DE4214361C2 - Gasentladungsschalter - Google Patents
GasentladungsschalterInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Gasentladungsschalter
gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1. Bei einem
solchen Gasentladungsschalter des Standes der Technik ist
als Triggerteil im Kathodenrückraum eine im wesentlichen
hutförmige Steuerelektrode vorgesehen, deren Öffnung der
Entladungsstrecke zugewandt und von der Kathode getrennt
ist und die an eine Steuerspannungsquelle anschließbar
ist. Weiterhin ist als Entladungsteil eine Entladungs
strecke vorgesehen, die sich speziell in einem zentralen
Entladungsbereich einer Entladungskammer zwischen Kathode
und Anode befindet, welche Entladungskammer im Entladungs
bereich ihre maximale innere Höhe hat, die die Länge der
Entladungsstrecke bestimmt und in radialer Richtung ab
nimmt, wobei die Kathode wenigstens eine Öffnung für die
Zündung der Entladung hat, die sich in der Kathode im
Randbereich der Entladungskammer befindet.
Ein Gasentladungsschalter obiger Art ist insbesondere aus
der EP-A-0 473 813 bekannt. Neben der Dimensionierung der
hutförmigen Elektrode als Triggerteil sind dort im einzel
nen verschiedene Ausführungen des Entladungsteiles be
schrieben, der als Entladungsstrecke in einem zentralen
Entladungsbereich einer Entladungskammer zwischen Kathode
und Anode angeordnet ist, wobei dort speziell die Kathode
Öffnungen zur Injektion von Ladungsträgern zwecks Zündung
der Entladung aufweist. Die eigentliche Entladungskammer
ist dabei zwar durch die Kathodenwand vom Triggerteil ge
trennt; ansonsten schließen sich aber Triggerteil und Ent
ladungsteil unmittelbar einander an.
Aufgabe der Erfindung ist es, bei obigem Gasentladungsschalter
eine Erstkopplung des Triggerteiles
und des Entladungsteiles vorzusehen.
Die Aufgabe ist bei einem Gasentladungsschalter der ein
gangs genannten Art dadurch gelöst, daß innerhalb der
Schaltkammer als Mittel zur Entkopplung des Triggerteiles
und des Entladungsteiles ein metallisches Formteil ober
halb der Kathode angeordnet ist, wobei das Formteil wenig
stens eine sich mit den Öffnungen der Kathode nicht über
lappende Öffnung aufweist. Vorzugsweise ist die Öffnung
kreisförmig und bildet der Mittelpunkt der Öffnung mit dem
Zentrum der Entladungskammer eine fluchtende Linie. Das
Formteil kann eine Schirmblende beispielsweise nach Art
einer ebenen Platte sein. Alternativ zu einer Platte kann
die Schirmblende auch eine andere geeignete Geometrie
haben.
Im Rahmen der Erfindung kann die Platte bzw. Schirmblende
insbesondere auf Kathodenpotential liegen und direkt einen
Bestandteil der Kathode bilden. Sie kann aber auch von der
Kathode elektrisch getrennt und insbesondere gegenüber der
Kathode elektrisch isoliert sein, wobei sie in diesem Fall
eine Hilfselektrode realisiert. Es können somit bei Be
rücksichtigung einer geeigneten Anpassung der Geometrie
des Formteils an den Verlauf der Äquipotentiallinien die
Zündeigenschaften und das Schaltverhalten des Schalters
optimiert werden.
Die Mittel zur Trennung des Triggerteiles vom Entladungs
teil können in einfachster Form eine Lochblende realisie
ren. Damit wird einerseits eine Fokusierung der Ladungs
träger erreicht. Andererseits wird gleichzeitig verhin
dert, daß bei der Entladung der Ionenstrahl auf den Boden
der hutförmigen Steuerelektrode trifft und dort eine uner
wünschte Materialerosion bewirkt.
In Weiterbildung des erfindungsgemäßen Gedankens kann das
Formteil als Schirmblende mit der gleichen vorteilhaften
Wirkung auch bei solchen Kathoden-Konfigurationen verwen
det werden, bei denen mehrere, insbesondere eine Vielzahl
von Öffnungen vorhanden sind. In diesem Fall hat die
Schirmblende eine einzige Öffnung zwischen den innersten
Kanälen.
Aber auch bei solchen Konfigurationen, bei denen mehrere
Entladungskammern mit jeweils einer separaten Entladungs
strecke vorhanden sind, kann eine Schirmblende zur Tren
nung von Triggerteil und Entladungsteil vorhanden sein. In
diesem Fall hat die Schirmblende mehrere Öffnungen, von
denen jeweils eine spezifische Öffnung einer einzelnen
Entladungskammer zugeordnet ist.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im
folgenden
anhand der Zeichnung näher beschrieben.
Es zeigen jeweils im Querschnitt.
Fig. 1 ein Beispiel eines bekannten Gasentladungsschalters,
Fig. 2 die Modifikation dieses Entladungsschalters in
seinen Funktionsteilen,
Fig. 3 einen Schnitt durch eine Kathode mit einer Entla
dungskammer und einer Vielzahl von Öffnungen und
gekrümmt ausgebildeter Schirmblende,
Fig. 4 eine Fig. 3 entsprechende Anordnung mit mehreren
Entladungskammern und einer ebenen Schirmblende
und
Fig. 5 eine zu Fig. 4 alternative Anordnung von Entla
dungskammern.
In den Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszei
chen versehen.
Ein Gasentladungsschalter 1 gemäß Fig. 1 enthält zwei
Elektroden, von denen eine als Kathode 2 und die andere
als Anode 3 geschaltet sind. Die Kathode 2 ist mit min
destens einer Öffnung versehen, von denen in Fig. 1 bei
spielsweise zwei, auf dem Azimut sichtbare Öffnungen 4 und
5 bezeichnet sind.
In Fig. 1 sind die Elektroden 2 und 3 im wesentlichen
durch Tragkörper aus leitendem Material, z. B. Edelstahl
gebildet, in die Einsätze 6 und 7 aus hochschmelzendem Ma
terial, z. B. Wolfram oder Molybdän eingebracht sind. Die
beiden Öffnungen 4 und 5 verlaufen dabei als Bohrungen
durch den Kathodeneinsatz 6.
Durch die beiden Öffnungen 4 und 5 wird eine Entladungs
strecke 9 in einer Entladungskammer 8 gezündet, die im
zentralen Entladungsbereich zwischen dem Kathodeneinsatz 6
und dem Anodeneinsatz 7 durch wenigstens eine Ausnehmung
der Elektroden gebildet wird. Die dem Anodeneinsatz 7 zu
gewandte Oberfläche des Kathodeneinsatzes 6 ist so ge
formt, daß die Entladungskammer 8 in Form eines Doppelke
gels mit einander zugewandten Grundflächen entsteht. Da
die Elektroden aus den Einsätzen 6 und 7 und den Trägern 2
und 3 im allgemeinen jeweils einen Rotationskörper bilden,
sind sie in ihrem Oberflächenbereich außerhalb der Schalt
kammer 8 in einem Abstand a zueinander angeordnet, der
beispielsweise etwa 2 bis 5 mm betragen kann. Im Bereich
der maximalen Höhe d innerhalb der Entladungskammer 8 wird
die Entladungsstrecke 9 gezündet.
Bei Fig. 1 brennt die Entladung immer zwischen den Ober
flächen des Kathodeneinsatzes 6 und des Anodeneinsatzes 7,
wobei eine Erosion der Öffnungen 4 und 5, die im Randbe
reich der Entladungskammer 8 liegen, praktisch ausge
schlossen ist. Im Randbereich können azimutal verteilt
mehr als zwei Öffnungen vorhanden sein, ohne daß die Ent
ladung gestört wird. Der maximale Elektrodenabstand d in
nerhalb der Entladungskammer 8 beträgt wenigstens 3 mm,
vorzugsweise mindestens 6 mm oder insbesondere wesentlich
mehr als 10 mm.
In Fig. 1 ist eine Triggereinrichtung für die Entladungs
strecke 9 als Steuerelektrode 10 in Form einer im wesent
lichen hutförmigen Elektrode ausgebildet, deren Boden 11
und Seitenwand 12 einen Hohlraum 13 umgeben und deren Öff
nung der Entladungsstrecke 9 zugewandt ist und die von der
Kathode 2, 6 elektrisch isoliert ist. Diese Steuerelektro
de 10 besteht aus einem elektrisch leitenden Material,
beispielsweise Edelstahl, wobei dessen Tiefe größer ist
als ihre Durchmesser. Vorzugsweise wird die Form so ge
wählt, daß das Verhältnis der Tiefe zum Durchmesser d etwa
1 bis 5, insbesondere etwa 2, beträgt.
Der Hohlraum 13 und die Entladungskammer 8 enthalten eine
Gasfüllung aus einem ionisierbaren Arbeitsgas, vorzugswei
se Wasserstoff oder Deuterium oder auch einer Mischung
dieser Gase. Ein in der Fig. 1 lediglich schematisch an
gedeuteter Gasspeicher 24 für das Arbeitsgas ist mit einer
im einzelnen nicht näher bezeichneten Heizeinrichtung ver
sehen, deren elektrische Anschlüsse 25 und 26 durch die
Wand des Schalters hindurchgeführt sind. Der den Gasspei
cher 24 umgebende Raum ist durch Druckausgleichsöffnungen
15 und 16 mit dem Hohlraum 13 verbunden.
In Fig. 2 ist der Gasentladungsschalter gemäß Fig. 1
derart modifiziert, daß in vereinfachter Darstellung je
weils von unten die Anode 3, 7, die Kathode 2, 6 und die
Steuerelektrode 10 dargestellt sind. Dabei besteht in die
sem Fall zwischen dem Rand der hutartig ausgebildeten
Steuerelektrode 10 und der Oberfläche der Kathode 2, 6 ein
Freiraum 19, in dessen Mitte horizontal eine Platte 20 mit
einer zentralen Öffnung 21 eingebracht ist. Die Öffnung 21
überlappt sich nicht mit den Öffnungen 4 und 5 innerhalb
der Kathode. Sie bildet vielmehr zusammen mit der Platte
20 eine Schirmblende und dient einerseits zur Fokusierung
der Ladungsträger zwecks Injektion in den Entladungsraum 8
und andererseits zum Schutz der Triggerelektrode 10 vor
dem Ionenstrahl bei der Gasentladung.
Die Schirmplatte 20 besteht aus metallischem Material
und kann beispielsweise auf Kathodenpotential
liegen. Sie kann aber elektrisch auch von ihr getrennt
sein und entweder vollständig gegenüber der Kathode 2, 6
isoliert oder aber mit einer Vorspannung gegen sie ge
schaltet sein.
In der Fig. 3 ist eine Kathode 26 dargestellt, die in
diesem Fall eine kalottenförmige Ausnehmung zur Definition
einer Entladungskammer 28 hat und in der beidseitig von
der Begrenzung der Entladungskammer 28 beispielsweise je
weils drei Gruppen von Bohrungen 29 konzentrisch azimutal
verteilt angeordnet sind. Durch eine symmetrische Anord
nung einer Mehrzahl solcher Bohrungen in der rotationssym
metrisch aufgebauten Kathode ergeben sich somit an der
Oberfläche der Kathode 26 auf konzentrischen Kreislinien
symmetrisch angeordnete Öffnungen 29 zur Injektion von La
dungsträgern. Darüber ist eine Schirmblende 30 mit einer
solchen kreisförmigen Blendenöffnung 31 angebracht, die
innerhalb der von den Bohrungen 29 auf der Kathodenfläche
gebildeten Öffnungen verläuft und deren Mittelpunkt mit
dem höchsten Punkt der kalottenförmigen Entladungskammer
28 eine fluchtende Linie bildet.
Die Schirmblende 30 hat in Fig. 3 eine nach rückwärts
versetzte Geometrie, so daß der Verlauf der Äquipotential
linien im Rückraum der Kathode in geeigneter Weise vorge
geben ist. Mit dieser Geometrie können sich verbesserte
Triggereigenschaften bei geringem Spannungsdurchgriff wäh
rend der Zündphase ergeben. Auch andere Geometrien sind
möglich.
In der Fig. 4 besteht eine Kathodenanordnung 36 bei
spielhaft aus drei Entladungskammern 37, 38 und 39 mit je
weiliger V-Form, die gegeneinander elektrisch isoliert
sein können. Dadurch ergeben sich einzelne parallelge
schaltete Entladungsstrecken, was zum Erreichen hoher
Schaltleistungen vorteilhaft sein kann. Der Kathode 36 ist
hier eine einzige Schirmblende 40 zugeordnet, die in die
sem Fall aus einer Platte mit drei Öffnungen 41, 42 und
43 besteht. Jede Öffnung 41, 42, 43 ist dabei einer der
entsprechenden Entladungskammern 37, 38 oder 39 zugeord
net.
Alternativ zu Fig. 4 ist in Fig. 5 eine Konzeption mit
sieben Entladungskammern 53 bis 59 angedeutet, die in he
xagonaler Geometrie in einer nicht im einzelnen darge
stellten Kathode verteilt sind. Für die Ausbildung der
einzelnen Kammern 53 bis 59 bzw. der zugehörigen Schirm
platte gilt Entsprechendes wie bei Fig. 4.
Insbesondere bei den Ausführungsformen gemäß Fig. 4 und
Fig. 5 kann die Triggerung der Entladungsstrecken wahl
weise mit einer gemeinsamen oder jeweils einzelnen Steuer
elektroden erfolgen.
Claims (15)
1. Gasentladungsschalter mit folgenden Merkmalen:
- - für eine Niederdruck-Gasentladung sind wenigstens zwei im Abstand d voneinander angeordnete Hauptelektroden vorhanden, die in einer Schaltkammer angeordnet sind so wie eine Kathode und eine Anode einer Entladungsstrecke für die Niederdruck-Gasentladung bilden, die durch Erhö hen der Elektronendichte im Kathodenrückraum gezündet wird,
- - der Kathodenrückraum eine im wesentlichen hutförmige Steuerelektrode enthält, deren Öffnung der Entladungs strecke zugewandt und von der Kathode getrennt ist und die an eine Steuerspannungsquelle anschließbar ist (Triggerteil),
- - die Entladungsstrecke befindet sich in einem zentralen Entladungsbereich einer Entladungskammer zwischen Katho de und Anode, welche Entladungskammer im Entladungsbe reich ihre maximale innere Höhe hat, die die Länge der Entladungsstrecke bestimmt und in radialer Richtung ab nimmt (Entladungsteil)
und
- - die Kathode hat wenigstens eine Öffnung für die Zündung der Entladung, die sich in der Kathode im Randbereich der Entladungskammer befindet,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß innerhalb der Schaltkammer (14) als Mittel zur Ent kopplung des Triggerteiles (10, 11) und des Entladungs teiles (8, 9; 28, 29; 37-39) ein metallisches Formteil (20, 30, 40) oberhalb der Kathode (2, 6, 26, 36) vor handen ist, wobei das Formteil wenigstens eine sich mit den Öffnungen (4, 5, 29) der Kathode (2, 6, 26, 36) nicht überlappende Öffnung (21, 31, 41-43) aufweist.
2. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Öffnung (21, 31,
41-43) kreisförmig ist und daß der Mittelpunkt der Öff
nung (21, 31, 41-43) mit dem Zentrum der Entladungskam
mer (8, 28, 38, 39, 40) eine fluchtende Linie bildet.
3. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Formteil (20, 30,
40) auf dem Potential der Kathode (2, 6, 26, 36) liegt.
4. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Formteil (20, 30,
40) von der Kathode (2, 6, 26, 36) elektrisch getrennt
ist.
5. Gasentladungsschalter nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, daß das Formteil (20, 30,
40) gegenüber der Kathode (2, 6, 26, 36) elektrisch iso
liert ist.
6. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Formteil Bestand
teil der Kathode ist.
7. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1 oder einem der
Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Formteil eine ebene Platte (20,
40) ist.
8. Gasentladungsschalter nach Anspruch 1 oder einem der
Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Formteil eine trichterartig
ausgeformte Schirmblende (30) ist.
9. Gasentladungsschalter nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, wobei die Kathode mehrere Öffnungen aufweist,
die als Kanäle von der Oberfläche der Kathode zur Entla
dungskammer verlaufen, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Formteil (20, 30) eine einzige
zentrische Öffnung (21, 31) zwischen den inneren Kanälen
aufweist.
10. Gasentladungsschalter nach Anspruch 9, da
durch gekennzeichnet, daß die Öffnun
gen (29) in der Kathode (26) als Bohrungen zur Symmetrie
achse der Entladungskammer parallel fokussiert sind und daß
die Öffnungen (29) auf der Kathodenoberfläche auf konzen
trischen Kreisen angeordnet sind.
11. Gasentladungsschalter nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, bei dem mehrere Entladungskammern vorhanden
sind, die gegebenenfalls elektrisch voneinander isoliert
sind, dadurch gekennzeichnet, daß
ein einziges Formteil (40) mit mehreren Öffnungen (41-
43) vorhanden ist, wobei jede Öffnung (41-43) einer ein
zelnen Entladungskammer (37-39) zugeordnet ist.
12. Gasentladungsschalter nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, bei dem mehrere Entladungskammern vorhanden
sind, die gegebenenfalls elektrisch voneinander isoliert
sind, dadurch gekennzeichnet, daß
jeder Entladungskammer (37-39) ein separates Formteil
mit einer entsprechend angeordneten Öffnung zugeordnet
ist.
13. Gasentladungsschalter nach Anspruch 11 oder
12, dadurch gekennzeichnet, daß
jeder Entladungskammer (37-39) mit einer oder mehreren
zugeordneten Formteilen eine eigene Steuerelektrode zuge
ordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924214361 DE4214361C2 (de) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | Gasentladungsschalter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924214361 DE4214361C2 (de) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | Gasentladungsschalter |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE4214361A1 DE4214361A1 (de) | 1994-01-13 |
DE4214361C2 true DE4214361C2 (de) | 1996-02-08 |
Family
ID=6457907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19924214361 Expired - Fee Related DE4214361C2 (de) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | Gasentladungsschalter |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE4214361C2 (de) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL298577A (de) * | 1963-02-25 | |||
EP0473813A1 (de) * | 1990-09-03 | 1992-03-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Hohlelektrodenschalter |
DE4100565A1 (de) * | 1991-01-10 | 1992-07-16 | Siemens Ag | Gasentladungsschalter |
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1992
- 1992-04-30 DE DE19924214361 patent/DE4214361C2/de not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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