DE3821979C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen paramagnetischen Sauer
stoff-Analysator zum Nachweisen einer Sauerstoff-Gaskon
zentration in einer Gasprobe unter Verwendung der magne
tischen Eigenschaften des Sauerstoffgases.
Paramagnetische Sauerstoff-Analysatoren sind Gas-Ana
lysatoren, welche eine Sauerstoffkonzentration in einer
Gasprobe unter Verwendung der Eigenschaft des Sauer
stoffgases, die darin besteht, daß sie im Vergleich
zu anderen Gasen eine sehr große Suszeptibilität auf
weist, messen, und in Abhängigkeit vom Meßprinzip sind
drei Arten von Sauerstoff-Analysatoren bekannt, nämlich
der thermomagnetische Typ, der magnetische-Suszeptibili
tät-Typ und der magnetische-Druck-Typ.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung eines Sauer
stoff-Analysators des thermomagnetischen Typs. Die
Bezugsziffer 1 bezeichnet eine Meßzelle, die Bezugs
ziffer 101 ist ein geschlossener, ringförmiger Meßdurch
gang, der eine Meßkammer bildet, die Bezugsziffern 102
und 103 sind ein Eingang bzw. ein Ausgang für eine
Gasprobe Sg, wobei der Eingang und der Ausgang an sym
metrischen Positionen entlang des Meßdurchgangs 101
angeordnet ist und mit der Bezugsziffer 104 ist ein
Bypassrohr bezeichnet, welches mit zwei kreisförmigen
Meßdurchgangssegmenten verbunden ist, die sich zwischen
dem Eingang 102 und dem Ausgang 103 erstrecken. Ein
Heizwiderstandsdraht R1 ist um das Bypassrohr 104 herum
gewickelt, und ein magnetisches Feld Mf wird in einem
der Verbindungsabschnitte zwischen dem Bypassrohr 104
und dem Meßdurchgang 101 erzeugt. Mit Widerständen R1,
R2 und R3, die eine Brücke bilden, wird eine Nachweis
schaltung hergestellt, um eine Spannung zu messen, die
zwischen der Mitte von R1 und dem Verbindungspunkt von
R2 und R3 entsteht.
Die Betriebsweise des vorstehend beschriebenen Analysa
tors ist wie folgt: Wenn Sauerstoffgas in der Gasprobe
enthalten ist, werden Sauerstoffmoleküle vom Magnetfeld
Mf angezogen, um in das Bypassrohr 104 zu strömen.
Die hier hineingeströmten Sauerstoffmoleküle werden
mittels des Heizwiderstandsdrahtes R1 erhitzt. Im er
hitzten Zustand nimmt die Suszeptibilität der Sauer
stoffmoleküle ab, so daß die Kraft, mit der die Sauer
stoffmoleküle zum Magnetfeld Mf hingezogen werden,
abnimmt. Sodann werden die Sauerstoffmoleküle mittels
neu eintretender Sauerstoffmoleküle niedriger Tempera
tur angestoßen, so daß sie durch das Bypassrohr 104
strömen. Die Brückenschaltung weist eine Temperatur
änderung aufgrund eines solchen magnetischen Windes
nach; daher kann die Sauerstoffkonzentration in der
Gasprobe Sg gemessen werden. Bei diesem Analysatortyp
wird das in das Bypassrohr 104 aufgrund der Anziehung
des magnetischen Feldes Mf eingeführte Gas jedoch aufge
heizt, so daß die Wärmeleitfähigkeit, die Wärmekapazi
tät, die Viskosität usw. der anderen Gaskomponenten, die
außer dem Sauerstoffgas in der Gasprobe enthalten sind,
das Meßergebnis beeinflussen. Aus diesem Grunde ergeben
sich Störungs- bzw. Interferenzfehler.
Fig. 2 ist eine schematische Darstellung eines Sauer
stoff-Analysators der magnetische-Suszeptibilität-Bau
art, wie er beispielsweise von Servomex vertrieben
wird. Bei diesem Analysator ist ein Paar diamagneti
scher Hanteln 105 und 106 horizontal in einem Magnet
feld Mf aufgehängt, welches durch Polstücke 107 bis
110 erzeugt wird, und ein Probengas Sg kann durch einen
solchen Bereich hindurchströmen. Im Probengas enthalte
ne Sauerstoffmoleküle werden vom Magnetfeld Mf angezo
gen, so daß die diamagnetischen Hanteln 105 und 106 aus
dem Magnetfeld Mf herausgedrückt werden. Die Positions
änderung (Torsion) der Hanteln 105 und 106 entspricht
der Sauerstoffkonzentration. Indem daher die Positions
veränderung nachgewiesen wird und ein Rückkopplungs
strom entsprechend der Positionsveränderung einer Spule
111 zugeführt wird, die um die Hanteln 105 und 106
gewickelt ist derart, daß aufgrund einer elektromagneti
schen Wirkung ein Gegendrehmoment erzeugt wird, welches
die Hanteln 105 und 106 in ihren anfänglichen Zustand
zurückbringt, ist es möglich, die Sauerstoffkonzentra
tion aus dem Rückkopplungsstrom zu erhalten. Nachdem
das Hantelpaar horizontal im Magnetfeld aufgehängt ist,
ist der Aufbau eines solchen Analysatortyps kompliziert
und gegenüber mechanischen Schocks und Vibrationen
empfindlich.
Fig. 3 ist eine schematische Darstellung eines Sauer
stoffanalysators des magnetischer-Druck-Typs, wie er
in der DE-OS 27 01 084 offenbart ist. In dieser Zeichnung
sind diejenigen Teile, die mit denjenigen gemäß Fig.
1 identisch sind, mit den gleichen Bezugsziffern be
zeichnet und solche Teile werden zur Vermeidung von
Wiederholungen nicht mehr beschrieben. Bezugsziffer
112 ist ein Bypassrohr zum Verbinden von zwei Meßdurch
gangssegmenten, die sich zwischen dem Eingang 102 und
dem Ausgang 103 erstrecken, Bezugsziffer 113 ist ein
Mikro-Differential-Druckdetektor wie z.B. ein Konden
sator-Mikrofon, der in der Mitte des Rohres angeordnet
ist, und die Bezugsziffer 114 bezeichnet einen Reini
gungsgasdurchgang, welcher es ermöglicht, daß ein Reini
gungsgas Pg, welches von einem Eingang 115 zugeführt
wird, über Drosseln 116 und 117 in die zu jeder Seite
des Detektors 113 vorhandenen Rohrsegmente 112 strömt.
Mf und Mf′ sind Magnetfelder in den beiden Verbindungs
bereichen zwischen dem Rohr 112 und der Meßkammer 101
und werden abwechselnd erzeugt.
Bei der vorstehend beschriebenen Anordnung werden im
Probengas Sg enthaltene Sauerstoffmoleküle zu jedem
Magnetfeld hin angezogen, so daß der Hintergrunddruck
bzw. Grunddruck eines Bereichs, wo das Magnetfeld er
zeugt wird, ansteigt. Nachdem die Magnetfelder Mf und
Mf′ abwechselnd erzeugt werden, wird vom Detektor 113
ein Wechselsignal erzeugt, dessen Amplitude der Sauer
stoffkonzentration entspricht. Obwohl bei dieser Art
von Analysator der Interferenz- bzw. Wechselwirkungs
fehler gering ist, ist der Nachweis gegenüber mechani
scher Vibration, mechanischen Schocks und dergleichen,
die auf den Detektorbereich wirken, empfindlich, nach
dem nur ein einziger Detektor vorgesehen ist. Nachdem
weiterhin der Detektor 113 derart ausgebildet ist,
daß er einen Mikrodruck nachweist, der zum Detektor
bereich übertragen wird, ist er gegenüber einer Verän
derung des Hintergrunddruckes empfindlich und weist
daher den Nachteil auf, daß ein Meßfehler entsteht,
falls eine Druckänderung an der stromabwärts gelegenen
Seite des Ausgangs 103 rückgeführt bzw. rückgekoppelt
wird.
Aus der DE-AS 12 79 973 ist ein paramagnetischer Sauerstoff-Analysator
bekannt, bei dem Vergleichsgas über einen
Anschlußstutzen und vier gleiche Kapillaren zwei E-förmig
ausgebildeten Vergleichskanalsystemen zugeführt wird. Die
beiden Nachweissensoren befinden sich im mittleren Querbalken
der E-förmigen Konfiguration. Mittels einer Brückenschaltung
werden die durch thermische Konvektion und Trägheitskräfte
bedingten Störwirkungen ausgeschaltet.
Ein weiterer paramagnetischer Sauerstoff-Analysator ist aus
der DE-OS 25 22 914 bekannt. Hier ist lediglich ein einziger
Nachweissensor vorgesehen und im übrigen entspricht
der Aufbau im wesentlichen demjenigen gemäß DE-OS 27 01 084.
Bei einem weiteren paramagnetischen Sauerstoff-Analysator
gemäß DE-OS 19 26 510 ist die Anordnung gekennzeichnet
durch eine gekreuzte Leitungsführung der den Nachweissensor
enthaltenden Verbindungsleitung und durch Anordnung des
Nachweissensors im Symmetriepunkt der Zuleitungen für das
Vergleichsgas und der Verbindungsleitung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den bekannten
paramagnetischen Sauerstoff-Analysator gemäß
DE-OS 27 01 084 so weiterzubilden, daß er gegenüber Schocks
und Vibrationen unempfindlich wird und gleichzeitig einen
vereinfachten Aufbau aufweist.
Diese Aufgabe wird im wesentlichen durch die kennzeichnenden
Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst; vorteilhafte
Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Wenn im Betrieb Sauerstoffgas in der Gasprobe vom Magnetfeld
angezogen wird, so fogt hieraus eine Änderung
des Verhältnisses der Aufteilung des Reinigungsgases,
welches über die Reinigungsgas-Einströmöffnung eingeführt
wird und in zwei Ströme aufgeteilt wird, um durch
das Bypassrohr hindurchzuströmen. Diese Änderung wird
von den beiden Reinigungsgas-Nachweissensoren nach
gewiesen, welche beispielsweise aus temperaturempfind
lichen Widerstandselementen bestehen. Nachdem diese
Sensoren innerhalb des Bypassrohres, durch das das
Reinigungsgas fließt, angeordnet sind, hat ein jeder
Nachweisausgang eine große Signalkomponente. Nachdem
die Nachweissignale einer Null-Korrektur, einer nicht
linearen Korrektur usw. unterworfen worden sind, erhält
eine Nachweisschaltung den Unterschied zwischen den
beiden korrigierten Signalen, um ein Signal entspre
chend der Sauerstoffkonzentration in der Gasprobe ab
zugeben.
Im folgenden werden mehrere Ausführungsbeispiele der
Erfindung anhand der Zeichnung näher beschrieben. In
der Zeichnung zeigen:
Fig. 4 eine schematische Ansicht eines Ausführungs
beispiels der vorliegenden Erfindung,
Fig. 5 eine Grafik, welche die Nachweischarakteristik
eines Sensors gegenüber der Strömungsgeschwindigkeit
eines Reinigungsgases zeigt,
Fig. 6 eine schematische Darstellung eines weiteren
Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 7 eine Darstellung eines Modells einer Meßzelle,
die bei den Ausführungsbeispielen der vorliegenden
Erfindung verwendbar ist, wobei Fig. 7(a) eine Drauf
sicht und Fig. 7(b) eine Schnittansicht ist und
Fig. 8 eine Draufsicht eines weiteren Modells einer
Meßzelle, die bei den Ausführungsbeispielen gemäß vor
liegender Erfindung verwendbar ist.
In Fig. 4 ist der von der strichpunktierten Linie
umgebene, mit der Bezugsziffer 1 bezeichnete Abschnitt
ein Nachweisabschnitt, und die Bezugsziffer 2 bezeich
net einen Konversionsabschnitt. SC ist eine Meßzelle,
die im Nachweisabschnitt 1 untergebracht ist, wobei
diejenigen Teile, die mit denjenigen gemäß Fig. 1
und 3 im wesentlichen identisch sind, mit den gleichen
Bezugsziffern bezeichnet sind und zur Vermeidung von
Wiederholungen nicht näher beschrieben werden. 118 ist
ein Bypassrohr, welches in einer zwischenliegenden
Position zwischen dem Eingang 102 und dem Ausgang 103
angeordnet ist, um zwei Segmente eines kreisförmigen
Meßdurchgangs zu verbinden, und 119 ist eine Einström
öffnung für ein Reinigungsgas Pg, die in der Mitte
des Bypassrohrs vorgesehen ist. Von den beiden Verbin
dungsabschnitten A und B zwischen dem Bypassrohr 118
und dem Meßdurchgang 101 ist ein Verbindungsabschnitt A
mit einer Einrichtung zum Erzeugen eines Magnetfeldes
Mf versehen, welche beispielsweise von einem Permanent
magneten gebildet wird.
120 und 121 sind temperaturempfindliche Reinigungsgas
strom-Nachweisdetektoren, die im Bypassrohr 118 an
symmetrischen Positionen angeordnet sind, so daß sich
die Reinigungsgas-Einströmöffnung 119 zwischen den
Sensoren befindet, wobei die Sensoren beispielsweise
Thermistoren sind, die einen großen Temperatur
widerstandskoeffizienten aufweisen. Im Konversionsab
schnitt 2 sind mit den Bezugsziffern 201 und 202 Tempe
raturüberwachungsschaltungen bezeichnet, die mit den
entsprechenden Sensoren 120 bzw. 121 verbunden sind,
und mit der Bezugsziffer 203 ist eine Subtraktionsschal
tung bezeichnet, der die Ausgangssignale der Schaltun
gen 201 und 202 zugeführt werden.
Wenn im Falle der vorstehend beschriebenen Anordnung
im Probengas Sg kein Sauerstoffgas vorhanden ist, so
wird kein Sauerstoffgas vom Magnetfeld Mf angezogen,
so daß keine Änderung der Strömungsgeschwindigkeiten
der aufgeteilten Reinigungsgasströme QL und QR auf
tritt, welche in Richtung zu den Verbindungsabschnitten
A und B innerhalb des Bypassrohrs 118 fortschreiten.
Wenn demgegenüber im Probengas Sg Sauerstoffgas
enthalten ist, so wird es vom Magnetfeld Mf angezogen,
so daß Sauerstoffgasströme auftreten, wie sie durch
die Pfeile Qo angedeutet sind. Als Ergebnis hiervon
nimmt die Strömungsgeschwindigkeit QL ab, während die
Strömungsgeschwindigkeit von QR zunimmt.
Die Änderung eines jeden Reinigungsgasstroms QL und
QR, die getrennt innerhalb des Bypassrohrs 118 fort
schreiten, entspricht der Sauerstoffkonzentration im
Probengas Sg und wird von jedem temperaturempfindlichen
Widerstandsensor 120, 121 aufgrund einer Änderung
seines Widerstands nachgewiesen. Wenn sich der Wider
stand eines jeden Sensors in Abhängigkeit von der
Strömungsgeschwindigkeit eines jeden Reinigungsgas
stroms QL, QR ändert, so wird von einer jeden Tempera
turüberwachungsschaltung bzw. Temperatursteuerschaltung
201, 202 eine Rückkopplung erzeugt, um die Quellen
spannung eines jeden Sensors 120, 121 derart zu ändern,
daß die Temperatur eines jeden Sensors, d.h. sein Wider
stand, gesteuert und konstant gehalten wird. Die Größe
eines jeden Rückkopplungssignals entspricht der Strö
mungsgeschwindigkeit eines jeden Reinigungsgasstroms
QL, QR. Demnach werden die Ausgangssignale VR und VL
der Temperatursteuerschaltungen 201 und 202 der Sub
traktionsschaltung 203 zugeführt, wo die Differenz
dieser Signale erhalten wird, so daß eine Ausgangsspan
nung VO erzeugt wird.
Beim Analysator gemäß vorstehend beschriebener Anord
nung sind die Sensoren 120 und 121 innerhalb der Rohr
leitung angeordnet, durch die die Reinigungsgasströme
QL und QR stets strömen. Es ergibt sich daher der Vor
teil, daß der Analysator gegenüber Schocks und Vibra
tionen von außerhalb äußerst unempfindlich ist, nachdem
ein jedes der Nachweisausgangssignale eine große Signal
komponente aufweist und sie in der Subtraktionsschal
tung 203 verarbeitet werden, um die Differenz hierzwi
schen zu erhalten.
Nachdem jedoch zwischen den Nachweisausgangssignalen
eines jeden Sensors 120, 121 und der Strömungsgeschwin
digkeit eines jeden Reinigungsgasstroms QL, QR, die
in Fig. 5 dargestellte nichtlineare Beziehung besteht,
beinhaltet dann, wenn sich die Strömungsgeschwindigkeit
eines jeden Reinigungsgasstroms QL, QR ändert, die
Differenz zwischen den Nachweisausgangssignalen der
Sensoren 120 und 121, die durch einfache Subtraktion
erhalten wird, einen Meßfehler. Ein weiteres Ausfüh
rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, wie es in
Fig. 6 dargestellt ist, kann einen solchen Nachteil
vermeiden.
In Fig. 6 sind diejenigen Teile, die mit den entspre
chenden Teilen gemäß Fig. 4 im wesentlichen identisch
sind, mit den gleichen Bezugsziffern bezeichnet und
werden nicht nochmals beschrieben. Der Nachweisabschnitt
1 wird in einem konstanten Temperaturbad gehalten und
das Probengas Sg wird über einen Filter 122 und eine
Drossel 123 der Meßzelle SC zugeführt. Das Reinigungs
gas Pg wird über einen Filter 124 und über ein Kapillar
element 125 der Meßzelle SC zugeführt. Die Bezugsziffer
126 bezeichnet einen Magneten oder ein Polstück, um
ein Magnetfeld zu erzeugen, 127 ist eine Nachweisschal
tung, 128 ein Temperaturnachweiselement und 129 eine
Heizeinrichtung.
Unter Bezugnahme auf Fig. 7 wird nunmehr der Block
der Meßzelle SC detaillierter beschrieben. Fig. 7(b)
ist eine Schnittansicht entlang den Linien C-D-E in
Fig. 7(a). Die Meßzelle SC setzt sich aus einem äuße
ren Ring 130 und einer inneren Scheibe 131 zusammen.
Der ringförmige Meßdurchgang 101, der eine geschlossene
Schleife bildet, wird dadurch ausgebildet, daß eine
im Umfang der Scheibe 131 ausgebildete Nut mit dem
Ring 130 abgedichtet wird. Der Eingang 102 und der
Ausgang 103 für die Gasprobe Sg sind in einem mittleren
Bereich innerhalb des ringartigen Meßdurchgangs 101
an der oberen Seite der Scheibe 131 ausgebildet. Die
Polstücke 126 sind in der Scheibe 131 eingebettet.
132 und 133 sind Drosseln, die im Bypassrohr 118 an
symmetrischen Positionen vorgesehen sind, so daß die
Reinigungsgas-Einströmöffnung 119 zwischen den Drosseln
angeordnet ist.
Es wird nun wieder auf Fig. 6 Bezug genommen. Im Kon
versionsabschnitt 2 befindet sich ein Multiplexer 204.
Der vom Multiplexer gewählte Ausgang der Nachweisschal
tung 127 wird mittels eines Analog-Digital-Umsetzers
205 digitalisiert und über eine Eingabe-Ausgabe-Schnitt
stelle 206 einem Mikroprozessor 207 zugeführt. Anderer
seits wird ein vom Temperaturnachweiselement 128 nachge
wiesenes Signal ebenfalls über die Nachweisschaltung
127, den Analog-Digital-Umsetzer 205 und die Eingabe-
Ausgabe-Schnittstelle 206 dem Mikroprozessor 207 zuge
führt, und ein Temperatursteuersignal wird einer Hei
zungsbetreibungsschaltung 208 zugeführt, so daß die
Heizeinrichtung 129 betrieben und temperaturgesteuert
wird. Mit der Bezugsziffer 209 ist ein ROM bezeichnet,
in dem ein Verarbeitungsprogramm und dergleichen gespei
chert ist, 210 ist eine Tastatur/Display-Einheit und
211 ist eine Ausgabeschaltung.
Im folgenden wird die Betriebsweise des vorstehend
beschriebenen Analysators erläutert. Vor Beginn der
Messung werden die Sensoren 120 und 121 aktiviert,
um einen Nachweis ohne zugeführtem Reinigungsgas Pg
durchzuführen, und die so erhaltenen Nachweissignale
werden im Mikroprozessor 207 als Null-Fehler-Signale
gespeichert. Sodann wird eine Messung durchgeführt,
während Reinigungsgas Pg hindurchströmt und die Null-
Fehler-Signale werden von den dann erhaltenen Nach
weissignalen subtrahiert, um eine Null-Korrektur durch
zuführen. Zwischen der Strömungsgeschwindigkeit des
Reinigungsgases Pg und dem Nachweisausgangssignal eines
jeden Sensors 120, 121 besteht die in Fig. 5 gezeigte
nichtlineare Beziehung und diese Beziehung wurde be
reits früher gefunden. Wenn das Nachweisausgangssignal
bezüglich der Reinigungsgas-Strömungsgeschwindigkeit
eine quadratische Charakteristik aufweist, wie sie
in Fig. 5 gezeigt ist, so wird die folgende Rechnung
durchgeführt, um bezüglich der Ausgänge der Sensoren
120 und 121 eine Null-Korrektur und eine Nichtlinear-
Korrektur vorzunehmen, wodurch ein Sauerstoffgas-Konzen
trations-Ausgangssignal Vo wie folgt erzielt wird:
Vo = K {(VR-VRo)1/2-(VL-VLo)1/2} (1)
wobei VL das Nachweisausgangssignal des Sensors 120
auf der Seite des magnetischen Feldes ist, VR das Nach
weissignal des Sensors 121 auf der Seite ohne Magnet
feld, VLo das Nachweisausgangssignal des Sensors 120
auf der Magnetfeldseite mit Reinigungsgas-Strömungsge
schwindigkeit Null, VRo das Nachweisausgangssignal des
Sensors 121 auf der Seite ohne Magnetfeld mit Reini
gungsgas-Strömungsgeschwindigkeit Null und K eine Kon
stante.
Wenn die Gasprobe Sg Gase mit großem Diffusionskoeffi
zienten wie H2 oder He umfaßt, so diffundiert ein sol
ches Gas durch die Verbindungsabschnitte A und B in
das Bypassrohr 118 in entgegengesetzter Richtung zum
Strom des Reinigungsgases Pg. Das Diffusionsgas hat
eine exponentielle Konzentrationsverteilung, die sich
von den Verbindungsabschnitten A und B zu den Sensoren
120 und 121 erstreckt, und es ergibt sich eine Konzen
tration CN(x), die an der Position der Sensoren 120 und
121 durch die folgende Gleichung definiert ist, wodurch
die Sensoren thermisch beeinflußt werden, woraus ein
Fehler des Ausgangssignals folgt:
CN(x)=CNo · exp {-(v · x)/Dn} (2)
wobei CNo die Konzentration des Diffusionsgases am
Verbindungsabschnitt A oder B ist, v die Strömungsge
schwindigkeit des Reinigungsgases Pg, x der Abstand
vom Verbindungsabschnitt A, B zum Sensor 120, 121,
und Dn der Diffusionskoeffizient des Diffusionsgases.
Aus der vorstehenden Gleichung ergibt sich, daß der
Anteil der Diffusion mit dem Ansteigen der Strömungsge
schwindigkeit v des Reinigungsgases Pg oder mit dem
Ansteigen des Abstands X vom Verbindungsabschnitt A,
B zum Sensor 120, 121 exponentiell abnimmt. Im Modell
gemäß Fig. 7 sind die Drosselpaare 132 und 131 so
angeordnet, daß sich die Reinigungsgas-Einströmöffnung
119 hierzwischen befindet. Daher ist die Strömungsge
schwindigkeit des Reinigungsgases Pg aufgrund dieser
Drosseln vergrößert, um den Einfluß des Diffusionsgases
zu vermindern. Beispielsweise könnte daran gedacht
werden, die Strömungsgeschwindigkeit des Reinigungs
gases dadurch zu erhöhen, daß die Strömungsrate des
Reinigungsgases erhöht wird; diese Idee konnte jedoch
nicht aufgegriffen werden, da das Reinigungsgas hierbei
schnell verbraucht wird. Bei der Ausführungsform gemäß
Fig. 8 ist das Bypassrohr 118 in Form eines inver
tierten S ausgebildet, so daß der Abstand vom Verbin
dungsabschnitt A, B zum Sensor 120, 121 lang ist; hier
durch wird der Einfluß des Diffusionsgases vermindert.
Es sei nochmals auf folgende wesentliche Aspekte der
Erfindung hingewiesen: (1) Die Sensoren sind innerhalb
des Bypassrohrs, durch das das Reinigungsgas fließt,
angeordnet, sie sind daher nicht in direktem Kontakt
mit dem Probengas, so daß der Analysator kaum einem
Interferenzfehler aufgrund anderer, in der Gasprobe
enthaltener Gaskomponenten als Sauerstoffgas unter
liegt. (2) Die Sensoren weisen Reinigungsgasströme
nach, die innerhalb des Bypassrohrs fließen, um Nach
weis-Ausgangssignale zu erzeugen, die große Signal
komponenten aufweisen, so daß der Analysator von einer
Änderung des Hintergrunddruckes auf der stromabwärts
gelegenen Seite eines jeden Sensors kaum beeinflußt
wird. (3) Der Analysator ist im Aufbau einfach und
ist so ausgebildet, daß der Unterschied zwischen den
Nachweis-Ausgangssignalen der beiden Sensoren erhalten
wird, so daß mechanische Schocks und Vibrationen, die
auf die Sensoren einwirken, ausgeschaltet werden und
das Ausgangssignal nicht beeinflussen können. (4) Im
Falle der in Fig. 6 dargestellten Anordnung werden
Nullpunkt-Fehler und nichtlineare Fehler, die in den
Nachweis-Ausgangssignalen enthalten sind, kompensiert,
so daß sie das Meßergebnis nicht beeinflussen können.
(5) Wenn die in Fig. 7 oder Fig. 8 dargestellte Meß
zelle verwendet wird, so kann der Einfluß des im Proben
gas enthaltenen Diffusionsgases eliminiert werden.
Claims (3)
1. Paramagnetischer Sauerstoff-Analysator,
mit einer Meßkammer mit einem geschlossenen, ringförmigen
Meßdurchgang mit einem Eingang und einem Ausgang an symmetrischen
Positionen für ein Probengas, wobei die Meßkammer
ein Bypassrohr mit einer Reinigungsgas-Einströmöffnung umfaßt
und das Bypassrohr mit dem Meßdurchgang an zwischen
dem Eingang und dem Ausgang liegenden Positionen verbunden
ist,
mit einer Einrichtung zum Erzeugen eines Magnetfeldes an einem der Verbindungsabschnitte zwischen dem Bypassrohr und dem geschlossenen schleifenförmigen Meßdurchgang, und
mit einem Paar von Reinigungsgasstrom-Nachweissensoren innerhalb des Bypassrohrs, wobei die Konzentration von Sauerstoffgas im Probengas gemessen wird, indem die Änderung des Reinigungs gasstroms, der durch den entsprechenden Sensorbereich des Sensors strömt, nachgewiesen wird,
dadurch gekennzeichnet, daß
mit einer Einrichtung zum Erzeugen eines Magnetfeldes an einem der Verbindungsabschnitte zwischen dem Bypassrohr und dem geschlossenen schleifenförmigen Meßdurchgang, und
mit einem Paar von Reinigungsgasstrom-Nachweissensoren innerhalb des Bypassrohrs, wobei die Konzentration von Sauerstoffgas im Probengas gemessen wird, indem die Änderung des Reinigungs gasstroms, der durch den entsprechenden Sensorbereich des Sensors strömt, nachgewiesen wird,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - eine einzige Reinigungsgas-Einströmöffnung (119) mittig im Bypassrohr (118) angeordnet ist,
- - ein Paar von Reinigungsgasstrom-Nachweissensoren (120, 121) an symmetrischen Positionen derart angeordnet sind, daß die Reinigungsgas-Einströmöffnung (119) zwischen den Sensoren (120, 121) gelegen ist, und
- - die Sauerstoffkonzentration durch eine Signaldifferenz (V0) bestimmbar ist, welche den nachgewiesenen Änderungen der Reinigungsgasströme in den Sensorbereichen entspricht.
2. Paramagnetischer Sauerstoff-Analysator nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die von den Reinigungsgasstrom-Nachweissensoren (120,
121) erhaltenen beiden Nachweissignale mittels einer Auswerteinrichtung
(2) einer Nullpunkt-Korrektur unterzogen
werden, die beiden Nullpunkt-korrigierten Signale einer im
Hinblick auf die Sensoren notwendigen Nichtlinear-Korrektur
unterzogen werden, und die sich hieraus ergebenden beiden
Signale weiterverarbeitet werden, um die Differenz hierzwischen
zu erhalten, wobei das Differenzsignal das Meß-Ausgangssignal
darstellt.
3. Paramagnetischer Sauerstoff-Analysator nach Anspruch
1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß weiterhin ein Paar von Drosseln (132, 133) vorgese
hen sind, die innerhalb des Bypassrohrs (118) an symme
trischen Positionen derart angeordnet sind, daß die
Reinigungsgas-Einströmöffnung (119) zwischen den
Drosseln (132, 133) gelegen ist, wodurch die Strömungs
geschwindigkeiten der Reinigungsgasströme mittels der
Drosseln vergrößert werden, um den Einfluß von im Pro
bengas enthaltenen Diffusionsgasen zu eliminieren.
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Families Citing this family (9)
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---|---|---|---|---|
JP2589593B2 (ja) * | 1990-10-22 | 1997-03-12 | 株式会社堀場製作所 | 電磁誘導式導電率計 |
DE29612850U1 (de) * | 1996-07-24 | 1997-08-21 | Siemens Ag | Einrichtung zur Gasanalyse in explosionsgefährdeten Bereichen |
EP0861436A1 (de) * | 1996-09-18 | 1998-09-02 | Hartmann & Braun GmbH & Co. KG | Magnetische sauerstoffmesseinrichtung |
DE10251130B4 (de) * | 2002-11-02 | 2005-04-21 | Dräger Medical AG & Co. KGaA | Messgasküvette für eine Vorrichtung zur Messung der Konzentration eines paramagnetischen Gases |
EP1424553A3 (de) * | 2002-11-29 | 2004-10-13 | ABB PATENT GmbH | Einrichtung mit Aufhängung eines Probenkörpers |
EP1832865A4 (de) * | 2004-12-28 | 2008-09-10 | Yokogawa Electric Corp | Infrarot-Gasanalysegerät |
EP1775582A1 (de) * | 2005-10-14 | 2007-04-18 | General Electric Company | Paramagnetischer Gas-Analysator mit Sensorbefestigung |
EP1840563B1 (de) * | 2006-03-29 | 2012-07-25 | General Electric Company | Messung von Gaskomponenten gemeinsam mit einem paramagnetischen Gas |
US8220311B2 (en) * | 2009-12-03 | 2012-07-17 | General Electric Company | System and method for measuring concentration of a paramagnetic gas |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3045474A (en) * | 1959-07-01 | 1962-07-24 | Hartmann & Braun Ag | Gas analyser |
US3302448A (en) * | 1963-09-26 | 1967-02-07 | Honeywell Inc | Apparatus for supervising the proportion of a magnetically active component in a fluid |
DE1279973B (de) * | 1966-06-15 | 1968-10-10 | Bergwerksverband Gmbh | Messgeraet zur Anzeige der Differenz des Sauerstoffgehaltes zweier Gase |
US3486364A (en) * | 1967-03-06 | 1969-12-30 | Bergwerksverband Gmbh | Oxygen determination |
US3471776A (en) * | 1968-01-09 | 1969-10-07 | Hays Corp | Fluid bridge method and means of detecting gases having magnetic susceptibility |
DE1926510B2 (de) * | 1969-05-23 | 1971-11-11 | Vorrichtung zur analyse von gasen auf komponenten mit paramagnetischer suszeptibilitaet | |
DE2522914C3 (de) * | 1975-05-23 | 1980-07-31 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Meßgerät zur Bestimmung des Sauerstoffanteils in einem Gasgemisch |
DE2531849C3 (de) * | 1975-07-16 | 1978-06-01 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Einrichtung zur Bestimmung des Sauerstoffanteils eines Gasgemisches |
DE2701084A1 (de) * | 1977-01-12 | 1978-07-13 | Siemens Ag | Vorrichtung zur analyse eines gasgemischs auf komponenten mit paramagnetischer suszeptibilitaet |
-
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US4860574A (en) | 1989-08-29 |
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