DE4114268C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE4114268C2
DE4114268C2 DE4114268A DE4114268A DE4114268C2 DE 4114268 C2 DE4114268 C2 DE 4114268C2 DE 4114268 A DE4114268 A DE 4114268A DE 4114268 A DE4114268 A DE 4114268A DE 4114268 C2 DE4114268 C2 DE 4114268C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
membrane
parameters
measured
microstructures
frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE4114268A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE4114268A1 (de
Inventor
Werner Dr. 7500 Karlsruhe De Schomburg
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Original Assignee
Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH filed Critical Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
Priority to DE4114268A priority Critical patent/DE4114268A1/de
Priority to PCT/DE1992/000364 priority patent/WO1992019942A1/de
Priority to US08/117,092 priority patent/US5485750A/en
Priority to JP04508452A priority patent/JP3008986B2/ja
Priority to EP92909153A priority patent/EP0582606B1/de
Priority to DE59201030T priority patent/DE59201030D1/de
Publication of DE4114268A1 publication Critical patent/DE4114268A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4114268C2 publication Critical patent/DE4114268C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H13/00—Measuring resonant frequency

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
DE4114268A 1991-05-02 1991-05-02 Verfahren zur ermittlung der groesse von parametern, welche die frequenz von eigenschwingungen von mikrostrukturen aendern Granted DE4114268A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4114268A DE4114268A1 (de) 1991-05-02 1991-05-02 Verfahren zur ermittlung der groesse von parametern, welche die frequenz von eigenschwingungen von mikrostrukturen aendern
PCT/DE1992/000364 WO1992019942A1 (de) 1991-05-02 1992-05-02 Verfahren zur ermittlung der grösse von parametern
US08/117,092 US5485750A (en) 1991-05-02 1992-05-02 Process for finding the value of parameters capable of changing the resonance frequency of microstructures
JP04508452A JP3008986B2 (ja) 1991-05-02 1992-05-02 パラメータの値を求める方法
EP92909153A EP0582606B1 (de) 1991-05-02 1992-05-02 Verfahren zur ermittlung der grösse von parametern
DE59201030T DE59201030D1 (de) 1991-05-02 1992-05-02 Verfahren zur ermittlung der grösse von parametern.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4114268A DE4114268A1 (de) 1991-05-02 1991-05-02 Verfahren zur ermittlung der groesse von parametern, welche die frequenz von eigenschwingungen von mikrostrukturen aendern

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4114268A1 DE4114268A1 (de) 1992-11-12
DE4114268C2 true DE4114268C2 (en, 2012) 1993-09-09

Family

ID=6430777

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4114268A Granted DE4114268A1 (de) 1991-05-02 1991-05-02 Verfahren zur ermittlung der groesse von parametern, welche die frequenz von eigenschwingungen von mikrostrukturen aendern
DE59201030T Expired - Fee Related DE59201030D1 (de) 1991-05-02 1992-05-02 Verfahren zur ermittlung der grösse von parametern.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59201030T Expired - Fee Related DE59201030D1 (de) 1991-05-02 1992-05-02 Verfahren zur ermittlung der grösse von parametern.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5485750A (en, 2012)
EP (1) EP0582606B1 (en, 2012)
JP (1) JP3008986B2 (en, 2012)
DE (2) DE4114268A1 (en, 2012)
WO (1) WO1992019942A1 (en, 2012)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4423822C1 (de) * 1994-07-06 1996-01-04 Karlsruhe Forschzent Sensor zur berührungslosen Messung von Medienparametern mit Mikromembranen vermittels Ultraschall
DE9416564U1 (de) * 1994-10-14 1996-02-15 Pector GmbH, 82054 Sauerlach Vorrichtung zur Bestimmung der Zusammensetzung von Gasmischungen
DE19739961C1 (de) * 1997-09-11 1999-04-15 Siemens Ag Verfahren zur Bestimmung des Gasdruckes in einem Hohlraum mit verformbarer Wandung eines Halbleiterbauelementes
US6027760A (en) 1997-12-08 2000-02-22 Gurer; Emir Photoresist coating process control with solvent vapor sensor
EP1322951A2 (en) * 2000-09-20 2003-07-02 Molecular Reflections Microfabricated ultrasound array for use as resonant sensors
DE102005001298A1 (de) * 2005-01-03 2006-07-13 Hydac Electronic Gmbh Vorrichtung zum Messen von Kräften, insbesondere Drucksensor, und zugehöriges Herstellverfahren

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3355933A (en) * 1964-03-16 1967-12-05 Robert G Rowe Resonance vibration testing apparatus
US3595069A (en) * 1969-02-14 1971-07-27 Panametrics Ultrasonic sensing system
US4095474A (en) * 1976-07-19 1978-06-20 Imperial Chemical Industries Limited Monitoring systems and instruments
FR2435029A1 (fr) * 1978-08-31 1980-03-28 Oreal Procede pour mesurer au moins une caracteristique mecanique d'un materiau elastique et appareil correspondant
JPS5838738B2 (ja) * 1979-01-11 1983-08-25 横河電機株式会社 圧力計
DE3012774C2 (de) * 1980-04-02 1983-04-07 Roeder, Eckhard, Dipl.-Ing., 2820 Bremen Verfahren zur zerstörungsfreien Prüfung von Bauteilen
FR2490344A1 (fr) * 1980-09-12 1982-03-19 Syminex Sa Procede et dispositif pour verifier l'etat mecanique d'une structure
US4448546A (en) * 1980-11-28 1984-05-15 Novex, Inc. Digital temperature sensor
DE3232499A1 (de) * 1982-09-01 1984-03-01 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Maske fuer die mustererzeugung in lackschichten mittels roentgenstrahllithographie und verfahren zu ihrer herstellung
GB2143036B (en) * 1983-07-08 1986-10-15 Atomic Energy Authority Uk Ultrasonic resonance for detecting changes in elastic properties
US4607341A (en) * 1984-03-05 1986-08-19 Canadian Patents And Development Limited Device for determining properties of materials from a measurement of ultrasonic absorption
DE3539156A1 (de) * 1985-11-05 1987-05-07 Kroebel Werner Verfahren und einrichtung zur messung der dichte in medien ueber schwingungen hoher frequenzstabilitaet
JPH07104217B2 (ja) * 1988-05-27 1995-11-13 横河電機株式会社 振動式トランスデューサとその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0582606A1 (de) 1994-02-16
EP0582606B1 (de) 1994-12-21
JP3008986B2 (ja) 2000-02-14
DE59201030D1 (de) 1995-02-02
WO1992019942A1 (de) 1992-11-12
DE4114268A1 (de) 1992-11-12
JPH06507041A (ja) 1994-08-04
US5485750A (en) 1996-01-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2505461C2 (de) Meßumformer zum Bestimmen einer ein Substrat verformenden Meßgröße
DE69610183T2 (de) Piezoelektrische quarz-mikrowaage
DE2831938C2 (en, 2012)
EP0485584B1 (de) Verfahren zur Untersuchung beschichteter Metalloberflächen
DE69309313T2 (de) Kalorimetrischer sensor
DE69837946T2 (de) Durchflussmessung oder Messung anderer Eigenschaften eines Fluids mittels eines gemeinsamen Frequenzgenerators und Fast Fourier-Transformation (FFT)
DE3106887C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Anzeige des Taupunkts
DE69026272T2 (de) Rheometer
EP3421950B1 (de) Durchflusssensor, verfahren und durchflussmessgerät zur bestimmung von geschwindigkeiten von phasen eines mehrphasigen mediums
DE102015110711A1 (de) MEMS Sensor zu Messung mindestens einer Messgröße eines strömenden Fluids
DE4114268C2 (en, 2012)
DE69505383T2 (de) Verwendung eines strömungsmessgerätes als mikrofon und system mit einem solchen mikrofon
DE4109469C2 (de) Anordnung zur Bestimmung der Absorption und der Beständigkeit gegenüber Laserstrahlung von optischen Schichten
DE69517561T2 (de) Beschleunigungsmessaufnehmer
DE10112583C2 (de) Verfahren zur Temperaturkompensation sowie Vorrichtung zum Messen der spezifischen Dichte
DE102010037981B4 (de) Ultraschallmessverfahren und -vorrichtung, insbesondere zur Aushärtungsüberwachung und Laminatdickenbestimmung bei der Faserverbundteilfertigung
AT508679B1 (de) Sensoranordnung zur messung von eigenschaften von fluiden
DE69425898T2 (de) Hochpräzisionswaage und positionssensor
DE19612925C1 (de) Verfahren zur Werkstoffprüfung von beschichteten Werkstoffen
DE102006042724B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer Substanz eines Fluids
DE10018618B4 (de) Hochdrucksensor mit Piezoeffekt
DE19826617C1 (de) Verfahren zur Herstellung von Immunosensoren
DE10143201A1 (de) Mediengewichtssensor mit einer akustischen Übertragung
EP4328578B1 (de) Digitale sensorvorrichtung zur detektion von analyten in einer probe
DE102022005110B4 (de) Digitale Sensorvorrichtung zur Detektion von Analyten in einer Probe

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee