DE4210630A1

DE4210630A1 - Elektrodenherstellungsgeraet

Info

Publication number: DE4210630A1
Application number: DE4210630A
Authority: DE
Inventors: Tadahiro Nakagawa; Shizuma Tazuke; Mitsuro Hamuro; Hirokazu Higuchi; Katsuyuki Moriyasu; Akihiko Takahashi
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1991-11-08
Filing date: 1992-03-31
Publication date: 1993-05-13
Anticipated expiration: 2012-04-01
Also published as: GB9206930D0; SG30567G; US5330574A; GB2261181A; DE4210630C2; GB2261181B

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Elektroden herstellungsgerät nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Elektroden herstellungsgerät zum Anbringen von Elektrodenpaste an die Enden von Chip-artigen elektronischen Komponenten.

Allgemein wird eine Halteplatte mit einer Anzahl von Auf nahmelöchern zum effektiven Anbringen von Elektroden an Endabschnitte einer Anzahl von Chip-artigen elektronischen Komponenten verwendet, wie sie in der USA 43 95 184 geof fenbart ist. Diese Halteplatte umfaßt ein hartes Substrat, einen dünnen flachen Plattenabschnitt, der an einem mittigen Abschnitt des Substrates ausgebildet ist und eine Anzahl von Durchgangslöchern aufweist, und ein Gummi-artiges elasti sches Glied, das in einem konkaven Abschnitt eingebettet ist, welcher in dem flachen Plattenabschnitt festgelegt ist und mit einer Anzahl von Aufnahmelöchern versehen ist, die sich durch das elastische Glied erstrecken, welche einen kleineren Durchmesser als die Durchgangslöcher haben. Die Halteplatte hält elastisch die Chip-artigen elektronischen Komponenten in den Aufnahmelöchern, so daß diese gegenüber jenen hervorstehen, so daß die Elektrodenpaste aus Silber oder einem ähnlichen Material gleichmäßig auf die hervor stehenden Abschnitte aufgebracht werden kann. Daraufhin werden die Chip-artigen elektronischen Komponenten zum Trocknen der Elektrodenpaste erwärmt. Die genannte US-Pa tentschrift beschreibt ein beispielshaftes Verfahren zum Aufbringen von Elektrodenpaste auf derartige Chip-artige elektronische Komponenten mittels einer Rolle. Bei diesem Verfahren wird eine Halteplatte, die die Chip-artigen elek tronischen Komponenten hält, so daß sich diese gegenüber ihrer Oberfläche teilweise hervorstrecken, durch einen För derer gehalten. Eine mit Elektrodenpaste auf ihrer äußeren Oberfläche beschichtete Rolle wird in Kontakt mit den her vorstehenden Abschnitten der Chip-artigen elektronischen Komponenten gebracht, um die Elektrodenpaste auf die Chip artigen elektronischen Komponenten aufzubringen. Um die Dicke der Paste um die äußere Fläche der Rolle zu vergleich mäßigen, wird ein Schabmesser verwendet, um einen überschüs sigen Anteil der Paste abzuschaben, während sich die Rolle dreht.

Im Falle von Chip-artigen elektronischen Komponenten mit Längen zwischen 1,6 und 5,7 mm haben die Elektroden bei spielsweise eine extrem geringe Dicke zwischen 0,15 und 0,3 mm, welche mit hoher Genauigkeit gesteuert werden muß. Jedoch fließt bei dem bekannten Verfahren die auf die äußere Fläche der Rolle aufgebrachte Paste aufgrund ihrer Drehung, so daß sich die Dicke der Paste geringfügig verändert, wo durch Schwankungen der Dicke der Elektroden bewirkt werden, die auf den Chip-artigen elektronischen Komponenten erzeugt werden. Diese Schwankungen können durch Vibrationen des För derers oder Schwankungen des Grades der Horizontalausrich tung ebenfalls verursacht werden.

Die japanische Patentveröffentlichung Nr. 3-44 404 (1991) beschreibt ein Verfahren zum Beschichten der Oberfläche einer flachen Beschichtungsplatte mit einem dünnen Film einer Elektrodenpaste und zum Annähern der Halteplatte zum Halten der Chip-artigen elektronischen Komponenten, wobei sich diese teilweise von der Halteplatte nach unten er strecken, um die hervorstehenden Abschnitte der Chip-artigen elektronischen Komponenten gegen die Halteplatte zu drücken, wodurch die Elektrodenpaste auf die Chip-artigen elektro nischen Komponenten aufgebracht wird. Bei diesem Verfahren treten nicht die Nachteile und Unannehmlichkeiten auf, die bei dem soeben beschriebenen Verfahren unter Verwendung einer Rolle entstehen. Bei diesem Verfahren werden die hervorstehenden Abschnitte der Chip-artigen elektronischen Komponenten gegen die Bodenfläche einer Beschichtungsplatte gedrückt, die mit der Paste beschichtet ist, wodurch eine Schwankung der Länge der hervorstehenden Abschnitte der Chip-artigen elektronischen Komponenten verhindert wird und die Elektrodenbreiten vergleichmäßigt werden.

Wenn jedoch ein einziger Aufbringungsverfahrensschritt abge schlossen ist, wird die Dicke des Pastenfilms in Abhängig keit von der auf die Chip-artigen elektronischen Komponenten aufgebrachten Paste vermindert. Daher ist es nötig, von Zeit zu Zeit die auf der Beschichtungsplatte verbleibende Paste zu sammeln und diese erneut auf eine konstante Dicke einzu stellen. Daher ist eine erhebliche Zeit erforderlich, um die Filmdicke einzustellen, während es schwierig ist, den Pa stenfilm auf eine konstante Dicke mit hoher Wiederholge nauigkeit einzustellen.

Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegen den Erfindung daher die Aufgabe zugrunde, ein Elektroden herstellungsgerät zu schaffen, mit dem sehr genau die Film dicke der Elektroden und Paste bei hoher Wiederholgenauig keit eingestellt werden kann, wodurch eine homogene Elektro denaufbringung ausgeführt wird.

Diese Aufgabe wird durch ein Elektrodenherstellungsgerät gemäß Patentanspruch 1 gelöst.

Die Erfindung schafft ein Elektrodenherstellungsgerät zum Drücken Chip-artiger elektronischer Komponenten, die in Aufnahmelöchern einer Halteplatte in einem teilweise nach unten hervorstehenden Zustand gehalten werden, gegen eine Paste, die auf die Bodenfläche eines Tauchgefäßes aufge schichtet ist, um die Elektroden an Enden der Chip-artigen elektronischen Komponenten anzubringen, und umfaßt ein Wiedergewinnungsblatt zum Sammeln der Elektrodenpaste auf der Bodenfläche des Tauchgefäßes in Richtung auf ein erstes Ende des Tauchgefäßes, ein Nivellierblatt zum Nivellieren der Elektrodenpaste, die in Richtung auf das erste Ende des Tauchgefäßes hin gesammelt ist, in Richtung auf ein zweites Ende des Tauchgefäßes zum Einstellen einer konstanten Dicke derselben, eine Antriebseinrichtung zum relativen horizonta len Hin- und Herbewegen des Wiedergewinnungsblattes und des Nivellierblattes bezüglich des Tauchgefäßes, eine erste ver tikale Bewegungseinrichtung zum vertikalen Bewegen des Wie dergewinnungsblattes zwischen einer Position im Kontakt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes und einer nach oben zurück gezogenen Position, und einer zweiten vertikalen Bewegungs einrichtung zum vertikalen Bewegen des Nivellierblattes zwi schen einer Position nahe der Bodenfläche des Tauchgefäßes und einer nach oben zurückgezogenen Position.

Das Wiedergewinnungsblatt und das Nivellierblatt können relativ in horizontaler Richtung bezüglich des Tauchgefäßes hin- und herbewegt werden. Daher kann das Tauchgefäß in einer konstanten Lage eingestellt werden, so daß die Klingen hin- und herbewegt werden, oder die Klingen können in kon stanten Lagen eingestellt sein, wobei das Tauchgefäß hin- und herbewegt wird.

Zunächst werden das Wiedergewinnungsblatt und das Nivel lierblatt in Richtung auf ein erstes Ende des Tauchgefäßes bewegt, wobei eine vorbestimmte Menge Elektrodenpaste in das Tauchgefäß injiziert wird. Dann wird das Wiedergewinnungs blatt durch die zweite vertikale Bewegungseinrichtung in die in Kontakt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes stehende Lage bewegt, während das Wiedergewinnungsblatt in horizonta ler Richtung durch die Antriebseinrichtung von dem ersten Ende zu einem zweiten Ende des Tauchgefäßes bewegt wird. Das Nivellierblatt, das momentan in der nach oben zurückgezoge nen Position angeordnet ist, wird in horizontaler Richtung gemeinsam mit dem Wiedergewinnungsblatt bewegt. Da das Wiedergewinnungsblatt in Richtung auf das zweite Ende des Tauchgefäßes bewegt wird, wird die in das Tauchgefäß inji zierte Elektrodenpaste im wesentlichen vollständig in Rich tung auf das zweite Ende hin gesammelt. Dann wird das Wie dergewinnungsblatt durch die zweite vertikale Bewegungsein richtung nach oben bewegt, während das Nivellierblatt in die Lage nahe der unteren Fläche des Tauchgefäßes bewegt wird. Ein Abstand, der zwischen dem Nivellierblatt und der Boden fläche des Tauchgefäßes gebildet ist, legt die Filmdicke der Elektrodenpaste fest. In diesem Zustand wird das Nivellier blatt in horizontaler Richtung rückwärts von dem zweiten Ende in Richtung auf das erste Ende des Tauchgefäßes hinbe wegt, wodurch ein Pastenfilm mit konstanter Dicke auf der Bodenfläche des Tauchgefäßes erzeugt wird.

Die erste vertikale Bewegungseinrichtung, die in einfacher Weise dazu geeignet ist, das Wiedergewinnungsblatt in Kon takt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes zu bringen, erfordert keine hohe Genauigkeit und kann durch ein Direkt betätigungsglied gebildet sein, welches beispielsweise ein Zylinder sein kann. Andererseits wird die zweite vertikale Bewegungseinrichtung vorzugsweise durch eine genaue, fein steuerbare Antriebsmechanik gebildet, die beispielsweise ein Schrittmotor und eine Kugelschraube umfassen kann, da es er forderlich ist, den Spalt oder Freiraum zwischen dem Nivel lierblatt und dem Tauchgefäß genau einzustellen.

Erfindungsgemäß wird das Wiedergewinnungsblatt zu erstem Kontakt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes gebracht, um die Elektrodenpaste in Richtung auf das erste Ende des Tauchgefäßes hin zu sammeln, woraufhin das Nivellierblatt an die Bodenfläche des Tauchgefäßes angenähert wird, um die Elektrodenpaste bei konstanter Filmdicke zu nivellieren, wo durch die Elektrodenpaste automatisch gesammelt und nivel liert werden kann. Daher kann die Elektrodenpaste äußerst einfach bei konstanter Filmdicke mit hoher Wiederholgenauig keit aufgebracht werden. Dementsprechend ist es möglich, in homogener Weise Elektroden auf Endflächen der Chip-artigen elektronischen Komponenten aufzubringen.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Vorderansicht eines Elektroden herstellungsgerätes gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 2 eine perspektivische Darstellung einer Halteplatte, die gemäß der Erfindung verwendet wird;

Fig. 3 eine Schnittdarstellung der Halteplatte zum Halten der Chip-artigen elektronischen Komponenten;

Fig. 4 eine Draufsicht eines Tauchgefäßes und eines Blattabschnittes;

Fig. 5 eine Schnittdarstellung längs der Linie V-V von Fig. 4;

Fig. 6 eine Schnittdarstellung längs der Linie VI-VI in Fig. 5;

Fig. 7 (a) bis 7 (c) zur Erläuterung dienende Diagramme zum Darstellen eines Verfahrens zum Anbringen von Paste;

Fig. 8 ein beispielshaftes Diagramm eines Verfahrens zum Anbringen von Elektrodenpaste auf Chip-artige elektronische Komponenten;

Fig. 9 eine Schnittdarstellung eines Elektrodenherstel lungsgerätes nach einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 10 eine Schnittdarstellung längs der Linie X-X in Fig. 9.

Fig. 1 zeigt ein Elektrodenherstellungsgerät gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, das zum Anbringen von Elektroden an Endabschnitte von Chip-artigen elektronischen Komponenten B geeignet ist. Wie in den Fig. 2 und 3 gezeigt ist, werden die Chip-artigen elektronischen Komponenten B elastisch durch eine Halteplatte A gehalten, und stehen teilweise von Aufnahmelöchern A₁ hervor. Die Struktur dieser Halteplatte A ähnelt derjenigen, die in der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 3-44 404 (1991) gezeigt ist.

Das erfindungsgemäße Elektrodenherstellungsgerät wird durch einen Körper 1, einen Tauchkopfabschnitt 2, einen Zuführ förderer 5, einen Entladungsförderer 6, ein Tauchgefäß 7 und einen Blattabschnitt 8 gebildet. Der Körper 1 umfaßt eine Steuereinheit (nicht dargestellt) zum Steuern der Operatio nen dieser Elemente.

Der Tauchkopfabschnitt 2 ist an dem Körper 1 durch feste Pole 3 befestigt. Ein Einspannabschnitt 10 ist in vertikaler Richtung beweglich an dem unteren Teil des Tauchkopfab schnittes 2 durch eine Mehrzahl von Wellen 11 gelagert. Der Tauchkopfabschnitt 2 umfaßt eine Vertikalbewegungseinrich tung (nicht dargestellt), die zum vertikalen Bewegen der Wellen 11 angetrieben wird, um den Einspannabschnitt 10 in einem horizontalen Zustand vertikal zu bewegen. Der Ein spannabschnitt 10 hat zwei horizontale Seiten mit einem Paar von Einspannklinken 12, die in horizontaler Richtung geöff net und gegen Einspannkerben a₂ geschlossen werden, die an den beiden Seiten der Halteplatte A vorgesehen sind, welche durch den Förderer 5 zugeführt wird.

Sowohl der Zuführungsförderer 5 als auch der Entladungsför derer 6 werden durch ein Paar vertikaler Hälften gebildet. Die untere Hälfte hat einen Gleitmechanismus zum Gleiten der oberen Hälfte in Richtung auf die Mitte des Elektrodenher stellungsgerätes, während die untere Hälfte mit einem Schlittenmechanismus zum unidirektionalen Führen der Halte platte A versehen ist. Die oberen Hälften dieser Förderer 5, 6 können entgegengesetzt zueinander in Richtung auf die mittigen Lagen bewegt werden, wie dies durch die zweifach gepunktete Strichlinie in Fig. 1 gezeigt ist.

Die Betriebsweisen der Förderer 5, 6 und des Einspannab schnittes 10 werden nachfolgend erläutert.

Zunächst wird die Halteplatte A auf den Zuführungsförderer 5 gebracht. Diese Halteplatte A hält Chip-artige elektronische Komponenten B derart, daß sich diese von selbiger nach unten erstrecken, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist. Die obere Hälfte des Zuführungsförderers 5 gleitet in Richtung auf die mitti ge Position der Halteplatte A. Der Schlittenmechanismus, der hierin enthalten ist, wird angetrieben, wenn sich die oberen Hälften der beiden Förderer 5, 6 soweit als möglich angenä hert haben, so daß die Halteplatte A derart getragen wird, daß sie sich über die beiden Förderer 5, 6 erstreckt. Dann wird der Einspannabschnitt 10 nach unten bewegt, um die Halteplatte A mit den Einspannklinken 12 einzuspannen.

Daraufhin werden die oberen Hälften der Förderer 5, 6 in die durch die durchgezogenen Linien gezeigten Positionen zurück gezogen. Der Einspannabschnitt 10 wird weiter nach unten bewegt, um die Chip-artigen elektronischen Komponenten, die durch die Halteplatte A gehalten werden, gegen die Boden fläche des Tauchgefäßes 7 zu pressen, wodurch die Elektroden auf selbige aufgebracht werden. Daraufhin bewegt sich der Einspannabschnitt 10 in eine Position oberhalb des Schlit tenniveaus der Förderer 5, 6, welche ihrerseits in die Posi tionen bewegt werden, welche durch die zweifach gepunkteten Strichlinien in Fig. 1 gezeigt sind, so daß die Halteplatte A quer zu diesen Förderern 5, 6 getragen wird. Daraufhin wird der Schlittenmechanismus, der in diesen Förderern 5, 6 enthalten ist, angetrieben, um die Halteplatte A auf den Entladungsförderer 6 zu übertragen, wodurch diese zu dem nachfolgenden Verfahrensschritt gebracht wird.

Die Strukturen des Gerätes zum Bewegen des Einspannab schnittes und der Förderer 5, 6 ähneln denjenigen, die in der japanischen Patentanmeldung Nr. 3-3 47 938 (1991) gezeigt sind. Fig. 4 bis 6 zeigen Strukturen des Tauchgefäßes 7 und des Blattabschnittes 8, welche hauptsächliche Bestandteile der vorliegenden Erfindung sind.

Das Tauchgefäß 7 hat die Form einer rechteckigen Platte, die geringfügig größer ist als die Halteplatte A, und ist mit einem Paar Führungsschienen 20 an beiden Seiten ihrer Längs kanten versehen. Ein Blatt-Tragrahmen 21 ist gleitend auf den Führungsschienen 20 gelagert und erstreckt sich in hori zontaler Richtung quer zu dem Tauchgefäß 7. Ein Wiederge winnungsblatt 22 zum Sammeln der Elektrodenpaste an einem Endabschnitt des Tauchgefäßes 7 und ein Nivellierungsblatt 23 zum Einstellen der Elektrodenpaste in einer vorbestimmten Dicke sind an dem Blatt-Tragrahmen 21 unabhängig voneinander in vertikaler Richtung beweglich gelagert. Die Blätter 22, 23 haben die gleiche Breite, welche geringfügig kleiner ist als die Innenbreite des Tauchgefäßes 7 längs der kürzeren Kanten. Das Wiedergewinnungsblatt 22 ist an die untere Fläche einer Brückenstange 24 angebracht, die in vertikaler Richtung beweglich an dem oberen Abschnitt des Blatt-Trag rahmens 21 gelagert ist. Die Brückenstange 24 wird in ver tikaler Richtung durch ein Paar Zylinder 25 angetrieben, die an den beiden Endabschnitten des Blatt-Tragrahmens 21 vorge sehen sind. Ein Gummiblattglied 26 ist an dem unteren Ende des Wiedergewinnungsblattes 22 befestigt und kann in engen Kontakt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 gebracht werden, um hierdurch Elektrodenpaste zu sammeln.

Andererseits sind ein Paar Blöcke 27 an der Seitenfläche des Nivellierblattes 23 befestigt, um mit Schraubenwellen 28 Eingriff zu nehmen und um gleitend Gleitwellen 30 aufzu nehmen, deren obere Enden an einer Tragplatte 29 befestigt sind. Die Schraubenwellen 28 erstrecken sich drehend durch die Tragplatte 29. Obere Endabschnitte derselben werden durch Nivelliersteuermotoren 31 durch Riemen 46 angetrieben. Vertikale Zylinder 32 sind an horizontale Endabschnitte der Tragplatte 29 angebracht, so daß Kolbenstangen derselben an dem Blatt-Tragrahmen 21 gekoppelt sind. Gleitwellen 33 stehen nach unten von beiden Endabschnitten der Tragplatte 29 hervor und werden in vertikaler Richtung beweglich in den Blatt-Tragrahmen 21 aufgenommen. Daher ist es möglich, in einem erheblichen Umfang in vertikaler Richtung die Trag platte 29 in einer horizontalen Art bezüglich des Blatt- Tragrahmens 21 zu verstellen, indem die vertikalen Zylinder 32 angetrieben werden, während es möglich ist, die Verti kallage des Nivellierblattes 23 bezüglich des Tragrahmens 29 durch Antreiben der Nivelliersteuermotoren 31 einzustellen. Die untere Grenzlage der Tragplatte 39 wird durch Anschlag abschnitte 33a der Gleitwellen 33 eingestellt, wodurch es möglich ist, sehr genau die Höhe der Nivellierklinge 23 gegenüber der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 einzustellen. Mit anderen Worten ist es möglich, sehr genau die Dicke der Elektrodenpaste zu steuern, die auf die Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 aufgebracht wird.

Vier Befestigungslöcher 34, von denen ein jedes ein kreis förmiges Ende und ein anderes Ende mit einem T-förmigen Längsquerschnitt hat, sind in der unteren Fläche des Tauch gefäßes 7 vorgesehen. Vier mit Köpfen versehene Stifte 35 erstrecken sich in Obereinstimmung mit den Befestigungs löchern 34 von dem Körper 1 nach oben. Das Tauchgefäß 7 ist derart auf dem Körper 1 angeordnet, daß die kreisförmigen Abschnitte der Befestigungslöcher 34 die Köpfe der mit Köpfen versehenen Stifte 35 aufnehmen und rechtwinklig gemäß Fig. 4 gleiten. Daher stehen die Köpfe der Stifte 35 in Eingriff mit den T-förmigen Abschnitten der Befestigungs löcher 34, wodurch das Tauchgefäß 7 bezüglich des Körpers 1 in seiner Lage festgelegt wird. Die stifte 35 werden nach unten durch einen Zylinder oder ein ähnliches Gerät bewegt, so daß das Tauchgefäß 7 durch den Körper 1 in einem engen Kontakt gehalten wird.

Eine Kugelschraube 36 ist an der Rückseite des Tauchgefäßes 7 parallel zu dessen Längskante angeordnet und paßt mit einem Mutterglied 38 zusammen, das längs zu den Führungs schienen 37 auf dem Körper 1 gleitend angeordnet ist. Ein Eingriffsglied 39 mit einem Handteil 40 ist auf dem Mutter glied 38 vorgesehen und kann um eine Welle herum verschwenkt werden, die parallel zu der Kugelschraube 36 liegt. Das Eingriffsglied 39 wird durch das Handteil 40 angetrieben, um sich in Richtung auf den Blatt-Tragrahmen 21 zu verschwen ken, und nimmt mit einer Aufnahmekerbe 41 Eingriff, die in einem hinteren Endabschnitt des Blatt-Tragrahmens 21 aus gebildet ist, um dadurch das Mutterglied 38 mit dem Blatt- Tragrahmen 21 zu koppeln. Ein Riemenrad 42 ist an dem rechten Seitenende der Kugelschraube 36 befestigt. Wenn das Riemenrad 42 durch einen Motor 45 mittels eines Riemens 43 und eines Riemenrades 44 angetrieben wird, bewegen sich das Mutterglied 38 und der Blatt-Tragrahmen 21 in horizontaler Richtung integral hin und her.

Die Operation des Blattabschnittes 8 wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 7(a) bis 7(c) erläutert.

Zunächst wird das Blattglied 26 des Wiedergewinnungsblattes 22 gegen die Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 gepreßt und der Blatt-Tragrahmen 21 nach links gemäß Fig. 7(a) angeschoben, wodurch linksseitig die Elektrodenpaste P gesammelt wird, die in dem Tauchgefäß 7 enthalten ist. Dann wird das Wieder gewinnungsblatt 22 nach oben bewegt und das Nivellierungs blatt 23 an die Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 angenähert, wie dies in Fig. 7(b) gezeigt ist. Zu diesem Zeitpunkt wird ein Pastenvorrat, der durch das Wiedergewinnungsblatt 22 ge sammelt ist, in einer Lage vor dem Nivellierblatt 23 ausge bildet. Dann wird das Nivellierblatt 23 nach rechts ange trieben, wie dies in Fig. 7(c) gezeigt ist, wodurch ein dünner Film Pm der Elektrodenpaste auf der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 gemäß dem Freiraum zwischen dem Nivellier blatt 23 und dem Tauchgefäß 7 ausgebildet wird.

Ein Verfahren zum Anbringen von Elektroden auf die hervor stehenden Abschnitte der Chip-artigen elektronischen Kom ponenten, die von der Halteplatte A gehalten werden, mittels des Tauchgefäßes 7, das mit dem dünnen Film Pm der Elektro denpaste beschichtet ist, wird nachfolgend unter Bezugnahme auf Fig. 8 erläutert.

Zunächst werden die vorderen Enden der Einspannkrallen 12 in Einspannkerben a₂ der Halteplatte A, die die elektronischen Komponenten B des Chip-Types hält, derart eingesetzt, daß diese nach unten hervorstehen. Dann werden die Einspann krallen 12 nach oben bewegt, um die obere Fläche der Hal teplatte A in Druckkontakt mit dem Einspannabschnitt 10 zu bringen. Der Einspannabschnitt 10 wird vorab fest in paral leler Richtung zu der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 ein gestellt. Die vertikale Bewegungseinrichtung, die in dem Tauchkopfabschnitt 2 enthalten ist, wird nach unten ange trieben, um den Einspannabschnitt 10 in einem horizontalen Zustand zu bewegen. Wenn die hervorstehenden Abschnitte der Chip-artigen elektronischen Komponenten B in Kontakt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 kommen, wird der Einspann abschnitt 10 geringfügig weiter nach unten bewegt, um die elektronischen Komponenten B des Chip-Types geringfügig in die Aufnahmelöcher a₁ einzupressen. Dann werden die hervor stehenden Abschnitte der elektronischen Komponenten B des Chip-Types bezüglich ihrer Längen auf ein konstantes Maß korrigiert, so daß sich Elektroden mit gleichmäßigen Breiten ergeben. Zu diesem Zeitpunkt stehen die Einspannkrallen 12 nicht in Kontakt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7, da deren vordere Enden in den Einspannkerben a₂ der Halteplatte A aufgenommen sind, so daß die Tauchoperation ohne Behin derung durchgeführt werden kann. Da eine einzige Halteplatte A im allgemeinen tausende von elektronischen Komponenten B des Chip-Types hält, wirken starke Reaktionskräfte auf die Halteplatte A, wenn die elektronischen Komponenten B des Chip-Types gegen die Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 gepreßt werden, die mit der Paste beschichtet ist. Jedoch wird eine Deformation der Halteplatte A verhindert, so daß keine ungleichmäßigen Elektrodenbreiten auftreten können, da die Oberfläche der Halteplatte A von der Oberfläche des Ein spannabschnittes 10 getragen wird. Die elektronischen Komponenten B des Chip-Types können gegen das Tauchgefäß 7 mehrfach gedrückt werden, um die Genauigkeit der Elektro denbreiten zu steigern.

Wenn das Eingriffsglied 39 außer Eingriff mit der Aufnahme kerbe 41 gebracht wird, werden die in der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 ausgebildeten Befestigungslöcher 34 von den Stiften 35 auf dem Körper 1 getrennt, so daß das Tauchgefäß 7 auf einfache Weise durch ein anderes Gefäß ausgetauscht werden kann. Mit anderen Worten ist es möglich, die Paste durch eine andere Pastenart zu ersetzen, ohne die Paste zu entfernen, die an dem Tauchgefäß 7 und an den Blättern 22, 23 anhaftet, wodurch die Austauschzeit sehr stark reduziert werden kann. Da das Tauchgefäß 7 und die Blätter 22, 23 einstückig für das Auswechseln der Paste gehandhabt werden, tritt keine Abweichung in der Lagebeziehung auf, welche mit hoher Genauigkeit zwischen der Bodenfläche des Tauchgefäßes 7 und dem Nivellierblatt 23 eingestellt werden muß.

Obwohl das Nivellierblatt 23 vertikal durch den vertikalen Zylinder 32 bewegt wird und fein durch den Nivelliermotor 31 bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel gesteuert wird, ist die Erfindung nicht auf diese spezielle Struktur beschränkt. Das Nivellierblatt 23 kann in Abweichung hiervon durch einen Schrittmotor mit hoher Einstellgenauigkeit oder eine ähn liche Einstellvorrichtung angetrieben werden, so daß der Motor 31 für die feine Steuerung entfallen kann.

Die Fig. 9 und 10 zeigen ein anderes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, insbesondere in Beziehung auf einen Abschnitt eines Tauchgefäßes.

Bei diesem Ausführungsbeispiel werden ein Wiedergewinnungs blatt 64 und ein Nivellierungsblatt 65 in konstanten Lagen eingestellt, während ein Tauchgefäß 50 zum Nivellieren der Elektrodenpaste bewegt wird, worin sich dieses Ausführungs beispiel von dem ersten Ausführungsbeispiel unterscheidet.

Das Tauchgefäß 50 wird durch ein Paar von Gleitschienen 52 getragen, die auf einem Tisch 51 befestigt sind, so daß es senkrecht zu der Ebene der Fig. 9 gleiten kann. Eine Kugel schraube 55 ist in horizontaler Richtung an der unteren Seite des Tauchgefäßes 50 angebracht und wird durch einen Motor 53 mittels eines Riemens 54 angetrieben, wobei eine Mutter 56 an der unteren Fläche des Tauchgefäßes 50 befes tigt ist, die mit der Kugelschraube 55 Eingriff nimmt. Daher kann die Kugelschraube 55 gedreht werden, um eine horizon tale Gleitbewegung des Tauchgefäßes 50 zu bewirken.

Ein Hobel-artiger Blatt-Tragrahmen 57 ist auf dem Tisch 51 angeordnet und erstreckt sich quer zu dem Tauchgefäß 50, während ein Paar von Blattbefestigungsstangen 58, 59 an der Innenseite des Blatt-Tragrahmens 57 mittels eines Paares von Führungsstiften 60, 61 in einem horizontalen Zustand in vertikaler Richtung beweglich befestigt sind. Die Führungs stifte 60, 61 erstrecken sich durch Federn 62, 63, die die Blattbefestigungsstangen 58, 59 rechtwinklig nach oben zwängen. Die Wiedergewinnungsklinge 64 und die Nivellier klinge 65 sind jeweils an den unteren Flächen der Blattbe festigungsstangen 58, 59 angebracht.

Ein Paar von Wiedergewinnungsblatt-Absenkzylindern 66 sind an der oberen Fläche des Blatt-Tragrahmens 57 derart be festigt, daß die Stangen 66a dieser Zylinder 66 in Kontakt mit der oberen Fläche der Blattbefestigungsstange 58 stehen. Ferner sind ein Paar von Nivellierblattabsenkschritt-Motoren 67 an der oberen Fläche des Blatt-Tragrahmens 57 mittels Klammern 68 befestigt. Ballschrauben 69, die durch die Schrittmotoren 67 angetrieben werden, stehen mit Vertikalbe wegungsgliedern 70 in Eingriff. Die Kugelschrauben 69 werden durch Lagerungen 71 drehbar gelagert, welche auf den Klam mern 68 befestigt sind. Führungsschienen 72 sind an den Klammern 68 parallel zu den Kugelschrauben 69 befestigt und führen gleitend die Vertikalbewegungsglieder 70. Druckteile 73, die an den unteren Flächen der ersten Enden der Verti kalbewegungsglieder 70 befestigt sind, erstrecken sich gleitend durch den Blatt-Tragrahmen 57. Die unteren Enden der Druckteile 73 stehen in Kontakt mit der oberen Fläche der Blattbefestigungsstange 59. Daher können das Wieder gewinnungsblatt 64 und das Nivellierblatt 65 durch die Zylinder 66 bzw. die Schrittmotoren 67 nach unten bewegt werden.

Um Elektrodenpaste an dem ersten Ende des Tauchgefäßes 50 zu sammeln, die in dieses injiziert ist, werden die Zylinder 66 angetrieben, um ein Blattglied 64a, welches an dem unteren Ende des Wiedergewinnungsblattes 64 vorgesehen ist, gegen die Bodenfläche des Tauchgefäßes 50 zu drücken, welches seinerseits durch den Motor 53 in diesen Zustand gleitet. Um die gesammelte Elektrodenpaste zu einem Film von konstanter Dicke einzustellen, werden andererseits die Zylinder 66 von der Energieversorgung getrennt, um das Wiedergewinnungsblatt 64 durch die Federkraft der Feder 62 nach oben zu bewegen. Dann werden die unteren Enden des Nivellierblattes 65 nach unten in eine Lage nahe an der unteren Fläche des Tauch gefäßes 50 durch den Schrittmotor 67 bewegt. Der Motor 53 wird in diesem Zustand angetrieben und gleitet rückwärts in dem Tauchgefäß 50.

Claims

1. Elektrodenherstellungsgerät zum Drücken elektronischer Komponenten des Chip-Types, die in Aufnahmelöchern einer Halteplatte in einem teilweise nach unten hervor stehenden Zustand gehalten werden, gegen eine Elektro denpaste, die auf eine Bodenfläche eines Tauchgefäßes aufgebracht ist, um Elektroden an die Enden der elek tronischen Komponenten des Chip-Types anzubringen, ge kennzeichnet durch folgende Merkmale:
ein Wiedergewinnungsblatt (22; 64) zum Sammeln der Elektrodenpaste auf der Bodenfläche des Tauchgefäßes (7; 50) in Richtung auf ein erstes Ende des Tauch gefäßes (7; 50) hin;
ein Nivellierblatt (23; 65) zum Nivellieren der Elek trodenpaste, die an dem ersten Ende des Tauchgefäßes (7; 50) gesammelt ist, in Richtung auf ein zweites Ende des Tauchgefäßes (7; 50) hin, um diese auf eine kon stante Filmdicke einzustellen;
eine Antriebseinrichtung (40-45; 53-56) zum rela tiven horizontalen Hin- und Herbewegen des Wiederge winnungsblattes (22; 64) und des Nivellierblattes (23; 65) bezüglich des Tauchgefäßes (7; 50);
eine erste vertikale Bewegungseinrichtung (25; 66) zum vertikalen Bewegen des Wiedergewinnungsblattes (22; 64) zwischen einer Position in Kontakt mit der Bodenfläche des Tauchgefäßes (7; 50) und einer nach oben zurückge zogenen Position;
eine zweite vertikale Bewegungseinrichtung (31; 67) zum vertikalen Bewegen des Nivellierblattes (23; 65) zwi schen einer Position nahe der Bodenfläche des Tauch gefäßes (7; 50) und einer nach oben zurückgezogenen Position.

2. Elektrodenherstellungsgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Tauchgefäß (7) in einer konstanten Lage in einem horizontalen Zustand eingestellt und mit einer Gleiteinrichtung (20) an seinen beiden Seitenabschnit ten versehen ist,
daß ein Blatt-Tragrahmen (21), der längs einer Gleit einrichtung (20) gleitend verschiebbar und durch die Antriebseinrichtung (40 bis 45) hin- und herbewegbar ist, sich quer zu dem Tauchgefäß (7) erstreckt und
daß das Wiedergewinnungsblatt (22) und das Nivellier blatt (23) auf dem Blatt-Tragrahmen (21) durch die erste vertikale Bewegungseinrichtung (25) und die zweite vertikale Bewegungseinrichtung (31) befestigt sind.

3. Elektrodenherstellungsgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Tauchgefäß (50) gleitend längs einer horizontal eingestellten Gleiteinrichtung (52) angeordnet ist und durch die Antriebseinrichtung (53 bis 56) hin- und herbewegbar ist, und
daß das Wiedergewinnungsblatt (64) und das Nivellier blatt (65) an einem Blatt-Tragrahmen (57), der in einer konstanten Position festgelegt ist, durch die erste vertikale Bewegungseinrichtung (66) und die zweite vertikale Bewegungseinrichtung (67) befestigt sind.