JPH01211604A - ガスタービンエンジンのコーティング処理を施した圧縮機構成部品 - Google Patents
ガスタービンエンジンのコーティング処理を施した圧縮機構成部品Info
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- JPH01211604A JPH01211604A JP63327522A JP32752288A JPH01211604A JP H01211604 A JPH01211604 A JP H01211604A JP 63327522 A JP63327522 A JP 63327522A JP 32752288 A JP32752288 A JP 32752288A JP H01211604 A JPH01211604 A JP H01211604A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野］
本発明は、ガスタービンエンジンのコーティング処理を
施したチタン合金製圧縮機構成部品に関し、特に高い侵
食抵抗を有し、且つ優れた疲労特性を有する窒化チタン
コーティング処理を施したチタン合金製圧縮機構成部品
に関する。
施したチタン合金製圧縮機構成部品に関し、特に高い侵
食抵抗を有し、且つ優れた疲労特性を有する窒化チタン
コーティング処理を施したチタン合金製圧縮機構成部品
に関する。
し従来の技術］
一般に、チタン合金は、その機械的特性により、ガスタ
ービンエンジンの圧縮機構成部品として広く用いられい
るが、この圧縮機構成部品は、推進力を得るために、炭
化水素燃料と共に燃焼される圧縮空気を発生ずるブレー
ド（静翼）とベーン（動Ｒ）とから形成されている。一
般に、カスタービンエンジンの圧縮機は、複数の圧縮段
にて導入空気を圧縮する多段式圧縮機構造と成っており
、その段数は５〜２０段程ある。近年のガスタービンエ
ンジンにおいては、圧縮機で圧縮された圧縮空気が温度
１，４００°Ｆ１圧力４５０ｐｓｉ、流速１，０ＯＯｆ
ｔ／ｍｉｎ程に達ずろために、多段式圧縮機の後段では
、かなり厳しい条件となる。このため、圧縮機の有する
本来の性能を維持するためには、圧縮機構成部品の寸法
・形状が経時的に変化しないように保つことが必要であ
る。圧縮機を形成するブレード及びベーンの形状は、比
較的鋭利なエツジを有するエーロフオイル（翼形）であ
る。カスタービンエンジンは、膨大な空気を摂取するが
、同時に空気中に含まれる微粒子等も導入されてしまう
。特に、エアクラフトの場合、砂粒の外に滑走路から舞
い」二がった比較的大きな粒度の粗砂を含むこともある
。圧縮機の高速回転時、このような砂粒はベーン及びブ
レードに衝撃的に打１′）付けられるために、ベーン及
びブレードの摩耗侵食の原因となる３、この侵食は、極
めて有害であり、本来の翼形の有する寸法・形状の劣化
による圧縮１機の圧縮効率低下を招く。
ービンエンジンの圧縮機構成部品として広く用いられい
るが、この圧縮機構成部品は、推進力を得るために、炭
化水素燃料と共に燃焼される圧縮空気を発生ずるブレー
ド（静翼）とベーン（動Ｒ）とから形成されている。一
般に、カスタービンエンジンの圧縮機は、複数の圧縮段
にて導入空気を圧縮する多段式圧縮機構造と成っており
、その段数は５〜２０段程ある。近年のガスタービンエ
ンジンにおいては、圧縮機で圧縮された圧縮空気が温度
１，４００°Ｆ１圧力４５０ｐｓｉ、流速１，０ＯＯｆ
ｔ／ｍｉｎ程に達ずろために、多段式圧縮機の後段では
、かなり厳しい条件となる。このため、圧縮機の有する
本来の性能を維持するためには、圧縮機構成部品の寸法
・形状が経時的に変化しないように保つことが必要であ
る。圧縮機を形成するブレード及びベーンの形状は、比
較的鋭利なエツジを有するエーロフオイル（翼形）であ
る。カスタービンエンジンは、膨大な空気を摂取するが
、同時に空気中に含まれる微粒子等も導入されてしまう
。特に、エアクラフトの場合、砂粒の外に滑走路から舞
い」二がった比較的大きな粒度の粗砂を含むこともある
。圧縮機の高速回転時、このような砂粒はベーン及びブ
レードに衝撃的に打１′）付けられるために、ベーン及
びブレードの摩耗侵食の原因となる３、この侵食は、極
めて有害であり、本来の翼形の有する寸法・形状の劣化
による圧縮１機の圧縮効率低下を招く。
このような砂塵による侵食摩耗問題を回避するため、圧
縮機構成部品の表面に硬質被覆処理、所謂ハードコーテ
ィング処理が施こされるようになった。
縮機構成部品の表面に硬質被覆処理、所謂ハードコーテ
ィング処理が施こされるようになった。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来のハードコーティング処理は、侵食
防止に対してはかなり効果的であったが、逆に圧縮機構
成部品の高サイクルの繰り返し動作による疲労寿命に対
しては悪影響を及ぼしていた。
防止に対してはかなり効果的であったが、逆に圧縮機構
成部品の高サイクルの繰り返し動作による疲労寿命に対
しては悪影響を及ぼしていた。
実際、ブレード及びベーンは、高い運動エネルギーを有
する空気流の中で回転され、ｒ−１つ様々な振動の影響
を受ける。そごで、これらの条件やチタン合金固有の特
性により、殆どの圧縮機構成＋］＜品は、疲労限度に従
った疲労寿命を存する。しかしながら、従来の圧縮機構
成部品では、バートコ−ティング処理により生ずる疲労
限度の低下といった有害な影響に対処することができな
かった。
する空気流の中で回転され、ｒ−１つ様々な振動の影響
を受ける。そごで、これらの条件やチタン合金固有の特
性により、殆どの圧縮機構成＋］＜品は、疲労限度に従
った疲労寿命を存する。しかしながら、従来の圧縮機構
成部品では、バートコ−ティング処理により生ずる疲労
限度の低下といった有害な影響に対処することができな
かった。
そこで、高い侵食抵抗を有するコーティング処理を施し
たにも拘わらず、同時に疲労特性の低下を来さない疲労
寿命の高いガスタービンエンジンの圧縮機構成部品が望
まれていた。
たにも拘わらず、同時に疲労特性の低下を来さない疲労
寿命の高いガスタービンエンジンの圧縮機構成部品が望
まれていた。
「課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明のコーティング処理
を施した圧縮機構成部品においては、残留圧縮応力がそ
の表面に存在する被ショットピーニング処理を施したチ
タン又はチタン合金製圧縮機構成部品と、この構成部品
表面に存在する残留圧縮応力より高い残留圧縮応力が存
在する窒化チタンコーティングとから形成され、非コー
ティング構成部品と略等しい疲労強度を有すると共に高
い侵食抵抗を有するコーティング処理を施した圧縮機構
成部品を提供するものである。また、チタン又はチタン
合金製圧縮機構成部品表面に存在する残留圧縮応力が５
０〜ＩＱＯｋｓｉであり、窒化チタンコーディングの残
留圧縮応力が１００〜１５０ｋｓｉであるのが好ましい
。更に、窒化チタンコーティング内に存在する残留圧縮
応力力筒０〜４０ｋｓｉだけチタン又はチタン合金製構
成部品表面に存在する残留圧縮応力を上回っているのが
望ましい。コーティング厚さ七しては、】Ｏ〜２５μが
好ましい。
を施した圧縮機構成部品においては、残留圧縮応力がそ
の表面に存在する被ショットピーニング処理を施したチ
タン又はチタン合金製圧縮機構成部品と、この構成部品
表面に存在する残留圧縮応力より高い残留圧縮応力が存
在する窒化チタンコーティングとから形成され、非コー
ティング構成部品と略等しい疲労強度を有すると共に高
い侵食抵抗を有するコーティング処理を施した圧縮機構
成部品を提供するものである。また、チタン又はチタン
合金製圧縮機構成部品表面に存在する残留圧縮応力が５
０〜ＩＱＯｋｓｉであり、窒化チタンコーディングの残
留圧縮応力が１００〜１５０ｋｓｉであるのが好ましい
。更に、窒化チタンコーティング内に存在する残留圧縮
応力力筒０〜４０ｋｓｉだけチタン又はチタン合金製構
成部品表面に存在する残留圧縮応力を上回っているのが
望ましい。コーティング厚さ七しては、】Ｏ〜２５μが
好ましい。
また、窒素とチタンの重量比は、■、０５〜１１５であ
るのが好ましい。
るのが好ましい。
［作用］
本発明の圧縮機構成部品に施すコーティング処理としは
、チタン合金と化学的に親密な窒化チタン（ＴｉＮ）コ
ーティングが為されるが、このコーティング処理により
構成部品表面に生ずる圧縮残留応力は、上記した特定応
力範囲内において、従来のコーティング処理で確認され
た疲労限度の低下を来さないことが実験（第２図参照）
にて実証された。
、チタン合金と化学的に親密な窒化チタン（ＴｉＮ）コ
ーティングが為されるが、このコーティング処理により
構成部品表面に生ずる圧縮残留応力は、上記した特定応
力範囲内において、従来のコーティング処理で確認され
た疲労限度の低下を来さないことが実験（第２図参照）
にて実証された。
窒化チタンコーティング中には、過剰窒素により圧縮残
留応力が存在する。この過剰窒素（Ｊ、侵入型原子とし
て窒化チタンの結晶格子の隙間に入り、金属チタンの面
心立方格子の八面体型穴配位の隙間に入っている侵入型
化合物の窒化チタンの結晶格子に圧力を及ぼす。この結
果、窒化チタンコーティング中に圧縮残留応力が発生す
る。このコーティング処理は、低圧の窒素ガス中でプラ
ズマを発生ずるアーク蒸着工程により実行される。
留応力が存在する。この過剰窒素（Ｊ、侵入型原子とし
て窒化チタンの結晶格子の隙間に入り、金属チタンの面
心立方格子の八面体型穴配位の隙間に入っている侵入型
化合物の窒化チタンの結晶格子に圧力を及ぼす。この結
果、窒化チタンコーティング中に圧縮残留応力が発生す
る。このコーティング処理は、低圧の窒素ガス中でプラ
ズマを発生ずるアーク蒸着工程により実行される。
この電気アークは、チタン製カソードから発生し、イオ
ン化窒素ガス及び蒸気化したチタンイオンから成るプラ
ズマを発生する。これらのイオン化窒素及びイオン化チ
タンは、アーク蒸着コーティングを積極的に果たすため
適当な電気的極性を有する被コーティング基板上で化合
し、窒化チタンコーティングを形成する。上述した過剰
窒素は、比較的長時間コーティング処理を施すことによ
って得られるので、比較的厚いコーティング層の形成に
より得られる。このＸＯ〜２５μ厚のコーティング層の
中に存在する過剰窒素により、少なくとも］００ｋｓｉ
、又は１００〜１５０ｋｓｉの残留応力が生ずる。この
ようなコーティング層に一存在する残留応力は、通常の
非コーティングチタン構成部品表面に存在する表面残留
応力よりも大きいので、疲労による亀裂開始や亀裂進行
を防止する効果がある。以下に記載する全ての応力は、
室温で測定したものである。また、チタンには、原子百
分率で５０％以上のチタン成分を含むチタン合金も含め
るものとする。チタン合金を形成するのに適する合金元
素としては、シルコニＩクム、ハフニラ１１、モリブデ
ン、タンタル、コランビウム（ｃｏｌ ｕｍｎｂｉｕｍ
）、ノくナジウム、クロム、タングステン、レニウム等
の耐火金属が好ましい。
ン化窒素ガス及び蒸気化したチタンイオンから成るプラ
ズマを発生する。これらのイオン化窒素及びイオン化チ
タンは、アーク蒸着コーティングを積極的に果たすため
適当な電気的極性を有する被コーティング基板上で化合
し、窒化チタンコーティングを形成する。上述した過剰
窒素は、比較的長時間コーティング処理を施すことによ
って得られるので、比較的厚いコーティング層の形成に
より得られる。このＸＯ〜２５μ厚のコーティング層の
中に存在する過剰窒素により、少なくとも］００ｋｓｉ
、又は１００〜１５０ｋｓｉの残留応力が生ずる。この
ようなコーティング層に一存在する残留応力は、通常の
非コーティングチタン構成部品表面に存在する表面残留
応力よりも大きいので、疲労による亀裂開始や亀裂進行
を防止する効果がある。以下に記載する全ての応力は、
室温で測定したものである。また、チタンには、原子百
分率で５０％以上のチタン成分を含むチタン合金も含め
るものとする。チタン合金を形成するのに適する合金元
素としては、シルコニＩクム、ハフニラ１１、モリブデ
ン、タンタル、コランビウム（ｃｏｌ ｕｍｎｂｉｕｍ
）、ノくナジウム、クロム、タングステン、レニウム等
の耐火金属が好ましい。
［実施例］
本発明の圧縮機構成部品のコーティングは、第１図に示
す装置により形成されるか、この装置の詳細に関しては
、１９８７年４月９日出願のＰＣＴ国際出願ＷＯ３７１
０２０７１及び［０８７１０２０７２を開示の一部とし
て援用する。尚、本発明は、この装置を用いて形成され
た圧縮機構成部品表面の残留圧縮応力を有するコーティ
ングに関するものであって、この装置自体は、本発明を
構成するものではない。
す装置により形成されるか、この装置の詳細に関しては
、１９８７年４月９日出願のＰＣＴ国際出願ＷＯ３７１
０２０７１及び［０８７１０２０７２を開示の一部とし
て援用する。尚、本発明は、この装置を用いて形成され
た圧縮機構成部品表面の残留圧縮応力を有するコーティ
ングに関するものであって、この装置自体は、本発明を
構成するものではない。
第１図において、コー≠イング生成装置は、真空室１１
を有するシェル１０から成る。この真空室１１は、開口
部１３を介して真空ポンプ■２と一７＝ 連通しており、一般に１０−１〜ｓｘ １０−’ｔｏｒ
ｒ、好ましくは５Ｘ１０−２〜５Ｘ １Ｏ−３ｔｏｒｒ
の所望の動作圧力に調整される。
を有するシェル１０から成る。この真空室１１は、開口
部１３を介して真空ポンプ■２と一７＝ 連通しており、一般に１０−１〜ｓｘ １０−’ｔｏｒ
ｒ、好ましくは５Ｘ１０−２〜５Ｘ １Ｏ−３ｔｏｒｒ
の所望の動作圧力に調整される。
この真空室１１は、−個以上の固体チタンカソードを蒸
発することにより得られる蒸気化したチタンでコーティ
ングされる一個以上のコーティング対象物１４を収容す
るために、所望の形状・寸法で形成するものとする。第
１図のコーティング装置概略図に示すように、シェル１
１は、角型であり、その断面は、土壁部■６、下壁部１
７、側壁部１８及び１９から形成される。また、シェル
１１は、側壁部１８から適当寸法だけ突出して配設され
た付設部２０を有する。また、側壁部１８は、チタンカ
ソード１５が真空室１１と連通ずる開口部２１を有する
。
発することにより得られる蒸気化したチタンでコーティ
ングされる一個以上のコーティング対象物１４を収容す
るために、所望の形状・寸法で形成するものとする。第
１図のコーティング装置概略図に示すように、シェル１
１は、角型であり、その断面は、土壁部■６、下壁部１
７、側壁部１８及び１９から形成される。また、シェル
１１は、側壁部１８から適当寸法だけ突出して配設され
た付設部２０を有する。また、側壁部１８は、チタンカ
ソード１５が真空室１１と連通ずる開口部２１を有する
。
チタンカソード１５は、カソード支持部２２により支持
されている。このカソード支持部２２は、絶縁部２７を
介してフランジ部２５に組み付けられている。このフラ
ンジ部２５は、シェル１０の付設部２０に結合されてい
る。この方ソード支持部２２は、入口通路２９及び出口
通路３０と連通ずる比較的小さな空洞部２８を有する。
されている。このカソード支持部２２は、絶縁部２７を
介してフランジ部２５に組み付けられている。このフラ
ンジ部２５は、シェル１０の付設部２０に結合されてい
る。この方ソード支持部２２は、入口通路２９及び出口
通路３０と連通ずる比較的小さな空洞部２８を有する。
冷却液として水がタンク（図示せず）から空洞部２８を
介して循環されている。この冷却液は、タンクから人口
通路２９を介して空洞部２８へと流れ、出口通路３０を
介して再びタンクへと戻るように循環している。直流マ
グネット３３が支持部２２の内部に配設されており、カ
ソード１５のアーク蒸発端面３５全体に渡って電気アー
ク３４の付着点を拡散するように作用する。内部延長部
３６がチタンカソードＩ５の周囲を取り囲むように、フ
ランジ部２５から絶縁部２７を介して真空室１１の内部
に向かって延長形成されており、この内部延長部３６の
内壁面とチタンカソード１５の外壁面との間には比較的
狭い間隙部４０が形成されている。
介して循環されている。この冷却液は、タンクから人口
通路２９を介して空洞部２８へと流れ、出口通路３０を
介して再びタンクへと戻るように循環している。直流マ
グネット３３が支持部２２の内部に配設されており、カ
ソード１５のアーク蒸発端面３５全体に渡って電気アー
ク３４の付着点を拡散するように作用する。内部延長部
３６がチタンカソードＩ５の周囲を取り囲むように、フ
ランジ部２５から絶縁部２７を介して真空室１１の内部
に向かって延長形成されており、この内部延長部３６の
内壁面とチタンカソード１５の外壁面との間には比較的
狭い間隙部４０が形成されている。
この内部延長部３６の断面形状は、その延長部の長さ方
向に渡って略均−であり、その内壁面はチタンカソード
の外壁面に沿うように形成されている。このように内部
延長部３６を形成することにより、内部延長部３６の開
口端４１に至る形状によってプラズマ流が規制されるこ
となく、スムーズに流れる。従って、仮に円筒状又は円
盤状のチタンカソード１５が用いられた場合は、この内
部延長部３６の断面形状は、チタンカソードＩ５の外壁
面に沿って円環状間隙部４０を画成するように、円環チ
ューブ形状であるのが好ましい。例えば直径６．３５ｃ
ｍのチタンカソード１５の場合、円環状間隙部４０の寸
法は、０．０８〜０．２４ｃｍである。また、間隙部４
０は、支持部２２のガス導入通路３８を介して窒素ガス
供給ライン３９と連通している。窒素ガスは、窒素ガス
タンク（図示せず）から窒素ガス供給ライン３９を介し
て間隙１４０へと導かれ、更にカソード室３７を介して
真空室１１へと供給される。流量調整弁Ｖが窒素ガス導
入通路に備えられており、供給ライン３９からの窒素ガ
スの流れを調整することができる。内部延長部３６は、
チタンカソード１５の蒸発端面３５よりも距離Ｘだけ余
分に突出しており、これによりカソード室３７が画成さ
れている。直径６．３５ｃｍのチタンカソード１５の場
合、この突出距離Ｘは、０以上であり、最大で１３ｃｍ
であるのが望ましい。この突出距離Ｘは、第３図に示す
ように、チタンカソード１５の蒸発端面３５から延長部
３６の開口端４】まで計られるが、直径６．３５ｃｍの
チタンカソード１５の場合、その最小距離は、少なくと
も１ｃｍであり、特に２〜６ｃｍが好ましい。カソード
１５の蒸発端面３５の主要な直径をｄとしたとき、縦横
比ｘ ／ ｄは、どんなカソード１５の形状の場合にも
一定に保つ必要がある。この縦横比は、θ〜２゜０に設
定され、最小縦横比は、少なくとも０．０７であり、特
に０，３〜１．０の範囲で設定するのが好ましい。この
カソード室３７を画成するために内部延長部３６の内部
にカソード１５を保持する必要性は、後述するものとす
る。この内部延長部３６は、アーク蒸発端面３５全体に
渡って電気アーク３４の付着点を拡散するためのマグネ
ット３３の機能と干渉しない材料から形成されるのが好
ましく、高温真空状態に適した非磁性体、例えば非磁性
ステンレス綱を用いるのが好ましい。
向に渡って略均−であり、その内壁面はチタンカソード
の外壁面に沿うように形成されている。このように内部
延長部３６を形成することにより、内部延長部３６の開
口端４１に至る形状によってプラズマ流が規制されるこ
となく、スムーズに流れる。従って、仮に円筒状又は円
盤状のチタンカソード１５が用いられた場合は、この内
部延長部３６の断面形状は、チタンカソードＩ５の外壁
面に沿って円環状間隙部４０を画成するように、円環チ
ューブ形状であるのが好ましい。例えば直径６．３５ｃ
ｍのチタンカソード１５の場合、円環状間隙部４０の寸
法は、０．０８〜０．２４ｃｍである。また、間隙部４
０は、支持部２２のガス導入通路３８を介して窒素ガス
供給ライン３９と連通している。窒素ガスは、窒素ガス
タンク（図示せず）から窒素ガス供給ライン３９を介し
て間隙１４０へと導かれ、更にカソード室３７を介して
真空室１１へと供給される。流量調整弁Ｖが窒素ガス導
入通路に備えられており、供給ライン３９からの窒素ガ
スの流れを調整することができる。内部延長部３６は、
チタンカソード１５の蒸発端面３５よりも距離Ｘだけ余
分に突出しており、これによりカソード室３７が画成さ
れている。直径６．３５ｃｍのチタンカソード１５の場
合、この突出距離Ｘは、０以上であり、最大で１３ｃｍ
であるのが望ましい。この突出距離Ｘは、第３図に示す
ように、チタンカソード１５の蒸発端面３５から延長部
３６の開口端４】まで計られるが、直径６．３５ｃｍの
チタンカソード１５の場合、その最小距離は、少なくと
も１ｃｍであり、特に２〜６ｃｍが好ましい。カソード
１５の蒸発端面３５の主要な直径をｄとしたとき、縦横
比ｘ ／ ｄは、どんなカソード１５の形状の場合にも
一定に保つ必要がある。この縦横比は、θ〜２゜０に設
定され、最小縦横比は、少なくとも０．０７であり、特
に０，３〜１．０の範囲で設定するのが好ましい。この
カソード室３７を画成するために内部延長部３６の内部
にカソード１５を保持する必要性は、後述するものとす
る。この内部延長部３６は、アーク蒸発端面３５全体に
渡って電気アーク３４の付着点を拡散するためのマグネ
ット３３の機能と干渉しない材料から形成されるのが好
ましく、高温真空状態に適した非磁性体、例えば非磁性
ステンレス綱を用いるのが好ましい。
コーティング対象物１４は、真空室１１内部に配設され
た支持板４２上に取り付けられ、チタンカソード１５の
蒸発端面３５から所定距離だけ離間して設定される。真
空室内でのコーティング対象物１４の支持構造又は吊下
構造は、その対象物１４０寸法・形状及び重量により異
なる。第１図においては、図を簡潔に示すために、対象
物１４の形状を四角形とし、カソードの蒸発端面３５に
取り付けた状態で示しであるが、明らかに、この対象物
Ｊ４は、どのような形状であってもよく、またその支持
構造もどのような支持構造であってもよい。また、この
対象物１４は、真空室ｌｌ内での真空状態において耐熱
性を有するどのような組成物であってもよく、例えば超
硬合金、ステンレス綱、セラミック複合材料、チタン合
金等の耐火金属から形成される。しかしながら、この支
持板４２は、導電性材料から成り、シェル１１の下壁部
１７に備えられた電気絶縁性高圧貫通端子４３の中心孔
を貫通して延びる金属ロッド４２Ａと結合している。こ
の金属ロッド４２Ａは、シェル１０の外部に配設された
電圧供給源４４の陰端子に接続されている。他方、この
電圧供給源４４の陽端子は、導線３１を介して側壁部１
８に接続されている。
た支持板４２上に取り付けられ、チタンカソード１５の
蒸発端面３５から所定距離だけ離間して設定される。真
空室内でのコーティング対象物１４の支持構造又は吊下
構造は、その対象物１４０寸法・形状及び重量により異
なる。第１図においては、図を簡潔に示すために、対象
物１４の形状を四角形とし、カソードの蒸発端面３５に
取り付けた状態で示しであるが、明らかに、この対象物
Ｊ４は、どのような形状であってもよく、またその支持
構造もどのような支持構造であってもよい。また、この
対象物１４は、真空室ｌｌ内での真空状態において耐熱
性を有するどのような組成物であってもよく、例えば超
硬合金、ステンレス綱、セラミック複合材料、チタン合
金等の耐火金属から形成される。しかしながら、この支
持板４２は、導電性材料から成り、シェル１１の下壁部
１７に備えられた電気絶縁性高圧貫通端子４３の中心孔
を貫通して延びる金属ロッド４２Ａと結合している。こ
の金属ロッド４２Ａは、シェル１０の外部に配設された
電圧供給源４４の陰端子に接続されている。他方、この
電圧供給源４４の陽端子は、導線３１を介して側壁部１
８に接続されている。
真空室１１の内部には、コーティング対象物１４及び支
持板４２を挟んでカソードの蒸発端面３５と反対側に電
気的に絶縁された平板７０が配設されている。この平板
７０としては、それ自体を電気絶縁材料で形成するか、
又は第１図に示すように絶縁体７１を用いてシェル１０
から絶縁して保持された導電性材料から形成することも
できる。
持板４２を挟んでカソードの蒸発端面３５と反対側に電
気的に絶縁された平板７０が配設されている。この平板
７０としては、それ自体を電気絶縁材料で形成するか、
又は第１図に示すように絶縁体７１を用いてシェル１０
から絶縁して保持された導電性材料から形成することも
できる。
電気的絶縁平板７０は、この平板７０とカソード蒸発端
面３５との間の真空空間７２にプラズマを閉じ込める機
能を有すると共に、真空室１１の内に複数の蒸発面が配
設された場合に複数箇所に発生するプラズマの相互作用
を防止する防護壁としての機能を有する。そこで、コー
ティング対象物１４は、その相当する蒸発面から発生し
たプラズマからイオン又は電子を引き付けることができ
る。
面３５との間の真空空間７２にプラズマを閉じ込める機
能を有すると共に、真空室１１の内に複数の蒸発面が配
設された場合に複数箇所に発生するプラズマの相互作用
を防止する防護壁としての機能を有する。そこで、コー
ティング対象物１４は、その相当する蒸発面から発生し
たプラズマからイオン又は電子を引き付けることができ
る。
アーク電流は、シェルｌＯの外部に配設されたメイン電
源４６から供給される。この電源４６は、カソード支持
部２２に接続された陰端子と側壁部１８に接続された陽
端子とを有する。電気アーク３４は、チタンカソード１
５とシェルＩＯの側壁部１８との間に形成される。側壁
部１８は、アノードであり、導線４９を介して大地電位
４５となるようにアースされている。アノードとしては
、側壁部１８近傍に電気的に絶縁され組み付けられた別
の導電性部材（図示せず）を用いて形成してもよい。ま
た、アノードの形状は特に重要ではない。
源４６から供給される。この電源４６は、カソード支持
部２２に接続された陰端子と側壁部１８に接続された陽
端子とを有する。電気アーク３４は、チタンカソード１
５とシェルＩＯの側壁部１８との間に形成される。側壁
部１８は、アノードであり、導線４９を介して大地電位
４５となるようにアースされている。アノードとしては
、側壁部１８近傍に電気的に絶縁され組み付けられた別
の導電性部材（図示せず）を用いて形成してもよい。ま
た、アノードの形状は特に重要ではない。
後者の場合、この導電性部材は、シェル１０に対して電
気的に絶縁されている。また、側壁部１８は、第１図に
参照符号２３で示す絶縁材を用いてシェル１０のその他
の壁部から電気的に絶縁することもできる。また、この
アノード側壁部１８を大地電位４５となるようにアース
するのではなく、シェル１０のその他の壁部１６．１７
．１９を大地電位４５となるようにアー スしてもよい
。
気的に絶縁されている。また、側壁部１８は、第１図に
参照符号２３で示す絶縁材を用いてシェル１０のその他
の壁部から電気的に絶縁することもできる。また、この
アノード側壁部１８を大地電位４５となるようにアース
するのではなく、シェル１０のその他の壁部１６．１７
．１９を大地電位４５となるようにアー スしてもよい
。
−船釣な電気アークの場合は、まず最初にチタンカソー
ド１５の蒸発端面３５にワイヤ電極５０を接触する工程
から始まる。このワイヤ電極５０は、高い抵抗値の抵抗
Ｒを介してアノード側壁部１８又は側壁部１８と分離さ
れたアノード（図示せず）と接続されている。更に、ワ
イヤ電極５０は、フランジ部２５に付設された絶縁スリ
ーブ５１を介してプランジャー５３に結合されている。
ド１５の蒸発端面３５にワイヤ電極５０を接触する工程
から始まる。このワイヤ電極５０は、高い抵抗値の抵抗
Ｒを介してアノード側壁部１８又は側壁部１８と分離さ
れたアノード（図示せず）と接続されている。更に、ワ
イヤ電極５０は、フランジ部２５に付設された絶縁スリ
ーブ５１を介してプランジャー５３に結合されている。
このプランジャー５３は、ワイヤ電極５０をカソード蒸
発端面３５と接触又接触解除するように動作される。こ
のようなプランジャーに関しては、米国特許第４，４４
８，７９９号に開示されているが、本発明の圧縮型構成
部品を製造するためのコーティング処理を実行するため
に、他のどのようなアーク開始ワイヤ電極動作機構が使
用されてもよい。
発端面３５と接触又接触解除するように動作される。こ
のようなプランジャーに関しては、米国特許第４，４４
８，７９９号に開示されているが、本発明の圧縮型構成
部品を製造するためのコーティング処理を実行するため
に、他のどのようなアーク開始ワイヤ電極動作機構が使
用されてもよい。
或は、このアーク発生開始のために、スパークプラグを
用いる一般的方法を用いてもよい。
用いる一般的方法を用いてもよい。
ワイヤ電極の接触による電気アーク開始においては、−
旦ワイヤ電極５０とカソード蒸発端面３５とが接触する
と、電流がカソード１５とワイヤ電極５０を介して流れ
、メイン電源４６からアノード側壁面１８へと流れる。
旦ワイヤ電極５０とカソード蒸発端面３５とが接触する
と、電流がカソード１５とワイヤ電極５０を介して流れ
、メイン電源４６からアノード側壁面１８へと流れる。
ワイヤ電極５０をプランジャー５３の動作により、電気
アークを発生するカソード１５から引き離すことにより
、ワイヤ電極５０とカソード蒸発端面３５との接触は解
除される。また、電気アークは、高い抵抗値を有する電
気抵抗Ｒによって、ワイヤ電極５０よりも小さな抵抗値
のアノード側壁部１８へと誘導される。
アークを発生するカソード１５から引き離すことにより
、ワイヤ電極５０とカソード蒸発端面３５との接触は解
除される。また、電気アークは、高い抵抗値を有する電
気抵抗Ｒによって、ワイヤ電極５０よりも小さな抵抗値
のアノード側壁部１８へと誘導される。
高い電流密度のアークにより発生するプラズマは、チタ
ンカソード蒸発端面３５のチタン原子、チタン分子、イ
オン化したチタン原子、及びイオン化したチタン分子、
及びイオン化窒素から成る。
ンカソード蒸発端面３５のチタン原子、チタン分子、イ
オン化したチタン原子、及びイオン化したチタン分子、
及びイオン化窒素から成る。
側壁部Ｉ８、或は側壁部１８及びカソード１５の両方に
対してコーティング対象物１４を反対の極性に設定する
ことは、コーティングの平滑度、均一性、及び表面組織
に太き（影響する。また、電源電圧は、コーティング動
作を最適状態にするために、調整され得る。窒化チタン
コーティングに関しては、電源電圧が１００〜２００Ｖ
に保持されるのが好ましい。
対してコーティング対象物１４を反対の極性に設定する
ことは、コーティングの平滑度、均一性、及び表面組織
に太き（影響する。また、電源電圧は、コーティング動
作を最適状態にするために、調整され得る。窒化チタン
コーティングに関しては、電源電圧が１００〜２００Ｖ
に保持されるのが好ましい。
窒素ガスは、円環状間隙部４０を介してカソード蒸発端
面３５と内部延長部３６の開口端４１近傍の内壁部とで
画成されたカソード室３７へ噴き出される。この窒素ガ
スは、前述した内部延長部３６の突出距離Ｘにより、カ
ソード室３７内部の高い電流密度を有する電気アークの
周囲を覆う役目を果たす。この結果、プラズマの圧力及
び温度が増加する。このプラズマは、カソード室３７内
の比較的高い圧力領域を介してカソード蒸発端面３５か
ら延び、内部延長部具３６の開口端４１を介して空室■
１又は真空空間７２内の比較的低い圧力領域へと向かう
。
面３５と内部延長部３６の開口端４１近傍の内壁部とで
画成されたカソード室３７へ噴き出される。この窒素ガ
スは、前述した内部延長部３６の突出距離Ｘにより、カ
ソード室３７内部の高い電流密度を有する電気アークの
周囲を覆う役目を果たす。この結果、プラズマの圧力及
び温度が増加する。このプラズマは、カソード室３７内
の比較的高い圧力領域を介してカソード蒸発端面３５か
ら延び、内部延長部具３６の開口端４１を介して空室■
１又は真空空間７２内の比較的低い圧力領域へと向かう
。
前述の円環状間隙部４０を介しての窒素ガスのカソード
室３７への供給により、円環状にカソード１５の周囲を
覆うように噴出する窒素ガスがカソード１５から内部延
長部３６へ向かって生ずる電気アークを防止するための
電気絶縁カーテンとして機能している。
室３７への供給により、円環状にカソード１５の周囲を
覆うように噴出する窒素ガスがカソード１５から内部延
長部３６へ向かって生ずる電気アークを防止するための
電気絶縁カーテンとして機能している。
このように、第１図には、チタンコーティング基板に窒
化チタンコーティング処理を施すために使用される電気
アーク蒸着装置を示したが、この蒸着装置は、異なる特
性を有する様々な窒化チタンコーティングに適用されて
おり、殆どの場合、ガスタービンエンジンの構成部品に
対するコーティングのためには使用していない。実際、
この蒸着装置を用いてのガスタービンエンジン構成部品
へのコーティングは、部品表面での亀裂の原因となりむ
しろ有害であった。この蒸着装置の開発者と共に、ガス
タービンエンジンの圧縮機構成部品である翼形のベーン
及びブレードに窒化チタンコーティングを施すことに関
して実験したが、蒸着装置開発者は、１〜５μの出来る
だけ薄いコーティングをするように努めた。しかし、本
発明者のみが厚いコーティング中に存在する残留応力の
重要性を認識した。
化チタンコーティング処理を施すために使用される電気
アーク蒸着装置を示したが、この蒸着装置は、異なる特
性を有する様々な窒化チタンコーティングに適用されて
おり、殆どの場合、ガスタービンエンジンの構成部品に
対するコーティングのためには使用していない。実際、
この蒸着装置を用いてのガスタービンエンジン構成部品
へのコーティングは、部品表面での亀裂の原因となりむ
しろ有害であった。この蒸着装置の開発者と共に、ガス
タービンエンジンの圧縮機構成部品である翼形のベーン
及びブレードに窒化チタンコーティングを施すことに関
して実験したが、蒸着装置開発者は、１〜５μの出来る
だけ薄いコーティングをするように努めた。しかし、本
発明者のみが厚いコーティング中に存在する残留応力の
重要性を認識した。
一般に、チタン合金製の圧縮機構成部品は、ショットピ
ーニング処理されており、疲労による亀裂開始及び亀裂
進行を阻止する役目を果たず５０〜１００ｋｓｉの残留
圧縮応力が部品表面に存在している。
ーニング処理されており、疲労による亀裂開始及び亀裂
進行を阻止する役目を果たず５０〜１００ｋｓｉの残留
圧縮応力が部品表面に存在している。
部品表面に最初から存在する過度の表面残留応力の中で
残留圧縮応力を有するコーティングだけが疲労特性の劣
化を生じないことが解った。この表面残留圧縮応力とし
ては、１ｏｏｋｓｉ以」二が好ましい。
残留圧縮応力を有するコーティングだけが疲労特性の劣
化を生じないことが解った。この表面残留圧縮応力とし
ては、１ｏｏｋｓｉ以」二が好ましい。
この表面残留圧縮応力は、コーティング基板に存在する
固有残留応力に対して少なくとも１０ｋｓｉ。
固有残留応力に対して少なくとも１０ｋｓｉ。
好ましくは少なくとも４０ｋｓｉだけ大きな応力値であ
るのが好ましい。
るのが好ましい。
周知のように、この残留応力は、Ｘ線回折法により測定
される。全ての結晶体は、規１１１］的に画成された空
間によって分離された原子群から形成される原子面によ
り固有の原子配列を有する。仮に、結晶体に応力が加え
られたならば、固有の原子面間距離が変化する。Ｘ線回
折法は、この原子面間距離を測定するために利用される
と共に、応力の存在している状態での被測定物の実際の
原子面間距離と応力の存在しない状態での被測定物の標
準原子面間距離とを比較することにより、被測定物に存
在する応力値を求めるために利用されている。。
される。全ての結晶体は、規１１１］的に画成された空
間によって分離された原子群から形成される原子面によ
り固有の原子配列を有する。仮に、結晶体に応力が加え
られたならば、固有の原子面間距離が変化する。Ｘ線回
折法は、この原子面間距離を測定するために利用される
と共に、応力の存在している状態での被測定物の実際の
原子面間距離と応力の存在しない状態での被測定物の標
準原子面間距離とを比較することにより、被測定物に存
在する応力値を求めるために利用されている。。
本発明の圧縮機構成部品の場合、部品表面に施したコー
ティングに存在する残留応力としては、高い残留圧縮応
力が好ましい。二のような高い圧縮残留応力は、前述し
た製造工程に従って生成された窒化チタンコーティング
の中に存在することが解った。結晶格子の間隙に侵入し
た過剰な窒素原子が窒化チタンの結晶格子を変形する。
ティングに存在する残留応力としては、高い残留圧縮応
力が好ましい。二のような高い圧縮残留応力は、前述し
た製造工程に従って生成された窒化チタンコーティング
の中に存在することが解った。結晶格子の間隙に侵入し
た過剰な窒素原子が窒化チタンの結晶格子を変形する。
この過剰な窒素原子により、高い残留圧縮応力が窒化チ
タンコーティング中に発生する。仮に、コーティング対
象物をアーク蒸着コーティング中、高温下に長時間保持
した場合、より多くの窒素原子をコーティング内に侵入
拡散させることができる。このことは、厚い窒化チタン
コーティング層に高い応力値の残留圧縮応力が存在する
ことに等しい。
タンコーティング中に発生する。仮に、コーティング対
象物をアーク蒸着コーティング中、高温下に長時間保持
した場合、より多くの窒素原子をコーティング内に侵入
拡散させることができる。このことは、厚い窒化チタン
コーティング層に高い応力値の残留圧縮応力が存在する
ことに等しい。
第２図は、異なる厚さの窒化チタンコーティングを施し
た様々なチタン基板の高サイクル疲労特性を示す図であ
る。第２図において、垂直軸は、窒化チタンコーティン
グされていない基板に対するコーティングされている基
板の高サイクル疲労強度を示している。コーティング厚
さ１０〜２５μの基板は、非コーティング基板の高サイ
クル疲労強度にほぼ等しく、疲労強度をまったく劣化し
ていないことが解る。コーティング厚さの比較的薄い場
合は、非コーティング基板より低い疲労強度を示した。
た様々なチタン基板の高サイクル疲労特性を示す図であ
る。第２図において、垂直軸は、窒化チタンコーティン
グされていない基板に対するコーティングされている基
板の高サイクル疲労強度を示している。コーティング厚
さ１０〜２５μの基板は、非コーティング基板の高サイ
クル疲労強度にほぼ等しく、疲労強度をまったく劣化し
ていないことが解る。コーティング厚さの比較的薄い場
合は、非コーティング基板より低い疲労強度を示した。
この薄いコーティングの場合は、優れた疲労特性に貢献
する残留応力を十分有していないので、疲労強度が低い
。また、既存の極めて厚いコーティングを施した基板の
場合は、コーティング基板のコーティング境界面からコ
ーチインク層が剥離し易いといった理由により、剥離欠
陥を生ずることが推測できる。従って、コーティング層
は、薄ずぎても厚ずぎても疲労特性に対１．ではよくな
いことが解る。
する残留応力を十分有していないので、疲労強度が低い
。また、既存の極めて厚いコーティングを施した基板の
場合は、コーティング基板のコーティング境界面からコ
ーチインク層が剥離し易いといった理由により、剥離欠
陥を生ずることが推測できる。従って、コーティング層
は、薄ずぎても厚ずぎても疲労特性に対１．ではよくな
いことが解る。
第３図は、実際に動作している状態を想定して圧縮機構
成部品の摩耗及び侵食状態を模擬実験するために、異物
として１分間につき６ｇのアルミナ粉末を添加して温度
９００〜９５０°Ｆてバーナー装置の中で実験した窒化
チタンコーティングを施した場合と施さない場合での圧
縮機構成部品の侵食抵抗を示す。圧縮機構成部品である
ブレード及びベーンの翼弦の侵食は、窒化チタンコーテ
ィングを施した翼弦のほうが非コーティング翼弦と比較
して侵食量が少ないのが解る。特に実験時間が長くなる
につれて非コーティング翼弦に比べて窒化チタンコーテ
ィングを施した翼弦の侵食量が極めて少ないのが解る。
成部品の摩耗及び侵食状態を模擬実験するために、異物
として１分間につき６ｇのアルミナ粉末を添加して温度
９００〜９５０°Ｆてバーナー装置の中で実験した窒化
チタンコーティングを施した場合と施さない場合での圧
縮機構成部品の侵食抵抗を示す。圧縮機構成部品である
ブレード及びベーンの翼弦の侵食は、窒化チタンコーテ
ィングを施した翼弦のほうが非コーティング翼弦と比較
して侵食量が少ないのが解る。特に実験時間が長くなる
につれて非コーティング翼弦に比べて窒化チタンコーテ
ィングを施した翼弦の侵食量が極めて少ないのが解る。
以上より明らかなように、本発明による窒化チタンコー
テインクを施したカスタービンエンジンの圧縮機構成部
品においては、疲労強度を低下するごとなく優れた侵食
抵抗を示す。
テインクを施したカスタービンエンジンの圧縮機構成部
品においては、疲労強度を低下するごとなく優れた侵食
抵抗を示す。
「発明の効果」
本発明は、上述のとおり構成されているので、次に記載
する効果を奏する。
する効果を奏する。
適度な厚さに窒化チタンコーティングを施した本発明の
圧縮機構成部品は、ショットピーニング処理を施したチ
タン又はチタン合金製圧縮機構成部品表面に存在する残
留圧縮応力よりも高い値の残留圧縮応力を有する窒化チ
タンコーティング処理が施されているので、高サイクル
疲労特性を低下することなく、非コーティング構成部品
に略等しい高サイクル疲労特性を一有すると共に、優れ
た侵食抵抗を有する。
圧縮機構成部品は、ショットピーニング処理を施したチ
タン又はチタン合金製圧縮機構成部品表面に存在する残
留圧縮応力よりも高い値の残留圧縮応力を有する窒化チ
タンコーティング処理が施されているので、高サイクル
疲労特性を低下することなく、非コーティング構成部品
に略等しい高サイクル疲労特性を一有すると共に、優れ
た侵食抵抗を有する。
第１図は、本発明のコーティング処理を施した圧縮機構
成部品を形成するための電気アーク蒸着によるコーティ
ング処理を施す装置の概略説明図であり、第２図は、異
なる窒化チタンコーティング厚さと、非コーティング圧
縮機構成部品に対するコーティング処理を施した圧縮機
構成部品の高ザイクル疲労強度割合との関係を示すグラ
フであり、第３図は、侵食試験における非コーティング
圧縮機構成部品とコーティング処理を施した圧縮機構成
部品の侵食量を比較したグラフである。 ＩＯ・・・シェル、１１・・・真空室、１２・・・真空
ポンプ、１４・・・コーティング対象物、１５・・・チ
タンカソード、３４・・・電気アーク、３５・・・蒸発
端面、３８・・・窒素ガス導入通路、４４・・・電源、
４６・・・メイン電油、７２・・・真空空間。
成部品を形成するための電気アーク蒸着によるコーティ
ング処理を施す装置の概略説明図であり、第２図は、異
なる窒化チタンコーティング厚さと、非コーティング圧
縮機構成部品に対するコーティング処理を施した圧縮機
構成部品の高ザイクル疲労強度割合との関係を示すグラ
フであり、第３図は、侵食試験における非コーティング
圧縮機構成部品とコーティング処理を施した圧縮機構成
部品の侵食量を比較したグラフである。 ＩＯ・・・シェル、１１・・・真空室、１２・・・真空
ポンプ、１４・・・コーティング対象物、１５・・・チ
タンカソード、３４・・・電気アーク、３５・・・蒸発
端面、３８・・・窒素ガス導入通路、４４・・・電源、
４６・・・メイン電油、７２・・・真空空間。
Claims (5)
- （１）残留圧縮応力がその表面に存在する被ショットピ
ーニング処理を施したチタン又はチタン合金製圧縮機構
成部品と、この構成部品表面に存在する残留圧縮応力よ
り高い残留圧縮応力が存在する窒化チタンコーティング
とから形成され、非コーティング構成部品と略等しい疲
労強度を有すると共に高い侵食抵抗を有するコーティン
グ処理を施した圧縮機構成部品。 - （２）チタン又はチタン合金製圧縮機構成部品表面に存
在する残留圧縮応力が５０〜１００ｋｓｉであり、窒化
チタンコーティングの残留圧縮応力が１００〜１５０ｋ
ｓｉである請求項１記載のコーティング処理を施した圧
縮機構成部品。 - （３）窒化チタンコーティング内に存在する残留圧縮応
力が１０〜４０ｋｓｉだけチタン又はチタン合金製構成
部品表面に存在する残留圧縮応力を上回る請求項１記載
のコーティング処理を施した圧縮機構成部品。 - （４）コーティング厚さが１０〜２５μである請求項１
記載のコーティング処理を施した圧縮機構成部品。 - （５）窒素とチタンの重量比が１．０５〜１．１５であ
る請求項１記載のコーティング処理を施した圧縮機構成
部品。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US137,852 | 1987-12-24 | ||
| US07/137,852 US4904528A (en) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | Coated gas turbine engine compressor components |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01211604A true JPH01211604A (ja) | 1989-08-24 |
| JP2892021B2 JP2892021B2 (ja) | 1999-05-17 |
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ID=22479320
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32752288A Expired - Fee Related JP2892021B2 (ja) | 1987-12-24 | 1988-12-24 | ガスタービンエンジンのコーティング処理を施した圧縮機構成部品 |
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| JP (1) | JP2892021B2 (ja) |
| KR (1) | KR930004069B1 (ja) |
| AU (1) | AU614315B2 (ja) |
| DE (2) | DE323388T1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008038896A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | United Technol Corp <Utc> | ガスタービンエンジンブレード、金属材料の物品の作製方法および被覆された部品の製造方法 |
| JP2020090723A (ja) * | 2018-11-27 | 2020-06-11 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜被覆部材及びその製造方法 |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5254359A (en) * | 1989-06-02 | 1993-10-19 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of forming titanium nitride coatings on carbon/graphite substrates by electric arc thermal spray process using titanium feed wire and nitrogen as the atomizing gas |
| US5185211A (en) * | 1991-07-11 | 1993-02-09 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Non-stoichiometric titanium nitride coating |
| US5315822A (en) * | 1991-12-20 | 1994-05-31 | United Technologies Corporation | Gas turbine elements rearing coke inhibiting coatings of titanium compounds |
| US5490195A (en) * | 1994-05-18 | 1996-02-06 | Fatigue Management Associates Llc | Method for measuring and extending the service life of fatigue-limited metal components |
| US5625664A (en) * | 1994-05-18 | 1997-04-29 | Fatigue Management Associates Llc | Methods for the design, quality control, and management of fatigue-limited metal components |
| US5441235A (en) * | 1994-05-20 | 1995-08-15 | Eaton Corporation | Titanium nitride coated valve and method for making |
| IN187185B (ja) * | 1995-04-25 | 2002-02-23 | Siemens Ag | |
| US5738768A (en) * | 1995-10-31 | 1998-04-14 | Caterpillar Inc. | Process for reducing particle defects in arc vapor deposition coatings |
| GB9818484D0 (en) | 1998-08-26 | 1998-10-21 | Rolls Royce Plc | A method and apparatus for improving material properties |
| DE10343761A1 (de) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Mtu Aero Engines Gmbh | Verschleißschutzschicht, Bauteil mit einer derartigen Verschleißschutzschicht sowie Herstellverfahren |
| US20050158460A1 (en) * | 2004-01-21 | 2005-07-21 | Williams Christopher C. | Method for protecting new/used engine parts |
| US20050255329A1 (en) * | 2004-05-12 | 2005-11-17 | General Electric Company | Superalloy article having corrosion resistant coating thereon |
| US7186092B2 (en) * | 2004-07-26 | 2007-03-06 | General Electric Company | Airfoil having improved impact and erosion resistance and method for preparing same |
| US8118561B2 (en) | 2004-07-26 | 2012-02-21 | General Electric Company | Erosion- and impact-resistant coatings |
| US20080166561A1 (en) | 2005-08-16 | 2008-07-10 | Honeywell International, Inc. | Multilayered erosion resistant coating for gas turbines |
| US8127442B2 (en) * | 2005-12-15 | 2012-03-06 | United Technologies Corporation | Compressor blade flow form technique for repair |
| EP2152937A4 (en) * | 2007-03-30 | 2012-03-07 | Ca Nat Research Council | COATING |
| US20100078308A1 (en) | 2008-09-30 | 2010-04-01 | General Electric Company | Process for depositing a coating on a blisk |
| US20100226783A1 (en) * | 2009-03-06 | 2010-09-09 | General Electric Company | Erosion and Corrosion Resistant Turbine Compressor Airfoil and Method of Making the Same |
| US20110052406A1 (en) * | 2009-08-25 | 2011-03-03 | General Electric Company | Airfoil and process for depositing an erosion-resistant coating on the airfoil |
| US8196600B1 (en) | 2010-12-27 | 2012-06-12 | General Electric Company | High-temperature jointed assemblies and wear-resistant coating systems therefor |
| KR101353453B1 (ko) * | 2011-12-28 | 2014-01-21 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 경질 코팅층과 그 형성방법 |
| US9404172B2 (en) * | 2012-02-22 | 2016-08-02 | Sikorsky Aircraft Corporation | Erosion and fatigue resistant blade and blade coating |
| US10557194B2 (en) | 2015-02-26 | 2020-02-11 | United Technologies Corporation | Systems and methods for optimal source material deposition along hole edges |
| CN116463586A (zh) * | 2023-06-14 | 2023-07-21 | 北京辰融科技有限责任公司 | 用于钛合金表面的抗冲蚀抗疲劳一体化涂层及其制备方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633432A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-03 | Toshiba Corp | Hardening method for surface of turbine blade |
| JPS5751132U (ja) * | 1980-09-08 | 1982-03-24 | ||
| JPS6056061A (ja) * | 1983-09-07 | 1985-04-01 | Toshiba Corp | 耐摩耗部品 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3332870A (en) * | 1962-10-08 | 1967-07-25 | Mhd Res Inc | Method and apparatus for effecting chemical reactions by means of an electric arc |
| US3451772A (en) * | 1967-06-14 | 1969-06-24 | Air Reduction | Production of ultrapure titanium nitride refractory articles |
| US3656995A (en) * | 1969-05-02 | 1972-04-18 | Texas Instruments Inc | Chemical vapor deposition coatings on titanium |
| US3784402A (en) * | 1969-05-02 | 1974-01-08 | Texas Instruments Inc | Chemical vapor deposition coatings on titanium |
| US3848068A (en) * | 1971-04-21 | 1974-11-12 | Corning Glass Works | Method for producing metal compounds |
| US4080431A (en) * | 1976-12-20 | 1978-03-21 | Ppg Industries, Inc. | Recovery of refractory hard metal powder product |
| JPS5625960A (en) * | 1979-08-09 | 1981-03-12 | Mitsubishi Metal Corp | Surface-coated high speed steel material for cutting tool |
| IN157173B (ja) * | 1981-09-10 | 1986-02-01 | United Technologies Corp | |
| DE3151413A1 (de) * | 1981-12-24 | 1983-07-14 | MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München | "schaufel einer stroemungsmaschine, insbesondere gasturbine" |
| WO1987002072A1 (en) * | 1985-09-30 | 1987-04-09 | Union Carbide Corporation | Apparatus and process for arc vapor depositing a coating in an evacuated chamber |
| US4895765A (en) * | 1985-09-30 | 1990-01-23 | Union Carbide Corporation | Titanium nitride and zirconium nitride coating compositions, coated articles and methods of manufacture |
-
1987
- 1987-12-24 US US07/137,852 patent/US4904528A/en not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-12-01 DE DE198888630214T patent/DE323388T1/de active Pending
- 1988-12-01 DE DE3887975T patent/DE3887975T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-12-01 EP EP19880630214 patent/EP0323388B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-12-02 AU AU26513/88A patent/AU614315B2/en not_active Ceased
- 1988-12-24 KR KR1019880017404A patent/KR930004069B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1988-12-24 JP JP32752288A patent/JP2892021B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633432A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-03 | Toshiba Corp | Hardening method for surface of turbine blade |
| JPS5751132U (ja) * | 1980-09-08 | 1982-03-24 | ||
| JPS6056061A (ja) * | 1983-09-07 | 1985-04-01 | Toshiba Corp | 耐摩耗部品 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008038896A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | United Technol Corp <Utc> | ガスタービンエンジンブレード、金属材料の物品の作製方法および被覆された部品の製造方法 |
| US8221841B2 (en) | 2006-08-03 | 2012-07-17 | United Technologies Corporation | Pre-coating burnishing of erosion coated parts |
| JP2020090723A (ja) * | 2018-11-27 | 2020-06-11 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜被覆部材及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| EP0323388A3 (en) | 1990-07-11 |
| EP0323388B1 (en) | 1994-02-23 |
| US4904528A (en) | 1990-02-27 |
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| AU614315B2 (en) | 1991-08-29 |
| DE3887975D1 (de) | 1994-03-31 |
| AU2651388A (en) | 1989-06-29 |
| DE3887975T2 (de) | 1994-06-01 |
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