DE4029972A1 - Ultraschallwandler aus piezokeramik - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen Ultraschallwandler sowie ein Her
stellverfahren für einen Ultraschallwandler.
Für Luft-Ultraschallwandler werden piezoelektrische Materialen
mit einer möglichst geringen akustischen Impedanz benötigt, um
die Fehlanpassung zur Luft abzumildern. Dies gilt im besonderen
Maße für Luftultraschallwandler, wie sie für berührungslose Ent
fernungsmessung und für Robotersensoren eingesetzt werden. Um
mit einfachen Sendeschaltungen, d. h. ohne Übertrager, und mit
niedrigen Betriebsspannungen arbeiten zu können, wird an die
verwendeten piezoelektrischen Materialien die Forderung ge
stellt, einen möglichst hohen Kopplungsfaktor und eine hohe
Permittivität aufzuweisen.
Bisher lassen sich Ultraschallwandler mit Piezokeramiken nur
realisieren, wenn aufwendige Verbundwandler, z. B. Saturn
wandler, aus Keramik und Anpassungsmaterialien wie dem sog.
"Scotchplay" oder Kunststoff hergestellt werden.
Eine andere Möglichkeit zur Herstellung von Ultraschallwandlern
besteht in der Verwendung piezoelektrischer Kunststoffe (PVDF).
Diese weisen zwar gegenüber den Piezokeramiken eine um den
Faktor 10 niedrigere akustische Impedanz auf, aber auch einen
sehr geringen Kopplungsfaktor Kt von etwa 0.12 und eine gegen
über der Piezokeramik extrem niedrige Permittivität.
Eine weitere Möglichkeit zur Realisierung von Ultraschall
wandlern besteht in der Verwendung von porösen Piezokeramiken.
Piezokeramiken mit einer Porosität von p = 0.6 bis 0.7 er
füllen die Forderungen hinsichtlich akustischer Anpassung und
hohem akustischem Kopplungsfaktor gut. Der Kopplungsfaktor Kt
beträgt etwa 0.5. Bei einer Porosität zwischen 0.6 und 0.7
sinkt die relative Permittivität der Piezokeramik aber auf
Werte εr von ungefähr 100. Damit ist die elektrische An
passung sehr ungünstig.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Ultra
schallwandler aus einem piezoelektrischen Material anzugeben,
das neben einer guten akustischen Anpassung und einem hohen
Kopplungsfaktor auch eine gute elektrische Anpassung sicher
stellt. Des weiteren ist Aufgabe der Erfindung, ein Herstell
verfahren für einen solchen Ultraschallwandler anzugeben.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Ultra
schallwandler mit folgenden Merkmalen:
- a) es sind mehrere Schichten einer porösen Piezokeramik je weils alternierend mit Elektroden übereinander angeordnet,
- b) es sind zwei Anschlüsse vorgesehen, mit denen jeweils jede zweite nacheinander angeordnete Elektrode verbunden ist.
Durch die Realisierung des Ultraschallwandlers in einem Mehr
schichtaufbau einer porösen Piezokeramik wird bei gleicher
Permittivität der Piezokeramik eine Absenkung der elektrischen
Impedanz erzielt. Bei Verwendung von z. B. vier Schichten
sinkt die elektrische Impedanz um den Faktor 16. Das Ab
sinken der Permittivität der Piezokeramik mit steigender
Porosität wird daher durch die Vielschichtanordnung mehr als
ausgeglichen. Bei einer Porosität von p = 0.6 bis 0.7 beträgt
die Frequenzkonstante der Keramik nur etwa ein Drittel des
Wertes der nichtporösen Keramik. Daher reduziert sich auch die
Dicke der Wandler etwa auf ein Drittel. Für einen Lambda/Viertel-
Wandler mit hartem Backing reduziert sich die Dicke etwa von
3 mm auf 1 mm. Bei einer Dicke von etwa 0,2 bis 0,4 mm je
Schicht der porösen Keramik, was technologisch gut herstellbar
ist, werden bereits mit wenigen Schichten optimale Wandler
keramiken erhalten.
Es liegt im Rahmen der Erfindung, daß jede Schicht bezüglich
der Porosität einen Gradienten aufweist und daß an den Grenz
flächen zu den benachbarten Elektroden die Porosität jeweils
ein Minimum aufweist. Diese Ausführungsform hat den Vorteil
eines zuverlässigeren Kontaktes zwischen der jeweiligen
Elektrode und der Schicht poröser Keramik.
Die Aufgabe wird weiterhin gelöst durch ein Herstellverfahren
für einen Ultraschallwandler, das dadurch gekennzeichnet ist,
daß mehrere Schichten einer porösen Piezokeramik jeweils
alternierend mit Elektroden übereinander geschichtet werden
und daß die Schichten poröser Keramik jeweils aus mindestens
einer Rohfolie erzeugt werden, die durch Ziehen einer Kunst
stoffolie durch ein Vorratsgefäß, das einen mit einem Perl
polymerisat gemischten Keramikschlicker enthält, hergestellt
wird. Um in der gebrannten Keramik eine Porosität von 0.6 bis
0.7 zu erzeugen, wird ein Perlpolymerisat mit einer zentralen
Perlgröße von etwa 20 bis 30 µm und einer möglichst schmalen
Verteilung der Perlgröße verwendet. Die Rohfolien werden über
einander gestapelt, wobei ein Teil der Rohfolien mit einer
Elektrodenpaste entsprechend einem der gewünschten Elektroden
form entsprechenden Muster bedruckt sind.
Es liegt im Rahmen der Erfindung, durch Einstellung der
Viskosität des Keramikschlickers einen über den Querschnitt
der Rohfolie veränderlichen Gehalt des Perlpolyimerisat zu be
wirken. In dem Vorratsgefäß findet nämlich eine gewisse, von
der Viskosität des Schlickers abhängige Entmischung statt. Am
Boden des Vorratsgefäßes ist der Anteil an Perlpolymerisat
gering, im Bereich der Schlickeroberfläche groß. Daher bildet
sich unmittelbar auf der Kunststoffolie eine dünne, nur
Keramikpulver enthaltende Schicht und darüber eine Schicht
mit zunehmendem Perlpolymerisatanteil.
Zur Erzeugung eines Ultraschallwandlers, bei dem innerhalb
jeder Schicht die Porosität der Piezokeramik einen Gradienten
aufweist, werden je zwei Rohfolien so übereinander gelegt, daß
an ihrer gemeinsamen Grenzfläche der Gehalt an Perlpolymerisat
ein Maximum aufweist.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus den übrigen
Ansprüchen hervor.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der Figuren und eines
Ausführungsbeispiels erläutert.
Fig. 1 zeigt einen Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen
Ultraschallwandler.
Fig. 2 bis Fig. 4 zeigen Rohfolienelemente, wie sie für die
Herstellung eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers
benötigt werden.
Fig. 5 zeigt eine Siebdruck- bzw. Elektrodenfläche für eine
viereckige Keramikrohfolie.
Fig. 6 zeigt eine Siebdruck- bzw. Elektrodenfläche für eine
runde Keramikrohfolien.
Ein erfindungsgemäße Ultraschallwandler enthält mehrere
Schichten 1 einer porösen piezoelektrischen Keramik (s. Fig.
1). Die Schichten 1 sind alternierend mit Elektroden 2 ange
ordnet. Jede zweite der nacheinander angeordneten Elektroden 2
ist mit einem ersten Anschluß 31 elektrisch verbunden. Die
dazwischenliegenden Elektroden 2 sind mit einem zweiten An
schluß 32 elektrisch verbunden. Die Piezokeramik besteht z. B. aus dotiertem Bleizirkonattitanat.
Innerhalb der Schichten 1 weist die poröse piezoelektrische
Keramik jeweils bezüglich der Porosität einen Gradienten auf,
so daß in der Mitte zwischen den Elektroden 2 die Porosität
ein Maximum erreicht, während sie an der Grenzfläche zu den
benachbarten Elektroden 2 jeweils ein Minimum erreicht.
Zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Ultraschallwandlers
werden Keramikrohfolien mit definierter Porosität erzeugt. Die
Keramikrohfolien werden durch Folienziehen hergestellt. Dabei
wird eine Kunststoffolie durch ein Vorratsgefäß, den sog.
Ziehschuh, in dem ein Keramikschlicker enthalten ist, gezogen.
Um in der gebrannten Keramik die gewünschte Porosität zu er
zeugen, wird dem Keramikschlicker ein Perlpolymerisat mit einer
zentralen Perlgröße von z. B. etwa 20 bis 30 µm und einer
möglichst schmalen Verteilung der Perlgröße beigemischt. Es
ist dabei darauf zu achten, daß sich das Perlpolymerisat nicht
in dem Lösungsmittel, das zur Schlickerverdünnung verwendet
wird, löst.
Die Kunststoffolie wird bei dem Ziehen durch den Ziehschuh
mit Keramikschlicker benetzt. Beim Austritt aus dem Ziehschuh
wird der Keramikschlicker an der Unterseite der beschichteten
Folie abgestreift. Auf der Oberseite der Kunststoffolie ent
steht die gewünschte Keramikrohfolie.
In dem Ziehschuh findet aufgrund der Viskosität des Keramik
schlickers eine gewisse Entmischung des Perlpolymerisats von
dem Keramikschlicker statt. Das führt dazu, daß am Boden des
Ziehschuhs der Anteil an Perlpolymerisat gering, im Bereich
der Keramikschlickeroberfläche jedoch groß ist. Durch Beein
flussung der Viskosität des Keramikschlickers ist der Grad
dieser Entmischung einstellbar. Die Entmischung hat zur Folge,
daß sich unmittelbar auf der Kunststofffolie eine dünne, nur
Keramikpulver enthaltende Schicht und darüber eine Schicht
mit zunehmendem Polymerisatanteil ausbildet. Eine solche er
findungsgemäße Keramikrohfolie ist in Fig. 2 dargestellt.
Die Keramikrohfolien werden in gewünschter Form ausgestanzt.
übliche Formen sind z. B. quadratisch (s. Fig. 5) oder rund
(s. Fig. 6). Ein Teil dieser Folien wird mit einer Elektroden
paste aus z. B. Platin oder Ag Pd entsprechend einem Muster 4
für die Elektroden bedruckt (s. Fig. 3 und Fig. 4). Je nach
dem, ob die Rohfolie später an den ersten Anschluß 31 oder den
zweiten Anschluß 32 (s. Fig. 1) angeschlossen werden soll,
reicht das Muster 4 für die Elektrode bis an den linken Rand
(s. Fig. 3) bzw. an den rechten Rand (s. Fig. 4).
In Fig. 5 ist eine Rohfolie 51 dargestellt. Die Rohfolie 51
erhält durch Stanzen eine quadratische Form 52 mit zwei ab
geschrägten Kanten. Die Rohfolie 51 wird mit einem Elektroden
muster 54 bedruckt. Die Form des Elektrodenmusters 54 ist so
gewählt, daß nach dem Sintern durch allseitiges Beschleifen
ein schmaler freier Rand 53 (angedeutet durch eine gestrichelte
Linie) entsteht, ohne daß dabei nennenswerte tote Zonen ent
stehen.
In Fig. 6 ist eine Rohfolie 61 dargestellt, die in eine runde,
an zwei Seiten abgeflachte Form 62 gestanzt wurde. Durch Ab
drehen wird eine freie Randzone 63 (angedeutet durch eine ge
strichelte Linie) um ein rundes Elektrodenmuster 64 erzeugt.
Die ausgestanzten und bedruckten Keramikrohfolien werden so
gestapelt, daß abwechselnd Bereiche mit hohem Perlpolymerisat
gehalt und Bereiche ohne Perlpolymerisatgehalt aufeinander
liegen. Zwischen den Bereichen ohne Perlpolymerisat befinden
sich die Elektroden 2 (s. Fig. 1). Die zwischen den Elektroden
2 angeordneten Schichten 1 werden aus zwei Rohfolien gebildet,
wobei eine obere Rohfolie 11 mit einem Elektrodenmuster 21 auf
der Seite mit geringem Perlpolymerisatgehalt bedruckt ist.
Die obere Rohfolie 11 wird mit der Seite mit hohem Perl
polymerisatgehalt auf eine untere Rohfolie 12 gelegt, die
unbedruckt ist und die mit ihrer Seite mit hohem
Perlpolymerisatgehalt an die obere Rohfolie 11 anstößt. Die
untere Rohfolie 12 liegt mit der Seite mit geringem Perl
polymerisatgehalt auf dem Elektrodenmuster 21 der darunter
liegenden oberen Rohfolie 11. Die Trennlinien 13 deuten die
Ausdehnung der Rohfolien vor dem Sintern an.
Der erfindungsgemäße Ultraschallwandler gemäß dem in Fig. 1
dargestellten Ausführungsbeispiel ist weder an der Deck- noch
an der Bodenschicht mit Elektroden versehen. Dieses verein
facht die Herstellung des Ultraschallwandlers wesentlich, da
solche Deck- bzw. Bodenelektroden einen gesonderten Fertigungs
schritt erfordern würden.
Der Folienstapel wird anschließend in bekannter Weise ge
preßt und gebrannt. Die seitlichen Anschlüsse 31, 32 werden
durch Aufbringen von Einbrennsilber hergestellt. Das Einbrenn
silber ist in den Fig. 5 und 6 durch die Bezugszeichen 55 bzw.
65 gekennzeichnet.
Nach dem Kontaktieren werden die Wandler beschliffen bzw.
abgedreht und in bekannter Weise im Schutzgas polarisiert.
Claims (8)
1. Ultraschallwandler mit folgenden Merkmalen:
- a) es sind mehrere Schichten (1) einer porösen Piezokeramik jeweils alternierend mit Elektroden (2) übereinander ange ordnet,
- b) es sind zwei Anschlüsse (31, 32) vorgesehen, mit denen jeweils jede zweite nacheinander angeordnete Elektrode (2) verbunden ist.
2. Ultraschallwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
poröse Piezokeramik innerhalb jeder Schicht (1) bezüglich der
Porosität einen Gradienten aufweist und daß an den Grenz
flächen zu den benachbarten Elektroden (2) die Porosität ein
Minimum aufweist.
3. Ultraschallwandler nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
poröse Piezokeramik im wesentlichen die Elemente Pb, Ti, Zr,
Ni, Nb, O enthält.
4. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Elektroden (2) mindestens eines der Elemente Ag, Pd und Pt
enthalten.
5. Herstellverfahren für einen Ultraschallwandler nach An
spruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß mehrere
Schichten (1) einer porösen Piezokeramik jeweils alternierend
mit Elektroden (2) übereinandergeschichtet werden und daß die
Schichten (1) poröser Piezokeramik jeweils aus mindestens einer
Rohfolie (11, 12, 51, 61) erzeugt werden, die durch Ziehen
einer Kunststoffolie durch ein Vorratsgefäß, das einen mit
einem Perlpolymerisat gemischten Keramikschlicker enthält,
hergestellt wird.
6. Herstellverfahren nach Anspruch 5
dadurch gekennzeichnet, daß das Perl
polymerisat eine möglichst schmale Verteilung der Perlgröße um
eine zentrale Perlgröße im Bereich von 20 bis 30 µm aufweist.
7. Herstellverfahren nach Anspruch 5 oder 6,
dadurch gekennzeichnet, daß durch Ein
stellung der Viskosität des Keramikschlickers ein über den Quer
schnitt der Rohfolie (11, 12, 51, 61) veränderlicher Gehalt des
Perlpolymerisats bewirkt wird.
8. Herstellverfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen
zwei Elektroden (2) jeweils zwei Rohfolien (11, 12) so ange
ordnet werden, daß die Rohfolien (11, 12) an den Grenzflächen zu
den Elektroden (2) einen geringeren Gehalt an Perlpolymerisat
aufweisen als an ihrer gemeinsamen Grenzfläche.
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