DE4302509A1 - Testing characteristics of high density circuit board - using matrix of test electrodes identical to board electrodes with precision alignment to obtain maximum inter-electrode conductivity - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Prü­ fung von Schaltungskarten, insbesondere von solchen Schaltungskarten, die eine Anzahl von Schaltungsmuster- Elektroden aufweisen, wobei der Zustand des elektrischen Anschlusses dieser Elektroden geprüft wird.

Zur Prüfung der elektrischen Eigenschaften einer Schal­ tungskarte, auf der eine Anzahl von Elektroden vorgesehen sind, ist es im allgemeinen notwendig, die zu prüfenden Elektroden der Schaltungskarte mit den Prüfelektroden ei­ ner Prüfeinrichtung, die das gleiche Anordnungsmuster wie die zu prüfenden Elektroden besitzt, in Kontakt zu brin­ gen, um eine elektrische Verbindung zwischen der zu prü­ fenden Schaltungskarte und der Prüfeinrichtung herzustel­ len. Daher wird im Stand der Technik eine Ausrichtung zwischen der Schaltungskarte und dem Prüfelektrodenab­ schnitt der Prüfeinrichtung vorgenommen, beispielsweise durch eine Einrichtung zum Einpassen der Ausrichtstifte der Prüfeinrichtung in die entsprechenden Stiftlöcher der Schaltungskarte, oder durch eine andere mechanische Aus­ richteinrichtung.

In den letzten Jahren ist die Bauelement-Packungsdichte von Schaltungskarten angestiegen, außerdem hat die Dichte der Schaltungsmuster zugenommen. Dies hatte zur Folge, daß die Elektroden der Schaltungskarte mit kleineren Ab­ messungen und die Verbindungsleitungen der Schaltungskar­ te feiner ausgebildet und mit einer höheren Dichte ange­ ordnet worden sind. Wenn bei der Prüfung einer solchen Schaltungskarte die Ausrichtung der Schaltungskarte in bezug auf den Prüfelektrodenabschnitt einer Prüfeinrich­ tung mittels einer einfachen mechanischen Ausrichtein­ richtung vorgenommen wird, wird lediglich ein grober Aus­ richtzustand erreicht, wobei es unmöglich ist, in ausrei­ chendem Maß zwischen den zu prüfenden Elektroden und den entsprechenden Prüfelektroden eine gewünschte elektrische Verbindung zu erzielen.

Die Gründe hierfür sind, daß selbst dann, wenn die zu prüfenden Elektroden der Schaltungskarte und die Prüf­ elektroden der Prüfeinrichtung im Prinzip einander ent­ sprechende Muster besitzen, folgt, daß die Elektroden der Schaltungskarte oder die Prüfelektroden in der Praxis an Positionen angeordnet werden, die wenigstens in geringem Maß von den geplanten Positionen abweichen, wofür die Gründe in der Fertigung der Schaltungskarte und der Prüf­ einrichtung oder in der Verformung der Schaltungskarte und/oder der Prüfeinrichtung selbst zu suchen sind.

Unter diesen Umständen ist es notwendig, eine grobe Aus­ richtung zwischen der zu prüfenden Schaltungskarte und dem Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung bei­ spielsweise mittels einer mechanischen Ausrichteinrich­ tung und anschließend eine Feinausrichtung auszuführen, um eine genaue Positionseinstellung der zu prüfenden Elektroden der Schaltungskarte in bezug auf die Prüfelek­ troden der Prüfeinrichtung zu erzielen.

Für eine solche Feinausrichtung ist ein Verfahren be­ kannt, das umfaßt: Ausbilden einer geeigneten Ausricht­ markierung auf einer Schaltungskarte in einer bestimmten räumlichen Beziehung zu den zu prüfenden Elektroden; Aus­ bilden einer Kontroll-Ausrichtmarkierung auf dem Prüfe­ lektrodenabschnitt einer Prüfeinrichtung in derselben Be­ ziehung zu den Prüfelektroden; Befestigen der Schaltungs­ karte auf einer beweglichen Bühne, mit der die Schal­ tungskarte in Längsrichtung oder in Querrichtung oder um eine Drehachse bewegt werden kann; Anbringen dieser Ein­ heit auf der Prüfeinrichtung und Überprüfen der Positio­ nen der beiden Ausrichtmarkierungen mittels einer geeig­ neten Erfassungseinrichtung; Verschieben der Schaltungs­ karte in bezug auf den Prüfelektrodenabschnitt der Prüf­ einrichtung mittels der beweglichen Bühne auf der Grund­ lage des erhaltenen Erfassungsergebnisses, um einen Zu­ stand zu erhalten, in dem die beiden Ausrichtmarkierungen räumlich miteinander übereinstimmen.

Eine derartige Feinausrichtungseinrichtung erfordert je­ doch die Bereitstellung beispielsweise einer Ausrichtmar­ kierungs-Beobachtungskamera oder einer anderen Ausricht­ markierungs-Erfassungseinrichtung, um die auf der Schal­ tungskarte und dem Prüfelektrodenabschnitt ausgebildeten Ausrichtmarkierungen zu erfassen. Darüber hinaus muß eine solche Ausrichtmarkierungs-Erfassungseinrichtung oberhalb der Ausrichtmarkierung und in einer zur Schaltungskarte senkrechten Richtung angeordnet werden, ferner muß selbstverständlich der Prüfelektrodenabschnitt der Prüf­ einrichtung so angeordnet werden, daß damit die Oberflä­ che der Schaltungskarte abgedeckt wird; daher müssen die Ausrichtmarkierungs-Erfassungseinrichtung und der Prüfe­ lektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung am selben Ort vor­ gesehen werden, wodurch deren Anordnung an einer geeigne­ ten Stelle erschwert wird.

Weiterhin ist es im Hinblick auf die Ausrichtmarkierungen selbst, die auf der Schaltungskarte und auf dem Prüfelek­ trodenabschnitt der Prüfeinrichtung gebildet werden, un­ möglich, räumliche Fehler und Gestaltfehler bei der Bil­ dung dieser Markierungen völlig zu vermeiden. Darüber hinaus wird bei der eigentlichen Erfassung des Grades der räumlichen Übereinstimmung der beiden Ausrichtmarkierun­ gen in gewissem Umfang ein Fehler verursacht. Daher ist ein komplizierter Vorgang erforderlich, bis die ge­ wünschte Feinausrichtung in zufriedenstellendem Maß er­ zielt ist, wobei die Feineinstellung selbst dann hin­ sichtlich der Wiederholbarkeit und dergleichen nicht völ­ lig zuverlässig ist.

Wie oben beschrieben zielen alle herkömmlichen Ausricht­ verfahren auf die Ausrichtung zwischen den zu prüfenden Elektroden einer Schaltungskarte und den Prüfelektroden einer Prüfeinrichtung, wobei es jedoch nicht immer mög­ lich ist, diese Ausrichtung mit hoher Zuverlässigkeit zu erhalten, weil jedes dieser Verfahren notwendig eine in einer bestimmten räumlichen Beziehung zur Schaltungskarte oder zum Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung an­ geordnete Einrichtung zur indirekten Erfassung der Abwei­ chung verwenden muß.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Prüfung von Schaltungskarten zu schaffen, mit dem die räumliche Abweichung der zu prüfenden Elek­ troden einer Schaltungskarte in bezug auf die Prüfelek­ troden einer Prüfeinrichtung genau erfaßt werden kann und mit dem folglich eine Feinausrichtung zwischen den Elek­ troden der Schaltungskarte einerseits und den Prüfelek­ troden der Prüfeinrichtung andererseits mit hoher Zuver­ lässigkeit erzielt und die gewünschte Prüfung der Schal­ tungskarte mit sehr hoher Effizienz ausgeführt werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Ver­ fahren zur Prüfung von Schaltungskarten, das die folgen­ den Schritte umfaßt: Elektrisches Verbinden der zu prü­ fenden Elektroden einer zu prüfenden Schaltungskarte mit den Elektroden einer Prüfeinrichtung, die den zu prüfen­ den Elektroden entsprechen; und in diesem Zustand Prüfen des elektrischen Anschlußzustandes der jeweils zu prüfen­ den Elektroden der Schaltungskarte unter Verwendung der Prüfeinrichtung, wobei das Verfahren dadurch gekennzeich­ net ist, daß zwischen den zu prüfenden Elektroden und den Prüfelektroden ein Feinausrichtungsvorgang ausgeführt wird, der die folgenden zwei Schritte umfaßt:
der erste Schritt umfaßt: die Wiederholung der Messung eines leitenden Zustandes zwischen den zu prüfen­ den Elektroden der Schaltungskarte und den Prüfelektroden der Prüfeinrichtung, wobei die erstere der letzteren zu­ gewandt gehalten wird; bei jeder Wiederholung die Ände­ rung der relativen Positionen der Schaltungskarte und des Prüfelektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung um eine kleine Strecke, um sowohl in einer Richtung der durch den Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung gebildeten Ebene als auch in einer weiteren Richtung in derselben Ebene, die zur ersten Richtung nicht parallel ist, wenig­ stens eine Position eines hochleitenden Zustandes (der hochleitende Zustand bedeutet einen ausgezeichneten oder guten Leitungszustand, wie später beschrieben wird) und wenigstens zwei Positionen eines niedrigleitenden Zustan­ des (der niedrigleitende Zustand bedeutet einen Zustand mit geringem Leitungsvermögen oder einen Zustand mit schlechtem Kontakt, wie später beschrieben wird), die von der wenigstens einen genannten Position beabstandet und so angeordnet sind, daß sich diese Position zwischen ih­ nen befindet, zu erfassen; und Bestimmen der gewünschten Verbindungsposition aus der auf diese Weise erhaltenen Information in einer oder in beiden der genannten Rich­ tungen, derart, daß die Prüfelektroden in bezug auf die zu prüfenden Elektroden im Zustand mit höchstem Leitungs­ vermögen sind;
der zweite Schritt umfaßt: die Bewegung des Prü­ felektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung und/oder der zu prüfenden Schaltungskarte, um die relative Position in einer Richtung und/oder der weiteren Richtung zu ändern, derart, daß die Prüfelektroden in der im ersten Schritt bestimmten gewünschten Verbindungsposition angeordnet werden.

In dem Verfahren der vorliegenden Erfindung ist es mög­ lich, im ersten Schritt festzustellen, daß eine relativ verschobene Prüfelektrode mit einer zu prüfenden Elek­ trode elektrisch verbunden ist, die der eigentlichen zu prüfenden Elektrode benachbart ist, während es im zweiten Schritt möglich ist, den Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung und/oder die zu prüfende Schaltungskarte relativ zu verschieben, so daß die Prüfelektrode in einer Richtung von der zu prüfenden Nachbarelektrode zu der ei­ gentlich zu prüfenden Elektrode bewegt wird.

In dem Verfahren der vorliegenden Erfindung ist es ferner möglich, zwischen den zu prüfenden Elektroden und den Prüfelektroden anhand der drei folgenden Arbeitsvorgänge eine Feinausrichtung auszuführen:
Der erste Arbeitsvorgang umfaßt die Ausführung des obenerwähnten ersten Schrittes in bezug auf die zu prüfenden Elektroden, die in einem der Flächenabschnitte (der im folgenden als erster Flächenabschnitt bezeichnet wird) vorhanden sind, die jeweils einen Flächenanteil von 1/64 bis 1/16 der Gesamtfläche der zu prüfenden Schal­ tungskarte besitzen, wobei jeder der Flächenabschnitte vorzugsweise wenigstens zehn feine Elektroden aufweist;
der zweite Arbeitsvorgang umfaßt die Ausführung des ersten Schrittes in bezug auf die zu prüfenden Elek­ troden, die in wenigstens einem der anderen Flächenab­ schnitte (der im folgenden als zweiter Flächenabschnitt bezeichnet wird) vorhanden sind, welcher sich vom ersten Flächenabschnitt in einem Abstand befindet; und
der dritte Arbeitsvorgang umfaßt die Bewegung des Prüfelektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung und/oder der zu prüfenden Schaltungskarte, um ihre relative Posi­ tion in einer Richtung und/oder in einer weiteren Rich­ tung und/oder um eine Drehachse, die zu der durch den Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung gebildeten Ebene senkrecht ist, so daß die räumliche Abweichung zwi­ schen der Schaltungskarte und dem Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung, die durch den ersten und durch den zweiten Arbeitsvorgang erfaßt worden ist, korrigiert wer­ den kann.

In dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Prüfung von Schal­ tungskarten wird im ersten Schritt der Leitungszustand zwischen den zu prüfenden Elektroden der Schaltungskarte und den entsprechenden Prüfelektroden der Prüfeinrichtung erfaßt, wobei eine räumliche Abweichung zwischen ihnen in einer Richtung und/oder einer weiteren Richtung erfaßt wird und ferner eine räumliche Beziehung zwischen den Prüfelektroden und den zu prüfenden Elektroden bestimmt wird, in der das höchste Leitungsvermögen in der einen und/oder der anderen Richtung erzielt werden kann und die die gewünschte Anschlußposition darstellt. Ferner werden im zweiten Schritt die Prüfelektroden in der gewünschten Prüfposition angeordnet, wobei das höchste Leitungsvermö­ gen zwischen der Prüfelektrode und der zu prüfenden Elek­ trode in der einen und/oder der anderen Richtung erzielt werden kann. Da dieser Endzustand derjenige Zustand ist, in dem die Feinausrichtung erzielt worden ist, kann in diesem Zustand die angestrebte Prüfung der Schaltungskar­ te mittels der Prüfeinrichtung ausgeführt werden.

Im ersten Schritt ermöglicht die Feststellung, daß die versetzt angeordnete Prüfelektrode mit der benachbarten Prüfelektrode elektrisch verbunden ist, daß die besondere Richtung der tatsächlichen Verschiebung der Prüfelektrode in bezug auf die eigentlich zu prüfende Elektrode be­ stimmt werden kann. Daher wird im zweiten Schritt die zu prüfende Elektrode relativ zur Prüfelektrode in der der Verschiebungsrichtung entgegengesetzten Richtung, d. h. in Richtung von der benachbarten zu prüfenden Elektrode zu der eigentlich zu prüfenden Elektrode bewegt, wodurch die gewünschte Feinausrichtung zwischen den Prüfelektroden und den zu prüfenden Elektroden mit hoher Effizienz er­ zielt wird, weil es die Trial-and-Error-Vorgänge für die Feinausrichtung reduziert.

Durch die Ausführung des ersten Arbeitsvorgangs der Be­ stimmung der gewünschten Anschlußposition der Prüfelek­ troden, welche den zu prüfenden Elektroden im ersten Flä­ chenabschnitt der Schaltungskarte entsprechen, und durch die Ausführung des zweiten Arbeitsvorgangs der Bestimmung der gewünschten Anschlußposition der Prüfelektroden, wel­ che den zu prüfenden Elektroden im zweiten Flächenab­ schnitt entsprechen, ist es möglich, die gesamte räumli­ che Abweichung zwischen der Schaltungskarte und der Prüf­ einrichtung, d. h. die räumliche Abweichung in einer Rich­ tung und/oder in einer weiteren Richtung und/oder um eine Drehachse zu ermitteln. Durch den dritten Arbeitsvorgang der relativen Bewegung des Prüfelektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung und der Schaltungskarte in der einen und/oder der anderen Richtung und/oder um die Drehachse auf der Grundlage der in den ersten beiden Arbeitsvorgän­ gen gewonnenen Informationen kann die Feinausrichtung zwischen den zu prüfenden Elektroden und den entsprechen­ den Prüfelektroden für die gesamte Schaltungskarte er­ zielt werden.

Weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung sind in den Unteransprüchen, die sich auf bevorzugte Aus­ führungsformen der vorliegenden Erfindung beziehen, ange­ geben.

Die Erfindung wird im folgenden anhand bevorzugter Aus­ führungsformen mit Bezug auf die Zeichnungen näher erläu­ tert; es zeigen.

Fig. 1 eine Darstellung zur Erläuterung des erfindungs­ gemäßen Verfahrens zur Prüfung von Schaltungskar­ ten, wobei das Ausmaß der räumlichen Abweichung zwischen den zu prüfenden Elektroden der Schal­ tungskarte und den Prüfelektroden einer Prüfein­ richtung gezeigt ist;

Fig. 2 ein Beispiel für die Ergebnisse des Arbeitsvor­ gangs zur Erfassung der Abweichung, der in dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Prüfung von Schaltungskarten ausgeführt wird;

Fig. 3 eine Kurve zur Erläuterung der Beziehung zwischen dem Verschiebungsgrad und der Gesamtheit von Elektroden mit unzureichendem Kontakt, die aus den Ergebnissen von Fig. 2 erhalten wird; und

Fig. 4 eine Darstellung zur Erläuterung eines weiteren Beispiels des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Prüfung von Schaltungskarten, in der die räumli­ che Abweichung zwischen der Schaltungskarte und dem Prüfelektrodenabschnitt einer Prüfeinrichtung gezeigt ist.

In den Fig. 1 bis 4 bezeichnen P1 und P2 eine zu prüfende Elektrode bzw. eine weitere zu prüfende Elektrode, die der ersten benachbart ist; D1 und D2 bezeichnen eine Prüfelektrode bzw. eine weitere Prüfelektrode, die der ersten Prüfelektrode benachbart ist; CP bezeichnet den Mittelpunkt der zu prüfenden Elektrode; CD bezeichnet den Mittelpunkt der Prüfelektrode; die Buchstaben A, B und C bezeichnen jeweils eine Symbolreihe; das Bezugszeichen 10 bezeichnet eine Schaltungskarte; die Bezugszeichen 11 bis 14 bezeichnen jeweils eine viereckige Fläche; und das Be­ zugszeichen 20 bezeichnet den Prüfelektrodenabschnitt ei­ ner Prüfeinrichtung.

In der folgenden Beschreibung wird der erste Schritt in eine erste Stufe zur Bestimmung der gewünschten Anschluß­ position in einer Richtung und in eine zweite Stufe zur Bestimmung der gewünschten Anschlußposition in einer wei­ teren Richtung unterteilt.

In Fig. 1 ist ein Zustand gezeigt, in dem eine zu prüfen­ de Schaltungskarte in einer beispielsweise mittels einer mechanischen Ausrichteinrichtung grob bestimmten Position relativ zu einem Prüfelektrodenabschnitt einer Prüfein­ richtung gehalten wird. Eine zu prüfende Elektrode P1 der zu prüfenden Elektrodengruppe der Schaltungskarte, der eine Prüfelektrode D1 der Prüfelektrodengruppe der Prüf­ einrichtung entspricht, welche während der Prüfung mit der Elektrode P1 elektrisch verbunden werden soll, weicht von der gewünschten Position in X-Richtung (Abszissenrichtung in Fig. 1) um Δx und in Y-Richtung (der Ordinatenrichtung in Fig. 1), die zur X-Richtung senkrecht ist, um Δy ab. Die Elektrode P2 stellt eine weitere zu prüfende Elektrode dar, die in positiver X- Richtung in der Umgebung von P1, jedoch von dieser beab­ standet ausgebildet ist; D2 stellt eine benachbarte Prüf­ elektrode dar, die der benachbarten zu prüfenden Elek­ trode P2 entspricht.

Der Zustand schlechten Kontakts, der zwischen der Prüf­ elektrode und einer entsprechenden zu prüfenden Elektrode tatsächlich auftritt, enthält zwei Fälle: (1) einen unzu­ reichenden Kontaktzustand, in dem der elektrische Wider­ stand zwischen den beiden Elektroden hoch ist und in dem in einigen Fällen kein Leitungsvermögen vorhanden ist; (2) ein Kurzschlußzustand, in dem die relativen Positio­ nen der beiden Elektroden verschoben sind und die Prüf­ elektrode mit einer anderen zu prüfenden Elektrode in Kontakt ist, die der eigentlich zu prüfenden Elektrode benachbart ist.

In dem im folgenden beschriebenen besonderen Beispiel wird die Aufmerksamkeit auf den unzureichenden Kontaktzu­ stand gerichtet, wobei eine Ausrichtung vorgenommen wird. Außerdem kann bei Auftreten eines Kurzschlusses aufgrund einer Positionsabweichung die durch den Kurzschluß erhal­ tene Information mit Erfolg dazu verwendet werden, wie im Zustand unzureichenden Kontakts eine Ausrichtung zu er­ zielen, wie später beschrieben wird. Auf einer beispiel­ haften Schaltungskarte haben die einzelnen zu prüfenden Elektroden die folgenden Abmessungen: eine Länge von 0,25 mm, eine Breite von 0,125 mm und einen Abstand d von 0,125 mm zwischen einer zu prüfenden Elektrode und einer weiteren zu prüfenden Elektrode, die in X-Richtung be­ nachbart ist (siehe Fig. 1). Die Abmessungen einer jeden Prüfelektrode und der Abstand zwischen einer Prüfelek­ trode und einer in X-Richtung benachbarten weiteren Prüf­ elektrode sind gleich wie bei den zu prüfenden Elektro­ den. Wenn daher in Fig. 1 die Prüfelektrode D1 so ange­ ordnet wird, daß sie mit der zu prüfenden Elektrode P1 vollständig übereinstimmt, d. h. wenn der Mittelpunkt CP von P1 in X-Richtung und in Y-Richtung mit dem Mittel­ punkt CD der Prüfelektrode D1 in X-Richtung und Y-Rich­ tung übereinstimmt und Δx und Δy jeweils Null sind, ist der elektrische Widerstand zwischen der Prüfelektrode D1 und der entsprechenden zu prüfenden Elektrode Pl minimal. Wenn umgekehrt Δx 0,125 mm oder mehr beträgt, oder wenn Δy 0,25 mm oder mehr beträgt, wird zwischen der zu prüfen­ den Elektrode P1 und der entsprechenden Prüfelektrode D1 keine elektrische Verbindung erhalten, so daß der elek­ trische Widerstand zwischen diesen beiden Elektroden vir­ tuell unendlich ist.

In dem in Fig. 1 gezeigten Zustand wird der elektrische Widerstand für sämtliche Paare von gewählten zu prüfenden Elektroden in einem ausgewählten Flächenabschnitt der Schaltungskarte und von entsprechenden Prüfelektroden ge­ messen; wenn die Anzahl der ausgewählten zu prüfenden Elektroden beispielsweise 100 ist, werden sämtliche 100 Paare von 100 ausgewählten zu prüfenden Elektroden und von entsprechenden Prüfelektroden der Messung des elek­ trischen Widerstandes unterworfen (ein Paar aus einer zu prüfenden Elektrode und einer entsprechenden Prüfelek­ trode wird im folgenden als Elektrodenpaar bezeichnet). Hierbei ist die Anzahl der Elektrodenpaare nicht kri­ tisch, ferner können sämtliche zu prüfenden Elektroden mit den entsprechenden Prüfelektroden jeweils Elektroden­ paare bilden. In einem solchen Fall ist der ausgewählte Flächenabschnitt die gesamte Schaltungskarte. Hinsicht­ lich der Zuverlässigkeit und der Schnelligkeit sollte die Anzahl der Elektrodenpaare 50 bis 200 betragen, wobei die ausgewählte Fläche vorzugsweise feine Elektroden enthal­ ten sollte.

Nun wird angenommen, daß der in Fig. 1 gezeigte Zustand die Ausgangsposition darstellt, daß die zu prüfenden Elektroden auf der Schaltungskarte jedesmal um einen sehr geringen Abstand (z. B. 10 µm) in der positiven X-Richtung (in Fig. 1 nach rechts) verschoben werden, wobei der Prü­ felektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung unbewegt gehal­ ten wird, und daß der elektrische Widerstand eines jeden Elektrodenpaars an den jeweils neuen Positionen gemessen wird. Danach wird der Prüfelektrodenabschnitt der Prüf­ einrichtung jedesmal um einen sehr geringen Abstand (z. B. 10 µm) in der negativen X-Richtung (in Fig. 1 nach links) verschoben, wobei der elektrische Widerstand eines jeden Elekektrodenpaars an den jeweils neuen Positionen gemessen wird.

Die auf diese Weise erhaltenen elektrischen Widerstands­ werte (d. h. die Leitungszustände) an den verschiedenen Positionen einer Schaltungskarte in X-Richtung können beispielsweise durch eine Symbolreihe A in Fig. 2 angege­ ben werden. In Fig. 2 stellen die X-Achse und die Y-Achse imaginäre Basisachsen auf dem Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung dar, wobei der Schnittpunkt 0 der X-Achse mit der Y-Achse den Mittelpunkt CP der zu prüfenden Elek­ trode P1 von Fig. 1 entspricht. Im Falle der Symbolreihe A wurden Messungen an 7 Punkten in der positiven X-Rich­ tung und an 9 Punkten in der negativen X-Richtung vorge­ nommen. Daher wurden in X-Richtung einschließlich der er­ sten Messung insgesamt 17 Messungen ausgeführt.

In Fig. 2 geben die Symbole in der Symbolreihe A die Lei­ tungszustände der Elektrodenpaare an den verschiedenen Positionen an, die vom Basispunkt (0) in X-Richtung ab­ weichen. Der Leitungszustand wird in Abhängigkeit von den elektrischen Widerstandswerten sämtlicher Elektrodenpaare durch die folgenden vier Abstufungen ausgedrückt:
"⊗" bezeichnet einen ausgezeichneten Leitungszustand und stellt einen Fall dar, in dem das Verhältnis der einen geringeren elektrischen Widerstand als den Standardwider­ stand (z. B. 1 Ω) besitzenden Elektroden zu sämtlichen Elektrodenpaaren 100% beträgt und der Leitungszustand sehr zufriedenstellend ist;
"○" bezeichnet einen guten Leitungszustand und stellt einen Fall dar, in dem das Verhältnis der einen geringe­ ren elektrischen Widerstand als den Standardwiderstand besitzenden Elektrodenpaare zu sämtlichen Elektrodenpaa­ ren wenigstens 90% beträgt und die verbleibenden Elektro­ denpaare (nicht mehr als 10%) einen elektrischen Wider­ stand zeigen, der etwas höher als der Standardwiderstand ist (z. B. 10 Ω oder weniger), und in dem der Leitungszu­ stand für Prüfzwecke annehmbar ist;
"Δ" bezeichnet einen leitfähigen Zustand und stellt einen Fall dar, in dem das Verhältnis der einen geringeren elektrischen Widerstand als den Standardwiderstand besit­ zenden Elektrodenpaare zu sämtlichen Elektrodenpaaren 50 bis 90% beträgt und die verbleibenden Elektrodenpaare ei­ nen elektrischen Widerstand zeigen, der etwas höher oder viel höher als der Standardwiderstand ist und in dem der Leitungszustand von der Art ist, daß eine Prüfung zwar möglich ist, jedoch eine geringe Zuverlässigkeit besitzt;
"X" bezeichnet einen Zustand schlechten Kontakts und stellt einen Fall dar, in dem das Verhältnis der einen geringeren elektrischen Widerstand als den Standardwider­ stand besitzenden Elektrodenpaare zu sämtlichen Elektro­ denpaaren kleiner als 50% ist und in dem der Leitungszu­ stand von der Art ist, daß eine Prüfung nicht ausgeführt werden kann.

In der Symbolreihe A von Fig. 2 ist der Verbindungszu­ stand am Mittelpunkt CP (Basispunkt 0) einer zu prüfenden Elektrode der unbeweglich gehaltenen Schaltungskarte auf­ grund einer sehr geringen räumlichen Abweichung kein aus­ gezeichneter Leitungszustand (⊗). Wenn jedoch der gesam­ te Leitungszustand der Symbolreihe A betrachtet wird, wird ersichtlich, daß ein Bereich mit ausgezeichnetem Leitungszustand (⊗) und zwei Bereiche mit gutem Lei­ tungszustand (○), in denen eine gute Prüfung möglich ist, im Mittelpunkt und an den beiden Seiten hiervon ein schlechtem Kontaktzustand (X), die für die Prüfung unge­ eignet sind, in dieser Reihenfolge vorhanden sind. Fig. 3 ist eine weitere Beschreibung der Reihe A. Die Kurve gibt die Gesamtheit der Elektrodenpaare an, deren Widerstand größer als der Standardwiderstand ist. Der Mittelpunkt entspricht A0, der flache Bereich um A0 entspricht dem (○)-Zustand, die Anstiegspunkte entsprechen A3 (linke Seite) und A2 (rechte Seite), die schrägen Bereiche bis zur halben Höhe der Kante der Kurve entsprechen dem (Δ)- Zustand und die äußeren Bereiche, an denen die Kurve mehr als 50% beträgt, entsprechen dem (X)-Zustand. Aus der obigen Kurve geht auch die Tendenz hervor. Die Tendenz in der Symbolreihe A wird dadurch bestimmt, daß für jedes Elektrodenpaar eine größere Verschiebung eine kleinere Kontaktfläche ergibt.

Anhand der obigen Information ist es möglich, die Mittel­ position in der Symbolreihe A zu bestimmen, die den be­ sten Leitungszustand, d. h. die gewünschte Verbindungspo­ sition ergibt. Die Position mit der höchsten Leitfähig­ keit kann nach der Feststellung wenigstens einer Position eines hohen Leitungszustandes und wenigstens zweier Posi­ tionen mit geringem Leitungszustand beiderseits der Posi­ tion mit hohem Leitungszustand rechnerisch bestimmt wer­ den. In der Symbolreihe A wird beispielsweise die Positi­ on A1, die die einzige Position mit ausgezeichnetem Lei­ tungszustand (⊗) darstellt, als Ausgangsposition verwen­ det, ferner wird auf die beiden Punkte A2 und A3, an de­ nen auf der rechten und auf der linken Seite von A1 zum ersten Mal der leitfähige Zustand (Δ) auftritt, die Auf­ merksamkeit gerichtet, woraus der Mittelpunkt von A2 und A3 bestimmt wird. Diese Position stellt die mittlere Po­ sition A0 der Symbolreihe A dar, an der der höchste Lei­ tungszustand erhalten wird. In der Symbolreihe A stimmt die Mittelposition A0 mit A1 überein. Somit ist die erste Stufe abgeschlossen.

In Fig. 2 ist die Symbolreihe B eine Symbolreihe, die für die Ausführung der obigen Messung in Y-Richtung, die die Mittelposition A0 der Symbolreihe A enthält, verwendet wird. Bei dieser Messung wird ein Ergebnis, das ähnlich demjenigen für die Symbolreihe A ist, erhalten, so daß die Mittelposition B0 bestimmt wird. Die Symbolreihe C ist eine Symbolreihe, die zur Ausführung derselben Mes­ sung wie oben in X-Richtung, die die Mittelposition B0 der Symbolreihe B enthält, verwendet wird. In dieser Mes­ sung wird ein Ergebnis erhalten, das zu demjenigen der Symbolreihe A ähnlich ist, ferner wird die Mittelposition C0 bestimmt. Die Mittelposition C0 entspricht dem Mittel­ punkt CD der Prüfelektrode in Fig. 1. Dann ist die zweite Stufe abgeschlossen.

In den obigen Schritten ist es nicht immer notwendig, die Mittelposition C0 der Symbolreihe C zu bestimmen. Der Grund hierfür besteht darin, daß die Mittelpositionen in X-Richtung und in Y-Richtung auf der Grundlage der Posi­ tionsinformation der Mittelposition A0 in X-Richtung, die in der ersten Stufe erhalten wird, und auf der Grundlage der Positionsinformation der Mittelposition B0 in Y-Rich­ tung, die in der zweiten Stufe erhalten wird, ermittelt werden können. Tatsächlich stimmt die Mittelposition B0 der Symbolreihe B mit der Mittelposition C0 der Symbol­ reihe C in vielen Fällen überein.

Somit können die Beträge der Positionsabweichungen des Mittelpunktes CP (der mit dem Basispunkt 0 in Fig. 2 übereinstimmt) der zu prüfenden Elektrode gegenüber dem Mittelpunkt CD (der mit der Mittelposition B0 oder C0 in Fig. 2 übereinstimmt) der Prüfelektrode in X-Richtung und in Y-Richtung ermittelt werden. Folglich kann im zweiten Schritt, in dem der Prüfelektrodenabschnitt der Prüfein­ richtung relativ zur Schaltungskarte bewegt wird, um diese Abweichungsbeträge zu verkleinern, der Mittelpunkt CD der Prüfelektrode mit dem Mittelpunkt CP der zu prü­ fenden Elektrode in Übereinstimmung gebracht werden. Diese Bewegung wird durch eine Einrichtung zur Bewegung des Prüfelektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung relativ zur unbeweglich gehaltenen Schaltungskarte, durch eine Einrichtung zur Bewegung der Schaltungskarte relativ zum Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung oder durch eine Einrichtung zur Bewegung sowohl des Prüfelektroden­ abschnittes als auch der Schaltungskarte ermöglicht. In der Praxis kann die Bewegung jedoch beispielsweise durch den Antrieb einer die Schaltungskarte tragenden bewegli­ chen Bühne in X-Richtung und in Y-Richtung ausgeführt werden.

Wenn der zweite Schritt abgeschlossen ist, befinden sich die zu prüfenden Elektroden der Schaltungskarte und die Prüfelektroden der Prüfeinrichtung in einer gegenseitigen räumlichen Beziehung, in der sie im Zustand mit höchster Leitfähigkeit sind, so daß die gewünschte elektrische Prüfung der Schaltungskarte mit der Prüfeinrichtung di­ rekt ausgeführt werden kann. Da bei den im selben Prozeß gefertigten Schaltungskarten die Neigung besteht, daß sie die gleiche räumliche Abweichung vom vorgesehenen Wert besitzen, können die zweite und spätere Schaltungskarten in vielen Fällen in den Zustand gebracht werden, in dem durch einfaches Halten der Schaltungskarten im gleichen Zustand wie die vorhergehende Schaltungskarte dieselbe Feinausrichtung wie in der vorhergehenden Schaltungskarte zwischen den Elektroden erzielt wird.

In der obigen Abfolge von Abläufen kann der Zustand der räumlichen Abweichung in der ersten und der zweiten Stufe (dem ersten Schritt) unter Verwendung des folgenden Ver­ fahrens, welches gleichzeitig die Kurzschlußinformation verwendet, schneller erfaßt werden.

In der ersten und in der zweiten Stufe (dem ersten Schritt) werden nicht nur ein unzureichender Kontaktzu­ stand, sondern auch die Tatsache erfaßt, ob zwischen ei­ ner Prüfelektrode und einer der eigentlich zu prüfenden Elektrode benachbarten zu prüfenden Elektrode eine elek­ trische Verbindung vorhanden ist, d. h. ob ein Kurzschluß vorhanden ist (wenn in Fig. 1 beispielsweise die zu prü­ fende Zielelektrode durch P1 gegeben ist, ist P2 eine der benachbarten zu prüfenden Elektroden). Wenn festgestellt wird, daß zwischen der Prüfelektrode und der der eigent­ lich zu prüfenden Elektrode benachbarten zu prüfenden Elektrode ein Kurzschluß vorhanden ist, kann die Prüfein­ richtung anhand der räumlichen Beziehung zwischen der den Kurzschluß erzeugenden, benachbarten zu prüfenden Elek­ trode und der eigentlich zu prüfenden Elektrode feststel­ len, in welcher Richtung die Positionsabweichung vorhan­ den ist.

Folglich kann durch die Bewegung der zu prüfenden Schal­ tungskarte aus der obigen Position in der Richtung, die der genannten Richtung entgegengesetzt ist, in welcher die Abweichung erfaßt worden ist, der Prüfelektrodenab­ schnitt der Prüfeinrichtung sofort in die gewünschte Ver­ bindungsposition relativ bewegt werden, ohne einen Trial­ and-Error-Vorgang zu wiederholen. Im Ergebnis kann die erforderliche Feinausrichtung zwischen zwei Elektroden­ gruppen mit hoher Effizienz und in kurzer Zeit ausgeführt werden.

In der vorliegenden Erfindung ist es außerdem möglich, einle aus den obenerwähnten ersten und zweiten Stufen (im ersten Schritt) bestehende Abweichungserfassungsfunktion für mehrere Flächenabschnitte, die auf einer zu prüfenden Schaltungskarte soweit wie möglich voneinander entfernt sind, auszuführen. Mit dieser Funktion kann die Gesamtab­ weichung zwischen der Schaltungskarte und der Prüfein­ richtung deutlich erfaßt werden, so daß auf der Grundlage dieser Information eine Feinausrichtung zwischen sämtli­ chen auf der Schaltungskarte vorhandenen Elektroden und den entsprechenden Prüfelektroden der Prüfeinrichtung leicht und mit hoher Genauigkeit erzielt werden kann.

Nun folgt eine genauere Beschreibung des erfindungsgemä­ ßen Verfahrens. Wie in Fig. 4 gezeigt, wird für die zu prüfenden Elektroden in einem ersten Flächenabschnitt 11 in einer Ecke (der oberen linken Ecke in Fig. 4) einer Schaltungskarte 10 eine Abweichungserfassungsoperation (die erste Operation), die aus den obenerwähnten ersten und zweiten Stufen besteht, ausgeführt. Dieselbe Abwei­ chungserfassungsoperation (die zweite Operation) wird be­ züglich der zu prüfenden Elektroden in einem zweiten Flä­ chenabschnitt 14 in einer weiteren Ecke (die untere rech­ te Ecke in Fig. 4), der vom ersten Flächenabschnitt 11 in X- und Y-Richtung beabstandet ist, ausgeführt.

Durch die Verarbeitung der Informationen der Abweichungs­ zustände in den Flächenabschnitten 11 und 14 kann der Ge­ samtabweichungszustand des Prüfelektrdenabschnittes ei­ ner Prüfeinrichtung relativ zur Schaltungskarte 10, d. h. der Abweichungsgrad in X-Richtung, der Abweichungsgrad in Y-Richtung und der Abweichungsgrad um die Drehachse, die zu der durch den Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrich­ tung gebildeten Ebene senkrecht ist, erfaßt werden. Folg­ lich kann für die gesamte Schaltungskarte 10 durch die Bewegung derselben relativ zum Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung in den Richtungen, in denen sämtliche Abweichungen korrigiert werden, eine Feinausrichtung er­ zielt werden.

In diesem Fall sollten die beiden Flächenabschnitte aus­ reichend weit voneinander beabstandet sein, um eine hohe Zuverlässigkeit zu erzielen. Um die Zuverlässigkeit zu erhöhen, wird die Abweichungserfassungsoperation vorzugs­ weise in vier Flächenabschnitten an vier Ecken ausge­ führt. Je größer die Anzahl der Flächenabschnitte, in de­ nen eine Erfassung ausgeführt wird, desto höher wird selbstverständlich die Zuverlässigkeit.

Es ist möglich, die Prüfung des Leitungszustandes in je­ dem der Flächenabschnitte unabhängig auszuführen, es ist jedoch auch möglich, die Prüfung des Leitungszustandes in zwei oder mehr Flächenabschnitten in einer einzigen rela­ tiven räumlichen Beziehung zwischen der Schaltungskarte und dem Prüfelektrodenabschnitt einer Prüfeinrichtung gleichzeitig auszuführen. Es ist ferner möglich, das Lei­ tungsvermögen der gesamten Schaltungskarte zu einer Zeit zu prüfen und anschließend die räumliche Abweichung in jedem Flächenabschnitt unter Verwendung der im entspre­ chenden Flächenabschnitt erhaltenen Information zu be­ stimmen.

In jedem der obigen besonderen Beispiele wird die Aus­ richtung als unabhängiger Prozeß ausgeführt. Wenn jedoch die im ersten Schritt erhaltene Information bezüglich der einen schlechten Kontakt zeigenden Elektroden, bezüglich der Tatsache, ob der schlechte Kontakt ein unzureichender Kontaktzustand oder ein Kurzschlußzustand ist, bezüglich der räumlichen Abweichungsgrade und dergleichen in der richtigen Reihenfolge gespeichert werden und wenn die neu erhaltene Information bezüglich eines schlechten Kontakt­ zustandes mit der gespeicherten Information verglichen wird, kann eine räumliche Abweichung zwischen den Prüf­ elektroden und den zu prüfenden Elektroden schnell abge­ leitet werden. Wenn verschiedene Schaltungskarten abwech­ selnd gefertigt werden, kann die obige Problemlösung die Zeit verkürzen, die für die Ausrichtung erforderlich ist, wenn die Art der zu fertigenden Schaltungskarte geändert wird, ferner kann die obige Lösung die Wiederholbarkeit der Ausrichtung selbst verbessern.

In der obigen Beschreibung ist der Prüfelektrodenab­ schnitt einer Prüfeinrichtung als Teil der Prüfeinrich­ tung beschrieben worden. Der Prüfelektrodenabschnitt kann jedoch auch so beschaffen sein, daß er an der Prüfein­ richtung befestigt und von dieser abgenommen werden kann, ferner kann er zusammengesetzt sein aus den Prüfelektro­ den, die mit den zu prüfenden Elektroden einer Schal­ tungskarte in Kontakt gebracht werden sollen und außerdem mit einem Prüfkopf elektrisch verbunden sind, und aus ei­ nem Träger der Prüfelektroden; ein solcher Prüfelektro­ denabschnitt bildet funktional einen Teil der Prüfein­ richtung. Beispielsweise in einer Prüfeinrichtung, die ein System besitzt, in der der Prüfkopf über ein plat­ tenähnliches Verbindungselement mit den zu prüfenden Elektroden einer Schaltungskarte elektrisch verbunden wird, bildet daher das Verbindungselement den Prüfelek­ trodenabschnitt der Prüfeinrichtung.

In der vorliegenden Erfindung beziehen sich die zu prü­ fenden Elektroden einer Schaltungskarte auf Elektroden, die für Prüfungszwecke der Schaltungskarte verwendet wer­ den, unabhängig davon, ob diese Elektroden Anschlüsse bilden, die mit Funktionsteilen der Schaltungskarte in Verbindung stehen. Daher ist es beispielsweise möglich, auf einer Schaltungskarte Elektroden zu schaffen, die ausschließlich für die Prüfung verwendet werden; diese Elektroden können einen Teil oder sämtliche der zu prü­ fenden Elektroden bilden.

In der vorliegenden Erfindung ist es nicht immer notwen­ dig, daß die Abmessungen der Prüfelektrode und der Ab­ stand zwischen den einzelnen Prüfelektroden gleich wie bei den zu prüfenden Elektroden ist. Es ist beispielswei­ se möglich, Prüfelektroden mit kleineren Abmessungen als die zu prüfenden Elektroden zu verwenden. Um gute Prüfer­ gebnisse zu erhalten, ist es wünschenswert, daß die Ab­ messungen und der Abstand der Prüfelektroden im wesentli­ chen gleich denjenigen der zu prüfenden Elektroden sind.

Sowohl in der ersten als auch in der zweiten Operation können der Ort des Flächenabschnitts und die Anzahl der zu prüfenden Elektroden wie gewünscht ausgewählt werden.

Je größer die Anzahl der zu prüfenden Elektroden ist, de­ sto höher ist die Zuverlässigkeit der Abweichungserfas­ sung, so daß eine Feinausrichtung zwischen der Prüfelek­ trode und der zu prüfenden Elektrode mit höherer Zuver­ lässigkeit erzielt wird.

Die Strecke der kleinen Verschiebung des Prüfelektroden­ abschnittes einer Prüfeinrichtung gegenüber einer Schal­ tungskarte zur Ausführung der ersten und der zweiten Stufe beträgt in den obigen besonderen Beispielen 10 µm; diese Strecke ist jedoch nicht kritisch und kann 5 bis 30 µm betragen. Wenn drei Punkte mit verschiedenen Leitungs­ zuständen ausgewählt sind und wenn das Leitungsvermögen am mittleren Punkt höher als an den beiden anderen Punk­ ten beiderseits des mittleren Punktes ist, ist diese In­ formation ausreichend, um die gewünschte Verbindungsposi­ tion zu bestimmen. Daher reicht es in einigen Fällen aus, daß bei einer Unterteilung der Breite einer zu prüfenden Elektrode in drei oder mehr Zonen in Richtung der Ver­ schiebung der Leitungszustand in jeder der Zonen gemessen werden kann. Selbstverständlich ist die erhaltene Infor­ mation umso genauer, je kleiner die Strecke der obigen kleinen Verschiebung ist, so daß eine Feinausrichtung zwischen den Prüfelektroden und den zu prüfenden Elektro­ den mit höherer Genauigkeit erzielt werden kann, wofür jedoch ein längeres Zeitintervall erforderlich ist. In der Praxis werden Messungen an fünf bis zehn Punkten in einer Richtung, vorzugsweise wenigstens an drei Punkten, ausgeführt.

In dem Verfahren der vorliegenden Erfindung wird der Zu­ stand der elektrischen Verbindung zwischen den zu prüfen­ den Elektroden einer Schaltungskarte und dem festen Prü­ felektrodenabschnitt einer Prüfeinrichtung ermittelt, um die räumliche Abweichung zwischen diesen zu erfassen; auf der Grundlage der so erhaltenen Information wird die re­ lative Position des Prüfelektrodenabschnittes der Prüf­ einrichtung und der Schaltungskarte geändert, derart, daß die räumliche Abweichung korrigiert werden kann, d. h. daß die zu prüfenden Elektroden in die gewünschte Verbin­ dungsposition bewegt werden, in der der höchste leitende Zustand erzielt wird, wodurch die gewünschte Feinausrich­ tung zwischen den zu prüfenden Elektroden und den Prüf­ elektroden abgeschlossen ist. Daher ist das erfindungsge­ mäße Verfahren sehr rationell und ermöglicht eine Fein­ ausrichtung zwischen den Prüfelektroden und den zu prü­ fenden Elektroden mit hoher Effizienz und hoher Zuverläs­ sigkeit.

Da die Prüfeinrichtung selbst für die Feinausrichtung verwendet wird, ist in dem erfindungsgemäßen Verfahren keine zusätzliche Einrichtung zur Erfassung der Verschie­ bung, etwa eine Ausrichtmarkierung-Erfassungseinrichtung oder dergleichen erforderlich. Dies verleiht dem erfin­ dungsgemäßen Verfahren ebenfalls eine hohe Effizienz, insbesondere ist es im Hinblick auf räumliche Erforder­ nisse und Einschränkungen vorteilhaft. Insgesamt ermög­ licht das Verfahren der vorliegenden Erfindung eine Prü­ fung von Schaltungskarten mit hoher Effizienz und hoher Zuverlässigkeit.

Claims (11)

1. Verfahren zur Prüfung von Schaltungskarten (10), das die folgenden Schritte umfaßt:
elektrisches Verbinden von zu prüfenden Elektro­ den (P1, P2; 11 bis 14) einer zu prüfenden Schaltungskar­ te (10) mit Prüfelektroden (D1, D2) einer Prüfeinrich­ tung, die den zu prüfenden Elektroden (P1, P2) entspre­ chen; und
Prüfen der elektrischen Eigenschaften der zu prü­ fenden Elektroden (P1, P2) der Schaltungskarte (10) in diesem Verbindungszustand unter Verwendung der Prüfein­ richtung,
dadurch gekennzeichnet, daß zwi­ schen den zu prüfenden Elektroden (P1, P2) und den Prüf­ elektroden (D1, D2) in den folgenden zwei Schritten eine Feinausrichtung ausgeführt wird, wobei der erste Schritt umfaßt:

• - die Wiederholung der Messung des Leitungszustan­ des zwischen den zu prüfenden Elektroden (P1, P2) der Schaltungskarte (10) und den Prüfelektroden (D1, D2) der Prüfeinrichtung, wobei die Schaltungskarte (10) dem Prü­ felektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung zugewandt gehal­ ten wird und wobei die relativen Positionen der Schal­ tungskarte (10) und des Prüfelektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung jedesmal um einen kleinen Abstand geän­ dert werden, um in einer ersten Richtung in der durch den Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung gebildeten Ebene und in einer zweiten Richtung in dieser Ebene, die zur ersten Richtung nicht parallel ist, wenigstens eine Position eines hochleitenden Zustandes und wenigstens zwei Positionen eines niedrigleitenden Zustandes, die von der wenigstens einen Position beabstandet und so angeord­ net sind, daß sich die wenigstens eine Position zwischen ihnen befindet, zu erfassen; und
• - die Bestimmung der gewünschten Verbindungspositi­ on, in der sich die Prüfelektroden (D1, D2) in der einen und/oder der anderen der beiden Richtungen im höchstlei­ tenden Zustand in bezug auf die zu prüfenden Elektroden (P1, P2) befinden, anhand der auf diese Weise erhaltenen Information; und der zweite Schritt umfaßt:
• - die Bewegung des Prüfelektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung relativ zur Schaltungskarte (10) in einer Richtung und/oder einer weiteren Richtung, so daß die Prüfelektroden (D1, D2) in der im ersten Schritt bestimm­ ten, gewünschten Verbindungsposition angeordnet werden.

2. Das Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß im ersten Schritt die Messung des leitenden Zustandes jedesmal wiederholt wird, wenn die relativen positionen der Schaltungskarte (10) und des Prüfelektro­ denabschnittes der Prüfeinrichtung um 5 bis 30 µm geän­ dert werden.

3. Das Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß im zweiten Schritt der Prüfelektrodenab­ schnitt der Prüfeinrichtung und/oder die Schaltungskarte (10) durch eine Einrichtung zur Bewegung des Prüfelektro­ denabschnittes der Prüfeinrichtung relativ zu der unbe­ weglich gehaltenen Schaltungskarte (10), durch eine Ein­ richtung zur Bewegung der Schaltungskarte (10) gegenüber dem Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung oder durch eine Einrichtung zum Bewegen sowohl der Schaltungs­ karte (10) als auch des Prüfelektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung bewegt werden.

4. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Feinausrichtung zwischen den zu prüfenden Elektroden (P1, P2) und den Prüfelektroden (D1, D2) durch die folgenden drei Operationen ausgeführt wird:
die erste Operation umfaßt die Ausführung des er­ sten Schrittes bezüglich der zu prüfenden Elektroden in einem Flächenabschnitt (erster Flächenabschnitt) von meh­ reren Flächenabschnitten, die jeweils einen Flächenanteil von 1/64 bis 1/16 der Gesamtfläche der zu prüfenden Schaltungskarte (10) besitzen;
die zweite Operation umfaßt die Ausführung des ersten Schrittes bezüglich der zu prüfenden Elektroden in wenigstens einem Flächenabschnitt (zweiter Flächenab­ schnitt) der anderen Flächenabschnitte, die vom ersten Flächenabschnitt beabstandet sind; und
die dritte Operation umfaßt die Bewegung des Prü­ felektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung relativ zur Schaltungskarte (10) in einer Richtung und/oder einer weiteren Richtung und/oder um eine Drehachse, die senk­ recht zu der durch den Prüfelektrodenabschnitt der Prüf­ einrichtung gebildeten Ebene ist, derart, daß die räumli­ che Abweichung zwischen der Schaltungskarte (10) und dem Prüfelektrodenabschnitt der Prüfeinrichtung, die in der ersten und in der zweiten Operation erfaßt worden sind, korrigiert werden kann.

5. Verfahren gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß sowohl der erste Flächenabschnitt als auch der zweite Flächenabschnitt 50 bis 200 ausgewählte Elektroden als zu prüfende Elektroden aufweist.

6. Verfahren gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß der elektrische Widerstand für sämtliche Paare von ausgewählten Prüfelektroden und entsprechenden zu prüfenden Elektroden gemessen wird.

7. Verfahren gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeich­ net, daß im ersten Schritt die Messung des elektrischen Widerstandes für sämtliche Elektrodenpaare jedesmal wie­ derholt wird, wenn die relativen Positionen der Schal­ tungskarte (10) und des Prüfelektrodenabschnittes der Prüfeinrichtung um 5 bis 30 µm geändert werden.

8. Verfahren gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß die zweite Operation in drei Flächenabschnitten ausgeführt wird.

9. Verfahren gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeich­ net, daß die erste Operation in einem Eckbereich (11) der Schaltungskarte (10) ausgeführt wird und die zweite Ope­ ration in den verbleibenden drei Eckbereichen (12, 13, 14) ausgeführt wird.

10. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß im ersten Schritt die Information, die bezüglich des elektrischen Verbindungszustandes zwischen den zu prüfenden Elektroden der Schaltungskarte (10) und den Prüfelektroden der Prüfeinrichtung erhalten wird, der Re­ ihe nach gespeichert wird.

11. Verfahren gemäß Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß die gespeicherte Information mit der neu erhal­ tenen Information bezüglich des Verbindungszustandes ver­ glichen wird, um die räumliche Abweichung zwischen den Prüfelektroden und den zu prüfenden Elektroden abzulei­ ten, wodurch die Feinausrichtungsoperation erleichtert wird.