DE3928426C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Differenzdruckwertgeber nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs (z. B. US 47 13 969).

Bei einem herkömmlichen Differenzdruckwertgeber wird ein angelegter Differenzdruck ΔP an die Vorder- und an die Rückseite einer Meßmembran, die mit einem Drucksensorelement, wie etwa einem Halbleiterdrucksensor, versehen ist, übertragen und in ein zu ΔP proportionales elektrisches Signal umgewandelt, wobei das Ausgangssignal des Drucksensorelementes nach außen übertragen wird.

Wenn der Differenzdruck ΔP groß wird, nimmt auch die Ausgabe des Drucksensorelementes zu. Wenn ΔP weiter zunimmt, kommt die Druckaufnahmemembran auf dem wellenförmigen Abschnitt eines Grundkörpers zum Aufliegen. Wenn daher der Differenzdruck ΔP unbestimmt groß wird, endet dessen Zunahme bei einem vorbestimmten Wert, wie in Fig. 4 (a) gezeigt ist. Auch die Ausgabe ΔE des Drucksensorelementes wird auf einem bestimmten Sättigungswert ΔE′ gehalten. Dieser Mechanismus wird gewöhnlich als "Schutzmechanismus" bezeichnet, er soll die Beschädigung der Meßmembran auch dann verhindern, wenn ein übermäßiger, den Meßbereich übersteigender Differenzdruck auf das Drucksensorelement im Differenzdruckübertragsweg wirkt. Ein solcher Mechanismus ist beispielsweise außer aus US 47 13 969 auch aus JP 60-2 37 337-A (1985) und aus JP 60-2 38 732-A (1985) bekannt.

Der oben beschriebene Vorgang tritt jedoch nur dann auf, wenn der zu messende Druck statisch wirkt. In einem wirklichen Aggregat tritt jedoch der Fall auf, daß sich der Druck schlagartig ändert oder schlagartig angelegt wird. Daher muß die mit dem Drucksensorelement versehene Meßmembran mit einem Schutzmechanismus ausgestattet werden, der diese vor der Einwirkung eines einen zugelassenen Bereich übersteigenden Differenzdruckes auch in einem solchen Fall schützt. Wenn beispielsweise während der Messung des Differenzdruckes ein von irgendwelchen Bedingungen des Aggregates abhängiges Abschlußventil betrieben wird und die Meßdurchflußrate schlagartig angehalten wird, tritt im Meßaggregat ein schlagartiger Druckanstieg (ein Stoßdruck, der im allgemeinen als "Wasserhammer" oder "Dampfhammer" bezeichnet wird), wie in Fig. 4 (b) durch ΔP dargestellt, auf und dieser Druck wirkt auf den Differenzdruckmeßwertgeber und kann gegebenenfalls die mit dem Drucksensorelement versehene Meßmembran beschädigen.

Wie oben beschrieben, wird nach dem vorgenannten Stand der Technik nur ein Überlastschutzmechanismus für einen statisch sich ändernden zu messenden Druck betrachtet, während keinerlei Vorrichtungen zur Verhinderung von Beschädigungen der mit dem Sensorelement versehenen Meßmembran in Betracht gezogen werden, falls der zu messende Druck schlagartig ansteigt oder sich schlagartig ändert. Daher besteht nach diesem Stand der Technik das Problem, daß die Meßmembran durch einen vorübergehenden Stoßdruck beschädigt werden kann.

Nach der DE 27 18 931 A1 soll der schädliche Einfluß impulsförmiger Druckschwankungen auf ein Differenzdrucksensorelement dadurch vermindert werden, daß dieses Element über Kapillarröhren mit den den Differenzdruck definierenden Drucken beaufschlagt wird.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Differenzdruckwertgeber zu schaffen, der eine solche Struktur hat, daß die Druckübertragung auch bei einem schnell veränderlichen Stoßdruck keine Beschädigung des Differenzdrucksensorelements hervorruft.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Differenzdruckwertgeber mit den Merkmalen des Patentanspruchs.

Erfindungsgemäß kommt demnach ein Aufbau zur Anwendung, bei dem das durch die Gestalt und das Volumen des jeweiligen Übertragungsweges bestimmten Übertragungsverhalten entlang des ersten Übertragungsweges gleich demjenigen entlang des zweiten Übertragungsweges ist. Daher wird z. B. ein gleichzeitig hoch- und niederdruckseitig beherrschender, schnell veränderlicher Druck nicht als Differenzdruck an das Differenzdrucksensorelement übertragen, weshalb folglich ein Zerbrechen dieses Elementes verhindert werden kann.

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels mit Bezug auf die beiliegenden Figuren näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 einen Längsschnitt eines Differenzdruckwertgebers

Fig. 2 ein Modellsystem des in Fig. 1 gezeigten Differenzdruckwertgebers

Fig. 3 ein Blockschaltbild zur Bestimmung des Übertragugsverhaltens des in Fig. 1 gezeigten Differenzdruckwertgebers und

Fig. 4 eine Darstellung des zeitdiskreten Ansprechverhaltens des in Fig. 1 gezeigten Differenzdruckwertgebers.

Der Differenzdruckwertgeber nach Fig. 1 besitzt einen Grundkörper 1, dessen beide Seitenbereiche eine wellige Gestalt haben. In engem Kontakt mit den beiden Seitenflächenbereichen des Grundkörpers 1 sind eine hochelastische hochdruckseitige Druckaufnahmemembran 12 und eine hochelastische niederdruckseitige Druckaufnahmemembran 13 so angepaßt, daß sie diese Bereiche umschließen. Die wellenförmigen Bereiche des Grundkörpers 1 besitzen die gleiche wellenförmige Gestalt wie die Druckaufnahmemembranen 12 und 13, so daß sie in engen Kontakt miteinander kommen. Zwischen den wellenförmigen Bereichen und den Druckaufnahmemembranen 12 und 13 sind Aussparungen 14, 15 ausgebildet, wobei die Aussparunge 14 die hochdruckseitige und die Aussparung 15 die niederdruckseitige ist. Der Grundkörper 1 ist mit einem hochdruckseitigen Verbindungskanal 16 von der Hochdruckaufnahmeaussparung und mit einem niederdruckseitigen Verbindungskanal 17 von der Niederdruckaufnahmeaussparung versehen, wobei zwischen diese Übertragungswege 16 und 17 eine Mittelmembran 4 so eingesetzt ist, daß sie eine mit dieser Mittelmembran 4 verbundene hochdruckseitige Kammer 41 und eine mit dieser Mittelmembran 4 verbundene niederdruckseitige Kammer 42 definiert. Mit beiden Seiten des Differenzdrucksensorelementes 6 sind entsprechend ein hochdruckseitiger Übertragungskanal 51 bzw. ein niederdruckseitiger Übertragungskanal 52 verbunden und im Grundkörper so ausgebildet, daß sie zwischen den Kammern 41 bzw. 42, zwischen denen die Mittelmembran 4 eingesetzt ist, und einer hochdruckseitigen Druckmeßkammer 71 bzw. einer niederdruckseitigen Druckmeßkammer 72, die durch die Meßmembran des Differenzdrucksensorelementes 6 geteilt sind, eine Verbindung herstellen.

Das Element 6 besteht beispielsweise aus einem Halbleiterdrucksensor, der den Differenzdruck zwischen den Druckmeßkammern 71 und 72 in ein elektrisches Signal umwandelt und dieses Ausgangssignal über einen Anschlußstift 8, der hermetisch abgedichtet ist, nach außen angibt.

Über die Verschlußkanäle 18 und 19 wird ein Druckübertragungsmedium 22, wie etwa ein Silikonöl, in die Aussparungen 14 und 15, in die Verbindungskanäle 16 und 17, in die Kammern 41 und 42, in die Übertragungskanäle 51 und 52 und in die Druckmeßkammern 71 und 72 des oben beschriebenen Aufbaus eingebracht, anschließend werden die Verschlußkanäle mittels Verschlußstiften 20 und 21 gegen die äußere Umgebung abgedichtet.

Das Übertragungsverhalten, also das Volumen einer jeden der Kammern 41, 42, 71 und 72, die Verbindungskanäle 16, 17, die Übertragungskanäle 51, 52, die Federkonstante der Mittelmembran 4 und der Fluidwiderstand des Übertragungsmediums werden so gewählt, daß auch bei einer schlagartigen Änderung und Einwirkung (Stoßdruck) der zu messenden Drücke P_H und P_L die im Drucksensorelement 6 vorgesehene Meßmembran nicht bricht. Im folgenden wird eine konkrete Ausführungsform eines solchen besonderen Aufbaus erläutert.

Wird das mechanische System des in Fig. 1 gezeigten Differenzdruckwertgebers in ein Modellsystem verwandelt, so kann es als Verbundsystem eines Fluid-Feder/Massen-Systems, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, dargestellt werden. Hierbei sind die Mittelmembran 4 und die das Drucksensorelement 6 enthaltende Meßmembran durch die Feder/Massensysteme gegeben, die aus den Massen m_c bzw. m_s, den Federkonstanten k_c bzw. k_s und den Oberflächen A_c bzw. A_s bestehen. Die hoch- und niederdruckseitigen Verbindungskanäle 16 und 17 werden jeweils durch Übertragungswegsysteme gebildet, die einen Innendurchmesser d_h, d_l, eine Länge l_h, l_l und eine Querschnittsfläche A_h, A_l aufweisen und einen Fluidwiderstand R_h, R_l und einen Fluidträgheitswiderstand L_h, L_l besitzen. Die hoch- und niederdruckseitigen Übertragungskanäle 51 und 52 werden jeweils von einem Übertragungswegsystem gebildet, das einen Innendurchmesser d_sh, d_sl, eine Länge l_sh, l_sl und eine Querschnittsfläche A_sh, A_sl aufweist und einen Fluidwiderstand R_sh, R_sl und einen Fluidträgheitswiderstand L_sh, L_sl besitzt. Die hoch- und niederdruckseitigen Kammern 41 und 42 besitzen ein Volumen V_ch, V_cl, die hoch- und niederdruckseitigen Druckmeßkammern 71 und 72 besitzen ein Volumen V_sh, V_sl. Die Dichte des in diesen Volumina eingeschlossenen Druckübertragungsmediums 22 ist ρ, dessen Elastizitätsmodul ist E, seine dynamische Viskosität ist η.

Jetzt wird in dem diese physikalischen Konstanten aufweisenden Verbundsystem des Fluid-Feder/Massensystems der Differenzdruck untersucht. Dieser Differenzdruck wird aufgefaßt als der zwischen den hochdruckseitigen und niederdruckseitigen Druckmeßkammern 71 und 72 auf beiden Seiten der das Differenzdrucksensorelement 6 aufweisenden Meßmembran auftretende Druckunterschied, wenn auf die hochdruckseitige Druckaufnahmemembran 12 oder die niederdruckseitige Druckaufnahmemembran 13 oder gleichzeitig sowohl auf die hoch- als auch auf die niederdruckseitige Druckaufnahmemembran 12 bzw. 13 eine schlagartige Druckänderung (Stoßdruck) einwirkt.

Hierbei wird angenommen, daß der zu messende Druck P_H bzw. P_L schrittweise auf die Druckaufnahmemembran 12 bzw. 13 einwirkt. In diesem Moment bewegt sich die Druckaufnahmemembran 12 zur Niederdruckseite oder zur Hochdruckseite und entläßt eine vorbestimmte Strömungsrate Q in den Verbindungskanal 16. Die vorbestimmte Strömungsrate Q wird im gleichen Moment von der Kammer 41 angesaugt, in die Kammer 42 und ferner in den Übertragungsweg 17 entlassen. Andererseits werden durch die Ausflußmenge der oben beschriebenen Strömungsrate Q die Drücke in den Kammern 41 und 42 bestimmt. Diese Drücke werden im allgemeinen durch die Fluidwiderstände R_h, R_l und die Fluidträgheitswiderstände L_h, L_l der Verbindungskanäle 16, 17 festgelegt. Wenn beispielsweise R_h«R_l und L_h«L_l ist, wird das Zeitintervall, in dem die Drücke in den Kammern 41 und 42 anfangs den gleichen Wert zeigen, lang. Die in diesen Kammern 41 und 42 auftretenden Strömungsraten und Drücke werden über die hoch- und niederdruckseitigen Übertragungskanäle 51 bzw. 52 an die hoch- bzw. niederdruckseitigen Druckmeßkammern 71 und 72 übertragen. Diese Übertragung wird durch die Fluidwiderstände R_sh, R_sl eines jeden der Übertragungskanäle 51 und 52, durch die Fluidträgheitswiderstände L_sh, L_sl und durch die Volumina V_sh, V_sl einer jeden Druckmeßkammer 71 und 72 festgelegt. Wenn beispielsweise R_sh«R_sl und L_sh«L_sl ist (wobei die Volumina V_sh und V_sl der Druckmeßkammmern 71 und 72 gleich groß sind), wird der Druck der Kammer 41 früher über den hochdruckseitigen Übertragungskanal 51 übertragen.

Da der Druck einer jeden Druckmeßkammer 71 bzw. 72, wie oben beschrieben, von den Parametern aller Bauelemente abhängt, ist seine Berechnung nicht leicht. Er wird daher bestimmt, indem erst die Übertragungsfunktion der Eingangs/Ausgangsbeziehung zwischen jedem Element bestimmt wird und dann die einzelnen Übertragungsfunktionen aufgebaut werden. Wenn anhand eines solchen Verfahrens Fig. 2 in ein Blockschaltbild umgewandelt wird, ergibt sich die Darstellung von Fig. 3.

Im Blockschaltbild von Fig. 3 ist der strukturelle oder funktionelle Zusammenhang zwischen den Massen, den Federkonstanten und den Oberflächen der das Drucksensorelement 6 aufweisenden Meßmembran und der Mittelmembran 4 der folgende:

m_c » m_s, k_s»k_c, A_c»A_s .

Daher wird die Meßmembran 6 als starrer Körper behandelt. Folglich kann das in Fig. 2 gezeigte Modellsystem in einem verhältnismäßig einfachen Blockschaltbild dargestellt werden, welches zwei primäre Verzögerungselemente, drei sekundäre Verzögerungselemente und zwei Integrationselemente enthält. In Fig. 3 stellen T_h bzw. T_l die Zeitkonstanten der Verbindungskanäle 16 und 17 und K_h bzw. K_l deren entsprechende Verstärkungen dar; diese Größen sind durch die folgenden Formeln gegeben:

wobei ν der Koeffizient der kinematischen Viskosität ist. Die Symbole K_h′, K_l′, G_h und G_l sind die Verstärkungen, die durch das Kompressionsverhältnis (1/E) des Druckübertragungsmediums, durch die Volumina V_ch und V_cl und die Oberfläche A_c der Mittelmembran 4 bestimmt werden und durch die folgenden Formeln gegeben sind:

Die Symbole ω_n und K_c sind die Werte für die Eigenfrequenzen und die Verstärkung der Mittelmembran 4; sie sind durch die folgenden Formeln gegeben:

Die Symbole K_sh, ω_nh, ξ_h, K_sl, ω_nl und ξ_l sind die Übertragungskonstanten der Leitungsanordnung, die durch jeden der Übertragungskanäle 51 und 52 und durch die Volumina V_sh und V_sl einer jeden Druckmeßkammer 71 und 72 festgelegt werden und durch die folgenden Formeln gegeben sind:

Wenn in einem solchen Blockschaltbild der zu messende Druck P_h oder P_L schlagartig angelegt wird oder sich schlagartig ändert oder wenn beide Drücke P_H und P_L schlagartig angelegt werden oder sich schlagartig ändern, so wird derjenige Zustand untersucht, indem der Differenzdruck ΔP zwischen den Druckmeßkammern 71 und 72 sich gemäß einer Ansprechwellenform verhält, die keine Hochfrequenzkomponente, wie sie in Fig. 4 (b) gezeigt ist, enthält, der optimale Wert für jedes Bauelement wird dann durch Änderung der physikalischen Parameter eines jeden Elements des in Fig. 3 gezeigten Blockschaltbildes bestimmt.

Um das Übertragungsverhalten des in Fig. 2 gezeigten Modells und des in Fig. 3 gezeigten Blockschaltbildes zu bestimmen, wird zunächst die Übertragung des Druckes einer jeden der durch die Mittelmembran 4 definierten Kammer 41 bzw. 42 untersucht. Diese Druckübertragung wird durch den Fluidwiderstand (R) eines jeden der zu den hoch- bzw. niederdruckseitigen Kammern 41 und 42 reichenden Verbindungskanäle 16 bzw. 17, durch den Fluidträgheitswiderstand (L) und durch das Volumen bestimmt. Daher wird die Untersuchung unter der Annahme ausgeführt, daß das Druckübertragungsmedium 22, das entweder von einer der hoch- oder niederdruckseitigen Aussparungen 14 bzw. 15 oder gleichzeitig von beiden Druckaufnahmeaussparungen einströmt, zur gegenüberliegenden Wirkseite so schnell wie möglich ausströmt. Die gleichmäßige Strömung des Druckübertragungsmediums beruht darauf, daß eine schnelle und normale Betätigung der Mittelmembran 4 erzielt und das Auftreten von übermäßigen Drücken in jeder Kammer 41 bzw. 42 verhindert wird.

Es wird daher zu allererst angestrebt, daß das durch die Verbindungskanäle 16 und 17 und die Kammern 41 und 42 gebildete Leitungsanordnungssystem einen Fluidwiderstand besitzt, der so klein wie möglich ist. Im allgemeinen ist jedoch durch die Stärke der Druckaufnahmemembranen 12 und 13, die für die Beherrschung statischer Überlasten vorgesehen sind, eine Grenze gegeben, so daß durch eine trickreiche Formgebung eines jeden Verbindungskanals 16 bzw. 17 ein Fluidwiderstand einer bestimmten Größe geschaffen werden muß. Daher besteht für die Minimierung des oben beschriebenen Fluidwiderstandes eine Grenze.

Es hat sich herausgestellt, daß das oben formulierte Ziel praktisch dadurch erreicht werden kann, daß die Strömung des Druckübertragungsmediums gleichmäßig gemacht und ein Fluidwiderstandswert geschaffen wird, der einen schnell veränderlichen Druck auch dann dämpfen kann, wenn ein solcher Druck in jeder Kammer 41 und 42 und in den von den Kammern 41 und 42 zu den Druckmeßkammmern 71 und 72 sich erstreckenden Übertragungskanäle 51 und 52 auftritt. Unter dieser Bedingung wird der Durchmesser d_i des Verbindungskanals 16 bzw. 17 wie folgt durch die physikalischen Konstanten des Druckübertragungsmediums und der Übertragungskanäle 51 und 52 dargestellt:

wobei i = h, l. Daraus ergibt sich:

Die obige Beschreibung erläutert, daß der schnell veränderliche Druck selbst nicht leicht an irgendeine der Druckmeßkammern 71, 72 übertragen werden kann. Nun wird beschrieben, wie die Übertragung einer Druckdifferenz verhindert wird, wenn zwischen den Kammern 41 bzw. 42 und den Druckmeßkammern 71 bzw. 72 ein schnell veränderlicher Druck als Differenzdruck auftritt.

Wenn ein schnell veränderlicher Druck P_H′ bzw. P_L′ in den hoch- bzw. niederdruckseitigen Kammern 41 bzw. 42 auftritt, werden diese Drücke P_H′, P_L′ über die hoch- bzw. niederdruckseitigen Übertragungskanäle 51 und 52 an die hoch- bzw. niederdruckseitigen Druckmeßkammern 71 und 72 übertragen. Zu diesem Zeitpunkt können die Drücke P_H′′ und P_L′′ der Druckmeßkammern 71 und 72 anhand des in Fig. 3 gezeigten Blockschaltbildes wie folgt ausgedrückt werden:

Wenn die Mittelmembran 4 kein hohes Ansprechvermögen besitzt, so daß sie auf eine schlagartige Druckänderung nicht anspricht, besitzen die Drücke P_H′ bzw. P_L′ der Kammern 41 bzw. 42 den gleichen Wert, was die schlechteste Bedingung darstellt. Da der schnell veränderliche Druck zu diesem Zeitpunkt maximal wird, tritt zwischen den Meßkammern 71 und 72 ein Differenzdruck P_H′′-P_L′′ auf. Wenn dieser Differenzdruck den Widerstandswert der das Differenzdrucksensorelement 6 enthaltenden Meßmembran übersteigt, wird die Meßmembran beschädigt. Um daher die Beschädigung der Meßmembran zu verhindern, wird das Übertragungsverhalten der Membran so gewählt, daß nach den oben beschriebenen Formeln kein nennenswerter Differenzdruck auftritt. Anders gesagt, in den oben angegebenen Relationsformeln wird den Leitungsanordnungskonstanten (der oben erwänten Übertragungsbeziehung), die durch die Formen und Volumina der Kammern 41 und 42, der Übertragungskanäle 51 und 52 und der Druckmeßkammern 71 und 72 bestimmt werden, für die Hochdruckseite und für die Niederdruckseite der gleiche Wert gegeben. Genauer liegt ein Angleich vor, wenn die folgenden Formeln (14) und (15) verwirklicht werden:

ω_nh = ω_nl (14)

K_sh = K_sl (15)

Anhand der Beziehungen der oben erwähnten Formeln (4) bis (9) können diese Formeln wie folgt umgeformt werden:

V_sl/V_sh = (d_sl/d_sh)² · (l_sh/l_sl) (16)

Wenn Form und Volumen eines jeden Leitungsanordnungssystems so bestimmt werden, daß die Bedingungsformel erfüllt wird, ist der an der Membran des Differenzdrucksensorelemetes 6 auftretende Druck kein Differenzdruck, so daß die Membran des Drucksensorelementes 6 nicht beschädigt werden kann.

Bei einem schlagartigen Druckanstieg oder einer schlagartigen Druckänderung kann also der sich ergebende Stoßdruck gleichzeitig an beide Seiten der das Differenzdrucksensorelement aufweisenden Meßmembran ohne Phasenunterschied übertragen werden, so daß kein übermäßiger Differenzdruck auf beide Seiten der Meßmembran einwirkt. Selbst wenn ein solcher Differenzdruck angelegt wird, ist dieser jedoch hinreichend gedämpft, so daß die Membran nicht beschädigt wird. Folglich wird die Lebensdauer des Differenzdruckwertgebers verbessert. Ferner kann während der Messung auch dann, wenn eine synchrone Druckschwankung sowohl auf der Hoch- als auch auf der Niederdruckseite auftritt, der pulsierende Differenzdruck gleichzeitig ohne Phasenunterschied übertragen werden, so daß bei der Differenzdruckmessung keinerlei Fehler auftritt, wodurch die Meßgenauigkeit des Differenzdruckwertgebers verbessert werden kann.

Claims (1)

1. Differenzdruckwertgeber mit
   Druckaufnahmemembranen (12, 13), die an beiden Seiten eines Grundkörpers (1) angeordnet sind, und mit einem Übertragungsmedium (22) gefüllte Aussparungen (14, 15) im Grundkörper (1) begrenzen,
   einer Mittelmembran (4), die zwischen den Druckaufnahmemembranen (12, 13) so angeordnet ist und im Inneren des Grundkörpers (1) zwei Kammern (41, 42) definiert;
   zwei Verbindungskanälen (16, 17), welche die beiden Kammern (41, 42) mit den zugehörigen Aussparungen (14, 15) verbinden, und
   einem Differenzdrucksensorelement (6), dessen Druckmeßkammern (71, 72) durch Übertragungskanäle (51, 52) mit den beiden Kammern (41, 42) verbunden sind und das den Differenzdruck der in den Druckmeßkammern (71, 72) herrschenden Drücke in ein elektrisches Signal umwandelt, wobei die eine Kammer (41), der eine Übertragungskanal (51) sowie die eine Druckmeßkammer (71) einem hochdruckseitigen und die andere Kammer (42), der andere Übertragungskanal (52) sowie die andere Druckmeßkammer (72) einem niederdruckseitigen Druckübertragungsweg zugeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser (d_i) des jeweiligen Verbindungskanals (16, 17) entsprechend der folgenden Beziehung bemessen ist: mit
   η = dynamische Viskosität des Übertragungsmediums,
   ν = kinematische Viskosität des Übertragungsmediums,
   E = Elastizitätsmodul des Übertragungsmediums,
   l_si = Länge des jeweiligen Übertragungskanals,
   V_si = Volumen der jeweiligen Druckmeßkammer,
   d_si = Durchmesser des jeweiligen Übertragungskanalsund daß die Verbindungskanäle (16, 17), die Kammern (41, 42), die Übertragungskanäle (51, 52) und die Druckmeßkammern (71, 72) derart dimensioniert sind und das Übertragungsmedium derart beschaffen ist, daß das Druckimpulsübertragungsverhalten der beiden Druckübertragungswege in bezug auf die Amplitude und die Phase gleich ist.