DE4400370A1 - Elektrochemischer Meßfühler mit einem potentialfrei angeordneten Sensorelement - Google Patents
Elektrochemischer Meßfühler mit einem potentialfrei angeordneten SensorelementInfo
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Description
Die Erfindung geht aus von einem elektrochemischen Meßfühler nach
der Gattung des Hauptanspruchs. Bei den potentialfreien Meßfüh
lern ist das Sensorelement in einem metallischen Gehäuse dicht
festgelegt, wobei jeder Elektrodenanschluß direkt einem Steuerge
rät zugeführt wird, so daß keine elektrische Kontaktierung mit
dem Gehäuse erlaubt ist. Das Sensorelement muß somit im Gehäuse
elektrisch isoliert und gasdicht eingesetzt sein.
Der erfindungsgemäße Meßfühler mit den kennzeichnenden Merkmalen
des Anspruchs 1 hat den Vorteil, daß Nebenschlüsse, die durch
Rußablagerungen oder durch andere elektrisch leitende Ablagerung
aus dem Meßgas entstehen können, vermieden werden. Fertigungs
technisch besonders günstig ist es, wenn die Schutzschicht und
die isolierende Schicht sich überlappen, wobei sowohl die Schutz
schicht die isolierende Schicht als auch die isolierende Schicht
die Schutzschicht überlappen kann. Dabei ist es im ersten Fall
zweckmäßig, nach dem Sintern des Festelektrolytkörpers die
Schutzschicht durch Plasmaspritzen aufzubringen, wobei Aluminium
oxid oder Magnesium-Spinell besonders geeignete Schutzschichtma
terialien sind. Es ist aber genauso denkbar, eine ko-gesinterte
Engobe-Schutzschicht einzusetzen, die, um elektrisch isolierend
zu sein, beispielsweise aus nicht-stabilisiertem ZrO₂ besteht
oder nicht-stabilisiertes ZrO₂ als Komponente enthält. Eine wei
tere Ausführungsform besteht darin, im Grenzbereich von isolie
render Schicht und Schutzschicht über beide Schichten eine Ab
deckung zu legen. Die Abdeckung kann dabei auch elektrisch leitend
sein, wobei dann eine Berührung mit der dahinterliegenden Funk
tionsschicht ausgeschlossen sein muß.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung darge
stellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Die
einzige Figur zeigt einen Längsschnitt durch ein Sensorelement
eines potentialfreien Meßfühlers.
Der in Fig. 1 dargestellte Meßfühler 10 hat ein Sensorelement 14
mit einem rohrförmigen Festelektrolytkörper 23, dessen meßgassei
tiger Endabschnitt verschlossen ist. Am meßgasfernen Ende ist der
Festelektrolytkörper 23 mit einem wulstförmigen Kopf 15 ausge
führt, an dem eine Schulter 16 ausgebildet ist. Das Sensorelement
14 ist mittels eines, an der Schulter 16 anliegenden Dichtrings
20 in ein Gehäuse 12 festgelegt. Meßgasseitig ist das Sensorele
ment 14 von einem Schutzrohr 44 umgeben, welches zum Ein- bzw.
Austritt des Meßgases Öffnungen 45 besitzt.
Auf der dem Meßgas ausgesetzten Außenseite ist auf dem Festelek
trolytkörper 23 eine schichtförmige, gasdurchlässige Meßelektrode
25 und auf der dem Innenraum zugewandten Seite eine einem Refe
renzgas, z. B. Luft, ausgesetzte, gasdurchlässige und schichtför
mige Referenzelektrode 26 angeordnet. Die Meßelektrode 25 wird
mit einer Meßelektroden-Leiterbahn 27 zu einem ersten Elektroden
kontakt 33 und die Referenzelektrode 26 mit einer Referenzelek
troden-Leiterbahn 28 zu einem zweiten Elektrodenkontakt 34 ge
führt. Die Elektrodenkontakte 33, 34 befinden sich jeweils auf
einer vom offenen Ende des Festelektrolytkörpers 23 gebildeten
Stirnfläche 36. Die Elektroden 25, 26 und die Leiterbahnen 27, 28
sind vorteilhafterweise als Cermet-Schichten ausgeführt und mit
dem Festelektrolytkörper 23 ko-gesintert.
Voraussetzung für den Einsatz eines elektrisch leitenden Dicht
rings ist, daß das Sensorelement 14, wie bereits eingangs er
wähnt, potentialfrei gegenüber dem metallischen Gehäuse des Meß
fühlers ist. Dazu ist die Leiterbahn 27 mit einer elektrisch iso
lierenden Schicht 21 bedeckt. Die isolierende Schicht 21 ist im
vorliegenden Ausführungsbeispiel um den gesamten Umfang des Fest
elektrolytkörpers 23 gezogen und reicht von der Mantelfläche des
wulstförmigen Kopfes 15 bis an die Meßelektrode 25 heran, so daß
die Leiterbahn 27 vom Bereich der Dichtzone bis zum elektroden
seitigen Ende abgedeckt ist. Es ist aber genauso denkbar, die
isolierende Schicht 21 nur auf die Abdeckung der Leiterbahn 27 zu
beschränken.
Am meßgasseitigen Ende des Sensorelements 14 ist eine elektrisch
isolierende, poröse Schutzschicht 29 aufgebracht, die die Meß
elektrode 25 bedeckt und die isolierende Schicht 21 mit einer
Überlappung 30 bedeckt. Durch die Überlappung 30 wird gewähr
leistet, daß der Grenzbereich von isolierender Schicht 21 und
Schutzschicht 29 gegen Ablagerungen von im Abgas mitgeführten,
elektrisch leitenden Partikeln geschützt ist.
Als Material für die Schutzschicht 29 mit ausreichenden elek
trisch isolierenden Eigenschaften eignet sich beispielsweise
Al₂O₃ oder Magnesium-Spinell, wobei die Schutzschicht 29 zweck
mäßigerweise mittels Plasmaspritzen auf den gesinterten Festelek
trolytkörper 23 aufgebracht wird. Ein weiteres Material für die
Schutzschicht 29 ist beispielsweise eine Mischung von Al₂O₃ mit
nicht-stabilisiertem ZrO₂, welche als Engobe aufgebracht wird und
mit dem Festelektrolytkörper 23 ko-gesintert werden kann. Die
Verwendung von nicht-stabilisiertem ZrO₂ ist wegen der elektrisch
isolierenden Eigenschaften wichtig. Stabilisiertes ZrO₂ wäre hin
gegen nicht ausreichend elektrisch isolierend.
Die isolierende Schicht 21 besteht aus einem Gemisch eines kri
stallinen, nichtmetallischen Materials und eines glasbildenden
Materials, wobei sich bei Erhitzung eine mit dem kristallinen,
nichtmetallischen Material gefüllte Glasur ausbildet. Das Mate
rial der isolierenden Schicht 21 wird so gewählt, daß es den
Druckkräften des Dichtrings 20 standhält, die beim Fügen des Sen
sorelements 14 im Gehäuse des Meßfühlers 10 auftreten, und daß es
darüberhinaus Anwendungstemperaturen im Bereich der Fügestelle
mindestens bis zu 700°C verträgt. Dies wird dadurch erreicht, daß
das kristalline, nichtmetallische Material in homogener Vertei
lung ein tragendes Stützgerüst in der Glasur ausbildet und die
Transformationstemperatur der Glasphase oberhalb der Anwendungs
temperatur liegt. Als kristallines, nichtmetallisches Material
kommen in Frage: Al₂O₃, Mg-Spinell, Forsterit, MgO-stabilisiertes
ZrO₂, CaO- und/oder Y₂O₃-stabilisiertes ZrO₂ mit geringen Stabi
lisator-Gehalten vorteilhaft mit maximal 2/3 des Stabilisator
oxids der Vollstabilisierung, nicht-stabilisiertes ZrO₂ oder HfO₂
oder ein Gemisch dieser Stoffe. Als glasbildendes Material wird
ein Erdalkalisilikat, beispielsweise Ba-Al-Silikat eingesetzt.
Das Ba-Al-Silikat hat beispielsweise einen thermischen Ausdeh
nungskoeffizienten von 8,5 mal 10-6 K-1. Das Barium kann bis zu
30 Atomprozent durch Strontium ersetzt werden. Das Erdalkalisili
kat kann als vorgeschmolzene Glasfritte oder als Glasphase-Roh
stoffmischung eingebracht werden, wobei letztere vorteilhaft zum
größeren Teil in einem Kalzinationsprozeß von Kristallwasser,
Carbonat oder anderem Glühverlust befreit wird. Der Glasfritte
wird vorteilhaft ein geringer Anteil (< 10 Gewichts.%) einer
glasbildenden Rohstoffmischung zugeführt. Das Materialgemisch
darf elektrisch leitende Verunreinigungen nur bis maximal 1 Ge
wichts.% enthalten.
Auf dem bei 1000°C vorgesinterten Festelektrolytkörper 23 aus
teilstabilisiertem ZrO₂ werden die Elektroden 25, 26 sowie die
Leiterbahnen 27, 28 in an sich bekannter Weise aufgebracht. Zur
Herstellung der isolierenden Schicht 21 wird ein Schlicker aus
dem genannten Material gebildet und mittels Aufpinseln auf die in
der Figur gezeigten Stellen des Festelektrolytkörpers 23 aufge
tragen. Danach wird der Schlicker zusammen mit dem Festelektro
lytkörper ca. 3 Stunden bei 1450-1500°C ko-gesintert, so daß
sich die isolierende Schicht 21 ausbildet.
Eine weitere Ausführungsform ist denkbar, bei der unter der iso
lierenden Schicht 21 eine Zwischenschicht vorgesehen ist. Die
Zwischenschicht hat die Funktion, daß das glasbildende Material
der isolierenden Schicht 21 nicht in das Material der Leiterbahn
27 eindiffundiert und so die Leitfähigkeit der Leiterbahn 27 be
einflußt.
Bei einer weiteren Ausführungsform wird über der isolierenden
Schicht 21 im Bereich der Dichtzone eine Abdeckschicht angeord
net, so daß der Dichtring 20 sensorelementseitig an der Abdeck
schicht anliegt. Sensorelementseitig liegen unter der Abdeck
schicht, wie bereits erwähnt, die isolierende Schicht 21 oder die
isolierende Schicht 21 mit der darunter angeordneten Zwischen
schicht. Die Abdeckschicht ist eine dichte keramische Schicht,
welche vorzugsweise aus dem Material des Festelektrolytkörpers 23
besteht. Die Abdeckschicht selbst muß keinen Isolationswiderstand
haben, sondern kann vielmehr eine endliche Elektronen- und/oder
Ionenleitfähigkeit aufweisen. Im Falle einer elektrischen
Leitfähigkeit darf die Abdeckschicht die isolierende Schicht 21
nicht überlappen. Zweckmäßig ist, wenn die Abdeckschicht auf dem
Bereich der Dichtzone beschränkt bleibt.
Claims (11)
1. Elektrochemischer Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoff
gehaltes von Gasen, insbesondere von Abgasen von Verbrennungs
motoren, mit einem in einem Gehäuse potentialfrei angeordneten
Sensorelement, welches einen sauerstoffionenleitenden Festelek
trolytkörper, vorzugsweise in Form eines einseitig geschlossenen
Rohres, und mit elektrisch leitenden Anschlüssen versehene Elek
troden ausweist, von denen zumindest eine Elektrode als Meßelek
trode dem zu messende Gas ausgesetzt und mit einer elektrisch
isolierenden, porösen Schutzschicht abgedeckt ist und der zur
Meßelektrode führende Anschluß mit zumindest einer isolierenden
Schicht elektrisch isoliert ist, dadurch gekennzeichnet, daß der
Grenzbereich von isolierender Schicht (21) und Schutzschicht (29)
derart ausgebildet ist, daß die darunter angeordnete(n) Funk
tionsschicht(en) und der Festelektrolytkörper (23) gegenüber im
Meßgas mitgeführten, elektrisch leitenden Stoffen elektrisch iso
liert sind.
2. Meßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich
das elektrodenseitige Ende der isolierenden Schicht (21) und die
Schutzschicht (29) überlappen.
3. Meßfühler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schutzschicht (29) über das elektrodenseitige Ende der isolieren
den Schicht (21) gelegt ist.
4. Meßfühler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die
isolierende Schicht (21) bis an die Meßelektrode (25) heran
reicht.
5. Meßfühler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das
elektrodenseitige Ende der isolierenden Schicht (21) die Schutz
schicht (29) überlappt.
6. Meßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im
Grenzbereich über die isolierende Schicht (21) und die Schutz
schicht (29) eine Abdeckung gelegt ist.
7. Meßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schutzschicht (29) aus Aluminiumoxid, Magnesium-Spinell, nicht-
stabilisiertem Zirkoniumdioxid, Zirkonsilikat, Mullit, Magnesium
oxyd oder Titandioxid oder einem Gemisch dieser Stoffe besteht.
8. Meßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
isolierende Schicht (21) aus einem Gemisch eines kristallinen,
nichtmetallischen Materials und eines glasbildenden Materials
gebildet ist, derart, daß sich bei Erhitzung einer mit dem kri
stallinen, nichtmetallischen Material gefüllte Glasur ausbildet.
9. Meßfühler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß eines
der beiden Materialien jeweils mindestens 10 Vol% des Gemisch aus
macht.
10. Meßfühler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das
kristalline, nichtmetallische Material aus Al₂O₃, Mg-Spinell,
Forsterit, MgO-stabilisiertem ZrO₂, CaO- und/oder Y₂O₃-stabili
siertem ZrO₂, nicht-stabilisiertem ZrO₂ oder HfO₂ oder einem Ge
misch dieser Stoffe besteht.
11. Meßfühler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das
glasbildende Material ein Erdalkalisilikatglas ist.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4400370A DE4400370A1 (de) | 1994-01-11 | 1994-01-11 | Elektrochemischer Meßfühler mit einem potentialfrei angeordneten Sensorelement |
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PCT/DE1994/001436 WO1995018964A1 (de) | 1994-01-11 | 1994-12-03 | Elektrochemischer messfühler mit einem potentialfrei angeordneten sensorelement |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4400370A DE4400370A1 (de) | 1994-01-11 | 1994-01-11 | Elektrochemischer Meßfühler mit einem potentialfrei angeordneten Sensorelement |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4400370A1 true DE4400370A1 (de) | 1995-07-13 |
Family
ID=6507596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4400370A Ceased DE4400370A1 (de) | 1994-01-11 | 1994-01-11 | Elektrochemischer Meßfühler mit einem potentialfrei angeordneten Sensorelement |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0688427A1 (de) |
JP (1) | JPH08507615A (de) |
KR (1) | KR100327079B1 (de) |
AU (1) | AU1062795A (de) |
DE (1) | DE4400370A1 (de) |
WO (1) | WO1995018964A1 (de) |
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- 1994-12-03 JP JP7518254A patent/JPH08507615A/ja active Pending
- 1994-12-03 EP EP95901348A patent/EP0688427A1/de not_active Withdrawn
- 1994-12-03 WO PCT/DE1994/001436 patent/WO1995018964A1/de not_active Application Discontinuation
- 1994-12-03 AU AU10627/95A patent/AU1062795A/en not_active Abandoned
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8131 | Rejection |