DE4200356C2 - Verfahren zur Herstellung einer nicht-reduzierbaren dielektrischen keramischen Zusammensetzung - Google Patents
Verfahren zur Herstellung einer nicht-reduzierbaren dielektrischen keramischen ZusammensetzungInfo
- Publication number
- DE4200356C2 DE4200356C2 DE4200356A DE4200356A DE4200356C2 DE 4200356 C2 DE4200356 C2 DE 4200356C2 DE 4200356 A DE4200356 A DE 4200356A DE 4200356 A DE4200356 A DE 4200356A DE 4200356 C2 DE4200356 C2 DE 4200356C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- elements
- slurry
- aqueous solution
- connection
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 46
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 64
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 45
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 20
- 150000001875 compounds Chemical group 0.000 claims description 20
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 claims description 16
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 14
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 10
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 claims description 9
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910017053 inorganic salt Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 9
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910001854 alkali hydroxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 7
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 6
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000012065 filter cake Substances 0.000 claims description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910000288 alkali metal carbonate Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000008041 alkali metal carbonates Chemical class 0.000 claims 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 28
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 17
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M sodium hydroxide Inorganic materials [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 14
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 14
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 12
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 9
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 9
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L sodium carbonate Substances [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 8
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 8
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 5
- IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N barium nitrate Chemical compound [Ba+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZCCIPPOKBCJFDN-UHFFFAOYSA-N calcium nitrate Chemical compound [Ca+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ZCCIPPOKBCJFDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- RCYIWFITYHZCIW-UHFFFAOYSA-N 4-methoxybut-1-yne Chemical compound COCCC#C RCYIWFITYHZCIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 101100496858 Mus musculus Colec12 gene Proteins 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 150000004673 fluoride salts Chemical class 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 150000004694 iodide salts Chemical class 0.000 description 3
- 239000011268 mixed slurry Substances 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 3
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 3
- IVORCBKUUYGUOL-UHFFFAOYSA-N 1-ethynyl-2,4-dimethoxybenzene Chemical compound COC1=CC=C(C#C)C(OC)=C1 IVORCBKUUYGUOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L barium carbonate Chemical compound [Ba+2].[O-]C([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- ABEVUBXCYLEFPJ-UHFFFAOYSA-K dysprosium(3+);trihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Dy+3] ABEVUBXCYLEFPJ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 2
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 2
- WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N propylamine Chemical compound CCCN WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J titanic acid Chemical compound O[Ti](O)(O)O LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- SOYBEXQHNURCGE-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxypropan-1-amine Chemical compound CCOCCCN SOYBEXQHNURCGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FAXDZWQIWUSWJH-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropan-1-amine Chemical compound COCCCN FAXDZWQIWUSWJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017569 La2(CO3)3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003074 TiCl4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021627 Tin(IV) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 description 1
- 235000012501 ammonium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L barium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ba+2] WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001626 barium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- BOXVSFHSLKQLNZ-UHFFFAOYSA-K dysprosium(iii) chloride Chemical compound Cl[Dy](Cl)Cl BOXVSFHSLKQLNZ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N hydroxyformaldehyde Chemical compound O[14CH]=O BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- NZPIUJUFIFZSPW-UHFFFAOYSA-H lanthanum carbonate Chemical compound [La+3].[La+3].[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O NZPIUJUFIFZSPW-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 229960001633 lanthanum carbonate Drugs 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- ATINCSYRHURBSP-UHFFFAOYSA-K neodymium(iii) chloride Chemical compound Cl[Nd](Cl)Cl ATINCSYRHURBSP-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 229910052705 radium Inorganic materials 0.000 description 1
- HCWPIIXVSYCSAN-UHFFFAOYSA-N radium atom Chemical compound [Ra] HCWPIIXVSYCSAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 235000017550 sodium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000018 strontium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- -1 zirconium ions Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/46—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
- C04B35/462—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
- C04B35/465—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1218—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
- H01G4/1227—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1236—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on zirconium oxides or zirconates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer nicht-
reduzierbaren dielektrischen keramischen Zusammensetzung, und sie betrifft
insbesondere ein Verfahren zur Herstellung einer nicht-reduzierbaren dielektrischen
keramischen Zusammensetzung, die als dielektrisches Material für monolithische
keramische Kondensatoren der Art geeignet ist, in der innere Elektroden aus einem
unedlen Metall wie beispielsweise Nickel bestehen.
Dielektrische keramische Materialien des Standes der Technik werden im
allgemeinen zu einem Halbleiter reduziert, wenn sie in einer neutralen oder
reduzierenden Atmosphäre mit einem niedrigen Sauerstoff-Partialdruck gebrannt
werden. Somit ist es wesentlich für ein solches dielektrisches Material, daß es in
einer oxidierenden Atmosphäre gebrannt wird. Wenn ein solches dielektrisches
keramisches Material für monolithische keramische Kondensatoren eingesetzt wird,
ist es nötig, daß ein für innere Elektroden zu verwendendes Material einen hohen
Schmelzpunkt und eine hohe Oxidationsbeständigkeit bei einer hohen
Sintertemperatur von nicht weniger als 1100°C besitzt. Zu diesem Zweck finden
Edelmetalle wie Palladium oder Platin weit verbreitete Verwendung als Material für
innere Elektroden der monolithischen keramischen Kondensatoren, jedoch ist die
Verwendung eines solchen Edelmetalls zum Hindernis für eine Senkung der
Kosten der monolithischen keramischen Kondensatoren geworden.
Zur Lösung eines solchen Problems hat man vorgeschlagen, billige unedle Metalle
wie Nickel als Material für innere Elektroden zu verwenden. Da ein solches Material
bei der üblichen Sinteratmosphäre leicht oxidiert wird, ist es erforderlich, das
keramische Material in neutraler oder reduzierender Atmosphäre mit einem
niedrigen Sauerstoff-Partialdruck zu brennen, um eine Oxidation der inneren
Elektroden während des Sinterns zu verhindern. Aus diesem Grunde ist es
erforderlich, ein nicht-reduzierbares dielektrisches keramisches Material zu
verwenden, das selbst dann nicht in einen Halbleiter umgewandelt wird, wenn es in
neutraler oder reduzierender Atmosphäre mit niedrigem Sauerstoff-Partialdruck
gebrannt wird, und das einen hohen Isolierwiderstand und ausgezeichnete
dielektrische Eigenschaften in einem Maße besitzt, das für seine Verwendung als
dielektrisches Material für Kondensatoren ausreicht.
Die Druckschriften Derwent Abstract zu JP 61-147150 A und JP 61-147150 A
beschreiben einen Abgassensor, der aus gesintertem Keramikkörper hergestellt
wird, der mit wenigstens einem Paar Elektroden verbunden ist. Dieser gesinterte
Körper besteht aus einem gasempfindlichen Material, einer Perowskitverbindung
der Formel A1-xLxSnO3- δ wobei A wenigstens ein Element ist, das ausgewählt aus
der Gruppe bestehend aus Calcium, Strontium, Barium und Radium, δ ein nicht
stöchiometrischer Parameter ist, und x im Bereich von 0,0003 bis 0,02 ist.
In der JP 61-147150 A wird offenbart, daß die Perowskitverbindung durch ein
besonderes Verfahren hergestellt wird, das die Schritte der Zugabe einer bestimm
ten Menge von Lanthancarbonat zu Bariumcarbonat oder Strontiumcarbonat
beinhaltet. Auf diesen Schritt erfolgt die Mischung mit einer äquimolaren Menge
an Zinnoxid (IV) und die Calcinierung der resultierenden Mischung in Luft bei einer
Temperatur von 1100 bis 1400°C. Das erhaltene calcinierte Pulver wird gebrochen
und mit kolloidaler Kieselsäure oder Kolloid von CeO2, ZrO2, HfO2 oder ThO2
gemischt und in die Form eines Gasmeßteils gebracht und anschließend im Bereich
von 1200 bis 1500°C gebrannt. Somit werden alle Verfahrensschritte zur Herstellung
des calcinierten Pulvers im festen Zustand durchgeführt.
Dielektrisches Material wird allgemein nach der konventionellen Pulver Methode gefertigt,
die Carbonate und/oder Oxide der betreffenden Komponenten als Rohstoffe verwendet.
Bei dieser Methode werden die Rohstoffe in vorgegebenen Stoffmengen-Verhältnissen
gemischt, naß vermahlen und dann kalziniert.
Es ist jedoch schwierig, mittels der konventionellen Methode ein keramisches Material
mit einer einheitlichen Zusammensetzung zu erzeugen, da die Korngrößen der Rohstoffe
nicht auf weniger als 1 µm erniedrigt werden können. Wenn die Pulver-Methode des
Standes der Technik auf die Herstellung einer festen Lösung von Bariumtitanat angewandt
wird, das ein Seltenerdelement enthält, diffundieren aufgrunddessen die Atome des
Seltenerdelements bei der Kalzinierung nicht gleichmäßig in die feste Lösung, was eine
örtliche Erhöhung der Konzentration des Seltenerdelements zur Folge hat.
Wie bekannt ist, wird Bariumtitanat durch die Anwesenheit einer Überschuß-Menge
des Seltenerdelements von einem Isolator in einen Halbleiter umgewandelt. Somit ver
ursacht die örtliche Erhöhung der Konzentration des Seltenerdelements die Erzeugung
einer partiell in einen Halbleiter umgewandelten festen Lösung des Bariumtitanats, was
eine Abnahme der Zuverlässigkeit der monolithischen keramischen Kondensatoren
nach sich zieht.
Aus diesem Grunde ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur
Herstellung eines nicht-reduzierbaren dielektrischen keramischen Materials mit einer
homogenen Zusammensetzung bereitzustellen, das es ermöglicht, monolithische
keramische Kondensatoren mit hoher Zuverlässigkeit zu fertigen.
Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung
nicht-reduzierbarer dielektrischer keramischer Zusammensetzungen mit einer Perowskit-
Struktur der allgemeinen Formel
(A1-xRx)yBO3
bereitzustellen, worin
A wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden Gruppe ausgewählt ist,
R wenigstens ein Seltenerdelement ist und
B wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist und
x und y Werte in den folgenden Bereichen annehmen:
A wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden Gruppe ausgewählt ist,
R wenigstens ein Seltenerdelement ist und
B wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist und
x und y Werte in den folgenden Bereichen annehmen:
0,001 ≦ x ≦ 0,020; 1,002 ≦ y ≦ 1,03.
Diese und andere Aufgaben der vorliegenden Erfindung werden dadurch gelöst, daß
eine Aufschlämmung hergestellt wird, die wenigstens eine Verbindung der Elemente
A, die aus der aus den Carbonaten und Hydroxiden von Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden
Gruppe ausgewählt ist, wenigstens eine Verbindung der Elemente R, die aus der aus
den Carbonaten und Hydroxiden der Seltenerdelemente R bestehenden Gruppe ausge
wählt ist und wenigstens eine Verbindung der Elemente B, die aus der aus den Oxiden,
Carbonaten und Hydroxiden von Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist,
enthält;
die resultierende Aufschlämmung abfiltriert wird;
der erhaltene Filterkuchen mit Wasser gewaschen wird; und
der gewaschene Kuchen kalziniert wird.
die resultierende Aufschlämmung abfiltriert wird;
der erhaltene Filterkuchen mit Wasser gewaschen wird; und
der gewaschene Kuchen kalziniert wird.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung nicht-reduzierbarer
dielektrischer keramischer Zusammensetzungen mit einer Perowskit-Struktur der
allgemeinen Formel
(A1-xRx)yBO3
verfügbar gemacht, worin
A wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden Gruppe ausgewählt ist,
R wenigstens ein Seltenerdelement ist und
B wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist und
x und y Werte in den folgenden Bereichen annehmen:
A wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden Gruppe ausgewählt ist,
R wenigstens ein Seltenerdelement ist und
B wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist und
x und y Werte in den folgenden Bereichen annehmen:
0,001 ≦ x ≦ 0,020; 1,002 ≦ y ≦ 1,03,
wobei das Verfahren die Schritte umfaßt, worin
eine Aufschlämmung hergestellt wird, die wenigstens eine Verbindung der Elemente
A, die aus der aus den Carbonaten und Hydroxiden von Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden
Gruppe ausgewählt ist, wenigstens eine Verbindung der Elemente R, die aus der aus
den Carbonaten und Hydroxiden der Seltenerdelemente R bestehenden Gruppe ausge
wählt ist und wenigstens eine Verbindung der Elemente B, die aus der aus den Oxiden,
Carbonaten und Hydroxiden von Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist,
enthält;
die resultierende Aufschlämmung abfiltriert wird;
der erhaltene Filterkuchen mit Wasser gewaschen wird; und
der gewaschene Kuchen kalziniert wird.
die resultierende Aufschlämmung abfiltriert wird;
der erhaltene Filterkuchen mit Wasser gewaschen wird; und
der gewaschene Kuchen kalziniert wird.
Die obige Aufschlämmung, die wenigstens eine Verbindung der Elemente A, wenigstens
eine Verbindung der Elemente R und wenigstens eine Verbindung der Elemente B enthält,
kann mittels der Schritte hergestellt werden, in denen
eine Aufschlämmung A hergestellt wird, die entweder ein Carbonat oder ein Hydroxid wenigstens eines Elements A enthält, das aus der aus Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden Gruppe ausgewählt ist;
eine Aufschlämmung R, die entweder ein Carbonat oder ein Hydroxid wenigstens eines Seltenerdelements enthält, durch Flüssigphasenreaktion hergestellt wird;
eine Aufschlämmung B, die wenigstens eine Verbindung enthält, die aus der aus den Oxiden, Carbonaten und Hydroxiden von Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist; und
die resultierenden Aufschlämmungen A, R und B miteinander vermischt werden.
eine Aufschlämmung A hergestellt wird, die entweder ein Carbonat oder ein Hydroxid wenigstens eines Elements A enthält, das aus der aus Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden Gruppe ausgewählt ist;
eine Aufschlämmung R, die entweder ein Carbonat oder ein Hydroxid wenigstens eines Seltenerdelements enthält, durch Flüssigphasenreaktion hergestellt wird;
eine Aufschlämmung B, die wenigstens eine Verbindung enthält, die aus der aus den Oxiden, Carbonaten und Hydroxiden von Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist; und
die resultierenden Aufschlämmungen A, R und B miteinander vermischt werden.
Die Aufschlämmung A kann aus einer wäßrigen Lösung wenigstens eines anorganischen
Salzes der Elemente A durch Hinzufügen einer wäßrigen Lösung eines Alkalicarbonats,
eines Alkalihydroxids oder eines Amins hergestellt werden. Als anorganische Salze der
Elemente A können beispielsweise solche Salze wie die Nitrate, Chloride, Iodide und
Fluoride einschließlich Carboxylate eingesetzt werden.
Die Aufschlämmung R kann aus einer wäßrigen Lösung wenigstens eines wasserlöslichen
anorganischen Salzes der Elemente R durch Hinzufügen einer wäßrigen Lösung eines
Alkalicarbonats oder eines Alkalihydroxids hergestellt werden. Als anorganische Salze
der Elemente R können solche Salze wie die Nitrate, Chloride, Iodide und Fluoride
einschließlich Carboxylate eingesetzt werden.
Die Aufschlämmung B kann aus einer wäßrigen Lösung wenigstens eines wasserlöslichen
anorganischen Salzes der Elemente B durch Hinzufügen einer wäßrigen Lösung eines
Alkalicarbonats oder eines Alkalihydroxids hergestellt werden. Als anorganische Salze
der Elemente B können solche Salze wie die Nitrate, Chloride, Iodide und Fluoride
einschließlich Carboxylate eingesetzt werden. Die Aufschlämmung B kann auch durch
Dispergieren wenigstens eines Oxids eines Elements B in einer geeigneten Menge Wasser
hergestellt werden.
In allen Fällen ist ein Primär-Faktor bei der Entscheidung, ob die Elemente A und R
in Form eines Carbonats oder eines Hydroxids ausgefällt werden sollten, die Stabilität
einer zu erzeugenden Verbindung.
Wenn die Elemente A und R als Carbonat ausgefällt werden sollen, kann dies durch
Hinzufügen einer wäßrigen Lösung eines Alkalicarbonats zu der wäßrigen Lösung eines
wasserlöslichen anorganischen Salzes des Elements A oder R erfolgen, bis der pH-Wert
der resultierenden Lösung 9 oder einen höheren Wert erreicht. Zu typischen Alkali
carbonaten zählen - ohne Beschränkung auf die genannten - Natriumcarbonat, Kaliumcar
bonat und Ammoniumcarbonat. Das Carbonat der Elemente A und R kann auch durch
Einblasen von Kohlenstoffdioxid in die jeweilige wäßrige Lösung der Elemente A und
R gefällt werden.
Wenn die Elemente A und R als Hydroxid ausgefällt werden sollen, kann dies durch
Hinzufügen einer wäßrigen Lösung eines Alkalihydroxids oder eines Amins zu der
wäßrigen Lösung eines anorganischen Salzes des Elements A oder R erfolgen, bis der
pH-Wert der resultierenden Lösung 9 oder einen höheren Wert erreicht. Zu typischen
Alkalihydroxiden zählen - ohne Beschränkung auf die genannten - Natriumhydroxid,
Kaliumhydroxid und Ammoniumhydroxid. Zu typischen Aminen zählen - ohne Be
schränkung auf die genannten - Isopropylamine, Ethylamine, Propylamine, 3-Ethox
ypropylamin, 3-Methoxypropylamin.
Die Aufschlämmung A und die Aufschlämmung R können gleichzeitig durch Auflösen
anorganischer Salze der Elemente A und R in Wasser in dem vorher festgelegten Stoff
mengen-Verhältnis zur Bildung einer wäßrigen Lösung, die Ionen der Elemente A und
R enthält, und danach Hinzufügen einer wäßrigen Lösung eines Alkalicarbonats, eines
Alkalihydroxids oder eines Amins zu der Ionen der Elemente A und R enthaltenden
wäßrigen Lösung hergestellt werden.
Die auf diese Weise hergestellten Carbonate und/oder Hydroxide der Elemente A und
R haben eine bemerkenswert niedrige Teilchengröße in der Größenordnung 0,01 µm,
wodurch es ermöglicht wird, die Mischbarkeit zwischen zwei Elementen A und R zu
verbessern. Dies stellt eine gleichmäßige Diffusion des Seltenerdelements R in Körner
des erzeugten keramischen Materials sicher.
Diese Aufschlämmung B wird mit der Aufschlämmung A und der Aufschlämmung R
durch Vermahlen oder ein geeignetes Mittel gleichmäßig vermischt. Die resultierende
Mischung wird filtriert, mit Wasser gewaschen, kalziniert und dann zerstoßen, wodurch
ein kalziniertes Pulver des dielektrischen keramischen Materials hergestellt wird.
Die gemäß dem Verfahren der vorliegenden Erfindung zu erzeugende dielektrische
keramische Zusammensetzung ist auf die im Vorstehenden definierten
Zusammensetzungs-Anteile aus den folgenden Gründen beschränkt: Wenn x, d. h. der
Stoffmengenanteil ("Molenbruch") des Seltenerdelements an der Stelle (A1-xRx) kleiner
als 0,001 ist, wird die Zuverlässigkeit durch den Zusatz des Seltenerdelements kaum
verbessert. Wenn × 0,02 übersteigt, wird die Zuverlässigkeit gemindert. Wenn y, d. h.
das Stoffmengen-Verhältnis der Stelle (A1-xRx) zu der Stelle B kleiner als 1,002 ist,
eignet sich die Zusammensetzung für eine Umwandlung in einen Halbleiter, und ihre
Zuverlässigkeit wird erheblich gemindert. Wenn Y 1,03 übersteigt, wird das Sinterver
mögen gemindert.
Erforderlichenfalls kann die dielektrische keramische Zusammensetzung gemäß der
vorliegenden Erfindung eine gewisse Menge darin eingebautes SiO2 eingebaut als
Mineralbildner enthalten. Die Zusammensetzung kann weiterhin auch eine geeignete
Menge darin eingebautes MnO und/oder Cr2O3 enthalten, um seinen Isolierwiderstand
zu verbessern.
Die vorliegende Erfindung macht es möglich, ein dielektrisches keramisches Material
mit niedriger Korngröße und einer homogenen Zusammensetzung zu erzeugen, wodurch
es möglich wird, monolithische keramische Kondensatoren mit hoher Zuverlässigkeit
und einer verbesserten mittleleren Zeitdauer bis zum Ausfall herzustellen, die um eine
Größenordnung höher ist als diejenige der nach der konventionellen Methode hergestellten
Kondensatoren. Die gemäß dem Verfahren der vorliegenden Erfindung hergestellte
dielektrische keramische Zusammensetzung wird auch in einer reduzierenden Atmosphäre
kaum reduziert, wodurch es ermöglicht wird, dielektrische keramische Kondensatoren
mit inneren Elektroden aus preisgünstigem Nickel herzustellen. Weiterhin macht es die
dielektrische keramische Zusammensetzung wegen ihrer feinen Korngröße möglich,
die Dicke der dielektrischen keramischen Schichten der monolithischen Keramik-
Kondensatoren zu vermindern, wodurch es möglich wird, Mehrschichten-Keramik-
Kondensatoren kleiner Abmessungen und hoher Kapazität ohne Einbußen hinsichtlich
der Zuverlässigkeit herzustellen.
Die vorstehenden Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden
aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit mehreren Beispielen deutlich.
Unter Verwendung von BaCl2, SrCl2, MgCl2, CeCl3, hochgereinigten Oxiden (Reinheit
< 99,8%) TiO2 und ZrO2 als Rohstoffen wurde eine dielektrische keramische Zusammen
setzung
(Ba0,787Sr0,198Mg0,005Ce0,010)1,01(Ti0,90Zr0,10)O3
auf folgende Weise hergestellt: Zunächst wurde eine wäßrige Lösung von Bariumchlorid
durch Auflösen von 827,6 Gew.-Teilen BaCl2 angesetzt. In ähnlicher Weise wurden
wäßrige Lösungen, die 158,5 Gew.-Teile SrCl2, 2,38 Gew.-Teile MgCl2 bzw. 10,55 Gew.-
Teile CeCl3 enthielten, hergestellt. Die resultierenden Lösungen wurden zusammenge
mischt, und dann wurde eine wäßrige Lösung von Natriumcarbonat (Na2CO3) hinzugefügt,
um den pH der Mischung auf 10 bis 12 einzustellen, wodurch BaCO3, SrCO3, MgCO3
und Ce2(CO3)3 ausgefällt wurden. Der Niederschlag wurde abfiltriert und mit Wasser
gewaschen, um eine Aufschlämmung herzustellen, die aus einem Gemisch aus BaCO3,
SrCO3, MgCO3 und Ce2(CO3)3 bestand.
Getrennt von dem obigen Gemisch wurden 359,4 Gew.-Teile TiO2 und 61,6 Gew.-Teile
ZrO2 zusammen mit 1000 ml reinem Wasser und 2000 g Zirconiumdioxid-Kugeln von
5 mm Durchmesser in eine Kugelmühle gefüllt, 16 h vermahlen, mit der obigen ge
waschenen Aufschlämmung vermischt und dann weiter 4 h vermahlen. Die resultierende
Aufschlämmung wurde filtriert, durch Eindampfen getrocknet, 2 h bei 1100°C kalziniert
und dann zerstoßen, um ein kalziniertes Pulver der dielektrischen keramischen Zu
sammensetzung herzustellen.
Eine Analyse des resultierenden kalzinierten Pulvers mit einem Röntgenstrahlen-
Mikroanalysator zeigte keinerlei Anwesenheit von unumgesetztem Ce. Weiterhin ergab
eine Analyse keramischer Dielektrika, die durch Brennen dieses kalzinierten Pulvers
in reduzierender Atmosphäre erhalten worden waren, eine gleichmäßige Verteilung
des Seltenerdelements in dem Kristallgitter der Perowskit-Struktur ABO3.
Unter Verwendung des resultierenden kalzinierten Pulvers wurden monolithische
keramische Kondensator Chips auf folgende Weise hergestellt: Das kalzinierte Pulver
(200 Gew.-Teile) wurde mit einer geeigneten Menge eines organischen Bindemittels
und einer geeigneten Menge eines organischen Lösungsmittels gemeinsam vermahlen,
mit einer Rakel zu einem Flächengebilde geformt, getrocknet und dann zerschnitten,
wodurch keramische Rohfolien (green sheets) mit einer Dicke von 15 µm hergestellt
wurden.
Jede keramische Rohfolie wurde auf ihrer einen Oberfläche mittels des Siebdruck
verfahrens mit einer leitfähigen Schicht aus einer Nickel-Paste für innere Elektroden
versehen. Anschließend wurden 10 dieser bedruckten Rohfolien übereinander gestapelt,
gepreßt und dann zerschnitten, wodurch Roh-Chips für monolithische Kondensatoren
hergestellt wurden. Die Roh-Chips wurden auf 300°C erhitzt und 2 h auf dieser Tem
peratur bei einem Sauerstoff-Partialdruck von 100 ppm gehalten, um das Bindemittel
zu entfernen, und dann 2 h bei einer Temperatur von 1250°C bis 1300°C in einer
reduzierenden Atmosphäre mit einem gesteuerten Sauerstoff-Gehalt von 3 × 10-3 bis
3 × 10-5 Pa gebrannt, um monolithische Kondensator-Chips herzustellen.
Äußere Elektroden wurden auf den entgegengesetzten Seiten der gestapelten Keramik-
Schichten gebildet und in üblicher Weise mit den inneren Elektroden verbunden, um
Probekörper für Testzwecke herzustellen.
Für jeden Probekörper wurden Messungen der Kapazität, des dielektrischen Verlusts
(tan δ), des Isolierwiderstandes (IR) und der mittleren Zeitdauer bis zum Ausfall (MTTF)
durchgeführt. Die Dielektrizitätskonstante und der dielektrische Verlust (tan δ) wurden
bei 25°C, 1 kHz und 1 Vrms gemessen, und die Dielektrizitätskonstante (∈) wurde aus
der gemessenen Kapazität berechnet. Der Wert für MTTF wurde unter den Bedingungen
150°C und 4 WV (Arbeitsspannung) gemessen. Die Ergebnisse sind die folgenden:
Kapazität: 83 nF
∈: 12400
tan δ: 2,7%
log IR: 11,1
MTTF: 35,5 h
Kapazität: 83 nF
∈: 12400
tan δ: 2,7%
log IR: 11,1
MTTF: 35,5 h
Aus den hochgereinigten Rohstoffen (Reinheit: nicht weniger als 98%) BaCO3, SrCO3,
MgCO3, CeO2, TiO2 und ZrO2 wurde eine Mischung aus 784,4 Gew.-Teilen BaCO3,
147,6 Gew.-Teilen SrCO3, 2,11 Gew.-Teilen MgCO3, 8,61 Gew.-Teilen CeO2,
359,4 Gew.-Teilen TiO2 und 61,6 Gew.-Teilen ZrO2 hergestellt. Das resultierende
Gemisch wurde in eine Kugelmühle gefüllt, zusammen mit 1000 ml reinem Wasser und
2000 g Zirconiumdioxid-Kugeln von 5 mm Durchmesser 16 h vermahlen, filtriert, durch
Eindampfen getrocknet und dann 2 h bei 1180°C kalziniert, um ein kalziniertes Pulver
der dielektrischen keramischen Zusammensetzung
(Ba0,787Sr0,198Mg0,005Ce0,010)1,01(Ti0,90Zr0,10)O3
herzustellen.
Eine Analyse des resultierenden kalzinierten Pulvers mit einem Röntgenstrahlen-
Mikroanalysator zeigte noch die Anwesenheit von unumgesetztem Ce.
Unter Verwendung des resultierenden kalzinierten Pulvers wurden in der gleichen Weise
wie in Beispiel 1 Kondensator-Chips hergestellt und den Messungen der elektrischen
Eigenschaften unterzogen. Die Ergebnisse sind die folgenden:
Kapazität: 80 nF
ε: 11900
tan δ: 3,7%
log IR: 10,5
MTTF: 1,3 h
Kapazität: 80 nF
ε: 11900
tan δ: 3,7%
log IR: 10,5
MTTF: 1,3 h
Aus dem Vergleich der experimentellen Ergebnisse für Beispiel 1 mit denjenigen für
das Vergleichsbeispiel ist zu ersehen, daß die dielektrische keramische Zusammensetzung
gemäß der vorliegenden Erfindung in bezug auf die mittlere Zeitdauer bis zum Ausfall
der nach dem konventionellen Verfahren hergestellten dielektrische keramische
Zusammensetzung stark überlegen ist.
Wäßrige Lösungen von Bariumnitrat und Calciumnitrat wurden angesetzt durch Auflösen
von 1221,6 Gew.-Teilen Ba(NO3)2 und von 94,4 Gew.-Teilen Ca(NO3)2 × 4H2O in
je einer bestimmten Menge Wasser. Die resultierenden Lösungen wurden zusammenge
mischt, und dann wurde eine wäßrige Lösung von Natriumcarbonat (Na2CO3) hinzugefügt,
um den pH-Wert der Mischlösung einzustellen und dadurch BaCO3 und CaCO3
auszufällen. Der Niederschlag wurde filtriert und dann mit Wasser gewaschen, um eine
Aufschlämmmung von BaCO3 und CaCO3 herzustellen.
Getrennt von dem obigen Gemisch wurde eine wäßrige Lösung von Neodymchlorid
durch Auflösen von 8,97 Gew.-Teilen NdCl3 × 6H2O in Wasser hergestellt, mit einer
bestimmten Menge H2O2 als Stabilisator versetzt, und dann wurde NH4OH hinzugefügt,
um den pH-Wert einzustellen und dadurch Neodymhydroxid auszufällen. Der resultierende
Niederschlag wurde abfiltriert und dann mit Wasser gewaschen, um eine Aufschlämmung
von Neodymhydroxid herzustellen.
Dann wurde unter Verwendung von hochgereinigtem TiO2, ZrO2 und SnO2 (Reinheit:
nicht weniger als 99,8%) eine Aufschlämmung, die 343,4 Gew.-Teile TiO2, 77,1 Gew.-
Teile ZrO2 und 11,30 Gew.-Teile SnO2 enthielt, auf folgende Weise hergestellt. Die
Oxide wurden in eine Kugelmühle gefüllt, 1000 ml reines Wasser und 2000 g
Zirconiumdioxid-Kugeln von 5 mm Durchmesser wurden zugegeben, und die Mischung
wurde 16 h vermahlen.
Zu dieser Aufschlämmung wurde die Aufschlämmung von BaCO3 und CaCO3 und die
Aufschlämmung von Neodymhydroxid hinzugefügt, und die Mischung wurde dann 4 h
vermahlen. Die gemischte Aufschlämmung wurde abfiltriert, durch Eindampfen getrocknet,
3 h bei 1150°C kalziniert und dann zerstoßen. Das kalzinierte Pulver ist das einer
dielektrischen keramischen Zusammensetzung eines Systems
(Ba0,917Ca0,078Nd0,005)1,02(Ti0,860Zr0,125Sn0,015)O3
Unter Verwendung des kalzinierten Pulvers wurden in der gleichen Weise wie in Beispiel
1 Kondensator-Chips hergestellt und den Messungen der elektrischen Eigenschaften
unterzogen. Die Ergebnisse sind die folgenden:
Kapazität: 85 nF
∈: 13300
tan δ: 4,8%
log IR: 11,0
MTTF: 28,7 h
Kapazität: 85 nF
∈: 13300
tan δ: 4,8%
log IR: 11,0
MTTF: 28,7 h
Wäßrige Lösungen wurden angesetzt durch Auflösen von jeweils 747,10 Gew.-Teilen
Ba(CH3COO)2, 423,2 Gew.-Teilen Sr(NO3)2 und 11,10 Gew.-Teilen CaCl2 in Wasser,
miteinander vermischt und mit einer wäßrigen Lösung von Na2CO3 versetzt, um den
pH-Wert der Mischlösung einzustellen und dadurch BaCO3, SrCO3 und CaCO3
auszufällen. Der Niederschlag wurde filtriert und dann mit Wasser gewaschen, um eine
Aufschlämmmung A herzustellen, die BaCO3, SrCO3 und CaCO3 enthielt.
Getrennt von dem obigen Gemisch wurde eine wäßrige Lösung von DyCl3 durch Auflösen
von 26,88 Gew.-Teilen DyCl3 in Wasser hergestellt und mit einer bestimmten Menge
H2O2 als Stabilisator versetzt. Zu der Lösung wurde dann eine wäßrige Lösung von
NaOH hinzugefügt, um den pH-Wert einzustellen und dadurch Dysprosiumhydroxid
auszufällen. Der resultierende Niederschlag wurde abfiltriert und dann mit Wasser
gewaschen, um eine Aufschlämmung R von Dysprosiumhydroxid herzustellen.
Dann wurde unter Verwendung des gleichen Materials wie in Beispiel 1 die dritte
Aufschlämmung B in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 hergestellt, die 391,4 Gew.-Teile
TiO2 und 12,32 Gew.-Teile ZrO2 enthielt. Die Aufschlämmung B wurde zu den Auf
schlämmungen A und R hinzugefügt, und die Mischung wurde dann 4 h vermahlen.
Die resultierende Aufschlämmung wurde abfiltriert, durch Eindampfen getrocknet, 3 h
bei 1100°C kalziniert und dann zerstoßen, um ein kalziniertes Pulver einer dielektrischen
keramischen Zusammensetzung,
(Ba0,57Sr0,39Ca0,02Dy0,02)1,025(Ti0,98Zr0,02)O3
herzustellen.
Unter Verwendung des resultierenden kalzinierten Pulvers wurden in der gleichen Weise
wie in Beispiel 1 Kondensator-Chips hergestellt und den Messungen der elektrischen
Eigenschaften unterzogen. Die Ergebnisse sind die folgenden:
Kapazität: 92 nF
∈: 14500
tan δ: 1,5%
log IR: 10,8
MTTF: 40,5 h
Kapazität: 92 nF
∈: 14500
tan δ: 1,5%
log IR: 10,8
MTTF: 40,5 h
Wäßrige Lösungen wurden angesetzt durch Auflösen von jeweils 848,6 Gew.-Teilen
BaCl2, 142,7 Gew.-Teilen SrCl2, 2,38 Gew.-Teilen MgCl2 und 12,32 Gew.-Teilen CeCl3
in Wasser und dann miteinander vermischt. Die resultierende Mischlösung wurde mit
einer wäßrigen Lösung von Natriumcarbonat (Na2CO3) versetzt, um den pH-Wert einzu
stellen und dadurch BaCO3, SrCO3, MgCO3 und Ce2(CO3)3 auszufällen. Der Nieder
schlag wurde abfiltriert und dann mit Wasser gewaschen, um eine Aufschlämmmung
herzustellen, die BaCO3, SrCO3, MgCO3 und Ce2(CO3)3 enthielt.
Getrennt von dem obigen Gemisch wurden wäßrige Lösungen, die jeweils Titan- bzw.
Zirconium-Ionen enthielten, durch Auflösen von 872,6 Gew.-Teilen TiCl4 und 128,9 Gew.-
Teilen ZrOCl2 × 8 H2O in Wasser hergestellt, miteinander vermischt und mit einer
geeigneten Menge 30-proz. H2O2 als Stabilisator versetzt. Die Mischlösung wurde dann
mit einer wäßrigen Lösung von Natriumhydroxid (NaOH) versetzt, um ihren pH-Wert
einzustellen und dadurch Titanhydroxid und Zirconiumhydroxid auszufällen. Der
Niederschlag wurde abfiltriert und dann mit Wasser gewaschen, um eine Titanhydroxid
und Zirconiumhydroxid enthaltende Aufschlämmung herzustellen.
Die so hergestellten Aufschlämmungen wurden dann miteinander vermischt, bei 110°C
getrocknet und dann 2 h bei 1100°C kalziniert, um ein kalziniertes Pulver einer di
elektrischen keramischen Zusammensetzung eines Systems
(Ba0,807Sr0,178Mg0,005Ce0,010)1,01(Ti0,920Zr0,080)O3
herzustellen.
Eine Analyse des resultierenden kalzinierten Pulvers mit einem Röntgenstrahlen-
Mikroanalysator zeigte keinerlei Anwesenheit von unumgesetztem Ce. Weiterhin ergab
eine Analyse keramischer Dielektrika, die durch Brennen dieses kalzinierten Pulvers
in reduzierender Atmosphäre erhalten worden waren, eine gleichmäßige Verteilung
des Seltenerdelements in dem Kristallgitter der Perowskit-Struktur ABO3.
Unter Verwendung des resultierenden kalzinierten Pulvers wurden in der gleichen Weise
wie in Beispiel 1 Kondensator-Chips hergestellt und den Messungen der elektrischen
Eigenschaften unterzogen. Die Ergebnisse sind die folgenden:
Kapazität: 81 nF
∈: 12100
tan δ: 2,5%
log IR: 11,2
MTTF: 41,1 h
Kapazität: 81 nF
∈: 12100
tan δ: 2,5%
log IR: 11,2
MTTF: 41,1 h
Wäßrige Lösungen von Bariumnitrat und Calciumnitrat wurden angesetzt durch Auflösen
von 1234,8 Gew.-Teilen Ba(NO3)2 und von 82,7 Gew.-Teilen Ca(NO3)2 ® 4 H2O in
Wasser, miteinander vermischt und dann mit einer wäßrigen Lösung von Natriumcarbonat
(Na2CO3) versetzt, um den pH-Wert der Mischlösung einzustellen und dadurch BaCO3
und CaCO3 auszufällen.
Getrennt von dem obigen Gemisch wurden wäßrige Lösungen von NdCl3, TiCl4, ZrOCl2
und SnCl4 durch Auflösen von 8,97 Gew.-Teilen NdCl3 × 6 H2O, 815,7 Gew.-Teilen
TiCl4, 193,3 Gew.-Teilen ZrOCl2 × 8 H2O bzw. 26,1 Gew.-Teilen SnCl4 in Wasser
hergestellt. Die Lösungen wurden miteinander vermischt und mit einer geeigneten Menge
30-proz. H2O2 als Stabilisator versetzt, und dann wurde NH4OH hinzugefügt, um ihren
pH-Wert einzustellen und dadurch die Ionen von Nd, Ti, Zr und Sn als Hydroxide auszu
fällen.
Die resultierende Aufschlämmung der Carbonate und die Aufschlämmung der Hydroxide
wurden miteinander vermischt, und der Niederschlag wurde abfiltriert und wiederholt
mit Wasser gewaschen. Die Misch-Aufschlämmung wurde bei 110°C getrocknet und
dann 2 h bei 1150°C kalziniert, um ein kalziniertes Pulver einer dielektrischen kera
mischen Zusammensetzung eines Systems
(Ba0,926Ca0,069Nd0,005)1,02(Ti0,860Zr0,120Sn0,020)O3
herzustellen.
Eine Analyse des resultierenden kalzinierten Pulvers mit einem Röntgenstrahlen-
Mikroanalysator zeigte keinerlei Anwesenheit von unumgesetztem Nd. Weiterhin ergab
eine Analyse keramischer Dielektrika, die durch Brennen dieses kalzinierten Pulvers
in reduzierender Atmosphäre erhalten worden waren, eine gleichmäßige Verteilung
des Seltenerdelements in dem Kristallgitter der Perowskit-Struktur ABO3.
Unter Verwendung des resultierenden kalzinierten Pulvers wurden in der gleichen Weise
wie in Beispiel 1 Kondensator-Chips hergestellt und den Messungen der elektrischen
Eigenschaften unterzogen. Die Ergebnisse sind die folgenden:
Kapazität: 87 nF
∈: 13500
tan δ: 4,7%
log IR: 11,1
MTTF: 30,3 h
Kapazität: 87 nF
∈: 13500
tan δ: 4,7%
log IR: 11,1
MTTF: 30,3 h
Wäßrige Lösungen von Ba(CH3COO)2, Sr(NO3)2 und CaCl2 wurden angesetzt durch
Auflösen von 711,3 Gew.-Teilen Ba(CHCOO)2, 423,2 Gew.-Teilen Sr(NO3)2 und
27,2 Gew.-Teilen CaCl2 in Wasser, miteinander vermischt und dann mit einer wäßrigen
Lösung von Na2CO3 versetzt, um den pH-Wert der Mischlösung einzustellen und dadurch
BaCO3, SrCO3 und CaCO3 auszufällen.
Getrennt von dem obigen Gemisch wurden wäßrige Lösungen von DyCl3, TiCl4, SnCl4
und Sm(NO3)3 durch Auflösen von 3,44 Gew.-Teilen DyCl3, 17,78 Gew.-Teilen
Sm(NO3)3 × 6 H2O, 929,5 Gew.-Teilen TiCl4 bzw. 26,1 Gew.-Teilen SnCl4 in Wasser
hergestellt, miteinander vermischt und dann mit einer geeigneten Menge 30-proz. H2O2
als Stabilisator versetzt. Zu der resultierenden Mischlösung wurde eine wäßrige NaOH-
Lösung hinzugefügt, um ihren pH-Wert einzustellen und dadurch die Ionen von Dy, Ti,
Sn und Sm als Hydroxide auszufällen.
Die resultierende Aufschlämmung der Carbonate und die Aufschlämmung der Hydroxide
wurden miteinander vermischt, und der Niederschlag wurde abfiltriert und wiederholt
mit Wasser gewaschen. Die Misch-Aufschlämmung wurde bei 110°C getrocknet und
dann 2 h bei 1200°C kalziniert, um ein kalziniertes Pulver einer dielektrischen kera
mischen Zusammensetzung eines Systems
(Ba0,543Sr0,390Ca0,049Dy0,010Sm0,008)1,025(Ti0,980Sn0,020)O3
herzustellen.
Eine Analyse keramischer Dielektrika, die durch Brennen dieses kalzinierten Pulvers
in reduzierender Atmosphäre erhalten worden waren, zeigte eine gleichmäßige Verteilung
des Seltenerdelements in dem Kristallgitter der Perowskit-Struktur ABO3.
Unter Verwendung des resultierenden kalzinierten Pulvers wurden in der gleichen Weise
wie in Beispiel 1 Kondensator-Chips hergestellt und den Messungen der elektrischen
Eigenschaften unterzogen. Die Ergebnisse sind die folgenden:
Kapazität: 82 nF
ε: 12 200
tan δ: 1,1%
log IR: 11,0
MTTF: 44,5 h
Kapazität: 82 nF
ε: 12 200
tan δ: 1,1%
log IR: 11,0
MTTF: 44,5 h
Wie aus den vorstehenden Ergebnissen zu entnehmen ist, liegen die MTTF-Werte der
dielektrischen keramischen Zusammensetzungen, die nach dem Verfahren der vorliegen
den Erfindung hergestellt sind, in dem Bereich von 28,8 bis 44,5 h, wohingegen die MTTF
der nach dem konventionellen Verfahren hergestellten Zusammensetzungen sehr kurz
ist und 1,3 h beträgt.
Claims (10)
1. Verfahren zur Herstellung einer nicht-reduzierbaren dielektrischen keramischen
Zusammensetzung mit einer Perowskit-Struktur der allgemeinen Formel
(A1-xRx)yBO3,
worin
A wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden Gruppe ausgewählt ist,
R wenigstens ein Seltenerdelement ist und
B wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist und
x und y Werte in den folgenden Bereichen annehmen:
0,001 ≦ x ≦ 0020; 1,002 ≦ y ≦ 1,03,
wobei das Verfahren die Schritte umfaßt, worin
eine Aufschlämmung hergestellt wird, die wenigstens eine Verbindung der Elemente A, die aus der aus den Carbonaten und Hydroxiden von Ba, Sr, Ca und Mg bestehen den Gruppe ausgewählt ist, wenigstens eine Verbindung der Elemente R, die aus der aus den Carbonaten und Hydroxiden der Seltenerdelemente R bestehenden Gruppe ausgewählt ist und wenigstens eine Verbindung der Elemente B, die aus der aus den Oxiden, Carbonaten und Hydroxiden von Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist, enthält;
die resultierende Aufschlämmung abfiltriert wird;
der erhaltene Filterkuchen mit Wasser gewaschen wird; und
der gewaschene Kuchen kalziniert wird.
(A1-xRx)yBO3,
worin
A wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ba, Sr, Ca und Mg bestehenden Gruppe ausgewählt ist,
R wenigstens ein Seltenerdelement ist und
B wenigstens ein Element ist, das aus der aus Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist und
x und y Werte in den folgenden Bereichen annehmen:
0,001 ≦ x ≦ 0020; 1,002 ≦ y ≦ 1,03,
wobei das Verfahren die Schritte umfaßt, worin
eine Aufschlämmung hergestellt wird, die wenigstens eine Verbindung der Elemente A, die aus der aus den Carbonaten und Hydroxiden von Ba, Sr, Ca und Mg bestehen den Gruppe ausgewählt ist, wenigstens eine Verbindung der Elemente R, die aus der aus den Carbonaten und Hydroxiden der Seltenerdelemente R bestehenden Gruppe ausgewählt ist und wenigstens eine Verbindung der Elemente B, die aus der aus den Oxiden, Carbonaten und Hydroxiden von Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist, enthält;
die resultierende Aufschlämmung abfiltriert wird;
der erhaltene Filterkuchen mit Wasser gewaschen wird; und
der gewaschene Kuchen kalziniert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufschlämmung in
der Weise hergestellt wird, daß entweder wenigstens ein Carbonat oder wenigstens
ein Hydroxid der Elemente A aus einer wäßrigen Lösung wenigstens eines anorganischen
Salzes einschließlich der Carboxylate der Elemente A durch Zugabe einer wäßrigen
Lösung einer Verbindung, die aus der aus Alkalicarbonaten, Alkalihydroxiden und Aminen
bestehenden Gruppe ausgewählt ist, ausgefällt wird, um eine Aufschlämmung A
herzustellen, und danach die resultierende Aufschlämmung A mit einer die wenigstens
eine Verbindung der Seltenerdelemente R und die wenigstens eine Verbindung der
Elemente B enthaltenden Aufschlämmung vermischt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufschlämmung in
der Weise hergestellt wird, daß entweder wenigstens ein Carbonat oder wenigstens
ein Hydroxid der Seltenerdelemente R aus einer wäßrigen Lösung wenigstens eines
anorganischen Salzes einschließlich der Carboxylate der Seltenerdelemente R durch
Zugabe einer wäßrigen Lösung einer Verbindung, die aus der aus Alkalicarbonaten,
Alkalihydroxiden und Aminen bestehenden Gruppe ausgewählt ist, ausgefällt wird, um
eine Aufschlämmung R herzustellen, und die resultierende Aufschlämmung R mit einer
die wenigstens eine Verbindung der Elemente A und die wenigstens eine Verbindung
der Elemente B enthaltenden Aufschlämmung vermischt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufschlämmung in
der Weise hergestellt wird, daß wenigstens ein Oxid der Elemente B dispergiert wird,
um eine Aufschlämmung B herzustellen, und die resultierende Aufschlämmung B mit
einer die wenigstens eine Verbindung der Elemente A und die wenigstens eine Verbindung
der Elemente R enthaltenden Aufschlämmung vermischt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufschlämmung in
der Weise hergestellt wird, daß wenigstens eine Verbindung, die aus der aus Carbonaten
und Hydroxiden von Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt ist, aus einer wäßrigen
Lösung wenigstens eines anorganischen Salzes einschließlich der Carboxylate der
Elemente B durch Zugabe einer wäßrigen Lösung einer Verbindung, die aus der aus
Alkalicarbonaten, Alkalihydroxiden und Aminen bestehenden Gruppe ausgewählt ist,
ausgefällt wird, um eine Aufschlämmung B herzustellen, und die resultierende Auf
schlämmung B mit einer die wenigstens eine Verbindung der Elemente A und die
wenigstens eine Verbindung der Elemente R enthaltenden Aufschlämmung vermischt
wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufschlämmung mittels
der Schritte hergestellt wird, in denen
wenigstens ein Carbonat aus einer wäßrigen Lösung wenigstens eines anorganischen
Salzes einschließlich der Carboxylate von Ba, Sr, Ca und Mg durch Zusatz einer
wäßrigen Lösung eines Alkalicarbonats ausgefällt wird, um eine Aufschlämmung A
herzustellen;
wenigstens ein Carbonat aus einer wäßrigen Lösung wenigstens eines anorganischen Salzes von Seltenerdelementen R durch Zusatz einer wäßrigen Lösung eines Alkalicarbo nats ausgefällt wird, um eine Aufschlämmung R herzustellen;
eine Aufschlämmung hergestellt wird, die wenigstens ein Oxid der Elemente B, die aus der aus Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt sind, enthält; und
die resultierenden Aufschlämmungen A, R und B miteinander vermischt werden.
wenigstens ein Carbonat aus einer wäßrigen Lösung wenigstens eines anorganischen Salzes von Seltenerdelementen R durch Zusatz einer wäßrigen Lösung eines Alkalicarbo nats ausgefällt wird, um eine Aufschlämmung R herzustellen;
eine Aufschlämmung hergestellt wird, die wenigstens ein Oxid der Elemente B, die aus der aus Ti, Zr und Sn bestehenden Gruppe ausgewählt sind, enthält; und
die resultierenden Aufschlämmungen A, R und B miteinander vermischt werden.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Verbindung
von Seltenerdelementen R gleichzeitig mit wenigstens einer Verbindung der Elemente
A aus einer Ionen der Elemente A und R enthaltenden wäßrigen Lösung ausgefällt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Verbindung
von Elementen R gleichzeitig mit wenigstens einer Verbindung der Elemente B aus einer
Ionen der Elemente R und B enthaltenden wäßrigen Lösung ausgefällt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung
SiO2 enthält.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung
MnO und/oder Cr2O3 enthält.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01383091A JP3182772B2 (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | 非還元性誘電体磁器組成物の製造方法 |
| JP3044401A JPH04260660A (ja) | 1991-02-16 | 1991-02-16 | 非還元性誘電体磁器組成物の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4200356A1 DE4200356A1 (de) | 1992-07-16 |
| DE4200356C2 true DE4200356C2 (de) | 2000-05-18 |
Family
ID=26349680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE4200356A Expired - Lifetime DE4200356C2 (de) | 1991-01-11 | 1992-01-09 | Verfahren zur Herstellung einer nicht-reduzierbaren dielektrischen keramischen Zusammensetzung |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5232880A (de) |
| DE (1) | DE4200356C2 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19913867B4 (de) * | 1998-04-08 | 2008-02-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Hochdruckdampf-Entladungslampe sowie Verwendung eines Kondensators in einer solchen Hochdruckdampf-Entladungslampe |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5312790A (en) * | 1993-06-09 | 1994-05-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Ceramic ferroelectric material |
| AU7201594A (en) * | 1993-06-09 | 1995-01-03 | United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Army, The | Novel ceramic ferroelectic composite material - bsto-zro2 |
| AU7095194A (en) * | 1993-06-09 | 1995-01-03 | United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Army, The | Novel ceramic ferroelectric composite material - bsto-mgo |
| US5635741A (en) * | 1994-09-30 | 1997-06-03 | Texas Instruments Incorporated | Barium strontium titanate (BST) thin films by erbium donor doping |
| JP3287978B2 (ja) * | 1995-03-02 | 2002-06-04 | 松下電器産業株式会社 | 誘電体磁器組成物 |
| DE69632659T2 (de) * | 1995-03-24 | 2005-06-09 | Tdk Corp. | Vielschichtvaristor |
| US6676935B2 (en) | 1995-06-27 | 2004-01-13 | Cell Genesys, Inc. | Tissue specific adenoviral vectors |
| US5807642A (en) * | 1995-11-20 | 1998-09-15 | Xue; Liang An | Solid oxide fuel cell stacks with barium and strontium ceramic bodies |
| US5766697A (en) * | 1995-12-08 | 1998-06-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of making ferrolectric thin film composites |
| DE19546237A1 (de) * | 1995-12-12 | 1997-06-19 | Philips Patentverwaltung | Vielschichtkondensator mit Dielektrikum aus modifiziertem Bariumstrontiumtitanat |
| EP0873979B1 (de) * | 1997-04-24 | 2003-10-15 | Ngk Spark Plug Co., Ltd | Dielektrisches Material und Verfahren zu seiner Herstellung |
| KR100417394B1 (ko) * | 2001-02-20 | 2004-02-05 | 학교법인 성균관대학 | 유전체 세라믹 조성물 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS547070B2 (de) * | 1973-07-30 | 1979-04-03 | ||
| US4535064A (en) * | 1983-05-25 | 1985-08-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic compositions for a reduction-reoxidation type semiconducting capacitor |
| JPH0639330B2 (ja) * | 1984-01-24 | 1994-05-25 | ソニー株式会社 | チタン酸バリウム・ストロンチウム微粒子の製造方法 |
| US4537865A (en) * | 1984-07-11 | 1985-08-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Process for preparing a particulate ceramic material |
| JPH0692268B2 (ja) * | 1988-06-03 | 1994-11-16 | 日本油脂株式会社 | 還元再酸化型半導体セラミックコンデンサ素子 |
-
1992
- 1992-01-09 US US07/818,294 patent/US5232880A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-09 DE DE4200356A patent/DE4200356C2/de not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Derwent-Abstract zu JP 61-147150 A * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19913867B4 (de) * | 1998-04-08 | 2008-02-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Hochdruckdampf-Entladungslampe sowie Verwendung eines Kondensators in einer solchen Hochdruckdampf-Entladungslampe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5232880A (en) | 1993-08-03 |
| DE4200356A1 (de) | 1992-07-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2737080C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von monolithischen keramischen Kondensatoren | |
| DE69832876T2 (de) | Keramischer vielschichtkondensator | |
| DE60101641T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Oxiden mit Perowskitstruktur | |
| DE69728721T2 (de) | Dielektrische keramische Zusammensetzung und dieselbe benutzender monolithischer keramischer Kondensator | |
| DE60002956T2 (de) | Dielektrische Kerammikzusammensetzung und elektronisches Bauelement | |
| DE69720168T2 (de) | Keramische Zusammensetzung und diese verwendender keramischer Kondensator | |
| DE69710259T2 (de) | Dielektrische keramische Zusammensetzung und ihre Verwendung in einem monolithischen keramischen Kondensator | |
| DE69814560T2 (de) | Nickelpulver und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| DE69111239T2 (de) | Dielektrische zusammensetzung. | |
| DE102010050553B4 (de) | Hexagonales Bariumtitanatpulver, Erzeugungsverfahren hierfür, dielektrische Keramikzusammensetzung und elektronische Komponente | |
| DE69710265T2 (de) | Dielektrische keramische Zusammensetzung und diese verwendender monolithischer keramischer Kondensator | |
| DE4200356C2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer nicht-reduzierbaren dielektrischen keramischen Zusammensetzung | |
| DE102010050554B4 (de) | Dielektrische Keramikzusammensetzung und elektronische Komponente | |
| DE10121503A1 (de) | Dielektrische Keramik und elektronisches Bauteil mit einer solchen | |
| DE69024340T2 (de) | Halbleiterkeramikkondensator von laminiertem und zwischenkornisolationstyp und verfahren zu seiner herstellung | |
| DE112012003469T5 (de) | Laminierter Keramikkondensator und Herstellungsverfahren für einen laminierten Keramikkondensator | |
| DE2701411B2 (de) | Dielektrische Keramikverbindung | |
| DE2659016C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Dielektrikums mit Perowskitstruktur | |
| DE10043882A1 (de) | Dielektrische Keramik zusammensetzung und monolitisches Keramikbauteil | |
| DE112014002548T5 (de) | Laminierter Keramikkondensator | |
| DE2736688C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Dielektrikums mit Perowskitstruktur | |
| DE69024280T2 (de) | Halbleiterkeramikkondensator von dem laminierten typ mit zwischenkornisolation und verfahren zu seiner herstellung | |
| EP0076011A2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Dielektrikums | |
| DE102011101986B4 (de) | Dielektrische Keramikzusammensetzung und keramische elektronische Komponente | |
| DE4005505A1 (de) | Monolithischer keramischer kondensator |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| 8125 | Change of the main classification |
Ipc: C04B 35/49 |
|
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| R071 | Expiry of right | ||
| R071 | Expiry of right |