DE4035371A1 - Kapazitiver feuchtesensor - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Feuchtesensor nach der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.

Kapazitive Feuchtesensoren werden z. B. zur Bestimmung der relativen Luftfeuchte eingesetzt. Ein derartiger Feuchtesen­ sor ist Gegenstand des Patentes 39 19 864. Ein Nachteil derartiger kapazitiver Feuchtesensoren ist, daß deren Aus­ gangssignal eine Temperaturabhängigkeit aufweist, die von der Art der verwendeten Materialien des Sensors (Dielektri­ kum) abhängt.

Bei Luftfeuchtemessungen oberhalb und unterhalb der kali­ brierten Kennlinie des Feuchtesensors, die bei einer konstanten Temperatur von 20°C oder 25°C aufgenommen wird, führt diese Temperaturabhängigkeit bei der Bestimmung des Luftfeuchtewertes zu einem von der Temperatur abhängigen Fehler. Zur Elimination dieses Fehlers wird, wie z. B. in der DE 28 51 686 A1 beschrieben, zusätzlich ein Temperatursen­ sor in unmittelbarer Nähe zum Feuchtesensor angeordnet. Mit dem durch den Temperatursensor gemessenen Temperaturwert wird das Ausgangssignal des Feuchtesensors korrigiert.

Ein Nachteil der bekannten Kombination von Feuchte- und Temperatursensoren ist, daß wegen der räumlichen Trennung von Temperatur- und Feuchtesensor der Temperatursensor nicht die am Ort des Feuchtesensors herrschende Temperatur son­ dern die Temperatur eines vom Feuchtesensor abweichenden Ortes mißt. Hierdurch können sich Temperaturdifferenzen von bis zu 2°C ergeben, die zu einem falschen Kompensationswert für die Feuchtemessung führen.

Weiterhin können, bedingt durch die unterschiedlichen Abmes­ sungen und den unterschiedlichen Aufbau von Temperatur- und Feuchtesensor, diese unterschiedliche Signalansprechverhal­ ten aufweisen. Dies führt dazu, daß z. B. bei schnellen Temperatur- und Feuchteänderungen das Feuchtesensorausgangs­ signal nicht mit dem aktuellen Temperaturwert korrigiert wird.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, einen Feuchtesensor zu schaffen, dessen Ausgangssignal mit einem Temperaturwert korrigierbar ist, wobei jedoch die eingangs genannten Nachteile vermieden sind.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.

Weitere vorteilhafte Merkmale sind in den Unteransprüchen angegeben.

Nach dem erfindungsgemäßen Vorschlag sind der Feuchtesensor und der Temperatursensor auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet. Dabei werden vorteilhaft der Feuchte- und Tempe­ ratursensor direkt auf demselben und hoch-wärmeleitfähigen Substrat aufgebracht. Der Feuchte- wie auch der Temperatur­ sensor sind jeweils in Dünnschicht-Technologie auf dem Substrat aufgebracht, so daß sowohl zwischen dem Feuchtesen­ sor und dem Substrat als auch zwischen dem Temperatursensor und dem Substrat ein enger thermisch-leitender Kontakt hergestellt ist. Der Feuchtesensor besteht dabei aus einer kapazitiven Schichtanordnung nach dem Hauptpatent. Als hoch-wärmeleitfähiges Substrat eignen sich vorteilhaft Keramik bzw. Keramikverbindungen oder Silizium.

Um die Abmessungen des Substrats gering zu halten, ist der Temperatursensor auf der der kapazitiven Schichtanordnung abgewandten Fläche des Substrats angeordnet (s. Anspruch 2). Dadurch wird vorteilhaft die Masse des Substrats verringert, so daß die Temperatur des Substrats bei Umgebungstemperatur­ änderungen das thermische Gleichgewicht schneller erreicht und so der jeweils aktuelle Temperaturwert gemessen wird.

Um den Grundwiderstand des Temperatursensors zu erhöhen, ist dieser (s. Anspruch 4) mäanderförmig auf dem Substrat aufge­ bracht. Eine hohe Empfindlichkeit des Temperatursensors wird durch die Verwendung von Materialien, wie z. B. Nickel oder Platin, erreicht (s. Anspruch 5).

Ein weiterer Vorteil in der Verwendung eines Feuchtesensors in Verbindung mit einem Temperatursensor ist, daß aus dem temperaturkompensierten, relativen Feuchtewert die absolute Feuchte bzw. der Taupunkt unter Berücksichtigung des Tempe­ raturwertes bestimmbar ist.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines in einer Zeich­ nung dargestellten Ausführungsbeispiels beschrieben. Es zeigen

Fig. 1 die Ansicht eines kapazitiven Feuchtesensors mit einem integrierten Temperatursensor.

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie II-II in Fig. 1,

Fig. 3 einen Schnitt längs der Linie III-III in Fig. 1.

In Fig. 1 ist eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Feuchtesensors dargestellt. Auf einem Substrat 2 ist der Kondensator 4 in Form eines Rechtecks, bestehend aus einem Dielektrikum 20 aus Polyetherimid und zwei Elektroden 16, 18 (siehe Fig. 2). aufgebracht. Die beiden Elektroden 16, 18 des Kondensators 4 sind mit zwei Zuleitungen 6 bzw. 8 ver­ bunden. An diesen beiden Zuleitungen 6 und 8 wird das sich in Abhängigkeit der Umgebungsfeuchte ändernde Ausgangssignal abgegriffen. Zwischen den beiden Zuleitungen 6 und 8 befin­ det sich auf derselben Substratfläche der Mäander eines temperaturabhängigen Meßwiderstandes 10, der den Temperatur­ sensor bildet (s. Fig. 1 und Fig. 3). Der Widerstandswert des Meßwiderstandes 10 wird an zwei endseitig mit dem Meß­ widerstand 10 verbundenen Zuleitungen 12 und 14 gemessen.

Bei einer zweiten nicht dargestellten Ausführungsform befin­ det sich der Meßwiderstand 10 auf der dem Kondensator 4 abgewandten Fläche des Substrats 2. Durch diese Anordnung verringert sich die Masse des Substrats 2, wodurch das Temperaturgleichgewicht zwischen der Umgebungstemperatur und dem Substrat 2 schneller erzielt wird. Dieses Temperatur­ gleichgewicht kann bei geeigneter Bemessung mit dem erfin­ dungsgemäßen kapazitiven Feuchtesensor innerhalb von ca. 15 sec. erreicht werden. Ebenfalls ca. 15 sec. beträgt die Ansprechzeit des Kondensators. Aufgrund dieser kurzen und etwa gleichen Ansprechzeit des Temperatur- und Feuchtesen­ sors kann die relative und bei Kenntnis der Temperatur die absolute Luftfeuchte auch in sich schnell änderndern Feuch­ teumgebungen und bei sich rasch wechselnden Umgebungstempe­ raturen nahezu fehlerfrei gemessen werden.

Claims (8)

1. Kapazitiver Feuchtesensor, bestehend aus einem Konden­ sator mit wenigstens zwei die Elektroden bildenden metallischen Schichten, von welchen die eine auf einem elektrisch hoch isolierendem Träger angeordnet ist und die zweite, außen gelegene, wasserdampfdurchlässig ist, wobei zwischen den Elektroden ein feuchteempfindlicher Film aus Polyetherimid als Dielektrikum nach Patent 39 19 864 (Patentanmeldung P 39 19 864.2) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem den Kondensator (4) tragenden Substrat (2) ein in Dünnschicht-Technik hergestellter Temperatursensor vorgesehen ist.

2. Feuchtesensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Temperatursensor auf derselben Substratoberflä­ che angeordnet ist wie der Kondensator (4).

3. Feuchtesensor nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Temperatursensor auf der dem Kondensator (4) abgewandten Seite des Substrats (2) angeordnet ist.

4. Temperatursensor nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Temperatursensor aus einem mäanderförmigen temperaturabhängigen Meßwi­ derstand (10) aus einem Metall mit einem hohen Tempe­ raturkoeffizienten besteht.

5. Feuchtesensor nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßwiderstand (10) aus Nickel oder Platin besteht.

6. Feuchtesensor nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (2) aus einem Material gefertigt ist, das eine hohe Wärmeleit­ fähigkeit besitzt.

7. Feuchtesensor nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (2) aus Silizium, Keramik oder Keramikverbindungen besteht.

8. Feuchtesensor nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßwert des Tempera­ tursensors zur Korrektur des Meßwertes des Feuchtesen­ sors und auch als Ausgangssignal zur Anzeige des Tempe­ raturwertes elektronisch auswertbar ist.