DE4103577A1 - Reinigungsvorrichtung fuer einen gegenstand mit einer zu reinigenden oberflaeche - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Reinigungsvorrichtung zum Reini-­ gen von Halbleiterscheiben oder dergleichen, d. h. von Gas- oder Plattensubstraten, die mit dem gleichen Reinheitsgrad wie Halbleiterscheiben reingehalten werden müssen, von Ver­ schmutzungen und Staub, die an den Oberflächen haften.

Fig. 1 zeigt eine konventionelle Reinigungsvorrichtung zum Reinigen von Halbleiterscheiben usw. Diese Vorrichtung umfaßt einen Reinigungsbehälter 1, in dem ein zu reinigender Gegen­ stand 2 wie etwa eine Halbleiterscheibe an einer Halterung gehaltert ist. Feine Gefrierteilchen 5, z. B. Eispartikel, werden von einer Gefrierteilchenquelle 4 erzeugt und auf Vor­ rat gehalten. Die feinen Gefrierteilchen 5 werden einer Strahlerzeugungseinrichtung 6, z. B. einer Strahldüse, zuge­ führt, die die Gefrierteilchen 5 ausstößt und sie auf den an der Halterung 3 gehaltenen zu reinigenden Gegenstand 2 sprüht. Außerdem ist eine Absaugleitung 7 mit ihrem einen Ende mit dem Reinigungsbehälter 1 verbunden zum Absaugen der Gefrierteilchen, die aus der Strahlerzeugungseinrichtung 6 ausgestoßen wurden, aus dem Reinigungsbehälter 1 nach dem Reinigen der Oberfläche des Gegenstands 2. Zusätzlich ist ein Absauggebläse 8 an einem Zwischenabschnitt der Absaugleitung 7 angeordnet, um die im Reinigungsbehälter 1 befindliche Luft anzusaugen und zwangsweise nach außen abzuführen.

Die Halterung 3 umfaßt ein Tragteil 3a zur Fixierung und Abstützung des Gegenstands 2 und einen Motor 3 zum Drehen des Tragteils 3a. Die Gefrierteilchenquelle 4 umfaßt einen Ge­ frierteilchenerzeugungsbehälter 4a, dem von einem Kältemit­ telvorrat (nicht gezeigt) Kältemittel wie etwa Flüssigstick­ stoff durch eine Kältemittelzufuhrleitung 4b zugeführt wird und dessen Wände mit einem Wärmedämmstoff 4c umgeben sind, und eine Sprühdüse 4d, die mit einem Vorrat (nicht gezeigt) zur Zuführung der Flüssigkeit, beispielsweise von ultrareinem Wasser, das im Behälter 4a in Eis umzuwandeln ist, verbunden ist und die Flüssigkeit in den Gefrierteilchenerzeugungsbe­ hälter 4a einsprüht zur Erzeugung von Gefrierteilchen 5.

Anschließend wird der Betrieb der oben beschriebenen konven­ tionellen Reinigungsvorrichtung erläutert. Zuerst wird das Innere des Gefrierteilchenerzeugungsbehälters 4a, der von dem Wärmedämmstoff 4c umgeben ist, durch Verdampfen des Kälte­ mittels, z. B. Flüssigstickstoff, darin gekühlt. Nach ausrei­ chender Kühlung des Inneren des Gefrierteilchenerzeugungsbe­ hälters 4a wird die zu gefrierende Flüssigkeit, z. B. ultra­ reines Wasser, aus der Sprühdüse in Form feiner Teilchen ver­ sprüht unter Bildung von feinen Gefrierteilchen 5 mit Teil­ chendurchmessern zwischen 2µm und 5 mm. Die so erzeugten Gefrierteilchen werden in einem Sammelnetz 4e aufgefangen, das in dem Behälter 4 in Form eines umgekehrten Kegels aus­ gebreitet ist; dann werden sie durch das Saugstrahlprinzip der Strahldüseneinrichtung 6 unter Anwendung eines Träger­ gasstroms befördert und gemeinsam mit dem Trägergas aus der Strahldüseneinrichtung 6 ausgestoßen und gegen die Oberfläche des zu reinigenden Gegenstands 2 geblasen, der z. B. eine Halbleiterscheibe ist, die fest an dem Tragteil der Halterung 3 angeordnet ist. Die aus der Strahldüseneinrichtung 6 ausge­ stoßenen feinen Gefrierteilchen 5 treffen auf die Oberfläche des Gegenstands 2 auf und entfernen davon alle anhaftenden Verschmutzungen wie Feinstaub und Resistrückstände. Da jedoch die feinen Gefrierteilchen 5 mittels des Trägergasstrahls ausgestoßen werden, besteht die Tendenz der Ausbildung von aufwärts gerichteten oder Wirbelströmen im Inneren des Rei­ nigungsbehälters 1, weil der Trägergasstrahl von der Ober­ fläche des Gegenstands 2 nach dem Auftreffen zurückgeworfen wird. Daher besteht die Gefahr, daß die feinen Gefrierteil­ chen 5, die auf den Gegenstand 2 aufgetroffen sind und somit die davon entfernten Schmutzstoffe enthalten, oder die Schmutzstoffe selbst, die durch die Gefrierteilchen 5 von dem Gegenstand 2 entfernt wurden, erneut an dem Gegenstand 2 oder an den Innenflächen des Reinigungsbehälters 1 haften, und zwar wegen der aufwärts gerichteten oder Wirbelströme des Trägergases, die sich im Reinigungsbehälter 1 entwickeln. Da­ her wird die Atmosphäre im Inneren des Reinigungsbehälters 1 von dem Absauggebläse 8 durch die Absaugleitung 7 zwangsabge­ saugt, so daß die nach oben gerichteten oder Wirbelströme des Trägergases unterdrückt werden können.

Diese konventionelle Reinigungsvorrichtung weist jedoch den folgenden Nachteil auf. Trotz der Zwangsabführung mit Hilfe des Absauggebläses 8 ist die Absaugung aus dem Inneren des Reinigungsbehälters 1 unzureichend; das Gas in dem Teil nahe der Mündung der Absaugleitung 7 in den Reinigungsbehälter 1 wird zwar relativ gut abgesaugt, aber nahe den Umfangswan­ dungen des Reinigungsbehälters 1 bilden sich Bereiche mit stehendem Gas aus, die von der Mündung der Absaugleitung 7 in den Reinigungsbehälter 1 weit entfernt sind. Infolgedessen können die feinen Gefrierteilchen oder das Trägergas aus der Strahldüseneinrichtung 6 nicht in ausreichendem Maß in die Absaugleitung 7 gesaugt werden, und daher können die nach oben gerichteten oder Wirbelströme des Gasstrahls nur unbe­ friedigend unterdrückt werden. Somit kann nicht mit ausrei­ chendem Wirkungsgrad verhindert werden, daß die Gefrierteil­ chen 5, die die von der gereinigten Oberfläche 2 entfernten Verschmutzungen enthalten, oder die von dem gereinigten Ge­ genstand 2 durch die Gefrierteilchen 5 entfernten Verschmut­ zungen selbst erneut an dem gereinigten Gegenstand 2 anhaften oder sich an der Innenfläche des Reinigungsbehälters 1 ab­ lagern.

Wenn ferner bei der bekannten Vorrichtung der gesamte Strahl­ strom aus Trägergas und Gefrierteilchen, der aus der Strahl­ düseneinrichtung 6 austritt, in die Absaugleitung 7 angesaugt werden soll, um eine Aufwärts- oder Wirbelströmung zu vermei­ den, muß ein Sauggebläse 8 mit großer Absaugkapazität bereit­ gestellt werden, was zu einer großen Vorrichtung und erhöhten Kosten führt. Wenn andererseits die Absaugkapazität des Saug­ gebläses 8 verringert wird, kann der vorgenannte Nachteil nicht beseitigt werden.

Aufgabe der Erfindung ist daher die Bereitstellung einer kleinen und kostengünstigen Reinigungsvorrichtung, die Auf­ wärts- und Wirbelströme des durch den Austritt der Gefrier­ teilchen bewirkten Strahls in wirksamer Weise unterbindet, ohne daß die Absaugkapazität des Absauggebläses oder die Kapazität des Reinigungsbehälters erhöht werden muß, und die daher ein erneutes Haften der Verschmutzungen wie etwa Staub an dem gereinigten Gegenstand oder an der Innenfläche des Reinigungsbehälters effektiv verhindern kann.

Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe mit einer Reinigungs­ vorrichtung zum Reinigen eines Gegenstands wie etwa einer Halbleiterscheibe gelöst, wobei die Vorrichtung zusätzlich zu konventionellen Teilen umfaßt: eine erste Absaugleiteinrich­ tung, die die nahe dem Tragteil der Halterung im Reinigungs­ behälter vorhandene Atmosphäre zur Absaugleitung führt; und eine zweite Absaugleiteinrichtung, die die Atmosphäre um den Außenumfang des Tragteils der Halterung im Reinigungsbehälter zum Absaugkanal führt.

Wenn also die Gefrierteilchen aus der Strahldüseneinrichtung ausgestoßen werden, um den Gegenstand zu reinigen, wird der Teil der Atmosphäre im Reinigungsbheälter nahe dem Tragteil der Halterung sehr schnell aus dem Gasstrahl im Reinigungsbe­ hälter, der die Gefrierteilchen nach dem Reinigungsvorgang und die vom Gegenstand entfernten Schmutzstoffe enthält, zur Absaugleitung abgeleitet. Andererseits wird die Atmosphäre am Außenumfang des Tragteils der Halterung aus dem vorgenannten Gasstrahl im Reinigungsbehälter heraus langsam und allmählich durch die zweite Absaugleiteinrichtung zum Absaugkanal gelei­ tet. Infolgedessen werden die Aufwärts- oder Wirbelströme, die durch den Gasstrahl im Reinigungsbehälter entstehen könn­ ten, effektiv unterdrückt, so daß ein erneutes Anhaften der entfernten Schmutzstoffe an dem gereinigten Gegenstand oder an der Innenfläche des Reinigungsbehälters vermieden wird.

Daher bietet die Reinigungsvorrichtung nach der Erfindung den Vorteil, daß die Gesamtvorrichtung klein gebaut werden kann und ihre Herstellungskosten gesenkt werden können, da die Aufwärts- oder Wirbelströme des Gasstrahls auch mit einem Absauggebläse mit kleiner Kapazität unterdrückt werden kön­ nen.

Die Erfindung wird nachstehend auch hinsichtlich weiterer Merkmale und Vorteile anhand der Beschreibung von Ausfüh­ rungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in:

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer konventio­ nellen Reinigungsvorrichtung für Halbleiter­ scheiben;

Fig. 2 eine der Fig. 1 ähnliche Darstellung, die jedoch ein erstes Ausführungsbeispiel der Reinigungs­ vorrichtung nach der Erfindung zeigt;

Fig. 3 eine ebenfalls der Fig. 1 ähnliche Darstellung, die eine zweites Ausführungsbeispiel der Reinigungs­ vorrichtung nach der Erfindung zeigt;

Fig. 4 eine ebenfalls der Fig. 1 ähnliche Darstellung, die ein drittes Ausführungsbeispiel der Reinigungs­ vorrichtung nach der Erfindung zeigt; und

Fig. 5 einen Horizontalschnitt V-V nach Fig. 4.

In den Zeichnungen sind gleiche oder einander entsprechende Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 2-5 werden nachstehend Aus­ führungsbeispiele der Reinigungsvorrichtung beschrieben.

Bei dem ersten Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 sind mit 1-8 die gleichen Teile wie bei der konventionellen Reinigungs­ vorrichtung für Halbleiterscheiben gemäß Fig. 1 bezeichnet, so daß hinsichtlich des Aufbaus und Betriebs der Teile 1-8 auf die obige Beschreibung Bezug genommen wird. Ferner umfaßt die Reinigungsvorrichtung für Halbleiterscheiben nach Fig. 2 eine erste und eine zweite Absaugleiteinrichtung, und zwar eine erste Absaugleiteinrichtung, die die Atmosphäre im Rei­ nigungsbehälter 1 in der nächsten Umgebung des Tragteils 3a der Halterung 3 absaugt, und eine zweite Absaugleiteinrich­ tung, die die Atmosphäre im Reinigungsbehälter 1 um den Außenbereich des Tragteils 3a der Halterung 3 herum absaugt. Die erste Absaugleiteinrichtung besteht dabei aus einem er­ sten Absaugleitrohr 11, dessen eines Ende in das Innere des Reinigungsbehälters 1 nahe dem Tragteil 3a der Halterung 3 unmittelbar darunter mündet und dessen anderes Ende in das Innere der Absaugleitung 7 mündet. Andererseits besteht die zweite Absaugleiteinrichtung aus einem zweiten Absaugleitrohr 12, das so angeordnet ist, daß es das erste Absaugleitrohr 11 umgibt, und dessen oberes und unteres Ende jeweils integral mit dem Umfang des Reinigungsbehälters 1 an dessen Unterende bzw. mit dem Oberende der Absaugleitung 7 verbunden ist. Das zweite Absaugleitrohr 12 ist trichterförmig und hat am oberen Endabschnitt, der mit dem Reinigungsbehälter 1 verbunden ist, einen größeren Öffnungsquerschnitt als am unteren Endab­ schnitt, der mit dem Absaugleitrohr 7 verbunden ist, wobei der die beiden Endabschnitte verbindende Zwischenabschnitt des zweiten Absaugleitrohrs 12 konisch zuläuft. Wie Fig. 2 zeigt, verläuft das erste Absaugleitrohr 11 durch den Mit­ tenteil des zweiten Absaugleitrohrs 12 und ist an dem Teil nahe seinem Oberende mit der unteren Innenseite des Reini­ gungsbehälters 1 über eine kreisrunde scheibenförmige Strö­ mungseinstellplatte 13 und an dem Teil nahe seinem Unterende mit der Innenseite der Absaugleitung 7 über eine Vielzahl von Befestigungselementen 14 abgestützt und befestigt. Die Strö­ mungseinstellplatte 13 ist mit einer großen Zahl von in Axialrichtung verlaufenden Durchgangsöffnungen versehen, durch die das Innere des Reinigungsbehälters 1 oberhalb der Strömungseinstellplatte 13 mit dem Inneren des zweiten Ab­ saugleitrohrs 12 unterhalb der Strömungseinstellplatte 13 in Verbindung steht. Durch Ändern des Öffnungsquerschnitts der Durchgangsöffnungen in der Strömungseinstellplatte 13 kann die Durchflußmenge des die Gefrierteilchen 5 usw. enthalten­ den Fluids, die durch die Strömungseinstellplatte 13 strömt, eingestellt werden; bevorzugt ist das Öffnungsquerschnitts­ verhältnis der Strömungseinstellplatte 13 so eingestellt, daß der Öffnungsquerschnitt ihrer Durchgangsöffnungen im wesent­ lichen gleich dem Öffnungsquerschnitt des ersten Absaugleit­ rohrs 11 wird, so daß die Durchflußmenge durch das erste Ab­ saugleitrohr 11 gleich derjenigen durch die Strömungsein­ stellplatte 13 gemacht wird. Außerdem hat die Strömungsein­ stellplatte 13 die Funktion, eine Umkehrströmung der Gefrier­ teilchen 5 und Schmutzstoffe wie etwa Staub nach dem Durch­ gang durch die Durchgangsöffnungen von oben nach unten (d. h. von der Seite des Reinigungsbehälters 1 zum zweiten Absaug­ leitrohr 12) zu verhindern.

Wenn bei diesem Ausführungsbeispiel der die Gefrierteilchen 5 enthaltende Trägergasstrahl aus der Strahldüseneinrichtung 6 gegen die Oberfläche des Gegenstands 2, etwa einer Halblei­ terscheibe, die an dem Tragteil 3a der Halterung 3 befestigt ist, geblasen wird, treffen die Gefrierteilchen 5 auf die Oberfläche des Gegenstands 2 auf und nehmen daran haftende Verschmutzungen wie etwa Staub mit, so daß die Oberfläche gereinigt wird. Der die Gefrierteilchen 5 enthaltende Strahl­ strom, der auf den Gegenstand 2 aufgetroffen und davon abge­ prallt ist, bzw. die von der Oberfläche des Gegenstands 2 entfernten Schmutzteilchen werden vom Absauggebläse 8 in das Oberende des ersten Absaugleitrohrs 11 unmittelbar unter dem Tragteil 3a angesaugt und durch das Innere des ersten Absaug­ leitrohrs 11 in die Absaugleitung 7 geleitet, von wo sie nach außen abgegeben werden. Da hierbei das Oberende des ersten Absaugleitrohrs 11 nahe und unmittelbar unter dem Tragteil 3a angeordnet ist, wird der größte Teil des von der Oberfläche des Gegenstands 2 abgelösten Schmutzes sehr schnell in das Oberende des ersten Absaugleitrohrs 11 gesaugt, und zwar gleichmäßig über die Oberfläche des gereinigten Gegenstands 2 und zusammen mit allen vom Gegenstand 2 entfernten Verschmut­ zungen.

Alle in den Gefrierteilchen 5 vorhandenen Schmutzstoffe, die nicht in das erste Absaugleitrohr 11 gesaugt wurden und daher im Raum verteilt sind, gelangen ferner durch die Durchgangs­ öffnungen in der Strömungseinstellplatte 13, die das Oberende des ersten Absaugleitrohrs 11 umgibt, in das zweite Absaug­ leitrohr 12 und werden daraus durch die Absaugleitung 7 nach außen abgeführt. Wenn dabei beispielsweise der Öffnungsquer­ schnitt des ringförmigen Raums zwischen der am Unterende be­ findlichen Innenfläche des konischen zweiten Absaugleitrohrs 12 und der Außenfläche des ersten Absaugleitrohrs 11 mit etwa ¹/₁₀ des Öffnungsquerschnitts des ersten Absaugleitrohrs 11 gewählt ist, dann kann nicht nur die Atmosphäre im unmittel­ baren Bereich des gereinigten Gegenstands 2 mit gutem Wir­ kungsgrad abgesaugt werden, sondern es kann auch die umgeben­ de Atmosphäre langsam und schrittweise abgesaugt werden, ohne daß um den gereinigten Gegenstand 2 herum nach oben gerich­ tete oder Wirbelströme erzeugt werden.

Fig. 3 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der Vorrichtung. Dabei besteht die erste Absaugleiteinrichtung aus einem er­ sten Absaugleitrohr 111 mit gleichem Durchmesser wie die Ab­ saugleitung 7, wobei das Oberende des ersten Absaugleitrohrs 111 nahe und direkt unter dem Tragteil 3a der Halterung 3 an­ geordnet ist, während ihr Unterende integral mit der Absaug­ leitung 7 verbunden ist. Die zweite Absaugleiteinrichtung be­ steht dagegen aus einer Vielzahl von zweiten Absaugleitrohren 112, deren Oberenden in das Innere des Reinigungsbehälters 1 das erste Absaugleitrohr 111 umgebend, d. h. im Boden des Reinigungsbehälters 1 um das erste Absaugleitrohr 111 herum, münden, während ihre Unterenden in die Absaugleitung 7 mün­ den. Dabei sind bevorzugt die zweiten Absaugleitrohre 112 in Umfangsrichtung gleichbeabstandet um das erste Absaugleitrohr 111 herum angeordnet, und die Absaugströmungsmengen durch die jeweiligen zweiten Absaugleitrohre 112 sind einander gleich. Es ist daher bevorzugt (in der Figur nicht gezeigt), daß ent­ weder die Längen der Rohre gleich gewählt sind oder, wenn die Rohrlängen voneinander verschieden sind, die Innendurchmesser der jeweiligen Rohre entweder verschieden oder in den Zwi­ schenabschnitten der einzelnen Rohre Strömungsregelventile angeordnet sind. Mit dieser Konstruktion kann die Atmosphäre im Inneren des Reinigungsbehälters 1 um das erste Absaugleit­ rohr 111 herum effektiv und gleichmäßig durch die Vielzahl von zweiten Absaugleitrohren 112 abgesaugt werden, deren Oberenden durch das Unterende des Reinigungsbehälters 1 ein­ treten.

Im übrigen ist nahe dem Oberende des ersten Absaugleitrohrs 111 ebenso wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel eine Strö­ mungseinstellplatte 13 vorgesehen, so daß das Oberende des ersten Absaugleitrohrs 111 über die Strömungseinstellplatte 13 an der Innenfläche des Reinigungsbehälters 1 festgelegt ist.

Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel kann die Atmosphäre im Reinigungsbehälter 1 um das erste Absaugleitrohr 111 herum gleichmäßig durch die Vielzahl von zweiten Absaugleitrohren 112, die mit dem Unterende des Reinigungsbehälters 1 verbun­ den sind, abgesaugt werden; das Unterende des Reinigungsbe­ hälters 1 braucht daher nicht konisch ausgebildet zu sein, und infolgedessen kann die Höhe (d. h. die Länge) des Reini­ gungsbehälters 1 um die entsprechende Länge verringert sein, so daß die gesamte Reinigungsvorrichtung kompakter gebaut sein kann.

Wenn im übrigen der Winkel 8 (Fig. 4) des Strahls der gefro­ renen Teilchen 5 in bezug auf die Oberfläche des zu reinigen­ den Gegenstands 2 groß gemacht oder die Oberfläche des Gegen­ stands 2 weich ist, werden die aus der Strahldüseneinrichtung 6 austretenden Gefrierteilchen 5 von der Oberfläche des Ge­ genstands 2 eher zurückgestoßen bzw. prallen daran ab, als daß sie daran herabgleiten. Es gibt somit Fälle, in denen das Abprallen bzw. Zurückstoßen der Gefrierteilchen 5 auch dann nicht ausreichend wirksam verhindert werden kann, wenn das erste Absaugleitrohr 11 bzw. 111 und das zweite Absaugleit­ rohr 12 bzw. die zweiten Absaugleitrohre 112 entsprechend den obigen zwei Ausführungsbeispielen vorgesehen sind.

Die Fig. 4 und 5 zeigen daher ein drittes Ausführungsbei­ spiel, bei dem dieses Problem gelöst ist. Dabei ist ein Paar von Streuungshemmeinrichtungen 213 in Form von Flügeln im In­ neren des Reinigungsbehälters 1 auf beiden Seiten des Gegen­ stands 2 und des Tragteils 3a in Richtungen, in denen die Ge­ frierteilchen 5 zerstreut werden, angeordnet. Die beiden Streuungshemmeinrichtungen 213 bestehen jeweils aus einer Vielzahl von Plattenelementen 213a, die voneinander in Verti­ kalrichtung im wesentlichen gleichbeabstandet und parallel zueinander in Form einer Jalousie angeordnet sind, wobei die jeweiligen Enden der Plattenelemente 213a miteinander über zwei Tragstangen 213b verbunden sind, die wiederum mit dem Oberende des Reinigungsbehälters 1 verbunden sind.

Durch das Vorsehen der Streuungshemmeinrichtungen 213 in der beschriebenen Weise werden, wenn nach dem Ausstoßen und dem Auftreffen der Gefrierteilchen 5 auf die Oberfläche des Ge­ genstands 2, der beispielsweise eine Halbleiterscheibe ist, die Teilchen von der Oberfläche des Gegenstands 2 gemeinsam mit den entfernten Verschmutzungen zurückgestreut werden, die Restteilchen und Verschmutzungen von den jalousieartigen Streuungshemmeinrichtungen 213 sicher eingefangen, so daß sie die Innenfläche des Reinigungsbehälters 1 nicht erreichen und daran haften können. Durch Einstellen des Anstellwinkels der Streuungshemmeinrichtungen 213 in bezug auf den Gegenstand 2 auf einen geeigneten Wert kann der genannte Einfang- oder Streuungshemmeffekt noch verstärkt werden. Da ferner die Streuungshemmeinrichtungen 213 in effektiver Weise den Strahlstrom aus Trägergas und Gefrierteilchen 5, der von der Oberfläche des gereinigten Gegenstands 2 abprallt, einfangen und seine Strömungsgeschwindigkeit dämpfen, können Aufwärts­ oder Wirbelströme des Strahls innerhalb des Reinigungsbehäl­ ters 1 um den gereinigten Gegenstand 2 herum noch wirksamer unterdrückt werden.

Bei dem dritten Ausführungsbeispiel mündet ferner das Ober­ ende des im wesentlichen J-förmigen ersten Absaugleitrohrs 211, das die erste Absaugleiteinrichtung bildet, nahe und unmittelbar unter dem Tragteil 3a der Halterung 3, während das Unterende in die Absaugleitung 7 mündet; außerdem ist das erste Absaugleitrohr 211 an seinem oberen und seinem unteren Ende an der Innenfläche des Reinigungsbehälters 1 bzw. der Innenfläche der Absaugleitung 7 über die Befestigungselemente 211a bzw. 211b befestigt und dort abgestützt. Das Unterende des Reinigungsbehälters 1 ist außerdem integral mit einem En­ de der Absaugleitung 7 verbunden, wobei die zweite Absaug­ leiteinrichtung durch die untere Innenfläche des Reinigungs­ behälters 1 und die Außenfläche des ersten Absaugleitrohrs 211 definiert ist.

Auch bei dem dritten Ausführungsbeisiel funktionieren die erste und die zweite Absaugleiteinrichtung, die durch die erste Absaugleitung 211 gebildet sind, auf die gleiche Weise wie bei dem ersten und dem zweiten Ausführungsbeispiel, die oben beschrieben wurden.

Es ist zu beachten, daß Streuungshemmeinrichtungen, die ähn­ lich denen des dritten Ausführungsbeispiels ausgebildet sind, in den Reinigungsvorrichtungen des ersten und des zweiten Ausführungsbeispiels vorgesehen sein können.

Claims (8)

1. Reinigungsvorrichtung für einen Gegenstand mit einer zu reinigenden Oberfläche, gekennzeichnet durch
einen Reinigungsbehälter (1);
eine Halterung (3) mit einem Tragteil (3a) zum Halten eines zu reinigenden Gegenstands (2) in dem Reinigungsbehäl­ ter (1);
eine Gefrierteilchenquelle (4) zur Zuführung von Gefrier­ teilchen (5);
eine in dem Reinigungsbehälter (1) angeordnete Strahler­ zeugungseinrichtung (6), der feine Gefrierteilchen von der Gefrierteilchenquelle (4) zuführbar sind und die die Gefrier­ teilchen in Richtung zu einer Oberfläche des an der Halterung (3) gehaltenen zu reinigenden Gegenstands (2) ausstößt;
eine Absaugleitung (7) zum Absaugen der Gefrierteilchen gemeinsam mit von der Oberfläche des Gegenstands entfernten Schmutzteilchen zur Außenseite des Reinigungsbehälters, nach­ dem die Gefrierteilchen aus der Strahlerzeugungseinrichtung (6) ausgetreten sind und die Oberfläche des Gegenstands (2) gereinigt haben;
ein mit der Absaugleitung (7) verbundenes Absauggebläse (8), das eine Atmosphäre im Inneren des Reinigungsbehälters zwangsweise in die Absaugleitung (7) saugt, um sie zur Außen­ seite des Reinigungsbehälters abzuführen;
eine erste Absaugleiteinrichtung (11), die der Absauglei­ tung (7) eine das Tragteil (3a) der Halterung (3) im Inneren des Reinigungsbehälters (1) unmittelbar umgebende Atmosphäre zuführt; und eine zweite Absaugleiteinrichtung (12), die der Absauglei­ tung (7) eine den Außenbereich des Tragteils (3a) der Hal­ terung (3) innerhalb des Reinigungsbehälters (1) umgebende Atmosphäre zuführt.

2. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Absaugleiteinrichtung ein erstes Absaugleitrohr (11) aufweist, dessen eines Ende in das Innere des Reini­ gungsbehälters (1) nahe dem Tragteil (3a) der Halterung (3) und dessen anderes Ende in das Innere der Absaugleitung (7) mündet; und
daß die zweite Absaugleiteinrichtung ein zweites Absaugleit­ rohr (12) aufweist, das das erste Absaugleitrohr (11) umge­ bend angeordnet ist, wobei ein Ende des zweiten Absaugleit­ rohrs (12) mit dem Reinigungsbehälter (1) und das andere Ende mit der Absaugleitung (7) verbunden ist.

3. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit dem Reinigungsbehälter (1) verbundener Teil des zweiten Absaugleitrohrs (12) größeren Durchmesser als ein mit der Absaugleitung (7) verbundener Teil davon hat, wobei ein dazwischen liegender Abschnitt verjüngt ist.

4. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Absaugleiteinrichtung ein erstes Absaugleitrohr (111) aufweist, dessen eines Ende in das Innere des Reini­ gungsbehälters (1) nahe dem Tragteil (3a) der Halterung (3) mündet und dessen anderes Ende mit der Absaugleitung (7) ver­ bunden ist; und
daß die zweite Absaugleiteinrichtung eine Vielzahl von zwei­ ten Absaugleitrohren (112) aufweist, deren eine Enden in das Innere des Reinigungsbehälters (1) an einem das erste Absaug­ leitrohr (111) umgebenden Bereich münden und deren andere En­ den mit der Absaugleitung (7) verbunden sind.

5. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl von zweiten Absaugleitrohren (112) gleichmäßig verteilt um das erste Absaugleitrohr (111) herum angeordnet ist.

6. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchflußmengen der durch die jeweiligen zweiten Ab­ saugleitrohre (112) geleiteten Absaugströme zueinander im wesentlichen gleich sind.

7. Reinigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Außenseite des ersten Absaugleitrohrs (11; 111) und der Innenseite des Reinigungsbehälters (1) eine Strömungseinstellplatte (13) angeordnet ist.

8. Reinigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Reinigungsbehälter (1) nahe dem Tragteil (3a) der Halterung (3) eine Streuungshemmeinrichtung, die durch paral­ lel angeordnete Flügel gebildet ist, angeordnet ist und ein Streuen und Zurückprallen von Gefrierteilchenresten mit darin enthaltenen Schmutzteilchen auf den gereinigten Gegenstand (2) verhindert.