DE4118416A1 - Verfahren und vorrichtung zum beschichten von teilen, insbesondere metallteilen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschich­ ten von eine große Affinität zu Sauerstoff auf­ weisenden Teilen, insbesondere Metallteilen, wobei die Teile ohne Kontakt mit Sauerstoff, insbesondere atmosphärischem Sauerstoff, von vorhandenen Ober­ flächenoxidschichten befreit und anschließend be­ schichtet werden.

Materialien, die eine große Affinität zu Sauerstoff aufweisen, überziehen sich an Luft augenblicklich mit einer Oxidschicht. Handelt es sich bei den Tei­ len um elektrische Kontaktteile, so verhindern der­ artige Oxidschichten beispielsweise die Herstellung von einwandfreien Lötverbindungen, das heißt, das Teil kann nicht elektrisch einwandfrei angeschlos­ sen werden.

Es ist bekannt, Kontaktdrähte aus Wolfram herzu­ stellen. Dieses Material besitzt ausgezeichnete elektrische Eigenschaften für die Kontaktierung, überzieht sich jedoch an Luft sofort mit einer Oxidschicht, so daß die Herstellung von Lötverbin­ dungen mit den vorstehend genannten Nachteilen ver­ bunden ist. Abhilfe können hier auf das Wolfram aufgebrachte galvanische Schichten aus beispiels­ weise Nickel, Silber, Gold und hieraus zusammenge­ setzte oder legierte Schichtmaterialien schaffen. Eine legierte Schicht kann beispielsweise Hartgold, bestehend insbesondere aus Gold und Kobalt, sein.

Voraussetzung ist allerdings, daß die galvanisch aufgebrachten Schichten auch tatsächlich aus­ reichend fest an dem Material des Teils, insbeson­ dere Wolfram, haften. Eine sichere Haftung ist in der Praxis wegen der bereits genannten hohen Af­ finität gegenüber Sauerstoff in der Regel nicht ge­ geben.

Ferner ist es bekannt, zu beschichtende Teile zunächst unter Ausschluß von Sauerstoff von vorhan­ den Oberflächenoxidschichten zu befreien und an­ schließend zu beschichten. Hierzu werden besondere Maßnahmen getroffen, um einen Sauerstoffzutritt zu verhindern. Diese Maßnahmen sind entsprechend auf­ wendig.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ver­ fahren anzugeben, mit dem auf einfache Weise auch größte Affinität zu Sauerstoff aufweisende Teile einwandfrei beschichtbar sind.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß bei in ein und demgleichen Behälter verbleiben­ den Teilen ein zum Entfernen der Oberflächenoxid­ schichten verwendetes Ätzbad nach dem Ätzen in ein Abscheidebad zum Beschichten umgewandelt wird. Da die zu beschichtenden Teile somit in demselben Be­ hälter verbleiben können und sich stets in einem Bad befinden, hat äußerer Sauerstoff (atmosphäri­ scher Sauerstoff) keinen Zutritt. Sofern sich freier Sauerstoff in dem Bad befindet, wird hiervon das Verfahren im wesentlichen nicht gestört, da es sich nur um eine geringe Sauerstoffmenge handelt und überdies die Diffusionsgeschwindigkeit im Bad sehr klein ist. Es ist jedoch auch möglich, Bäder zu verwenden, die keinen freien Sauerstoff aufwei­ sen. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist eine aufwendige Handhabung der zu beschichtenden Teile nicht notwendig, da sie in dem Behälter verbleiben. Gleichwohl erfolgt mittels des Ätzbades die Befrei­ ung von Oberflächenoxidschichten und - nach der Um­ wandlung des Ätzbades in ein Abscheidebad - eine Be­ schichtung. Diese Umwandlung erfolgt dadurch, daß dem Ätzbad entsprechende Chemikalien zugeführt wer­ den, so daß es in das Abscheidebad überführt wird. Besonders vorteilhaft ist dabei, wenn diese Umwand­ lung eine neutrale Phase beinhaltet, d. h., daß das Bad für eine gewisse Zeitdauer einen neutralen PH- Wert aufweist, so daß zwischen dem Ätzen und dem Beschichten eine neutrale Spülung der Teile möglich ist.

Die Umwandlung des Ätzbades in das Abscheidebad über die Zwischenstufe, in der ein Spülbad mit ei­ nem im wesentlich neutralen PH-Wert vorliegt, ist besonders einfach, da sich diese Spülung ohne zu­ sätzliche Maßnahmen durchführen läßt.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren fehlt der Kon­ takt mit atmosphärischem Sauerstoff, so daß sich die Oberflächenoxidschichten entfernen lassen, ohne daß sofort die Neubildung einer Oxidschicht ein­ setzt, die beim anschließenden Beschichten die ein­ wandfreie mechanische und elektrische Verbindung zu dem Teil verhindern würde.

Insbesondere kann vorgesehen sein, daß die Ober­ flächenoxidschichten durch galvanisches Ätzen ent­ fernt werden. Alternativ ist es jedoch auch mög­ lich, durch chemisches Ätzen die Oberflächenoxid­ schichten abzutragen. Der Unterschied zwischen gal­ vanischem und chemischem Ätzen besteht darin, daß das galvanische Ätzen mit Außenstrom (Anlegen einer Stromquelle) durchgeführt wird, beim chemischen Ät­ zen jedoch keine äußere Stromquelle, das heißt, kein Außenstrom, vorhanden ist. Bei dem chemischen Ätzen ist - anschaulich gesprochen - von einem "elek­ trochemischen Innenstrom" auszugehen.

Wie bereits erwähnt, können die Teile aus Wolfram oder einer Wolframlegierung bestehen. Es ist jedoch auch denkbar, daß die Teile aus Aluminium oder ei­ ner Aluminiumlegierung hergestellt sind. Ferner können die Teile aus rostfreiem Stahl, das heißt, aus einer nicht rostenden Stahllegierung, insbeson­ dere Chrom-Nickel-Stahl, bestehen.

Das Beschichten der Teile kann auf verschiedene, dem Fachmann bekannte Weise erfolgen. Insbesondere ist ein galvanisches oder ein chemisches Beschich­ ten vorgesehen. Wie beim Ätzen ist unter einem gal­ vanischen Beschichten das Beschichten mittels Außenstrom (elektrolytisch) und beim chemischen Be­ schichten ein Verfahren ohne Außenstrom zu verste­ hen.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfin­ dung kann vorgesehen sein, daß das Ätzbad ein gal­ vanisches Ätzbad ist, wobei die zu behandelnden Teile für den Ätzprozeß jeweils als Elektrode ge­ schaltet sind. Eine entsprechende Gegenelektrode ist im Bad angeordnet. Entsprechendes gilt für das Abscheidebad, das dann ein galvanisches Abscheide­ bad ist, wobei die Teile für den Beschichtungspro­ zeß jeweils als Elektrode geschaltet sind.

An die jeweilige Elektrode wird entweder eine Gleichspannung, eine Pulsspannung oder eine Wech­ selspannung gelegt. Im Falle einer Gleichspannung ist es jedoch möglich, daß sich Passivschichten auf den Teilen bilden, die den Prozeßablauf verzögern. Insofern ist es besonders vorteilhaft, einen Puls­ strom zu verwenden, dessen kleinste Amplitude ent­ weder den Wert "0" aufweist oder auch ungleich "0" ist. Dies gilt sowohl bei positiven als auch bei negativen Potentialen der Pulse. Unter den vorste­ hend genannten "Pulsen" sind im Zuge diese Anmel­ dung Impulse beliebiger Form also nicht nur welche mit steilen Anstiegs- und/oder Abfallflanken zu verstehen.

Bevorzugt kann an die Elektroden auch eine Wechsel­ spannung angelegt werden, wobei zum Schluß der je­ weiligen Behandlungsperiode eine Gleichspannung entsprechender Polarität angelegt wird, was zu ei­ ner optimalen Oberfläche des zu behandelnden Teils führt. Bei der Wechselspannung kann es sich um eine Spannung mit einem arithmetischen Mittelwert von "0" handeln oder mit einem arithmetischen Mittel­ wert der ungleich "0" ist.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Be­ schichten von eine große Affinität zu Sauerstoff aufweisenden Teilen, insbesondere Metallteilen, wo­ bei die Teile ohne Kontakt mit Sauerstoff, insbe­ sondere atmosphärischem Sauerstoff, von vorhandenen Oberflächenoxidschichten befreit und anschließend beschichtet werden, wobei die Teile im Naß-In-Naß- Zustand durch voneinander durch Schleusen getrennte Bäder hindurchgeführt werden. Diese Schleusen sind derart ausgebildet, daß sie zwar von den Teilen passiert werden können, jedoch die einzelnen Bäder von einander abschotten. Besonders günstig ist es, wenn die zur Beschichtung vorgesehenen Teile vor­ zugsweise in einer Dimension relativ dünn ausgebil­ det sind, da sie dann besonders gut die Schleusen passieren können. In den einzelnen Bädern werden die Teile entsprechend behandelt, das heißt, in dem Ätzbad geätzt, so daß die vorhandenen Oberflächen­ oxidschichten entfernt werden und in dem sich an­ schließenden, durch eine Schleuse abgetrennten Be­ schichtungsbad dann mit der entsprechenden Be­ schichtung versehen werden. Durch eine entspre­ chende Schleuse gelangen also die Teile von dem Ätzbad in das Beschichtungsbad, wobei jedoch ein Flüssigkeitsaustausch der Bäder untereinander wei­ testgehend verhindert ist. Bei dieser Ausbildung sind somit die zum Ätzen und Beschichten erforder­ lichen Bäder gemeinsam in einem Behälter unterge­ bracht.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfin­ dung ist vorgesehen, daß zwischen dem Ätzbad und dem Abscheidebad mindestens ein Spülbad angeordnet und durch Trennwände abgeschottet ist. Diese eben­ falls als Schleusen ausgebildete Trennwände gestat­ ten es also, daß die Teile zunächst im Ätzbad ge­ ätzt, dann im Spülbad gespült und anschließend im Beschichtungsbad beschichtet werden, wobei sie auf­ grund des Transportes durch die Bäder und auch durch die Schleusen stets innerhalb des jeweiligen Bades verbleiben, also nicht mit Sauerstoff der Außenluft in Berührung kommen.

Eine Verschleppung von Anteilen des Ätzbades in das Abscheidebad wird besonders wirkungsvoll dann ver­ hindert, wenn mehrere Spülbäder vorgesehen sind, die von einander durch Schleusen abgetrennt werden.

Zusätzlich zu dem erwähnten Naß-in-Naß-Zustand kann vorgesehen sein, daß sich der die Bäder aufweisende Behälter in einer Inertgas-Atmosphäre befindet.

Für die Behandlung größerer Stückzahlen empfiehlt sich ein Durchlaufverfahren der Teile, bei denen die Zusammensetzung der einzelnen Bäder unverändert bleibt und die Teile durch diese so von einem Bad zum anderen Bad hindurchgezogen werden, daß sie keinen Kontakt zu Sauerstoff, insbesondere atmo­ sphärischem Sauerstoff, erhalten.

Für den Transport der Teile ist vorzugsweise ober­ halb der jeweiligen Badoberfläche ein die Teile durch die einzelnen Bäder in der vorgegebenen Rei­ henfolge führendes Förderband vorgesehen.

Für das galvanische Ätzen und galvanische Beschich­ ten ist das Förderband über seine in Förderrichtung verlaufende Länge abschnittsweise unterschiedlich elektrisch polbar. Die Polung ist so variierbar, daß jeweils die über dem Ätzbad zu liegen kommenden Bereiche des ruhenden oder laufenden Transportban­ des ein erstes Potential und die über dem Abschei­ debad liegenden Bereich ein zweites Potential auf­ weisen. Diese Potentiale können mittels Gleichspan­ nungen, Pulsspannungen oder Wechselspannungen er­ zeugt werden. Es ist vorgesehen, daß das Förderband als ein aus elektrisch leitfähigen, in Förderrich­ tung gegeneinander isolierten, untereinander gelen­ kig verbunden Einzelelementen aufgebautes geschlos­ senes Ringband ausgebildet ist, das über zwei elek­ trisch polbare Führungsräder läuft, von denen das eine oberhalb des Ätzbades und das andere oberhalb des Abscheidebades angeordnet ist. Das jeweilige Potential der Führungsräder wird auf diese Art und Weise auf die Einzelelemente und von dort auf die von den Einzelelementen gehaltenen Teile übertra­ gen. Es ist auch möglich, daß den Einzelelementen des Förderbandes das jeweilige Potential nicht über die Führungsräder, sondern über elektrisch polbare Kontaktelemente zu geführt wird. Bei diesen Kon­ taktelementen kann es sich zum Beispiel um Schleif­ kontakte handeln.

Die für die Teile durchdringbaren Trennwände können zumindest im Durchdringungsbereich durch mindestens zwei dichtend gegeneinander laufende, um je eine Achse, insbesondere vertikale Achse, rotierende Walzen aus elastischem Material gebildet sein, die gegenüber angrenzenden Wänden, insbesondere des Be­ hälters im wesentlichen dicht gleiten. Durch einen gegenläufigen Antrieb der Walzen werden die Teile in deren Zwickelbereich erfaßt. Damit wird die Transportbewegung durch das Förderband unterstützt. Gleichzeitig kann eine relativ große Walzenpressung erfolgen, so daß ein Austausch der Badflüssigkeiten weitestgehend durch die damit einhergehende Dicht­ wirkung verhindert ist. Alternativ ist es jedoch auch möglich, das die Walzen keinen eigenen Antrieb aufweisen, sondern durch Beaufschlagung mit den Teilen in Drehung versetzt werden.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Walzen aus einem thermisch isolierenden Material bestehen be­ ziehungsweise dieses Material aufweisen. Hierdurch ist es möglich, die einzelnen Bäder mit unter­ schiedlichen Temperaturen zu fahren, ohne daß ein spürbarer Temperaturausgleich eintritt. Insbeson­ dere ist es vorteilhaft, wenn das Spülen mit einer erhöhten Temperatur durchgeführt wird, da sich dann die Oberflächenoxidschichten besonders gut lösen. Nach einem besonders bevorzugten Ausführungsbei­ spiel sind nacheinander mehrere Spülbäder vorgese­ hen, die unterschiedliche Temperaturen aufweisen. Dabei können die nacheinander zu durchlaufenden Bä­ der eine stets steigende Temperatur aufweisen, wo­ bei die höchste Temperatur etwa 60° Celsius be­ trägt. Günstig ist es, wenn mindestens ein Bad, insbesondere ein Spülbad, eine Temperatur von 40°- 45° Celsius aufweist.

Alternativ können die Temperaturen der hintereinan­ der liegenden Spülbäder auch in Förderrichtung ab­ nehmen oder alternieren, das heißt, ein zunächst passiertes Spülbad hat eine größere und das an­ schließende Spülbad dann eine kleinere Temperatur; es folgt dann wieder ein Spülbad mit einer größeren und dann wieder ein Spülbad mit einer kleineren Temperatur usw.

Zusätzlich oder alternativ zur Temperaturerhöhung des Spülbads beziehungsweise der Spülbäder kann vorgesehen sein, daß die Teile einer Ultraschall- Behandlung im Spülbad unterzogen werden.

Schließlich ist es vorteilhaft, wenn das Ätzbad und/oder das Spülbad und/oder das Abscheidebad zu­ mindest teilweise abgelassen und gleichzeitig das entsprechende Bad ohne Trockenlegung der Teile neu eingelassen wird. Dabei erfolgt der Austausch der Bäder möglichst kontinuierlich, so daß kaum eine Durchmischung stattfindet. Folglich wird zum Bei­ spiel auf dem sinkenden Oberflächenspiegel des ent­ sprechenden Bades das entsprechende Folgebad - ohne wesentliche Durchmischung - aufgebaut. Hierdurch lassen sich - ohne Prozeßunterbrechung - die einzel­ nen Bäder erneuern.

Die Erfindung betrifft ferner ein Teil, insbeson­ dere ein Metallteil, mit einer Beschichtung, die auf die oxidfreie Teil-Oberfläche aufgebracht ist. Bei dem Teil kann es sich um ein elektrisches Kon­ taktteil handeln. Insbesondere ist das Teil ein elektrischer Kontaktdraht. Dieser besteht vorzugs­ weise aus Wolfram oder einer Wolframlegierung.

Die Zeichnungen veranschaulichen die Erfindung und zwar zeigt:

Fig. 1 eine Draufsicht auf eine Vorrichtung, bei der zu beschichtende Teile, insbesondere Wolfram-Teile, nacheinander drei Bäder durchlaufen und

Fig. 2 einen Schnitt durch die Vorrichtung in Richtung II-II in Fig. 1.

Bevor auf die in der Zeichnung wiedergegebene Vor­ richtung und die damit verbundene Verfahrensführung eingegangen wird, sei zuvor erläutert, wie das Ver­ fahren bei Verwendung nur eines einzigen Behälters, insbesondere Wannenbehälters, und der erfindungs­ gemäßen Veränderung der Badflüssigkeit erfolgt.

Zur Durchführung des Verfahrens - beginnend mit dem Ätzen und endend mit dem Beschichten - dient ein einziger Behälter. Für den ersten Verfahrensschritt - dem galvanischen Ätzen der aus Wolfram bestehenden Teile zur Entfernung von Oberflächenoxidschichten - wird diese Wanne mit einer Natronlauge (NaOH) ge­ füllt. Die zu ätzenden Wolfram-Teile werden mit ei­ nem elektrisch positiven Potential beaufschlagt und in diese Lauge eingetaucht. In der Lauge befindet sich ein negativer Gegenpol, der beispielsweise durch eine in die Lauge eintauchende Elektrode ge­ bildet sein kann.

Nach Beendigung des Ätzprozesses, wird die Lauge durch Zugabe von Salzsäure (HCl) neutralisiert. Durch anschließende Zugabe saurer galvanischer Salzlösung in die neutralisierte Badflüssigkeit, wird die für die galvanische Beschichtung notwen­ dige und dem Fachmann insoweit bekannte Badflüssig­ keit zur Durchführung der galvanischen Beschichtung des Wolfram-Teiles erzeugt. Während des Beschich­ tungsprozesses ist das Wolfram-Teile negativ ge­ polt, wobei zugleich ein positiver Gegenpol inner­ halb des Bades geschaffen wird.

Der zuvor beschriebene Prozeß ist ebenfalls mit ei­ nem chemischen Ätzverfahren und mit einem chemi­ schen Beschichtungsverfahren durchführbar. Die Teile und die Bäder müssen dann nicht elektrisch gepolt werden.

Für eine großtechnische Anwendung bei Wolfram-Tei­ len, die zumindest in einer Dimension relativ dünn sind (wie Streifen oder Drähte), empfiehlt sich eine Behandlung in einer in der Zeichnung darge­ stellten Vorrichtung. Ein Wannenbehälter 1 ist durch für die zu behandelnden Wolfram-Teile durch­ lässige Trennwände 2 und 3 in drei einzelne Kammern 4, 5 und 6 aufgeteilt.

Die Kammer 4 ist beispielsweise mit einer für die Durchführung eines galvanischen Ätzprozesses ge­ eigneten Lauge gefüllt. Die Füllung der Kammer 5 kann destilliertes Wasser sein. In der Kammer 6 be­ findet sich eine saure Lösung des als Schicht auf die Wolfram-Teile aufzubringenden Metalls. Bei­ spiele für ein Schichtmaterial sind Nickel, Gold oder Silber.

Die durchlässigen Trennwände 2 und 3 bestehen je­ weils aus einem Walzenpaar elastischer Walzen 7. Diese Walzen 7 können insbesondere aus Gummi be­ stehen. Gelagert ist jede dieser Walzen 7 um eine vertikale Achse. Die Walzen 7 eines jeden eine Trennwand bildenden Walzenpaares sind mit ihren Manteloberflächen gegenüberstehend oder aufeinan­ dergepreßt, so daß eine Dichtung entsteht. Gegen­ über den Wänden des Wannenbehälters 1 liegen die Walzen 7 gleitbar und weitestgehend dichtend an.

Oberhalb der einzelnen Kammern 4 bis 6 des Wannen­ behälters 1 verläuft ein sämtliche drei Kammern überspannendes Transportband. Dieses Transportband kann insbesondere als eine Art Kette 8 ausgebildet sein. Geführt ist diese Kette 8 über Führungsräder 9, 10, von denen das Führungsrad 9 oberhalb der der Ätzung dienenden Kammer 4 und das Führungsrad 10 oberhalb der der Beschichtung dienenden Kammer 6 angeordnet ist. Die Führungsräder 9, 10 sind je­ weils aus elektrisch leitendem Material. Bei der Kette 8 sind die einzelnen Kettenglieder elektrisch leitfähig und in Längsrichtung der Kette gegenein­ ander elektrisch isoliert. Durch einen solchen Auf­ bau der Kette 8 ist es möglich, diese im Bereich der beiden Führungsräder 9 und 10 unabhängig von­ einander und damit auch gegeneinander elektrisch zu polen. Eine solche entgegengerichtete Polung ist notwendig um die in der Kammer 4 zu ätzenden Wolf­ ram-Teile positiv und im Bereich der Kammer 6 nega­ tiv zu polen. Die Wolfram-Teile sind hier relativ kurze Drahtabschnitte 11, die von entsprechenden Aufnahmevorrichtungen an den einzelnen Gliedern der Kette 8 gehalten sind und so durch die Behandlungs­ bäder geführt werden.

Zur Erzielung der notwendigen elektrolytischen Wir­ kung der Bäder in den Kammern 4 und 6 ragt in die Kammer 4 eine Kathode 12 und in die Kammer 6 eine Anode 13. Die Kathode 12 und die Anode 13 sind je­ weils als Blechstreifen ausgebildet. Dabei kann das für die Kathode 12 verwendete Blech beispielsweise aus Edelstahl bestehen, während das Blech für die Anode 13 aus an den gewählten galvanischen Prozeß entsprechend angepaßtem Material besteht. Wie die­ ses Material jeweils zu bestimmen ist, ist dem Gal­ vanikfachmann geläufig und bedarf deshalb hier kei­ ner weiteren Ausführungen.

Da die Walzen 7 aus elastischem Gummi bestehen, können die Drahtabschnitte 11 zwischen den Walzen 7 mit Hilfe der Kette 8 hindurchgezogen werden. Ent­ weder sind die Walzen mit einem Antrieb versehen; es ist jedoch auf möglich, diese antriebslos auszu­ gestalten.

Die Undichtigkeit zwischen den einzelnen Kammern aufgrund der Trennwände 2 und 3 kann durch ent­ sprechende kontruktive Maßnahmen bei der Dichtung der Walzen 7 gegenüber den Behälterwänden äußerst gering gehalten werden. Die Bäder in den einzelnen Kammer 4 bis 6 können im übrigen kon- oder diskon­ tinuierlich regeneriert und damit auf eine be­ stimmte vorgegebene Zusammensetzung gehalten wer­ den. Der Antrieb der Kette 8 erfolgt über die Füh­ rungsräder 9 und 10.

Die Potentialdifferenz in dem Elektrolyten der Kam­ mer 4 kann 5 bis 25 Volt, vorzugsweise 12 Volt, be­ tragen. Bei der Badflüssigkeit der Kammer 6 richtet sich die Potentialdifferenz nach der verfahrensbe­ dingten Zusammensetzung des Elektrolyten und kann beispielsweise Werte bis zu 20 Volt annehmen.

Die jeweils richtige Polung der Drahtabschnitt 11 beim Durchlaufen der Flüssigkeit in den Kammern 4 und 6 erfolgt über die jeweils leitend mit diesen verbundenen, oberhalb dieser Bäder angeordneten Führungsräder 9 bzw. 10. Sobald die gegeneinander isolierten Glieder der Kette 8 keine Berührung mehr zu einem der Führungsräder 9 bzw. 10 besitzen, sind diese elektrisch neutral.

Die an der Kette 8 befestigten Drahtabschnitte 11 sind nach Durchlaufen der Badflüssigkeit in der Kammer 6 fertig beschichtet und können von der Kette 8 abgenommen werden. Zur Befreiung von noch anhaftender Elektrolytflüssigkeit können die aus dem Elektrolyten der Kammer herausfahrenden Draht­ abschnitte beispielsweise mit Druckluft getrocknet werden.

Der Kette 8 zugeführt werden die Drahtabschnitte 11 etwa in dem Bereich 14, während sie etwa in dem Be­ reich 15 fertig beschichtet und gegebenenfalls ge­ trocknet wieder abgenommen werden. Sofern für das Ätzen und/oder Beschichten chemische Prozesse ein­ gesetzt werden, die keine elektrolytische Wirkung benötigen, können die in die Bäder tauchenden Elek­ troden entfallen. Auch ist es dann nicht erforder­ lich, die Teile über die Kette und die Führungs­ räder elektrisch vorzuspannen.

Claims (31)

1. Verfahren zum Beschichten von eine große Affini­ tät zu Sauerstoff aufweisenden Teilen, insbesondere Metallteilen, wobei die Teile ohne Kontakt mit Sau­ erstoff, insbesondere atmosphärischem Sauerstoff, von vorhandenen Oberflächenoxidschichten befreit und anschließend beschichtet werden, dadurch ge­ kennzeichnet, daß bei in ein und demgleichen Behäl­ ter verbleibenden Teilen ein zum Entfernen der Oberflächenoxidschichten verwendetes Ätzbad nach dem Ätzen in ein Abscheidebad zum Beschichten umge­ wandelt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Umwandlung des Ätzbades in das Ab­ scheidebad über eine Zwischenstufe erfolgt, in der ein Spülbad mit einem im wesentlichen neutralen PH- Wert vorliegt, und daß in dem Spülbad die Teile nach der Entfernung der Oberflächenoxidschichten und vor dem Beschichten gespült werden.

3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächen­ oxidschichten durch galvanisches Ätzen entfernt werden.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächen­ oxidschichten durch chemisches Ätzen entfernt wer­ den.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile aus Wolfram oder einer Wolframlegierung bestehen.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile aus Alu­ minium oder einer Aluminiumlegierung bestehen.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile aus rostfreiem Stahl oder einer nichtrostenden Stahlle­ gierung, insbesondere Chrom-Nickel-Stahl, bestehen.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschichten galvanisch erfolgt.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß das Ätzbad ein galvanisches Ätzbad ist, wobei die zu behandelnden Teile für den Ätzprozeß jeweils als Elektrode ge­ schaltet sind.

10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß das Abscheidebad ein galvanisches Abscheidebad ist, wobei die Teile für den Beschichtungsprozeß jeweils als Elektrode geschaltet sind.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß an die jeweilige Elektrode eine Gleichspannung, Pulsspannung oder Wechselspannung gelegt wird.

12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile in dem Ätzbad positiv und in dem Abscheidebad negativ ge­ polt werden.

13. Verfahren zum Beschichten von eine große Affi­ nität zu Sauerstoff aufweisenden Teilen, insbeson­ dere Metallteilen, wobei die Teile ohne Kontakt mit Sauerstoff, insbesondere atmosphärischem Sauer­ stoff, von vorhanden Oberflächenoxidschichten be­ freit und anschließend beschichtet werden, insbe­ sondere nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile im Naß-in-Naß-Zustand durch voneinander durch Schleu­ sen getrennte Bäder hindurchgeführt werden.

14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Behälter beziehungsweise Bäder in einer Inertgas-Atmosphäre befinden.

15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß das Ätzbad und/oder das Spülbad und/oder das Abscheidebad zu­ mindest teilweise abgelassen und gleichzeitig das entsprechende Bad ohne Trockenlegung der Teile neu eingelassen wird.

16. Vorrichtung zur Beschichtung der vorzugsweise in einer Dimension relativ dünnen Teile, insbeson­ dere zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zum Ätzen und Beschichten erforderlichen Bäder gemeinsam in einem Behälter (Wannenbehälter) in der durch das Verfahren angege­ benen Reihenfolge nebeneinander untergebracht sind und durch für die zu behandelnden Teile durchdring­ bare, als Trennwände (2, 3) ausgebildete Schleusen gegeneinander abgeschottet sind.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zwischen dem Ätzbad und dem Abschei­ debad mindestens ein Spülbad angeordnet und durch Trennwände abgeschottet ist.

18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Ätzbad ein chemisches oder ein galvanisches Ätzbad ist.

19. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abscheide­ bad ein chemisches oder ein galvanisches Abscheide­ bad ist.

20. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß oberhalb der jeweiligen Badoberfläche ein die Teile durch die einzelnen Bäder in der vorgegebenen Reihenfolge führendes Förderband (8) verläuft.

21. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Förderband (8) über seine in Förderrichtung verlaufende Länge abschnittsweise unterschiedlich elektrisch polbar ist.

22. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Polung so variierbar ist, daß jeweils die über dem Ätzbad liegenden Bereiche des ruhenden oder laufenden Transportbandes (8) ein erstes gewünschtes Po­ tential und die über dem Abscheidebad liegenden Be­ reiche ein zweites gewünschtes Potential aufweisen.

23. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das erste und/oder zweite Potential ein positives oder nega­ tives Potential ist oder daß das Potential von ei­ ner Pulsspannung mit entsprechend gewünschter Po­ lung oder einer Wechselspannung erzeugt ist.

24. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Förderband (8) ein aus elektrisch leitfähigen, in Förderrich­ tung gegeneinander isolierten, untereinander gelen­ kig verbundenen Einzelelementen aufgebautes ge­ schlossenes Ringband ist, wobei die oberhalb des Ätzbades beziehungsweise Abscheidebades befindli­ chen Einzelelemente über elektrisch polbare Kon­ taktelemente, insbesondere Schleifkontakte, mit ei­ nem elektrischen Potential versehen werden können.

25. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Förderband über zwei elektrisch polbare Führungsräder (9, 10) verläuft, von denen das eine oberhalb des Ätzbades (4) und das andere oberhalb des Abscheidebades (6) angeordnet ist.

26. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die für die Teile (11) durchdringbaren Trennwände (2, 3) zumin­ dest in einem Durchdringungsbereich durch minde­ stens ein Paar dichtend gegeneinander laufende, um je eine Achse rotierende Walzen (7) aus elastischem Material gebildet sind, die gegenüber den angren­ zenden Wänden, insbesondere Wänden des Behälters (11), im wesentlichen dichtend gleiten.

27. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Walzen aus thermisch isolierendem Material bestehen bezie­ hungsweise dieses aufweisen.

28. Teil, insbesondere hergestellt nach dem Verfah­ ren oder mit der Vorrichtung nach einem oder mehre­ ren der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Beschichtung, die auf die oxidfreie Oberfläche des Teils aufgebracht ist.

29. Teil nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß es ein elektrisches Kontaktteil ist.

30. Teil nach Anspruch 28 oder 29, dadurch gekenn­ zeichnet, daß es ein Kontaktdraht ist.

31. Teil nach einem der vorhergehenden Ansprüche 28 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontakt­ draht aus Wolfram oder einer Wolframlegierung be­ steht.