DE4113525A1 - Verfahren zur grossflaechigen metallisierung und verwendung der damit hergestellten bauelemente - Google Patents

Verfahren zur grossflaechigen metallisierung und verwendung der damit hergestellten bauelemente

Info

Publication number
DE4113525A1
DE4113525A1 DE4113525A DE4113525A DE4113525A1 DE 4113525 A1 DE4113525 A1 DE 4113525A1 DE 4113525 A DE4113525 A DE 4113525A DE 4113525 A DE4113525 A DE 4113525A DE 4113525 A1 DE4113525 A1 DE 4113525A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
organic
palladium
components
soln
decomposed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE4113525A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4113525C2 (de
Inventor
Hilmar Dr Esrom
Ulrich Dr Kogelschatz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Heraeus Noblelight GmbH
Original Assignee
ABB Patent GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ABB Patent GmbH filed Critical ABB Patent GmbH
Priority to DE4113525A priority Critical patent/DE4113525C2/de
Publication of DE4113525A1 publication Critical patent/DE4113525A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4113525C2 publication Critical patent/DE4113525C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/14Decomposition by irradiation, e.g. photolysis, particle radiation or by mixed irradiation sources
    • C23C18/143Radiation by light, e.g. photolysis or pyrolysis

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur groß­ flächigen Metallisierung von Bauelementen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1, sowie auf die Ver­ wendung der damit hergestellten Bauelemente.
Das erfindungsgemäße Verfahren findet dort Anwendung, wo Bauelemente aus organischen oder anorganischen Werkstof­ fen soweit wie möglich mit einem metallischen Überzug versehen werden sollen.
Aus der DE-OS 38 40 200 ist ein Verfahren zur Metalli­ sierung eines Vlieses bekannt, das aus Fasern gefertigt ist. Die Fasern selbst sind aus Kunststoff hergestellt. Zur Metallisierung des Vlieses wird Palladiumacetat in einer Chloroformlösung gelöst. Anschließend wird das Vlies in die Lösung getaucht. Es schließt sich eine Be­ strahlung mit UV-Licht an, dessen Wellenlänge zwischen 100 und 350 nm liegt. Die UV-Strahlung wird mit einem Hochleistungsstrahler erzeugt, der in der EP-OS 02 54 111 beschrieben ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren aufzuzeigen, mit dem faserförmige, porige oder mit kom­ plexen geometrischen Strukturen versehene Bauelemente mit einer Metallisierung versehen werden können, sowie die Verwendung dieser Bauelemente anzugeben.
Der erste Teil der Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst.
Die Verwendungen der Bauelemente sind in Patentanspruch 5 offenbart.
Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt die Metallisie­ rung von Bauelementen aus organischen oder anorganischen Werkstoffen, auch wenn sie eine sehr geringe Temperatur­ beständigkeit aufweisen. Erfindungsgemäß werden Lösungen aus metallorganischen Verbindungen hergestellt, in wel­ che die zu metallisierenden Bauelemente getaucht werden. Vorzugsweise werden metallorganische Verbindungen ver­ wendet, deren metallischer Anteil aus Palladium, Nickel oder Kupfer besteht. Zur Ausbildung solcher Lösungen sind besonders Palladiumacetat, Palladiumacetylacetonat, Palladiumchlorid, Nickelacetat und Kupferformiat geeig­ net. Diese metallorganischen Verbindungen werden vor­ zugsweise in Alkohol, Äther oder Wasser gelöst. Die hier aufgezeigten metallorganischen Verbindungen haben die Eigenschaft, daß sie die zu metallisierenden Flächen ausgezeichnet benetzen und auch in kleinste Öffnungen eindringen, so daß auch die Innenflächen von Poren hier­ durch metallisiert werden können. Nach der Beschichtung der Bauelemente mit der Lösung werden die Bauelemente mit einer UV-Strahlung bestrahlt, die eine Wellenlänge zwischen 100 und 350 nm aufweisen. Durch die UV-Strah­ lung wird die in der Lösung enthaltene metallorganische Verbindung zersetzt, und auf allen benetzten Flächen ein metallischer Überzug gebildet. Da Paladium sehr gut als Katalysator geeignet ist, ferner die Eigenschaft auf­ weist, Wasserstoff zu speichern, zudem für Wasserstoff durchlässig ist, können metallisierte Bauelemente, die aus Kunststoffnetzen, Vliesen, Fasern, Hohlfasern, Wa­ benstrukturen und schwammartigen oder porösen Körpern bestehen, und mit Paladium metallisiert sind, als Kata­ lysatoren und Wasserstoffspeicher eingesetzt werden. Ferner besteht die Möglichkeit, diese Bauelemente zur Reinigung von Wasserstoff oder zur Reinigung von Wasser selbst einzusetzen. Weitere erfindungswesentliche Merk­ male sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand einer Zeichnung näher erläutert.
Die einzige zur Beschreibung gehörende Figur zeigt ein Ausschnitt aus einem Vlies 1, das durch Fasern 2 gebil­ det wird. Die Fasern 2 bestehen aus Kunststoff. Es kön­ nen hierfür auch Fasern aus Kunststoff verwendet werden, die eine sehr geringe Temperaturbeständigkeit aufweisen. Das Vlies 1 wird in eine Lösung getaucht, die durch Lö­ sen von pulverförmigem Palladium(II)Acetat in Chloroform gebildet wird. Anschließend wird das Vlies 1 zwischen zwei UV-Quellen 3 angeordnet. Diese werden bei dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel durch zwei UV-Hochlei­ stungsstrahler gebildet, die in definiertem Abstand von­ einander angeordnet sind. Der Aufbau eines solchen Hoch­ leistungsstrahlers 3, der auch als Excimerstrahler be­ zeichnet wird, ist in der EP-OS 02 54 111 offenbart. Jeder der beiden Hochleistungsstrahler 3 besteht aus einem durch eine einseitig gekühlte Metallelektrode (hier nicht dargestellt) und ein Dielektrikum oder zwei Dielektrika (hier ebenfalls nicht dargestellt) begrenz­ ten und mit einem Edelgas oder Gasgemisch gefüllten Ent­ ladungsraum (hier nicht dargestellt). Das Dielektrikum und die auf der dem Entladungsraum abgewandten Oberflä­ che des Dielektrikums liegenden zweite Elektrode (hier nicht dargestellt) sind für die durch stille elektrische Entladung erzeugte Strahlung transparent. Durch diese Konstruktion und durch eine geeignete Wahl der Gasfül­ lung wird ein großflächiger UV-Hochleistungsstrahler mit hohem Wirkungsgrad geschaffen. Mit Hilfe einer Gasfül­ lung aus Helium bzw. Argon kann eine UV-Strahlung mit einem Wellenlängenbereich zwischen 60 und 100 nm bzw. 107 und 165 nm erzeugt werden. Mit einer Gasfüllung aus Xenon kann eine UV-Strahlung mit einer Wellenlänge zwi­ schen 160 und 190 nm erzeugt werden, wobei das Maximum hierbei bei 172 nm liegt. Mit einer Gasfüllung aus einen Argon/Fluorid-Gemisch bzw. einem Krypton/Fluorid-Gemisch kann UV-Strahlung im Bereich von 180 bis 200 nm bzw. 240 bis 255 nm erzeugt werden. Mit einem Gasgemisch aus Xe­ non und Chlor läßt sich mit dem Hochleistungsstrahler 3 eine UV-Strahlung mit einer Wellenlänge von 300 bis 320 nm erzeugen. Wird nun die auf die Fasern aufgetragene Lösung 4 mit UV-Strahlung bestrahlt, so wird die metall­ organische Verbindung insbesondere das Palladiumacetat zersetzt und gleichzeitig eine metallische Schicht auf den Fasern 2 ausgebildet. Aus Absorptionsmessungen ist bekannt, das Palladiumacetat im gesamten UV-Bereich, d. h. für Wellenlängen zwischen 100 bis 350 nm absor­ biert. Die beiden Hochleistungsstrahler 3 können deshalb mit einer der oben genannten Gasfüllungen versehen wer­ den, die zur Erzeugung einer der UV-Strahlungen in dem oben genannten Wellenbereich geeignet ist. Durch die sehr guten benetzenden Eigenschaften der Palladiumace­ tatlösung werden alle Fasern 2 ausreichend mit der Lö­ sung überzogen. Selbst hohle Fasern werden in ihrem In­ nenbereich in ausreichender Weise von der Lösung überzo­ gen, so daß bei der anschließenden Bestrahlung eine vollständige Metallisierung auch der Innenbereiche der Fasern 2 bewirkt wird. Nach der Fertigstellung des me­ tallischen Oberzugs besteht die Möglichkeit, das Vlies noch zur metallischen Verstärkung in einem naßchemischen Metallisierungsbad anzuordnen, um beispielsweise eine Kupferschicht aufzutragen.
Anstelle des Vlieses 1 können auch Bauelemente aus porö­ sen Werkstoffen mit diesem Verfahren metallisiert wer­ den. Die Palladiumacetatlösung weist die Eigenschaft auf, daß sie auch in die Poren dieser Materialien ein­ dringt, so daß durch die anschließende Bestrahlung mit UV-Licht auch eine Metallisierung der Poreninnenflächen ermöglicht wird. Das erfindungsgemäße Verfahren be­ schränkt sich jedoch nicht auf Vliese aus Fasern oder poröse Materialien, vielmehr können auch Netze aus Kunststoff, Körper mit wabenförmiger Struktur oder Bau­ elemente mit einer komplexen Geometrie in gleicher Weise metallisiert werden. Erfindungsgemäß können die mit Pal­ ladium metallisierten Bauelemente als Katalysatoren genutzt werden. Durch Verstärkung der Metallisierung mit Platin oder Nickel ist eine Verwendung als Katalysator für Kraftfahrzeugabgase möglich. Bei Verwendung eines Nickelüberzugs können die Bauelemente als Katalysator zur Hydrierung von Fettmolekülen genutzt werden. Palla­ dium hat bekanntlich die Eigenschaft, daß es Wasserstoff speichert. Im Mittel werden pro Palladiumatom drei Was­ serstoffatome gespeichert. Für ein schnelles Be- und Entladen eines solchen Speichers werden große Palladiu­ moberflächen benötigt. Diese können durch die oben be­ schriebenen Bauelemente problemlos bereitgestellt wer­ den. Palladium hat ferner die Eigenschaft, daß es für Wasserstoff durchlässig ist. Poröse mit einer Palladium­ metallisierung versehene Bauelemente können deshalb zur Wasserstoffreinigung eingesetzt werden. Aus Kunststoff gefertigte Netze, die mit einem Palladiumüberzug verse­ hen werden, können bei der Wasserreinigung zum Einsatz kommen, so z. B. zur Reinigung von Abwässern aus der Gal­ vanik. Hierfür wird an die im Abwasser angeordneten Net­ ze eine Spannung angelegt, um die Metallionen aus dem Wasser zu entfernen.

Claims (5)

1. Verfahren zur Metallisierung von Flächen von Bauelementen durch Tauchen in einer metallorganischen Lösung und anschließenden Bestrahlung mit UV-Licht, da­ durch gekennzeichnet, daß Netze, Vliese, Fasern, Körper mit wabenförmiger, schwammartiger oder poröser Struktur, bzw. Bauelemente (1) mit komplexen geometrischen Struk­ turen, aus organischen oder anorganischen Werkstoffen in eine Lösung getaucht werden, die eine metallorganische Verbindung enthält, welche anschließend durch Bestrah­ lung mit UV-Licht zur Bildung eines metallischen Über­ zugs zersetzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß der metallische Überzug durch Kupfer, Nickel, Platin, Aluminium, Gold oder Chrom bis zu einer Dicke von 30 µm verstärkt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Lösung aus Palladiumacetat, Palladium­ acetylacetonat, Palladiumchlorid, Nickelacetat oder Kup­ ferformiat gelöst in Alkohol, Äther oder Wasser gebildet und mit UV-Strahlung zersetzt wird, die eine Wellenlänge zwischen 100 und 350 nm aufweist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß die UV-Strahlung mit einem Excimerstrahler erzeugt wird, der in der EP-OS 02 54 111 offenbart und mit einer Gasfüllung aus Helium, Argon, einem Argon/Fluoridgemisch, einem Krypton/Fluorid­ gemisch, Xenon oder einem Gemisch aus Xenon und Chlor versehen ist.
5. Verwendung der mit dem Verfahren nach Anspruch hergestellten Bauelemente als Katalysator, Wasserstoff­ speicher, zur Reinigung von Wasserstoff und zur Reini­ gung von Wasser.
DE4113525A 1991-04-25 1991-04-25 Verfahren zur Metallisierung von Flächen von Bauelementen und ihre Verwendung Expired - Fee Related DE4113525C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4113525A DE4113525C2 (de) 1991-04-25 1991-04-25 Verfahren zur Metallisierung von Flächen von Bauelementen und ihre Verwendung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4113525A DE4113525C2 (de) 1991-04-25 1991-04-25 Verfahren zur Metallisierung von Flächen von Bauelementen und ihre Verwendung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4113525A1 true DE4113525A1 (de) 1992-10-29
DE4113525C2 DE4113525C2 (de) 1995-08-03

Family

ID=6430346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4113525A Expired - Fee Related DE4113525C2 (de) 1991-04-25 1991-04-25 Verfahren zur Metallisierung von Flächen von Bauelementen und ihre Verwendung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4113525C2 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0651073A1 (de) * 1993-10-29 1995-05-03 General Electric Company Palladium Acetylacetonat-Lösung
WO1995031586A1 (en) * 1994-05-11 1995-11-23 Kimberly-Clark Corporation Method of coating a substrate with copper
US6375920B2 (en) 1996-10-16 2002-04-23 Basf Aktiengesellschaft Process for the manufacture of hydrogen peroxide

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0271466A2 (de) * 1986-11-07 1988-06-15 Monsanto Company Selektive katalytische Aktivierung von Kunststoff-Filmen
DE3840200A1 (de) * 1988-11-29 1990-05-31 Asea Brown Boveri Vlies und verfahren zu seiner herstellung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0271466A2 (de) * 1986-11-07 1988-06-15 Monsanto Company Selektive katalytische Aktivierung von Kunststoff-Filmen
DE3840200A1 (de) * 1988-11-29 1990-05-31 Asea Brown Boveri Vlies und verfahren zu seiner herstellung

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0651073A1 (de) * 1993-10-29 1995-05-03 General Electric Company Palladium Acetylacetonat-Lösung
US5448605A (en) * 1993-10-29 1995-09-05 General Electric Company Palladium acetylacetonate solution and related method of manufacture
WO1995031586A1 (en) * 1994-05-11 1995-11-23 Kimberly-Clark Corporation Method of coating a substrate with copper
US6375920B2 (en) 1996-10-16 2002-04-23 Basf Aktiengesellschaft Process for the manufacture of hydrogen peroxide

Also Published As

Publication number Publication date
DE4113525C2 (de) 1995-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3826046A1 (de) Verfahren zur herstellung von metallischen schichten
DE2053728C3 (de) Implantierbare elektrische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung dieser Vorrichtung
DE4343753C2 (de) Verfahren zur Oberflächenmodifizierung eines Fluorkohlenstoffpolymer-Formgegenstandes und Verfahren zum chemischen Plattieren der Oberfläche mit einem UV-Laser
DE69912334T2 (de) Verfahren zum Ablagern einer Metalloxyd(en)schicht
DE2609016B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur thermochemischen Ausbildung von Oberflächendiffusionslegierungen auf hitzebeständigen metallischen Werkstücken
DE4330961C1 (de) Verfahren zur Herstellung von strukturierten Metallisierungen auf Oberflächen
DE2611341A1 (de) Kollimator fuer roentgen- und gammastrahlung und verfahren zu seiner herstellung
DE3942472A1 (de) Beschichtungsverfahren
DE4113525C2 (de) Verfahren zur Metallisierung von Flächen von Bauelementen und ihre Verwendung
DE2718288C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines selektiven Solarenergieabsorbers
DE4042220C2 (de) Verfahren zur Herstellung von ganzflächigen oder partiellen Goldschichten
EP0374505B1 (de) Verfahren zur Metallisierung
DE2010502B2 (de) Verfahren zur herstellung einer halbleiteranordnung
EP0446835B1 (de) Galvanisierungsverfahren
EP0349946A1 (de) Verfahren zur Herstellung von metallischen Schichten
DE3840200C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Vlieses
DE3311046C2 (de)
DE19518512C2 (de) Palladiumhaltiges Precursormaterial und Verfahren zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf dielektrischen Substraten mit einem palladiumhaltigen Precursormaterial
DE19852776A1 (de) Verfahren zur Metallisierung von Kunststoffen
DE3938669A1 (de) Verfahren zur bekeimung einer zu metallisierenden oberflaeche
DE3347038C2 (de) Verfahren zum Beschichten von Trägern mit Metallen
DE3518766A1 (de) Verfahren zur metallisierung eines substrates
DE1958166A1 (de) Aluminiumkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung
EP0813618A1 (de) Verfahren zum stromlosen metallisieren von elektrisch nicht leitenden substraten
DE2448148A1 (de) Verfahren zur herstellung eines metallueberzuges auf erzeugnissen aus nichtmetallischen stoffen

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: HERAEUS NOBLELIGHT GMBH, 63450 HANAU, DE

8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee