DE4007011A1 - Positioniervorrichtung - Google Patents
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Description
Positioniervorrichtungen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 werden vorzugs
weise zur Handhabung und Positionierung von Testköpfen verwendet. Diese Test
köpfe sind in vollautomatischen Prüfanlagen zur Prüfung und Klassifizierung
von elektronischen Bauelementen, wie z. B. integrierten Schaltungen in DIL-,
PLLC-, CLLC-, SO- oder SMD-Bauweise eingesetzt.
Ferner werden solche Positioniervorrichtungen auch zur Positionierung von
Testköpfen bei sog. Waferprobern eingesetzt, bei denen die noch nicht aufge
trennten Bauelemente auf großen Silizium-Wafern getestet werden.
Allen diesen Anwendungsfällen ist gemeinsam, daß die Testköpfe sehr genau ein
gerichtet werden müssen, wobei sowohl eine schnelle als auch eine sehr genaue
Höheneinstellung erforderlich ist, ferner ist der Testkopf auch in einer hori
zontalen Ebene genau zu justieren. Eine Kippbewegung um eine horizontale Achse
ist ebenfalls erforderlich. Weiterhin soll sich der Testkopf schnell von der
Prüfeinrichtung wegschwenken lassen. In vielen Fällen ist eine schnelle und
genau reproduzierbare Abhebebewegung des Testkopfes von der Prüfeinrichtung
erwünscht.
Eine bekannte Positioniervorrichtung ist in der US 45 27 942 beschrieben. Zur
Höheneinstellung ist dort in einem einseitig offenen, im Querschnitt C-förmi
gen Gehäuse an einer Rundsäule ein klemmbar höhenverschiebbarer Testkopfträger
vorgesehen. Zur Gewichtsentlastung wird die Gewichtskraft des Testkopfes über
eine Umlenkrolle und Gegengewichte aufgefangen. Eine feinfühlige Höheneinstel
lung ist nicht vorgesehen. Beim Lösen der Höhenklemmschrauben geht zusätzlich
die Justierung in der horizontalen Ebene verloren.
Eine weitere bekannte Vorrichtung zum Entkoppeln eines Testkopfes nach der
DE 34 26 137 A1 ist so gestaltet, daß in einer auf Spreizstützen aufgestell
ten Standsäule in Rechteckhohlkastenbauweise eine Parallelführung mit zwei
Rundsäulen und eine Gewindespindel zur Höheneinstellung der Positioniervor
richtung vorgesehen sind. Die Gewindespindel ist dabei mit einem Querhaupt der
Vorrichtung so verbunden, daß zwischen dem Querhaupt und der Gewindespindel
eine Feder eingebaut ist, mit der die Gewichtskräfte des Testkopfes abgefangen
werden können. Gleichzeitig werden z. B. Kräfte, die vertikal auf den Testkopf
wirken, abgefangen. Eine Höhenregulierung mit der Gewindespindel ist dabei
möglich. Die Einstellung des Gewichtsausgleichs erfolgt durch Verdrehen einer
Stellmutter.
Eine ähnliche bekannte Ausführung einer Handhabungsvorrichtung gemäß der
DE 36 17 741 A1 ermöglicht den Ausgleich des Testkopfgewichts durch die An
ordnung einer Flaschenzuganordnung mit Gewichtsstücken, die in dem Standgehäu
se angeordnet sind. Dadurch ist eine Gewichtsersparnis möglich, die z. B. ein
sehr standfestes Gehäuse erlaubt, da dieses kräftiger bzw. dickwandiger aufge
baut sein kann (bei gleichem Gesamtgewicht). Die Drehbewegung der festangeord
neten Flaschenzugrolle ist mit einer Klemmvorrichtung sperrbar. Die beweglich
angeordnete Flaschenzugrolle ist mit einer Gewindespindel mit dem Querhaupt
der Aufnahmeeinrichtung auf der Oberseite der Standsäule verbunden. Hiermit
ist eine vertikale Feinverstellung des Testkopfes möglich. Als sonstige Vor
teile ergeben sich aus der kompakten Bauweise eine tiefe Schwerpunktlage, was
die Standsicherheit der Anordnung erhöht, weiterhin ist es möglich, die Auf
nahmeeinrichtung über der Standsäule in der horizontalen Ebene um 360° zu ver
schwenken, wodurch sich der Testkopf z. B. für Reparaturzwecke leicht von der
Anschlußstelle wegschwenken läßt und dadurch sehr gut zugänglich ist.
Die Aufgabe der Erfindung besteht demgegenüber darin, eine Positioniervorrich
tung so zu entwerfen, daß ein Testkopf in drei Achsenrichtungen und Winkella
gen einstellbar ist, wobei eine Dockbewegung gewichtsentlastet in einer verti
kalen oder horizontalen Achse durchgeführt werden kann, ohne daß die übrigen
Achsenfixierungen dejustiert werden.
Diese Aufgabe wird mit einer Positioniervorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst.
In den Unteransprüchen sind weitere Ausgestaltungen des Erfindungsgegenstandes
angegeben.
Im Unterschied zu der Positioniereinrichtung aus dem Stand der Technik nach
der US-Schrift wird anmeldungsgemäß die seitliche Führung des Führungsschlit
tens durch eine zusätzliche Momentenabstützung über eine Rolle und Führungs
leisten im Standgehäuse vorgenommen. Damit ist nach dem Lösen der Höhenklem
mung die seitliche Justierung in horizontaler Ebene nicht verloren. Der Ausle
ger, der mittels einer Hohlwelle auf dem Führungsschlitten über der Führungs
säule angeordnet ist, kann deshalb in der Höhe verschoben werden, ohne daß die
seitliche Justierung verlorengeht.
Die schnelle Höhenverstellung ist in bekannter Weise über eine Flaschenzugan
ordnung realisiert. Als Kraftübertragungselement findet dabei eine Rollenkette
in paralleler Doppelanordnung Verwendung. Denkbar ist auch die Verwendung von
Zahnriemen. Dabei können die Zahnriemen, sofern deren Elastizität zuviel Hö
henspiel ergibt, durch Stahleinlagen verstärkt werden.
Eine Feineinstellung ist durch ein einrastbares Zahnradgetriebe an der festen
Rolle der Flaschenzuganordnung möglich.
Zur Herstellung einer genauen Neigungseinstellung des Testkopfes um eine hori
zontale Achse ist unmittelbar an der Testkopfhalterung ein Exzentergetriebe
angebracht. Das Nachgeben der Anordnung, das aufgrund der vom Testkopf hervor
gerufenen Gewichtsbelastung erfolgt, kann hierdurch ausgeglichen werden. Dies
ist deshalb wichtig, da einerseits der Testkopf bis zu 4000 N Gewicht auf
weist, andererseits eine Einstellgenauigkeit bis zu wenigen 1/10 mm Genauig
keit gefordert wird.
Zwischen der Anlenkung der Mehrfachgelenkarme und der Drehplatte ist ferner
eine Vorrichtung zur Axialverschiebung vorgesehen, mit der eine Verschiebung
des Testkopfes in Richtung der Kontaktierung als Schnellverstellung möglich
ist. Die Vorrichtung zur Axialverschiebung kann z. B. eine Linearführung mit
Kugelumlaufbuchsen auf zylindrischen Wellen sein oder auch änlich einer
Schubladenführung mit paarweise angeordneten Kugelführungen oder Gleitführun
gen aufgebaut sein.
Weitere Einzelheiten einer solchen erfindungsgemäßen Positioniervorrichtung
werden anhand der Zeichnung an einem Ausführungsbeispiel erläu
tert.
Folgende Einzelheiten sind schematisch dargestellt:
Fig. 1 Räumliche Darstellung der Positioniervorrichtung,
Fig. 2 Draufsicht der Flaschenzuganordnung mit Kettentrieb, Gegengewicht, Mo
mentenabstützung und einrastbarer Feineinstellung,
Fig. 3 Vereinfachte Ansicht der Flaschenzuganordnung in der Standsäule,
Fig. 4 Führung des Auslegers an der Führungssäule mit dem Führungsschlitten,
Fig. 5 Ausleger mit Mehrfachgelenkarmen und Axialeinstellung des Testkopfes,
Fig. 6 Neigungseinstellung mit Exzenter,
Fig. 7 Variante zur Axialeinstellung nach Fig. 5.
Ein Standgehäuse 1 ist mit Auslegerfüßen 2 auf dem Boden aufgestellt. Eine
Seite des Standgehäuses ist mit einer vertikalen Öffnung versehen, in der ein
Führungsschlitten 4 läuft. Vor der Öffnung ist eine Führungssäule 3 an beiden
Enden an der Boden- bzw. Kopfplatte 1a, 1b des Standgehäuses verschraubt. An
der Führungssäule ist der Führungsschlitten mit einer klemmbaren Hohlwelle 5
eines Auslegers 6 angebracht. Stellringe 7 befinden sich auf der Führungswelle
ober- bzw. unterhalb des Führungsschlittens.
Der Führungsschlitten ist über eine Achse 8 mit dem Doppelzahnrad 9 der losen
Rolle 10 einer Flaschenzuganordnung 11 verbunden. Auf der verlängerten Achse 8
sitzt eine Rolle 12 der Momentenabstützung 13, wobei die Rolle an vertikal im
Standgehäuse angeschraubten, einstellbaren Führungsleisten 14 abgestützt ist.
Eine Doppelkette 15 der Flaschenzuganordnung ist an einer Standgehäusewand be
festigt. Die Doppelkette führt unter der losen Rolle 10 hindurch über die fe
ste Rolle 16 der Flaschenzuganordnung zu der Gegengewichtsanordnung 17. Die
feste Rolle ist durch eine Klemmeinrichtung 18 festlegbar. An der Welle 19 der
festen Rolle 16 befindet sich das Rad 20 eines Zahnradgetriebes 22 zur Fein
einstellung der Höhe des Auslegerarms. Das Ritzel 21 des Zahnradgetriebes ist
ein- und ausrückbar. Mit einer Handkurbel 23 wird das Zahnradgetriebe betä
tigt.
Die Gegengewichtsanordnung, die in dem Standgehäuse untergebracht ist, ist
durch eine (nicht dargestellte) Öffnung im Standgehäuse zugänglich.
Die Hohlwelle des Auslegers ist mit Radiallagern 24 spielfrei auf dem Füh
rungsschlitten verspannt. Eine Gleitlagerung wäre ebenfalls möglich. Der Füh
rungsschlitten ist auf der Führungswelle mittels Kugelumlaufbuchsen 25 gela
gert. Auch hier kann eine Gleitlagerung, z. B. mit Teflon-Buchsen erfolgen.
Auf dem waagerecht angeordneten Ausleger sind Mehrfachgelenkarme 26 klemmbar
(Klemmen 27) befestigt. Diese Mehrfachgelenkarme tragen eine mit Welle 28 und
Kugelumlaufbuchsen 29 axial beweglich aufgehängte Trägerplatte 30, die zudem
noch um eine senkrecht dazu angeordnete Achse Y drehbar ist. Die Trägerplatte
kann um diese Achse als Ringplatte ausgebildet sein. Durch die dann vorhandene
Bohrung 31 der Ringplatte sind dann die Kabelanschlüsse des Testkopfes 32 ge
führt.
Ein Neigungsausgleich zwischen der Anlenkung der Mehrfachgelenkarme an der Li
nearführung für die Axialbewegung und der Trägerplatte ist durch ein Exzenter
getriebe 33 gegeben.
Ein Testkopf 32 ist auf der Trägerplatte 30 befestigt. Die Kontaktierung 34
des Testkopfes ist z. B. an eine IC-Prüfanlage anzuschließen.
Das Gewicht des Testkopfes samt den mitbeweglichen Vorrichtungsteilen wird
mittels der Gegengewichte 17 austariert.
Der Testkopf 32 wird in der Höhe per Hand verschoben, eine Feineinstellung ist
mittels der Handkurbel 23 des Zahnradgetriebes 22 möglich. Die Höheneinstel
lung ist mit einer Klemmung 18 fixierbar. Stellringe 7 begrenzen den Weg des
Führungsschlittens 4 auf der Führungssäule 3. Die Winkellage in einer horizon
talen Ebene ist mit den Mehrfachgelenkarmen 26 einstellbar und durch Klem
men 27 fixierbar. Die weitere Winkellage in der dazu senkrechten Ebene ist
mittels des Exzentergetriebes 33 einstellbar.
Mittels der axialen Beweglichkeit der Trägerplatte 30 kann die Kontaktie
rung 34 des Testkopfes 32 schnell an eine IC-Prüfmaschine angedockt werden
(ankoppeln oder entfernen). Sofern die Kontaktierung 34 des Testkopfes 32 kon
struktiv bedingt an einer anderen Stelle des Testkopfes angebracht ist, kann
auch eine Variante der Axialeinstellung nach z. B.: Fig. 7 mit einer Linearlage
rung 35 verwendet werden.
Claims (9)
1. Positioniervorrichtung, mit einer vertikal angeordneten Führungssäule in
einem Gehäuse in Rechteckrohrform mit seitlich angeordnetem Schlitz und
Spreizfüßen zur Aufstellung auf dem Boden, wobei eine höhenverschiebbar ange
brachte Verstelleinrichtung in horizontaler Ebene frei schwenkbar und axial
verfahrbar ist und sowohl in Höhe als auch die horizontalen Einstellungen
durch Klemmen festlegbar sind,
dadurch gekennzeichnet,
daß mit einer zusätzlichen Momentenabstützung 13 der Ausleger 6 horizontal ge gen Verdrehen gesichert ist,
daß der Ausleger 6 mittels einer Hohlwelle 5 auf der Führungssäule 3 klemmbar angebracht ist,
daß eine vertikale Feineinstellung durch ein zusätzliches einrastbares Zahn radgetriebe 22 und Handkurbel 23 erfolgt,
daß die Gegengewichtsanordnung über eine lose Rolle 9 erfolgt, so daß durch das Flaschenzugprinzip die Gegengewichte 17 kleiner werden.
daß mit einer zusätzlichen Momentenabstützung 13 der Ausleger 6 horizontal ge gen Verdrehen gesichert ist,
daß der Ausleger 6 mittels einer Hohlwelle 5 auf der Führungssäule 3 klemmbar angebracht ist,
daß eine vertikale Feineinstellung durch ein zusätzliches einrastbares Zahn radgetriebe 22 und Handkurbel 23 erfolgt,
daß die Gegengewichtsanordnung über eine lose Rolle 9 erfolgt, so daß durch das Flaschenzugprinzip die Gegengewichte 17 kleiner werden.
2. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß eine genaue Neigungseinstellung der Testkopfhalterung durch ein Exzenter
getriebe 33 erfolgt.
3. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß für die Flaschenzuganordnung 11 eine Rollenkette 15 mit Doppelradanord
nung 10, 16 vorgesehen ist.
4. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß für die Flaschenzuganordnung 11 ein Zahnriemen vorgesehen ist.
5. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Höheneinstellung der Flaschenzuganordnung an der Welle 19 der festen
Flaschenzugrolle 16 klemmbar ist.
6. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Momentenabstützung 13 in horizontaler Richtung mit einer Rolle 12 an
der verlängerten Achse 8 des Führungsschlittens 4 erfolgt.
7. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß der Führungsschlitten 4 auf der Führungssäule 3 durch Stellringe 7 in der
Höhenbewegung begrenzbar ist.
8. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß der Führungsschlitten 4 mittels Kugelumlaufbuchsen 25 auf der Führungssäu
le 3 spielfrei längsgelagert ist.
9. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß der Ausleger 6 mittels Radiallagern 24 vorgespannt auf dem Führungsschlit
ten 4 spielfrei gelagert ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4007011A DE4007011C2 (de) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | Positioniervorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4007011A DE4007011C2 (de) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | Positioniervorrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4007011A1 true DE4007011A1 (de) | 1991-09-12 |
DE4007011C2 DE4007011C2 (de) | 1999-11-18 |
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ID=6401527
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---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4007011C2 (de) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5606262A (en) * | 1995-06-07 | 1997-02-25 | Teradyne, Inc. | Manipulator for automatic test equipment test head |
DE19718398A1 (de) * | 1997-04-30 | 1998-11-05 | Heigl Helmuth | Handhabungsvorrichtung |
EP0942221A1 (de) * | 1998-03-09 | 1999-09-15 | Krauss-Maffei Wegmann GmbH & Co. KG | Bewegbare Konsole zur Halterung eines Arbeitsgerätes, insbesondere eines Bildschirmgerätes im Innenraum eines Fahrzeugs, insbesondere eines Kampffahrzeugs |
US6271657B1 (en) | 1997-07-25 | 2001-08-07 | Advantest Corporation | Test head positioner for semiconductor device testing apparatus |
FR2806022A1 (fr) * | 2000-03-13 | 2001-09-14 | Abb Barras Provence | Manipulateur d'un dispositif de test de composants electroniques a verin compensateur |
FR2806024A1 (fr) * | 2000-03-13 | 2001-09-14 | Abb Barras Provence | Manipulateur d'un dispositif de test de composants electroniques a suspension articulee |
WO2003005045A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-01-16 | Heigl, Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum positionieren eines testkopfs an einer prüfeinrichtung |
DE10132489A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-04-17 | Heigl Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
DE10325818B3 (de) * | 2003-06-06 | 2004-09-16 | Heigl, Helmuth, Dr.-Ing. | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
US7421916B2 (en) | 2005-04-27 | 2008-09-09 | Hubertus Heigl | Manipulator for positioning a test head, particularly at a tester |
EP2114634A1 (de) * | 2007-02-23 | 2009-11-11 | Intest Corporation | Testkopfmanipulator |
WO2015025024A3 (de) * | 2013-08-21 | 2015-04-16 | Turbodynamics Gmbh | Ausrichteinrichtung und handhabungsvorrichtung |
WO2020019841A1 (zh) * | 2018-07-27 | 2020-01-30 | 南京瑞贻电子科技有限公司 | 一种具有保护功能的录波仪固定装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004008404A1 (de) * | 2004-02-20 | 2005-09-08 | Heigl, Helmuth, Dr. | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
DE102004008402B4 (de) * | 2004-02-20 | 2007-04-12 | Heigl, Helmuth, Dr. | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
DE102004012834B3 (de) * | 2004-03-16 | 2005-04-28 | Helmuth Heigl | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
DE102004026031B3 (de) * | 2004-05-27 | 2005-08-11 | Heigl, Helmuth, Dr.-Ing. | Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs, insbesondere an einer Prüfeinrichtung |
DE102007024949B3 (de) * | 2007-05-30 | 2009-01-22 | Hubertus Heigl | Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs, insbesondere an einer Prüfeinrichtung |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4527942A (en) * | 1982-08-25 | 1985-07-09 | Intest Corporation | Electronic test head positioner for test systems |
DE3617741A1 (de) * | 1986-05-27 | 1987-12-03 | Heigl Helmuth | Handhabungsvorrichtung |
-
1990
- 1990-03-06 DE DE4007011A patent/DE4007011C2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5606262A (en) * | 1995-06-07 | 1997-02-25 | Teradyne, Inc. | Manipulator for automatic test equipment test head |
DE19718398A1 (de) * | 1997-04-30 | 1998-11-05 | Heigl Helmuth | Handhabungsvorrichtung |
DE19718398B4 (de) * | 1997-04-30 | 2006-02-02 | Heigl, Helmuth, Dr.-Ing. | Handhabungsvorrichtung |
DE19833500B4 (de) * | 1997-07-25 | 2004-11-18 | Advantest Corp. | Testkopf-Positioniereinrichtung für ein Halbleiterbauelement-Testgerät |
US6271657B1 (en) | 1997-07-25 | 2001-08-07 | Advantest Corporation | Test head positioner for semiconductor device testing apparatus |
EP0942221A1 (de) * | 1998-03-09 | 1999-09-15 | Krauss-Maffei Wegmann GmbH & Co. KG | Bewegbare Konsole zur Halterung eines Arbeitsgerätes, insbesondere eines Bildschirmgerätes im Innenraum eines Fahrzeugs, insbesondere eines Kampffahrzeugs |
FR2806022A1 (fr) * | 2000-03-13 | 2001-09-14 | Abb Barras Provence | Manipulateur d'un dispositif de test de composants electroniques a verin compensateur |
FR2806024A1 (fr) * | 2000-03-13 | 2001-09-14 | Abb Barras Provence | Manipulateur d'un dispositif de test de composants electroniques a suspension articulee |
DE10132489B4 (de) * | 2001-07-05 | 2004-12-09 | Heigl, Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
DE10132489A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-04-17 | Heigl Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
US6940273B2 (en) | 2001-07-05 | 2005-09-06 | Cornelia Heigl | Handling device, especially for positioning a test head on a testing device |
WO2003005045A1 (de) * | 2001-07-05 | 2003-01-16 | Heigl, Cornelia | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum positionieren eines testkopfs an einer prüfeinrichtung |
DE10325818B3 (de) * | 2003-06-06 | 2004-09-16 | Heigl, Helmuth, Dr.-Ing. | Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung |
US7150203B2 (en) | 2003-06-06 | 2006-12-19 | Helmuth Heigl | Manipulator for positioning a test head |
US7421916B2 (en) | 2005-04-27 | 2008-09-09 | Hubertus Heigl | Manipulator for positioning a test head, particularly at a tester |
EP2114634A1 (de) * | 2007-02-23 | 2009-11-11 | Intest Corporation | Testkopfmanipulator |
EP2114634A4 (de) * | 2007-02-23 | 2010-11-17 | Intest Corp | Testkopfmanipulator |
WO2015025024A3 (de) * | 2013-08-21 | 2015-04-16 | Turbodynamics Gmbh | Ausrichteinrichtung und handhabungsvorrichtung |
US10416230B2 (en) | 2013-08-21 | 2019-09-17 | Turbodynamics Gmbh | Aligning device and handling device |
WO2020019841A1 (zh) * | 2018-07-27 | 2020-01-30 | 南京瑞贻电子科技有限公司 | 一种具有保护功能的录波仪固定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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DE4007011C2 (de) | 1999-11-18 |
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