DE4242491C2 - Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters

Info

Publication number
DE4242491C2
DE4242491C2 DE4242491A DE4242491A DE4242491C2 DE 4242491 C2 DE4242491 C2 DE 4242491C2 DE 4242491 A DE4242491 A DE 4242491A DE 4242491 A DE4242491 A DE 4242491A DE 4242491 C2 DE4242491 C2 DE 4242491C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
film
mass
ceramic
powder
slip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE4242491A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4242491A1 (de
Inventor
Markus Dipl Ing Hildebrand
Georg Dr Kalawrytinos
Constantin Dr Zografou
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OBERFLAECHENTECHNIK PALLAS GMB
Original Assignee
OBERFLAECHENTECHNIK PALLAS GMB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by OBERFLAECHENTECHNIK PALLAS GMB filed Critical OBERFLAECHENTECHNIK PALLAS GMB
Priority to DE4242491A priority Critical patent/DE4242491C2/de
Publication of DE4242491A1 publication Critical patent/DE4242491A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4242491C2 publication Critical patent/DE4242491C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D67/00Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0048Inorganic membrane manufacture by sol-gel transition
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D39/00Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/20Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of inorganic material, e.g. asbestos paper, metallic filtering material of non-woven wires
    • B01D39/2068Other inorganic materials, e.g. ceramics
    • B01D39/2072Other inorganic materials, e.g. ceramics the material being particulate or granular
    • B01D39/2075Other inorganic materials, e.g. ceramics the material being particulate or granular sintered or bonded by inorganic agents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D67/00Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0041Inorganic membrane manufacture by agglomeration of particles in the dry state
    • B01D67/00411Inorganic membrane manufacture by agglomeration of particles in the dry state by sintering
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02Inorganic material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2323/00Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/08Specific temperatures applied
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2323/00Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/12Specific ratios of components used

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters aus einem keramischen Träger, auf den ein Al₂O₃- oder ZrO₂- oder TiO₂-Filtermedium in Form einer gesinterten Folie aufgebracht wird.
Allgemein bekannte Mikrofilter werden nach dem sogenannten Sol/Gel-Prozeß hergestellt. Dabei dienen für Al₂O₃-Filter ein Aluminiumalkoholat und Wasser als Ausgangskomponenten, die separat auf Hydrolysetemperatur gebracht und an­ schließend gefällt werden. Es entstehen Boehmitkolloide, die durch Säurezugabe in ein stabiles Sol überführt werden. Je nach den Hydrolyse- oder Solstabilisierungs­ parametern, wie Wasseranteil, Säureart und -anteil, variiert die Größe der Kolloide zwischen 1 und 100 nm bei unterschiedlicher Form. Nach Zugabe eines Binders wird in dieses Sol ein dünner, poröser keramischer Träger über eine Dauer von wenigen Sekunden bis zu einigen Minuten eingetaucht. Aufgrund von Kapillar­ kräften dringt das Wasser in die Poren des keramischen Trägers ein, wodurch eine Aufkonzentrierung des Sols stattfindet, bis dieses geliert. Das Gel liegt schließlich nach Art eines Filterkuchens auf dem keramischen Träger, der als mechanische Stütze dient. Die Dicke des Trägers wird von der erforderlichen mechanischen Stabilität bestimmt. Durch einen Kalzinierungsvorgang oberhalb 390°C bildet sich aus dem Boehmit γ-Al₂O₃. Das so hergestellte Filtermedium zeichnet sich durch eine enge Porenverteilung aus, die im Bereich von 4 nm bis 10 µm liegt. Die offene Porosität beträgt ca. 40-50%. Die Porenweite hängt hauptsächlich von der Größe und Form der Boehmitkolloide und den Kalzinierungsbedingungen ab. Sie nimmt mit der Temperatur langsam zu und zeigt ab ca. 900°C einen sprunghaften Anstieg. Dieser Effekt der Porenvergrößerung tritt auch bei Filtermedien aus ZrO₂ (ab 700°C) und TiO₂ (ab 500°C) auf. Daraus resultiert, daß für diese Filtermedien Einsatztemperaturen von ca. 800°C nicht überschritten werden dürfen, da sonst ein unkontrolliertes Porenwachstum einsetzt. Die Dotierung von Boehmit mit Lanthan führt zwar zu einer Verbesserung der Stabilität bis zu 1000°C, wodurch jedoch der Einsatzbereich von Mikrofiltern mit derartigen Filtermedien auf bestimm­ te Gebiete, wie die Lebensmittelindustrie und die Biotechnologie, wo eine Sterilisie­ rung angestrebt wird, beschränkt ist.
Aus der DE 38 40 137 C1 ist ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Filterelements bekannt, das im Gegensatz zu einem nach dem Sol/Gel-Prozeß hergestellten Filter eine höhere Temperaturbeständigkeit aufweist, ohne daß die Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren und Laugen verschlechtert ist. Nach diesem vorbekannten Verfahren wird ein für sich gesinterter, keramischer, poröser Stützkörper mit mindestens einer Folie aus einem keramischen, sinterfähigen, oxidischen oder nichtoxidischen Pulver und temporären Binder verbunden. An­ schließend wird zunächst der temporäre Binder ausgeheizt und dann die Folie mit dem Stützkörper mittels Sintern verbunden.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel dieses vorbekannten Verfahrens wird ein Aluminiumoxid-Trägerrohr aus miteinander versinterten Aluminiumoxidkörpern mit einer mittleren Korngröße von 35 µm und einer Porosität von 20% mit einer 50 µm dicken keramischen Gießfolie belegt. Danach wird das Aluminiumoxyd-Träger­ rohr einer isostatischen Kompression unterzogen, um die Haftfähigkeit der Folie vor dem eigentlichen Versinterungsvorgang zu verbessern. In einer sich anschließenden ersten Temperaturbehandlung bis 400°C wird die Hauptmenge der organischen Bestandteile ausgeheizt. Der sich daran anschließende Sinterprozeß bei 1480°C während einer Haltezeit von zwei Stunden soll zum Versintern reaktiver Tonerde mit dem Trägerrohr führen, auf den sich eine Membranschicht mit einem mittleren Porendurchmesser von 0,8 µm ausbilden soll.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters der eingangs beschriebenen Art vorzuschlagen, bei dem die Größe der Porenkanäle unabhängig von der Korngröße und den Sinterbedingungen einstellbar ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein Verfahren mit den im Patentanspruch 1 angegebenen Verfahrensschritten vorgeschlagen.
Durch Versuche konnte nachgewiesen werden, daß sich ein nach dem erfindungs­ gemäßen Verfahren hergestellter Mikrofilter mit der aus einem Schlicker hergestell­ ten gesinterten Folie als in an sich bekannter Weise getrennt erzeugtes Filtermedi­ um, auf einen keramischen Träger aufgebracht, in hervorragender Weise zur Reinstfiltration von heißen Gasen und Flüssigkeiten, insbesondere im Bereich der analytischen Meßtechnik, eignet.
Die thermische Stabilität eines nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestell­ ten Mikrofilters ist im Gegensatz zu nach dem Sol/Gel-Prozeß hergestellten Mikrofil­ tern bis zu 100 K unterhalb der Brenntemperatur (< 1300°C) ausgezeichnet.
Bei konventionellen Foliengießprozessen werden in der Regel organische Lösungs­ mittel eingesetzt, deren Dämpfe toxisch und leicht entzündlich sind.
Für das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich die Viskosität des zunächst herge­ stellten Schlickers, der vorzugsweise als keramisches Pulver Al₂O₃-Pulver mit einem mittleren Korngrößendurchmesser (d50) von 0,6 µm enthält, so genau ein­ stellen, daß daraus < 1 mm dünne Folien gegossen werden können, nachdem der Suspension zuvor ein Binder, ein Plastifizierungsmittel, ein Verflüssiger und gegebe­ nenfalls ein Benetzungsmittel zugesetzt worden sind.
Der Schlicker sollte maximal 80 M.-% Al₂O₃, bis zu 0,5 M.-% MgO, mindestens 4 M.-% Binder einschließlich Plastifizierer und bis zu 1,5 M.-% Verflüssiger sowie bis zu 0,5 M.-% Benetzungsmittel und mindestens 15 M.-% Wasser enthalten.
Im ungebrannten Zustand ist die aus dem Schlicker gegossene Folie plastisch und wird zunächst getrocknet werden, bevor daraus ein Ausschnitt entsprechend der Größe der Grundfläche des keramischen Trägers unter Berücksichtigung der Brennschwindung hergestellt wird.
Während der nachfolgenden Sinterung des Folienausschnittes wird dieser zwischen zwei porösen keramischen Platten angeordnet, damit der Folienausschnitt sich nicht wölben kann, sondern seine ebene Form beibehält.
Zur Sinterung des Folienausschnittes dieser bis zum Ausbrand des Binders mit einer Aufheizgeschwindigkeit von höchstens 1 K/min erhitzt, worauf die Aufheizge­ schwindigkeit erhöht und die Sinterung des Folienausschnittes nach kurzer Halte­ zeit auf einer Temperatur von mindestens 1300°C abgeschlossen wird.
Beim Brennen zu beobachtende hohe Schwindungswerte des Folienausschnittes sind in den relativ niedrigen Feststoffgehalten bzw. den hohen Bindergehalten begründet.
Während Ausführungsbeispiele zeigten, daß die lineare Schwindung in der Folienebene unter 20% bleibt, war die Dickenschwindung mit 25-30% deutlich höher, was auf die zwar geringe, aber doch vorhandene Belastung durch die porösen keramischen Platten zurückzuführen sein dürfte.
Soweit verschiedene Folienproben wesentlich weniger Schwindung zeigten, kann die Ursache auch eine Haftreibung der rauhen Oberfläche an den porösen keramischen Platten sein, die die Schwindung gebremst haben könnten. Außerdem führt auch ein höherer Grobkornanteil zu geringerer Schwindung.
Zu Versuchszwecken wurden Folienproben aus Schlicker mit folgenden Materialien hergestellt:
Lösungsmittel: Wasser
Pulver: A 16 SG, A 17 NE
Verflüssiger: Dispex® A 40
Binder: KB 3064
Die nach Vorversuchen optimierten Zusammensetzungen der einzelnen Schlicker sind in der nachfolgenden Tabelle 1 ausgewiesen:
Dem Schlicker AC wurde Kohlenstoff in Form von feinverteiltem Ruß zugegeben, um die Porosität durch das Ausbrennen des Kohlenstoffs bei höheren Temperaturen zu vergrößern.
Neben den Schlickern, die nur A 16 SG enthielten, wurden auch Schlicker mit A 17 NE bzw. Mischungen aus A 16 SG und A 17 NE hergestellt, deren Zusammensetzungen in der nachfolgenden Tabelle 2 ausgewiesen sind:
Ein extrem hoher Binderanteil der Folienproben HB1-HB4 führte zur Entstehung von wesentlich mehr Porenkanälen als z. B. bei der dichtesten Folienprobe A3; durch die hohe Porosität wurde der Sinterprozeß um ca. 100 K verschoben.
Der in der Folienprobe AC enthaltene Kohlenstoff erzeugte sichtbar höhere Porosität, die, hervorgerufen durch die bereits nach dem Trocknen vorliegende "Isolation" der Partikel, von einer äußerst schwachen Versinterung begleitet wurde.
Die bereits nach dem Gießen erkennbaren Inhomogenitäten der Folienproben AA1-AA4 waren in einem REM gut zu erkennen. Die bei einigen Folienproben sichtbare Lagenbildung war vermutlich durch die Ausrichtung der teils flachen, großen Partikel beim Folienguß bedingt. Auch die langgestreckte Form von Makroporen, die teilweise vorlagen und auf unzureichende Entlüftung zurückgeführt werden können, stammt vom Folienziehen.
Bis auf wenige Ausnahmen zeigten die Proben A1-A3 und HB1-HB4 monomodale Porenverteilungen. Die Porengröße lag zwischen 0,18 (A3/1300/1440°C) und 0,57 µm. Das festgestellte Porenwachstum mit der Brenntemperatur hängt mit dem einsetzenden Kornwachstum zusammen.
Die durch das Binderausbrennen bei den Folienproben HB1-HB4 mit extrem hohem Bindergehalt entstandenen Poren waren nicht größer als bei Folienproben mit geringerem Bindergehalt, jedoch stieg die offene Porosität dadurch merklich an.
Der Anteil an geschlossener Porosität war sehr gering, da es mit über 10 Vol.-% offener Porosität kaum zur Bildung geschlossener Poren kommen kann.
Die Bewertung der offenen Porosität aufgrund von Durchlässigkeitsmessungen zeigte, daß durch extrem hohe Binderanteile der Folienproben HB1-HB4 ein starker Zuwachs der durchströmbaren Poren erfolgte. Obwohl z. B. für die Folienproben A3/1300°C und HB4/1500°C die offene Porosität etwas über 30 Vol.-% betrugt, war die Durchlässigkeit der Folienprobe HB4/1500°C um ein Vielfaches hoher, da die offenen Poren bei der dichtesten Folienprobe A3 offensichtlich als Porensäcke, die nicht zur Durchströmbarkeit beitragen, vorlagen, während bei der Folienprobe HB4 durch das Ausbrennen des hohen Binderanteils (45 M.-%) viele durchgehende Porenkanäle entstehen konnten, die eine wesentlich höhere Durchströmbarkeit bei gleicher Porosität zur Folge hatten.
Eine Umwandlung von Porenkanälen zu Porensäcken hat bei den Folienproben A1 und A2 bei einer Erhöhung der Brenntemperatur von 1300°C auf 1400°C und bei den Folienproben HB1-HB4 von 1400°C auf 1500°C stattgefunden, wie der starke Rückgang der Durchlässigkeit für diese Übergänge zeigte. Die verzögerte Sinterung bei den Folienproben HB1-HB4 spiegelte sich auch hier wider.
Berücksichtigt man die Gründichten von 52-62% der theoretischen Dichte, was für eine drucklose Formgebung sehr hoch ist, so fällt auf, daß die Rohdichten der bei 1300°C gebrannten Folienproben teilweise sogar darunter liegen. Aufgrund des Binderverlustes und der gerade erst einsetzenden Sinterung sind die Folienproben in diesem Stadium am porösesten.
Die höchste erreichte Dichte bei der Folienprobe A3/1600°C mit ϕ = 3,84 g/cm³ ist vergleichbar mit den in der Literatur angegebenen Werten für Substratfolien (ϕ < 3,8 g/cm³), so daß mit den verwendeten Komponenten auch für diesen Einsatzzweck geeignete Folien hergestellt werden können.
Die thermische Stabilität im Hinblick auf Veränderungen der Porenstruktur erwies sich bei allen Folienproben als sehr hoch. Es waren bei Versuchstemperaturen bis zu 100 K unter der Brenntemperatur keine Mikrostrukturänderungen nachweisbar. Der Einfluß der Temperaturhöhe ist also wesentlich größer als die jeweilige Dauer der Temperatureinwirkung. Die thermische Stabilität und die Anwendungstemperaturen der Folienproben als Filtermedium sind demnach erheblich höher als die von über den Sol/Gel-Prozeß hergestellten Membranen.

Claims (4)

1. Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters aus einem keramischen Träger, auf den ein Al₂O₃- oder ZrO₂- oder TiO₂-Filtermedium in Form einer gesinter­ ten Folie aufgebracht wird, wobei
  • - der Träger und die gesinterte Folie mit in Strömungsrichtung eines zu filternden Mediums durchgehenden Porenkanälen versehen werden, von denen die Porenkanäle in der gesinterten Folie den Filterdurch­ lässigkeitsgrad bestimmen,
  • - zur Formung der gesinterten Folie zunächst aus einer Wasser-Pulver-Sus­ pension mit bis zu 80 M.-% keramischen Pulvers durch Zugabe eines Plastifizierungsmittels und eines Verflüssigers ein gießbarer Schlicker hergestellt wird,
  • - dem gießbaren Schlicker bei der Sinterung ausbrennbare Partikel zugesetzt werden,
  • - aus dem gießbaren Schlicker die Folie gegossen wird, die gegossene Folie getrocknet wird,
  • - ein Folienausschnitt entsprechend der Größe der Grundfläche des keramischen Trägers unter Berücksichtigung der Brennschwindung beim Sintern aus der getrockneten Folie hergestellt wird,
  • - der Folienausschnitt zwischen zwei porösen keramischen Platten an­ geordnet und bis zum Ausbrand des Binders mit einer Aufheizge­ schwindigkeit von höchstens 1 K/min erhitzt wird,
  • - anschließend die Aufheizgeschwindigkeit erhöht und die Sinterung des Folienausschnitts nach kurzer Haltezeit bei einer Temperatur von mindestens 1300°C abgeschlossen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als keramisches Pulver Al₂O₃-Pulver mit einem mittleren Korngrößendurchmesser (d₅₀) von 0,6 µm eingesetzt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der gieß­ bare Schlicker aus maximal 80 M.-% Al₂O₃-Pulver, bis zu 0,5 M.-% MgO, mindestens 4 M.-% Binder einschließlich Plastifizierer und bis zu 1,5 M.-% Verflüssiger und mindestens 15 M.-% Wasser hergestellt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Herstellung des gießbaren Schlickers bis zu 0,5 M.-% eines Benet­ zungsmittels beigegeben werden.
DE4242491A 1992-12-16 1992-12-16 Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters Expired - Fee Related DE4242491C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4242491A DE4242491C2 (de) 1992-12-16 1992-12-16 Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4242491A DE4242491C2 (de) 1992-12-16 1992-12-16 Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4242491A1 DE4242491A1 (de) 1994-06-23
DE4242491C2 true DE4242491C2 (de) 1996-07-18

Family

ID=6475448

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4242491A Expired - Fee Related DE4242491C2 (de) 1992-12-16 1992-12-16 Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4242491C2 (de)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT342618B (de) * 1973-11-15 1978-04-10 Mitsui Mining & Smelting Co Filtriermedium
JPS61138512A (ja) * 1984-12-12 1986-06-26 Toshiba Ceramics Co Ltd セラミツクフイルタの製造方法
DE3840137C1 (de) * 1988-11-29 1990-03-29 Feldmuehle Ag, 4000 Duesseldorf, De

Also Published As

Publication number Publication date
DE4242491A1 (de) 1994-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69518548T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines keramischen Substrates
DE68907871T2 (de) Poröse anorganische membran mit reaktiven anorganischen bindemitteln und verfahren.
DE60318062T2 (de) Mullit-aluminium titanat dieselabgasfilter
DE10331049B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines porösen Keramikkörpers, danach hergestellter poröser Keramikkörper und dessen Verwendung
DE69101954T2 (de) Titandioxidsubstrate und deren Herstellung.
EP0817723B1 (de) Verfahren zur herstellung von schwindungsangepassten keramik-verbundwerkstoffen
DE60320641T2 (de) Filter und membranträger aus reaktionsgebundenem aluminiumoxid
DE69610480T2 (de) Anorganischer, poröser gesinterter oder kompaktierter Körper und deren Verwendung als Filter
DE2813904C2 (de)
EP3468939B1 (de) Zirkonoxid-keramik, zellularer werkstoff daraus und verfahren zur herstellung der zirkonoxid-keramik
DE2240673A1 (de) Verfahren zur herstellung von poroesen membranen oder zusammengesetzten trennschichten fuer gasdiffusionsanlagen
DE3887140T2 (de) Herstellung von komplexen keramischen und metallischen hochleistungsformkörpern.
EP0445067A2 (de) Poröser Keramikkörper
DE102007000396B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines Körpers mit Wabenstruktur
EP2727640A1 (de) Partikelfilter
DE60016093T2 (de) Keramikmembran
WO2014154343A1 (de) Verfahren zur herstellung von keramiken mit variierender porenstruktur
EP0826651A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Oxidationsschutzes für poröse Keramiken auf der Basis von SiC und Si3N4
DE102017216964B4 (de) Keramischer Filter für die Aluminiumschmelzefiltration und Verfahren zu seiner Herstellung
DE60032198T2 (de) Verfahren zur herstellung von filtern mit keramisch porösem film als trennfilm
EP3894371A1 (de) Verfahren zur herstellung von dünnen transparenten keramischen teilen und dünne transparente keramische teile
DE4242491C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters
DE2309385B2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Aluminiumoxydsubstrats
DE3788597T2 (de) Filter für geschmolzenes Metall und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE19935271C2 (de) Matrixmaterial für Brennstoffzellen sowie Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee