JPH0652213B2 - 差圧伝送路 - Google Patents
差圧伝送路Info
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- JPH0652213B2 JPH0652213B2 JP63218361A JP21836188A JPH0652213B2 JP H0652213 B2 JPH0652213 B2 JP H0652213B2 JP 63218361 A JP63218361 A JP 63218361A JP 21836188 A JP21836188 A JP 21836188A JP H0652213 B2 JPH0652213 B2 JP H0652213B2
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- chambers
- isolation
- chamber
- diaphragm
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は差圧伝送器に係り、特にオリフイス板等により
前後２点間に発生する圧力差を測定する差圧が急激に大
きく変化した場合でも差圧検出ダイアラフラムの破損を
防止するのに好適な構造の差圧伝送器に関するものであ
る。
前後２点間に発生する圧力差を測定する差圧が急激に大
きく変化した場合でも差圧検出ダイアラフラムの破損を
防止するのに好適な構造の差圧伝送器に関するものであ
る。
この種の従来の差圧伝送路の構成について第４図によつ
て説明する。同図において、高圧側導入口３２ａを介し
て被測定圧力ＰＨが、同時に低圧側導入口３２ｂを介し
て被測定圧力ＰＬがそれぞれ受圧ダイアフラム１２，１
３に導入されると、それぞれの圧力ＰＨ，ＰＬは各導通
路１６，１７を介してセンターダイアフラム４によつて
形成される隔離室４１，４２に加わる。このとき、セン
ターダイアフラム４は圧力の低い側にふくらみ（ＰＨ＞
ＰＬのときは低圧側にΔＶＦふくらむ）、このふくらみ
ΔＶＦによつて発生する圧力ΔＰ＝ＰＨ−ＰＬが高，低
圧側導圧路５１，５２を介して半導体圧力センサの如き
感圧素子６を設けた測定ダイアフラムの表裏に伝達さ
れ、差圧ΔＰに相応した電気出力に変換され、その出力
が外部に送出される。
て説明する。同図において、高圧側導入口３２ａを介し
て被測定圧力ＰＨが、同時に低圧側導入口３２ｂを介し
て被測定圧力ＰＬがそれぞれ受圧ダイアフラム１２，１
３に導入されると、それぞれの圧力ＰＨ，ＰＬは各導通
路１６，１７を介してセンターダイアフラム４によつて
形成される隔離室４１，４２に加わる。このとき、セン
ターダイアフラム４は圧力の低い側にふくらみ（ＰＨ＞
ＰＬのときは低圧側にΔＶＦふくらむ）、このふくらみ
ΔＶＦによつて発生する圧力ΔＰ＝ＰＨ−ＰＬが高，低
圧側導圧路５１，５２を介して半導体圧力センサの如き
感圧素子６を設けた測定ダイアフラムの表裏に伝達さ
れ、差圧ΔＰに相応した電気出力に変換され、その出力
が外部に送出される。
次に、圧力ＰＨ，ＰＬの差ΔＰが大きくなると、センタ
ーダイアフラム４はさらに低圧側にふくらみ、このふく
らみにより感圧素子６の出力も増大する。次いで、圧力
ＰＨ，ＰＬの差ΔＰがさらに大きくなると、受圧ダイア
フラム１２は、本体部材１の波形部分１２１に着座す
る。このため、体積移動量ΔＶＦはある程度差圧ΔＰが
大きくなると、ΔＶＦ→ΔＶF・maxなる一定値で停止
し、感圧素子６の出力も同時にある飽和出力状態とな
る。これは一般には、差圧伝送路においては、感圧素子
６には測定範囲を越える過大圧力差が印加される場合が
あるため、この場合でも測定ダイアフラムを破損させな
いようにする保護機構と呼ばれているものであり、構成
上必須の条件である。
ーダイアフラム４はさらに低圧側にふくらみ、このふく
らみにより感圧素子６の出力も増大する。次いで、圧力
ＰＨ，ＰＬの差ΔＰがさらに大きくなると、受圧ダイア
フラム１２は、本体部材１の波形部分１２１に着座す
る。このため、体積移動量ΔＶＦはある程度差圧ΔＰが
大きくなると、ΔＶＦ→ΔＶF・maxなる一定値で停止
し、感圧素子６の出力も同時にある飽和出力状態とな
る。これは一般には、差圧伝送路においては、感圧素子
６には測定範囲を越える過大圧力差が印加される場合が
あるため、この場合でも測定ダイアフラムを破損させな
いようにする保護機構と呼ばれているものであり、構成
上必須の条件である。
上記の原理を数式ならびに第５図にて説明する。差圧を
ΔＰ＝ＰＨ−ＰＬとし、センターダイアフラム４の圧力
体積定数をΦＣ、受圧ダイアフラム１２，１３の圧力体
積定数をΦSh，ΦSl，移動体積量をΔＶとすると、 ΔＰ＝ＰＨ−ＰＬ＝（ΦＣ＋２ΦＳ）・ΔＶ…(1) ここに、ΦSh＝ΦSl＝ΦＳとする。
ΔＰ＝ＰＨ−ＰＬとし、センターダイアフラム４の圧力
体積定数をΦＣ、受圧ダイアフラム１２，１３の圧力体
積定数をΦSh，ΦSl，移動体積量をΔＶとすると、 ΔＰ＝ＰＨ−ＰＬ＝（ΦＣ＋２ΦＳ）・ΔＶ…(1) ここに、ΦSh＝ΦSl＝ΦＳとする。
となる。(1)式において、ΔＶは０≦ΔＶＳ≦ΔＶF.max
であり、ΔＶＳは測定範囲内の移動液量、ΔＶF.maxは
最大移動液量（過負荷保護時）である。この入力とΔＶ
とΔＥの出力関係は、それぞれ第５図（ａ），（ｂ）に
示してある。
であり、ΔＶＳは測定範囲内の移動液量、ΔＶF.maxは
最大移動液量（過負荷保護時）である。この入力とΔＶ
とΔＥの出力関係は、それぞれ第５図（ａ），（ｂ）に
示してある。
ところで、上記の動作は、被測定圧力ＰＨ，ＰＬが静的
に負荷された場合であるが、実際のプラントにおいて
は、ＰＨ，ＰＬが急激に変化あるいは印加される場合が
あり、このときでも感圧素子６を設けた測定ダイアフラ
ムには許容値以上の差圧がかからないように保護する機
構を有する必要がある。例えば、差圧測定中にプラント
の何らかの条件によつて遮断弁を動作させ、急激に測定
流量を止めると、この測定ラインには急激な圧力上昇が
発生（一般にはウオータハンマ，スチームハンマと呼ば
れる衝撃圧）し、その圧力が差圧伝送器に加わり、しい
ては感圧素子６を設けた測定ダイアフラムを破損に至ら
しめる。このように、圧力ＰＨ，ＰＬが急激に上昇ある
いは変化した場合には、前述の過負荷保護機能は動作し
なくなるので、測定ダイアフラムを破損に至らしめる。
に負荷された場合であるが、実際のプラントにおいて
は、ＰＨ，ＰＬが急激に変化あるいは印加される場合が
あり、このときでも感圧素子６を設けた測定ダイアフラ
ムには許容値以上の差圧がかからないように保護する機
構を有する必要がある。例えば、差圧測定中にプラント
の何らかの条件によつて遮断弁を動作させ、急激に測定
流量を止めると、この測定ラインには急激な圧力上昇が
発生（一般にはウオータハンマ，スチームハンマと呼ば
れる衝撃圧）し、その圧力が差圧伝送器に加わり、しい
ては感圧素子６を設けた測定ダイアフラムを破損に至ら
しめる。このように、圧力ＰＨ，ＰＬが急激に上昇ある
いは変化した場合には、前述の過負荷保護機能は動作し
なくなるので、測定ダイアフラムを破損に至らしめる。
この大きな理由として、差圧伝送器内の感圧素子６に至
るまでの封入液２２の慣性及び抵抗、受圧ダイアフラム
１２，１３、センターダイアフラム４の慣性、ばね定
数、隔離室４１，４２、測定室７１，７２の体積などを
含めた流体−ばねマス系の非定常応答特性が考慮されて
いないため、高圧側，低圧側測定室に至る圧力伝達特性
が異なり、この圧力伝達特性差から生じる過大差圧が感
圧素子６を設けた測定ダイアフラムに印加されることが
上げられる。第６図にその応答特性例を示す。第６図
（ａ）は通常の過負荷機能が動作した場合の応答波形例
を示したものであり、入力ΔＰに対してほぼ一時遅れの
応答特性（定常応答）を示し、ΔＥで飽和する。ところ
が、第６図（ｂ）に示すように、入力ΔＰが急激に上昇
（衝撃圧）すると、応答の初期の部分に高周波成分を有
する複雑な応答波形（非定常応答）を呈する。この高周
波の応答波形において±ΔＥが測定ダイアフラムの耐圧
値以上になると、測定ダイアフラムが破損する。
るまでの封入液２２の慣性及び抵抗、受圧ダイアフラム
１２，１３、センターダイアフラム４の慣性、ばね定
数、隔離室４１，４２、測定室７１，７２の体積などを
含めた流体−ばねマス系の非定常応答特性が考慮されて
いないため、高圧側，低圧側測定室に至る圧力伝達特性
が異なり、この圧力伝達特性差から生じる過大差圧が感
圧素子６を設けた測定ダイアフラムに印加されることが
上げられる。第６図にその応答特性例を示す。第６図
（ａ）は通常の過負荷機能が動作した場合の応答波形例
を示したものであり、入力ΔＰに対してほぼ一時遅れの
応答特性（定常応答）を示し、ΔＥで飽和する。ところ
が、第６図（ｂ）に示すように、入力ΔＰが急激に上昇
（衝撃圧）すると、応答の初期の部分に高周波成分を有
する複雑な応答波形（非定常応答）を呈する。この高周
波の応答波形において±ΔＥが測定ダイアフラムの耐圧
値以上になると、測定ダイアフラムが破損する。
なお、これに関連する公知例として特開昭60−73426，6
0−73427，60−237337，60−238732号公報がある。
0−73427，60−237337，60−238732号公報がある。
上記従来技術は、被測定圧力ＰＨ，ＰＬが静的に変化し
た場合の過負荷保護機構のみ配慮されており、ＰＨ，Ｐ
Ｌのいずれか一方の急激な上昇または変化した場合の感
圧素子を設けた測定ダイアフラムの破損防止については
配慮されていないため、測定ダイアフラムが破損するこ
とがあるという問題があつた。
た場合の過負荷保護機構のみ配慮されており、ＰＨ，Ｐ
Ｌのいずれか一方の急激な上昇または変化した場合の感
圧素子を設けた測定ダイアフラムの破損防止については
配慮されていないため、測定ダイアフラムが破損するこ
とがあるという問題があつた。
本発明の目的は、上記欠点に鑑みてなされたもので、被
測定圧力の急激な上昇または変化に対して感圧素子を設
けた測定ダイアフラムの破損を防止し、信頼性，耐久性
を向上することができる差圧伝送器を提供することにあ
る。
測定圧力の急激な上昇または変化に対して感圧素子を設
けた測定ダイアフラムの破損を防止し、信頼性，耐久性
を向上することができる差圧伝送器を提供することにあ
る。
上記目的は、１つの導通路と隔離室と導圧路と測定室と
を有した第１管路系と、他の１つの導通路と隔離室と導
圧路と測定室とを有した第２管路系にそれぞれの管路系
の形状と体積より決定される管路定数と固有振動数を設
定し、上記第１管路系の隔離室と測定室の管路定数と上
記第２管路系の隔離室と測定室の管路定数とをそれぞれ
の形状と体積により変化させることにより上記第１管路
系の管路定数と上記第２管路系の管路定数を同一化して
圧力伝達特性をそろえ、上記第１，第２管路系の各導通
路と各隔離室の管路抵抗を上記各隔離室と各測定室より
形成される管路定数より少なくとも同等以上に構成して
達成するようにした。
を有した第１管路系と、他の１つの導通路と隔離室と導
圧路と測定室とを有した第２管路系にそれぞれの管路系
の形状と体積より決定される管路定数と固有振動数を設
定し、上記第１管路系の隔離室と測定室の管路定数と上
記第２管路系の隔離室と測定室の管路定数とをそれぞれ
の形状と体積により変化させることにより上記第１管路
系の管路定数と上記第２管路系の管路定数を同一化して
圧力伝達特性をそろえ、上記第１，第２管路系の各導通
路と各隔離室の管路抵抗を上記各隔離室と各測定室より
形成される管路定数より少なくとも同等以上に構成して
達成するようにした。
各受圧ダイアフラム部分に形成される受圧室からそれて
高，低圧側隔離室に至る各導通路の管路抵抗削減は、セ
ンターダイアフラムの応答特性をよくする。それによつ
て各隔離室内には過渡な圧力発生を起こさないようにす
る。さらに、高，低圧側隔離室から高，低圧側測定室に
至る各導圧路の管路定数を一致させることは、各隔離室
からの圧力伝達特性を合致させることができるので、各
測定室に至る時間，位相，振幅の差異を生じないように
できる。それによつて、各測定室内には、過度は過大圧
力が発生することがなく、測定ダイアフラムを破損する
ことがない。
高，低圧側隔離室に至る各導通路の管路抵抗削減は、セ
ンターダイアフラムの応答特性をよくする。それによつ
て各隔離室内には過渡な圧力発生を起こさないようにす
る。さらに、高，低圧側隔離室から高，低圧側測定室に
至る各導圧路の管路定数を一致させることは、各隔離室
からの圧力伝達特性を合致させることができるので、各
測定室に至る時間，位相，振幅の差異を生じないように
できる。それによつて、各測定室内には、過度は過大圧
力が発生することがなく、測定ダイアフラムを破損する
ことがない。
以下本発明の一実施例を第１図〜第３図を用いて詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の差圧伝送器の一実施例を示す縦断面図
である。第１図において、１は両側面部を波形形状に形
成してある本体部材で、この本体部材１の両側面部には
可撓性に富んだ高圧側受圧ダイアフラム１２と低圧側受
圧ダイアフラム１３の周囲が密着固定されている。本体
部材１の波形形状部（受圧ダイアフラム１２，１３がそ
れぞれ密着するように受圧ダイアフラム１２，１３の波
形形状と同一の波形形状に形成してある）と各受圧ダイ
アフラム１２，１３間にはそれぞれ高圧側受圧室１４，
低圧側受圧室１５が形成されている。本体部材１には、
高圧側導通路１６ならびに低圧側導通路１７が設けてあ
り、それらの延長上はセンターダイアフラム４によつて
区分された高圧側隔離室４１と低圧側隔離室４２とにそ
れぞれ連通してある。さらに、センターダイアフラム４
を挾んだ２つの隔離室４１，４２は、感圧素子６を設け
た測定ダイアフラムによつて区分された高圧側測定室７
１と低圧側測定室７２とにそれぞれ連通させるために本
体部材１内に設けた高圧側導圧路５１と低圧側導圧路５
２を有する。感圧素子６は、例えば、測定室７１と７２
との差圧を電気信号に変換する半導体圧力センサであ
り、この出力信号ハーメチツクシールピン８を介して外
部に取り出すようにしてある。
である。第１図において、１は両側面部を波形形状に形
成してある本体部材で、この本体部材１の両側面部には
可撓性に富んだ高圧側受圧ダイアフラム１２と低圧側受
圧ダイアフラム１３の周囲が密着固定されている。本体
部材１の波形形状部（受圧ダイアフラム１２，１３がそ
れぞれ密着するように受圧ダイアフラム１２，１３の波
形形状と同一の波形形状に形成してある）と各受圧ダイ
アフラム１２，１３間にはそれぞれ高圧側受圧室１４，
低圧側受圧室１５が形成されている。本体部材１には、
高圧側導通路１６ならびに低圧側導通路１７が設けてあ
り、それらの延長上はセンターダイアフラム４によつて
区分された高圧側隔離室４１と低圧側隔離室４２とにそ
れぞれ連通してある。さらに、センターダイアフラム４
を挾んだ２つの隔離室４１，４２は、感圧素子６を設け
た測定ダイアフラムによつて区分された高圧側測定室７
１と低圧側測定室７２とにそれぞれ連通させるために本
体部材１内に設けた高圧側導圧路５１と低圧側導圧路５
２を有する。感圧素子６は、例えば、測定室７１と７２
との差圧を電気信号に変換する半導体圧力センサであ
り、この出力信号ハーメチツクシールピン８を介して外
部に取り出すようにしてある。
このような構成において、各受圧室１４，１５、各導通
路１６，１７、各隔離室４１，４２、各導圧路５１，５
２、各測定室７１，７２にはそれぞれ封入液２２とし
て、例えば、シリコンオイルが封入口１８，１９より注
入され、シールピン２０，２１によつて外気と封止され
ている。
路１６，１７、各隔離室４１，４２、各導圧路５１，５
２、各測定室７１，７２にはそれぞれ封入液２２とし
て、例えば、シリコンオイルが封入口１８，１９より注
入され、シールピン２０，２１によつて外気と封止され
ている。
前述の各隔離室４１，４２、各測定室７１，７２、各導
通路１６，１７、各導圧路５１，５２を構成する際に、
特に導通路１６，１７と導圧路５１，５２には、管路系
の液体抵抗及び管路定数の選定により管路系の形状なら
びに各室４１，４２，７１，７２の容積及びセンターダ
イアフラム４のばね定数が選定され、急激な被測定圧力
ＰＨ，ＰＬの変化及び印加（衝撃圧）があつた場合にも
感圧素子を設けた測定ダイアフラムを破損させないよう
にしてある。以下、その原理と具体例について説明す
る。
通路１６，１７、各導圧路５１，５２を構成する際に、
特に導通路１６，１７と導圧路５１，５２には、管路系
の液体抵抗及び管路定数の選定により管路系の形状なら
びに各室４１，４２，７１，７２の容積及びセンターダ
イアフラム４のばね定数が選定され、急激な被測定圧力
ＰＨ，ＰＬの変化及び印加（衝撃圧）があつた場合にも
感圧素子を設けた測定ダイアフラムを破損させないよう
にしてある。以下、その原理と具体例について説明す
る。
第１図に示す差圧伝送器の構造をモデル化すると、第２
図の流体−ばね・マス系の連成系として表現できる。こ
こで、センターダイアフラム４と感圧素子６を含む測定
ダイアフラムは、それぞれ質量ｍｃ，ｍｓ、ばね常数ｋ
ｃ，ｋｓ、表面積Ａｃ，Ａｓとしたばね・マス系とす
る。高，低圧側導通路１６，１７はそれぞれ内径ｄｈ，
ｄｌ、長さｌｈ，ｌｌ、断面積Ａｈ，Ａｌの管路で形成
される流体抵抗Ｒｈ，Ｒｌ、流体の慣性抵抗Ｌｈ，Ｌｌ
とする。高，低圧側導圧路５１，５２は、上述の導通路
１６，１７と同様に、内径ｄsh，ｄsl、長さｌsh，
ｌsl、断面積Ａsh，Ａslの管路で形成される流体抵抗Ｒ
sh，Ｒsl、流体の慣性抵抗Ｌsh，Ｌslとする。高，低圧
側隔離室４１，４２の体積をそれぞれＶch，Ｖclとし、
高，低圧側測定室７１，７２の体積をそれぞれＶsh，Ｖ
slとする。内部に封入されている封入液２２の密度を
ρ、体積弾性率をＫ、粘度をμとする。かかる物理定数
を有する流体−ばね・マス系の連成系において、高圧側
の受圧ダイアフラム１２あるいは低圧側の受圧ダイアフ
ラム１３あるいは両方の受圧ダイアフラム１２，１３に
同時に急激な圧力変化（衝撃圧）が印加されたとき、感
圧素子６を有する測定ダイアフラムの両側の高，低圧側
測定室７１，７２に発生する圧力の差である差圧を調べ
てみる。いま、受圧ダイアフラム１２または１３に被測
定圧力ＰＨまたはＰＬがステツプ状に印加されたとす
る。このとき、受圧ダイアフラム１２は低圧側または高
圧側に移動し、導通路１６の所定の流量Ｑを排出する。
この所定の流量Ｑは隔離室４１に吸収され、同時に隔離
室４２にも排出され、さらに導通路１７に排出される。
一方、隔離室４１，４２の圧力は、上記流量Ｑの排出量
によつて決定される。これらの圧力は、一般には導通路
１６または１７の液体抵抗Ｒ、流体の慣性抵抗Ｌによつ
て決定され、仮にＲｈ，Ｌｈ≪Ｒｌ，Ｌｌのとき、隔離
室４１，４２の圧力はその初期段階で同じ値を呈する時
間が長くなる。一方、これらの隔離室４１，４２に発生
した流量と圧力は、高，低圧側導圧路５１，５２を介し
て高，低圧側測定室７１，７２に伝達される。この伝達
は導通路１６，１７の挙動と同様に各導圧路５１，５２
の流体抵抗Ｒｓ、流体の慣性抵抗Ｌｓと測定室７１，７
２の体積Ｖｓによつて決まる。仮にＲsh，Ｌsh≪Ｒsl，
Ｌslのとき（測定室７１，７２の体積Ｖsh，Ｖslは同
じ）、高圧側導圧路５１の方が隔離室４１の圧力を早く
伝達することになる。
図の流体−ばね・マス系の連成系として表現できる。こ
こで、センターダイアフラム４と感圧素子６を含む測定
ダイアフラムは、それぞれ質量ｍｃ，ｍｓ、ばね常数ｋ
ｃ，ｋｓ、表面積Ａｃ，Ａｓとしたばね・マス系とす
る。高，低圧側導通路１６，１７はそれぞれ内径ｄｈ，
ｄｌ、長さｌｈ，ｌｌ、断面積Ａｈ，Ａｌの管路で形成
される流体抵抗Ｒｈ，Ｒｌ、流体の慣性抵抗Ｌｈ，Ｌｌ
とする。高，低圧側導圧路５１，５２は、上述の導通路
１６，１７と同様に、内径ｄsh，ｄsl、長さｌsh，
ｌsl、断面積Ａsh，Ａslの管路で形成される流体抵抗Ｒ
sh，Ｒsl、流体の慣性抵抗Ｌsh，Ｌslとする。高，低圧
側隔離室４１，４２の体積をそれぞれＶch，Ｖclとし、
高，低圧側測定室７１，７２の体積をそれぞれＶsh，Ｖ
slとする。内部に封入されている封入液２２の密度を
ρ、体積弾性率をＫ、粘度をμとする。かかる物理定数
を有する流体−ばね・マス系の連成系において、高圧側
の受圧ダイアフラム１２あるいは低圧側の受圧ダイアフ
ラム１３あるいは両方の受圧ダイアフラム１２，１３に
同時に急激な圧力変化（衝撃圧）が印加されたとき、感
圧素子６を有する測定ダイアフラムの両側の高，低圧側
測定室７１，７２に発生する圧力の差である差圧を調べ
てみる。いま、受圧ダイアフラム１２または１３に被測
定圧力ＰＨまたはＰＬがステツプ状に印加されたとす
る。このとき、受圧ダイアフラム１２は低圧側または高
圧側に移動し、導通路１６の所定の流量Ｑを排出する。
この所定の流量Ｑは隔離室４１に吸収され、同時に隔離
室４２にも排出され、さらに導通路１７に排出される。
一方、隔離室４１，４２の圧力は、上記流量Ｑの排出量
によつて決定される。これらの圧力は、一般には導通路
１６または１７の液体抵抗Ｒ、流体の慣性抵抗Ｌによつ
て決定され、仮にＲｈ，Ｌｈ≪Ｒｌ，Ｌｌのとき、隔離
室４１，４２の圧力はその初期段階で同じ値を呈する時
間が長くなる。一方、これらの隔離室４１，４２に発生
した流量と圧力は、高，低圧側導圧路５１，５２を介し
て高，低圧側測定室７１，７２に伝達される。この伝達
は導通路１６，１７の挙動と同様に各導圧路５１，５２
の流体抵抗Ｒｓ、流体の慣性抵抗Ｌｓと測定室７１，７
２の体積Ｖｓによつて決まる。仮にＲsh，Ｌsh≪Ｒsl，
Ｌslのとき（測定室７１，７２の体積Ｖsh，Ｖslは同
じ）、高圧側導圧路５１の方が隔離室４１の圧力を早く
伝達することになる。
このように、各測定室７１，７２の圧力は、すべての構
成要素のパラメータに左右されるので、簡単には算出で
きないため、各要素間で入力−出力関係を求めた伝達関
係を求め、これの個々の伝達関数を組み上げる方法によ
り求める。かかる方法により第２図をブロツク線図化す
ると第３図のように表現できる。
成要素のパラメータに左右されるので、簡単には算出で
きないため、各要素間で入力−出力関係を求めた伝達関
係を求め、これの個々の伝達関数を組み上げる方法によ
り求める。かかる方法により第２図をブロツク線図化す
ると第３図のように表現できる。
第３図に作成するに当り、構成上または機能上感圧素子
６を有する測定ダイアフラムとセンターダイアフラム４
の質量，ばね定数，表面積の大小関係は、ｍｃ≫ｍｓ，
ｋｓ≫ｋｃ，Ａｃ≫Ａｓとなるため、測定ダイアフラム
は剛性として扱つた。このため、第２図のモデルは、比
較的簡単なブロツク線図で表現でき、一次遅れ要素が２
つと２次遅れ要素が３つと積分要素が２つで表わされ
る。第３図中、Ｔｈ，Ｔｌは各導通路１６，１７の時定
数であり、Ｋｈ，Ｋｌのそのゲインであり、 ここに、ν；動粘性係数 で与えられ、Ｋｈ′，Ｋｌ′は封入液２２の圧縮率（１
／Ｋ）と隔離室４１，４２の体積Ｖch，Ｖclとセンター
ダイアフラム４の表面積Ａｃで決まるゲインであり、 で与えられ、ωｎ，Ｋｃはセンターダイアフラム４の固
有振動数とゲインであり、 で与えられ、Ｋsh，ωnh，Ｓｈ，Ｋsl，ωnl，ξｌは各
導圧路５１，５２と各測定室７１，７２の体積Ｖsh，Ｖ
slで決定される管路伝達定数であり、 で与えられる。
６を有する測定ダイアフラムとセンターダイアフラム４
の質量，ばね定数，表面積の大小関係は、ｍｃ≫ｍｓ，
ｋｓ≫ｋｃ，Ａｃ≫Ａｓとなるため、測定ダイアフラム
は剛性として扱つた。このため、第２図のモデルは、比
較的簡単なブロツク線図で表現でき、一次遅れ要素が２
つと２次遅れ要素が３つと積分要素が２つで表わされ
る。第３図中、Ｔｈ，Ｔｌは各導通路１６，１７の時定
数であり、Ｋｈ，Ｋｌのそのゲインであり、 ここに、ν；動粘性係数 で与えられ、Ｋｈ′，Ｋｌ′は封入液２２の圧縮率（１
／Ｋ）と隔離室４１，４２の体積Ｖch，Ｖclとセンター
ダイアフラム４の表面積Ａｃで決まるゲインであり、 で与えられ、ωｎ，Ｋｃはセンターダイアフラム４の固
有振動数とゲインであり、 で与えられ、Ｋsh，ωnh，Ｓｈ，Ｋsl，ωnl，ξｌは各
導圧路５１，５２と各測定室７１，７２の体積Ｖsh，Ｖ
slで決定される管路伝達定数であり、 で与えられる。
かかるブロツク線図において、被測定圧力ＰＨ，または
ＰＬあるいはＰＨ，ＰＬが同時に急激に印加または変化
した場合の各測定室７１，７２間の圧力差ΔＰが第５図
（ｂ）のように高周波成分を含まない応答波形にする条
件を見い出すことにより問題を解決することができる。
解決策としては、第３図のブロツク線図において、各要
素の物理パラメータを変化させて、その要素毎の最適値
を求めればよい。要素毎の最適値を大形計算機により各
種パラメータを変化させ、その応答を検討することによ
り決定することは容易であるが、設計上の指針とはなか
なかなり難い。このため、第３図のブロツク線図をもと
に、簡易的、かつ、高精度の問題解決のアプローチを検
討した。
ＰＬあるいはＰＨ，ＰＬが同時に急激に印加または変化
した場合の各測定室７１，７２間の圧力差ΔＰが第５図
（ｂ）のように高周波成分を含まない応答波形にする条
件を見い出すことにより問題を解決することができる。
解決策としては、第３図のブロツク線図において、各要
素の物理パラメータを変化させて、その要素毎の最適値
を求めればよい。要素毎の最適値を大形計算機により各
種パラメータを変化させ、その応答を検討することによ
り決定することは容易であるが、設計上の指針とはなか
なかなり難い。このため、第３図のブロツク線図をもと
に、簡易的、かつ、高精度の問題解決のアプローチを検
討した。
第２図，第３図のモデル及びブロツク線図において、非
定常の応答特性を決定するには、まず、第１のセンター
ダイアフラムによつて形成される各隔離室４１，４２の
圧力挙動を明確にすることである。この圧力挙動は、高
圧側及び低圧側隔離室４１，４２に至る各導通路１６，
１７の流体抵抗Ｒ、流体の慣性抵抗Ｌと体積により決定
される。これは、高圧側または低圧側のいずれか一方か
らあるいは同時に両側の受圧室１４，１５から流入する
封入液２２をいかに作用側の反対側に早く流出させるか
であり、この流れをよくすることは、センターダイアフ
ラム４の動きを早く正常動作に至らしめ、各隔離室４
１，４２に過渡な圧力発生を起こさないことを意味す
る。
定常の応答特性を決定するには、まず、第１のセンター
ダイアフラムによつて形成される各隔離室４１，４２の
圧力挙動を明確にすることである。この圧力挙動は、高
圧側及び低圧側隔離室４１，４２に至る各導通路１６，
１７の流体抵抗Ｒ、流体の慣性抵抗Ｌと体積により決定
される。これは、高圧側または低圧側のいずれか一方か
らあるいは同時に両側の受圧室１４，１５から流入する
封入液２２をいかに作用側の反対側に早く流出させるか
であり、この流れをよくすることは、センターダイアフ
ラム４の動きを早く正常動作に至らしめ、各隔離室４
１，４２に過渡な圧力発生を起こさないことを意味す
る。
従つて、第１には各導通路１６，１７と各隔離室４１，
４２で構成される管路系において、その流体抵抗が極力
小さいことが望ましい。しかしながら、一般には、静的
な過負荷保護機能時に受圧ダイアフラム１２，１３の強
度がある所定の圧力値しかないため、各導通路１６，１
７は、所定の流体抵抗を有する形状に設置する必要があ
り、上述の流体抵抗を極力小さくすることには限度があ
るが、次に述べる範囲にあるならば、実用上問題ない。
すなわち、各隔離室４１，４２に過渡的な圧力が発生し
ても、その圧力を減衰させるだけの流体抵抗値を隔離室
４１，４２から測定室７１，７２に至る導圧路５１，５
２内に具備させることにより達成できる。前述の各パラ
メータの物理定数よりその条件は、 となる。各条件を満足する各導通路１６，１７を構成す
れば、前述のように各隔離室４１，４２内の過渡圧力を
測定室７１，７２に伝達するのを減衰させることができ
る。さらに、各隔離室４１，４２内に過渡的圧力が発生
しても、その圧力差を各測定室７１，７２内に差圧とし
て伝達しないようにすれば、その効果はさらに大きくな
る。以下、その手法について説明する。
４２で構成される管路系において、その流体抵抗が極力
小さいことが望ましい。しかしながら、一般には、静的
な過負荷保護機能時に受圧ダイアフラム１２，１３の強
度がある所定の圧力値しかないため、各導通路１６，１
７は、所定の流体抵抗を有する形状に設置する必要があ
り、上述の流体抵抗を極力小さくすることには限度があ
るが、次に述べる範囲にあるならば、実用上問題ない。
すなわち、各隔離室４１，４２に過渡的な圧力が発生し
ても、その圧力を減衰させるだけの流体抵抗値を隔離室
４１，４２から測定室７１，７２に至る導圧路５１，５
２内に具備させることにより達成できる。前述の各パラ
メータの物理定数よりその条件は、 となる。各条件を満足する各導通路１６，１７を構成す
れば、前述のように各隔離室４１，４２内の過渡圧力を
測定室７１，７２に伝達するのを減衰させることができ
る。さらに、各隔離室４１，４２内に過渡的圧力が発生
しても、その圧力差を各測定室７１，７２内に差圧とし
て伝達しないようにすれば、その効果はさらに大きくな
る。以下、その手法について説明する。
高圧側，低圧側隔離室４１，４２に過渡的圧力ＰＨ′，
ＰＬ′が発生したとする。これらの圧力ＰＨ′，ＰＬ′
は高圧側導圧路５１，低圧側導圧路５２を介して高圧側
測定室７１，低圧側測定室７２に伝達される。このと
き、各測定室７１，７２の圧力をそれぞれＰＨ″，
ＰＬ″とすると、第３図のブロツク線図より、 となる。上述の関係式において、各隔離室４１，４２の
圧力をＰＨ′＝ＰＬ′（本条件は最悪値となる）とする
と（本条件は過渡圧力の最大値となる）、測定室７１，
７２間にはＰＨ″−ＰＬ″差圧が発生することになる。
この差圧が感圧素子６を有する測定ダイアフラムの耐圧
値以上になると、測定ダイアフラムが破損する。従つ
て、破損を防止するには、上述の関係式において、その
固有振動数とゲインを全く同一に形成すれば、見掛上の
差圧は発生しないことがわかる。すなわち、上述の関係
式より各導圧路５１，５２の形状と各測定室７１，７２
の体積より決定される管路定数（上述の伝達関係）を同
一化する。具体的には各管路系の固有振動数とゲインを
同一化すればよい。この条件式は、 ωnH＝ωnl……(15) かつ、 Ｋsh＝Ｋsl……(16) であり、このとき、(5)〜(10)式の関係より、 となる。
ＰＬ′が発生したとする。これらの圧力ＰＨ′，ＰＬ′
は高圧側導圧路５１，低圧側導圧路５２を介して高圧側
測定室７１，低圧側測定室７２に伝達される。このと
き、各測定室７１，７２の圧力をそれぞれＰＨ″，
ＰＬ″とすると、第３図のブロツク線図より、 となる。上述の関係式において、各隔離室４１，４２の
圧力をＰＨ′＝ＰＬ′（本条件は最悪値となる）とする
と（本条件は過渡圧力の最大値となる）、測定室７１，
７２間にはＰＨ″−ＰＬ″差圧が発生することになる。
この差圧が感圧素子６を有する測定ダイアフラムの耐圧
値以上になると、測定ダイアフラムが破損する。従つ
て、破損を防止するには、上述の関係式において、その
固有振動数とゲインを全く同一に形成すれば、見掛上の
差圧は発生しないことがわかる。すなわち、上述の関係
式より各導圧路５１，５２の形状と各測定室７１，７２
の体積より決定される管路定数（上述の伝達関係）を同
一化する。具体的には各管路系の固有振動数とゲインを
同一化すればよい。この条件式は、 ωnH＝ωnl……(15) かつ、 Ｋsh＝Ｋsl……(16) であり、このとき、(5)〜(10)式の関係より、 となる。
各条件式を満足するように各管路系の形状と体積を決定
することにより、各隔離室４１，４２に発生した圧力は
感圧素子６を有する測定ダイアフラム上では全く同一の
ため、過大差圧を発生することがないので、破損するこ
とは全くない。
することにより、各隔離室４１，４２に発生した圧力は
感圧素子６を有する測定ダイアフラム上では全く同一の
ため、過大差圧を発生することがないので、破損するこ
とは全くない。
かかる手法により構成した差圧伝送器の具体例を第１図
により説明する。第１図において、感圧素子６を有する
測定ダイアフラムはその構成上、高圧側，低圧側測定室
７１，７２の体積が異なり、各導圧路５１，５２の形状
（径，長さ）が異なる。このとき、各導通路１６，１
７、各導圧路５１，５２には管路抵抗，定数が前述の原
理にもとづいて設定される。いま、高圧側導圧路５１と
高圧側測定室７１と低圧側導圧路５２の長さと低圧側測
定室７２の体積が決つており、このとき、低圧側導圧路
５２の径と各導通路１６，１７の最小径を決定する。
により説明する。第１図において、感圧素子６を有する
測定ダイアフラムはその構成上、高圧側，低圧側測定室
７１，７２の体積が異なり、各導圧路５１，５２の形状
（径，長さ）が異なる。このとき、各導通路１６，１
７、各導圧路５１，５２には管路抵抗，定数が前述の原
理にもとづいて設定される。いま、高圧側導圧路５１と
高圧側測定室７１と低圧側導圧路５２の長さと低圧側測
定室７２の体積が決つており、このとき、低圧側導圧路
５２の径と各導通路１６，１７の最小径を決定する。
高圧側導圧路５１の内径ｄsh＝３mm、長さｌsh＝５０m
m，低圧側導圧路５２の内径ｄsl，長さｌsl＝２０mm，
高圧側測定室７１の体積Ｖsh＝１cc，低圧側測定室７２
の体積Ｖsl＝0.1cc、高・低圧側導通路１６，１７の半
径ｄｈ，ｄｌ（ただし、Ｖch）のとき、低圧側導圧路５
２の内径は、 となり、高・低圧側導通路１６，１７の最小内径は、 ただし、封入液２２の物理常数をＫ＝５０００kgf／c
m2，ν＝0.3cm2／ｓ，μ＝2.9×１０−７kgf・ｓ／cm2
とした。
m，低圧側導圧路５２の内径ｄsl，長さｌsl＝２０mm，
高圧側測定室７１の体積Ｖsh＝１cc，低圧側測定室７２
の体積Ｖsl＝0.1cc、高・低圧側導通路１６，１７の半
径ｄｈ，ｄｌ（ただし、Ｖch）のとき、低圧側導圧路５
２の内径は、 となり、高・低圧側導通路１６，１７の最小内径は、 ただし、封入液２２の物理常数をＫ＝５０００kgf／c
m2，ν＝0.3cm2／ｓ，μ＝2.9×１０−７kgf・ｓ／cm2
とした。
となる。
これらの形状を満足するものは、高圧側，低圧側測定室
７１，７２に至る管路系の圧力伝達特性が同一に設定さ
れているため、第６図（ｂ）のような非定常の応答とは
ならない。すなわち、例えば、高圧側に急激な圧力変化
（衝撃波）が発生すると、その圧力は受圧室１４，導通
路１６，隔離室４１，導圧路５１，測定室７１の封入液
２２を介して感圧素子６を有する測定ダイアフラムの高
圧側に加えられる。一方、隔離室４１の圧力は、同時に
低圧側の隔離室４２に発生し、その圧力が導圧路５２，
測定室７２の封入液２２を介して感圧素子６を有する測
定ダイアフラムの低圧側に加えられる。このとき、前述
のように、各導圧路５１，５２、各隔離室４１，４２、
各導通路１６，１７、各測定室７１，７２の形状，体積
が異なると、それらの管路抵抗または管路常数が異な
り、感圧素子６を有する測定ダイアフラムの高圧側，低
圧側に振幅，位相の異なる圧力が発生し、その圧力差が
測定ダイアフラムの耐圧値以上になると、測定ダイアフ
ラムは破損する。ところが、本発明の実施例では、各導
圧路５１，５２に各測定室７１，７２の体積に応じて管
路定数が同一の形状を与えている。さらに、各隔離室４
１，４２に発生する圧力を極力減衰できる各導通路１
６，１７の形状をも与えている。従つて、感圧素子６を
有する測定ダイアフラムまでの高圧側，低圧側の圧力伝
達速度及び振幅を同一に設定でき、かつ、過渡圧力を極
力減衰できるため、測定ダイアフラムの高圧側と低圧側
に過渡圧力を同時に加えることができるとともに、その
絶対値を小さく押えることができ、測定ダイアフラムに
は過大な圧力差がかかることは発生しなく、破損を防止
できる。
７１，７２に至る管路系の圧力伝達特性が同一に設定さ
れているため、第６図（ｂ）のような非定常の応答とは
ならない。すなわち、例えば、高圧側に急激な圧力変化
（衝撃波）が発生すると、その圧力は受圧室１４，導通
路１６，隔離室４１，導圧路５１，測定室７１の封入液
２２を介して感圧素子６を有する測定ダイアフラムの高
圧側に加えられる。一方、隔離室４１の圧力は、同時に
低圧側の隔離室４２に発生し、その圧力が導圧路５２，
測定室７２の封入液２２を介して感圧素子６を有する測
定ダイアフラムの低圧側に加えられる。このとき、前述
のように、各導圧路５１，５２、各隔離室４１，４２、
各導通路１６，１７、各測定室７１，７２の形状，体積
が異なると、それらの管路抵抗または管路常数が異な
り、感圧素子６を有する測定ダイアフラムの高圧側，低
圧側に振幅，位相の異なる圧力が発生し、その圧力差が
測定ダイアフラムの耐圧値以上になると、測定ダイアフ
ラムは破損する。ところが、本発明の実施例では、各導
圧路５１，５２に各測定室７１，７２の体積に応じて管
路定数が同一の形状を与えている。さらに、各隔離室４
１，４２に発生する圧力を極力減衰できる各導通路１
６，１７の形状をも与えている。従つて、感圧素子６を
有する測定ダイアフラムまでの高圧側，低圧側の圧力伝
達速度及び振幅を同一に設定でき、かつ、過渡圧力を極
力減衰できるため、測定ダイアフラムの高圧側と低圧側
に過渡圧力を同時に加えることができるとともに、その
絶対値を小さく押えることができ、測定ダイアフラムに
は過大な圧力差がかかることは発生しなく、破損を防止
できる。
一方、前述の急激な圧力（衝撃波圧力）が低圧側あるい
は高圧側または高圧側，低圧側同時に加えられても、測
定ダイアフラムの高圧側，低圧側に同時に、かつ、減衰
させて加えられるため、測定ダイアフラムを破損するこ
とはない。
は高圧側または高圧側，低圧側同時に加えられても、測
定ダイアフラムの高圧側，低圧側に同時に、かつ、減衰
させて加えられるため、測定ダイアフラムを破損するこ
とはない。
なお、本実施例では、低圧側導圧路５２の形状を一様な
短管形状として例示してあるが、高圧側導圧路５１と同
形状（同径）のものでも、低圧側導圧路５１に原理式に
基づく所定の絞りを具備させてもその効果は変らない。
また、本実施例では、高圧側の管路抵抗，定数より低圧
側の導圧路５２または導通路１７を決定しているが、逆
に低圧側の管路抵抗，定数より原理式に基づいて高圧側
の管路抵抗，定数を決定してもその効果は全く変らな
い。
短管形状として例示してあるが、高圧側導圧路５１と同
形状（同径）のものでも、低圧側導圧路５１に原理式に
基づく所定の絞りを具備させてもその効果は変らない。
また、本実施例では、高圧側の管路抵抗，定数より低圧
側の導圧路５２または導通路１７を決定しているが、逆
に低圧側の管路抵抗，定数より原理式に基づいて高圧側
の管路抵抗，定数を決定してもその効果は全く変らな
い。
以上説明したように、本発明によれば、急激な圧力上昇
あるいは変化が生じても、感圧素子を有する測定ダイア
フラムの両面にその衝撃圧を位相差なしで同時に伝達で
き、かつ、その圧力を減衰させて伝達できるので、測定
ダイアフラムを破損させることがなく、このため、差圧
伝送器の耐久性の向上，保守性の向上に多大の効果があ
り、さらに、高圧側，低圧側に同期的な圧力変動がある
差圧測定時にもその脈動差圧を位相なしで同時に伝達で
きるので、差圧測定に誤差が発生することがなく、差圧
伝送器の測定精度を向上できるという効果がある。
あるいは変化が生じても、感圧素子を有する測定ダイア
フラムの両面にその衝撃圧を位相差なしで同時に伝達で
き、かつ、その圧力を減衰させて伝達できるので、測定
ダイアフラムを破損させることがなく、このため、差圧
伝送器の耐久性の向上，保守性の向上に多大の効果があ
り、さらに、高圧側，低圧側に同期的な圧力変動がある
差圧測定時にもその脈動差圧を位相なしで同時に伝達で
きるので、差圧測定に誤差が発生することがなく、差圧
伝送器の測定精度を向上できるという効果がある。
第１図は本発明の差圧伝送器の一実施例を示す縦断面
図、第２図は差圧伝送器の応答特性を求めるためのモデ
ル図、第３図はそのブロツク線図、第４図は従来の差圧
伝送器の構造を模式的に示した縦断面図、第５図は過負
荷保護機能の説明線図、第６図は差圧伝送器の応答例を
示す線図である。 １……本体部材、４……センターダイアフラム、６……
感圧素子、１２，１３……受圧ダイアフラム、１４，１
５……受圧室、１６，１７……導通路、２２……封入
液、４１，４２……隔離室、５１，５２……導圧路、７
１，７２……測定室。
図、第２図は差圧伝送器の応答特性を求めるためのモデ
ル図、第３図はそのブロツク線図、第４図は従来の差圧
伝送器の構造を模式的に示した縦断面図、第５図は過負
荷保護機能の説明線図、第６図は差圧伝送器の応答例を
示す線図である。 １……本体部材、４……センターダイアフラム、６……
感圧素子、１２，１３……受圧ダイアフラム、１４，１
５……受圧室、１６，１７……導通路、２２……封入
液、４１，４２……隔離室、５１，５２……導圧路、７
１，７２……測定室。
Claims (2)
- 【請求項１】本体の両側にそれぞれ周囲を固定された受
圧ダイアフラムと、該各受圧ダイアフラム間を２つの隔
離室に分割するように配設されたセンターダイアフラム
と、該センターダイアフラムにより形成される前記２つ
の隔離室と前記各受圧ダイアフラムにより形成される受
圧室とを連通する２つの導通路と、前記２つの隔離室の
圧力差を電気信号に変換する微小変位形の測定ダイアフ
ラムに固定された差圧検出素子とを有し、前記測定ダイ
アフラムによつて仕切られた２つの測定室と前記２つの
隔離室とをそれぞれ連通する２つの導圧路と、前記それ
ぞれの受圧室，隔離室，導通路，導圧路，測定室内に充
填された封入液とを具備する差圧伝送器において、前記
１つの導通路と隔離室と導圧路と測定室とを有する第１
管路系と、前記他の１つの導通路と隔離室と導圧路と測
定室とを有する第２管路系にそれぞれの管路系の形状と
体積より決定される管路定数と固有振動数を設定し、前
記第１管路系の隔離室と測定室の管路定数と前記第２管
路系の隔離室と測定室の管路定数とをそれぞれその形状
と体積により変化させることにより前記第１管路系の管
路定数と前記第２管路系の管路定数を同一化して圧力伝
達特性をそろえ、前記第１，第２管路系の各導通路と各
隔離室の管路抵抗を前記各隔離室と各測定室より形成さ
れる管路定数より少なくとも同等以上に構成したことを
特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項２】前記各隔離室と各測定室の管路定数と前記
各導通路と各隔離室の管路抵抗をそれぞれの形状，体積
に応じて、 で決定づける特許請求の範囲第１項記載の差圧伝送器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63218361A JPH0652213B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 差圧伝送路 |
| DE3928426A DE3928426A1 (de) | 1988-09-02 | 1989-08-28 | Differenzdruckmesswertgeber |
| US07/399,916 US4995266A (en) | 1988-09-02 | 1989-08-29 | Differential pressure transmitter |
| CN89106651A CN1015132B (zh) | 1988-09-02 | 1989-08-31 | 差压传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63218361A JPH0652213B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 差圧伝送路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0267940A JPH0267940A (ja) | 1990-03-07 |
| JPH0652213B2 true JPH0652213B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=16718682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63218361A Expired - Lifetime JPH0652213B2 (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 差圧伝送路 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4995266A (ja) |
| JP (1) | JPH0652213B2 (ja) |
| CN (1) | CN1015132B (ja) |
| DE (1) | DE3928426A1 (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0469536A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-04 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
| JP3099406B2 (ja) * | 1991-04-05 | 2000-10-16 | ヤマハ株式会社 | 集積回路の多層配線構造 |
| US5583294A (en) * | 1994-08-22 | 1996-12-10 | The Foxboro Company | Differential pressure transmitter having an integral flame arresting body and overrange diaphragm |
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