DE4123722B4 - Absolutkodierer - Google Patents

Absolutkodierer Download PDF

Info

Publication number
DE4123722B4
DE4123722B4 DE4123722A DE4123722A DE4123722B4 DE 4123722 B4 DE4123722 B4 DE 4123722B4 DE 4123722 A DE4123722 A DE 4123722A DE 4123722 A DE4123722 A DE 4123722A DE 4123722 B4 DE4123722 B4 DE 4123722B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
incremental
signal
absolute
pattern
track
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE4123722A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4123722A1 (de
Inventor
Motokatsu Yokohama Imai
Koh Zama Ohno
Tsuyoshi Matsumoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Publication of DE4123722A1 publication Critical patent/DE4123722A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4123722B4 publication Critical patent/DE4123722B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12Analogue/digital converters
    • H03M1/14Conversion in steps with each step involving the same or a different conversion means and delivering more than one bit
    • H03M1/143Conversion in steps with each step involving the same or a different conversion means and delivering more than one bit in pattern-reading type converters, e.g. having both absolute and incremental tracks on one disc or strip
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12Analogue/digital converters
    • H03M1/20Increasing resolution using an n bit system to obtain n + m bits
    • H03M1/202Increasing resolution using an n bit system to obtain n + m bits by interpolation
    • H03M1/203Increasing resolution using an n bit system to obtain n + m bits by interpolation using an analogue interpolation circuit
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12Analogue/digital converters
    • H03M1/22Analogue/digital converters pattern-reading type
    • H03M1/24Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
    • H03M1/26Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with weighted coding, i.e. the weight given to a digit depends on the position of the digit within the block or code word, e.g. there is a given radix and the weights are powers of this radix
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12Analogue/digital converters
    • H03M1/22Analogue/digital converters pattern-reading type
    • H03M1/24Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
    • H03M1/28Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
    • H03M1/30Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12Analogue/digital converters
    • H03M1/22Analogue/digital converters pattern-reading type
    • H03M1/24Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
    • H03M1/28Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
    • H03M1/30Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
    • H03M1/303Circuits or methods for processing the quadrature signals

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

Absolutkodierer, aufweisend:
– eine Kodeplatte (A) mit einem einspurigen absoluten Muster (P), bei dem die Länge der kleinsten Leseeinheit λ ist, mit einem ersten Inkrementalmuster (I1) einer Periode λ, und einem zweiten Inkrementalmuster (I2) mit einer Periode 2–n λ, wobei jedes der Muster auf der Kodeplatte (A) ausgebildet ist,
– einen Detektorabschnitt (B) mit einer Einrichtung zum Erfassen des einspurigen absoluten Musters (P) derart, dass ein Absolutmustersignal erhalten wird,
– einer Einrichtung zum Erfassen des ersten Inkrementalmusters (I1) derart, dass ein erstes Inkrementalsignal erhalten wird, und
– einer Einrichtung zum Erfassen des zweiten Inkrementalmusters (I2) derart,
dass ein zweites Inkrementalsignal erhalten wird, wobei der Detektorabschnitt (B) relativ zu der Kodeplatte (A) beweglich ist,
– eine erste Interpoliereinrichtung (C) zum Erzeugen eines interpolierten ersten Inkrementalsignals, das einen kürzeren Zyklus besitzt, mit Hilfe einer Interpolation auf der Grundlage des ersten Inkrementalsignals, und
– eine Synchronisiereinrichtung...

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Absolutkodierer, der mit einer Kodeplatte versehen ist, auf der einspurige absolute Muster ausgebildet sind, und der aus den Mustern absolute Positionsinformation eines die Kodeplatte umfassenden Detektorabschnitts liest. Speziell geht es hier um ein Verfahren zum Verbessern der Auflösung eines Absolutkodierers durch Unterteilen einer kleinsten Leseeinheit der absoluten Muster (Interpolations-Verarbeitung).
  • Ein Absolutkodierer ist ein Messgerät, in welchem Sensoren an einem Detektorabschnitt des Kodierers spezielle Muster lesen, die auf einer Kodeplatte ausgebildet sind, um dadurch ein Signal zu erzeugen, welches eine absolute Position oder Stellung eines Detektorabschnittes bezüglich einer Kodeplatte angibt. Die erfassten Muster bedeuten jeweils eine verschiedene Adresseninformation verschiedener Lagebeziehungen zwischen der Kodeplatte einerseits und dem Detektorabschnitt andererseits. Bei einem herkömmlichen Absolutkodierer, der als Mehrspur-Kodierer ausgebildet ist, sind mehrere digitale, sich wiederholende Muster (Inkrementalmuster) mit unterschiedlichen Perioden oder Schrittweiten auf der Kodeplatte des Kodierers parallel zueinander angeordnet, und Adressen der absoluten Position werden auf der Kodeplatte des Kodierers dadurch gebildet, dass man jeweils ein Signal mit derselben Phasenlage aus mehreren Mustern empfängt.
  • In der Offenlegungsschrift JP 1-152314A ist ein Einspur-Kodierer offenbart, bei dem Adressen einer absoluten Position auf einer Kodeplatte dadurch gebildet werden, dass man mehrere Phasenlagen auf einem erfassten Muster erfasst (es handelt sich hier um ein einspuriges absolutes Muster), wobei das Muster mit einer gewissen kleinsten Leseeinheit gemäß der räumlichen Aufeinanderfolge angeordnet ist. Verglichen mit dem Mehrspur-Kodierer ist der Einspur-Absolutkodierer im Aufbau und in der Einstellung eines Sensors einfach und eignet sich zur Miniaturisierung der Kodeplatte.
  • Es wurde berichtet, dass ein Einspur-Absolutkodierer noch dadurch verbessert werden konnte, dass Inkrementalmuster parallel zu den absoluten Mustern auf der Kodeplatte angeordnet wurden. Aus der Offenlegungsschrift JP 2-35314A beispielsweise ist es bekannt, dass die Lesezeit eines Einspur-Absolutkodierers von erfassten Signalen gesteuert wird, oder die Auflösung des Kodierers verbessert wird durch Kombinieren einer aus einem einspurigen absoluten Muster erhaltenen Adresse mit Signalen (0, 1), die von Inkrementalmustern erhalten werden.
  • 6 zeigt eine Draufsicht auf einen Absolutkodierer mit verbesserter Auflösung.
  • Wie in 6 gezeigt ist, sind parallel zu dem einspurigen absoluten Muster P, welches eine Länge λ einer kleinsten Leseeinheit aufweist, eine erste Inkrementalspur H1 mit einer Periode oder Teilung λ, eine zweite Inkrementalspur H2 mit einer Periode oder Teilung λ/2 und eine dritte Inkrementalspur H3 mit einer Periode oder Teilung λ/4 auf der Kodeplatte A ausgebildet. An einem Detektorabschnitt B sind Photosensoren S1-S4 und U1-U3 montiert, um sowohl vier kleinste Leseeinheiten zu erfassen, die nebeneinander auf der Spur P angeordnet sind, als auch die Spuren H1-H3 zu erfassen.
  • Die Spur P repräsentiert sämtliche vier Bits umfassenden Sequenzen eines Zyklus, die sich von einem Symbol
    Figure 00030001
    im Uhrzeigersinn bewegen, wobei weiße Abschnitte eine "0" und schwarze Abschnitte eine "1" bedeuten. Demnach erhält man:
    0000100110101111
  • Jeder der Kodes, der durch eine vierstellige Sequenz gebildet wird, unterscheidet sich von den anderen Kodes. Wenn gemäß 6 der Detektorabschnitt B nacheinander im Uhrzeigersinn weiterbewegt wird, so erhält man nacheinander sechzehn Binär-Kodes, die durch die Ausgangssignale der Photosensoren S1-S4 zusammengesetzt werden: 0000, 0001, 0010, 0100, 1001, 0011, 0110, 1101, 1010, 0101, 1011, 0111, 1111, 1110, 1100 und 1000, wobei sich die einzelnen Kodes jeweils bei einer Weiterbewegung um λ ergeben. Diese Kodes können also sechzehn Absolut-Stellungen oder -Positionen voneinander unterscheiden.
  • Wenn die Ausgangssignale der Photosensoren U1-U3, welche die Spuren H1-H3 lesen, für weiße Abschnitte eine "0" und für schwarze Abschnitte eine „1" darstellen, so erhält man im Uhrzeigersinn für sämtliche Abschnitte der Länge λ auf der Kodeplatte bei jeweils einem Teilabschnitt λ/8 folgende drei Bits umfassende Kodes: 111, 110, 101, 100, 011, 010, 001 und 000. Der Mehrspur-Absolutkodierer setzt sich zusammen aus den Spuren H1-H3 und den Photosensoren U2-U3.
  • Auf diese Weise kann man insgesamt sämtliche, jeweils sieben Ziffern umfassende und voneinander verschiedene absolute Positionsinformations-Werte erhalten, bei denen der Detektorabschnitt B sämtliche Lagebeziehungen in Schrittweiten von λ/8 auf der Kodeplatte A einnimmt, wobei die Signale der Photosensoren S1-S4 die vier Stellen höherer Ordnung bilden und kombiniert werden mit den von den Photosensoren U1-U3 kommenden Signalen, welche die drei niedrigwertigen Stellen bilden.
  • Verwendet man sämtliche Zyklusfolgen, die 128 absolute Positionen pro Zyklus bei jeder Schrittweite von λ/8 unterscheiden können, und wendet man die einspurigen absoluten Muster, welche die Folgen durch weiße und schwarze Abschnitte ausdrücken, auf die Spur P an, so erhält man einen Kodierer, der die gleiche Auflösung besitzt wie der oben beschriebene Kodierer, wobei man jedoch die Spuren H1-H3 fortlassen kann. Wenn allerdings auf eine Minimierung einer kleinsten Leseeinheit eines einspurigen absoluten Musters Wert gelegt wird, so muss auch der Sensor minimiert werden. Da Herstellung und Montage des Sensors ebenso wie die Signalverarbeitung Beschränkungen darstellen, kann man kaum eine zuverlässige Lesegenauigkeit erzielen. Bei einem Absolutkodierer mit drei zusätzlichen Spuren H1-H3 gemäß 6 wird ein kleinster Abschnitt durch Inkrementalmuster von einem anderen Abschnitt unterschieden. Wendet man also ein Detektorverfahren an, bei dem eine Kenngröße eines Zyklus (eine Regel) verwendet wird, so erzielt man eine wesentlich höhere Lesegenauigkeit als bei einem reinen Einspur-Kodierer des oben beschriebenen Typs.
  • Die 7A bis 7C zeigen Beispiele für Detektorverfahren, die von einer Kenngröße dieses Musters Gebrauch machen. 7A ist eine Vertikal-Schnittansicht eines typischen Detektorabschnitts. 7B zeigt die von dem Detektorabschnitt empfangene Lichtmenge, und 7C zeigt die aus dem empfangenen Licht erzeugten Inkrement-Signale. Diese Technik wurde in großem Umfang bei Mehrspur-Absolutkodierern eingesetzt.
  • Gemäß 7A sind auf der Kodeplatte A Inkrementalspuren H mit einer Teilung oder Schrittweite λ ausgebildet. Der Detektorabschnitt setzt sich zusammen aus einer Lichtquelle F, die zum Lesen eines Musters dient, einer Kollimatorlinse L1 zum Parallelisieren des von der Lichtquelle kommenden Lichts, einer Index-Skala (Maske) M, die in Längsrichtung ein Muster ähnlich dem Spurmuster H mit fünf Teilungen enthält, einer Kollimatorlinse L2 zum Sammeln des Lichts, und einem Lichtempfangselement U.
  • In dem oben erläuterten Detektorabschnitt B strahlt die Lichtquelle F Licht ab, welches von der Linse L1 in ein Bündel von parallelen Lichtstrahlen umgesetzt wird. Das Licht durchdringt einen fünf Schrittweiten umfassenden Überlappungsabschnitt zwischen der Skala M und der Spuranordnung H und wird von der Linse L2 auf den Lichtempfänger U konzentriert.
  • Bei einer Bewegung des Detektorabschnitts B gegenüber der Kodeplatte A, die eine Schrittweite oder eine Periode umfasst, wird gemäß 7 der Pegel des von dem Kondensor U erfassten Lichts in einer Dreieckswellenform geändert, und zwar zwischen einem Wert 0 und einem Pegel, der fünfmal so hoch ist wie der Pegel, der erhalten würde, wenn man nur das Licht von einer Schrittweite oder einer Periode empfinge. Das Signal ist durch einen hohen Rauschabstand gekennzeichnet. Mit Hilfe einer Schaltung, die die erfassten Lichtmengen bei einer in 7B dargestellten gestrichelten Linie vergleicht, erhält man die in 7C dargestellten Inkrement-Signale, die zwei Zustände innerhalb einer Schrittweite oder Periode deutlich unterscheiden.
  • In der oben beschriebenen Weise lassen sich kleine Schrittweiten oder Perioden auslesen, ohne dass man hierzu den Sensor miniaturisieren muss. Bei dem Absolutkodierer nach 6 könnte man dieses Verfahren auf die Spuren H1-H3 anwenden, um so die Auflösung des Kodierers auf 2n zu erhöhen, wobei n drei Inkrementalspuren bedeutet.
  • Entwickelt man den in 6 dargestellten Absolutkodierer und das damit zusammenhängende Verfahren weiter, so erhält man einen Absolutkodierer mit einer wesentlich höheren Auflösung, indem man eine Spur H4 mit einer Periode λ/8 und eine Spur H5 mit einer Schrittweite λ/16 der Kodeplatte A hinzufügt. Erhöht man die Anzahl der Spuren, so wird die Kodeplatte A entsprechend größer und außerdem erhöht sich die Anzahl der Sensoren. Damit kann man die Spuren und die Sensoren kaum noch an dem Kodierer montieren und einstellen, so dass die wesentlichen Vorteile eines Einspur-Absolutkodierers verlorengehen. Es sei darauf hingewiesen, dass der Absolutkodierer vorzugsweise derart ausgelegt wird, indem man von Anfang an den Mehrspur-Typ zugrundelegt.
  • DE 39 42 625 A1 beschreibt einen Absolutkodierer zum Erfassen einer Absolutposition, der eine Kodierscheibe aufweist, die eine erste kreisförmige Spur mit einem absoluten Zeichenmuster und eine konzentrisch angeordnete zweite Spur mit einem inkrementalen Zeichenmuster aufweist. Dabei weist das absolute Zeichenmuster ein absolutes Kodesignal in einer vollen periodischen Anordnung auf. Aus der zweiten innenliegenden mit einem inkrementalen Zeichenmuster versehenen Spur wird ein Taktsignal für die Synchronisation mehrerer Signale der Absolutspur abgeleitet. Weiterhin kann bei Verwendung mehrerer Sensoren für die Inkrementalspur aufgrund der Phasenunterschiede der entsprechende Sensor Signale einer Untereinteilung, das heißt verbesserte Auflösung, erzielt werden.
  • DE 39 28 027 A1 zeigt ebenfalls einen Absolutkodierer zur Erfassung von absoluten Positionen mit einer kodierten Scheibe, die mit einer ein absolutes Zeichenmuster tragenden Spur sowie einer Spur mit einem Inkrementalmuster versehen ist, wobei das Signal der Inkrementalmuster zur Ableitung eines Taktsignals sowie eines Richtungssignals dient.
  • Nachteilig bei den bekannten Absolutkodierern ist ihre begrenzte Auflösung.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Absolutkodierer mit Mustern des Absolutkodierers vom Einspur-Typ zu schaffen, der mit einer minimalen Anzahl von Inkrementalspuren auskommt.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch einen Absolutkodierer nach Anspruch 1. Eine bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung ist Gegenstand des Unteranspruchs.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe weist der erfindungsgemäße Absolutkodierer auf:
    Eine Kodeplatte mit absoluten Mustern vom Einspur-Typ mit einer kleinsten Leseeinheit der Länge λ, mit einem ersten Inkrementalmuster der Periode λ und einem zweiten Inkrementalmuster mit der Periode 2–n λ, wobei jedes dieser Muster auf der Kodeplatte ausgebildet ist;
    einen Detektorabschnitt mit Mitteln zum Erfassen des einspurigen absoluten Musters derart, dass ein Absolutmustersignal erhalten wird, mit Mitteln zum Erfassen des ersten Inkrementalmusters derart, dass ein erstes Inkrementalsignal erhalten wird, und mit Mitteln zum Erfassen des zweiten Inkrementalmusters derart, dass ein zweites Inkrementalsignal erhalten wird, wobei der Detektorabschnitt relativ zu der Kodeplatte bewegbar ist;
    eine erste Interpoliereinrichtung zum Erzeugen eines interpolierten ersten Inkrementalsignals eines kürzeren Zyklus mit Hilfe der Interpolation auf der Grundlage des ersten Inkrementalsignals; und
    eine Synchronisiereinrichtung zum Synchronisieren des interpolierten ersten Inkrementalsignals mit dem zweiten Inkrementalsignals derart, dass ein synchronisiertes erstes Inkrementalsignal erhalten wird;
    wobei das Absolutmustersignal, das zweite Inkrementalsignal und das synchronisierte erste Inkrementalsignal eine relative Lagebeziehung zwischen der Kodeplatte und dem Detektorabschnitt anzeigen.
  • Mit diesem Aufbau ergibt sich eine verbesserte Auflösung des erfindungsgemäßen Absolutkodierers.
  • Vorzugsweise sieht die Erfindung vor, dass der Absolutkodierer eine solche zweite Interpoliereinrichtung enthält, die das zweite interpolierte Inkrementalsignal mit einem kürzeren Zyklus erzeugt. Hierdurch wird die Auflösung weiter verbessert.
  • Bei dem Absolutkodierer gemäß der Erfindung ist die Länge λ einer kleinsten oder minimalen Leseeinheit der absoluten Muster unterteilt und segmentiert, und jedem der Segmente ist ein individueller Adressenkode zugeordnet. Der Adressenkode für jedes Segment in der Periode λ wird bei jeder Periode λ auf die absolute Positionsinformation addiert, die von den absoluten Mustern des Einspur-Typs erhalten werden, ähnlich wie bei dem Absolutkodierer nach 6. Hierdurch erhält die absolute Positionsinformation eine hohe Auflösung. Ohne eine Zählerstand-Verarbeitung der Inkrementalsignale zu erhalten, wird die absolute Positionsinformation aus Signalen erzeugt, die von den absoluten Mustern und dem ersten und dem zweiten Inkrementalmuster erhalten werden.
  • Bei dem Absolutkodierer nach 6 werden m-Bits umfassende Signale erhalten, zum Beispiel 21, 22, 2m ... etc., wenn m Inkrementalmuster-Spuren zur Verfügung stehen. Bei dem Absolutkodierer gemäß der Erfindung jedoch werden mit Hilfe einer Interpoliereinrichtung aus einem Inkrementalmuster mit einer Periode oder Schrittweite λ die gleichen n-Bits umfassenden Signale, wie oben erläutert, erhalten: 21, 22, 2n .... Als nächstes werden die Phasen der erzeugten n-Bits umfassenden Signale von der Synchronisiereinrichtung eingestellt, um mit den zweiten Inkrementalsignalen synchronisiert zu werden. Da das zweite Inkrementalmuster die Zustände "0" und "1" in Schrittweiten oder Perioden von 2–2 aufweist, erhält man eine Auflösung, die 2n+1-mal so groß ist wie diejenige des absoluten Musters vom Einspur-Typ.
  • Die Interpoliereinrichtung dividiert die Länge der kleinsten Leseeinheit λ folgendermaßen: (1) In der Periode λ werden die Phasen-Perioden-Positionen alle 2–2λ geteilt, indem eine Analog-Operation unter Verwendung der aus dem ersten Inkrementalmuster erhaltenen Signale durchgeführt wird. (2) 2n oder mehr Inkrementalsignale, bei denen der Zyklus λ beträgt und die Phase unterschiedlich ist, werden derart erzeugt, dass mehrere Sensoren entlang den Mustern des ersten Inkrementalmusters positioniert sind. Alle 2–n Phasenpositionen jedes Inkrementalsignals, und es werden n-Bits umfassende Adresskodes generiert, um die Phasenpositionen alle 2–nλ abwechselnd zu unterscheiden.
  • Bei der erstgenannten Analog-Operation kann ein Widerstand oder eine Phase einer Rechteckwelle, die von dem Detektor erhalten wird, gemäß 7 geteilt werden. In einem Beispiel der ersten Ausführungsform, die weiter unten erläutert wird, gibt es eine weitere Möglichkeit, eine Phasenposition alle λ/2, 1/4λ, ... 2–nλ derart zu unterscheiden, dass zwei Detektorpaare gemäß 7 mit einem Phasenabstand von λ/4 angeordnet werden, zwei erhaltene Rechteckwellen als Sinus- beziehungsweise Kosinuswellen behandelt werden, und ein Tangens-Wert (tan θ) an einer beliebigen Phasenposition θ ermittelt wird, so dass dann der Tangens-Wert mit einem Wert des Kurvenverlaufs von tan θ eines Norm-Zyklus von λ verglichen wird.
  • Beim letztgenannten Beispiel dafür, wie mehrere Inkrementalsignale unterschiedlicher Phasen aus dem ersten Inkrementalmuster erhalten werden, sind gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel 2n Detektoren der in 7A dargestellten Art auf der ersten Inkrementalspur mit einer Phasendifferenz von 2–nλ angeordnet, und alle 2–nλ werden 2–n Inkrementalsignale erzeugt. Mit Hilfe einer digitalen Operation oder einer Eins-zu-Eins-Umsetzung der Kombination der Signale erhält man alle 2–nλ unterschiedliche Phasenpositionen.
  • Im Hinblick darauf, dass die Phasen der Inkrementalsignale, wie sie aus den ersten Inkrementalsignalen erhalten werden, mehr oder weniger in gegenseitiger Abhängigkeit oder auch absolut daran ungleichmäßige Kennwerte der Sensoren und durch Fehler bei der Montage der Sensoren verzerrt sind, werden die Phasen von der Synchronisiereinrichtung gleichförmig mit den zweiten Inkrementalsignalen gemacht.
  • Wenn man die zweite Interpoliereinrichtung an dem Detektorabschnitt des erfindungsgemäßen Absolutkodierers anordnet, unterteilt die zweite Detektoreinrichtung die zweiten Inkrementalmuster, die eine kleinste Teilungseinheit in dem oben erläuterten Absolutkodierer bilden, und erzeugt Inkrementalsignale, um jeden Abschnitt von einem anderen unterscheiden zu können.
  • Bei einem Absolutkodierer gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Auflösung verbessert, es reichen jedoch zwei Inkrementalmuster für den Kodierer aus. Im Falle des in 6 dargestellten Absolutkodierers werden die Phasen einer großen Anzahl von Inkrementalmustern bei der Montage der Sensoren eingestellt. Der Absolutkodierer gemäß der Erfindung erfordert keine Phaseneinstellung und eignet sich insbesondere zur Miniaturisierung der Kodeplatte. Da die Unterscheidung von kleinsten Abschnitten durch Inkrementalmuster erfolgt, lässt sich eine hochgenaue Ablesung mit Hilfe einer zyklischen Charakteristik eines Musters erzielen.
  • Bei einem solchen Absolutkodierer gemäß der Erfindung sind die zweiten Inkrementalmuster sehr feine Muster, die an der Grenze der Detektorempfindlichkeit der Sensoren liegen, und dennoch lassen sich Absolutwerte von Positionen mit wesentlich höherer Genauigkeit ermitteln, indem die zweiten Inkrementalmuster interpoliert werden.
  • Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine Ansicht eines Aufbaus einer ersten Ausführungsform der Erfindung,
  • 2 eine Schaltungsskizze, die die Arbeitsweise des Absolutkodierers gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung veranschaulicht,
  • 3 ein Impulsdiagramm, welches die Arbeitsweise einer zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Absolutkodierers veranschaulicht,
  • 4 eine Vertikal-Schnittansicht der zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Absolutkodierers,
  • 5A und 5B Ansichten zum Veranschaulichen der zweiten Ausführungsform der Erfindung, wobei 5A ein Impulsdiagramm für jedes Inkrementalsignal und 5B eine vergrößerte Ansicht eines Teils der 5A in Richtung λ ist,
  • 6 Eine Darstellung der Konstruktion eines herkömmlichen Absolutkodierers, und
  • 7A bis 7C Skizzen, die veranschaulichen, wie Inkrementalmuster unter Verwendung der zyklischen Eigenschaft der Muster erfasst werden, wobei 7A eine Vertikal-Schnittansicht des Detektorabschnitts, 7B ein Wellenzug zum Veranschaulichen der von dem Detektorabschnitt erfassten Lichtmenge und 7C ein Impulsdiagramm der aus dem erfassten Licht erhaltenen Signale sind.
  • 1 zeigt den Aufbau einer ersten Ausführungsform der Erfindung.
  • Gemäß 1 sind auf einer Kodeplatte A parallel zu einer Absolutmusterspur P vom Einspur-Typ, deren kleinste Leseeinheit λ beträgt, eine erste Inkrementalmusterspur I1 mit einer Periode oder Schrittweite λ und eine zweite Inkrementalmusterspur I2 mit einer Periode λ/8 ausgebildet. Eine erste Sensorgruppe umfasst Photosensoren S1a bis S4a, eine zweite Sensorgruppe umfasst Photosensoren S1b bis S4b, Photosensoren R1 und R2 erfassen die Spur I1 mit einer Phasendifferenz von λ/4, und ein Photosensor R3 erfasst die Spur I2. Diese Sensoren sind an einem Detektorabschnitt B angeordnet, der durch eine gestrichelte Linie angedeutet ist.
  • Mit den Detektoren werden vier kleinste Leseeinheiten erfasst, die sich direkt nebeneinander auf der Spur P befinden. Das Ausgangssignal der ersten und der zweiten Sensorgruppe wird über eine Auswahlschaltung E in eine Speicherschaltung M eingegeben. Die Ausgangssignale der Sensoren R1 und R2 werden in eine Interpolierschaltung C eingegeben, und das Ausgangssignal des Sensors R3 wird in eine Synchronisierschaltung D eingegeben.
  • Der Grund dafür, dass zwei Paare von Sensorgruppen auf der Spur P montiert sind, besteht darin, dass das Lesen der Spur außerhalb einer Grenze zwischen den kleinsten Leseeinheiten erfolgen soll. Wenn die Lagebeziehung der Phasen zwischen der Kodeplatte A und dem Detektorabschnitt B um λ/2 abweicht, schaltet die Auswahlschaltung E von der ersten Sensorgruppe auf die zweite Sensorgruppe, und umgekehrt, um auf diese Weise diejenige Sensorgruppe auszuschalten, die sich an einer Grenze befindet. In 1 sind die Sensoren R1 bis R2 durch einfache Kreise angedeutet. Tatsächlich jedoch erfolgt die Erfassung unter Verwendung einer zyklischen Eigenschaft der Muster, wie in 7A dargestellt ist, wobei jedes Ausgangssignal der Sensoren R1 bis R3 eine Pseudo-Sinuswelle ist, die innerhalb einer Periode einmal nach oben und nach unten geht.
  • Die Spur P repräsentiert sämtliche 4 Bits umfassenden Zyklusfolgen, wenn sie sich von einem Symbol
    Figure 00130001
    im Uhrzeigersinn dreht, wobei weiße Abschnitte eine "0" und schwarze Abschnitte eine "1" bedeuten, so dass man folgende Sequenz erhält:
    0000100110101111.
  • Sämtliche Kodes der vier Stellen umfassenden Zahlen der Sequenz unterscheiden sich voneinander. Wenn sich gemäß 1 der Detektorabschnitt B im Uhrzeigersinn immer weiter verschiebt, werden vier Bits umfassende Kodes erhalten, indem man die Ausgangssignale der Photosensoren S1 bis S4 kombiniert. Insgesamt erhält man sechzehn verschiedene Kodes: 0000, 0001, 0010, 0100, 1001, 0011, 0110, 1101, 1010, 0101, 1011, 0111, 1111, 1110, 1100 und 1000, wobei jeder dieser Kodes bei einer Bewegung jeweils um λ anfällt. Die Kodes bedeuten jeweils eine von sechzehn absoluten Positionen. Diese Kodes werden in der Speicherschaltung E nach Maßgabe einer Bezugsliste in vier Bits umfassende Kodes aufsteigender oder absteigender Reihenfolge umgesetzt.
  • In der Spur I1 werden von den Sensoren R1 und R2 zwei Pseudo-Sinuswellen mit einer Phasendifferenz von λ/4 erfasst. Paare von Rechteckwellen 1a und 1b, 2a und 2b sowie 3a und 3b, die drei Arten von Zyklen mit der Periode λ, der Periode λ/2 und der Periode λ/4 umfassen, und deren Phasen in einem bestimmten Verhältnis bei jedem Zyklus variieren, wie in 3 gezeigt ist, werden aus diesen beiden Pseudo-Sinuswellen generiert. Diese Rechteckwellen werden in die Synchronisierschaltung D eingegeben. Die Synchronisierschaltung D erzeugt die Rechteckwellen d1, d2 und d3 aus den Rechteckwellen 1a und 1b, 2a und 2b, sowie 3a und 3b, als einen Standard oder eine Norm einer Rechteckwelle, die aus einem Ausgangssignal des Sensors R3 gebildet wird. Das Umschalten der ersten Sensorgruppe und der zweiten Sensorgruppe in der oben beschriebenen Auswahlschaltung E erfolgt abhängig von dem Pegel (H, L) dieser Rechteckwelle d1.
  • Ähnlich wie bei dem Absolutkodierer nach 6, werden hier acht Kodes in jeder Phasenposition bei jeweils λ/8 erhalten: 111, 110, 101, 100, 011, 010, 001 und 000. Damit lassen sich also aus den vier Ziffern höherer Ordnung, die aus den vier Bits umfassenden Signalen der Spur P erhalten werden, den drei Ziffern mittlerer Ordnung aus den Bit-Signalen der Rechteckwellen d1 bis d3 und der einen Ziffernstelle niedrigster Ordnung aus dem ein Bit umfassenden Signal aus der Spur I2 absolute Positionsinformationen erhalten, die insgesamt 8 Bits, das sind 256 Phasenpositionen innerhalb eines Zyklus der Kodeplatte A, unterscheiden.
  • 2 ist ein Schaltplan einer Schaltung für eine Analog-Operation in der Interpolierschaltung C und eine Synchronisier-Verarbeitung in der Synchronisierschaltung D.
  • 3 ist ein Impulsdiagramm, welches eine Analog-Operation in der Interpolierschaltung C sowie eine Synchranisier-Verarbeitung in der Synchronisierschaltung D veranschaulicht.
  • Gemäß 2 setzt sich die Interpolierschaltung C zusammen aus zwei Analog-Digital-Umsetzern Ca und Cb, einem Teiler Ce, einer Bezugsliste Cf für tan–1, während sich die Synchronisierschaltung D aus Auswahleinrichtungen Da, Db und Dc zusammensetzt.
  • Die Sensoren R1 und R2 lesen zwei sinusförmige Eingangssignale ra und rb mit einer Phasendifferenz von λ/4. Die Eingangssignale ra und rb werden in die Analog-Digital-Umsetzer Ca beziehungsweise Cb in der Interpolierschaltung C eingegeben und dort in digitale Signale umgesetzt, welche abhängig von den Spannungspegeln numerische Werte repräsentieren.
  • In der Teilerschaltung Ce werden digitale Werte a und b, die dem Mittelpotential entsprechen, von den Digitalwerten rad und rbd subtrahiert, welche von den Analog-Digital-Wandlern Ca und Cb in Digitalwerte umgesetzt wurden. Anschließend wird der Wert (rad-a) durch (rbd-b) dividiert und das Ergebnis wird an die Bezugslisten-Schaltung Cf gegeben.
  • Die Bezugsliste Cf vergleicht die Werte der tan-θ-Kurve für jede mögliche Phasenposition θ innerhalb des Zyklus λ mit dem Verhältnis (rad-a)/(rbd-b), stellt fest, welcher Phasenposition θ der Wert entspricht, und gibt sechs Rechtecksignale 1a, 1b, 2a, 2b, 3a und 3b aus, die in 3 gezeigt sind. Das heißt, die Rechteckwellen umfassen die Wellen 1a und 1b für einen Zyklus oder eine Periode von λ, die hier bei etwa ±λ/8 der Phasenlage θ entsprechen, Wellen 2a und 2b mit der Periodendauer λ/2, die etwa einer Phasenposition θ von ±λ/16 entsprechen, und Wellen 3a und 3b mit einer Periodendauer von λ/4, die bei etwa ±λ/32 liegen.
  • Danach werden die Rechteckwellen 1a, 1b, 2a, 2b, 3a und 3b in die Synchronisierschaltung D eingegeben. Die Auswahleinrichtung Da erzeugt aus den Rechteckwellen 3a und 3b unter Verwendung eines aus einer Sinuswelle, die von dem Sensor R3 aus der Spur I2 gelesen wird, erzeugten Inkrementalsignale d4, das die Periodendauer λ/8 hat, ein Inkrementalsignal d3, das mit dem Signal d4 synchronisiert ist. Durch Auswahl des Rechtecksignals 3a zu dem Zeitpunkt, zu dem das Signal d4 den Pegel "1" hat, und des Rechtecksignals 3b zu dem Zeitpunkt, zu dem das Signal den Pegel "0" hat, wird ein Signal d3 mit der Anstiegs- und der Abfallphase des Signals d4 erhalten.
  • In der gleichen Weise, wie es oben ausgeführt ist, erzeugt die Auswahleinrichtung Db aus den Rechteckwellen 2a und 2b unter Verwendung des eine Periodendauer λ/4 aufweisenden Signale d3 ein Inkrementalsignal d2, das eine Periodendauer λ/2 besitzt und mit den Signalen d3 und d4 synchronisiert ist. Das heißt: Die Auswahleinrichtung wählt die Rechteckwelle 2a zu der Zeit aus, zu der das Signal d3 den Pegel "1" hat, und wählt die Rechteckwelle 2b zu der Zeit aus, zu der das Signal d3 den Pegel "0" hat.
  • Die Auswahleinrichtung Dc erzeugt ein die Periodendauer λ aufweisendes Inkrementalsignal d1, welches mit den Signalen d2 bis d4 synchronisiert ist, aus den Rechteckwellen 1a und 1b unter Verwendung dieses Signals d2, welches eine Periodendauer λ/2 besitzt. Hierzu wählt die Auswahleinrichtung die Rechteckwelle 1a zu der Zeit aus, zu der die Rechteckwelle d2 den Pegel "1" hat, während die Rechteckwelle 1b zu der Zeit ausgewählt wird, zu der die Rechteckwelle d2 den Pegel "0" hat.
  • 3 zeigt die Rechteckwellen d1 bis d3, die mit der Rechteckwelle d4 von der Synchronisierschaltung D synchronisiert sind. Diese Inkrementalsignale d1 bis d4 umfassen eine vierstellige absolute Positionsinformation, wobei sich alle λ/16 eine gegenseitige Verschiebung der Phasenposition über die Länge λ zwischen der Kodeplatte A und dem Detektorabschnitt B ergibt.
  • 4 ist eine typische Vertikal-Schnittansicht eines Absolutkodierers einer zweiten Ausführungsform der Erfindung.
  • 5A und 5B veranschaulichen die Arbeitsweise des Absolutkodierers gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung, wobei 5A ein Impulsdiagramm jedes Inkrementalsignals ist und 5B einen vergrößerten Ausschnitt aus 5A zeigt, betrachtet im Bereich λ.
  • In einem Beispiel der zweiten Ausführungsform ist eine Inkrementalspur I1 mit einer Periode λ parallel zu der zweiten Inkrementalspur I2 mit einer Periode λ/8 in der absoluten Spur P auf der Kodeplatte A angeordnet, und gegeneinander um λ/16 versetzte acht Sensoren K1 bis K8 sind entlang der Spur I1 angeordnet.
  • Wie aus 5A hervorgeht, steigen die Rechteckwellen k1 bis k8 mit der Periodendauer λ mit einer Phasendifferenz von λ/8 (22,5°) an. Diese Signale werden an den Ausgängen der Sensoren K1 bis K8 erzeugt. Das zweite Inkrementalsignal d4 wird mit einer Periodendauer λ/8 von der Spur I2 erzeugt. Ähnlich wie beim ersten Ausführungsbeispiel erfassen zwei Sensoren eine kleinste Leseeinheit, zum Beispiel p1 und p2 mit der Phasendifferenz von λ/2.
  • Man kann den Rechteckwellen k1 bis k8 leicht Zahlen 0 bis 7 zuordnen. Damit wird ein Signal C1 ausgegeben. Es ist nicht möglich, dass die Phasendifferenz des Signals C1 und des Signals d4 den Wert "0" hat, unabhängig davon, wo das Signal C1 ausgegeben wird und das Signal d4 positioniert ist. Die Phasendifferenz zwischen dem Signal C1 und dem Signal d4 hat die in 5B veranschaulichte Form.
  • Da eine mit dem Signal d4 synchronisierte absolute Positionsangabe erhalten werden sollte, werden Signalmuster C2 erhalten, indem das Ausgangssignal C1 folgendermaßen verarbeitet wird:
    Figure 00180001
  • In 5A wird das Signal p2 ausgewählt, wenn die Zahlen 0 und 1 sind, und es wird das Signal p1 ausgewählt, wenn die Zahlen 2 und 3 sind, wodurch das Signal p erhalten wird. Durch Verarbeitung der Signale in der oben beschriebenen Weise erhält man eine mit d4 synchronisierte absolute Positionsangabe.

Claims (2)

  1. Absolutkodierer, aufweisend: – eine Kodeplatte (A) mit einem einspurigen absoluten Muster (P), bei dem die Länge der kleinsten Leseeinheit λ ist, mit einem ersten Inkrementalmuster (I1) einer Periode λ, und einem zweiten Inkrementalmuster (I2) mit einer Periode 2–n λ, wobei jedes der Muster auf der Kodeplatte (A) ausgebildet ist, – einen Detektorabschnitt (B) mit einer Einrichtung zum Erfassen des einspurigen absoluten Musters (P) derart, dass ein Absolutmustersignal erhalten wird, – einer Einrichtung zum Erfassen des ersten Inkrementalmusters (I1) derart, dass ein erstes Inkrementalsignal erhalten wird, und – einer Einrichtung zum Erfassen des zweiten Inkrementalmusters (I2) derart, dass ein zweites Inkrementalsignal erhalten wird, wobei der Detektorabschnitt (B) relativ zu der Kodeplatte (A) beweglich ist, – eine erste Interpoliereinrichtung (C) zum Erzeugen eines interpolierten ersten Inkrementalsignals, das einen kürzeren Zyklus besitzt, mit Hilfe einer Interpolation auf der Grundlage des ersten Inkrementalsignals, und – eine Synchronisiereinrichtung (D) zum Synchronisieren des interpolierten ersten Inkrementalsignals mit dem zweiten Inkrementalsignal derart, dass ein synchronisiertes erstes Inkrementalsignal erhalten wird, wobei das Absolutmustersignal, das zweite Inkrementalsignal und das synchronisierte erste Inkrementalsignal eine relative Lagebeziehung zwischen der Kodeplatte (A) und dem Detektorabschnitt (B) angeben.
  2. Absolutkodierer nach Anspruch 1, ferner umfassend: eine zweite Interpoliereinrichtung zum Erzeugen eines interpolierten zweiten Inkrementalsignals, das einen kürzeren Zyklus besitzt, mit Hilfe einer Interpolation auf der Grundlage des zweiten Inkrementalsignals, wobei das Absolutmustersignal, das interpolierte zweite Inkrementalsignal und das synchronisierte erste Inkrementalsignal eine relative Lagebeziehung zwischen der Kodeplatte und dem Detektorabschnitt angeben.
DE4123722A 1990-07-18 1991-07-17 Absolutkodierer Expired - Lifetime DE4123722B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2187988A JP2754422B2 (ja) 1990-07-18 1990-07-18 アブソリュート・エンコーダ
JP2-187988 1990-07-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4123722A1 DE4123722A1 (de) 1992-01-23
DE4123722B4 true DE4123722B4 (de) 2006-09-21

Family

ID=16215658

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4123722A Expired - Lifetime DE4123722B4 (de) 1990-07-18 1991-07-17 Absolutkodierer

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5252825A (de)
JP (1) JP2754422B2 (de)
DE (1) DE4123722B4 (de)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4208918A1 (de) * 1992-03-20 1993-09-23 Siemens Ag Dreh- oder linearpositionsgebereinrichtung fuer ein bewegliches geraeteteil
US5652426A (en) * 1993-04-19 1997-07-29 Ricoh Company, Ltd. Optical encoder having high resolution
JPH0829196A (ja) * 1994-07-18 1996-02-02 Nikon Corp 多回転アブソリュートエンコーダ
KR100264312B1 (ko) * 1995-10-13 2000-08-16 디지래드 개선된 전하 수집능력을 갖는 반도체 방사선 검출기
DE19541768A1 (de) * 1995-11-09 1997-05-22 Itt Ind Gmbh Deutsche Vorrichtung zur Positionsbestimmung
US6081339A (en) 1997-05-29 2000-06-27 Aim Controls, Inc. Method and apparatus for measuring the direction and position of rotating bodies
DE19728313A1 (de) * 1997-07-03 1999-01-07 Zf Luftfahrttechnik Gmbh Drehwinkelsensor
SE516522C2 (sv) * 1999-05-28 2002-01-22 Anoto Ab Positionsbestämning
DE19962278A1 (de) * 1999-12-23 2001-08-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE10050392A1 (de) * 2000-10-12 2002-04-18 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung
US6727493B2 (en) * 2001-11-06 2004-04-27 Renco Incoders, Inc. Multiple resolution photodiode sensor array for an optical encoder
US6844541B2 (en) * 2002-02-15 2005-01-18 Methode Electronics, Inc. Rapid high resolution position sensor for auto steering
DE10244234A1 (de) * 2002-09-23 2004-03-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
DE102004012377A1 (de) * 2004-03-13 2005-09-29 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Lenkwinkelsensor
JP2006003307A (ja) * 2004-06-21 2006-01-05 Mitsutoyo Corp エンコーダ、及び、その信号調整方法
GB0415141D0 (en) * 2004-07-06 2004-08-11 Renishaw Plc Scale reading apparatus
US7191943B2 (en) * 2004-07-28 2007-03-20 Caterpillar Inc Robust barcode and reader for rod position determination
WO2008024606A2 (en) * 2006-08-21 2008-02-28 Gsi Group Corporation Rotary optical encoder employing multiple sub-encoders with common reticle substrate
DE102006048628A1 (de) 2006-10-13 2008-04-17 Siemens Ag Messelement mit einer als Maßverkörperung fungierenden Spur und korrespondierendes, mit einem solchen Messelement ausführbares Messverfahren
DE102008022027A1 (de) 2008-05-02 2009-11-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
EP2189761A1 (de) * 2008-11-20 2010-05-26 Carl Freudenberg KG Vorrichtung zur Bestimmung der Winkelposition
DE102009008470A1 (de) * 2009-02-15 2010-08-26 Mähner, Bernward Verfahren und Vorrichtung zur räumlichen Vermessung eines sich bewegenden Objektes
JP2010256081A (ja) * 2009-04-22 2010-11-11 Fujifilm Corp 光学式位置検出器及び光学装置
JP5413959B2 (ja) * 2009-06-10 2014-02-12 株式会社アイエイアイ リニアエンコーダとリニアエンコーダを使用した絶対位置特定方法
JP5379761B2 (ja) * 2010-08-06 2013-12-25 キヤノン株式会社 アブソリュートエンコーダ
JP5968062B2 (ja) * 2012-05-02 2016-08-10 キヤノン株式会社 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置
DE102012212767A1 (de) * 2012-07-20 2014-01-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
JP6479309B2 (ja) * 2012-08-20 2019-03-06 Dmg森精機株式会社 スケール装置、位置情報生成方法及び多軸ステージ装置
JP5999583B2 (ja) * 2013-11-05 2016-09-28 株式会社安川電機 エンコーダ、エンコーダ付きモータ、サーボシステム
JP5877212B2 (ja) * 2014-01-10 2016-03-02 キヤノンプレシジョン株式会社 エンコーダ、エンコーダを用いた装置およびエンコーダ演算プログラム
CN104792351B (zh) * 2015-04-20 2017-04-26 哈尔滨工业大学 用于绝对式码盘的复合式码盘误码校正方法
CN108592955B (zh) * 2018-04-24 2019-09-24 崔贤国 一种多圈绝对值编码器及其测量方法
TWI716246B (zh) * 2019-12-31 2021-01-11 財團法人工業技術研究院 光學編碼器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01152314A (ja) * 1987-12-10 1989-06-14 Nikon Corp アブソリュートエンコーダ
JPH0235314A (ja) * 1988-07-25 1990-02-05 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 絶対値エンコーダ
DE3928027A1 (de) * 1988-08-26 1990-03-01 Nikon Corp Absolutkodierer
DE3942625A1 (de) * 1988-12-22 1990-06-28 Nikon Corp Absolutkodierer

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4572952A (en) * 1982-07-28 1986-02-25 Adrian March Research Ltd. Position sensor with moire interpolation
JPS62175613A (ja) * 1986-01-30 1987-08-01 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd アブソリユ−トエンコ−ダ
JP2537146B2 (ja) * 1986-11-04 1996-09-25 キヤノン株式会社 変位測定装置
JP2571394B2 (ja) * 1987-09-21 1997-01-16 株式会社マコメ研究所 絶対値型磁気スケール装置
US4945231A (en) * 1988-06-02 1990-07-31 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Compound rotary encoder for detecting the rotation angle and the number of rotations of a rotor shaft

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01152314A (ja) * 1987-12-10 1989-06-14 Nikon Corp アブソリュートエンコーダ
JPH0235314A (ja) * 1988-07-25 1990-02-05 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 絶対値エンコーダ
DE3928027A1 (de) * 1988-08-26 1990-03-01 Nikon Corp Absolutkodierer
DE3942625A1 (de) * 1988-12-22 1990-06-28 Nikon Corp Absolutkodierer

Also Published As

Publication number Publication date
US5252825A (en) 1993-10-12
DE4123722A1 (de) 1992-01-23
JPH0476418A (ja) 1992-03-11
JP2754422B2 (ja) 1998-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4123722B4 (de) Absolutkodierer
DE4209629B4 (de) Absolutkodierer
EP1400778B1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE3117554C2 (de)
EP1329696B1 (de) Positionsmesseinrichtung mit Masstab
EP1468254B1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE3687555T2 (de) Interpolationsverfahren und kodierer.
DE3942625A1 (de) Absolutkodierer
EP0268558B1 (de) Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE102006007184A1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE3308814A1 (de) Messeinrichtung
DE19962278A1 (de) Positionsmeßeinrichtung
DE10028136B4 (de) Positionsmeßsystem
DE3221982A1 (de) Optisches inkrementalcodiersystem mit adressierbarem index
DE4225081A1 (de) Mehrfachumdrehungs-absolutmesswertgeber
EP0895063B1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE102012212767A1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE19913139C2 (de) Vorrichtung zum Erzeugen eines Ursprungssignales einer optischen Linearskala
DE3731531A1 (de) Verfahren zur erweiterung der aufloesung einer zeilen- oder matrixkamera
DE4136888A1 (de) Absolutwertgeber zur winkel- und streckenmessung
DE3928027C2 (de) Absolutkodierer
EP0467196B1 (de) Decodiervorrichtung
DE4015099A1 (de) Messwandler
EP0952429B1 (de) Optischer Winkelsensor
DE102008053977A1 (de) Absolute Positionscodierung und Positionsmessvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: DRES. WESER UND MARTIN, 81245 MUENCHEN

8110 Request for examination paragraph 44
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: WESER & KOLLEGEN, 81245 MUENCHEN

8364 No opposition during term of opposition
R071 Expiry of right
R071 Expiry of right