DE4408270A1 - Exothermisches Widerstandselement und Wärmeprozeßluftstrommesser, der das Element benutzt - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf exothermische Widerstands­ elemente, und auf einen Wärmeprozeßluftstrommesser des Typs, der zum Messen vorwärts- und rückwärtsgerichteter Luftströme in Verbrennungs­ maschinen und dergleichen, verwendet wird.

Geräte zum Messen der Luftströmung in Wärmeprozessen werden wegen ihrer Vorteile, wie etwa kompakte Größe, rasches Ansprechverhalten, etc. für elektronisch gesteuerte Kraftstoffeinspritzsysteme für Verbrennungs­ maschinen verwendet. Solche Luftstrommesser sind beispielsweise in den offengelegten japanischen Patentanmeldungen Nr. 265118/1988 und Nr. 185416/1989 sowie im US-Patent Nr. 5,086,650 offenbart.

Bei herkömmlichen exothermischen Widerstandselementen sind an beiden Enden, dem rechten und dem linken Ende, Elektrodenklemmen vor­ gesehen, wobei die Anzahl der Klemmen in einigen Fällen vier und in anderen Fällen drei ist. Wenn drei Elektrodenklemmen vorgesehen sind, sind sie an einander entgegengesetzten Wänden eines Ansaugdurchgangs­ weges angeordnet, was den Anschluß des exothermischen Widerstands­ elementes an die elektrische Schaltung kompliziert. Solche Elemente besetzten zum Befestigen auch übermäßig viel Platz.

Darüber hinaus ist bei herkömmlichen Wärmeprozeßluftstrommessern im Falle, daß der erste und zweite exothermische Widerstand parallel zur Richtung des Luftstromes auf der gleichen Oberfläche eines Substrats angeordnet sind, der Unterschied ihrer jeweiligen Wärmeübertragung gering. Wenn sie relativ zueinander geneigt sind, wird der Unterschied der Wärmeübertragung durch Turbulenz weniger beeinflußt, doch ist es unmöglich, einen signifikanten Unterschied zwischen der Größe der abgestrahlten Wärme zu erzeugen. Die Folge ist, daß die thermische Ansprechreaktion langsamer erfolgt, wenn sich der Luftstrom umkehrt, was es schwierig macht, die Richtung des Luftstroms genau zu erfassen. Dieses Problem ist bisher ungelöst geblieben.

Das US-Patent Nr. 5,086,650 offenbart einen Luftstromdetektor, bei dem das Substrat relativ zur Luftstromrichtung geneigt ist, wobei die bidirek­ tionale Messung durch Plazieren eines ersten exothermischen Luftstromde­ tektors zum Messen des Luftstromes in einer Vorwärtsrichtung auf einer Seite des Substrates, und ein zweiter (identischer) exothermischer Luft­ strommesser zum Messen des umgekehrten Luftstromes auf der anderen Seite erreicht wird. Jeder der betreffenden Detektoren besitzt ein Heizelement, das neben den Wärmedetektoren angeordnet ist, wobei der Luftstrom durch Pulsen des Heizers und Messen der Phasenverschiebung im Ausgangssignal eines stromabwärts angeordneten Detektors gemessen wird. Diese Anordnung erzielt zwar eine bidirektionale Luftstromerfas­ sung, erfordert aber sowohl eine komplexe Konfiguration des Heizers und der Sensoren, als auch einen komplexen Schaltungsaufbau.

Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in der Schaffung eines Wärmeprozeßluftstrommessers, der einen signifikanten Unterschied zwi­ schen der von den exothermischen Widerstandselementen abgestrahlten Wärme erzeugt, der für den leichteren Anschluß an die elektrische Schaltung vereinfacht ist, und der die Richtung des Luftstromes exakt erfassen und messen kann.

Diese und weitere Ziele und Vorteile werden durch das exothermische Widerstandselement gemäß der Erfindung erreicht, bei dem erste, zweite und dritte Elektrodenklemmen auf der gleichen Oberfläche an einem Ende eines Substrats angeordnet sind, das beispielsweise aus Aluminium­ oxid hergestellt sein kann. Ein erster exothermischer Widerstand ist zwischen die erste und die zweite Klemme geschaltet, und ein zweiter exothermischer Widerstand ist zwischen die zweite und die dritte Klemme geschaltet, wobei sich der erste exothermische Widerstand auf einer vorderen Oberfläche des Substrats, und der zweite exothermische Wider­ stand auf der entgegengesetzten (rückwärtigen) Oberfläche befindet. Löcher, die das Substrat durchdringen, sind zum Zwecke des elektrischen Anschlusses zwischen der zweiten und der dritten Klemme und den jeweiligen Enden des zweiten exothermischen Widerstandes angebracht.

Das Substrat kann auch die Halbleiterelemente einer elektronischen Schaltung tragen, die zum Analysieren der von den Klemmen gelieferten elektrischen Signale benutzt werden. Die Halbleiterelemente können in Form von integrierten Schaltkreisen in einen Halbleiterchip eingebaut sein.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform des Luftstrommessers gemäß der Erfindung ist ein Substrat mit exothermischen Widerständen an einander entgegengesetzten Seiten schräg zur Richtung des unbehinderten Luft­ stroms im Luftdurchgangsweg montiert. Auf diese Weise wird über dem Widerstand auf der einen Seite ein Luftstrom kanalisiert, während der Widerstand auf der anderen Seite wirksam vom Luftstrom abgeschirmt wird, je nach der Richtung der Luftbewegung. (Der erste und der zweite Widerstand können auch auf getrennten Substraten befestigt werden, die auf diese Weise schräg gestellt sind.) Wenn sich die Luft­ stromrichtung ändert besteht also ein signifikanter Unterschied zwischen der Wärmeübertragung des ersten und des zweiten Widerstandes, und zwar aufgrund der Unterschiede in der Dicke der Temperaturgrenzschich­ ten an ihren jeweiligen Oberflächen. Infolgedessen kann ein Unterschied zwischen der vom ersten und vom zweiten Widerstand abgestrahlten Wärme erfaßt werden, so daß es möglich ist, die Ansprechzeit zu verbes­ sern, wenn der Luftstrom umgekehrt wird, so daß die Luftstromrichtung exakt erfaßt und gemessen werden kann.

Bei der oben erwähnten Konfiguration kann sowohl die Anzahl der Anschlüsse an den Klemmen als auch die Größe des Substrats verringert werden. Weiter kann das Substrat direkt an die elektrische Schaltung an einem Ende angeschlossen werden, was die Gesamtstruktur vereinfacht und einen bequemeren Anschluß der exothermischen Widerstände er­ möglicht.

Andere Ziele, Vorteile und neue Merkmale der vorliegenden Erfindung gehen aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen hervor.

Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform des exothermischen Wider­ standselementes gemäß der Erfindung;

Fig. 2(a) ist eine Draufsicht auf ein exothermisches Widerstandsele­ mente einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 2(b) ist eine Seitenansicht des exothermischen Widerstandsele­ mentes der Fig. 2(a);

Fig. 3(a) ist eine Draufsicht auf das exothermische Widerstandsele­ ment in einer dritten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 3(b) ist eine Querschnittsseitenansicht des exothermischen Wider­ standes der Fig. 3(a) entlang der Linie in III(b)-III(b) der Fig. 3(a);

Fig. 4 ist eine Draufsicht auf die Montagestruktur gemäß der Erfindung;

Fig. 5 ist eine teilweise, waagerechte Querschnittsansicht der Mon­ tagestruktur der Fig. 4 entlang der Linie V-V der Fig. 4;

Fig. 6 zeigt einen Teil der bei der Erfindung verwendeten elek­ trischen Schaltung;

Fig. 7a und 7b sind partielle Vergrößerungen der zusätzlichen Ausführungs­ formen des exothermischen Widerstandselementes gemäß der Erfindung;

Fig. 8a und 8b enthalten eine graphische Darstellung der Berechnungsergeb­ nisse für die Wärmeübertragung auf einer, in einem gleich­ mäßigen Luftstrom angeordneten flachen Platte; und

Fig. 9 ist eine Draufsicht auf das exothermische Widerstandsele­ ment in einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform des exothermischen Widerstands­ elementes gemäß der Erfindung, das eine erste, zweite und dritte Klem­ me 14, 15 und 16 aufweist. Ein erster exothermischer Widerstand 6a ist zwischen die erste und die zweite Klemme 14 und 15 geschaltet, wäh­ rend ein zweiter exothermischer Widerstand 6b zwischen die zweite und die dritte Klemme 15 und 16 geschaltet ist. Die Klemmen 14, 15, 16 und die exothermischen Widerstände 6a und 6b sind aus einem Platin- oder Nickelfilm auf dem Substrat 5 gebildet, das aus einem elektrisch isolierenden Material besteht. Die Klemme 15 ist beiden exothermischen Widerständen 6a und 6b gemeinsam. Die erste, zweite und dritte Klemme 14, 15 und 16 sind an einem Ende des Substrats auf der gleichen Oberfläche angeordnet.

Fig. 2(a) zeigt eine Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform des exothermischen Widerstandselementes gemäß der Erfindung, während Fig. 2(b) eine Seitenansicht zeigt. Bei dieser Ausführungsform weist jede der Klemmen 15, 16 ein erstes und ein zweites Teil auf, die auf der vor­ deren und auf der hinteren Oberfläche des Substrats angeordnet sind. Der erste exothermische Widerstand 6a ist auf der vorderen Oberfläche des Substrats 5 vorgesehen, während der zweite exothermische Wider­ stand 6b auf der hinteren Oberfläche vorgesehen ist. Die erste Klem­ me 14 und ein erster Teil 15a der zweiten Elektrodenklemme sind auf der vorderen Oberfläche angeordnet, und der erste exothermische Wider­ stand 6a ist zwischen beide geschaltet. Zweite Teile der zweiten und der dritten Klemme 15b und 16b sind auf der hinteren Oberfläche des Substrats vorgesehen, und der zweite exothermische Widerstand 6b ist zwischen beide geschaltet. Darüber hinaus ist ein plattierter Durchgangs­ verbindungsweg bzw. ein Loch 18 durch das Substrat 5 hindurch als Mittel zum elektrischen Anschließen des ersten und des zweiten Teils 15a und 15b der zweiten Klemme, und des ersten und zweiten Teils 16a und 16b der dritten Klemme vorgesehen.

Fig. 3 zeigt eine weitere Ausführungsform des exothermischen Wider­ standselementes gemäß der Erfindung. Fig. 3(a) zeigt eine Draufsicht, während Fig. 3(b) einen Querschnitt entlang der Linie III(b)-III(b) in Fig. 3(a) zeigt. Der erste und der zweite exothermische Widerstand 6a und 6b ist auf der Oberfläche eines Halbleiterelementes 20 gebildet und ist beispielsweise in der Form von Filmwiderständen ausgebildet. Sie sind an Klemmen 14, 15 und 16 angeschlossen, wobei die Klemme 15 beiden Widerständen gemeinsam ist.

Die Fig. 4 und 5 zeigen eine Ausführungsform eines Wärmeprozeßluft­ strommessers, in welchem das exothermische Widerstandselement gemäß der Erfindung montiert ist. Fig. 4 zeigt eine Draufsicht, während Fig. 5 einen waagerechten Querschnitt entlang der Linie V-V der Fig. 4 zeigt.

Auf der äußeren Peripherie des äußeren Durchgangsweges 1 ist eine elektrische Schaltung 2 angebracht. Innerhalb des äußeren Durchgangs­ weges 1 ist durch ein Befestigungsglied 3 ein innerer Durchgangsweg 4 montiert. Das Substrat 5, die darauf angebrachten ersten und zweiten exothermischen Widerstände 6a und 6b, das exothermische Widerstands­ element 8 mit der ersten, zweiten und dritten Klemme, und ein Tempe­ raturkompensationswiderstand 7 (der die Temperatur der Ansaugluft erfaßt; vgl. Fig. 6) sind sämtlich im inneren Durchgangsweg 4 angeord­ net. Das exothermische Widerstandselement 8 ist durch das Befesti­ gungsglied 3 direkt an die elektrische Schaltung angeschlossen.

Fig. 6 zeigt eine Erfassungsschaltung, die Teil der elektrischen Schaltung 2 in Fig. 5 ist. Die Schaltung umfaßt eine Brückenschaltung mit einem Rückkopplungsverstärker 11, einem Transistor 9, ersten und zweiten exothermischen Widerständen 6a und 6b, einen Temperaturkompensations­ widerstand 7 und feste Widerstände 12 und 13. Die Brückenschaltung selbst ist als ein herkömmlicher Heißdrahtdetektor konfiguriert, der in bekannter Weise die Menge des Luftstromes mißt. Eine Stromrichtungs­ erfassungsschaltung mit Differentialverstärkern 10a, 10b und mit einem Komparator 10c erfaßt die Differenz zwischen den Ausgangssignalen der Klemmen 15 und 16 einerseits, und den Klemmen 15 und 14 anderer­ seits (die die Menge der von den ersten und zweiten exothermischen Widerständen 6a und 6b abgestrahlte Wärme darstellt), um die Richtung des Luftstromes zu beurteilen. Das heißt, daß die vom Widerstand 6a abgegebene Wärmemenge im Falle einer Vorwärtsluftströmung erhöht wird, während die des Widerstandes 6b nicht erhöht wird. Infolgedessen der Spannungsabfall V_R6a kleiner als V_R6b, so daß der Komparator 10c ein logisches 1-Signal ausgibt. Beim umgekehrten Luftstrom ist die Situation umgekehrt, so daß der Komparator 10c ein logisches 0-Signal ausgibt. Die Größe des Luftstromes wird in bekannter Weise durch die Spannung am Knoten 16 gemessen, wie zuvor bemerkt wurde. (Das Luftstromsignal sollte Nullstrom angeben und nicht verwendet werden.)

Wie oben erläutert, sind die drei Klemmen 14 bis 16 an einem Ende des Substrats angeordnet. Diese Anordnung ermöglicht, die nachfolgen­ den Verbesserungen zur Übertragung des elektrischen Signals vom exo­ thermischen Widerstandselement 8 zur elektrischen Schaltung 2 zu erzie­ len:

• (i) Die Substratgröße kann verkleinert werden, wobei die Anzahl der Elektrodenklemmen auf drei reduziert ist;
• (ii) die Elektrodenklemmen können mit nur drei Drähten an die elektrische Schaltung angeschlossen werden;
• (iii) der für einen solchen Anschluß benötigte Verdrahtungsplatz wird verringert; und
• (iv) die Elektrodenklemmen sind im kürzesten Abstand an die elek­ trische Schaltung angeschlossen.

Diese Vorteile zusammen schaffen eine einfachere Struktur für das Substrat und erleichtern ein bequemeres Montieren der Komponenten auf dem Substrat.

Fig. 7a veranschaulicht den Luftstrom um ein exothermisches Wider­ standselement 8 gemäß der Erfindung, das im inneren Durchgangsweg 4 des Wärmeprozeßluftstrommessers montiert ist. Bei dieser Ausführungs­ form, die das in Fig. 2 dargestellte exothermische Widerstandselement 8 einschließt (mit den Widerständen 6a, 6b auf entgegengesetzten Seiten des Substrats), ist das Substrat 5 unter einem Winkel relativ zu einem waagerechten Luftstrom im Durchgangsweg 4 schräggestellt. Mit dieser Anordnung wird ein Vorwärtsluftstrom (in der Figur von links nach rechts) über den exothermischen Widerstand 6a durch das Substrat selbst kanalisiert, das den Luftstrom in der unmittelbaren Nähe der Oberfläche des exothermischen Widerstandes 6b wirksam sperrt. Wenn sich anderer­ seits der Luftstrom umkehrt, wird die Luft über den Widerstand 6b geleitet, während der Widerstand 6a wirksam gegen den Umkehrluftstrom abgeschirmt wird. Mit anderen Worten streicht bei der Vorwärtsströ­ mung der Luftstrom über die Oberfläche des ersten exothermischen Widerstandes 6a, wird aber von der Oberfläche des zweiten exothermi­ schen Widerstandes 6b in den Vorwärtsstrom abgelenkt, und umgekehrt.

Gewöhnlich ist die Luftströmung im inneren Durchgangsweg 4 laminar, wobei allgemein bekannt ist, daß die Wärmeübertragung einer in einer solchen gleichmäßigen, laminaren Luftströmung plazierten flachen Platte in enger Beziehung zur Dicke der Temperaturgrenzschicht auf der Plat­ tenoberfläche steht. Die Temperaturgrenzschicht 19a auf der Oberfläche des ersten exothermischen Widerstandes 6a wird also kleiner als die Temperaturgrenzschicht 19b auf dem zweiten exothermischen Widerstand 6b, und zwar wegen des Unterschiedes im Ausmaß der örtlichen Lufttur­ bulenz. Daher unterscheidet sich die Wärmeübertragung zwischen dem ersten und dem zweiten exothermischen Widerstand 6a und 6b deutlich.

Wie zuvor bemerkt, können die jeweiligen exothermischen Widerstände 6a, 6b auch auf getrennten Substraten angebracht werden; vgl. Fig. 7b.

Fig. 8 ist eine graphische Darstellung der Wärmeübertragung der flachen Platte in einem gleichmäßigen Luftstrom. Die Oberflächenlänge in der Luftstromrichtung der flachen Platte ist auf der waagerechten Achse dargestellt, während die Wärmeübertragung an einem gegebenen Punkt auf der Oberfläche auf der senkrechten Achse abgetragen ist. Die durchgezogenen Linien stellen die Wärmeübertragungsrate auf der vor­ deren und der hinteren Seite der Schräge dar, wenn die flache Platte gegen den Luftstrom um 30° geneigt ist. Die gestrichelte Linie gibt die Kurve der Wärmeübertragungsrate wieder, wenn die flache Platte waa­ gerecht angeordnet ist. Im letzten Falle gibt es nur eine einzige Kurve, da es keinen Unterschied in der Wärmeübertragung zwischen der vor­ deren und der hinteren Seite der Platte gibt. Wenn die Platte jedoch geneigt ist, wie Fig. 7a zeigt, treten zwei Kurven auf, die einen signifi­ kanten Unterschied der Wärmeübertragungsrate zwischen der vorderen und der hinteren Seite der geneigten Platte anzeigen.

Bei dieser Ausführungsform kann daher die Menge der abgestrahlten Wärme, die vom ersten und vom zweiten exothermischen Widerstand, die jeweils entsprechend auf der vorderen und der hinteren Oberfläche angebracht sind, leicht erfaßt werden, so daß eine rasche Wärmereaktion erwartet werden kann, wenn der Luftstrom umgekehrt wird. Das Rück­ wärtsstromsignal kann also früher ermittelt werden. Darüber hinaus können die Vorwärts- und Rückwärtsströme leichter unterschieden wer­ den, wobei die Unterscheidung weniger durch Turbulenz und Störungen beeinträchtigt wird, selbst wenn diese auftreten. Die Folge ist, daß ein falsches Rückwärtsluftstromsignal verhindert wird, so daß der Umkehrluft­ strom exakt erfaßt und gemessen werden kann.

Bei der in Fig. 9 dargestellten Ausführungsform sind die exothermischen Widerstände 6a und 6b direkt einander gegenüber auf der vorderen bzw. hinteren Oberfläche des Substrats angeordnet. In diesem Falle kann der Unterschied der Wärmeübertragungsrate zwischen der vorderen und der hinteren Seite der flachen Platte ebenfalls in der oben beschriebenen Weise erfaßt werden. Der Zweck der Erfindung kann also erreicht werden. Die Breite des Substrats kann auch auf annähernd die Hälfte verringert werden, verglichen mit derjenigen bei der in Fig. 7a gezeigten Ausführungsform.

Da die Erfindung es ermöglicht, die Anzahl der Anschlüsse bei den Elektrodenklemmen (und die Substratgröße) zu verringern, kann die Struktur des exothermischen Widerstandselementes für den leichteren Anschluß des exothermischen Widerstandselementes an die elektrische Schaltung vereinfacht werden. Andererseits kann die vom ersten und vom zweiten exothermischen Widerstand abgestrahlte Wärmemenge klar unterschieden werden, was einen Wärmeprozeßluftstrommesser ergibt, der eine sehr präzise Vorwärtsströmungserfassungsfunktion besitzt.

Obwohl die Erfindung in Einzelheiten beschrieben und dargestellt wurde, versteht sich, daß dies zur Veranschaulichung und beispielshalber gesche­ hen ist und nicht als Beschränkung zu betrachten ist. Idee und Umfang der vorliegenden Erfindung sind nur durch die beigefügten Ansprüche begrenzt.

Claims (18)

1. Zweirichtungsluftstromdetektor, aufweisend:
ein Substrat, das in einem Luftstrompfad angeordnet und unter einem Winkel relativ zum Luftstrom in dem Luftstrompfad geneigt ist;
ein erstes wärmeabgebendes Element, das auf einer ersten Ober­ fläche des Substrats angeordnet ist, wobei das erste wärmeabgebende Element ein Signal liefert, das die dadurch abgegebene Wärme anzeigt;
ein zweites wärmeabgebendes Element, das auf einer zweiten, der ersten Oberfläche entgegengesetzten Oberfläche des Substrats an­ geordnet ist, wobei das zweite wärmeabgebende Element ein Signal liefert, das die so abgegebene Wärme anzeigt;
eine Luftstromerfassungsschaltung zum Erfassen des Luftstromes auf der Basis der vom ersten und vom zweiten wärmeabgebenden Ele­ ment gelieferten Ausgangssignale; und
eine Strömungsrichtungsschaltung zum Vergleichen der Ausgangs­ signale des ersten und des zweiten wärmeabgebenden Elementes, und zum Ausgeben eines Richtungssignals auf der Basis der relativen Größe der Signale.

2. Zweirichtungsluftstromdetektor nach Anspruch 1, bei dem die ersten und zweiten wärmeabgebenden Elemente exothermische Widerstände sind, die in einer Reihenschaltung angeschlossen sind.

3. Zweirichtungsluftstromdetektor nach Anspruch 2, bei dem die Strö­ mungsrichtungsschaltung aufweist:
einen ersten Sensor zum Abtasten der am ersten exothermischen Widerstand liegenden Spannung;
einen zweiten Sensor zum Abtasten der am zweiten exothermischen Widerstand liegenden Spannung; und
einen Komparator, der zum Empfangen der vom ersten und vom zweiten Sensor gelieferten Ausgangssignale angeschlossen ist.

4. Zweirichtungsluftstromdetektor nach Anspruch 3, bei dem der erste und der zweite Sensor jeweils erste und zweite Differentialverstärker aufweisen, die jeweils entsprechend dem ersten und dem zweiten exothermischen Widerstand parallel geschaltet sind.

5. Zweirichtungsluftstromdetektor nach Anspruch 4, bei dem die Strö­ mungserfassungsschaltung aufweist:
eine Brückenschaltung mit ersten und zweiten exothermischen Wider­ ständen in einem Zweig der Brücke;
einen Rückkopplungsverstärker, der diagonal in der Brückenschaltung angeschlossen ist; und
ein Schaltelement, das die in der Brückenschaltung fließenden Strö­ me als Antwort auf eine Ausgabe des Rückkopplungsverstärkers steuert.

6. Anordnung exothermischer Widerstände für einen Luftstromdetektor, aufweisend:
ein Substrat;
ein erstes exothermisches Widerstandselement, das auf einer Oberflä­ che des Substrats angeordnet ist;
ein zweites exothermisches Widerstandselement, das auf einer Ober­ fläche des Substrats angeordnet ist; und
eine Vielzahl von Elektroden, die an einem Ende des Substrats angeordnet sind;
wobei das erste exothermische Widerstandselement zwischen ein erstes Paar der genannten Elektroden geschaltet ist, und der zweite exothermische Widerstand zwischen ein zweites Paar Elektroden geschaltet ist, wobei eine Elektrode des zweiten Paares zugleich eine Elektrode des ersten Paares ist.

7. Gerät nach Anspruch 6, bei dem die ersten und zweiten exothermi­ schen Widerstände auf der gleichen Oberfläche des Substrats an­ geordnet sind.

8. Gerät nach Anspruch 6, bei dem der erste exothermische Widerstand auf einer ersten Oberfläche des Substrats angeordnet ist, während der zweite exothermische Widerstand auf einer entgegengesetzten Oberfläche des Substrats angeordnet ist.

9. Gerät nach Anspruch 6, bei dem die ersten und zweiten exothermi­ schen Widerstandselemente wirkungsgleich auf entgegengesetzten Oberflächen des Substrats ausgerichtet sind.

10. Gerät nach Anspruch 6, bei dem die ersten und zweiten exothermi­ schen Widerstände filmförmige Widerstände sind.

11. Anordnung exothermischer Widerstände für einen Luftstrommesser, umfassend:
einen Luftstrompfad;
ein Substrat;
ein erstes exothermisches Widerstandselement, das auf einer ersten Oberfläche des Substrats angeordnet ist; und
ein zweites exothermisches Widerstandselement, das auf einer zwei­ ten, der ersten Oberfläche entgegengesetzten Oberfläche des Sub­ strats angeordnet ist und elektrisch in Reihe mit dem ersten exo­ thermischen Widerstandselement geschaltet ist;
wobei das Substrat im Luftstrompfad angeordnet und unter einem Winkel relativ zu einer Richtung des Luftstroms im Luftstrompfad geneigt ist.

12. Gerät nach Anspruch 11, das weiter aufweist:
eine Schaltanordnung zum Steuern eines durch die ersten und zwei­ ten exothermischen Widerstandselemente fließenden Stromes;
einen Detektor zum Messen eines durch die ersten und zweiten exothermischen Widerstandselemente fließenden Stromes;
einen Detektor zum Erfassen einer am ersten exothermischen Wider­ standselement liegenden ersten Spannung;
einen Detektor zum Erfassen einer an einem zweiten exothermischen Widerstandselement liegenden zweiten Spannung; und
einen Komparator, der zum Empfangen und Vergleichen der ersten und zweiten Spannungen angeschlossen ist.

13. Erfassungsschaltung zur Verwendung in einem Luftstrommesser, umfassend:
einen ersten exothermischen Widerstand, der in einem Luftstrompfad angeordnet und der Luftströmung in einer ersten Richtung im Luft­ strompfad ausgesetzt ist;
einen zweiten exothermischen Widerstand, der im Luftstrompfad angeordnet und der Luftströmung in einer zweiten Richtung im Luftstrompfad ausgesetzt ist, wobei der zweite exothermische Wider­ stand in Reihe mit dem ersten exothermischen Widerstand geschaltet ist;
eine Schaltanordnung zur Steuerung des durch die ersten und zwei­ ten exothermischen Widerstände fließenden elektrischen Stromes;
einen Detektor zum Erfassen der Größe des elektrischen Stromes;
einen ersten Spannungsdetektor zur Erfassung einer ersten, am ersten exothermischen Widerstand liegenden Spannung;
einen zweiten Spannungsdetektor zum Erfassen einer am zweiten exothermischen Widerstand liegenden Spannung; und
einen Komparator zum Vergleichen der ersten und zweiten Spannun­ gen.

14. Erfassungsschaltung nach Anspruch 13, bei der die ersten und zwei­ ten exothermischen Widerstände auf entgegengesetzten Oberflächen eines Substrat angeordnet sind, das im Luftstrompfad angeordnet und unter einem Winkel relativ zum darin fließenden Luftstrom geneigt ist.

15. Erfassungsschaltung nach Anspruch 14, bei der die ersten und zwei­ ten exothermischen Widerstände untereinander deckungsgleich auf den genannten entgegengesetzten Oberflächen ausgerichtet sind.

16. Erfassungsschaltung nach Anspruch 13, bei der die ersten und zwei­ ten exothermischen Widerstände auf ersten und zweiten Substraten im genannten Luftstrompfad angeordnet sind.

17. Erfassungsschaltung nach Anspruch 16, bei der die ersten und zwei­ ten Substrate unter einem Winkel relativ zum Luftstrom in dem genannten Luftstrompfad geneigt sind.

18. Erfassungsschaltung nach Anspruch 17, bei der:
der erste Sensor auf einer Oberfläche des ersten Substrats angeord­ net ist, die in eine erste Richtung des Luftstromes weist; und
ein zweiter Sensor auf einer Oberfläche des zweiten Substrats an­ geordnet ist, die in eine zweite Richtung des Luftstromes weist.