize 15×70 mm²), der aus einer 2 mm dicken Schicht des mit Antimon vordotierten Granu­ lats und einer etwa 8 mm starken Schicht des Materials mit Bor-Vordotierung bestand. Der Testkörper wurde wie in Ausführungsbeispiel 1 beschrieben verkokt und bei 1900°C unter N₂ siliciert. Eine Skizze dieses Körpers ist in Fig. 2 wiedergegeben.

Die Länge des silicierten Körpers betrug nach Abnahme eines schmalen Streifens 65,3 mm, die Breite 12,9 mm und die Höhe 9,7 mm. Die Höhe der Sb-dotierten Schicht betrug 2 mm. Der Gesamtwiderstand des Körpers wurde mit R = 0,182 Q bestimmt.

Zur Ermittlung des Widerstandes der einzelnen Schichten wurde vom schmalen Streifen der Sb-dotierte Teil abge­ trennt. Der spezifische Widerstand des mit Bor dotier­ ten Materials konnte nach der Vierpunktmethode mit ϕ= 0,209 Ωcm bestimmt werden. Auf den Gesamtkörper be­ zogen ergibt sich daraus ein Widerstand von 1,378 Ω. Somit konnte der spezifische Widerstand der Sb-vordo­ tierten Schicht rechnerisch mit 0,0083 Ωcm bestimmt werden.

Ausführungsbeispiel 3

Herstellung eines Formkörpers mit planarer Anordnung der Teilbereiche gemäß Fig. 2.

Gemäß Ausführungsbeispiel 1 wurde nach dem Coat-Mix- Verfahren aus 200 g Novolak-Harz, 234 g Silicium und 232 g Siliciumcarbid unter Zugabe von 7,2 g Borcarbid als Vordotierungsmittel ein Ausgangspulver hergestellt, das ebenfalls granuliert wurde. Aus der Granulatfrak­ tion 1,0-1,6 mm dieses Materials wurde zusammen mit dem im Ausführungsbeispiel 2 verwendeten Sb-vordotier­ tem Granulat eine planare Materialkombination gemäß Ausführungsbeispiel 2 hergestellt, verkokt und unter N₂-Atmosphäre siliciert.

Die spezifischen elektrischen Widerstände wurden für die mit Bor vordotierte Schicht mit 0,0083 Ωcm be­ stimmt.

Ausführungsbeispiel 4

Herstellung eines Filterelementes gemäß Fig. 3.

Die im Ausführungsbeispiel 3 verwendeten Granulate wur­ den zu einem rohrförmigen Dieselrußfilter verarbeitet, verkokt und unter Stickstoff-Atmosphäre siliciert.

Die 1 mm starke "Glüh- und Filterschicht" sowie die Rohrenden aus Sb-vordotiertem Material wiesen einen spezifischen elektrischen Widerstand von 0,0083 Ωcm, die 5 mm starke Bor-vordotierte, α-SiC-haltige "Stützschicht" einen solchen von 0,520 Ωcm auf.

Versuchsergebnisse gemäß Fig. 4

In dem hier wiedergegebenen Diagramm ist der spezifi­ sche ohmsche Widerstand unterschiedlich dotierter, fer­ tiggestellter Formkörper bzw. Formkörperteile bei un­ terschiedlichen Betriebstemperaturen wiedergegeben.

Es handelt sich um Formkörper, die nach ihrer Herstel­ lung nicht mehr als 30% α-Siliciumcarbid enthielten.

Im Diagramm ist an der jeweiligen Kurve das Dotierungs­ element angegeben. Die Dotierung betrug jeweils 1 Gew%.

Aus dem Diagramm ist zu ersehen, daß eine Dotierung mit Bor oder Aluminium zu einem höheren Widerstand führt, als sie ein nichtdotierter Formkörper aufweist.

Eine Dotierung mit Antimon führt zu einem geringeren spezifischen elektrischen Widerstand.

Eine weitere Erniedrigung des spezifischen elektrischen Widerstandes wurde bei Formkörpern erzielt, die in stickstoffhaltiger Atmosphäre gesintert worden waren. Die Dotierung mit oben genannten Elementen gibt dabei die Möglichkeit, unterschiedliche spezifische elektri­ sche Widerstände einzustellen. Der niedrigste spezifi­ sche elektrische Widerstand wurde bei einem Formkörper erzielt, dessen Ausgangsstoff mit Antimon dotiert war und der in Stickstoffatmosphäre gesintert worden war.

Versuchsergebnisse gemäß Fig. 5

Aus dem Diagramm geht hervor, daß ein Stickstoffgehalt von ca. 20% in der Sinteratmosphäre genügt, um einen möglichst niedrigen spezifischen ohmschen Widerstand zu erhalten. Geringere Gehalte von Stickstoff in der Sin­ teratmosphäre ergeben die Möglichkeit, höhere spezifi­ sche ohmsche Widerstände einzustellen.

Die bei der Untersuchung eingesetzten Formkörper hatten nach ihrer Herstellung einen α-Siliciumcarbid-Gehalt von nicht mehr als 30%.

Claims (15)

1. Verfahren zur Herstellung poröser, durchströmba­ rer Formkörper aus Siliciumcarbid, bei dem aus Granulat einer Kornfraktion aus dem Korngrößenbe­ reich von 0,2-10 mm oder aus Mischpulver, bei deren Bildung als Ausgangsstoffe außer einem ver­ kokbaren organischen Binder noch Silicium, Kohlenstoff und/oder α-Siliciumcarbid eingesetzt werden, ein Grünkörper geformt wird, der in einer Inertgasatmosphäre oder im Vakuum durch Aufheizen auf eine Temperatur im Bereich von 600-1000°C verkokt wird und bei dem der nach dem Verkokungsprozeß entstandene Formkörper auf eine Temperatur von 1600-2000°C aufgeheizt wird, wobei sich das Silicium mit Kohlenstoff zu α-Siliciumcarbid umsetzt, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzielung eines aus Schichten und/oder Teilbereichen unterschiedlicher spezifischer elektrischer Leitfähigkeit bestehenden Formkörpers bei der Formung des Grünkörpers für entsprechende Schichten und/oder Bereiche Mischpulver und/oder Granulate verwendet werden, die aus dem verkokbaren organischen Binder und zusätzlich wahlweise aus Silicium oder Silicium und Kohlenstoff oder Silicium und Kohlenstoff und α-Siliciumcarbid oder nur α-Siliciumcarbid zur Erzielung der angestrebten elektrischen Leit­ fähigkeit gebildet worden sind.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die verwendeten Mischpulver und/oder Granu­ late zusätzlich mit Dotierungsstoffen zur Erzie­ lung der angestrebten elektrischen Leitfähigkeit gebildet worden sind.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Dotierungsstoffe Elektronendonatoren, wie Antimon, Phosphor und Zinn, eingesetzt werden.

4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Dotierungsstoffe Elektronenrezeptoren, wie Aluminium, Beryllium und Bor, eingesetzt wer­ den.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Mischpulver oder Granulat weniger als 70% α-Siliciumcarbid eingesetzt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufheizung des nach dem Verkokungsprozeß entstandenen Vorkörpers unter Stickstoff oder stickstoffhaltiger Atmosphäre erfolgt.

7. Verfahren nach Anspruch 6, gekennzeichnet , daß zur Bildung einer Schicht und/oder eines Be­ reiches mit möglichst guter elektrischer Leitfä­ higkeit der Stickstoffanteil in der Sinterat­ mosphäre wenigstens 20% beträgt.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildung eines Formkörpers mit einer we­ nigstens teilweise diesen bedeckenden Oberflä­ chenschicht die Oberflächenschicht durch Aufsprü­ hen einer dafür vorgesehenen Mischpulver- oder Granulat-Aufschlämmung auf den Grünkörper gebil­ det wird.

9. Durchströmbarer Körper aus Siliciumcarbid, elek­ trisch aufheizbar und regenierbar über elektri­ sche Kontakte, mit einer Porosität von 35-75%, gekennzeichnet durch Schichten und/oder Teilbereiche mit unterschied­ lichem spezifischen elektrischen Widerstand, die sich durch Dotierungselemente, insbesondere deren Art und Menge, unterscheiden.

10. Durchströmbarer Körper nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß Schichten und/oder Teilbereiche unterschied­ liche Porosität aufweisen.

11. Durchströmbarer Körper nach Anspruch 9 oder 10, gekennzeichnet durch eine Oberflächenschicht, die gegenüber dem von der Oberflächenschicht bedeckten Teil des Körpers eine höhere spezifische elektrische Leitfähigkeit aufweist.

12. Durchströmbarer Körper nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der spezifische elektrische Widerstand der Oberflächenschicht 10^-2 bis zu 10 Ohm×cm be­ trägt.

13. Durchströmbarer Körper nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächenschicht feinporig, der darun­ terliegende Teilbereich des Formkörpers grobporig ist.

14. Durchströmbarer Körper nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper rohrförmig ist.

15. Durchströmbarer Körper nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandung des Körpers an beiden Enden im Bereich der zur elektrischen Aufheizbarkeit ange­ brachten elektrischen Kontakte eine gegenüber we­ nigstens einem zwischen den Kontakten liegenden, durchgehenden Teilbereich eine höhere spezifische elektrische Leitfähigkeit aufweist.