DE4107108A1

DE4107108A1 - Siliciumbornitridkeramik und vorlaeuferverbindungen, verfahren zu deren herstellung sowie deren verwendung

Info

Publication number: DE4107108A1
Application number: DE4107108A
Authority: DE
Inventors: Martin Prof Dr Jansen; Hans-Peter Dr Baldus; Oliver Wagner
Original assignee: Bayer AG
Current assignee: Bayer AG
Priority date: 1991-03-06
Filing date: 1991-03-06
Publication date: 1992-09-10
Also published as: JP3130117B2; US5312942A; EP0502399A2; KR920017947A; JPH05124812A; CA2062218A1; DE59206265D1; EP0502399B1; KR100201187B1; CA2062218C; EP0502399A3; US5233066A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft neue Trichlorsilylaminoborane, neue Boro silazanverbindungen, neue Oligo- oder Polyborosilazanverbindungen, die das Strukturmerkmal ≡Si-NH-B= aufweisen, ein Siliciumbornitridkeramikpulver, kera misches Material auf der Basis SiN und BN, Verfahren zur jeweiligen Herstellung sowie die Verwendung der Polyborosilazane und der keramischen Materialien.

Der Werkstoff Siliciumnitrid ist aufgrund seiner Festigkeit und seiner Korro sionsbeständigkeit prinzipiell gut geeignet für Turbolader, Turbinen von Düsentriebwerken sowie Auskleidung von Raketendüsen und Brennkammern.

Allerdings spielen für die obengenannten Anwendungen neben der mechanischen Belastbarkeit und der Korrosionsbeständigkeit bei hohen Temperaturen noch zwei weitere Größen eine wichtige Rolle und zwar die Thermoschockbeständigkeit und die Hochtemperaturfestigkeit. Die Werte für diese wichtigen Werkstoffdaten sind bei den zur Zeit erhältlichen Siliciumnitridbauteilen, die zu einem Anteil von ca. 10 Gew.-% aus oxidischen Sinterhilfsmitteln bestehen, aufgrund der beim Sintern sich an den Korngrenzen bildenden oxidischen Glasphasen für hohe thermische Be lastungen noch nicht ausreichend.

Der US-A-40 07 049 ist zu entnehmen, daß eine Herabsetzung des Elastizitäts moduls der Keramik die Thermoschockbeständigkeit erheblich verbessert. Dieses Ziel wurde in einigen Fällen durch die Darstellung von Komposits erreicht. Diese zweiphasigen Komposits bestehen aus einem keramischen Material mit einem hohen Elastizitatsmodul wie z. B. Mullit oder Al₂O₃ und einem keramischen Material mit niedrigem Elastizitätsmodul wie Bornitrid (US-A-43 04 870).

Die mechanischen Eigenschaften dieser Komposits liegen zwischen denjenigen der reinen Komponenten, das heißt, die Festigkeit bei Raumtemperatur nimmt im vor liegenden Beispiel mit steigendem BN-Anteil ab und die Thermoschockbeständig keit dementsprechend zu. Im Gegensatz zu den phasenreinen Keramiken wird kein signifikanter Abfall der Festigkeit mit steigender Temperatur beobachtet.

Ähnliche Ergebnisse erhielten Ruh et al. (J. Am. Ceram. Soc. 1981, 64, 415, Mater. Sci. Eng. 71 (1985) 159-164) bei der Untersuchung von heißgepreßten Komposits, die aus Siliciumnitrid und Bornitrid bzw. Siliciumcarbid und Bornitrid bestehen. Mit zunehmendem Anteil an BN sinkt der Elastizitätsmodul ebenso wie die Raumtempe raturfestigkeit. Die Dielektrizitätskonstante ∈ wird durch Zugabe von Bornitrid kleiner, die Thermoschockbeständigkeit ist wie erwartet verbessert. In beiden Fallen verbleiben die Komponenten auch nach dem Heißpressen bei 1750°C als diskrete Phasen in dem Material zurück, da selbst bei den angewendeten hohen Drücken und Temperaturen die Diffusionskonstanten dieser kovalenten Verbindungen vernach lässigbar klein sind, bzw. keine Löslichkeit vorhanden ist. Trotz sorgfältiger Homogenisierung der Ausgangsmaterialien treten deshalb aufgrund einer statisti schen Verteilung der Primärteilchen in den keramischen Bauteilen mikroskopische Inhomogenitäten auf, die zum Teil für die geringen Festigkeiten der Komposits verantwortlich sind.

Ein möglicher Weg zur Verbesserung der Homogenität solcher Keramiken wird in EP-A-3 89 084 beschrieben. Hier wird ein lösliches Polyhydridosilazan zusammen mit einer löslichen bororganischen Verbindung in einem Lösungsmittel im Auto klaven polymerisiert.

Das entstandene Polyborosilazan hat aufgrund der Copolymerisation der Borver bindung mit dem Polysilazan ein höheres Molekulargewicht als das ursprüngliche Polysilazan. Das Copolymerisat wird anschließend zu einem borhaltigen Keramik pulver pyrolysiert. Dieses Verfahren führt aber naturgemäß nicht zu einer absolut homogenen Verteilung von Bor in einer Siliciumnitridkeramik, da ein Polymeres in Form des Polyhydridosilazans vorgelegt wird, das während der Reaktion als Block erhalten bleibt.

Ein weiterer Nachteil liegt in der geringen Variationsmöglichkeit des Boranteils in der Keramik, da ein Startpolymer gegenüber einem Monomer nur noch eine geringe Anzahl von Reaktionszentren aufweist, und somit nur wenig Bor in die Keramik eingebaut werden kann.

Gegenüber einer gewünschten Keramik, die nur aus Silicium, Bor und Stickstoff bestehen sollte, setzt sich eine gemäß der EP-A-3 89 084 hergestellte Keramik mindestens aus den Elementen Silicium (ca. 40 Gew.-%), Bor (ca. 5 Gew.-%), Kohlenstoff (ca. 2 Gew.-%), Stickstoff (ca. 35 Gew.-%) und Sauerstoff (ca. 12 Gew.-%) zusammen. Der relativ hohe Anteil an Sauerstoff liegt in Form von amorphem Borsilicatglas vor. Dieses Glas hat aufgrund seines niedrigen Er weichungspunktes und relativ großen Ausdehnungskoeffizienten einen negativen Einfluß auf die Hochtemperaturfestigkeit und die Temperaturwechselbeständigkeit eines keramischen Formkörpers.

Aufgabe dieser Erfindung ist die Bereitstellung neuartiger, einfach und in großen Ausbeuten darstellbarer, metallorganischer Vorläuferverbindungen sowie eines Ver fahrens zur Herstellung von nitridischen Keramiken aus diesen Vorläuferver bindungen, die nur aus Si, B und N bestehen. Dieses Verfahren soll weiterhin eine vollständig homogene Verteilung der beteiligten Elemente gewahrleisten und die oben beschriebenen Nachteile nicht aufweisen.

Diese Anforderungen werden erfüllt durch molekulardisperse Keramiken, deren Vorläuferverbindungen, den jeweiligen Verfahren zu deren Herstellung sowie der Verwendung von Polyborosilazanen und der keramischen Materialien, wie sie in ihrer bevorzugten Ausführungsform in den Patentansprüchen offenbart sind.

Überraschenderweise wurde nun gefunden, daß bei der Umsetzung von 1,1,1 -Tri chlor-3,3,3-Trimethyldisilazan CH₃Si-NH-SiCl₃ (A) mit BCl₃ zwei neue Ver bindungen gebildet werden. Erstens ein Trichlorsilylamino-dichlorboran Cl₃Si-NH-BCl₂ (I) und zweitens ein Bis(trichlorsilylamino)-chlorboran (Cl₃Si-NH)₂BCl (II). Beide Molekülverbindungen zeichnen sich durch eine molekulare Silicium-Stickstoff-Bor-Bindung aus. Beide Verbindungen sind Gegenstand dieser Erfindung.

Die Darstellung der Ausgangsverbindung (A) gelingt in über 90%iger Ausbeute aus Hexamethyldisilazan und Siliciumtetrachlorid durch Rühren bei Raumtemperatur.

Für die Darstellung von (A) liegt das Molverhältnis von Hexamethyldisilazan zu Siliciumtetrachlorid bevorzugt zwischen 1 : 10 und 4 : 1, bevorzugt bei 1 : 5.

Erfindungsgemäß entstehen die Verbindungen (I) und (II) in 85%iger bzw. 30%iger Ausbeute durch Zutropfen von Verbindung (A) auf BCl₃, das in einem inerten organischen Lösungsmittel gelöst sein kann (n-Hexan, Toluol, Ether). Die Molverhältnisse von Bortrichlorid zu (A) betragen zur Darstellung der Verbindung (I) vorzugsweise zwischen 5 : 1 und 1 : 1, zur Darstellung der Verbindung (II) zwi schen 1 : 2 und 1 : 5. Für Verbindung (I) liegt das Molverhältnis der Reaktanden bevorzugt bei 3 : 1, für Verbindung (XX) bei ca. 1 : 2. Die Reaktionstemperatur kann zwischen -100°C und Raumtemperatur variieren, der bevorzugte Wert liegt bei -78°C. Die so dargestellten Verbindungen (I) und (II) lassen sich auf einfache Weise durch eine Ammonolysereaktion und anschließende Pyrolyse zu einem N-Si-N-B-N-Keramikpulver umwandeln. Das Verhaltnis von Silicium zu Bor in den erfindungsgemäßen Si-N-B-N-Keramikpulvern kann man durch Mischen der flüssi gen Verbindungen SiCl₄ und/oder Hexachlordisilazan, mit (I) und/oder (II) stufenlos von 100 : 0 (reines Siliciumtetrachlorid) bis hin zu 50 : 50 (reine Verbindung (I)) einstellen.

Für die Reaktion mit NH₃ kann man alle literaturbekannten Ammonolyseverfahren von Siliciumtetrachlorid nutzen; das betrifft die Umsetzung mit festem bzw. flüssigem Ammoniak bei tiefen Temperaturen (US-A-41 96 178), die Reaktion mit gasförmigem Ammoniak in einem organischen Lösungsmittel (US-A-39 59 446) oder die Umsetzung mit NH₃ in einer Hochtemperaturreaktion unter Abspaltung von Chlorwasserstoff (US-A-41 45 224).

Nach der Abtrennung des anfallenden Ammoniumchlorids durch bekannte Metho den wie Sublimation oder Waschen mit flüssigem Ammoniak wird ein polymeres Imid erhalten, das noch viele NH- bzw. NH₂-Gruppen enthält. Dieses polymere Imid wird anschließend erfindungsgemäß unter einem Stickstoffstrom bei Temperaturen zwischen 600°C und 1450°C, bevorzugt zwischen 950°C und 1400°C calciniert. Neben Stickstoff können auch Argon, Ammoniak oder andere Inert- oder Reaktions gase als Calcinierungsgase Verwendung finden.

Das auf diese Weise dargestellte amorphe keramische Material besteht in den Hauptkomponenten aus Si, N und B und kann in Spuren auch Cl, H, C und O ent halten. Es weist erfindungsgemäß eine Struktur auf, die aus N-SI-N-B-N-Einheiten besteht. Diese ist gegen Luftsauerstoff relativ inert, so daß es ohne weitere Nachbehandlung als ingenieurkeramisches Pulver verwendet werden kann. Elektro nenrastermikroskopische Aufnahmen belegen, daß mindestens bis zur lateralen Abmessung von 0,5 µm eine völlig homogene Elementverteilung vorliegt. Die Kristallisation des amorphen Materials zu einem Si₃N₄/BN-Keramikpulver erfolgt durch Temperaturbehandlung bevorzugt zwischen 1450°C und 1750°C. In dieser Keramik sind Si₃N₄- und BN-Kristallite erfindungsgemäß völlig homogen im Nanometermaßstab verteilt. Die Kristallitgröße der Primärteilchen beträgt im Durchschnitt zwischen 0,01 µm und 1 µm. Sie liegt bevorzugt zwischen 0,1 µm und 0,7 µm. Die Oberfläche des Pulvers beträgt je nach Temperaturbehandlung zwischen 5 und 100 m²/g, bevorzugt zwischen 8 und 30 m²/g.

TGA-Messungen an den feinteiligen amorphen Pulvern zeigen, daß die Zersetzung dieser Pulver in ihre Elementarbestandteile bei ca. 1600°C anfangt, dieser Wert liegt um ca 200°C höher als der Zersetzungsbeginn von reinem amorphem Silicium nitridpulver ähnlicher Morphologie, das schon ab 1350°C merkliche Mengen Stickstoff verliert. Dieser Vergleich unterstreicht die besondere Eignung der erfindungsgemäßen Siliciumbornitridkeramiken für Hochtemperaturanwendungen.

Durch Umsetzung der Verbindungen (I) und (II) mit primären oder sekundären Alkyl- bzw. aromatischen Aminen wie z. B. Methylamin, Ethylamin, Dimethylamin oder Anilin lassen sich monomere oder oligomere Reaktionsprodukte der Formel

(NRR′)₃Si-NH-B(NRR′)₂ bzw.
[-(NR)₂Si-NH-B(NR)-]_x

(erhalten, dabei können R und R′ gleich oder verschieden sein und aus C₁-C₆-Alkyl, Wasserstoff, Phenyl oder Vinyl bestehen. Die monomeren oder oligomeren Einheiten zeichnen sich dadurch aus, daß die erste Koordinationssphäre jedes Silicium- oder Boratoms nur aus Stickstoffatomen besteht. Sie können anschließend durch eine Temperaturbe handlung oder durch Vernetzung mit Ammoniak zu Polymeren umgewandelt wer den.

Die Konsistenz der so entstandenen erfindungsgemäßen Polyborosilazane reicht je nach Rest R, R′ oder Polymerisationsgrad von leicht viskos über harz- bzw. wachsartig bis hin zum festen, kristallinen Zustand. Die thermische Vernetzung erfolgt durch Abspaltung von einem Aminrest unter Knüpfung von neuen Si-N-B-N-, Si-N-Si-N- oder B-N-B-N-Bindungen.

Die Vernetzung mittels Ammoniak erfolgt durch Substitution einer NRR′-Gruppe oder einer NR-Gruppe durch eine NH₂- oder eine NH-Gruppe, die dann weiter vernetzt. Beide Reaktionen können sowohl in offenen Systemen als auch in ge schlossenen Systemen erfolgen (Autoklav). Die Polymerisationstemperatur liegt zwischen -20°C und +300°C, die Polymerisationsdauer zwischen 5 Minuten und 10 Tagen.

Gegenstand dieser Erfindung ist weiterhin die Verwendung der erfindungsgemäßen Polyborosilazane zur Herstellung von keramischem Material durch Pyrolyse in inerter oder NH₃-haltiger Atmosphäre bei Temperaturen von 800 bis 1800°C, be vorzugt bei 1450°C. Die keramischen Ausbeuten der Pyrolysen betragen zwischen 65% und 80%.

Das Pyrolyseprodukt ist ein keramisches Material, das zu über 98% aus den Elementen Si, B, N und C besteht. Es kann amorph oder kristallin anfallen. Die kristallinen Phasen beinhalten Si₃N₄, BN, SiC und B₄C.

Da die erfindungsgemäßen Polyborosilazane in einer Vielzahl von organischen Lösungsmitteln löslich sind, lassen sie sich in Form einer Lösung zu geeigneten Halbzeugen oder Formkörpern wie z. B. Fasern, Folien oder Beschichtungen ver arbeiten. Die hochviskosen bis wachsartigen Polyborosilazane können außerdem auch direkt zu geeigneten Formkörpern gesponnen oder gepreßt werden.

Die so erhaltenen Formkörper können vor einer Pyrolyse einer physikalischen oder chemischen (Härtung, Vernetzung) Vorhandlung unterzogen werden, die den Zweck hat, das Silazanharz unschmelzbar zu machen.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand einiger Beispiele näher erläutert, ohne daß hierin eine Einschränkung zu sehen ist.

Beispiel 1 Darstellung von 1,1,1 -Trichlor-3,3,3-trimethyldisilazanen (A)

Im 250-ml-Dreihalskolben wurden 70 g Siliciumtetrachlorid (0,41 Mol) und 12,5 g Hexamethyldisilazan (0,08 Mol) zusammengegeben und 20 h bei Raumtemperatur gerührt. Die anschließende fraktionierte Destillation über eine kurze Vigreux kolonne ergab 16,2 g (92%) der farblosen Flüssigkeit 1,1,1-Trichlor-3,3,3- trimethyldisilazan.

Sdp.: 70°C/35 torr, ¹H-NMR (ClCl₃) δ=0,21 ppm, MS (EI) m/z=218 amu (M⁺).

Beispiel 2 Darstellung von N-(Trichlorsilylamino)-dichlorboran (I)

163 g (1,39 Mol) Bortrichlorid wurden bei -5°C in einem 500-ml-Dreihalskolben einkondensiert. Anschließend ließ man bei ca. 0°C bis -5°C 162,5 g 1,1,1-Tri chlor-3,3,3-triinethyldisilazan langsam (1 Tropfen/sec) unter starkem Rühren zutropfen. Nach Beendigung der Zugabe wurde noch ca. 1 Stunde bei 0°C gerührt und anschließend langsam auf Raumtemperatur erwärmt. Die trübe Flüssigkeit wurde fraktioniert destilliert. Bei 35°C und 8 mbar erhielt man 144,4 g (86%) der Verbindung (I) als klare, sehr hydrolyseempfindliche Flüssigkeit.
MS (EI) m/z=229 (M⁺), ¹H-NMR (TMS, CDCl₃) δ_N-H=5,15 ppm,
¹¹B-NMR (BF₃_*Et₂O) δ_B=37 ppm, ²⁹Si-NMR (TMS δ_Si=-23 ppm.

Beispiel 3 Darstellung von Bis-(trichlorsilylamino)-chloroboran (II)

Die Darstellung von Verbindung (II) erfolgt analog zur Darstellung von Verbindung (I) (Beispiel 2), allerdings mit umgekehrtem Molverhältnis von Verbindung (A) zu Bortrichlorid.

In einem normalen Ansatz wurden 41 g (0,35 Mol) Bortrichlorid in einen 250-ml- Dreihalskolben einkondensiert. Anschließend tropfte man bei einer Temperatur von ca. 0°C 155 g (0,7 Mol) Verbindung (A) mit einer Geschwindigkeit von einem Tropfen/sec zu. Die weitere Umsetzung und die Aufarbeitung der Reaktionsproduk te wurde wie in Beispiel 2 beschrieben durchgeführt. Bei einem Druck von 0,1 mbar und einer Temperatur von 26°C destillierten 36 g (30%) (II) als klare, sehr hydrolyseempfindliche Flüssigkeit über.
MS (EI) m/z=342 (M⁺), ¹H-NMR (TMS, CDCl₃) δ_N-H=4,15 ppm,
¹¹B-NMR (BF₃_*Etherat) δ_B=30 ppm, ²⁹Si-NMR (TMS) δ_Si=-27 ppm.

Beispiel 4 Ammonolyse von Trichlorsilylamino-dichlorboran (I)

In einen 500-ml-Dreihalskolben wurden 200 ml (9 Mol) flüssiger Ammoniak (99,999%) einkondensiert. Anschließend tropfte man unter starkem Rühren langsam (1 Tropfen/sec) 50 g der Verbindung (I) (0,22 Mol) bei einer Temperatur von -78°C zu. Danach rührte man die Suspension aus Imid, NH₄Cl und flüssigem Ammoniak noch ca. eine Stunde, um zu gewährleisten, daß sich möglichst viel Ammonium chlorid in dem Ammoniak löst. Nach Abfiltrieren des Rückstandes wusch man diesen noch 10- bis 20mal mit flüssigem Ammoniak, bis eine in Wasser zersetzte Probe des Imids bei Zugabe von Silbernitrat keine Trübung mehr aufwies.

Beispiel 5 Ammonolyse einer Mischung von Hexachlordisilazan (Cl₃Si-NH-SiCl₃) und Tri chlorsilylamino-dichlorboran (I)

In einen 500-ml-Dreihalskolben wurden 200 ml (9 Mol) flüssiger Ammoniak (99,999%) einkondensiert. Anschließend tropfte man unter starkem Rühren langsam (1 Tropfen/sec) eine Mischung von 5 g der Verbindung (I) (0,022 Mol) und 62 g (0,22 Mol) Hexachlordisilazan bei einer Temperatur von -78°C zu. Dies entspricht einem (Si : B)-Verhältnis von 10 : 1.

Danach rührte man die Suspension aus polymerem Imid, NH₄Cl und flüssigem Ammoniak noch ca. eine Stunde, um zu gewährleisten, daß sich möglichst viel Ammoniumchlorid in dem Ammoniak löst. Nach Abfiltrieren des Rückstandes wusch man diesen noch 10- bis 20mal mit flüssigem Ammoniak, bis eine in Wasser zersetzte Probe des Imids bei Zugabe von Silbernitrat keine Trübung mehr aufwies.

Beispiel 6 Darstellung einer Borosilazanverbindung

100 ml Methylamin wurden in einem evakuierten 500-ml-Dreihalskolben mit 500-ml-Tropftrichter ohne Druckausgleichsrohr bei -78°C einkondensiert. Anschließend gab man 10 g (43,7 mmol) Verbindung (I), gelöst in 250 ml Petrol ether, unter starkem Rühren so zu, daß die Innentemperatur nicht über -20°C anstieg. Der Feststoff, der im wesentlichen aus Methylaminhydrochlorid bestand, wurde mit einer Umkehrfritte abfiltriert. Von der klaren Petroletherlösung wurde das Lösungsmittel abgesaugt. Es blieb ein farbloses, zähflüssiges Öl zurück (7 g).¹H-NMR: =2,1 ppm, Intensität: 10; δ_NH=0,2 ppm, Intensität: 2;
¹¹B-NMR: δ=24,4 ppm, ²⁹Si-NMR: δ=-38 ppm,¹³C-NMR: =27,8 ppm
IR: 3420 cm^-1 (NH-Streckschwingung), 2870 cm^-1, 2800 cm^-1,
(CH-Streckschwingung), 1400 cm^-1, 1100 cm^-1, 800 cm^-1.

Beispiel 7 Darstellung eines Polyborosilazans

5 g gemäß Beispiel 6 erhaltenen Öls wurden in einem 5-ml-Kolben unter Schutzgas auf 50°C erhitzt. Anschließend leitete man gasförmigen Ammoniak mit einer Rate von 4 ml/min durch die Flüssigkeit. Es entstand innerhalb von zwei Stunden ein hochviskoses, wachsartiges, glasklares Polymer.

Da die Methylaminogruppen partiell durch Imidgruppen ersetzt worden sind, wurde die Intensität der CH-Banden im IR-Spektrum dieses Polymeren deutlich geringer als die Intensität der CH-Banden der Verbindung im Beispiel 6, während die Intensität der NH-Bande signifikant zunahm.

Dieses Polymer wurde anschließend unter Stickstoff bei 1000°C pyrolysiert. Es entstand ein schwarzes Pulver mit einem Kohlenstoffgehalt von 10,4 %. Die Ausbeute an keramischem Material betrug ca 70%.

Beispiel 8 Umwandlung eines nach Beispiel 4 oder 5 erhaltenen Imids in ein amorphes Si-N-B-N-Keramikpulver bzw. in ein kristallines Si₃N₄/BN-Kompositpulver

Das gemäß Beispiel 4 erhaltene polymere Imid wurde in einem Röhrenofen im Ammoniakstrom auf 900°C erhitzt und bei dieser Temperatur ca. 30 min getempert, um evtl. noch vorhandene Spuren von NH₄Cl auszutreiben. Anschließend wurde das Material in einem Stickstoffstrom mit 10°C/min auf 1300°C aufgeheizt und dort für weitere zwei Stunden calciniert.

Da das polymere Imid sich vollständig zu einer nitridischen Keramik umgewandelt hat, wies das IR-Spektrum des so behandelten Materials keine NH-Banden mehr auf. Das erhaltene Pulver blieb röntgenamorph. Die Oberfläche betrug 45 m²/g.

Die Umwandlung des amorphen Si-N-B-N-Keramikpulvers zu einem kristallinen Si₃N₄/BN-Komposit mit gleichmäßig mikroskopisch verteilten BN-Partikeln in einer Siliciumnitridmatrix erfolgte durch zehnstündiges Tempern bei 1550°C. Die Oberfläche dieses Pulvers betrug anschließend 15 m²/g.

Analyse einer Zusammensetzung gemäß Beispiel 4

Si 39,5 Gew.-%, N 45,1 Gew.-%, Cl 0,05 Gew.-%, B 14,9 Gew.-%, O 0,3 Gew.-%.

Analyse einer Zusammensetzung gemäß Beispiel 5

Si 52,0 Gew.-%, N 44,7 Gew.-%, Cl 0,01 Gew.-%, B 2,1 Gew.-%, O 1,2 Gew.-%.

Claims

1. Trichlorsilylamino-borane der Strukturformel Cl₃Si-NH-BClX,wobei
X=Cl (I) oder
X=NH-Si-Cl₃ (II) bedeutet.

2. Verfahren zur Herstellung von (I) und (II), dadurch gekennzeichnet, daß 1,1,1-Trichlor-3,3,3-trimethyldisalazan mit BCl₃ bei Temperaturen zwischen -50°C und +50°C umgesetzt und anschließend die Reaktionsmischung frak tioniert wird.

3. Verfahren zur Herstellung von (I) gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeich net, daß das Verhältnis der Reaktanden 1,1,1-Trichlor-3,3,3-trimethyldi silazan zu Bortrichlorid zwischen 1 : 1 und 1 : 10 beträgt.

4. Verfahren zur Herstellung von (II) gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeich net, daß das Verhältnis der Reaktanden 1,1,1-Trichlor-3,3,3-trimethyldi silazan zu Bortrichlorid zwischen 1,5 : 1 und 10 : 1 liegt.

5. Borosilazanverbindungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Chloratome der Verbindungen (I) und (II) gemäß Anspruch 1 ganz oder teilweise durch Organylaminogruppen R,R′-N- substituiert sind, wobei R bzw. R′ gleich oder verschieden sein können, Wasserstoff, C₁-C₆-Alkyl, Phenyl oder Vinyl bedeuten.

6. Verfahren zur Herstellung der Borosilazanverbindungen gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß Verbindungen des Typs (I) oder (II) mit mindestens 10 Mol eines Organylamins pro Mol Borsilazan in einem Lö sungsmittel bei Temperaturen von -80°C bis +300°C umgesetzt werden.

7. Oligo- oder Polyborosilazanverbindungen, die das Strukturmerkmal ≡Si-NH-B= aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Koordina tionssphäre jedes Silicium- bzw. Boratoms nur aus Stickstoffatomen besteht, wobei jedes dieser Stickstoffatome einen Rest R trägt, worin R = H, C₁-C₆- Alkyl, Vinyl oder Phenyl bedeutet.

8. Oligo- oder Polyborosilazanverbindungen gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet daß eine oder beide Verbindungen (I) und (II) mit Organyl aminoverbindungen R₂NH oder RNH₂ umgesetzt werden, wobei R C₁-C₆- Alkyl, Vinyl oder Phenyl bedeutet.

9. Oligo- oder Polyborosilazanverbindungen gemäß Anspruch 7, dadurch erhältlich, daß Borosilazanverbindungen gemäß Anspruch 5 durch thermische Polymerisation oder durch Umsetzung mit Ammoniak in offenen oder geschlossenen Systemen unter Normaldruck oder erhöhtem Druck bei Temperaturen zwischen -20°C und 300 erhalten werden.

10. Verfahren zur Herstellung eines Siliciumbornitridkeramikpulvers, dadurch gekennzeichnet, daß man Verbindungen (I) und/oder (II) mit festem, flüssigem oder gasförmigem Ammoniak bei Temperaturen zwischen -200°C und +1400°C ammonolysiert und das entstehende Produkt in N₂, Argon und/oder NH₃ bei Temperaturen zwischen 800 und 1400°C calciniert.

11. Amorphes Siliciumbornitridkeramikpulver gemäß Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß in der Keramik Si-N-B-N-Bindungen vorliegen und die Elemente Si, N und B zu mehr als 98 Gew.-% enthalten sind.

12. Kristallines Kompositkeramikpulver aus Si₃N₄ und BN, erhältlich durch Kristallisation des amorphen Siliciumbornitridkeramikpulvers gemäß Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Si₃N₄ und das BN in molekulardisperser Verteilung vorliegen.

13. Verfahren zur Herstellung von keramischem Material, dadurch gekenn zeichnet, daß Oligomere oder polymere Polyborosilazanverbindungen gemäß einem der Ansprüche 7 oder 8 in inerter oder NH₃-haltiger Atmosphäre bei Temperaturen von 800 bis 1800°C pyrolysiert werden.

14. Keramisches Material gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß in der Keramik N-Si-N-B-N-Bindungssequenzen vorliegen und die Elemente Si, N, B und C zu mehr als 98 Gew.-% enthalten sind.

15. Verwendung der Polyborosilazane gemäß einem der Ansprüche 7 oder 8 zur Herstellung von keramischen Fasern, keramischen Beschichtungen und keramischen Formkörpern.

16. Verwendung der keramischen Materialien gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 11 bis 13 zur Herstellung von keramischen Formkörpern und keramischen Beschichtungen.