WO2004042338A1 - Relativdrucksensor mit atmosphärenseitiger drossel - Google Patents

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Dietfried Burczyk
Wolfgang Dannhauer
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    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
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    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection

Definitions

  • the present invention relates to a relative pressure sensor with hydraulic pressure transmission.
  • Relative pressure sensors of this type generally comprise a measuring mechanism with two chambers, each of which is closed by a separating membrane and filled with a transmission medium.
  • the separating membranes are each subjected to a measuring pressure or the reference pressure which is transferred to the respective chamber via the separating membranes.
  • the chambers are separated from one another by an elementary sensor, the elementary sensor having a pressure-sensitive element, in particular a measuring membrane, to which the hydraulic pressure in the first half-cell is applied on its first surface and the hydraulic pressure in the second half-cell on its second surface ,
  • the second (atmosphere-side) separation membrane serves on the one hand for temperature compensation of the first degree in small measuring ranges and on the other hand for "second containment", i.e. the additional protection of the surroundings of the device in the event of malfunctions, for example the rupture of the first (process-side) separating membrane and / or the measuring membrane.
  • pressure-sensitive elements made of semiconductor materials have such a rigidity that the volume stroke on the pressure-sensitive element is practically negligible over the entire measuring range.
  • this means that the pressure-sensitive elements are very sensitive to needle impulse-like pressure surges, since there is hardly any elasticity to absorb these pressure surges, which can lead to the destruction of the measuring cell.
  • the needle impulses cannot be effectively damped by simply reducing the diameter of the pressure supply line between the process-side chamber and the pressure-sensitive element.
  • the German patent application DE 37 13 236 A1 instead discloses using a sintered metal plate or a stable plate with a hole or several parallel holes with a maximum diameter of 0.5 mm between the process and the measuring cell. This solution is unsatisfactory for several reasons.
  • the reduction of the hydraulic path between the process and the measuring cell to even a single bore with a diameter of 0.5 mm and a bore length, which is to be expected with the plate thickness shown, does by no means provide sufficient damping to suppress needle impulse-type overload pressure surges. If, on the other hand, a damping element with a sufficiently large flow resistance for effective damping is provided, the reaction speed of the sensor is considerably slowed down, so that pressure fluctuations within the measuring range of the sensor are only registered with a delay.
  • the object of the present invention is therefore to provide a pressure sensor which overcomes the disadvantages described.
  • the relative pressure sensor comprises a measuring mechanism with a first chamber which is closed by a first separating membrane and a second chamber which is closed by a second separating membrane, the first separating membrane having a process pressure and the second separating membrane having the atmospheric pressure, that is to say the respective ambient pressure, can be acted upon, and the first chamber is separated from the second chamber by a pressure-sensitive element, in particular a measuring membrane, the first and second chambers are filled with a transmission medium, and furthermore the second chamber is a has hydraulic throttle, which is arranged between the second separation membrane and the pressure-sensitive element.
  • the throttle preferably comprises a porous body, in particular a porous sintered body, particularly preferably a sintered body made of a metallic or a ceramic material, in particular corundum filter or bronze filter.
  • Suitable bronze filters are available, for example, from GKN in Radevormwald under the name SIKA-B.
  • the throttle is preferably dimensioned such that the volume flow triggered by a process-side overload pressure shock, which is transmitted via the measuring diaphragm into the second chamber, experiences such a large flow resistance through the throttle that the measuring diaphragm is supported on the back by hydraulic pressure between the measuring diaphragm and the throttle becomes.
  • the flow-effective diameter determined using a Coulter porometer according to ASTM E 1294 with isopropanol as the wetting agent, is preferably not less than 4 ⁇ m and not more than 28 ⁇ m, with flow-effective diameters between 8 ⁇ m and 16 ⁇ m being currently particularly preferred.
  • the flow-effective diameters are preferably used in combination with a porosity between 15 vol.% And 50 vol.%, Particularly preferably between 25 vol.% And 35 vol.%.
  • Cylindrical throttle bodies are preferred insofar as they can simply be inserted into complementary bores in the second chamber.
  • the throttle bodies preferably have a length that is at least twice as large as the diameter of the throttle bodies, wherein in a currently particularly preferred embodiment the length of the throttle body is approximately four times the diameter.
  • the details of the throttle with regard to the pore size, the porosity and the geometric dimensions depend in particular on the individual case. on the compressive strength of the measuring membrane and the expected overloads as well as the structural boundary conditions. It is within the skill of the art to optimize the throttle design for a given pressure sensor.
  • Another parameter is the amount of transmission fluid trapped between the pressure sensitive element and the throttle. Insofar as the transmission fluid is compressible to a small extent, the supporting effect of the throttle is reduced the greater the larger the volume of the transmission fluid between the measuring membrane and the throttle. This volume should preferably be minimized within the framework of the design constraints.
  • Fig. 2 Simulation results for the response of a measuring membrane to pressure pulses in the measuring range and in the event of an overload, each for one relative pressure sensor according to the invention and a
  • Relative pressure sensor with a process-side throttle Relative pressure sensor with a process-side throttle.
  • the relative pressure sensor shown in FIG. 1 comprises a measuring mechanism 1 with a first chamber 5, which is closed on the process side by a first separation membrane 2, and a second chamber 6, which is closed on the atmosphere side by a second separation membrane 3.
  • a pressure-sensitive element 4 which has a measuring membrane, the pressure-sensitive element 4 separating the first chamber 5 from the second chamber 6.
  • the pressure sensitive element is a piezoresistive silicon chip. In principle, however, the invention is independent of the operating principle of the pressure-sensitive element.
  • the first container and the second container are completely filled with a transmission medium, preferably a silicone [. ⁇
  • a throttle 7 is arranged in the second chamber 6.
  • the second chamber has a bore 8 in which the throttle is fixed in the press fit.
  • the throttle is axially supported on the atmosphere side, since the second chamber 6 comprises a channel which connects to the bore 8 in the axial direction and has a smaller diameter than this.
  • the preferred throttle comprises a filter from Sinterbro ⁇ ze with a porosity of approximately 29% and a flow-effective pore diameter of approximately 11 ⁇ m.
  • the preferred filter element has a length of 8 mm and a diameter of 2 mm (the proportions in Fig. 1 are not correct).
  • FIG. 2 shows the result of simulations of the hydrodynamic properties of a measuring mechanism by means of an electrodynamic analog with the program PSPICE to clarify the mode of operation of the relative pressure sensor according to the invention.
  • the response of a relative pressure sensor was compared, for example according to DE 37 13 236 A1, with a throttle on the process side (upper curve) with the response of the relative pressure sensor according to the invention (lower curve).
  • a channel with a length of 8 mm and a diameter of 0.2 mm was modeled here as a process-side throttle.
  • FIG. 2 shows the response to a rectangular pulse with an amplitude of 1 bar or 1 volt, which lies in the measuring range of the relative pressure sensor.
  • the process-side throttle according to the state of the art smoothes the square-wave pulse and cannot follow the course of time sufficiently quickly.
  • the atmosphere-side throttle according to the invention practically does not impair the response to a rectangular pulse.
  • the time course of the rectangular pulse is mapped without errors.
  • the lower part of FIG. 2 shows the response of the relative pressure sensor to a short rectangular pulse in the event of an overload with an amplitude of 100 bar or 100 volts.
  • the process-side choke dampens the response to approximately 14 bar or 14 volts, the large time constant of the choke causing the response to slowly fade away, as shown in the upper curve.
  • the damping by the atmosphere-side choke according to the invention proves to be more effective since the amplitude of the response is only about 7 bar or 7 volts.
  • the equilibrium position of the response falls back more quickly to the initial value due to the shorter time constant, the response oscillating in a damped oscillation around the equilibrium position.
  • the mean value can easily be extracted.
  • the relative pressure sensor according to the invention with an atmosphere-side throttle proves to be advantageous, since the response function can follow rapid changes in the measuring range more quickly than with relative pressure sensors with a process-side throttle.
  • the damping of needle pulses in the event of an overload in the case of the relative pressure sensor according to the invention is at least as good as in the case of a relative pressure sensor according to the prior art.

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Abstract

Der Relativdrucksensor umfasst zwei Kammern (5, 6) und zwei Trennmembranen (2, 3) für einen Prozessdruck und einen Umgebungsdruck. Die Kammer (5, 6) sind durch ein druckempfindliches Element (4) (Messmembran) getrennt und mit einem Uebertragungsmedium gefüllt. Zur Bedämpfung von prozessseitigen Ueberlastimpulsen, die auf die erste Trennmembran (2) wirken, ist eine hydraulische Drossel (7) vorgesehen, die atmosphärenseitig zwischen der zweiten Trennmembran und dem druckempfindlichen Element angeordnet ist. Piezoresistiver Siliziumchip, Silikononöl, Sinterbronze mit 29 % Porosität und elf Mikrometer Porendurchmesser. Das Filterelement (7) ist 8 mm lang und hat 2 mm Durchmesser.

Description

RELATIVDRUCKSENSOR MIT ATMOSPHARENSEITIGER DROSSEL
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Relativdrucksensor mit hydraulischer Druckübertragung. Derartige Relativdrucksensoren umfassen in der Regel ein Meßwerk mit zwei Kammern, die jeweils von einer Trennmembran verschlossen und mit einem Übertragungsmedium gefüllt sind. Die Trennmembranen werden jeweils mit einem Meßdruck bzw. dem Referenzdruck beaufschlagt, der über die Trennmembranen in die jeweilige Kammer übertragen wird. Die Kammern sind voneinander durch einen Elementarsensor getrennt, wobei der Elementarsensor ein druckempfindliches Element, insbesondere eine Meßmembran, aufweist, die auf ihrer ersten Oberfläche mit dem hydraulischen Druck in der ersten Halbzelle und auf ihrer zweiten Oberflächen mit dem hydraulischen Druck in der zweiten Halbzelle beaufschlagt wird.
Die zweite (atmosphärenseitige) Trennmembran dient einerseits der Temperaturkompensation 1. Grades bei kleinen Meßbereichen und andererseits dem "Second-Containmant", d.h. dem zusätzlichen Schutz der Umgebung des Gerätes bei Funktionsstörungen, beispielsweise dem Bruch der ersten (prozeßseitigen) Trennmembran und/oder der Meßmembran.
Insbesondere druckempfindliche Element aus Halbleitermaterialien weisen eine solche Steifigkeit auf, daß der Volumenhub am druckempfindlichen Element über den gesamten Meßbereich praktisch vernachlässigbar ist. Dies bedingt jedoch umgekehrt, daß die druckempfindlichen Elemente sehr empfindlich gegen nadelimpulsartige Druckschläge sind, da kaum Elastizität vorhanden ist, um diese Druckschläge aufzufangen, was zur Zerstörung der Meßzelle führen kann. Durch einfache Verringerung des Durchmessers der Druckzuleitung zwischen der prozeßseitigen Kammer und dem druckempfindlichen Element können die Nadelimpulse nicht wirksam bedämpft werden. Die deutsche Offenlegungsschrift DE 37 13 236 A1 offenbart stattdessen, zwischen Prozeß und der Meßzelle eine Sintermetallplatte oder eine Stallplatte mit einer Bohrung oder mehreren parallelen Bohrungen von höchsten 0,5 mm Durchmesser einzusetzen. Diese Lösung ist aus verschiedenen Gründen unbefriedigend. Einerseits bewirkt die Reduzierung des hydraulischen Pfades zwischen Prozeß und Meßzelle auf selbst eine einzige Bohrung mit 0,5 mm Durchmesser bei einer Bohrungslänge, die bei der dargestellten Plattenstärke zu erwarten ist, bei weitem keine ausreichende Dämpfung, um nadelimpulsartige Überlastdruckschläge zu unterdrücken. Wird andererseits ein Dämpfungselement mit einem hinreichend großen Strömungswiderstand für eine effektive Bedämpfung vorgesehen, so ist die die Reaktionsgeschwindigkeit des Sensors erheblich verlangsamt, so daß auch Druckschwankungen innerhalb des Meßbereichs des Sensors nur mit Verzögerung registriert werden.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Drucksensor bereitzustellen, der die beschriebenen Nachteile überwindet.
Die Aufgabe wird gelöst durch den Relativdrucksensor gemäß Anspruch 1. Weitere Vorteile und Gesichtspunkte der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.
Der erfindungsgemäße Relativdrucksensor umfaßt ein Meßwerk mit einer ersten Kammer, die von einer ersten Trennmembran verschlossen ist und einer zweiten Kammer die von einer zweiten Trennmembran verschlossen ist, wobei die erste Trennmembran mit einem Prozeßdruck und die zweite Trennmembran mit dem Atmosphärendruck, also dem jeweiligen Umgebungsdruck, beaufschlagbar sind, und die erste Kammer von der zweiten Kammer durch ein druckempfindliches Element, insbesondere eine Meßmembran, getrennt ist, die erste und die zweite Kammer mit einem Übertragungsmedium gefüllt sind, und wobei ferner die zweite Kammer eine hydraulische Drossel aufweist, die zwischen der zweiten Trennmembran und dem druckempfindlichen Element angeordnet ist.
Die Drossel umfaßt vorzugsweise einen porösen Körper, insbesondere einen porösen Sinterkörper, besonders bevorzugt einen Sinterkörper aus einem metallischen oder einem keramischen Material, insbesondere Korundfilter oder Bronzefilter. Geeignete Bronzefilter sind beispielsweise von der Firma GKN in Radevormwald unter der Bezeichnung SIKA-B erhältlich.
Die Drossel ist vorzugsweise so dimensioniert, daß der durch einen prozeßseitigen Überlastdruckschlag ausgelöste Volumenstrom, der über die Meßmembran in die zweite Kammer übertragen wird, einen so großen Strömungswiderstand durch die Drossel erfährt, daß die Meßmembran rückseitig durch hydraulischen Druck zwischen der Meßmembran und der Drossel abgestützt wird.
Langsame Volumenströme durch die Drossel sind dagegen durchaus möglich, so daß einerseits ein Ausgleich von Volumenveränderungen der Übertragungsflüssigkeit aufgrund von Temperaturänderungen erfolgen kann, und andererseits die vergleichsweise langsamen Schwankungen des Umgebungs- bzw. Atmosphärendrucks hinreichend schnell zur Meßmembran übertragen werden.
Bevorzugt beträgt der strömungswirksame Durchmesser, ermittelt mit Coulter Porometer nach ASTM E 1294 mit Isopropanol als Benetzungsmittel, nicht weniger als 4 μm und nicht mehr als 28 μm, wobei derzeit strömungswirksame Durchmesser zwischen zwischen 8 μm und 16 μm besonders bevorzugt sind. Die strömungswirksamen Durchmesser werden bevorzugt in Kombination mit einer Porosität zwischen 15 Vol.% und 50 Vol.%, besonders bevorzugt zwischen 25 Vol% und 35 Vol%, eingesetzt. Zylindrische Drosselkörper sind insofern bevorzugt, als diese einfach in komplementäre Bohrungen in der zweiten Kammer eingesetzt werden können. Bevorzugt weisen die Drosselkörper eine Länge auf, die mindestens doppelt so groß ist wie der Durchmesser der Drosselkörper, wobei in einer derzeit besonders bevorzugten Ausführungsform die Länge des Drosselkörpers etwa das vierfache des Durchmessers beträgt.
Die Einzelheiten der Drossel hinsichtlich der Porengröße, der Porosität und der geometrischen Abmessungen hängen im Einzelfall u.a. von der Druckfestigkeit der Meßmembran und den zu erwartenden Überlasten sowie den konstruktiven Randbedingungen ab. Es liegt im Bereich des fachmännischen Könnens, die Konstruktion der Drossel für einen gegebenen Drucksensor zu optimieren.
Ein weiterer Parameter ist die Menge der zwischen dem druckempfindlichen Element und der Drossel eingeschlossenen Übertragungsflüssigkeit. Insofern als die Übertragungsflüssigkeit in geringem Umfang kompressibel ist, wird die abstützende Wirkung der Drossel um so mehr verringert, je größer das Volumen der Übertragungsflüssigkeit zwischen der Meßmembran und der Drossel ist. Vorzugsweise sollte dieses Volumen im Rahmen der konstruktiven Randbedingungen minimiert werden.
Die Erfindung wird nun anhand des in den Fig 1 dargestellten Ausführungsbeispiels und der in Fig. 2 gezeigten Daten näher erläutert.
Es zeigt:
Fig. 1 : Einen Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen Relativdrucksensor; und
Fig. 2: Simulationsergebnisse zur Antwort einer Meßmembran auf Druckimpulse im Meßbereich und im Überlastfall, jeweils für einen erfindungsgemäßen Relativdrucksensor und einen
Relativdrucksensor mit einer prozeßseitigen Drossel.
Der in Fig. 1 gezeigte Relativdrucksensor umfaßt ein Meßwerk 1 mit einer ersten Kammer 5, die prozeßseitig von einer ersten Trennmembran 2 verschlossen ist, und eine zweite Kammer 6, die atmosphärenseitig von einer zweiten Trennmembran 3 verschlossen ist. Im Inneren des Meßwerks 1 ist ein druckempfindliches Element 4 angeordnet, welches eine Meßmembran aufweist, wobei das druckempfindliche Element 4 die erste Kammer 5 von der zweiten Kammer 6 trennt. In der bevorzugten Ausführungsform ist das druckempfindliche Element ein piezoresistiver Siliziumchip. Prinzipiell ist die Erfindung aber unabhängig vom Wirkprinzip des druckempfindlichen Elementes.
Die erste Karj3mer_und_die_zweite <ammer sind vollständig mit einem Übertragungsmedium, vorzugsweise einem_Silikonö_[ gefüllt.^
In der zweiten Kammer 6 ist eine Drossel 7 angeordnet. Hierzu weist die zweite Kammer eine Bohrung 8 auf, in welcher die Drossel im Klemmsitz fixiert ist. Zudem ist die Drossel atmosphärenseitig axial abgestützt, da die zweite Kammer 6 einen Kanal umfaßt, der in axialer Richtung an die Bohrung 8 anschließt und einen geringeren Durchmesser als diese aufweist.
Die bevorzugte Drossel, umfaßt ein FiltereJerjιent_aus Sinterbroηze mit einer Porosität von etwa 29% einem strömungswirksamen Porendurchmesser von etwa 11 μm. Das bevorzugte Filterelement hat eine Länge von 8 mm und einen Durchmesser von 2 mm (Die Proportionen in Fig. 1 sind nicht korrekt).
Die erfindungsgemäße Anordnung führt zu einer hinreichenden Bedämpfung von nadelimpulsartigen Überlaststößen, während Druckimpulse im Meßbereich hinreichend schnell registriert werden, wie nachfolgend anhand von Fig. 2 erläutert wird. Fig. 2 zeigt zur Verdeutlichung der Wirkweise des erfindungsgemäßen Relativdrucksensors das Ergebnis von Simulationen der hydrodynamischen Eigenschaften eines Meßwerks mittels eines elektrodynamischen Analogons mit dem Programm PSPICE. In den Teilfiguren wurde jeweils die Antwort eines Relativdrucksensors etwa gemäß der DE 37 13 236 A1 mit einer prozeßseitigen Drossel (obere Kurve) mit der Antwort des erfindungsgemäßen Relativdrucksensors (untere Kurve) verglichen. Als prozeßseitige Drossel wurde hier ein Kanal mit einer Länge von 8 mm und einem Durchmesser von 0, 2mm modelliert. (Eine prozeßseitige Drossel in der Art der erfindungsgemäßen atmosphärenseitigen Drossel würde nahezu zur vollständigen Bedämpfung des Meßsignals und zu viel zu langen Zeitkonstanten führen.) Der Begriff „Antwort" bezeichnet hier das vom druckempfindlichen Element ausgegebene Signal, welches naturgemäß auch ein Maß für die Belastung des druckempfindlichen Elementes ist. Der Meßbereich für die simulierten Geräte betrug jeweils 1 bar (1 Volt in der Simulation).
Die obere Teilfigur von Fig. 2 zeigt die Antwort auf einen Rechteckimpuls mit einer Amplitude von 1 bar bzw. 1 Volt, welche im Meßbereich des Relativdrucksensors liegt. Die prozeßseitige Drossel nach dem Stand der Technik glättet den Rechteckimpuls, und kann dem zeitlichen Verlauf nicht hinreichend schnell folgen. Die erfindungsgemäße atmosphärenseitige Drossel beeinträchtigt dagegen die Antwort auf einen Rechteckimpuls praktisch nicht. Der zeitliche Verlauf des Rechteckimpulses wird fehlerfrei abgebildet.
Der Ausgangspunkt aller Kurven verläuft eigentlich bei 0 Volt, jedoch wurde in jeder Teilfigur eine Kurve der Übersichtlichkeit halber um einen konstanten Wert verschoben.
Die untere Teilfigur von Fig. 2 zeigt die Antwort des Relativdrucksensors auf einen kurzen Rechteckimpuls im Überlastfall mit einer Amplitude von 100 bar bzw. 100 Volt. Die prozeßseitige Drossel bewirkt eine Dämpfung der Antwort auf etwa 14 bar bzw. 14 Volt, wobei die große Zeitkonstante der Drossel ein langsames Abklingen der Antwort bewirkt, wie in der oberen Kurve dargestellt ist. Die Bedämpfung durch die erfindungsgemäße atmosphärenseitige Drossel erweist sich als effektiver, da die Amplitude der Antwort nur etwa 7 bar bzw. 7 Volt beträgt. Zudem fällt die Gleichgewichtslage der Antwort aufgrund der kürzeren Zeitkonstanten schneller auf den Ausgangswert zurück, wobei die Antwort in einer gedämpften Schwingung um die Gleichgewichtslage oszilliert. Durch geeignete Auswertungsschaltungen, kann jedoch der Mittelwert ohne weiteres extrahiert werden.
Im Ergebnis erweist sich der erfindungsgemäße Relativdrucksensor mit einer atmosphärenseitigen Drossel als vorteilhaft, da die Antwortfunktion schnellen Änderungen im Meßbereich schneller folgen kann als bei Relativdrucksensoren mit einer prozeßseitigen Drossel. Zudem ist die Bedämpfung von Nadelimpulsen im Überlastfall beim erfindungsgemäßen Relativdrucksensor mindestens so gut wie bei einem Relativdrucksensor nach dem Stand der Technik.

Claims

Patentansprüche
1. Relativdrucksensor zur Messung der Druckdifferenz zwischen einem Prozeßdruck und einem Umgebungsdruck, umfassend:
ein Meßwerk (1) mit
einer ersten Kammer (5), die von einer ersten Trennmembran (2) verschlossen und mit einem Ubertragungsmedium gefüllt ist, wobei die erste Trennmembran (2) mit dem Prozeßdruck beaufschlagbar ist;
einer zweiten Kammer (6) die von einer zweiten Trennmembran (3) verschlossen und mit einem Übertagungsmedium gefüllt ist, wobei die zweite Trennmembran (3) mit dem Umgebungsdruck beaufschlagbar ist;
einem druckempfindliches Element (4), welches die erste Kammer (5)von der zweiten Kammer (6) trennt; und
einer Drossel (7) zu Bedämpfung von Überlastimpulsen; dadurch gekennzeichnet daß
die Drossel (6) zwischen dem duckempfindlichen Element (4) und der zweiten Trennmembran (3) angeordnet ist.
2. Relativdrucksensor nach Anspruch 1 , wobei das Ubertragungsmedium eine Hydraulikflüssigkeit, insbesondere ein Silikonöl ist.
Relativdrucksensor nach Anspruch 1 oder 2, wobei das druckemfindliche Element 4 eine Meßmembran, insbesondere einen piezoresistiven Siliziumchip mit einer Meßmembran, aufweist.
4. Relativdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Drossel (7) einen Sinterkörper aufweist.
5. Relativdrucksensor nach Anspruch 4, wobei der Sinterkörper ein metallischer oder ein keramischer Sinterkörper ist.
6. Relativdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Drossel eine poröse Struktur aufweist.
7. Relativdrucksensor nach Anspruch 6 wobei die poröse Struktur eine strömungswirksamen Porendurchmesser von nicht weniger als 4 μm und nicht mehr als 28 μm, bevorzugt zwischen zwischen 8 μm und 16 aufweist.
8. Relativdrucksensor nach Anspruch 6 oder 7 wobei die poröse Struktur eine Porosität zwischen 15 Vol.% und 50 Vol.%, bevorzugt zwischen 25
Vol% und 35Vol%, aufweist.
9. Relativdrucksensor nach einem der Ansprüche 4 bis 8, wobei der Sinterkörper eine im wesentlichen zylindrische Form aufweist und die
Länge des Sinterkörpers in axialer Richtung mindestens doppelt so groß ist wie der Durchmesser.
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