DE4237276C2 - Verfahren zur Herstellung eines Stahlbandes mit einer Si und Zn enthaltenden Beschichtung durch Bedampfung - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines Stahlbandes mit einer Si und Zn enthaltenden Beschichtung durch BedampfungInfo
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Description
Diese Erfindung bezieht sich auf ein Herstellungsverfahren
für ein oberflächenbehandeltes Stahlband zur Verwendung in
Automobilen, elektrischen Haushaltsgeräten und Konstruktionen,
und im speziellen auf Herstellungsverfahren für ein
mit Si/Zn doppelt überzogenes Stahlband mit hervorragender
Korrosionsfestigkeit und eleganter Farbe.
Ein Stahlband mit seiner exzellenten mechanischen Festigkeit
und Verarbeitbarkeit wird weitläufig als Baumaterial
für Automobile, elektrische Haushaltsgeräte und
Konstruktionen verwendet. Das Stahlband besitzt aber eine
geringe Korrosionsfestigkeit, weshalb es gewöhnlich mit
Zink überzogen oder beschichtet wird, um die Lebensdauer zu
verlängern. Elektrolytisch verzinkte Stahlbänder werden gewöhnlich
als Baumaterialien für elektrische Haushaltsgeräte
verwendet, und feuerverzinkte Stahlbänder werden gewöhnlich
als Materialien zur Konstruktion verwendet.
Derartige Stahlbänder werden dem Verwender gewöhnlich in
überzogenem Zustand oder in phosphatbehandeltem Zustand
nach dem Überziehen zugeführt, dann werden die Stahlbänder
durch den Verwender für die Endanwendung bestrichen.
Seit kurzem wird die Herstellung bestrichener Stahlbänder,
die überzogen, phosphatbehandelt und ebenso bestrichen wurden,
aktiv versucht.
Das elektrolytisch verzinkte Stahlband für die Verwendung
in elektrischen Haushaltsgeräten weist Vorteile dahingehend
auf, daß der Herstellungsprozeß dessen einfach ist und es
keine Einschränkung bei der Auswahl der Substrate gibt, und
weiterhin ist die äußere Erscheinung nach Bestreichen elegant.
Jedoch weist ein elektrolytisch verzinktes Stahlband,
wenn es unbestrichen ist, eine minderwertige Korrosionsfestigkeit
auf.
Für Konstruktionen gewöhnlicherweise verwendetes feuerverzinktes
Stahlband ist ein dickbeschichtetes Band mit wenigstens
40 g/m² Beschichtungsmenge und besitzt deshalb
eine dem elektrolytisch verzinkten Stahlband überlegene
Korrosionsbeständigkeit. Ein feuerverzinktes Stahlband
weist jedoch ebenso eine minderwertige Korrosionsfestigkeit
auf, wenn es unbestrichen ist. Ferner wird die Feuerverzinkung
durch Eintauchen des Stahlbandes in Zn-Bäder, die eine
Temperatur von wenigstens 400°C besitzen, ausgeführt, und
die mechanischen Eigenschaften des Stahlbandes können während
des Eintauchens nachteilig beeinflußt werden, weshalb
die Auswahl des Stahlbandes eingeschränkt ist. Weiterhin
kann die beschichtete Oberfläche infolge des "Flitter-Form"
des feuerverzinkten Stahlbandes unregelmäßig sein.
Weiterhin werden die bestrichenen oder vorbeschichteten
Stahlbänder durch den Verfahrensschritt der Überziehung,
der Phosphatbehandlung und des Bestreichens hergestellt,
wobei der separate Bestreichschritt die Verfahren kompliziert
macht, woraus steigende Kosten resultieren.
Zwar ist aus JP 2 254 178 A ein mit Al-Zn oder Ni-Zn beschichtetes
Stahlband bekannt, auf das wahlweise Si beschichtet
wird, und welches relativ gute Korrosionseigenschaften
zeigt, jedoch liegt die Dicke der Si-Schicht in
einem Bereich, der eine variable Farbeinstellung der Oberfläche,
hervorgerufen durch einen Interferenzeffekt, kaum
zuläßt, ferner ist die Haftung der Si-Schicht auf der Zn-
Schicht minderwertig und Si kann abblättern.
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, ein
Verfahren zur Herstellung eines mit einer Si-Zn Doppelschicht
beschichteten Stahlbandes zu schaffen, das hervorragende
Korrosionsfähigkeit, selbst wenn unbestrichen,
Wärmefestigkeit und eine unterschiedliche, elegante,
gleichmäßige Farbe, aufweist, und ein entsprechend hergestellt
Stahlband.
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren
zur Herstellung eines Stahlbandes mit einer Si und
Zn enthaltenden Beschichtung durch Bedampfen geschaffen,
wobei ein konventionell Zn-beschichtetes, auf Temperaturen
von 200-270°C vorgeheiztes Stahlband bei Drücken von <0,13 µbar
über einer thermisch entgasten Si-Verdampfungsquelle
angeordnet wird und nach Entfernung einer Abdeckblende
mit 2-50 g/m² Si bedampft wird.
Entsprechend einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein
Herstellungsverfahren für ein Stahlband mit einer Si und Zn
enthaltenden Beschichtung geschaffen, wobei ein kaltgewalztes
Stahlband bei Drücken von <0,13 µbar auf Temperaturen
von 150-250°C aufgeheizt wird, über getrennten, mit Abdeckblenden
versehenen und thermisch entgasten Si- und Zn-
Verdampfungsquellen angeordnet und zunächst mit einer Zn-
Grundierung und dann mit einer 10-1000 nm dicken Si-
Schicht bei 200-270°C bedampft wird.
Die Erfindung wird vollständiger verstanden und weitere
Vorteile werden offensichtlich, wenn Bezug auf die folgende
detaillierte Beschreibung genommen wird.
Eine Si-Schicht bringt durch die Interferenz von Licht verschiedene
Farbarten hervor, die sich mit der Änderung der
Beschichtungsmenge des Si ändern, ferner besitzt Silicium
exzellente Korrosionsfestigkeit und Wärmefestigkeit. Basierend
auf den oben beschriebenen Tatsachen wurde eine sorgfältige
Studie durchgeführt, um ein mit einer Si-Zn Doppelschicht
beschichtetes Stahlband zu schaffen, das eine
exzellente Korrosionsfestigkeit, selbst wenn dünn beschichtet,
und eine ausreichende Wärmefestigkeit besitzt, und das
verschiedene und elegante einheitliche Farben aufweist. Als
Resultat wurde die vorliegende Erfindung vervollständigt.
Das mit einem der erfindungsgemäßen Verfahren mit einer Si-
Zn Doppelschicht beschichtete Stahlband umfaßt ein Stahlband,
eine untere, auf die Oberfläche des Stahlbandes beschichtete
Schicht aus Zn, und eine obere, auf die untere
Schicht vakuumbedampfte Schicht aus Si, wobei die Schichtdicke
10 nm bis 1000 nm beträgt.
Im Rahmen eines der erfindungsgemäßen Verfahren wird auf
ein konventionell mit Zn beschichtetes Stahlband, das auf
200-270°C erwärmt und oberhalb einer thermisch entgasten
Si-Verdampfungsquelle angeordnet wurde, bei Drücken
<0,13 µbar nach Entfernung einer Abdeckblende Si in einer
Menge von 2-50 g/m² aufgedampft. In diesem Fall wird ein
konventionell Zn-beschichtetes Stahlband als Substrat verwendet.
Das Beispiel der Zn-Schicht eines konventionell Zn-
beschichteten Stahlbandes beinhaltet eine konventionell
elektrolytisch verzinkte Schicht, eine feuerverzinkte
Schicht und eine vakuumbedampfte Zn-Schicht.
Beim zweiten erfindungsgemäßen Verfahren wird ein kaltgewalztes
Stahlband als Substrat verwendet, welches über getrennten,
thermisch entgasten Si- und Zn-Verdampfungsquellen,
die jeweils mit Abdeckblenden versehen sind,
angeordnet wird, und das zunächst auf 150-250°C aufgeheizt
und bei Drücken <0,13 µbar mit einer Zn-Grundierung und anschließend
bei 200-270°C mit einer 10-1000 nm dicken Si-Schicht
bedampft wird.
Einer der Vorteile der Verwendung von Si als oberer Schicht
liegt darin, daß die Si-Schicht verschiedene Farben bedingt
durch die Interferenz von Licht hervorbringt.
Ein weiterer Vorteil der Verwendung von Si als oberer
Schicht ist der, daß die obere Schicht aus Si ein Korrodieren
der unteren Schicht aus Zn infolge der exzellenten
Korrosionsfestigkeit der Si-Oberschicht verhindert.
Falls Si als obere Schicht verwendet wird, kann eine gute
Korrosionsfestigkeit erreicht werden. Für den Fall jedoch,
daß die Dicke der oberen Schicht aus Si weniger als 10 nm
beträgt, kann lokale Korrosion an den Stellen auftreten, wo
die Dicke des Si-Überzuges zu dünn ist und die untere
Schicht aus Zn bloßgelegt ist.
Auf der anderen Seite kann, für den Fall, daß die Dicke der
oberen Schicht aus Si mehr als 1000 nm beträgt, die obere
Schicht aus Si während des Prozesses beschädigt werden und
abblättern.
Demgemäß liegt die Dicke des oberen Si-Schichtüberzuges
vorzugsweise im Bereich von 10 nm bis 1000 nm, ungeachtet
der Dicke der unteren Schicht.
Wie oben dargelegt, bringt die Si-Schicht verschiedene Farben
infolge des Interferenzeffektes des einfallenden
Lichtes hervor.
Die Interferenzfarben können mit der Änderung der Filmdicke
(Überzugs- oder Schichtdicke) variieren und dementsprechend
können verschiedene Arten der gewünschten Farbe, wie z. B.
gelb, blau, grün, violett etc., durch Einstellung der Überzugsdicke
des Si erhalten werden.
Der Glanz (Schimmer) der Farbe kann durch die auf die Oberfläche
des Stahlbandes beschichtete untere Schicht aus Zn
variieren.
Das verzinkte Stahlband, das den höchstens Glanz hervorbringt,
ist ein feierverzinktes Stahlband, dessen Zn-
Schicht eine Flitter-Form der Zn-Körner zeigt.
Wenn eine Si-Schicht auf dem verzinkten Stahlband beschichtet
wird, treten infolge der Unterschiede des Glanzes unter
den Flittern verschiedene Arten von gemusterter Farbe auf.
Für den Fall, daß ein elektrolytisch verzinktes Stahlband
verwendet wird, tritt eine graue Farbe, die weniger glänzend
auf deren Oberfläche ist, hervor und dementsprechend
kann eine Oberfläche, die eine trübe und edle Farbe besitzt,
erhalten werden, wenn eine Si-Schicht auf das verzinkte
Stahlband beschichtet wird. Für den Fall, daß ein
Stahlband mit vakuumbedampftem Zn verwendet wird, besitzt
dieses ein zu dem elektrolytisch verzinkten Stahlband ähnliches
Aussehen, allerdings mit einem viel höheren Glanz
als das elektrolytisch verzinkte Stahlband, und folglich
kann eine Oberfläche mit einer glänzenden Farbe erhalten
werden, wenn eine Si-Schicht auf dem Stahlband mit vakuumbedampftem
Zn überzogen wird.
Wenn, wie oben dargelegt, Si auf das konventionelle Stahlband
überzogen wird, um ein mit einer Si-Zn Doppelschicht
überzogenes Stahlband zu bilden, hemmt das Silicium der
oberen Schicht die anfängliche Korrosion der unteren
Schicht aus Zn in einer korrosiven Umgebung, wobei die Korrosionsfestigkeit
deutlich verbessert wird.
Beispielsweise kann, gemäß der vorliegenden Erfindung, mehr
als das Fünffache der Korrosionsfestigkeit der unteren Zn-Schicht
durch Beschichten einer Si-Schicht mit einer Dicke
von nur weniger als 100 nm auf der unteren Zn-Schicht
erhalten werden.
Verschiedene Farbarten können durch direktes Beschichten
von Si auf den Stahlbändern gebildet werden, in diesem Fall
allerdings können korrosive Medien durch die in der Si-Schicht
existierenden Nadellöcher in das Stahlband eindringen
und das Stahlband kann korrodieren.
Um die Korrosionsfestigkeit und die Wetterbeständigkeit einer
mit einer Si-Zn Doppelschicht beschichteten Stahlblechbahn
unter Beibehaltung der eleganten Farbe zu verbessern,
ist es deshalb vorzuziehen, ein Schutzharz auf die obere
Schicht aus Si überzuziehen.
Beispiele für das Schutzharz beinhalten Siliciumoxid
enthaltende Harze. Die Siliciumoxid enthaltenden Harz besitzen
eine angemessene Klarheit und können deshalb die
Oberflächenfarbe bewahren, und besitzen zusätzlich
Fingerabdruckfestigkeit.
Das Schutzharz wird vorzugsweise in einer Menge von 200-
5000 mg/m² verwendet.
Das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren des mit einer
Si-Zn Doppelschicht beschichteten Stahlbandes wird im nachfolgenden
erörtert.
Das Überziehen von Si auf ein Stahlband oder verzinktes
Stahlband kann nicht mittels eines konventionellen elektroplattierenden
Verfahrens, das eine wäßrige Lösung verwendet,
durchgeführt werden, da Silicium ein Halbleitermaterial
ist, und kann nicht mittels eines Heißtauchverfahrens
ausgeführt werden, da der Schmelzpunkt zu hoch ist.
Um Silicium auf ein verzinktes Stahlband zu überziehen,
kann ein Vakuumabscheidungsverfahren bei dem erfindungsgemäßen
Verfahren angewendet werden.
Das Vakuumverdampfungsverfahren ist das ökonomischste
Verfahren, da es einfache Anlagen benötigt und eine hohe
Produktivität schafft, wohingegen das Ionenplattierverfahren
komplizierte Anlagen benötigt und für eine geringere
Produktivität sorgt, jedoch kann eine bessere Qualität des
Überzugs erreicht werden.
Eine detaillierte Erläuterung bezüglich der Verwendung des
Verfahrens wird im nachfolgenden gegeben:
Für den Fall, daß das Vakuumverdampfungsverfahren bei dem
erfindungsgemäßen Verfahren verwendet wird, umfaßt das
Verfahren die Positionierung einer Si-Verdampfungsquelle,
beschickt mit Si in einer Vakuumkammer und die Anordnung
eines konventionell elektrolytisch verzinkten Stahlbandes
oder eines feuerverzinkten Stahlbandes als Substrat über
der Si-Verdampfungsquelle, wonach die Vakuumkammer auf weniger
als 0,13 µbar evakuiert wird.
Es gibt zwei Arten von Verdampfungsquellen, die elektronenstrahlbeheizte
Verdampfungsquelle und die widerstandsbeheizte
Verdampfungsquelle.
Das Substrat des elektrolytisch verzinkten Stahlbandes oder
des feuerverzinkten Stahlbandes wird vorzugsweise alkalisch
entfettet und ultraschallgereinigt, wobei organische Lösungsmittel
verwendet werden, bevor es über der Si-Verdampfungsquelle
positioniert wird.
Danach fließt Ar-Gas in die Vakuumkammer, um zu entgasen
und um den Druck zwischen 13-130 µbar beizubehalten, danach
ist vorzugsweise eine Substratreinigung mittels einer
Glimmentladung durch Anlegen einer negativen Spannung von
500-1000 Volt durchzuführen.
Wurde der Gasausstoß (Entgasen) beendet, wird das Substrat
auf eine Temperatur von 200-270°C aufgeheizt.
Für den Fall, daß die Substrattemperatur weniger als 200°C
ist, wird die Haft- und Korrosionsfestigkeit ziemlich
schlecht, da die Kornstruktur nicht entwickelt wird.
Für den Fall, daß die Substrattemperatur höher als 270°C
ist, beginnt das Zn der unteren Schicht in die obere
Schicht aus Si zu sublimieren.
Nach Beendigung des Aufheizens des Substrates wird die Si-
Verdampfungsquelle entgast, dann wird Si mit einer Dicke
von 10-1000 nm durch Öffnen des Abdeckbleches der Si-Verdampfungsquelle
abgeschieden.
Für den Fall, daß die Herstellung des mit einer Si-Zn
Doppelschicht beschichteten Stahlbandes durch Verwendung
des Ionenplattierverfahrens erfolgt, wird die Positionierung
des Substrates und die Evakuierung der Vakuumkammer
in der selben wie bei dem Vakuumverdampfungsverfahren angewendeten
Weise durchgeführt. Das Substrat wird dann auf weniger
als 250°C aufgeheizt, und die Si-Verdampfungsquelle
wird entgast. Dann wird Si durch Öffnen des Abdeckbleches
verdampft und die Ionenplattierung wird durch Erzeugung eines
Glimmentladungsplasmas, unter Verwendung einer Anode
und eines einen Elektronenstrahl emitierenden Filaments,
das oberhalb der Verdampfungsquelle angeordnet ist, durchgeführt.
Eine kleine Menge von Ar-Gas kann zum Stabilisieren der
Glimmentladung verwendet werden. Während des Ionenplattierverfahrens
wird die Substrattemperatur durch Ionenbeschuß
erhöht. Wenn die Substrattemperatur höher als 250°C wird,
kann das Zn in der unteren Schicht des Substrates sublimieren
und sich mit der oberen Schicht aus Si vermischen,
weshalb es vorzuziehen ist, die Aufheiztemperatur des Substrates
bei weniger als 250°C zu halten.
Wenn sowohl die obere als auch die untere Schicht durch Anwendung
des Vakuumabscheidungsverfahrens gebildet werden,
werden Si und Zn in die Si- und Zn-Verdampfungsquellen
gegeben. Ein kaltgewalztes Stahlband als Substrat wird über
den Quellen angeordnet und die Vakuumkammer wird evakuiert,
um einen Druck von weniger als 0,13 µbar zu erreichen. Danach
wird das Substrat auf einer Temperatur von 150-250°C
aufgeheizt. Die Verdampfungsquelle wird entgast und Zn wird
in der gewünschten Menge auf dem Substrat (Stahlband) durch
Öffnen des Abdeckbleches der Quelle vakuumbedampft. Nachdem
die Zn-Abscheidung beendet worden ist, wird das Abdeckblech
geschlossen. Das resultierende Zn-beschichtete Substrat
wird dann auf 200-270°C aufgeheizt und Si wird auf dem Zn-
beschichteten Substrat mit einer Dicke von 10-1000 nm durch
Öffnen der Si-Verdampfungsquelle vakuumbedampft.
Daraus wird das mit der Si-Zn Doppelschicht beschichtete
Stahlband hergestellt. Um das Herstellungsverfahren zu vereinfachen,
wird die Abscheidetemperatur der Si- und der Zn-
Schicht vorzugsweise gleich gewählt, wodurch die Charakteristik
des Produktes wie z. B. die Haftung etc. verbessert
werden kann. Die Zn-Verdampfungsquelle umfaßt vorzugsweise
eine elektronenstrahlgeheizte Verdampfungsquelle oder eine
widerstandsgeheizte Verdampfungsquelle, als Si-Verdampfungsquelle
wird vorzugsweise eine elektronenstrahlgeheizte
Verdampfungsquelle verwendet. Das mit der Si-Zn Doppelschicht
beschichtete Stahlband kann mit einem bestimmten
Harz behandelt werden, um die Oberfläche dessen zu schützen.
Bevorzugt werden Si-Oxid enthaltende Harze verwendet,
die auf das Si-Zn doppelt beschichtete Stahlband in einer
konventionellen Weise überzogen werden.
Die vorliegende Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme
auf die Beispiele beschrieben, in denen "%" auf dem
Gewicht basieren, wenn nichts anderes festgelegt.
Als Substrate wurden elektrolytisch verzinkte Stahlbänder,
die durch Abscheidung von Zn auf kaltgewalztem Stahlband
mit einer Dicke von 0,7 mm hergestellt wurden, verwendet.
Die Menge der Zn-Schicht betrug 20 g/m². Die Substrate
wurden ultraschallentfettet und durch einen Widerstandsheizer
auf 250°C aufgeheizt. Das
Vakuumabscheidungsverfahren wurde durch Aufheizen und Verdampfen
von Si mit einer Reinheit von 99% mittels einer
elektronenstrahlgeheizten Verdampfungsquelle durchgeführt,
um Proben zu bilden, wobei jede eine unterschiedliche Dicke
der Si-Schicht aufweist. Die Dicken der Si-Schichten wurden
im Bereich von 5-1200 nm variiert, wie in Tabelle 1 gezeigt.
Ein kaltgewalztes Stahlband mit einer Dicke von 0,7 mm als
Substrat wurde alkalisch entfettet und mit Aceton und Alkohol
ultraschallgereinigt. Das Band wurde in einer Vakuumkammer
angeordnet und die Vakuumkammer wurde auf
0,013 µbar evakuiert. Das Substrat wurde mittels eines
Widerstandsheizers auf 250°C aufgeheizt und Zn mit einer
Reinheit von 99,9% wurde in einer Menge von 20 g/m² durch
Aufheizen und Verdampfen mittels einer tantalwiderstandsbeheizten
Verdampfungsquelle auf das Substrat gedampft. Danach
wurde Si mit einer Reinheit von 99,9% auf das Zn-beschichteten
Substrat durch Aufheizen und Verdampfen von Si
mittels einer 2 KW elektronenstrahlbeheizten Verdampfungsquelle
vakuumbedampft. Die Dicke der Si-Schicht betrug
100 nm.
Die Proben der Beispiele 7 und 8 wurden in gleicher Weise
wie in Beispiel 2 und 3 hergestellt. Das resultierende Si-
Zn-beschichtete Stahlband wurde mit Siliciumoxid enthaltendem
Harz in einer Menge von 1000 mg/m² überzogen.
Ein Si-beschichtetes Stahlband wurde durch Vakuumbedampfung
von Si auf ein kaltgewalztes Stahlband einer Dicke von
0,7 mm hergestellt (Vergleichsbeispiel 3).
Ein elektrolytisch verzinktes Stahlband wurde durch
Abscheidung von Zn in einer Menge von 20 g/m² auf
ein kaltgewalztes Stahlband mit einer Dicke von 0,7 mm
hergestellt (Vergleichsbeispiel 4). Ein feuerverzinktes
Stahlband wurde durch Feuerverzinken eines kaltgewalzten
Stahlbandes mit einer Zn-Menge von 40 g/m² hergestellt
(Vergleichsbeispiel 5).
Für die Proben der Beispiele und der Vergleichsbeispiele
wurde die Korrosionsfestigkeit, die Haftung, die Farbe und
der Glanz (Schimmer) vermessen, die Ergebnisse sind in Tabelle 1
dargestellt. Der Wert der Korrosionsfestigkeit wurde
hierbei durch die verstrichene Zeit bis zum Auftreten von
Rost bestimmt, während Salz versprüht wurde. Die Haftungswerte
wurden mittels des Tape-Tests nach einem 180°-Biegetest
bestimmt und die Farbe und der Glanz wurden durch die
Untersuchung mit dem bloßen Auge bestimmt.
Wie in Tabelle 1 gezeigt, offenbaren die Beispiele Nr. 1-8
der vorliegenden Erfindung eine höhere Leistung bei der
Korrosionsfestigkeit und der Haftung, verglichen mit den
Vergleichsnummern 1-5, und insbesondere die Beispiele Nr. 7
und 8 offenbaren eine hervorragende Korrosionsfestigkeit.
Die erfindungsgemäßen Beispiele weisen verschiedene Farben
wie z. B. gelb, blau, grün, violett und grau und einen weiten
Glanzbereich auf.
Wie oben beschrieben, sind die mit der Si-Zn Doppelschicht
beschichteten erfindungsgemäßen Stahlbänder hinsichtlich
der Korrosionsfestigkeit und der Wärmefestigkeit verbessert
und besitzen ein elegantes Äußeres und verschiedene Farbarten.
Claims (2)
1. Verfahren zur Herstellung eines Stahlbandes mit einer
Si und Zn enthaltenden Beschichtung durch Bedampfung,
dadurch gekennzeichnet, daß ein konventionell Zn-beschichtetes,
auf Temperaturen von 200-270°C vorgeheiztes
Stahlband bei Drücken von <0,13 µbar über einer
thermisch entgasten Si-Verdampfungsquelle angeordnet
wird und nach Entfernung einer Abdeckblende mit 2-
50 g/m² Si bedampft wird.
2. Verfahren zur Herstellung eines Stahlbandes mit einer
Si und Zn enthaltenen Beschichtung durch Bedampfung,
dadurch gekennzeichnet, daß ein kaltgewalztes Stahlband
bei Drücken von <0,13 µbar auf Temperaturen von
150-250°C aufgeheizt wird, über getrennten, mit Abdeckblenden
versehenen und thermisch entgasten Si- und
Zn-Verdampfungsquellen angeordnet und zunächst mit einer
Zn-Grundierung und dann mit einer 10-1000 nm
dicken Si-Schicht bei 200-270°C bedampft wird.
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