DE3916311C2 - Mehrfach-Thermoelementfühler - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Mehrfach- Thermoelementfühler mit mindestens zwei Meßstellen zur Ver­ wendung bei der Thermoanalyse, dessen einzelne, in Reihe mit­ einander verbundene Thermoelemente auf einem elektrisch nichtleitenden Material vorliegen und sich mit mindestens im wesentlichen parallel angeordneten Schenkeln halbkreisförmig zwischen Schenkelkontaktstellen erstrecken, welche jeweils um ein Zentrum herum zu einer Messstelle angeordnet sind, wobei jede Messstelle einen elektrischen Anschluss aufweist, sowie auf einen Thermoanaylseofen, der einen Ofenkörper aufweist, der mit einem Deckel verschliessbar und mit einer elektri­ schen Heizeinrichtung beheizbar ist, und in welchem eine Messzelle angeordnet ist, welche den zuvor geschilderten Mehrfach-Thermoelementfühler aufweist.

Bei den bekannten Mehrfach-Thermoelementfühlern und Thermoanalyseöfen der vorgesehenen Art sind die einzelnen Thermoelemente mit ihren Schenkeln und Kontaktstellen mittels der Dünnfilmtechnik, z. B. durch Aufdampfen oder Sputtern im Vakuum, auf ein Trägermaterial aufgebracht. Die Schichtdicke derartig aufgebrachter Thermoelemente beträgt ungefähr 0,5 µm und weniger und je Messstelle liegen 5 Schenkelkontakt­ stellen vor (z. B. Prospekte der Mettler Instrumente AG, CH-8606 Greifensee: "Modulares Thermoanalysen-System TA 2000", Mettler 1.7102.71.A (1973); "Mettler Thermoanalysen-System TA 3000",1986, ME-724073; "Mettler DDK Messzellen", 1988, ME-724135; "Know-How Live Mettler, Thermoanalyse", 1988, ME- 724127). Die aus einem Dünnfilm bestehenden Thermoelement­ fühler besitzen in gewissen Fällen geringe mechanische und che­ mische Widerstandsfestigkeit, die auch durch den Aufbau von sich abwechselnden Elementenschichten und zwischen diesen befindlichen Isolationsschichten aus Dünnfilmen nicht besei­ tigt wird, da die jeweilige Isolationsschicht gleiche Dicke wie die Thermoelementschicht aufweist. Infolge von z. B. Porosi­ tät der Dünnfilme, insbesondere des Isolationsfilmes kann die Thermoelementschicht chemisch angegriffen werden. Bei Einsatz der bekannten Thermoelementfühler in z. B. einer che­ misch agggressiven Atmosphäre, z. B. in einer cyangashaltigen Atmosphäre, ist daher die Beständigkeit der Fühler nicht ge­ währleistet, auch wenn als Elementpaare z. B. Edelmetalle vor­ liegen. Bei diesen bekannten Mehrfach-Thermoelementfühlern ist z. B. bei kleiner Temperaturdifferenz ΔT das Messignal klein, so dass die Messgenauigkeit gering ist. Daher ist die Empfind­ lichkeit dieser bekannten Fühler in einigen Fällen nicht immer ausreichend. Ausserdem ist die Herstellung von Dünnfilmen be­ kanntlich kostspielig.

Auch sind Mehrfach-Thermoelementfühler bekannt, bei denen die Thermoelemente sternförmig angeordnet sind, was jedoch nur eine begrenzte Anzahl von Thermoelementen für eine gewünschte Grösse der Messstelle zulässt (z. B. DE 1,205,598 B; DE 2,233,515 A).

Weitere Thermoelementfühler zur Verwendung bei der Thermo­ analyse mit mittels der Dünnfilmtechnik gebildeten Thermoele­ menten sind aus Eder, F. X., Arbeitsmethoden der Thermodyna­ mik, Band 2, Springer-Verlag 1983, S. 240 und J. Phys. E, 7(1974)5, 355-357 bekannt. Ferner ist es aus der EP 34 538 A2 bekannt, zur Herstellung von thermoelektrischen Generatoren mittels der Dickfilmtechnik hergestellte Thermoelemente zu verwenden. Aus der US 41 10 124 sind auch noch zur Temperatur­ messung einsetzbare Dickfilm-Thermoelemente bekannt. Schließ­ lich wird in der EP 51 266 A2 ein mit Thermoelementen versehe­ ner Thermoanalyseofen angegeben, bei dem jeder Meßstelle ein Thermoelement zur Ermittlung der Temperatur dieser Meßstelle und ein weiteres Thermoelement zur Bestimmung der Differenz zwischen der Temperatur dieser Meßstelle und der Temperatur einer anderen Meßstelle zugeordnet ist.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfin­ dung, einen Mehrfach-Thermoelementfühler der eingangs ge­ nannten Art mit hoher Empfindlichkeit und guter chemischer und mechanischer Beständigkeit und auf preiswerte Weise zu schaffen, der in einem Thermoanalyseofen der eingangs genann­ ten Art verwendet werden kann.

Zur Lösung der Aufgabe ist der Mehrfach-Thermoelement­ fühler der eingangs genannten Art dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Thermoelemente mit ihren Schenkeln und Schenkel­ kontaktstellen als Dickfilm vorliegen.

Mit dem Mehrfach-Thermoelementfühler nach der Erfindung kann zu dessen Herstellung die Dickfilmtechnik angewendet wer­ den, die gegenüber der bisher bekannten Dünnfilmtechnik preis­ werter und einfacher durchführbar ist. Durch den Dickfilm sind gegenüber den bisher bekannten Thermoelementfühlern, herge­ stellt mit der Dünnfilmtechnik, die Porosität herabgesetzt und die mechanische Festigkeit erhöht, so dass eine Widerstands­ festigkeit erreicht ist, die einen erweiterten praktischen Einsatz der Mehrfach-Thermoelementfühler nach der Erfindung und damit auf dem Gebiet der Thermoanalyse zulässt. Durch die als Dickfilm vorliegenden einzelnen Thermoelemente wird auch bei einer kleinen Temperaturdifferenz ΔT das Messignal gross, weil eine Vielzahl von Thermoelementen und damit Schenkelkon­ taktstellen angeordnet werden kann. Es wird nicht nur die Messgenauigkeit vergrössert, sondern auch die Empfind­ lichkeit des Thermoelementfühlers bedeutend verbessert. Der Fühler nach der Erfindung weist eine Empfindlichkeit auf, die mindestens doppelt so hoch ist wie diejenige der bis­ her bekannten Mehrfach-Thermoelementfühler.

Zur weiteren Lösung der Aufgabe enthält der Thermo­ analyseofen der eingangs genannten Art in seiner Messzelle erfindungsgemäss den Mehrfach-Thermoelementfühler, bei wel­ chem die einzelnen Thermoelemente mit ihren Schenkeln und Schenkelkontaktstellen als Dickfilm vorliegen. Die zuvor geschilderten Vorteile des Mehrfach-Thermoelementfühlers nach der Erfindung werden daher auch für den Thermoanalyse­ ofen erreicht.

Vorteilhafte Ausführungsformen des Mehrfach-Thermo­ elementfühlers bzw. des Thermoanalyseofens nach der Erfin­ dung können mit den Massnahmen der Ansprüche 3 bis 15 er­ reicht werden. In vorteilhafter Weise beträgt z. B. die Dicke der Thermoelemente 5-15 µm, vorzugsweise 10 pro. Es können mindestens 10, vorzugsweise 10 bis 60 Thermoelemente je Messstelle, d. h. vorzugsweise mindestens die doppelte An­ zahl wie bei den bisher bekannten Thermoelementfühlern vor­ liegen. Die Schenkelkontaktstellen sind vorzugsweise um das Zentrum herum kreisförmig angeordnet; sie können aber auch in einer anderen geometrischen Anordnung um das Zentrum herum vorliegen. Bei z. B. kreisförmiger Anordnung der Schen­ kelkontaktstellen auf einem Kreis mit einem Durchmesser von 5 mm können 20 Schenkelkontaktstellen je Messstelle, d. h. 1 Schenkelkontaktstelle je mm², angeordnet werden. Die Thermoelementschenkel beschreiben Halbkreise, z. B. polygon­ förmige oder kreisrunde Halbkreise, die mit ihrer Basis ge­ geneinander gelegt sind.

Die einzelnen Thermoelemente können elektrisch vonein­ ander isoliert parallel nebeneinander oder übereinander ange­ ordnet sein und sind nach aussen vorzugsweise von einer elek­ trisch isolierenden Schicht bedeckt. In einer Ausführungsform können abwechselnd Thermoelement- und elektrische Isolations­ schichten übereinanderliegen. Die elektrischen Isolations­ schichten weisen vorzugsweise die gleichen Dicken auf wie die Thermoelementschichten. Infolge der vorzugsweise gleichen Dicken von Thermoelementschicht und Isolationsschicht ist z. B. die Porosität auch der Isolationsschicht vermindert und damit die mechanische und auch die chemische Widerstandsfestigkeit des Mehrfach-Thermoelementfühlers nach der Erfindung erhöht.

Die vorzugsweise ebenfalls als Dickfilm vorliegenden elektrischen Isolationsschichten können ein keramisches Mate­ rial enthalten. Ein derartiges Material wird im Handel angeboten.

Die Thermoelemente enthalten vorzugsweise ein Edel­ metall, vorzugsweise Gold-Gold/Platin, Gold-Gold/­ Palladium, Gold/Palladium-Platin/Palladium, Silber- Silber/Palladium oder Silber-Platin. Es können aber auch andere Elementzusammensetzungen vorliegen, in denen mindes­ tens ein Edelmetall enthalten ist.

Die Metalle bzw. die Metallpaare der Thermoelemente können z. B. als Dickfilmpasten aufgebracht werden. Dickfilm­ pasten für z. B. Gold-Gold/Platin (Au-Au/Pt) sind im Handel erhältlich.

Das elektrisch nichtleitende Material kann dasjenige eines Trägers, z. B. einer Tragplatte für die Thermoelemente, oder auf einem Träger aufgebracht sein, der aus einem Metall, z. B. Stahl, oder einem Nichtmetall hergestellt sein kann. Ein Trägermaterial auf der Grundlage von Metall mit einer Iso­ lierschicht ist kommerziell erhältlich. Das elektrisch nichtleitende Material bzw. das Nichtmetall kann Keramik, Aluminiumoxyd, Glaskeramik, Pyrex oder dergleichen sein.

In weiteren Ausführungsformen der Erfindung kann die Tragplatte für den Mehrfach-Thermoelementfühler rund, z. B. kreisrund oder oval, oder vieleckig, z. B. rechteckig, ausgebildet sein. Die Herstellung der Thermoelemente kann nach bekannten Verfahren zur Herstellung von Dickfilmen er­ folgen, d. h. sie können z. B. pastenförmig, durch Siebdruck­ verfahren oder dergleichen aufgebracht sein. Derartige Verfahren sind preislich günstiger, z. B. preislich zehnmal günstiger als die Herstellungsverfahren für einen Dünnfilm. Der Mehrfach-Thermoelementfühler nach der Erfindung kann sowohl für dynamische Differenzkalorimetrie, abgekürzt DDK oder englische Abkürzung DSC, als auch für Differenz­ thermoanalysen, abgekürzt DTA, verwendet werden.

Die Erfindung ist nachstehend anhand der Zeichnung in Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Mehrfach-Thermoelementfühler in sche­ matischer Darstellung in einer Draufsicht;

Fig. 2 einen anderen Mehrfach-Thermoelementfühler in schematischer Darstellung in einer Draufsicht;

Fig. 3 den Mehrfach-Thermoelementfühler der Fig. 2 im Schnitt entlang der Linie III-III der­ selben in schematischer Darstellung;

Fig. 4 eine andere Ausführungsform des Thermoele­ mentfühlers der Fig. 3 in schematischer Darstellung im Schnitt und

Fig. 5 einen Thermoanalyseofen in schematischer Darstellung in einer Ansicht.

Bei dem Mehrfach-Thermoelementfühler nach Fig. 1 sind auf einer kreisförmigen Tragplatte 1 mehrere, d. h. 40 einzelne Thermoelemente 2 und 3 mit Thermoelementschen­ keln 4 bzw. 5 angeordnet, die an Schenkelkontaktstellen 6 miteinander verbunden und in Reihe geschaltet sind, so dass eine Thermosäule aus einer Vielzahl von hintereinander ge­ schalteten Thermoelementen 2 und 3 vorliegt. Die Tragplatte 1 besteht aus einem elektrisch nichtleitenden Material. Die Thermoelemente 2 und 3 enthalten jeweils mindestens ein Edelmetall, wobei das jeweilige Thermoelementpaar 2, 3 z. B. aus Metallpaaren bestehen kann, wie sie oben bereits be­ schrieben wurden. Die Schenkel 4 und 5 der Thermoelemente 2 und 3 sind in einer Ebene gesehen im wesentlichen parallel zwischen den Schenkelkontaktstellen 6 angeordnet und be­ schreiben jeweils einen Halbkreis 7 und 8 bzw. 9 und 10, die mit ihrer jeweiligen Basis B aneinandergrenzen. Zur besseren Anschauung sind in Fig. 1 die Thermoelemente 3 gegenüber den Thermoelementen 2 gestrichelt eingetragen. Die Thermo­ elemente 2 und 3 mit ihren Schenkeln 4 bzw. 5 und den Schenkelkontaktstellen 6 sind als Dickfilm aufgebracht. Auf diese Weise kann eine Vielzahl von 40 einzelnen Ther­ moelementen angeordnet werden.

Die Schenkelkontaktstellen 6 sind jeweils kreis­ förmig um ein Zentrum A angeordnet und ergeben jeweils mit ihrer dadurch gebildeten Oeffnung 11 bzw. 12 eine Messstelle 13 bzw. 14. Jede Messstelle 14 besitzt an dem einen Ende der Thermosäule einen elektrischen Anschluss 15 bzw. 16, der an den jeweiligen Eingang eines Messge­ rätes angeschlossen werden kann. An den Messstellen 13 und 14 können z. B. kleine Tiegel eingesetzt werden, für die dann jeweils die Vielzahl von einzelnen Schenkelkon­ taktstellen 6 vorliegt. In die Tiegel kann eine jeweilige Substanz eingebracht und eine entsprechende Thermoanalyse vorgenommen werden. Die Messstelle 13 kann dabei z. B. als Referenzmessstelle und die Messstelle 14 als die Proben­ messstelle benutzt werden.

Wie die Fig. 1 weiterhin zeigt, beschreiben die Schenkel 4 bzw. 5 polygonförmige Halbkreise. Die Schenkel können aber auch als kreisrunde Halbkreise zwischen ihren Schenkelkontaktstellen angeordnet sein (nicht gezeigt). Die Thermoelemente 2 und 3 sind mit ihren Schenkeln 4 bzw. 5 in einem ausreichenden Abstand voneinander angeordnet, so dass sie parallel nebeneinander isoliert vorliegen können. Die einzelnen Thermoelemente 2 und 3 können eine Breite C von 50 µm bis 250 µm, vorzugsweise 150 µm, auf­ weisen und mit einem Abstand D voneinander vorliegen, welcher der Elementbreite C entsprechen kann, z. B. mit einem Abstand D von 50 µm bis 250 µm entsprechend der Breite C. Auf ihrer in Fig. 1 gezeigten Aussen- oder Ober­ seite sind die Thermoelemente vorzugsweise durch eine z. B. durchsichtige elektrisch isolierende Schicht abgedeckt (nicht gezeigt), die sich über die gesamte Oberseite des Thermoelementfühlers erstrecken kann.

Durch die dichte Anordnung von einer Vielzahl von Thermoelementen, die als Dickfilm aufgebracht sind, liegen an der jeweiligen Messstelle 13 bzw. 14 in einem Kreis mit einem Durchmesser E von 5 mm 20 Schenkelkontaktstellen 6 vor. Für einen an der jeweiligen Messstelle 13 bzw. 14 wie oben beschrieben eingesetzten Tiegel liegen damit 20 Kontaktstellen 6 vor, was bisher mit den bekannten Mehr­ fach-Thermoelementfühlern für die Thermoanalyse nicht er­ reicht werden konnte. Dadurch erfolgt z. B. eine bessere Ausnutzung der jeweiligen Messstelle und es wird nicht nur die Messgenauigkeit, sondern auch die Empfindlichkeit we­ sentlich verbessert, wie es oben bereits beschrieben wurde.

In der Ausführungsform des Mehrfach-Thermoelement­ fühlers nach Fig. 2 liegt eine kreisrunde Tragplatte 20 vor, auf welcher mehrere, d. h. 20 einzelne Thermoelemente 21 und 22 wiederum mit Schenkeln 23 bzw. 24 aufgebracht sind, die an Schenkelkontaktstellen 25 miteinander ver­ bunden und in Reihe geschaltet sind, so dass wiederum eine Thermosäule aus einer Vielzahl einzelner Thermoele­ mente gebildet ist. Die Thermoelemente 21 und 22 sind, wie auch Fig. 3 weiterhin zeigt, parallel übereinander ange­ ordnet, so dass in Fig. 2 nur die oberen Thermoelemente 21 ersichtlich sind. Die Schenkel 23 der Thermoelemente 21 und auch die Schenkel 24 der Thermoelemente 22 sind zwi­ schen den Schenkelkontaktstellen 25 wiederum jeweils halb­ kreisförmig, d. h. in Halbkreisen 23 und 24 angeordnet, die mit ihrer Basis F gegeneinanderliegen und in Form eines Teilpolygons aufgebracht sind.

Die Schenkelkontaktstellen 25 sind wiederum um ein jeweiliges Zentrum G herum kreisförmig angeordnet, so dass durch die dabei gebildete Oeffnung 28 bzw. 29 jeweils eine Messstelle 30 bzw. 31 gebildet ist. Jede Messstelle 30 und 31 besitzt jeweils einen elektrischen Anschluss 32 bzw. 33. Zu den übrigen einzelnen Elementen und er­ reichten Vorteilen wird auf die obige Beschreibung, ins­ besondere der Ausführungsform nach Fig. 1 verwiesen.

Wie Fig. 3 weiterhin zeigt, sind die Thermoele­ mente 22 unmittelbar auf der Tragplatte 20 als Dickfilm, vorzugsweise mit einer Dicke H von 10 µm, aufgebracht. Auf dem jeweiligen Schenkel 24 des Thermoelementes 22 liegt eine elektrisch isolierende Schicht 34, die sich über den grösseren Teil der Oberseite 35 der Dickfilmschicht des Schenkels 24 erstreckt. Das zum Zentrum G gerichtete freie Ende des Schenkels 24 besitzt eine nach oben ge­ richtete Verdickung 24a, deren Oberseite 36 frei von der Isolationsschicht 34 ist. Auf die Isolationsschicht 34 und die von derselben freie Oberseite 36 der Verdickung 24a des Schenkels 24 des Thermoelementes 22 ist eine Dickfilm­ schicht des Schenkels 23 des Thermoelementes 21 aufgebracht, welche wiederum die Dicke H von 10 µm aufweist. Da die freie metallische Oberseite 36 der Verdickung 24a des Ther­ moelementes 22 in unmittelbarem elektrischen Kontakt mit dem Thermoelement 21 steht, ist somit die Schenkelkontakt­ stelle 25 gebildet. Ueber die Thermoelemente 21 und den übrigen Teil des Mehrfach-Thermoelementfühlers ist dann wiederum eine elektrisch isolierende Schicht 37 gelegt, da­ mit die. Thermoelemente geschützt sind und ein Kurzschluss durch unmittelbare Berührung eines Tiegels mit den Schen­ kelkontaktstellen 25 vermieden wird. Die Dickfilmschicht des Thermoelementes 21 besitzt an ihrem freien, dem Zen­ trum G zugewandten Ende, wiederum eine nach oben gerich­ tete Verdickung 23a, so dass eine Auflagestelle ausgebil­ det ist, durch welche die Kontaktstellen 25 besser an ei­ nen in die Oeffnung 28 eingesetzten Tiegel 38 (nur teilweise gezeigt) herangeführt werden. Die Isolationsschich­ ten 34 und 37 weisen eine Dicke K auf, die gleich oder im wesentlichen gleich der Dicke H der Thermoelemente 21 und 22 ist. Die Verdickungen 23a und 24a besitzen von der Oberseite der Schenkel weg eine Höhe L, die der Höhe H (Schenkelhöhe) der Thermoelemente 21 bzw. 22 entspricht.

In der Ausführungsform des Mehrfach-Thermoelement­ fühlers nach Fig. 4, in welcher mit der Ausführungsform nach Fig. 3 gleiche Teile die gleichen Bezugszeichen haben, erstreckt sich ein Tiegel 39 mit seinem Boden 39a über die Oeffnung 29 der Messstelle 31 hinaus und sitzt daher über den Verdickungen 23a. Hierdurch ist wiederum eine Auflage­ stelle des Tiegels 39 bezüglich der Schenkelkontaktstellen 25 gesichert.

Die Fig. 5 zeigt einen Thermoanalyseofen 40 mit ei­ nem Ofenkörper 41, der mit einem Deckel 42 verschliessbar ist. Der Ofenkörper 41 besitzt eine elektrische Heizein­ richtung 43 mit elektrischen Anschlüssen 44 zur Beheizung des Thermoanalyseofens 40. Im Ofenkörper 41 ist auf einem Gestell 45 eine Messzelle 46 angeordnet, welche einen Mehrfach-Thermoelementfühler 47 nach der Erfindung z. B. in einer Ausführungsform enthält, wie sie vorstehend in den Ausführungsbeispielen nach Fig. 1 bis 4 beschrieben wurde. Der Thermoanalyseofen 40 enthält somit eine Mess­ zelle mit einem Mehrfach-Thermoelementfühler, bei welchem die einzelnen Thermoelemente mit ihren Schenkeln und Schen­ kelkontaktstellen als Dickfilm vorliegen. Der Mehrfach- Thermoelementfühler 47 besitzt Messstellen 48 und 49, wo­ bei z. B. ein Probentiegel 50 in die Messstelle 48 und ein Referenztiegel 51 in die Messstelle 49 eingesetzt ist. Zur Ausbildung des Mehrfach-Thermoelementfühlers wird dabei auf die vorstehende Beschreibung verwiesen.

Ein in dem Probentiegel 50 befindliches Material kann gegenüber dem Material im Referenztiegel 51 einer Thermoanalyse unterworfen werden.

Der Thermoanalyseofen besitzt eine Oeffnung 52, durch welche z. B. ein Spülgas geleitet werden kann, das durch eine Oeffnung 53 von annähernd 1 mm Durchmesser im Deckel 42 wieder austreten kann. Der Mehrfach-Thermoele­ mentfühler 47 ist mit seinen elektrischen Anschlüssen (nicht gezeigt) über elektrische Leitungen 54 an z. B. ein Messgerät (nicht gezeigt) anschliessbar. Die elektrischen Leitungen 54 sind vom Mehrfach-Thermoelementfühler 47 weg durch ein Rohr 55 geführt, das sich durch einen Kanal 56 im Sockel 45 und eine Oeffnung 57 im Ofenkörper 41 nach aussen erstreckt. Weiterhin ist der Ofenkörper 41 mit einem Temperaturmessfühler 58 mit elektrischen Anschlüssen 59 ausgerüstet, mit welchem die Heiztemperatur des Ofens 40 gemessen und geregelt werden kann.

Claims (15)

1. Mehrfach-Thermoelementfühler mit mindestens zwei Meßstellen zur Verwendung bei der Thermoanalyse, dessen einzelne, in Reihe miteinander verbundene Thermoele­ mente auf einem elektrisch nichtleitenden Material vorliegen und sich mit mindestens im wesentlichen parallel angeordneten Schenkeln halbkreisförmig zwischen Schenkelkon­ taktstellen erstrecken, welche jeweils um ein Zentrum herum zu einer Meßstelle angeord­ net sind, wobei jede Meßstelle einen elektrischen Anschluß aufweist und die einzelnen Thermoelemente mit ihren Schenkeln und Schenkelkontaktstellen als Dickfilm vorliegen.

2. Mehrfach-Thermoelementfühler mit mindestens zwei Meßstellen in einem Thermo­ analyseofen, der einen Ofenkörper aufweist, der mit einem Deckel verschließbar und mit einer elektrischen Heizeinrichtung beheizbar ist, und in welchem eine Meßzelle angeord­ net ist, welche den Mehrfach-Thermoelementfühler für eine Thermoanalyse besitzt, des­ sen einzelne, in Reihe miteinander verbundene Thermoelemente auf einem elektrisch nichtleitenden Material vorliegen und sich mit mindestens im wesentlichen parallel ange­ ordneten Schenkeln halbkreisförmig zwischen Schenkelkontaktstellen erstrecken, welche jeweils um ein Zentrum herum zu einer Meßstelle angeordnet sind, wobei jede Meßstelle einen elektrischen Anschluß aufweist und die einzelnen Thermoelemente mit ihren Schen­ keln und Schenkelkontaktstellen als Dickfilm vorliegen.

3. Fühler nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ther­ moelemente mit einer Dicke von 5-15 µm, vorzugsweise 10 µm vorliegen.

4. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schenkelkontaktstellen um das Zentrum herum kreisförmig angeordnet sind.

5. Fühler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß je Meßstelle 10 Schenkelkontaktstellen auf einem Kreis mit einem Durchmesser von 5 mm vorliegen.

6. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß 10 bis 60 Schenkelkontaktstellen je Meßstelle vorliegen.

7. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schenkel Halbkreise beschreiben, die mit ihrer Basis gegeneinandergelegt sind.

8. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Schenkel polygonförmige Halbkreise beschreiben, die mit ihrer Basis aneinandergelegt sind.

9. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die einzel­ nen Thermoelemente elektrisch voneinander isoliert parallel nebeneinander vorliegen.

10. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die einze­ lene Thermoelemente elektrisch voneinander isoliert parallel übereinander vorliegen.

11. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Ther­ moelemente mindestens ein Edelmetall, vorzugsweise Gold-Gold/Platin, Gold- Gold/Palladium, Gold/Palladium-Platin/Palladium, Silber-Silber/Palladium oder Silber- Platin aufweisen.

12. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das elek­ trisch nichtleitende Material Träger des Fühlers ist.

13. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das elek­ trisch nichtleitende Material ein Nichtmetall, z. B. Keramik, Aluminiumoxyd, Glaskeramik, Pyrex oder dergleichen ist.

14. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Ther­ moelemente auf einer Tragplatte vorliegen.

15. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Ther­ moelemente an ihrer freien Oberseite mit einer elektrisch nichtleitenden Schicht bedeckt sind.