DE3825979A1 - Anordnung zur kuehlung von verlustleistung abgebenden bauelementen - Google Patents
Anordnung zur kuehlung von verlustleistung abgebenden bauelementenInfo
- Publication number
- DE3825979A1 DE3825979A1 DE3825979A DE3825979A DE3825979A1 DE 3825979 A1 DE3825979 A1 DE 3825979A1 DE 3825979 A DE3825979 A DE 3825979A DE 3825979 A DE3825979 A DE 3825979A DE 3825979 A1 DE3825979 A1 DE 3825979A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- heat
- heat sink
- conducting
- cooling
- arrangement according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 3
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 claims description 16
- 210000003168 insulating cell Anatomy 0.000 claims description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
- H01L23/427—Cooling by change of state, e.g. use of heat pipes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Kühlung von Leistungs
halbleitern, insbesondere Scheibenzellen-Halbleitern, über Kühlkörper,
vorzugsweise solchen mit potentialgetrennten Kühlkörpern.
Es ist bekannt, Scheibenzellen-Halbleiter einseitig oder doppelseitig
über Kühlkörper zu kühlen. In den meisten Fällen findet Luftkühlung Ver
wendung. Ein potentialfreier Aufbau ist durch Verwendung von thermisch
leitenden, elektrisch isolierenden Zwischenlagen, sogenannten Isolier
zellen möglich. Die doppelseitige Kühlung ist besser, aber schwieriger zu
realisieren, sofern der Aufbau nicht sperrig sein soll. Eine Lösung bietet
der Einsatz sogenannter Wärmeleitbügel, bei denen es sich um gut wärme
leitende metallische Blöcke aus Aluminium oder Kupfer handelt, mit denen
die Wärme von der dem Kühlkörper abgewandten Seite des Scheibenzellen-Halb
leiters zum Kühlkörper geleitet wird. Es ist dazu eine besondere L-förmige
Gestaltung zur Überbrückung der Höhenunterschiede nötig, ferner der Einsatz
thermisch leitender elektrisch isolierender Zwischenlagen (Isolierzellen).
Über eine isolierte Spannvorrichtung wird das ganze mit dem Kühlkörper ver
bunden. (DE-DS 36 17 611).
Damit ergibt sich bereits eine kompakte Anordnung, deren gute Kühleigen
schaft durch die doppelseitige Wärmeabfuhr an sich und durch die mittels
des Wärmeleitbügels bewirkte Parallelschaltung der thermischen Innenwider
stände gegeben ist.
Als Kühlkörper werden allgemein stranggepreßte Aluminiumprofile verwendet,
deren Wärmeleitfähigkeit begrenzt ist. Eine Verlängerung bzw. Vergrößerung
des Kühlkörpers trägt deshalb immer weniger zu einer Verbesserung des
thermischen Widerstandes bei. Um entfernt liegende Kühlerteile an der
Kühlwirkung zu beteiligen, sind zur Verbesserung des Wärmeflusses Kupfer
auflagen bzw. Kupfereinlagen möglich. Diese erhöhen das Gewicht und bringen
an sich auch nicht sehr viel. Andere Kühlkörpermaterialien mit besseren
Eigenschaften als Aluminium, insbesondere Kupfer, sind sehr teuer und oft
zu schwer.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Verbesserung der Kühlung von Leistungs-
Halbleitergeräten insbesondere mit isolierten Kühlersystemen, die z. B.
auf Massepotential liegen können, bei Luftkühlung zu erreichen. Auch die
bei Potentialtrennung zwischen Leistungshalbleiter und Kühlkörper durch
wärmeleitende Festkörperisolatoren auftretende Erhöhung des thermischen
Widerstandes soll damit kompensiert werden. Die Lösung soll einfach und
kostengünstig sein.
Diese Aufgabe wird gemäß den kennzeichenden Merkmalen des Anspruches 1 er
reicht. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen entnehmbar.
Anhand von Ausführungsbeispielen wird die Erfindung im nachstehenden näher
erläutert.
Es zeigen bei einseitigem und potentialfreiem Aufbau:
Fig. 1 eine einseitige Kühlung eines Halbleiterelementes,
Fig. 2 eine doppelseitige Kühlung eines Halbleiterelementes,
Fig. 3 eine modifizierte doppelseitige Kühlung eines Halb
leiterelementes,
Fig. 4 eine doppelseitige Kühlung bei vollisoliertem Leistungs
halbleiter.
In Fig. 1 ist mit 1 ein Al-Kühlkörper bezeichnet, der durch ein integriertes
Wärmerohr 2 isothermisiert ist. Das Wärmerohr bewirkt eine vergleichmäßigte
(isothermisierte) Wärmeverteilung im Kühlkörper. Die Integration kann durch
z. B. Einschweißen oder einpressen eines herkömmlichen Wärmerohres in eine
Bohrung, ein Loch oder eine Nut im Kühlkörper erfolgen. Möglich sind auch
Formgebungen, bei denen das Wärmerohr bereits beim Strangpressen des Kühl
körpers mit ausgebildet wird. Vorliegend ist eine Wärmerohrfunktion in
einem Loch oder einer Bohrung angedeutet. Über eine
Spannvorrichtung 3 mit Feder 3 a und einen Isolator 4 ist ein Scheiben
zellen-Halbleiter 5 unter Zwischenschaltung einer wärmeleitenden Isolier
zelle 6 mit dem Kühlkörper 1 verbunden. Die Wärmeabfuhr erfolgt einseitig
über die Isolierzelle 6 zum Kühlkörper 1. Infolge der Vergleichmäßigung
der Temperatur im Kühlkörper ist die Wärmeabfuhr bereits verbessert.
Fig. 2 zeigt eine doppelseitige Kühlung des Scheibenzellen-Halbleiters 5.
Über einen Wärmeleitbügel bestehend aus Al-Anschluß-Endstücke 7 und 7 a
und einem Wärmerohr 8 sowie einem Distanzstück 7 b aus Aluminium oder besser
Kupfer wird praktisch ohne Temperaturgefälle die Wärme auch von der oberen
Seite des Scheibenzellen-Halbleiters 5 über eine weitere Isolierzelle 6 a
zum Kühlkörper 1 a abgeführt. Der Kühlkörper 1 a kann zum Kühlkörper 1 ge
hören, kann jedoch auch ein eigenständiger Kühlkörper sein. Dem Kühlkörper
1 a ist zur Isothermisierung ebenfalls ein Wärmerohr 2 a integriert.
Der Scheibenzellen-Halbleiter 5 wird von der Spannvorrichtung 3 mit Feder
3 a über den Isolator 4 und den Wärmeleitbügel sowie die Isolierzelle 6 auf
der anderen Seite gegen den Kühlkörper 1 gepreßt. Auf der anderen Seite
des Wärmeleitbügels füllt das Distanzstück 7 b das Fehlen eines Scheiben
zellenhalbleiters auf dieser Seite aus und überbrückt den Höhenunterschied.
Diese Seite des Wärmeleitbügels wird von einer Spannvorrichtung 9/3 a über
einen Isolator 4 a, das Distanzstück 7 b und eine Isolierzelle 6 a gegen den
Kühlkörper 1 a gepreßt.
Die doppelseitige Kühlung erhöht bereits wesentlich die Leistungsfähigkeit
des Halbleiterelementes. Allerdings ist die Wärmeableitung infolge der
unterschiedlichen Wege auf beiden Seiten unterschiedlich. Die
Isothermisierung des Wärmeleitbügels über das integrierte Wärmerohr 8 ver
bessert die thermische Leitfähigkeit.
Fig. 3 zeigt schematisch einen Scheibenzellen-Halbleiter 5, der zwischen
zwei wärmeleitende Isolierzellen 10 und 11 angeordnet ist und damit elek
trisch vollisoliert ist. Die Wärmeableitung des Scheibenzellen-Halbleiters 5
zum Kühlkörper 1 erfolgt hier auf beiden Seiten vergleichmäßigt. Einmal
direkt mit einer Anschlußfläche über eine wärmeleitende Isolierzelle 6
und einmal indirekt mit der anderen Anschlußfläche über eine Isolierzelle 9
und einen Aluminium-Wärmeleitbügel 12 mit Bohrung und Wärmerohrausstattung
8 (gestrichelt). Der Wärmeleitbügel kann dann unisoliert über einen Ab
stützblock 11, z. B. aus Kupfer, auf dem Kühlkörper 1 aufsitzen. Die Ver
spannung kann gleichartig der nach Fig. 2 erfolgen.
Fig. 4 zeigt eine Anordnung, bei der wie in Fig. 3 der Scheibenzellen-
Halbleiter 5 mit Isolierzellen 6 und 9 eine Säule bildet. Anstelle eines
Aluminium-Wärmeleitbügels mit Wärmerohrausstattung findet nunmehr jedoch
ein metallisches Originalwärmerohr 10 Verwendung, das abgestuft auch
gleich den Höhenunterschied überbrückt. Der Aufbau ist noch einfacher,
direkter und wirkungsvoller. Das konfektionierte, vorgefertigte Wärme
rohr 10 ist federnd biegsam und gleicht zusätzlich Verspannungen durch
die Spannvorrichtungen aus. Der für den Wärmetransport verlustbringende
Cu-Abstützblock 11 nach Fig. 3 wird vermieden.
Durch die Erfindung können höhere Wärmetransportleistungen realisiert
werden, was höhere Durchgangsleistungen und damit höhere Verlustleistungen
gestattet.
Claims (7)
1. Anordnung zur Kühlung von Verlustleistung abgebenden Bauelementen,
insbesondere Scheibenzellen-Halbleitern über Kühlkörper, vorzugs
weise über potentialgetrennte Kühlkörper,
dadurch gekennzeichnet,
daß im bzw. in den Kühlkörper(n) (1, 1 a) zur Isothermisierung Wärme
rohre (2, 2 a) integriert sind.
2. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß für doppelseitige Kühlung eines Scheibenzellen-Halbleiters (5) unter
Verwendung eines Al- oder Cu-Wärmeleitbügels auch dem Wärmeleitbügel ein
Wärmerohr (8) zur Isothermisierung integriert ist.
3. Anordnung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wärmeleitbügel eine Längsbohrung aufweist, die als Wärme
rohr fungiert und entsprechend ausgestattet ist.
4. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß für doppelseitige Kühlung und Potentialtrennung des Scheibenzellen-
Halbleiters (5) dieser sich einerseits mit einer Anschlußfläche über
eine wärmeleitende Isolierzelle (6) am Kühlkörper (1) und mit der anderen
Anschlußfläche über das eine Endstück (7) des Wärmeleitbügels und einen
Isolator (4) gegenüber einer Spannvorrichtung (3, 3 a) abstützt, wobei
das andere Endstück (7 a) des Wärmeleitbügels ggf. über ein gut wärme
leitendes Distanzstück (7 b) und eine weitere wärmeleitende Isolier
zelle (6 a) mit dem gleichen (1) oder einem weiteren Kühlkörper (1 a)
in Verbindung steht (Fig. 2).
5. Anordnung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß für das Anpressen des anderen Endstücks (7 a) des Wärmeleitkörpers
an den Kühlkörper (1 a) eine weitere durch einen Isolator (4 a) iso
lierte Spannvorrichtung (3 a/9) Verwendung findet.
6. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Scheibenzellen-Halbleiter (5) mit beiden Anschlußflächen
zwischen zwei wärmeleitende Isolierzellen (6, 9) angeordnet ist und
mit diesen eine Säule (5, 6, 9) bildet, die über einen Al-Wärmeleit
bügel (12) mit Wärmerohrausstattung (8), der einerseits auf der äußeren
wärmeleitenden Isolierzelle (9) und andererseits über einen Cu-Abstützt
block (11) auf dem Kühlkörper (1) aufliegt, gegen den Kühlkörper (1)
verspannt ist (Fig. 3).
7. Anordnung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Wärmeleitbügel ein metallisches abgestuft ausgebildetes
Wärmerohr (10) Verwendung findet, das mit einem Ende gegen die
Säule (5, 6, 9) und mit dem anderen Ende direkt gegen den Kühlkörper
(1) verspannt ist. (Fig. 4).
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3825979A DE3825979A1 (de) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | Anordnung zur kuehlung von verlustleistung abgebenden bauelementen |
IT8921321A IT1231307B (it) | 1988-07-27 | 1989-07-26 | Disposizione per il raffreddamento bilaterale di semiconduttori con celle a disco. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3825979A DE3825979A1 (de) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | Anordnung zur kuehlung von verlustleistung abgebenden bauelementen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3825979A1 true DE3825979A1 (de) | 1990-02-01 |
DE3825979C2 DE3825979C2 (de) | 1991-11-28 |
Family
ID=6359934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3825979A Granted DE3825979A1 (de) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | Anordnung zur kuehlung von verlustleistung abgebenden bauelementen |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3825979A1 (de) |
IT (1) | IT1231307B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19628545A1 (de) * | 1996-07-16 | 1998-01-22 | Abb Patent Gmbh | Hochleistungs-Kühler für ein luftgekühltes Stromrichtergerät |
EP0889524A2 (de) * | 1997-06-30 | 1999-01-07 | Sun Microsystems, Inc. | Skalierbares und modulares Wärmesenke-Wärmerohr Kühlsystem |
US6633075B1 (en) * | 1999-08-19 | 2003-10-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | Heterojunction bipolar transistor and method for fabricating the same |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2204589A1 (de) * | 1972-02-01 | 1973-08-16 | Siemens Ag | Kuehlanordnung fuer flache halbleiterbauelemente |
DE2706165A1 (de) * | 1976-02-14 | 1977-08-18 | Sony Corp | Kuehlanordnung fuer elektrische bauteile |
DE3123602A1 (de) * | 1980-06-16 | 1982-04-29 | Showa Aluminum Corp., Sakai, Osaka | Kuehlkoerper fuer waermeerzeugende elemente |
DE3617611A1 (de) * | 1986-05-24 | 1987-11-26 | Licentia Gmbh | Thermisch leitende und elektrisch isolierende zwischenlage fuer aufbau und befestigung von halbleiterelementen und anordnung unter anwendung derartiger zwischenlagen |
-
1988
- 1988-07-27 DE DE3825979A patent/DE3825979A1/de active Granted
-
1989
- 1989-07-26 IT IT8921321A patent/IT1231307B/it active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2204589A1 (de) * | 1972-02-01 | 1973-08-16 | Siemens Ag | Kuehlanordnung fuer flache halbleiterbauelemente |
DE2706165A1 (de) * | 1976-02-14 | 1977-08-18 | Sony Corp | Kuehlanordnung fuer elektrische bauteile |
DE3123602A1 (de) * | 1980-06-16 | 1982-04-29 | Showa Aluminum Corp., Sakai, Osaka | Kuehlkoerper fuer waermeerzeugende elemente |
DE3617611A1 (de) * | 1986-05-24 | 1987-11-26 | Licentia Gmbh | Thermisch leitende und elektrisch isolierende zwischenlage fuer aufbau und befestigung von halbleiterelementen und anordnung unter anwendung derartiger zwischenlagen |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19628545A1 (de) * | 1996-07-16 | 1998-01-22 | Abb Patent Gmbh | Hochleistungs-Kühler für ein luftgekühltes Stromrichtergerät |
EP0889524A2 (de) * | 1997-06-30 | 1999-01-07 | Sun Microsystems, Inc. | Skalierbares und modulares Wärmesenke-Wärmerohr Kühlsystem |
EP0889524A3 (de) * | 1997-06-30 | 1999-03-03 | Sun Microsystems, Inc. | Skalierbares und modulares Wärmesenke-Wärmerohr Kühlsystem |
US6374905B1 (en) | 1997-06-30 | 2002-04-23 | Sun Microsystems, Inc. | Scalable and modular heat sink-heat pipe cooling system |
US6666260B2 (en) | 1997-06-30 | 2003-12-23 | Sun Microsystems, Inc. | Scalable and modular heat sink-heat pipe cooling system |
US6633075B1 (en) * | 1999-08-19 | 2003-10-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | Heterojunction bipolar transistor and method for fabricating the same |
US6844575B2 (en) | 1999-08-19 | 2005-01-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Heterojunction bipolar transistor and method for fabricating the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3825979C2 (de) | 1991-11-28 |
IT8921321A0 (it) | 1989-07-26 |
IT1231307B (it) | 1991-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102008048005B3 (de) | Leistungshalbleitermodulanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Leistungshalbleitermodulanordnung | |
DE10048377B4 (de) | Halbleiter-Leistungsmodul mit elektrisch isolierender Wärmesenke und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE102006059501B4 (de) | Halbleitervorrichtung mit Halbleiterelement, Isolationssubstrat und Metallelektrode | |
DE2337694C2 (de) | Halbleitergleichrichteranordnung hoher Strombelastbarkeit | |
DE3910470C2 (de) | Leistungshalbleiter-Schaltervorrichtung mit in den beteiligten Chips verringerter Wärmebelastung, insb. Wärmespannung | |
DE3933956C2 (de) | Spannverband für einen Stromrichter | |
DE69216016T2 (de) | Halbleiteranordnung | |
DE1085261B (de) | Halbleitervorrichtung fuer grosse Leistungen | |
DE102015214928A1 (de) | Bauteilmodul und Leistungsmodul | |
DE112014005694T5 (de) | Halbleitermodul | |
DE112018008151T5 (de) | Halbleitervorrichtung | |
DE2155649A1 (de) | Strömungsmittelgekühlte Druckvorrichtung | |
EP1164816A2 (de) | Luftzuheizer | |
WO2007068018A2 (de) | Anordnung mit zumindest einem elektronischen bauteil | |
DE2012440B2 (de) | Halbleiteranordnung fuer gasdicht abgeschlossene scheiben foermige halbleiterelemente | |
DE3825979A1 (de) | Anordnung zur kuehlung von verlustleistung abgebenden bauelementen | |
DE3740233C2 (de) | ||
CH617535A5 (de) | ||
DE102020110159A1 (de) | Halbleitermodul | |
DE102018222748B4 (de) | Kühlvorrichtung | |
DE2827523A1 (de) | Kuehleinrichtung fuer halbleiter | |
DE102009003934A1 (de) | Anordnung zur Kühlung einer Wärmequelle einer elektronischen Schaltung | |
DE202005004277U1 (de) | Halbleiterbauelementanordnung | |
DE102018205280A1 (de) | Kaltleitermodul | |
DE4105786A1 (de) | Anordnung mit fluessigkeitsgekuehltem, elektrischem leistungswiderstand und verfahren zu ihrer herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DAIMLERCHRYSLER RAIL SYSTEMS GMBH, 13627 BERLIN, D |
|
8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |