DE3839864A1 - Messwertgeber fuer differenzdruck - Google Patents
Messwertgeber fuer differenzdruckInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Meßwertgeber für Differenzdruck
und insbesondere einen Differenzdruckgeber, der zuverlässig
Fehler kompensieren kann, die durch hohen statischen Druck
verursacht werden.
Wie in den offengelegten japanischen Patentanmeldungen
Nr. 120142/1983, Nr. 61637/1985 und Nr. 56465/1986 und in
der offengelegten japanischen Gebrauchsmusteranmeldung
Nr. 167432/1983 beschrieben wird, detektieren herkömmliche
Druckdifferenzmeßwertgeber den statischen Druck durch
Verwenden einer Differenzdruck detektierenden Membran (Dia
phragma) und eines piezoresistiven Halbleitermeßelements,
das sich auf dem gleichen Chip befindet, auf dem die Membran
befestigt ist. Bei diesem Aufbau gibt es jedoch einen hohen
Übersprechpegel zwischen dem den Differenzdruck
messenden Meßelement und dem detektierenden Meßelement für
den statischen Druck, so daß es erschwert ist, Fehler zu
kompensieren, die durch hohe statische Drücke verursacht
werden. Das ist ein Haupthindernis für die Verbesserung der
Genauigkeit des Meßwertgebers für Differenzdruck.
Das Patent US 45 28 855 beschreibt einen Meßwertgeber für
Differenzdruck, in dem der statische Druck, der auf die obere
und untere Oberfläche einer ringförmigen Membran einwirkt,
die dem Differenzdrucksensor umgibt, verwendet wird, den
Differenzdrucksensor zu deformieren, und dadurch Widerstands
änderungen einer Vielzahl von piezoresistiven Halbleiter
meßelementen zu erhalten.
Es gibt viele Arten von Differenzdrucksensoren, die einen
Differenzdruck und eine Temperatur detektieren. Fig. 1 zeigt
eine vertikale Schnittansicht, die einen repräsentativen
Aufbau eines Meßwertgebers für Differenzdruck, wie er
gegenwärtig im Gebrauch ist, zeigt der in der offengelegten
Japanischen Patentanmeldung Nr. 61637/1985 vorgestellt
wird. Eine Siliziummembran 1 weist auf einen dünnen Teil 1 a
eine piezoresistive Halbleitermeßelementgruppe 2, die einen
Differenzdruck Δ P erfaßt und auf einem fixierten Teil 1 b
ein photoresistives Halbleitermeßelement 3, daß die
Temperatur feststellt. Beide Meßelemente sind in die Sili
ziummembran 1 eindiffundiert. Diese piezoresistiven Meßele
mente sind so ausgebildet, daß sie nicht auf einen hohen
statischen Druck P reagieren und jedes der Meßelemente ist
mit externen Schaltungen über Leitungsdrähte 6 verbunden,
die aus dem luftdichten, hermetisch abgedichteten Anschluß
5 herausgeführt sind. Deshalb erzeugt die piezoresistive
Halbleitermeßelementgruppe 2 ein Signal proportional einer
Druckdifferenz Δ P und das piezoresistive Halbleiter
meßelement 3 erzeugt ein Signal proportional zur Temperatur
T. Die äußere Schaltung erzeugt dann ein Differenzdrucksignal,
das frei von Fehlern ist, die durch Temperaturänderungen
verursacht werden.
Ein statischer Druck P, der auf beiden Seiten der Silizium
membran 1 des Differenzdruckmeßwertgebers einwirkt, ist nor
malerweise 100 Atmosphären stark. Bei solch einem hohen
statischen Druck verursacht jedes Ungleichgewicht in der
Flüssigkeits-Kontraktion zwischen den Kammern 7 a und 7 b, die
auf beiden Seiten mit einer Flüssigkeit gefüllt sind, oder
jede Verformung eines Gehäuses 4 bzw. Rahmens eine Verfor
mung der Siliziummembran 1. Das wiederum ergibt eine Ver
änderung des Widerstands der piezoresistiven Halbleiter
meßelementgruppe 2. Damit wird das Signal, das den Differenz
druck wiedergibt, mit einem Signal, das von einem
statischen Druck erzeugt wird, überlagert, wodurch es
unmöglich ist, ein richtiges Differenzdrucksignal auszugeben.
In anderen Worten wird das Ausgangssignal des Differenz
druckmeßwertgebers von dem statischen Druck beeinflußt und
enthält Fehler. Um zu verhindern, daß Fehler durch den
statischen Druck verursacht werden, ist es erforderlich,
daß die Flüssigkeitsmengen, die in den Kammern 7 a und 7 b
eingeschlossen sind, genau gleich zueinander sind, und daß
das Gehäuse 4 eine größere Starrheit aufweist, so daß es
nicht durch statischen Druck P verformt werden kann. Diese
Erfordernisse bewirken einen großen Aufwand beim Design und
der Herstellung, wodurch eine weitere Größenreduzierung und
Kostenreduzierung des Differenzdruckmeßwertgebers unterbunden
wird.
Die Aufgabe dieser Erfindung besteht darin, einen Differenz
druckmeßwertgeber zu schaffen, der Verbesserungen mit Bezug
auf den obenstehenden Nachteil erwirkt, indem ein detek
tierendes Meßelement für statischen Druck im wesentlichen
abgetrennt bzw. isoliert von anderen Meßelementen ausgebildet
wird, und insbesondere darin, einen hochempfindlichen Sensor
zum Detektieren des statischen Drucks mit hohen Ausgängen
und einen zusammengesetzten Sensor mit kleinem Übersprechen
zwischen dem Sensor für statischen Druck und dem Differenz
drucksensor zu schaffen.
Der Differenzdruckmeßwertgeber dieser Erfindung weist auf:
mindestens ein Substrat; eine Halterung zum Halten des
Substrats; und mindestens ein piezoresistives Meßelement,
das auf dem Substrat ausgebildet ist, wobei das Substrat so
ausgebildet ist, daß sich eine Spitzenspannung in der Nähe
des piezoresistiven Meßelements entwickelt.
Die Erfindung betrifft einen Differenzdruckmeßwertgeber,
der aus einem Sensorsubstrat (das aus einem Halbleiter
bestehen kann) und einer Halterung (die befestigt sein
kann) besteht, um das Sensorsubstrat zu halten, und der den
Differenzdruck einer Flüssigkeit detektiert bzw. feststellt,
indem von der Differenz in den Young-Modulen zwischen dem
Substrat und der Halterung Gebrauch gemacht wird. Das
Sensorsubstrat wird auf einer Seite oder auf beiden Seiten
behandelt, um einen Teil dünner als die umgebenden Teile zu
machen, und eine Widerstandsänderung des piezoresistiven
Meßelements, das am dünnen Teil angeordnet ist und aus
einem Material wie z. B. einem Halbleiter besteht, wird
detektiert. Das bedeutet, daß das Sensorsubstrat so ausgebildet
ist, daß eine Spitzenspannung auf Grund einer statischen
Druckbelastung auf das piezoresistive Meßelement einwirkt.
Diese Erfindung betrifft ebenso einen Differenzdruckmeß
wertgeber, der aus einem Sensorsubstrat und einer befestigten
Halterung besteht, auf der das Sensorsubstrat sicher befestigt
ist, und der den Differenzdruck eines Fluids oder
einer Flüssigkeit detektiert, indem vom Vorteil der Dif
ferenz in den Young-Modulen zwischen Sensorsubstrat und der
fixierten Halterung Gebrauch gemacht wird. Der dünne Teil
des Sensorsubstrats ist mit einem Differenzdrucksensor
ausgebildet. Der dicke Teil des Substrats wird auf einer
Seite oder auf beiden Seiten behandelt, um einen Teil des
dicken Teils dünner zu machen als die umgebenden Teile, so
daß eine Spitzenspannung, die durch die statische Druck
belastung verursacht wird, bei diesem dünnen Teil auftritt.
Ein Sensor für statischen Druck wird auf diesem dünnen Teil
des dicken Teils ausgebildet, um eine Widerstandsänderung
des piezoresistiven Halbleitermeßelements festzustellen.
Das Sensorsubstrat ist mit einer Vertiefung zwischen dem
Differenzdrucksensor und dem Sensor für statischen Druck
versehen, um Übersprechen zwischen den beiden Sensoren zu
unterbinden.
Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der
vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit
der Zeichnung. Darin zeigen:
Fig. 1 eine Querschnittsansicht, die den Aufbau eines
herkömmlichen Differenzdruckmeßwertgebers zeigt;
Fig. 2 ein erläuterndes Diagramm, das das Betriebsprinzip
eines Sensors für statischen Druck entsprechend
dieser Erfindung zeigt;
Fig. 3 eine vertikale Querschnittsansicht, die den Aufbau
eines Vielfunktionssensors als eine Ausführungsform
dieser Erfindung zeigt;
Fig. 4 ein Diagramm, das ein Beispiel einer Schaltung zum
Verarbeiten von Detektionssignalen von dem Viel
funktionssensor dieser Erfindung zeigt;
Fig. 5 und 6 vertikale Querschnittsansichten von anderen
Ausführungsformen gemäß dieser Erfindung.
Das Betriebsprinzip dieser Erfindung ist wie folgt.
Ein statischer Druck verursacht eine Verformung bzw. Deformation
in einem zusammengesetzten Teil, das aus Teilen mit
verschiedenen Elastizitätsmodulen besteht, wie z. B. einer
Siliziumplatte und einer Glasplatte, und diese Verformung
wird als elektrisches Signal von einem piezoresistiven
Element detektiert, das in die Siliziumplatte eindiffundiert
ist. Die Siliziumplatte ist mit einer gekerbten Vertiefung
versehen, um einen belastungskonzentrierten Teil bzw.
Abschnitt zu schaffen, wo das piezoresistive Element einge
richtet ist, so daß große Widerstandsänderungen erhalten
werden können. Ein detektierendes Differenzdruckmeßelement
und ein detektierendes Meßelement für statischen Druck, die
beide auf der Siliziumplatte angebracht sind, sind struk
turell voneinander getrennt bzw. isoliert.
Die Funktion des Differenzdruckmeßwertgebers gemäß dieser
Erfindung wird mit Bezug auf die Fig. 2 erläutert. Eine
Einkristallplatte 8 aus einem Material wie z. B. Silizium,
die als Sensorsubstrat dient, ist an einer Stelle mit einer
Vertiefung 9 versehen, die im Querschnitt dreieckig ist.
Ein piezoresistives Element 10 ist auf der oberen Oberfläche
des dünnen Teils ausgebildet. Diese Einzelkristallplatte 8
ist mit einer Halterung verbunden, die aus einem Material
mit einem unterschiedlichen Elektrizitätsmodul wie z. B.
Borosilikat-Glas 11 gefertigt ist. Wenn ein statischer
Druck P auf die Einkristallplatte 8 und die Glashalterung
11 einwirkt, sind diese einer komprimierenden Belastung
bzw. Spannung über die gesamte Oberfläche ausgesetzt, die
gleich dem statischen Druck P ist. Wegen der Differenz in
den Elastizitätsmodulen erzeugt die Glasplatte 11 eine
größere Verformung. Da die zwei Teile miteinander verbunden
sind, wird die Einkristallplatte 8 durch die komprimierende
Verformung der Glasplatte 11 in einer konvexen Form defor
miert. Die Spannung σ auf der oberen Oberfläche der Einkristall
platte 8 ist so, wie in (a) der Fig. 2 gezeigt wird.
Der dünne Teil bzw. Abschnitt entwickelt die Maximalspannung
durch den Kerbeffekt. In der Praxis wird der dünne Teil so
ausgelegt, daß er nicht bei der Maximalspannung zerbricht,
wenn auf ihn eine dynamische bzw. wiederholte Last einwirkt.
In diesem Teil sind piezoresistive Halbleitermeßelemente
Glbis G 4, wie in (b) gezeigt, ausgebildet. Wenn man davon
ausgeht, daß die Kristallrichtungen der Silizium-Einkristall
platte 8 vertikal und lateral oder in <110< Richtungen
vorhanden sind, dann weist ein P-Typ-Element eine Wider
standsänderung Δ R auf, die ausgedrückt wird durch
wobei
R: ein Bezugswiderstand
Π44: der Scherungskoeffizient für das piezoresis tive Element
σ l : die Spannung in der Längsrichtung, verursacht durch einen statischen Druck
σ t : die Spannung in der Lateralrichtung bzw. Querrichtung sind.
R: ein Bezugswiderstand
Π44: der Scherungskoeffizient für das piezoresis tive Element
σ l : die Spannung in der Längsrichtung, verursacht durch einen statischen Druck
σ t : die Spannung in der Lateralrichtung bzw. Querrichtung sind.
Die piezoresistiven Meßelemente G 1, G 4 und auch G 2, G 3
erzeugen Widerstandsänderungen unterschiedlichen Vorzeichens
und sind in einer Brücke verbunden, die eine Ausgangsspannung
proportional zum statischen Druck erzeugt. Diese vier
piezoresistiven Meßelemente G 1 bis G 4 sind in die Silizium
platte eindiffundiert und zwar bei einem Schritt des Halb
leiterherstellungsprozesses, so daß die Differenz des
Widerstandstemperaturkoeffizienten unter diesen Meßelementen
sehr klein ist, was bedeutet, daß die Ausgangsspannungs
änderung auf Grund von Änderungen der Umgebungstemperatur
klein ist. Somit ist es möglich, eine große Ausgangsspannung
zu erhalten, die proportional zum statischen Druck ist und
nicht von Temperaturänderungen beeinflußt wird.
In dieser Erfindung ist eine Trennvertiefung ausgebildet,
in einem Teil des Sensorsubstrats, wie in Fig. 3 gezeigt
wird, um den Teil mit dem Differenzdruckmeßelement von dem
Teil mit dem Meßelement für den statischen Druck zu trennen.
Das ermöglicht eine genaue Detektion des statischen Drucks
mit geringem Übersprechen.
Nachfolgend wird mit Bezug auf die Fig. 3 und 4 eine
Ausführungsform dieser Erfindung im Detail erläutert.
Fig. 3 ist eine vertikale Querschnittsansicht, die den Aufbau
eines Vielfunktionssensors als eine Ausführungsform dieser
Erfindung zeigt, und zwar angewendet bei einem Differenz
druckmeßwertgeber vom Typ mit piezoresistivem Halbleiter
meßelement. In Fig. 3 ist der befestigte, dicke Teil 1 a der
Siliziummembran 1, die aus einer Silizium-Einkristallplatte
gefertigt ist, um den Differenzdruck zu detektieren, her
metisch in dem Gehäuse 4 befestigt. Der luftdichte, her
metisch abgeschlossene Glasanschluß 5, der im Gehäuse 4
eingerichtet ist, führt Signale von den piezoresistiven
Meßelementen durch Leitungsdrähte 6 zu externen Schaltungen
heraus. Verschlußmembranen 12 a und 12 b sind hermetisch
entlang des Umfangs auf jeder Seite des Gehäuses 4 befestigt.
Die Kammern 7 a und 7 b, die durch die Siliziummembran 1
geteilt sind, sind mit einer Flüssigkeit, wie z. B. Silikon
öl, gefüllt. Die Flansche 13 a und 13 b sind vorgesehen, um
das Gehäuse zu klammern, um eine Differenz durch zu Δ P und
einen statischen Druck P dem Differenzdrucksensor und dem
Sensor für statischen Druck zuzuführen.
Die dünne Siliziummembran 1 verformt sich entsprechend dem
Differenzdruck Δ P, d. h. entsprechend einer Druckdifferenz
zwischen den eingeschlossenen Flüssigkeiten in den Kammern
7 a, 7 b auf jeder Seite der Membran. Auf dem dünnen Teil der
Membran ist eine piezoresistive Halbleitermeßelementgruppe
14 eindiffundiert, die den Differenzdruck detektiert, indem
die Verformung der Membran in ein elektrisches Signal
umgewandelt wird. Auch ist ein Dünnfilmleitungsanschluß 14 a
auf der Meßelementgruppe durch Aufdampfen ausgebildet. In
die obere Oberfläche des peripheren, befestigten, dicken
Teils der Siliziummembran 1 ist ein piezoresistives Halb
leitermeßelement 15 eindiffundiert, auf dem ein Dünnfilmblei
anschluß 15 a durch Aufdampfen ausgebildet ist. Indem Bor
als P-Typ-Verunreinigung in eine Ebene (100) der Silizium-
Einkristallplatte eindiffundiert wird, können die piezoresistiven
Meßelemente entlang einer Achse 100 angeordnet werden,
wo der piezoresistive Koeffizient fast 0 wird, so daß keine
verursachten Deformationen ein elektrisches Signal ergeben.
Diese Anordnung wird verwendet beim Bilden des piezoresistiven
Halbleitermeßelements 15 für die Temperaturerfassung.
Eine Halterung 16, auf der die Siliziummembran 1 gesichert
ist, ist z. B. aus Materialien wie Pyrex-Glas gefertigt,
dessen Temperatur-Ausdehnungskoeffizient etwa dem von
Silizium entspricht. Ein Zapfenventil 17, das die Halterung 16
hält, besteht aus einer Eisen-Nickel-Legierung, und zwar
aus dem gleichen Grund wie oben, und ein Teil des Zapfenteils
ist mit dem Gehäuse 4 verlötet. Das Zapfenteil 17 hat fast
den gleichen Durchmesser wie die Einkristallplatte, die die
Siliziummembran 1 bildet, um eine Verformung des Glassub
strats 16 auf Grund des statischen Drucks zu unterdrücken und
dadurch jede Widerstandsänderung des piezoresistiven Meßele
ments zu verhindern, das auf der Siliziummembran 1 ausgebildet
ist. An dem unteren Abschnitt des Glassubstrats 16 ist
ein Detektionssensor 18 für statischen Druck befestigt, der
an einem Teil eine Vertiefung 19 aufweist, um einen dünnen
Teil zu bilden. Auf der oberen Oberfläche des dünnen Teils
ist ein piezoresistives Meßelement 20 zum Detektieren des
statischen Drucks eindiffundiert. Ein Dünnfilmleitungs
anschluß 20 a ist über dem Meßelement 20 aufgedampft. Der
Detektionssensor 18 für den statischen Druck ist von der
Detektionsmembran 1 für Differenzdruck durch eine tiefe
Vertiefung 29 getrennt, so daß ihre Deformationen voneinander
unabhängig sind, wodurch Übersprechen zwischen dem Dif
ferenzdrucksignal und dem Signal für statischen Druck
vermieden wird. Wie in Fig. 2 erläutert, kann der Sensor 18
für statischen Druck ein großes Ausgangssignal von dem
piezoresistiven Meßelement 20 entsprechend dem statischen
Druck erzeugen. Die Vertiefung 19 hat eine Funktion der
Verstärkung der Spannung und dieser Teil des Sensors 18 ist
wie ein Tunnel ausgeformt, der mit Silikonöl gefüllt ist,
so daß der Sensor nicht den Differenzdruck Δ P detektiert,
sondern nur die Verformungen detektiert bzw. erfaßt, die
durch den statischen Druck verursacht werden, wie in Fig. 2
erläutert. Fig. 4 zeigt ein Beispiel des Detektionssignal-
Verarbeitungsflusses, wie er durch den Viel-Funktionssensor
dieser Erfindung durchgeführt wird. Wenn auf die Detek
tionsmembran 1 für Differenzdruck ein Druck P auf einer
Seite und ein Druck (P+Δ P) auf der anderen Seite einwirkt,
detektiert die Differenzdruckdetektionsmeßelementgruppe 14
den Differenzdruck Δ P. Das Signal der Meßelementgruppe 14
wird über den Leitungsanschluß 14 a und einer Leitung 14 b
einem Analog-Digital-Wandler 21 zugeführt. Das piezoresistive
Halbleitermeßelement 20 für statischen Druck, das
auf dem dünnen Teil des Sensors 18 vorhanden ist, detektiert
den statischen Druck P. Das piezoresistive Halbleitermeßele
ment 15 zur Temperaturdetektion auf dem dicken Teil der
Membran 1 detektiert die Temperatur T. Signale dieser
Sensoren werden dem Analog-Digitalwandler 21 über den
Leitungsanschluß 20 und den Leitungsdraht 20 b und über den
Leitungsanschluß 15 a und den Leitungsdraht 15 b zugeführt.
Der Analog-Digitalwandler 21 führt nach Verstärkung dieser
Signale auf festgelegte Amplituden, wie erforderlich, eine
Analog-Digitalwandlung dieser Signale aus und führt diese
der CPU 22 zu. Die CPU 22 führt vorgegebene Berechnungen
mit den digitalgewandelten Signalen von dem Analog-Digital
wandler 21 durch, um Wirkungen des statischen Drucks P zu
verhindern und führt eine Nachstellung der Auswirkungen der
Temperatur T durch. Somit gibt die CPU 22 ein Differenzsignal
aus, das genau proportional nur zu dem Differenzdruck Δ P
ist. Der Speicher 23 enthält Daten und Berechnungsprogramme,
die notwendig für die CPU 22 zur Durchführung von Berech
nungen sind. Das Differenzdrucksignal wird auf einer Display-
Einrichtung 24 angezeigt und wird ebenfalls in ein analoges
Signal durch einen Digital-Analogwandler 25 umgewandelt,
bevor es anderen Schaltungen zugeführt wird. Durch Verwenden
einer eigenen Schaltereinrichtung, ist es möglich, Signale
anzuzeigen und zu übertragen, die proportional zum statischen
Druck P und der Temperatur T sind, und zwar zusätzlich zu
dem Differenzsignal, das streng proportional zum Differenz
druck Δ P ist. Es ist auch möglich, äußere Störungen des
Differenzdrucksignals zu kompensieren. Fig. 5 zeigt eine
Variation des Differenzdruckmeßwertgebers nach Fig. 3. In
diesem Beispiel verläuft die Trennvertiefung 29 a bis zur
Mitte in der Silizium-Einkristallplatte 1. Dieser Aufbau
vermindert ebenfalls beträchtlich das Übersprechen zwischen
dem piezoresistiven Detektionselement 14 für Differenz
druck und dem piezoresistiven Detektionselement 20 für
statischen Druck. Je tiefer die Trennvertiefung desto
geringer wird die Übersprechamplitude sein. Wenn die Tiefe
der Trennvertiefung 0,2 mm beträgt, reduziert sich die
Übersprechamplitude auf ungefähr ¹/₅ von der, wenn keine
Vertiefung vorhanden ist. Obwohl diese Art von Vertiefung
durch eine Ritzmaschine ausgebildet werden kann, wird es
bevorzugt, ein chemisches Verfahren, wie z. B. alkalisches
Ätzen oder Säureätzen zu verwenden, weil das chemische
Verfahren weniger Bearbeitungsverformungen oder Beschädigungen
des Sensors verursacht.
Fig. 6 zeigt eine andere Abwandlung. In diesem Beispiel ist
der Sensor 18 für statischen Druck vollständig getrennt
von anderen Sensoren, so daß er nicht durch Differenzdruck
beeinträchtigt wird. Dies bedeutet, daß der Differenzdruck
sensor 1 und der Sensor 18 für statischen Druck voneinander
unabhängig sind. Der Sensor 18 für statischen Druck erzeugt
ein Ausgangssignal, das alleine den statischen Druck wieder
gibt, und zwar ohne Übersprechen oder Störungen von dem
Differenzsensor 1. Deshalb wird die Kompensation von Fehlern,
die durch hohen statischen Druck verursacht werden, in dem
Differenzdruckmeßwertgeber sehr einfach, der ein Druckaufnah
meteil aufweist.
Die Vorteile der obenerwähnten Ausführungsformen gemäß der
Erfindung können wie folgt zusammengefaßt werden:
- (1) Ein Ausgangssignal kann erhalten werden, das propor tional zu dem Differenzdruck Δ P ist, und das frei von Fehlern ist, die sich aus Verformungen des Gehäuses 4 ergeben, die durch den statischen Druck P verursacht werden.
- (2) Wenn die Umgebungstemperatur T sich ändert, ändern such auch die Eingenschaften der piezoresistiven Meßelemente 14 und 20, die den Differenzdruck Δ P detektieren, und des statischen Drucks P. Es ist jedoch möglich, da das Ausgangssignal des piezoresistiven Halbleiterdetektionsmeßelements 15 für die Temperatur verwendet wird, um Temperaturänderungen zu kompensieren, Ausgangssignale zu erhalten, die proportional zum Differenzdruck Δ P bzw. zu dem statischen Druck P sind, und die nicht von Temperatur änderungen beeinflußt werden.
- (3) Eine Trennvertiefung ist in einem Teil des Sensor substrats ausgebildet, um das Detektionsmeßelement für Differenzdruck und das Detektionsmeßelement für statischen Druck voneinander zu trennen, so daß die Verformung des photoresistiven Detektionsmeßelements für Differenzdruck, die durch den statischen Druck verursacht wird, klein ist, und so daß die Verformung des piezoresistiven Detektionsmeßelements für statischen Druck, die durch den Differenzdruck verursacht wird, klein ist. Das bedeutet, daß das Übersprechen oder eine Störung zwischen diesen Meßelementen klein ist, so daß eine genauere Einstellung oder Korrektur gemacht werden kann, die wiederum die Genauigkeit des Differenzdruckmeßwertgebers erhöht.
- (4) Die piezoresistiven Halbleitermeßelemente 14, 20 und 15 können mittels eines Halbleiterherstellungsverfahrens ausgebildet werden. Der dünne Teil des Sensor substrates kann leicht durch eine Präzisionsherstel lungstechnik für Halbleiter ausgebildet werden. Das wiederum erlaubt es, den Differenzdrucksensor in einer geringeren Größe zu bilden.
Mit dieser Erfindung ist es möglich, eine hochempfindliche
Detektion des statischen Drucks mit nur einem kleinen Fehler
durchzuführen, der durch Temperaturänderungen verursacht
wird.
Es ist ebenso möglich, einen Sensor zu bilden, der geringes
Übersprechen zwischen dem Differenzdrucksignal und dem
Signal für statischen Druck aufweist. Diese beiden Eigen
schaften wiederum machen die Temperaturkompensation und die
Kompensation für statischen Druck leicht, wodurch es er
möglicht wird, einen hochgenauen Differenzdruckmeßwertgeber
zu schaffen. In dieser Erfindung verursacht die Differenz
im Young-Modul zwischen dem Sensorsubstrat und dem Hal
terungsteil, daß das Sensorsubstrat eine Spannung auf Grund
des statischen Drucks entwickelt. Des weiteren ist die
Unterseite des Sensorsubstrats, auf dem ein piezoresistives
Halbleitermeßelement befestigt ist, dünn ausgebildet, um eine
örtliche Spannung am Meßelementabschnitt zu erzeugen, und
deshalb eine vergrößerte Änderung im Meßelementwiderstand.
Es ist somit möglich, einen statischen Druck zu detektieren,
der auf den Sensor als Ganzes einwirkt, wenn es keine
Druckdifferenz zwischen der Sensoroberfläche, auf der das
Meßelement vorgesehen ist, und der Unterseite des Sensors
gibt.
Claims (5)
1. Differenzdruckmeßwertgeber, der aufweist:
- - mindestens ein Substrat;
- - eine Halterung zum Halten des Substrats; und
- - mindestens ein piezoresistives Meßelement, das auf dem Substrat ausgebildet ist; wobei das Substrat derart ausgebildet ist, daß eine Spitzenspannung in der Nähe des piezoresistiven Meßelements erzeugt wird.
2. Differenzdruckmeßwertgeber, der aufweist:
- - ein Sensorsubstrat; und
- - eine Halterung zum Halten des Sensorsubstrats, wobei der Differenzdruck eines Fluids detek tiert wird, indem die Differenz im Young- Modul zwischen dem Sensorsubstrat und der Halterung ausgenutzt wird, wobei ein Teil des Sensorsubstrats dünner ausgebildet ist, als die umgebenden Teile und wobei ein Widerstandswechsel des piezoresistiven Meßelements, das auf diesem dünnen Teil ausgebildet ist, detektiert wird.
3. Differenzdruckmeßwertgeber, der aufweist:
- - ein Halbleitersensorsubstrat; und
- - eine fixierte Halterung, auf der das Halb leitersensorsubstrat sicher befestigt ist, wobei der Differenzdruck eines Fluids detektiert wird, indem die Differenz des Young- Moduls zwischen dem Sensorsubstrat und der Halterung ausgenutzt wird, und wobei das Sensorsubstrat auf einer Seite oder auf beiden Seiten behandelt ist, um einen Teil des Substrats dünner als die umgebenden Teile zu machen und dadurch eine Spitzen spannung auf Grund einer statischen Druckbelastung zu verursachen, die sich an dem dünnen Teil entwickelt, und wobei eine Widerstands änderung des piezoresistiven Halbleitermeßele ments, das auf dem dünnen Teil ausgebildet ist, detektiert wird.
4. Differenzdruckmeßwertgeber, der aufweist:
- - ein Sensorsubstrat; und
- - eine Halterung zu Halten des Sensorsubstrats, wobei der Differenzdruck eines Fluids detek tiert wird, indem die Differenz im Young- Modul zwischen dem Sensorsubstrat und der Halterung ausgenutzt wird, und wobei ein Differenzdrucksensor auf einem dünnen Teil des Sensorsubstrats ausgebildet ist und ein Sensor für statischen Druck ausgebildet ist auf einem dicken Teil des Sensorsubstrats, das einen Teil hat, der dünner gemacht ist als der umgebende Teil, wobei der Sensor für den statischen Druck angepaßt ist, um eine Wider standsänderung des piezoresistiven Meßele ments, das auf dem dünneren Teil des dicken Teils des Substrats ausgebildet ist, zu detektieren, und wobei eine Vertiefung in dem Sensorsubstrat zwischen dem Differenz drucksensor und dem Sensor für statischen Druck ausgebildet ist, um Übersprechen zwischen den beiden Sensoren zu verhindern.
5. Differenzdruckmeßwertgeber, der aufweist:
- - ein Halbleitersensorsubstrat; und
- - eine befestigte Halterung, auf der das Halbleitersubstrat sicher befestigt ist, wobei der Differenzdruck eines Fluids detek tiert wird, indem die Differenz im Young- Modul zwischen dem Sensorsubstrat und der Halterung ausgenutzt wird, und wobei ein Differenzdrucksensor auf einen dünnen Teil des Sensorsubstrats ausgebildet ist, wobei ein dicker Teil des Sensorsubstrats auf einer Seite oder auf beiden Seiten behandelt ist, um einen Teil des dicken Teils des Substrats dünner zu machen, als die umgebenden Teile, so daß eine Spitzenspannung auf Grund einer statischen Druckbelastung am dünneren Teil auftritt, und wobei ein Sensor für statischen Druck auf dem dicken Teil des Sensorsubstrats ausgebildet ist, um eine Widerstandsänderung eines piezoresistiven Halbleitermeßelements zu detektieren, das auf dem dünneren Teil des dicken Teils des Substrats ausgebildet ist, und wobei eine Vertiefung in dem Sensor substrat zwischen dem Differenzdrucksensor und dem Sensor für statischen Druck ausgebildet ist, um Übersprechen zwischen den beiden Sensoren zu unterbinden.
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