DE4302322A1 - Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode - Google Patents
Langlebige miniaturisierbare ReferenzelektrodeInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode zur
Erzeugung eines konstanten Bezugs- oder Referenzpotentials in beliebigen Lösungen.
Diese miniaturisierbare Referenzelektrode soll vorzugsweise in der ionenselektiven
Potentiometrie bei Verwendung von miniaturisierten Meßelektroden Anwendung finden.
Häufige Anwendungsfelder sind dabei die Umweltanalytik und die klinische Chemie.
Es ist bekannt, daß in der ionenselektiven Potentiometrie mit Hilfe einer ionenselektiven
Meßelektrode und einer potentialkonstanten Referenzelektrode eine elektrochemische
Meßkette aufgebaut wird. An der Meßelektrode stellt sich dabei eine von der Aktivität
des Meßions abhängige Galvanispannung ein. Derartige ionenselektive Elektroden sind
für eine Reihe von Ionen kommerziell erhältlich und finden eine breite Anwendung
(K. Cammann, Das Arbeiten mit ionenselektiven Elektroden, Springer-Verlag Berlin
Heidelberg New York 1977). Die Galvanispannung ist der unmittelbaren Messung nicht
zugänglich, da man nicht zwei Phasen an ein Meßgerät anschließen kann, ohne eine neue
Phasengrenze mit neuen Galvanispannungen hinzuzufügen. Es werden daher zur
Messung neben der Meßelektrode potentialkonstante Referenzelektroden benötigt.
Die primäre Bezugselektrode, deren Potentialdifferenz gegenüber der Meßlösung per
Definition null gesetzt wird, ist die Standard-Wasserstoffelektrode. Ein platiniertes
Platinblech taucht in eine Lösung vom pH-Wert 0 und wird mit Wasserstoffgas
(101,3 kPa) umspült. Sie dient für Elektroden mit wässerigem Elektrolyten generell als
Bezugsbasis.
Die Standard-Wasserstoffelektrode aber ist wegen ihrer komplizierten Handhabung für
die tägliche Meßpraxis kaum geeignet. Hier haben sich die leichter handhabbaren
Elektroden 2. Art durchgesetzt. Sie bestehen aus einem Metall, das mit einer dünnen
Schicht eines seiner schwerlöslichen Salze überzogen ist. Die am häufigsten
verwendeten Elektroden dieses Typs sind die Silber/Silberchlorid- und die
Kalomelelektrode. Sie lassen sich durch folgenden prinzipiellen Aufbau symbolisieren:
Ag/AgCl,KCl bzw. Hg/Hg2Cl2,KCl.
Der Potentialeinstellung liegen folgende Gleichgewichte zu Grunde:
Ag ↔ Ag⁺ + e⁻
Ag⁺ +Cl⁻ ↔ AgCl.
Ag⁺ +Cl⁻ ↔ AgCl.
Die eigentlich potentialbestimmende Silberionenaktivität wird auf Grund des
Löslichkeitsgleichgewichtes durch die Chloridionenaktivität bestimmt. Durch Einsetzen
in die Nernstgleichung für die Ag/Ag⁺-Elektrode ergibt sich folgender Zusammenhang:
Φgl = Φgl° - RT/F ln aCl ⁻
mit:
Φgl° = Standardelektrodenpotential
R = allgemeine Gaskonstante
T = absolute Temperatur
F = Faradaykonstante
aCl ⁻ = Chloridionenaktivität.
R = allgemeine Gaskonstante
T = absolute Temperatur
F = Faradaykonstante
aCl ⁻ = Chloridionenaktivität.
Voraussetzung für ein konstantes Elektrodenpotential ist eine konstante
Chloridionenaktivität. Da die Chloridionenaktivität in der Meßlösung fast nie konstant
ist, wird zwischen Meßlösung und Elektrode ein Stromschlüssel zwischengeschaltet, der
meist mit konzentrierter KCl als Bezugselektrolyt gefüllt ist. Dadurch wird die
Chloridionenaktivität konstant gehalten. Bezugselektrolyt und Meßlösung sind durch ein
Diaphragma verbunden, das einen Elektrolytkontakt herstellt aber gleichzeitig die
Vermischung der beiden Lösungen weitgehend verhindert. Am Elektrolytkontakt kommt
es zur Ausbildung eines Diffusionspotentials, das während der Messung möglichst gering
und konstant sein soll. Seine Konstanz bestimmt die Meßgenauigkeit der gesamten
Meßkette entscheidend mit. Diese Bedingungen werden von Elektrolyten deren Kationen
und Anionen ähnliche Ionenbeweglichkeiten besitzen (z. B. KCl) in hohen
Konzentrationen erfüllt.
Derartige Elektroden eigenen sich gut zum Aufbau von Meßketten in Verbindung mit
ionenselektiven Makroelektroden.
In den letzten Jahren hat die rasche Entwicklung der Mikroelektronik zur Entwicklung
von miniaturisierten potentiometrischen Sensoren geführt. Dabei ist besonders der
ionenselektive Feldeffekttransistor (ISFET) zu nennen. Derartige Sensoren besitzen eine
Reihe von Vorteilen gegenüber herkömmlichen ionenselektiven Elektroden wie die
Möglichkeit der kostengünstigen Massenproduktion, die Miniaturisierbarkeit und die
Möglichkeit der Integration.
Bei der Verwendung von derartigen miniaturisierten Meßelektroden ist eine
Miniaturisierung der Referenzelektrode notwendig, um ein miniaturisiertes Meßsystem
zu erhalten. Dabei wurden zunächst Versuche gemacht die Ag/AgCl-Referenzelektrode
zu miniaturisieren (R. Smith, D.C. Scott, IEEE Trans. Biomed. Eng., BME 33 (1986)
83 und A. Van den Berg, A. Griesel, H. H Van den Vlekkert, N. F. De Rooÿ Sensors
and Actuators B 1 (1990) 425-4323). Der Miniaturisierung der herkömmlichen
Referenzelektroden auf der Basis von Elektroden 2. Art sind aber Grenzen gesetzt.
Besonders die Miniaturisierung des Bezugselektrolytraumes ist problematisch. Eine
Verkleinerung des Volumens führt zu einer Verringerung der Lebensdauer, da die
geringe aber immer ablaufende Ineinanderdiffusion von Meß- und Bezugselektrolyt um
so schneller zu Konzentrationsänderungen im Bezugselektrolyt führt, je kleiner das
Bezugselektrolytvolumen ist. Eine Verringerung der Vermischung durch eine
Verkleinerung der Kontaktfläche ist nur bedingt möglich. Verwendet man ein sehr
dichtes Diaphragma treten innerhalb dieser dichten Diaphragmazone instabile
Diffusionspotentiale auf, die die Messung stören. Sehr kleine Öffnungen führen zur
Gefahr der Verstopfung des Elektrolytkontaktes. Eine Abscheidung von festem KCl im
Bezugselektrolytraum führt zwar zu einer Vergrößerung der Lebensdauer. Aufgrund der
Leichtlöslichkeit des KCl ist dieses Reservoir aber bald verbraucht. Änderungen der
Bezugselektrolytkonzentration führen zur Änderung des Referenzelektrodenpotentials und
damit zu Meßfehlern. Weiterhin gelangen störende Stoffe aus der Meßlösung viel
schneller und in höheren Konzentrationen an die Referenzelektrodenoberfläche als bei
makroskopischen Anordnungen. Störende Stoffe sind z. B. Redoxsysteme aus der
Probematrix, die ihr Redoxpotential dem elektronenleitenden inneren Metallableitelement
aufprägen, Komplexierungsmittel für Ag⁺-Ionen oder Ionen, die mit Quecksilber oder
Silber schwerer lösliche Verbindungen als das Cl⁻-Ion eingehen.
Aus diesem Grund wurden Versuche unternommen miniaturisierbare Referenzelektroden
ohne Bezugselektrolyt zu entwickeln. Dabei wurde zum einen versucht, die Oberfläche
eines pH-sensitiven ISFETs derart zu modifizieren, daß die pH-Sensitivität unterdrückt
wird. Berechnungen (A. Van den Berg, P. Bergveld, D. N. Reinhoudt,
E.J.R. Sudhölter, Sensors and Actuators 8 (1985) 129-148) hatten gezeigt, daß durch eine drastische Verringerung der Hydroxylgruppenzahl an der Sensoroberfläche die pH-Sensitivität stark herabgesetzt werden kann. Es wurde versucht, dieses durch Ankopplung verschiedener siliciumorganischer Verbindungen an die Hydroxylgruppen der Sensoroberfläche zu erreichen. Es zeigte sich aber, daß es nicht möglich war, den notwendigen sehr hohen Anteil an Hydroxylgruppen über einen für den praktischen Einsatz des Sensors ausreichenden Zeitraum zu blockieren, so daß diese Art der Referenzelektrode bisher keine praktische Anwendung gefunden hat.
E.J.R. Sudhölter, Sensors and Actuators 8 (1985) 129-148) hatten gezeigt, daß durch eine drastische Verringerung der Hydroxylgruppenzahl an der Sensoroberfläche die pH-Sensitivität stark herabgesetzt werden kann. Es wurde versucht, dieses durch Ankopplung verschiedener siliciumorganischer Verbindungen an die Hydroxylgruppen der Sensoroberfläche zu erreichen. Es zeigte sich aber, daß es nicht möglich war, den notwendigen sehr hohen Anteil an Hydroxylgruppen über einen für den praktischen Einsatz des Sensors ausreichenden Zeitraum zu blockieren, so daß diese Art der Referenzelektrode bisher keine praktische Anwendung gefunden hat.
Weiterhin wurde versucht insensitive Polymermembranen als
Referenzelektrodenoberfläche zu verwenden. Es wurden "Ion blocking polymers"
(T. Matsuo, H. Nakajima, Sensors and Actuators 5 (1984) 293-305) und "ion unblocking
polymers"(Doktorarbeit, Peter van der Wal, Universität Twente 1991) untersucht. Es
konnte in beiden Fällen kein ausreichend stabiles Potential erzielt werden. Das ist auch
verständlich, da beiden Anordnungen kein stabiler potentialbildender Prozeß zu Grunde
liegt.
Ferner wurde eine Referenzelektrode auf der Basis einer fluoridsensitiven Elektrode
beschrieben (F. Lindsat, W. Moritz, Poster Eurosensors 92, San Sebastian). Dazu wurde
festes CaF2 als poröse Schicht über einer fluoridsensitiven Membran abgeschieden.
Darüber befand sich eine Polymermembran, die die Diffusion hemmte. Dadurch wird
eine konstante Fluoridionenaktivität in der Nähe der sensitiven Membran aufgebaut. Der
große Nachteil dieser Anordnung liegt in der starken Beeinflußbarkeit der
Fluoridionenaktivität durch die Lösungszusammensetzung. So wird die
Fluoridionenaktivität stark durch die Calciumionenaktivität beeinflußt. Weiterhin führt
die geringe Ionenkonzentration im Bezugselektrolytraum zu stark
konzentrationsabhängigen Diffusionspotentialen.
Bisher erfüllt also keine der entwickelten Lösungen die Anforderungen an eine
miniaturisierbare Referenzelektrode. Referenzelektroden ohne Bezugselektrolyt erfüllen
weder theoretisch noch praktisch die Anforderungen an Potentialkonstanz und sind damit
bisher ungeeignet. Miniaturisierte Referenzelektroden 2. Art mit Referenzelektrolyt
besitzen nur eine geringe Lebensdauer, und es gibt eine Vielzahl von gewöhnlich in
Meßlösungen vorkommenden Stoffen, die das Ag/AgCl-System bei Eindiffusion in den
kleinen Bezugselektrolytraum stören.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine miniaturisierbare
Bezugselektrode mit Bezugselektrolyt zu entwickeln, die sich gegenüber den bekannten
Lösungen durch vergrößerte Lebensdauer und wesentliche Verringerung der störenden
Stoffe auszeichnet.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine porchloratsensitive oder
kaliumsensitive Membran (Membran an deren Grenzfläche zu einer Lösung sich ein von
der Aktivität von Perchlorationen oder von Kaliumionen in der Lösung abhängiges
Potential einstellt) in Kontakt mit einer Elektrolytlösung oder einer durch ein Gel
stabilisierten Elektrolytlösung (Bezugselektrolyt) steht. Diese Elektrolytlösung enthält das
Perchloration. Sie befindet sich gemeinsam mit einem in fester Form abgeschiedenen
Salz der Perchlorsäure, dessen Sättigungskonzentration sich zumindest in Membrannähe
eingestellt hat, in einem Raum (Bezugselektrolytraum). Von diesem
Bezugselektrolytraum besteht mindestens ein Elektrolytkontakt zur Meßlösung.
Man erreicht dadurch eine Verlängerung der Lebensdauer gegenüber Elektroden 2. Art
und eine Verringerung der Anzahl der störenden Stoffe gegenüber allen bisher bekannten
miniaturisierbaren Referenzelektroden. Die Potentialkonstanz dieser neuen
Referenzelektrode wird dadurch erreicht, daß die Aktivität des potentialbestimmenden
Perchlorates konstant gehalten wird. Das geschieht dadurch, daß sich in der Lösung über
einem in fester Form abgeschiedenen Salz der Perchlorsäure immer die
Sättigungsaktivität des Perchlorates einstellt.
Die Verlängerung der Lebensdauer gegenüber herkömmlichen Elektroden 2. Art wird
dadurch erreicht, daß ein Bezugselektrolyt weit geringerer Löslichkeit als bei den
Referenzelektroden 2. Art verwendet wird. Wird dieser Bezugselektrolyt in fester Form
im Bezugselektrolytraum abgeschieden, bleibt die Aktivität des potentialbestimmenden
Ions bis zur vollständigen Auflösung des Bezugselektrolyten konstant. Dazu ist ein weit
höheres Flüssigkeitsvolumen als bei den in herkömmlichen Elektroden 2. Art
verwendeten Bezugselektrolyten erforderlich. Bei gleicher Konstruktion des
Bezugselektrolytraumes wird die Lebensdauer erheblich vergrößert. Eine besonders
vorteilhafte Variante dieser neuen Referenzelektrode ist eine perchloratsensitive
Membran in Kombination mit festem Kaliumperchlorat im Flüssigkeitsraum, in dem sich
dann die Sättigungskonzentration des Perchlorates ausbildet. Die Löslichkeit ist mit
0,12 mol/l Wasser wesentlich geringer als die Löslichkeit von KCl mit 4,61 mol/l, so
daß eine wesentliche Lebensdauerverlängerung zu erwarten ist. Andererseits ist die
Löslichkeit groß genug, um eine ausreichende Leitfähigkeit im Flüssigkeitsraum zu
erreichen, und die Bildung von stark konzentrationsabhängigen Diffusionspotentialen zu
verhindern. Weiterhin sind die Ionenbeweglichkeiten von K⁺- und ClO4⁻-Ionen ähnlich,
was ebenfalls zu geringen Diffusionspotentialen führt. Die Verringerung der
Störeinflüsse wird durch die Verwendung der sehr selektiven Perchloratmembran
erreicht. In Gegenwart von 0, 12 mol Perchlorat/l sind kaum Störungen durch die
Probenmatrix zu erwarten. Mögliche Störionen wie Cl⁻ und NO3⁻ müßten in der
Meßlösung in um mehrere Zehnerpotenzen höheren Konzentrationen als das Perchlorat
vorliegen, um zu stören, was unmöglich ist. Das K⁺-Ion stört nur bei Konzentrationen
über 0, 12 mol/l, durch Änderung der Gleichgewichtsaktivität an Perchlorat entsprechend
dem Löslichkeitsprodukt, die äußerst selten zu erwarten sind. Das Perchlorat selbst ist
nahezu nie in höheren Konzentrationen in Meßlösungen zu erwarten.
Der Bezugselektrolytraum kann durch Hohlräume beliebiger Geometrie in beliebigem
Material oder nur durch das Gel selbst, das noch teilweise durch eine Polymerschicht
abgedeckt sein, kann gebildet werden. Dabei sind Geometrien mit kleinen Öffnungen
vorzuziehen, um eine möglichst langsame Vermischung von Bezugselektrolyt und
Meßlösung zu erreichen. Bei Siliciumsensoren kann der Bezugselektrolytraum
vorzugsweise durch Ätzstrukturen, z. B. durch über den ganzen Wafer durchgeätzte
pyramidenförmige Mikrocontainments mit kleinen Öffnungen zur Lösungsseite, gebildet
werden.
Zwischen Meßlösung und Bezugselektrolytraum muß ein Elektrolytkontakt hergestellt
werden, d. h. die Grenzfläche zwischen den beiden Flüssigkeiten muß so gestaltet
werden, daß eine Überführung von Ionen zwischen Bezugselektrolytraum und
Meßlösung möglich ist.
Dieser Elektrolytkontakt kann durch eine kleine Öffnung, ein Diaphragma, einen Schliff,
die Gel/Wasser Grenzfläche oder andere dem Fachmann bekannte Anordnungen
hergestellt werden. Es ist auch möglich zwischen Bezugselektrolyt und Meßlösung noch
einen oder mehrere Stromschlüssel zu schalten, die einen oder mehrere weitere
Elektrolyten enthalten.
An der Grenzfläche zwischen zwei Elektrolytlösungen verschiedener Zusammensetzung
tritt durch die Diffusion von Ionen aus der einen Lösung in die andere infolge der
unterschiedlichen Diffusionsgeschwindigkeit der Ionen eine Spannung auf, die als
Diffusionspotential bezeichnet wird. Dieses Diffusionspotential kann durch Zusatz
geeigneter Elektrolyte, die entgegengesetzte Ionenbeweglichkeitsdifferenzen wie die des
Kations des Bezugselektrolyten und des ClO4⁻-Ions haben, verringert werden (z. B.
sinkt bei Verwendung von KClO4 als Bezugselektrolyt durch Zusatz von festem
Ca2SO4, (dessen Sättigunskonzentration sich im Bezugselektrolytraum einstellt) das
nach der Hendersenschen Gleichung berechnete Diffusionspotential gegenüber Wasser
von -16 auf -8,5 mV).
Um den Meßkreis zu schließen muß die perchloratsensitive Membran von der Rückseite
kontaktiert werden.
Als inneres Ableitsystem für die Kontaktierung der ionensensitiven Membran auf der
dem Flüssigkeitsraum entgegengesetzten Seite kann jede aus der Potentiometrie bekannte
Konstruktionsmöglichkeit eines Festkontaktes, z. B. Silber oder ein ISFET, oder ein
Flüssigkontakt verwendet werden.
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den nachfolgenden
Ausführungsbeispielen der Erfindung anhand der Zeichnung.
Fig. 1 zeigt eine miniaturisierte Referenzelektrode, die in ein durch anisotrope
Ätztechniken hergestelltes pyramidenförmiges Mikrocontainment im Silicium integriert
wurde.
Dabei hat die spitze Öffnung des Containments Kontakt zur Meßlösung. Im unteren Teil
des Containments wurde festes KClO4 in einem wäßrigen Gel abgeschieden, in dem sich
zumindest in Membrannähe die Sättigungskonzentration des KClO4 eingestellt hat. Über
diesem Gel wurde die perchloratsensitive Membran aufgebracht. Der elektrische Kontakt
zum Träger wurde über einen Silberleitkleber hergestellt.
Fig. 2 zeigt eine Referenzelektrode, die in einer Polypropylenspitze hergestellt wurde. In
der Spitze befindet sich festes KClO4 und festes CaSO4 in einem wäßrigen
Polyhydroxyethylmethacrylat-Gel. In dieses Gel taucht eine Perchloratsensitive "coated
wire elektrode" mit einer perchloratsensitiven PVC-Matrixmembran. Diese Elektrode
wurde als Referenzelektrode für pH und Nitratbestimmungen verwendet. In Fig. 3 ist die
Kalibrierkurve für die Nitratbestimmung gegen die neue Referenzelektrode und gegen
eine herkömmliche Kalomelreferenzelektrode dargestellt. Die Ergebnisse zeigen, daß die
Referenzelektrode für praktische Messungen geeignet ist.
Fig. 4 zeigt eine miniaturisierte Referenzelektrode auf der Oberfläche eines ISFETs. Auf
dem Gateisolator eines ISFETs wurde eine perchloratsensitive Polymermatrixmembran
abgeschieden. Darüber befindet sich festes KClO4 in einem Gel, das eine wäßrige
Perchloratlösung enthält. Das Gel wurde bis auf eine kleine Öffnung von einer
Polymerschicht abgedeckt.
Fig. 5 zeigt eine Referenzelektrode in einem Glaskörper. Der Glaskörper ist durch ein
Diaphragma mit der Meßlösung verbunden. Im Glaskörper befinden sich festes KClO4
und eine gesättigte KClO4-Lösung. In diese Lösung taucht eine herkömmliche
perchloratsensitive Polymermatrixmembranelektrode mit flüssiger Innenableitung.
Claims (10)
1. Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode zur Erzeugung eines konstanten
Bezugs- oder Referenzpotentials in beliebigen Lösungen, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Membran, an deren Grenzfläche zu einer Lösung sich ein von der Aktivität von
Perchlorationen oder von Kaliumionen in der Lösung abhängiges Potential einstellt
(perchloratsensitive Membran oder kaliumsensitive Membran), in Kontakt mit einer
Elektrolytlösung oder einer durch ein Gel stabilisierten Elektrolytlösung
(Bezugselektrolyt), die das Perchloration enthält, steht, die sich gemeinsam mit einem in
fester Form abgeschiedenen Salz der Perchlorsäure, dessen Sättigungskonzentration sich
zumindest in Membrannähe eingestellt hat, in einem Raum (Bezugselektrolytraum)
befindet, von dem mindestens ein Elektrolytkontakt zur Meßlösung besteht.
2. Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der Bezugselektrolytraum durch Hohlräume beliebiger Geometrie in
beliebigem Material oder nur durch das Gel selbst, das noch teilweise durch eine
Polymerschicht abgedeckt sein kann, gebildet wird.
3. Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der Bezugselektrolytraum in einem Siliciumsensor vorzugsweise
durch Ätzstrukturen, z. B. durch über den ganzen Wafer durchgeätzte pyramidenförmige
Mikrocontainments mit kleinen Öffnungen zur Lösungsseite, gebildet wird.
4. Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der Elektrolytkontakt zwischen Meßlösung und Flüssigkeitsraum
durch eine kleine Öffnung, ein Diaphragma, einen Schliff, die Gel/Wasser Grenzfläche
oder andere dem Fachmann bekannte Anordnungen hergestellt wird.
5. Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, daß sich zwischen Bezugselektrolytraum und Meßlösung ein
Stromschlüssel mit einem oder mehreren weiteren Elektrolyten befindet.
6. Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß als perchloratsensitive Membran eine ionensensitive
Polymermatrixmembran mindestens bestehend aus einem Weichmacher, einer
Polymermatrix und einer aktiven Komponente, die das Salz eines großen liphophilen
Kations und eines weniger liphophilen Anions ist, verwendet wird.
7. Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß als Bezugselektrolyt vorzugsweise Kaliumperchlorat verwendet
wird.
8. Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß als inneres Ableitsystem für die Kontaktierung der ionensensitiven
Membran auf der dem Bezugselektrolytraum entgegengesetzten Seite jede aus der
Potentiometrie bekannte Konstruktionsmöglichkeit eines Festkontaktes, z. B. Silber oder
ein ISFET, oder ein Flüssigkontakt, verwendet werden kann.
9. Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß neben dem Perchlorat weitere Elektrolyte zur Verringerung von
Diffusionspotentialen im Flüssigkeitsraum enthalten sind.
10. Verfahren zur Herstellung der Referenzelektrode nach den Ansprüchen 1 bis 9.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19934302322 DE4302322C2 (de) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19934302322 DE4302322C2 (de) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | Langlebige miniaturisierbare Referenzelektrode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE4302322A1 true DE4302322A1 (de) | 1994-08-04 |
DE4302322C2 DE4302322C2 (de) | 1998-09-10 |
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