DE3887975T2 - Beschichtete Teile eines Gasturbinenverdichters. - Google Patents

Beschichtete Teile eines Gasturbinenverdichters.

Info

Publication number
DE3887975T2
DE3887975T2 DE3887975T DE3887975T DE3887975T2 DE 3887975 T2 DE3887975 T2 DE 3887975T2 DE 3887975 T DE3887975 T DE 3887975T DE 3887975 T DE3887975 T DE 3887975T DE 3887975 T2 DE3887975 T2 DE 3887975T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
titanium
coating
cathode
residual
coatings
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE3887975T
Other languages
English (en)
Other versions
DE3887975D1 (de
Inventor
Melvin Freling
Dinesh Kumer Gupta
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RTX Corp
Original Assignee
United Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by United Technologies Corp filed Critical United Technologies Corp
Publication of DE3887975D1 publication Critical patent/DE3887975D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3887975T2 publication Critical patent/DE3887975T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02CGAS-TURBINE PLANTS; AIR INTAKES FOR JET-PROPULSION PLANTS; CONTROLLING FUEL SUPPLY IN AIR-BREATHING JET-PROPULSION PLANTS
    • F02C7/00Features, components parts, details or accessories, not provided for in, or of interest apart form groups F02C1/00 - F02C6/00; Air intakes for jet-propulsion plants
    • F02C7/30Preventing corrosion or unwanted deposits in gas-swept spaces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/32Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325Electric arc evaporation
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12576Boride, carbide or nitride component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12583Component contains compound of adjacent metal
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264Up to 3 mils
    • Y10T428/2651 mil or less
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678Of metal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Gegenstand, der mit erosionsbeständigem Titan oder einer erosionsbeständigen Titanlegierung mit einem Titangehalt, der 50 Atom% übersteigt, überzogen ist und eine Dauerwechselfestigkeit hat, die im wesentlich gleich der eines ähnlichen, unüberzogenen Gegenstands ist.
  • Die Erfindung bezieht sich auf Überzüge zum Schutz von Titanlegierungsgasturbinentriebwerksbauteilen. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf Titannitridüberzüge, welche Erosionsbeständigkeit ohne nennenswerte Einbuße an Dauerwechselfestigkeit schaffen.
  • Titanlegierungen werden wegen ihrer mechanischen Eigenschaften überwiegend, wenn nicht ausschließlich, bei der Herstellung von Verdichterhardware für Gasturbinentriebwerke benutzt. Diese Hardware umfaßt Laufschaufeln und Leitschaufeln, die zusammenwirken, um Luft zu verdichten, welche anschließend unter Zusatz von Kohlenwasserstoffbrennstoff verbrannt wird, um Antriebsenergie zu erzeugen. Die Turbinentriebwerksverdichter weisen im allgemeinen eine Vielzahl von Kränzen von Laufschaufeln und Leitschaufeln auf, die zusammenwirken, um Luft fortschreitend zu verdichten. Die Anzahl der Stufen kann von etwa 5 bis etwa 20 reichen. In einem modernen Gasturbinentriebwerk kann die verdichtete Luft eine Temperatur bis zu 760 ºC (1400 ºF), Drücke bis zu 3,10 MPa (450 psi) und Geschwindigkeiten bis zu 300 m/min (1000 Fuß pro Minute) erreichen. Man kann sich somit vorstellen, daß Verdichterhardware, insbesondere gegen Ende des Verdichtungsprozesses, in einer beanspruchenden Umgebung arbeitet.
  • Ein effizienter Verdichterbetrieb verlangt das Aufrechterhalten der ursprünglichen Verdichterhardwaregeometrie. Die Verdichterlaufschaufeln und -leitschaufeln haben Flügelprofilformen mit relativ scharfen Kanten. Die Gasturbinentriebwerke saugen riesige Mengen an Luft ein, und diese Luft wird unvermeidlich eine gewisse Menge an Teilchenmaterial enthalten. In dem Fall eines Flugzeuges kann es sich dabei um Sand oder Splitt von der Rollbahn handeln. Solche Materialien sind sehr schmirgelnd und erosiv, wenn sie mit hohen Geschwindigkeiten auf die Verdichterhardware auftreffen. Der Erosionsprozeß ist schädlich, weil er den Verdichterwirkungsgrad wegen der Verschlechterung der Anfangsschaufelgeometrie reduziert.
  • Dieses Problem ist seit einiger Zeit erkannt worden, und es sind Versuche gemacht worden, harte Überzüge auf Verdichterhardwareoberflächen zu benutzen, um die Erosion zu verringern. Solche Überzüge sind beim Kontrollieren der Erosion im allgemeinen mehr oder weniger wirksam, sie hatten bislang aber alle eine deutlich nachteilige Auswirkung auf das Ermüdungsverhalten bei hoher Lastspielzahl.
  • Verdichterlaufschaufeln und -leitschaufeln arbeiten in einem bewegten Gasstrom hoher Energie und sind einer Vielfalt von Schwingungseffekten ausgesetzt. Aufgrund dieser Bedingungen und aufgrund der von Haus aus vorhandenen Eigenschaften von Titan haben viele Verdichterbauteile eine Lebensdauer, die durch die Ermüdung begrenzt wird. Deshalb kann irgendeine Verschlechterung der Dauerwechselfestigkeit, die aus einem harten Überzug resultiert, nicht zugelassen werden.
  • Es gibt deshalb einen Bedarf an einem erosionsbeständigen Überzug, der die Dauerwechselfestigkeit von Gasturbinenteilen nicht reduziert.
  • Der erosionsbeständige, mit Titan oder einer Titanlegierung mit einem Titangehalt, welcher 50 Atom% übersteigt, überzogene Gegenstand nach der vorliegenden Erfindung umfaßt: einen strahlverfestigten Gegenstand aus Titan oder Titanlegierung mit einem 50 Atom% übersteigenden Titangehalt, der Restoberflächendruckspannungen hat;
  • einen Titannitridoberflächenüberzug, der Restoberflächendruckspannungen hat, die die vorher vorhandene Titanrestoberflächendruckspannung übersteigen, wobei der Überzug eine Dicke von 10 bis 25 um und ein Verhältnis von Stickstoff zu Titan von 1,05 bis 1,15 hat.
  • In ihrer breitesten Ausgestaltung beinhaltet die vorliegende Erfindung einen Titannitrid(TiN)-Überzug, der mit einem Titanlegierungssubstrat fest verbunden ist, wobei der Überzug eine beträchtliche Restoberflächendruckspannung hat. Wir haben herausgefunden, daß Restüberzugsdruckspannung innerhalb eines gewissen Bereiches bewirken, daß die Einbuße an Dauerwechselfestigkeit, die bei solchen Überzügen früher beobachtet worden ist, im wesentlichen eliminiert wird.
  • Titannitrid ist die Überzugszusammensetzung nach der vorliegenden Erfindung. Restdruckspannungen in dem Überzug resultieren aus einem Überschuß an Stickstoff. Ein solcher Überschuß an Stickstoff, das als ein interstitielles Element vorhanden ist, beansprucht das Titannitridgitter und erzeugt eine Restdruckspannung.
  • Ein solcher Überzug kann unter Verwendung eines Aufdampfprozesses mit reaktivem Lichtbogen aufgebracht werden. Bei einem solchen Prozeß wird ein elektrischer Lichtbogen benutzt, um ein Plasma in einem Stickstoffgas reduzierten Druckes zu erzeugen. Der Lichtbogen wird von einer Titankatode ausgezogen und erzeugt eine Plasmawolke, die ionisierten Stickstoff und verdampftes Titan, das vermutlich ebenfalls ionisiert ist, enthält. Diese Bestandteile vereinigen sich, um einen Titannitridüberzug auf einem benachbarten Substrat zu bilden, das geeignet elektrisch vorgespannt werden kann, um einen verbesserten Überzugsauftrag zu erzielen. Wenn mit den richtigen Bedingungen gearbeitet wird, wird das Verhältnis von Stickstoff zu Titan in den Überzügen nach Erfindung von 1,05 bis 1,15 reichen. Solche Stickstoffüberschüsse werden erzielt, wenn die Überzüge für lange Zeitspannen aufgebaut worden sind, das heißt, solche Stickstoffüberzüge werden in dicken Überzügen beobachtet. Dieser überschüssige Stickstoff, der bei Überzugsdicken von 10 bis 25 um (Mikrometer) vorhanden ist, wird eine Restdruckspannung von wenigstens 100 ksi und vorzugsweise von 689,5 bis 1034,25 MPa (100 bis 150 ksi) erzeugen. Eine solche Überzugsrestspannung wird die Oberflächenrestspannung übersteigen, die in einem unüberzogenen Titanbauteil normalerweise vorhanden ist, und wird deshalb Rißeinleitung und -wachstum verzögern helfen. In der folgenden Beschreibung und den Ansprüchen sind alle Spannungen bei Raumtemperatur gemessen worden. Außerdem, wenn auf Titan Bezug genommen wird, so sollen darin Titanlegierungen eingeschlossen sein, bei denen der Titangehalt 50 Atom% übersteigt. Bevorzugte Legierungselemente umfassen die hochschmelzenden Metalle wie Zirkonium, Hafnium, Molybdän, Tantal, Niob, Vanadium, Chrom, Wolfram, Rhenium und dgl.
  • Die vorstehenden und andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung und der beigefügten Zeichnung deutlicher werden.
  • Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung, die zum Auftragen von erfindungsgemäßen Überzügen geeignet ist.
  • Fig. 2 zeigt das Ermüdungsverhalten, das aus Überzügen unterschiedlicher Dicke resultiert.
  • Fig. 3 zeigt die Auswirkung des erfindungsgemäßen Überzugs auf das Erosionsverhalten.
  • Die Überzüge nach der Erfindung können hergestellt werden, indem eine Vorrichtung benutzt wird, die in Fig. 1 in schematischer Form gezeigt ist. Speziellere Einzelheiten über die Vorrichtung finden sich in internationalen Anmeldungen, die unter dem Patentzusammenarbeitsvertrag am 9. April 1987 eingereicht worden sind, Veröffentlichungs-Nr. W087/02 071 und WO87/02072. Die Erfindung betrifft gewisse beanspruchte Überzüge, die unter Verwendung der Vorrichtung hergestellt werden, wobei die Vorrichtung nicht Teil der vorliegenden Erfindung ist.
  • Gemäß Fig. 1, auf die nun Bezug genommen wird, hat die Vorrichtung zum Ausführen des Verfahrens nach der Erfindung einen Mantel 10 mit einer Vakuumkammer 11, die auf einen gewünschten Betriebsdruck von im allgemeinen zwischen 13,3 und 0,06 Pa (10&supmin;¹ bis 5 x 10&supmin;&sup4; Torr) und vorzugsweise zwischen 6,65 und 0,66 Pa (5 x 10&supmin;² und 5 x 10&supmin;³ Torr) durch ein herkömmliches Vakuumpumpsystem 12 evakuiert wird, das mit der Vakuumkammer 11 über einen offenen Anschluß 13 in Verbindung steht.
  • Die Vakuumkammer 11 kann irgendeine gewünschte Geometrie haben und irgendeine gewünschte Größe aufweisen, um ein oder mehrere Objekte 14 aufzunehmen, die mit Quellenmaterial überzogen werden sollen, welches durch Verdampfen von einer oder mehreren massiven Titankatoden 15 gemäß der Ausführung der vorliegenden Erfindung geliefert wird. Zu Veranschaulichungszwecken ist der Mantel 10 mit einem insgesamt rechteckigen Körper gezeigt, der, im Querschnitt, eine obere Wand 16, eine untere Wand 17 und Seitenwände 18 bzw. 19 hat. Der Mantel 10 kann einen zusätzlichen Abschnitt 20 aufweisen, der eine beliebige Strecke von der Seitenwand 18 vorsteht. Die Seitenwand 18 hat eine Öffnung 21, über die die Titankatode 15 mit der Vakuumkammer 11 in Verbindung steht.
  • Die Titankatode 15 ist an einer Katodentragvorrichtung 22 befestigt. Die Katodentragvorrichtung 22 ist an einem Flansch 25 durch einen Isolator 27 befestigt. Der Befestigungsflansch 25 ist mit dem Abschnitt 20 des Mantels 10 verbunden. Der Tragblock 22 hat einen relativ kleinen Hohlraum 28, der mit einem Einlaßdurchlaß 29 und mit Auslaßdurchlässen 30 verbunden ist. Ein Kühlmittel wie Wasser wird durch den Hohlraum 28 von einer Quelle aus (nicht dargestellt) hindurchgeleitet. Das Kühlmittel fließt von der Quelle durch den Einlaßdurchlaß 29 in den Hohlraum 28 und kehrt zu der Quelle über die Auslaßdurchlässe 30 zurück. Ein Gleichstrommagnet 33 ist in dem Tragblock 22 angeordnet und dient zum Verteilen des Befestigungsortes eines elektrischen Lichtbogens 34 über der Lichtbogenverdampfungs oberfläche 35 der Katode 15.
  • Ein hohles, langgestrecktes Teil 36 umgibt die Titankatode 15 und hat Abstand von derselben, um einen relativ schmalen Zwischenraum 40 zu bilden. Das langgestreckte Teil 36 ist an dem Befestigungsflansch 25 durch den Isolator 27 befestigt. Die Geometrie des Teils 36 und ein offenes Ende 41 sind der Geometrie und der Abmessung der Titankatode 15 vorzugsweise im wesentlichen angepaßt, wie es in den Fig. 3A, 3B bzw. 3C der WO-A-87/02071 gezeigt ist. Das langgestreckte Teil 36 sollte über seiner Länge in der Querschnittsabmessung im wesentlichen gleichmäßig sein. Das gewährleistet, daß das offene Ende 41 die Plasmaströmung nicht drosselt, wenn diese das Teil 36 verläßt. Wenn eine zylindrische oder scheibenförmige Titankatode benutzt wird, sollte demgemäß das Teil 36 vorzugsweise rohrförmig sein, wobei der schmale Zwischenraum 40 im Querschnitt kreisringförmig ist. Bei einer Katode mit einem Durchmesser von 6,35 cm kann die Dicke des ringförmigen Zwischenraums 40 von etwa 0,08 cm bis etwa 0,24 cm reichen. Eine Einlaßöffnung 38 in dem Tragblock 22 steht mit dem schmalen Zwischenraum 40 und mit einer Eingangsstickstoffgasversorgungsleitung 39 direkt in Verbindung. Stickstoffgas wird über die Stickstoffgasversorgungsleitung 39 aus einer Stickstoffgasguelle (nicht gezeigt) in den schmalen Zwischenraum 40 eingeleitet, von wo aus das Gas durch die Katodenkammer 37 in die Vakuumkammer 11 geleitet wird. Ein Ventil V wird benutzt, um die Strömung von Stickstoffgas durch die Versorgungsleitung 39 zu steuern.
  • Das langgestreckte Teil 36 steht eine vorbestimmte Strecke "x" über die verdampfbare Endoberfläche 35 der Katode vor, um eine Katodenkammer 37 zu bilden. Die Erstreckung "x" zwischen dem offenen Ende 41 des Teils 36 und der verdampfbaren Endoberfläche 35 muß größer als null sein und bis zu einem Maximum von beispielsweise etwa l3 cm Länge bei einer Katode 15 mit einem Durchmesser von 6,35 cm reichen. Die Strecke "x" wird ab der verdampfbaren Endoberfläche 35 der Katode, wie in Fig. 3 gezeigt, bis zu dem offenen Ende 41 des langgestreckten Teils 36 gemessen. Die bevorzugte Mindeststrecke "x" beträgt wenigstens etwa einen Zentimeter, und der bevorzugte Bereich für "x" ist zwischen 2 bis 6 cm für eine Katode mit einem Durchmesser von 6,35 cm. Ähnliche Längenverhältnisse von "x 1, hier definiert als x/d, wobei "d" die Hauptabmessung der verdampfbaren Endoberfläche 35 der Katode ist, müssen für alle Katodengeometrien aufrechterhalten werden. Das Längenverhältnis muß größer als null sein und bis zu einem Maximum von 2,0 gehen. Das bevorzugte minimale Längenverhältnis beträgt wenigstens 0,07, und der bevorzugte Bereich des Längenverhältnisses liegt zwischen 0,3 und 1,0. Das kritische Erfordernis und die Wichtigkeit der Ausnehmung der Katode 15 innerhalb des Teils 36, um die Katodenkammer 37 zu bilden, wird in der Beschreibung weiter unten ausführlicher erläutert. Das langgestreckte Teil 36 kann vorzugsweise aus irgendeinem Material bestehen, welches die Funktion des Magneten 33 beim Verteilen der Befestigung des elektrischen Lichtbogens 34 über der Lichtbogenverdampfungsoberfläche 35 nicht behindert, und kann irgendein nichtmagnetisches Material sein, das für Hochtemperaturvakuumbetrieb geeignet ist, zum Beispiel nichtmagnetischer rostfreier Stahl.
  • Das Objekt 14 ist auf einer Tragplatte 42 befestigt, die in der Vakuumkarn ner 11 angeordnet und von der verdampfbaren Endoberfläche 35 der Titankatode 15 beabstandet ist. Der Typ des Gebildes, das zuin Abstützen oder Aufhängen des Objekts 14 in der Vakuumkammer 11 benutzt wird, hängt von der Größe, der Konfiguration und dem Gewicht des Objekts ab.
  • Der Einfachheit halber ist das Objekt 14 mit einer rechteckigen Geometrie gezeigt, wobei eine ebene Oberfläche der Katodenverdampfungsendoberfläche 35 zugewandt ist. Es sollte klar sein, daß das Objekt 14 irgendeine Konfiguration haben kann und auf irgendeine Weise abgestützt sein kann. Das Objekt 14 kann auch irgendeine geeignete Zusammensetzung haben, die in der Lage ist, die Vakuumbedingungen bei hoher Temperatur auszuhalten, welche in der Kammer 11 herrschen, und es kann aus Materialien wie hochschmelzenden Metallen, Superlegierungen, rostfreien Stählen, keramischen Verbundstoffen und Titanlegierung bestehen* Die Tragplatte 42 sollte jedoch aus einem leitfähigen Material bestehen und ist mit einem Metallstab 42 verbunden, der sich durch einen isolierten Hochspannungsdurchführungsanschluß 43 in der unteren Wand 17 des Mantels 10 erstreckt.
  • Der Netallstab 42 ist mit der negativen Klemme einer Vorspannungsstromversorgung 44 verbunden, welche außerhalb des Mantels 10 angeordnet ist, wobei die positive Klemme der Vorspannungsstromversorgung 44 mit der Seitenwand 18 über die elektrische Anschlußleitung 31 verbunden ist.
  • Die Vakuumkammer 11 kann weiter eine elektrisch isolierte Oberfläche 70 enthalten, die gegenüber der verdampfbaren Katodenendoberfläche 35 angeordnet ist, wobei das Objekt 14 und die Tragplatte 42 dazwischen angeordnet sind. Die elektrisch isolierte Oberfläche 70 kann selbst aus einem Isolatormaterial bestehen oder kann aus einem leitfähigen Material bestehen, das von der Kammer 10 durch einen gezeigten Isolator 71 isoliert ist. Diese elektrisch isolierte Oberfläche 70 dient dazu, das Plasma in dem Kammervolumen 72 zwischen der Oberfläche 70 und der verdampfbaren Katodenendoberfläche 35 im wesentlichen einzuschließen, wobei das Objekt l4 vorgesehen wird, ohne daß die Oberfläche 70 Ionen oder Elektroden aus dem Plasma anzieht, und weiter dazu dient, eine Wechselwirkung zwischen Plasmas zu verhindern, wenn mehrere Verdampfer in der Kammer 11 untergebracht sind.
  • Der Lichtbogenstrom wird von einer Hauptstromversorgung 46 geliefert, die außerhalb des Mantels 10 angeordnet ist. Die Hauptstromversorgung 46 ist mit ihrer negativen Klemme mit dem Katodentragblock 22 und mit ihrer positiven Klemme mit der Seitenwand 18 verbunden. Der elektrische Lichtbogen 34 wird zwischen der Titankatode 15 und der Seitenwand 18 des Mantels 10 gebildet. Die Seitenwand 18 repräsentiert die Anode und kann mit Massepotential 45 über eine elektrische Anschlußleitung 49 verbunden sein. Alternativ kann die Anode aus einem anderen leitfähigen Teil (nicht gezeigt) gebildet sein, das an der Seitenwand befestigt, von dieser aber elektrisch getrennt ist. Die Geometrie dieser Anode würde nicht kritisch sein. In letzterem Fall kann die Lichtbogenleitung von dem Mantel 10 elektrisch isoliert sein. Es ist außerdem klar, daß die Seitenwand 18 von den anderen Wänden des Mantels 10 elektrisch isoliert werden kann, indem isolierende Separatoren wie diejenigen, die bei 23 gezeigt sind, benutzt werden. Es ist außerdem klar, daß die Anodenseitenwand 18 frei beweglich sein kann, wobei die Masse bei 45 entfernt ist und die Mantelwände 16, 17 und 18 an Masse liegen.
  • Irgendeine herkömmliche Lichtbogenzündprozedur kann benutzt werden einschließlich körperlichen Kontaktierens der Titankatodenendoberfläche 35 mit einer Drahtelektrode 50. Die Drahtelektrode 50 ist mit der Anodenseitenwand 18 oder mit einer separaten Anode (nicht gezeigt) über einen hohen Widerstand R elektrisch verbunden. Darüber hinaus ist die Drahtlelektrode 50 mit einer Stempelvorrichtung 53 über eine isolierte Hülse 51 in dem Befestigungsflansch 25 verbunden. Die Stempelvorrichtung 53 bewegt die Drahtelektrode in körperlichen Kontakt mit der Katodenendoberfläche 35 und zieht sie dann zurück. Eine herkömmliche Stempelvorrichtung zum Ausführen dieses Arbeitsganges ist in der US-A 4 448 799 gezeigt und beschrieben. Es kann jedoch irgendein Mechanismus, der in der in der Lage ist, die Zünddrahtelektrode 50 in Kontakt mit der Katode 15 zu bewegen und sie zurückzuziehen, zum Ausführen der vorliegenden Erfindung benutzt werden. Alternativ kann ein Lichtbogen durch andere herkömmliche Methoden einschließlich Zünden mit übertragenem Lichtbogen und Funkenzündung und Verwendung einer Zündkerze gezündet werden.
  • Beim Berührungszünden fließt, nachdem Kontakt zwischen der Zünddrahtelektrode 50 und der Katode 15 hergestellt worden ist, Strom von der Hauptstromversorgung 46 über die Katode 15 und die Drahtelektrode 50 zur Anodenseitenwand l8. Durch Zurückziehen der Drahtelektrode 50 wird der Kontakt mit der Katode 15 unterbrochen, um einen elektrischen Lichtbogen zu bilden. Der hohe Widerstand R bewirkt, daß der Lichtbogen auf die Anodenseitenwand 18 übertragen wird, welche ein mit weniger Widerstand behafteter Weg als der Weg zu der Drahtelektrode 50 ist.
  • Das Plasma, das durch den Lichtbogen hoher Stromdichte erzeugt wird, enthält Atome, Moleküle, ionisierte Atome und ionisierte Moleküle der Titankatodenverdampfungsoberfläche 35 und ionisierte Spezies von Stickstoffgas. Das negative Vorspannen des Objekts 14 in bezug auf die Anode l8 oder in bezug sowohl auf die Anode 18 als auch die Katode 15 beeinflußt die Glätte, Gleichförmigkeit und Oberflächenmorphologie des Überzugs. Die Vorspannungsstromversorgung sollte auf ein Vorspannungspotential zum Optimieren des Überzugsbetriebes eingestellt werden. Bei einem TiN-Überzug wird ein Vorspannungspotential zwischen 100 und 200 Volt bevorzugt.
  • Stickstoffgas wird durch den Raum 40 in die Katodenkammer 37 geleitet, die das Volumen des Raums zwischen der Katodenverdampfungsoberfläche 35 und dem offenen Ende 41 des langgestreckten Teils 36 repräsentiert. Das Stickstoffgas umhüllt den Lichtbogen hoher Stromdichte in der Katodenkammer 37 über der Strecke "x", was zu einer Erhöhung von Plasmadruck und -temperatur führt. Das Plasma erstreckt sich von der Katodenverdampfungsendoberfläche 35 durch das Gebiet relativ hohen Druckes in der Katodenkammer 37 und tritt über das offene Ende 41 des langgestreckten Teils 36 in Richtung zu dem Gebiet relativ niedrigen Druckes in der Vakuumkammer ll oder dem Kammervolumen 72 aus, wo das negativ vorgespannte Substrat angeordnet ist. Ein zusätzlicher Vorteil der Zuführung von Stickstoffgas über den schmalen Raum 40 in die Katodenkammer 37 besteht darin, daß das Stickstoffgas in dem Raum 40 als ein Isolator dient, um eine Lichtbogenbildung von der Katode 15 zu dem Teil 36 zu verhindern.
  • Fig. 1 zeigt somit die wesentlichen Merkmale einer reaktiven Lichtbogenaufdampfvorrichtung, die benutzt werden kann, um einen Titannitridüberzug auf ein Titansubstrat aufzutragen. Die Vorrichtung, die in Fig. 1 gezeigt ist, kann aber benutzt werden, um eine Vielfalt von Titannitridüberzügen aufzutragen, die unterschiedliche Eigenschaften haben, wobei die überwiegende Mehrheit derselben für Gasturbinentriebwerkszwecke nutzlos sein wird und die meisten von ihnen tatsächlich für solche Zwecke nachteilig sein werden. Der Entwickler der Vorrichtung arbeitete mit der vorliegenden Anmelderin beim Auftragen von TiN-Überzügen auf Verdichterschaufeln zusammen. Die Vorrichtungsentwickler trachteten danach, die dünnst möglichen Überzüge zu benutzen, 1 bis 5 um (Mikrometer). Es waren lediglich die vorliegenden Erfinder, die die Bedeutung der Restspannungen in dicken Überzügen erkannt haben.
  • Titanverdichterhardware wird üblicherweise strahlverfestigt und hat deshalb eine Restoberflächendruckspannung von 344,75 bis 689,5 MPa (50 bis 100 ksi), was hilft, Ermüdungsrißeinleitung und -wachstum zu verzögern. Nur Überzüge, die Restdruckspannungen haben, welche größer als die vorher vorhandene Oberflächenrestspannung sind, werde nicht die Dauerwechselfestigkeit reduzieren. Restüberzugsdruck-Spannungen, die größer als die vorher vorhandenen Oberflächendruckspannungen und vorzugsweise größer als 100 ksi sind, sind erwünscht. Es ist außerdem erwünscht, daß die Überzugsrestspannung die inhärente Substratrestspannung um wenigstens 68,95 MPa (10 ksi) und vorzugsweise um wenigstens 275,8 MPa (40 ksi) übersteigt.
  • Restspannungen werden in Überzügen geeignet gemessen, indem Röntgenbeugungstechniken benutzt werden, welche dem Fachmann bestens bekannt sind. Alle kristallinen Substanzen haben charakteristische Atomanordnungen, die Ebenen von Atomen aufweisen, welche durch regelmäßig und gut definierte Abstände getrennt sind. Wenn kristalline Materialien beansprucht werden, werden diese charakteristischen interatomaren planaren Abstände geändert. Röntgentechniken stehen zum Messen dieser interplanaren Abstände und zum Berechnen der Spannung zur Verfügung, welche in einer besonderen Probe vorhanden ist, durch die die tatsächlichen interplanaren Abstände gemessen und diese Werte mit Standardwerten aus spannungsfreien Proben verglichen werden.
  • In der vorliegenden Situation sind hohe Restdruckspannungen erwünscht. Diese Restspannungen finden sich in Titannitridüberzügen, die gemäß dem früher beschriebenen Verfahren hergestellt worden sind. Übermäßiger Stickstoff, der an interstitiellen Gitterorten vorhanden ist, verzerrt das Überzugsgitter beträchtlich, wodurch eine Druckspannung erzeugt wird. Mit mehr Stickstoff, der in dem Überzug vorhanden ist, gibt es, wie erwartet würde, mehr Restdruckspannung. Mehr Stickstoff kann in den Überzug diffundiert werden, wenn der Gegenstand für eine lange Zeitspanne während des Auftragens des Überzugs auf einer hohen Temperatur gehalten wird. Das ist ein weiterer Weg zu sagen, daß hohe Restdruckspannungen im allgemeinen in dicken Titannitridüberzügen angetroffen werden.
  • Fig. 2 zeigt das Ermüdungsverhalten bei hoher Lastspielzahl von verschiedenen Titansubstraten, die mit unterschiedlichen Dicken von Titannitrid überzogen sind, welche gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt worden sind. Die vertikale Achse zeigt das Ermüdungsverhalten bei hoher Lastspielzahl für den überzogenen Gegenstand relativ zu dem eines nichtüberzogenen Gegenstands. Es ist zu erkennen, daß für Überzüge, die von 10 bis 25 um (Mikrometer) in der Dicke reichen, das Ermüdungsverhalten bei hoher Lastspielzahl im wesentlichen gleich dem der unüberzogenen Probe ist. Dünnere Überzüge zeigten schlechtes Ermüdungsverhalten bei hoher Lastspielzahl, und es wird erwartet, daß ähnliche Verschlechterungen des Ermüdungsverhaltens bei hoher Lastspielzahl bei dickeren Überzügen beobachtet werden. Dünne Überzüge haben keine ausreichende Restspannung, um Ermüdung zu widerstehen. Erwartungsgemäß werden dicke Überzüge durch Abblättern ausfallen, da in dicken Überzügen die vorhandenen Überzugsdefekte einen Ausfall entfernt von der Überzugssubstratgrenz fläche verursachen werden.
  • Fig. 3 zeigt den Einfluß eines Titannitridüberzugs, der gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt worden ist, auf die Erosionsbeständigkeit von Titanschaufeln, die in einem Brennerprüfstand bei 482 - 510 ºC (900 - 950 ºF) mit dem absichtlichen Zusatz 6 Gramm Aluminiumoxidteilchenmaterial pro Minute getestet worden sind, um im Betrieb auftretenden Verschleiß zu simulieren. Die Verbesserung, die aus dem Titannitridüberzug resultiert, ist beträchtlich, insbesondere in längeren Tests.
  • Somit ist gemäß der vorliegenden Erfindung ein Titannitridüberzug beschrieben worden, der Erosionsbeständigkeit schafft, ohne die Dauerwechselfestigkeit zu reduzieren.

Claims (3)

1. Mit erosionsbeständigem Titan oder erosionsbeständiger Titanlegierung, die einen Titangehalt hat, der 50 Atom% übersteigt, überzogener Gegenstand, der eine Dauerwechselfestigkeit hat, die im wesentlich gleich der eines ähnlichen, nicht mit Titan oder einer Titanlegierung, die einen Titangehalt hat, der 50 Atom% übersteigt, überzogenen Gegenstands ist, welcher aufweist:
einen strahlverfestigten Gegenstand aus Titan oder Titanlegierung mit einem 50 Atom% übersteigenden Titangehalt, der Restoberflächendruckspannungen hat;
einen Titannitridoberflächenüberzug, der Restoberflächendruckspannungen hat, die die vorher vorhandene Titanrestoberflächendruckspannung übersteigen, wobei der Überzug eine Dicke von 10 bis 25 um und ein Verhältnis von Stickstoff zu Titan von 1,05 bis 1,15 hat.
2. Gegenstand nach Anspruch 1, wobei die Titanoberflächenspannung 344,75 bis 689,5 MPa (50 - 100 ksi) beträgt und die Überzugsrestoberflächenspannung 689,5 bis 1034,25 MPa (100 - 150 ksi) beträgt.
3. Gegenstand nach Anspruch 1, wobei die Überzugsrestoberflächenspannung die Titan- oder Titan1egierungsrestoberflächenspannung um 68,95 - 275,8 MPa (10 - 40 ksi) übersteigt.
DE3887975T 1987-12-24 1988-12-01 Beschichtete Teile eines Gasturbinenverdichters. Expired - Fee Related DE3887975T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/137,852 US4904528A (en) 1987-12-24 1987-12-24 Coated gas turbine engine compressor components

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3887975D1 DE3887975D1 (de) 1994-03-31
DE3887975T2 true DE3887975T2 (de) 1994-06-01

Family

ID=22479320

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE198888630214T Pending DE323388T1 (de) 1987-12-24 1988-12-01 Beschichtete teile eines gasturbinenverdichters.
DE3887975T Expired - Fee Related DE3887975T2 (de) 1987-12-24 1988-12-01 Beschichtete Teile eines Gasturbinenverdichters.

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE198888630214T Pending DE323388T1 (de) 1987-12-24 1988-12-01 Beschichtete teile eines gasturbinenverdichters.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4904528A (de)
EP (1) EP0323388B1 (de)
JP (1) JP2892021B2 (de)
KR (1) KR930004069B1 (de)
AU (1) AU614315B2 (de)
DE (2) DE323388T1 (de)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5254359A (en) * 1989-06-02 1993-10-19 Air Products And Chemicals, Inc. Method of forming titanium nitride coatings on carbon/graphite substrates by electric arc thermal spray process using titanium feed wire and nitrogen as the atomizing gas
US5185211A (en) * 1991-07-11 1993-02-09 Praxair S.T. Technology, Inc. Non-stoichiometric titanium nitride coating
US5315822A (en) * 1991-12-20 1994-05-31 United Technologies Corporation Gas turbine elements rearing coke inhibiting coatings of titanium compounds
US5490195A (en) * 1994-05-18 1996-02-06 Fatigue Management Associates Llc Method for measuring and extending the service life of fatigue-limited metal components
US5625664A (en) * 1994-05-18 1997-04-29 Fatigue Management Associates Llc Methods for the design, quality control, and management of fatigue-limited metal components
US5441235A (en) * 1994-05-20 1995-08-15 Eaton Corporation Titanium nitride coated valve and method for making
IN187185B (de) * 1995-04-25 2002-02-23 Siemens Ag
US5738768A (en) * 1995-10-31 1998-04-14 Caterpillar Inc. Process for reducing particle defects in arc vapor deposition coatings
GB9818484D0 (en) 1998-08-26 1998-10-21 Rolls Royce Plc A method and apparatus for improving material properties
DE10343761A1 (de) * 2003-09-22 2005-04-14 Mtu Aero Engines Gmbh Verschleißschutzschicht, Bauteil mit einer derartigen Verschleißschutzschicht sowie Herstellverfahren
US20050158460A1 (en) * 2004-01-21 2005-07-21 Williams Christopher C. Method for protecting new/used engine parts
US20050255329A1 (en) * 2004-05-12 2005-11-17 General Electric Company Superalloy article having corrosion resistant coating thereon
US7186092B2 (en) * 2004-07-26 2007-03-06 General Electric Company Airfoil having improved impact and erosion resistance and method for preparing same
US8118561B2 (en) 2004-07-26 2012-02-21 General Electric Company Erosion- and impact-resistant coatings
US20080166561A1 (en) 2005-08-16 2008-07-10 Honeywell International, Inc. Multilayered erosion resistant coating for gas turbines
US8127442B2 (en) * 2005-12-15 2012-03-06 United Technologies Corporation Compressor blade flow form technique for repair
KR20080012744A (ko) * 2006-08-03 2008-02-12 유나이티드 테크놀로지스 코포레이션 부식 코팅되는 부품의 코팅전 버니싱
EP2152937A4 (de) * 2007-03-30 2012-03-07 Ca Nat Research Council Überzug
US20100078308A1 (en) 2008-09-30 2010-04-01 General Electric Company Process for depositing a coating on a blisk
US20100226783A1 (en) * 2009-03-06 2010-09-09 General Electric Company Erosion and Corrosion Resistant Turbine Compressor Airfoil and Method of Making the Same
US20110052406A1 (en) * 2009-08-25 2011-03-03 General Electric Company Airfoil and process for depositing an erosion-resistant coating on the airfoil
US8196600B1 (en) 2010-12-27 2012-06-12 General Electric Company High-temperature jointed assemblies and wear-resistant coating systems therefor
KR101353453B1 (ko) * 2011-12-28 2014-01-21 재단법인 포항산업과학연구원 경질 코팅층과 그 형성방법
US9404172B2 (en) * 2012-02-22 2016-08-02 Sikorsky Aircraft Corporation Erosion and fatigue resistant blade and blade coating
US10557194B2 (en) 2015-02-26 2020-02-11 United Technologies Corporation Systems and methods for optimal source material deposition along hole edges
JP7214120B2 (ja) * 2018-11-27 2023-01-30 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜被覆部材及びその製造方法
CN116463586A (zh) * 2023-06-14 2023-07-21 北京辰融科技有限责任公司 用于钛合金表面的抗冲蚀抗疲劳一体化涂层及其制备方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3332870A (en) * 1962-10-08 1967-07-25 Mhd Res Inc Method and apparatus for effecting chemical reactions by means of an electric arc
US3451772A (en) * 1967-06-14 1969-06-24 Air Reduction Production of ultrapure titanium nitride refractory articles
US3656995A (en) * 1969-05-02 1972-04-18 Texas Instruments Inc Chemical vapor deposition coatings on titanium
US3784402A (en) * 1969-05-02 1974-01-08 Texas Instruments Inc Chemical vapor deposition coatings on titanium
US3848068A (en) * 1971-04-21 1974-11-12 Corning Glass Works Method for producing metal compounds
US4080431A (en) * 1976-12-20 1978-03-21 Ppg Industries, Inc. Recovery of refractory hard metal powder product
JPS5625960A (en) * 1979-08-09 1981-03-12 Mitsubishi Metal Corp Surface-coated high speed steel material for cutting tool
JPS5633432A (en) * 1979-08-29 1981-04-03 Toshiba Corp Hardening method for surface of turbine blade
JPS5751132U (de) * 1980-09-08 1982-03-24
IN157173B (de) * 1981-09-10 1986-02-01 United Technologies Corp
DE3151413A1 (de) * 1981-12-24 1983-07-14 MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München "schaufel einer stroemungsmaschine, insbesondere gasturbine"
JPS6056061A (ja) * 1983-09-07 1985-04-01 Toshiba Corp 耐摩耗部品
WO1987002072A1 (en) * 1985-09-30 1987-04-09 Union Carbide Corporation Apparatus and process for arc vapor depositing a coating in an evacuated chamber
US4895765A (en) * 1985-09-30 1990-01-23 Union Carbide Corporation Titanium nitride and zirconium nitride coating compositions, coated articles and methods of manufacture

Also Published As

Publication number Publication date
DE323388T1 (de) 1989-12-28
KR930004069B1 (ko) 1993-05-20
EP0323388A3 (en) 1990-07-11
EP0323388B1 (de) 1994-02-23
US4904528A (en) 1990-02-27
JP2892021B2 (ja) 1999-05-17
KR890010405A (ko) 1989-08-08
AU614315B2 (en) 1991-08-29
DE3887975D1 (de) 1994-03-31
AU2651388A (en) 1989-06-29
JPH01211604A (ja) 1989-08-24
EP0323388A2 (de) 1989-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3887975T2 (de) Beschichtete Teile eines Gasturbinenverdichters.
DE602005002593T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Innenbeschichtung von vorgefertigten Rohrleitungen an Ort und Stelle
DE69302678T2 (de) Beschichteter artikel
DE69509293T2 (de) Mehrfachlagiger erosionsresistenter Überzug und Verfahren zu seiner Herstellung
DE60222613T2 (de) Verfahren zum lokalen Reparieren eines Gegenstandes beschichtet mit einer Wärmedämmstruktur
DE60302396T3 (de) Verfharen zur Herstellung von Wärmedämmschicht mit Nitridpartikeln
DE2431448B2 (de) Verfahren zum beschichten eines substrates mit einem nitrid oder carbid von titan oder zirkonium durch reaktives aufdampfen
DE19741961A1 (de) Bauteil, insbesondere Gasturbinenschaufel, mit einer Wärmedämmschicht sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Wärmedämmschicht
DE3941202C2 (de)
DE3229293A1 (de) Deckbelaege fuer superlegierungen
DE60300293T2 (de) Mit einer Kohlenstoffbeschichtung versehener Gegenstand und Verfahren zu dessen Herstellung
EP1135540B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur reinigung eines erzeugnisses
WO2007141076A1 (de) Verfahren zur funkenerosiven bearbeitung eines elektrisch nichtleitenden materials
DE3752183T2 (de) Bildung harter beschichtungen auf schneidrändern
EP1998924A1 (de) Dielektrische flüssigkeit für die funkenerosive bearbeitung eines elektrisch nichtleitenden materials
CH695689A5 (de) Verfahren zum Erzeugen eines wärmedämmenden Schichtsystems auf einem metallischen Substrat.
DE60012210T2 (de) Herstellungselemente zum formen von reaktivem metall und verfahren zu deren herstellung
EP0385283B1 (de) Verfahren zur Beschichtung von Hartmetallgrundkörpern und Hartmetallwerkzeug hergestellt nach dem Verfahren
DE69710461T2 (de) Sinterverfahren
DE102008022145B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Hochleistungs-Puls-Gasfluß-Sputtern
EP0787220A1 (de) Dichtungselement, insbesondere für absperr- und regelorgane und verfahren zu seiner herstellung
WO1999023274A1 (de) GASSTRAHL-PVD-VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHT MIT MoSi¿2?
WO2019223959A1 (de) Magnetronsputtervorrichtung
DE2919191A1 (de) Verfahren zum aufbringen einer beschichtung aus abriebfestem material auf rohre, insbesondere schreibroehrchen fuer roehrchenschreiber
DE19538046C2 (de) Schichtsystem

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee