DE4201216C1 - Oxygen@ sensor for gas mixt. - measures difference in flow speed in two stream channels etched into wafer substrate by two thermo anemometers - Google Patents

Oxygen@ sensor for gas mixt. - measures difference in flow speed in two stream channels etched into wafer substrate by two thermo anemometers

Info

Publication number
DE4201216C1
DE4201216C1 DE19924201216 DE4201216A DE4201216C1 DE 4201216 C1 DE4201216 C1 DE 4201216C1 DE 19924201216 DE19924201216 DE 19924201216 DE 4201216 A DE4201216 A DE 4201216A DE 4201216 C1 DE4201216 C1 DE 4201216C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
flow
flow channels
channels
gas
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19924201216
Other languages
German (de)
Inventor
Ulrich Dipl.-Ing. 7742 St Georgen De Heller
Hans Dipl.-Ing. 7208 Spaichingen De Weiss
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GFS GESELLSCHAFT FUER SENSORIK MBH, 78048 VILLINGE
Original Assignee
GMS GESELLSCHAFT fur MIKROTECHNIK und SENSORIK MBH 7742 ST GEORGEN DE
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by GMS GESELLSCHAFT fur MIKROTECHNIK und SENSORIK MBH 7742 ST GEORGEN DE filed Critical GMS GESELLSCHAFT fur MIKROTECHNIK und SENSORIK MBH 7742 ST GEORGEN DE
Priority to DE19924201216 priority Critical patent/DE4201216C1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE4201216C1 publication Critical patent/DE4201216C1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/74—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables of fluids

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Abstract

An oxygen sensor has a gas inlet and outlet connected via gas flow channels. At least one of these channels is divided downstream into two flow channels, one of which is exposed to a magnetic field. The flow difference is measured in the two channels. The flow channels (3-5) are micromechanically produced in a substrate (20), pref. of silicon, pref. using an anisotropic etching technique. The channels are bounded by a covering applied to the substrate. The covering may be of glass or a micromechanically structured silicon plate. ADVANTAGE - Very compact. High sensitivity.

Description

Die Erfindung betrifft einen Sauerstoffsensor der im Oberbe­ griff des Anspruchs 1 genannten Art.The invention relates to an oxygen sensor in the Oberbe handle of claim 1 mentioned type.

Derartige Sensoren, die zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts eines Gasgemisches dienen, sind seit langem bekannt. Die wesentlichen Meßmethoden sind elektrochemische Verfahren, Verfahren mit Festkörper-Ionenleitern und paramagnetische Verfahren.Such sensors used to determine the oxygen content serve a gas mixture have long been known. The essential measuring methods are electrochemical methods, Process with solid-state ion conductors and paramagnetic Method.

Sauerstoff ist paramagnetisch und besitzt eine außergewöhn­ lich hohe magnetische Suszeptibilität. Paramagnetische Stoffe (O2, NO, NO2) zeichnen sich dadurch aus, daß sie in ein inhomogenes Magnetfeld hineingezogen werden, während diamagnetische Stoffe (H2, NH4, Cl2) aus diesem herausgedrängt werden. Dieser Unterschied wird bei der paramagnetischen Sauerstoffmessung ausgenützt. Bisherige Vorrichtungen dieser Art (Firmenprospekt der Panametrics GmbH Analysen und Prüftechnik, Hofheim: Modell TMO2 Sauerstoff­ analysator März 1990; Buch "Chemische Sensoren Funktion, Bauformen, Anwendungen", Autor: Friedrich Ohme, Vieweg-Verlag, Braunschweig, 1991) messen den Strömungsun­ terschied, der durch ein Magnetfeld in einem System von Glaskapillaren erzeugt wird. Wesentliche Nachteile dieser Meßvorrichtungen sind zum einen die Größe des Aufbaus, die hohen Kosten des Glasgeräts und zum andern die hohen Ener­ gieaufwendungskosten für das relativ große Magnetfeld.Oxygen is paramagnetic and has an exceptionally high magnetic susceptibility. Paramagnetic substances (O 2 , NO, NO 2 ) are characterized in that they are drawn into an inhomogeneous magnetic field, while diamagnetic substances (H 2 , NH 4 , Cl 2 ) are pushed out of it. This difference is used in paramagnetic oxygen measurement. Previous devices of this type (company brochure of Panametrics GmbH Analyzes and Testing Technology, Hofheim: model TMO2 oxygen analyzer March 1990; book "Chemical sensors function, designs, applications", author: Friedrich Ohme, Vieweg-Verlag, Braunschweig, 1991) measure the flow difference generated by a magnetic field in a system of glass capillaries. Significant disadvantages of these measuring devices are, on the one hand, the size of the structure, the high cost of the glass device and, on the other hand, the high energy expenditure costs for the relatively large magnetic field.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Messung des Sauerstoffgehalts eines Gasge­ misches zu schaffen mit einem möglichst kleinen Aufbau, mit hoher Empfindlichkeit, mit hoher Zuverlässigkeit bei mini­ malem Kostenaufwand.The present invention has for its object a Device for measuring the oxygen content of a gas ge to create a mixture with the smallest possible structure, with high sensitivity, with high reliability at mini times cost.

Gelöst wird diese Aufgabe bei dem im Oberbegriff des An­ spruchs 1 angegebenen Sauerstoffsensor mit den im kennzeich­ nenden Teil des Anspruchs genannten Mitteln.This task is solved in the preamble of the An claim 1 indicated oxygen sensor with the in the mark ning part of the claim mentioned means.

Die wesentlichen Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Verwendung von Herstellungsmethoden, wie sie in der Mikrome­ chanik und Mikroelektronik bekannt sind. Dadurch werden die Herstellungskosten erheblich verringert und eine hohe Mi­ niaturisierung ist möglich.The main advantages of the invention result from the Use of manufacturing methods as used in the microme Mechanics and microelectronics are known. This will make the Manufacturing costs significantly reduced and a high Mi niaturization is possible.

Weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung sind in den Unteransprüchen angeben.Further advantageous features of the invention are in the Specify subclaims.

Der Gegenstand der Erfindung ist nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels, das in Zeichnungen schematisch darge­ stellt ist, näher erläutert. Es zeigenThe object of the invention is based on a Embodiment that schematically Darge in drawings is explained. Show it

Fig. 1 Aufsicht einer erfindungsgemäßen Vorrich­ tung, FIG. 1 supervision of a Vorrich invention tung,

Fig. 2 mehrere Trenndüsen in Kaskadenanordnung für die erfindungsgemäße Vorrichtung und Fig. 2 several separating nozzles in a cascade arrangement for the device according to the invention and

Fig. 3 Aufsicht eines Polblechs für die erfindungs­ gemäße Vorrichtung. Fig. 3 supervision of a pole plate for the device according to the Invention.

In Fig. 1 ist eine Aufsicht einer erfindungsgemäßen Vor­ richtung zu sehen. Auf einem Substrat 20 (Wafer) befindet sich ein Gaseinlaß 1, der sich zu einem Strömungskanal 3 verengt. Am Anfang des Strömungskanales 3 befindet sich ein Regelventil 2; im Anschluß daran wird der Strömungskanal 3 von einer Oxidbrücke 12a überspannt. Diese Oxidbrücke 12a trägt ein Thermoanemometer 10. Weiter stromabwärts befinden sich im Strömungskanal 3 Stege, die als Strömungsgleichrich­ ter 6 ausgebildet sind. Nach dem Strömungsgleichrichter 6 verzweigt sich der Strömungskanal 3 in zwei symmetrische Strömungskanäle 4 und 5. Die beiden Strömungskanäle 4 und 5 werden von einer Oxidbrücke 12b überspannt. Diese Oxidbrücke 12b dient als Träger für die Thermoanemometer 11a und 11b. Im Bereich zwischen Verzweigung und Oxidbrücke 12b wird der Strömungskanal 5 von einem vertikalen Magnetfeld 30 durch­ setzt. Stromabwärts von der Oxidbrücke 12b münden die beiden Strömungskanäle 4 und 5 in einen gemeinsamen Gasauslaß 7.In Fig. 1 a supervision of an on device according to the invention can be seen. A gas inlet 1 is located on a substrate 20 (wafer) and narrows to form a flow channel 3 . At the beginning of the flow channel 3 there is a control valve 2 ; then the flow channel 3 is spanned by an oxide bridge 12 a. This oxide bridge 12 a carries a thermal anemometer 10 . Further downstream there are 3 webs in the flow channel, which are designed as a flow straightener 6 . After the flow straightener 6 , the flow channel 3 branches into two symmetrical flow channels 4 and 5 . The two flow channels 4 and 5 are spanned by an oxide bridge 12 b. This oxide bridge 12 b serves as a carrier for the thermal anemometer 11 a and 11 b. In the area between branching and oxide bridge 12 b, the flow channel 5 is penetrated by a vertical magnetic field 30 . Downstream from the oxide bridge 12 b, the two flow channels 4 and 5 open into a common gas outlet 7 .

Im weiteren soll das Herstellungsverfahren eines paramagne­ tischen Sensors gemäß der Erfindung näher beschrieben wer­ den. In ein Substrat (Wafer) aus Silicium werden mit Metho­ den der anisotropen Ätztechnik äußerst exakte Gräben, die als Strömungskanäle zur Gasführung dienen, eingearbeitet. Das Regelventil 2 kann beispielsweise von einem nicht darge­ stellten Piezokristall betätigt werden. Auf den Oberseiten der Oxidbrücken 12a, b werden Heizmäander aus Edelmetall in Dünnschichttechnik aufgebracht. Die Strömungsgleichrichter werden ebenfalls in Form geätzter Strukturen hergestellt. Das Substrat 20 wird von einem Deckel abgeschlossen, der entweder aus Glas oder einer ebenfalls mikromechanisch strukturierten Siliciumplatte besteht. Dieser Deckel ist in Fig. 1 nicht gezeigt.Furthermore, the manufacturing process of a parametric sensor according to the invention will be described in more detail who the. In a substrate (wafer) made of silicon, the anisotropic etching technique uses extremely precise trenches that serve as flow channels for gas guidance. The control valve 2 can be actuated, for example, by a piezo crystal, not shown. On the top of the oxide bridges 12 a, b heating meanders made of precious metal are applied using thin-film technology. The flow straighteners are also manufactured in the form of etched structures. The substrate 20 is closed off by a cover, which consists either of glass or a likewise micromechanically structured silicon plate. This lid is not shown in Fig. 1.

Im folgenden ist das Funktionsprinzip des paramagnetischen Sensors gemäß der Erfindung näher erläutert. Das zu untersu­ chende Gasgemisch tritt durch den Gaseinlaß 1 ein. Mit Hilfe eines Regelventils 2 wird der Gasfluß im Strömungskanal 3 geregelt. Die Gasgeschwindigkeit im Strömungskanal 3 wird mit dem Thermoanemometer 10 gemessen. Der Heizmäander wird elektrisch erwärmt. Durch die Gasströmung erfolgt eine Kühlung des Heizmäanders. Der Widerstand des Heizmäanders ist temperaturabhängig. Die Gasgeschwindigkeit kann somit elektronisch vermittels des Widerstandes des Heizmäanders bestimmt werden. Der Strömungsgleichrichter 6 sorgt für eine wirbelfreie Strömung im Strömungskanal 3. Nach dem Strö­ mungsgleichrichter 6 verzweigt sich der Strömungskanal 3. Aufgrund des vertikalen Magnetfeldes 30 werden die Sauer­ stoffmoleküle bevorzugt in den Strömungskanal 5 gezogen. Dadurch erhöht sich auch die Strömungsgeschwindigkeit im Strömungskanal 5. Mit den Thermoanemometern 11a, b wird die Strömungsgeschwindigkeit in den beiden Strömungskanälen 4 und 5 bestimmt. Ein Maß für die Sauerstoffkonzentration des Gasgemisches ist der Strömungsgeschwindigkeitsunterschied in den Strömungskanälen 4 und 5. Je höher der Sauerstoffanteil ist, desto größer ist der Unterschied. Über die Widerstands­ differenz der beiden Thermoanemometer 11a und 11b, die elektronisch bestimmt wird, wird die Sauerstoffkonzentration gemessen. Am Ende des Strömungskanals 4 und 5 strömt das Gas in einen gemeinsamen Gasauslaß 7.The operating principle of the paramagnetic sensor according to the invention is explained in more detail below. The gas mixture to be examined enters through the gas inlet 1 . The gas flow in the flow channel 3 is regulated with the aid of a control valve 2 . The gas velocity in the flow channel 3 is measured with the thermoanemometer 10 . The heating meander is heated electrically. The heating flow is cooled by the gas flow. The resistance of the heating meander depends on the temperature. The gas velocity can thus be determined electronically using the resistance of the heating meander. The flow straightener 6 ensures a vortex-free flow in the flow channel 3 . After the flow rectifier 6 , the flow channel 3 branches. Due to the vertical magnetic field 30 , the oxygen molecules are preferably drawn into the flow channel 5 . This also increases the flow velocity in the flow channel 5 . The flow velocity in the two flow channels 4 and 5 is determined with the thermoanemometers 11 a, b. A measure of the oxygen concentration of the gas mixture is the difference in flow velocity in the flow channels 4 and 5 . The higher the oxygen content, the greater the difference. About the difference in resistance of the two thermoanemometers 11 a and 11 b, which is determined electronically, the oxygen concentration is measured. At the end of the flow channel 4 and 5 , the gas flows into a common gas outlet 7 .

In Fig. 2 ist das Prinzip einer vorteilhaften Weiterent­ wicklung der erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt. Ein Gaseinlaß 1 verzweigt sich in zwei Strömungskanäle A und B, wobei der Strömungskanal B von einem Magnetfeld 30 durch­ setzt ist. Der Strömungskanal B verzweigt sich wieder in einen Strömungskanal A und B, wobei wieder der Strömungska­ nal B von einem Magnetfeld 30 durchsetzt wird. Insgesamt erfolgen fünf solcher Verzweigungen. Nach der fünften Ver­ zweigung ist am Ende des Strömungskanals B ein Sauerstoff­ sensor, wie er in Fig. 1 dargestellt ist, angebracht. Alle mit B bezeichneten Kanäle sind jeweils von einem Magnetfeld 30 durchsetzt; alle mit A bezeichneten Kanäle sind mit dem Gasauslaß 7 verbunden.In Fig. 2 the principle of an advantageous development of the device according to the invention is shown. A gas inlet 1 branches into two flow channels A and B, the flow channel B being penetrated by a magnetic field 30 . The flow channel B branches again into a flow channel A and B, the flow channel B being penetrated by a magnetic field 30 again. A total of five such branches are made. After the fifth branch, an oxygen sensor, as shown in FIG. 1, is attached to the end of the flow channel B. All channels designated B are penetrated by a magnetic field 30 ; all channels labeled A are connected to the gas outlet 7 .

Die Herstellung eines paramagnetischen Sensors gemäß der vorteilhaften Weiterentwicklung entsprechend Fig. 2 erfolgt mit Hilfe der anisotropen Ätztechnik aus einem Substrat (Wafer) aus Silizium.A paramagnetic sensor according to the advantageous further development according to FIG. 2 is produced with the aid of anisotropic etching technology from a substrate (wafer) made of silicon.

Durch die Hintereinanderschaltung (Kaskadierung) mehrerer solcher Verzweigungen ergibt sich nach jeder Verzweigung jeweils im Teilkanal B eine Sauerstoffanreicherung. Eine solche Verzweigung mit einem inhomogenen Magnetfeld in einem der beiden Äste kann daher als "magnetische Trenndüse" bezeichnet werden. Im Prinzip können beliebig viele solcher Verzweigungen aufeinanderfolgen.Through the series connection (cascading) of several such branches arise after each branch in each case in subchannel B an oxygen enrichment. A such branching with an inhomogeneous magnetic field in one of the two branches can therefore be used as a "magnetic separating nozzle" be designated. In principle, any number of such Successive branches.

Durch den Anreicherungseffekt erhöht sich die Empfindlich­ keit des Sauerstoffsensors, der nach der fünften Verzweigung im Kanal B angeordnet ist, erheblich.The enrichment effect increases the sensitivity speed of the oxygen sensor after the fifth branch is arranged in channel B, considerably.

In Fig. 3 ist ein Polblech für die vorteilhafte Weiterent­ wicklung der erfindungsgemäßen Vorrichtung entsprechend Fig. 2 zu sehen. Mit Hilfe dieses Polblechs wird das Magnetfeld 30 zu den entsprechenden Punkten nach den Verzweigungen geführt. An den verjüngten Enden des Polbleches ist das Magnetfeld 30 besonders stark. In Fig. 3 a pole sheet for the advantageous development of the device according to the invention according to FIG. 2 can be seen. With the help of this pole plate, the magnetic field 30 is guided to the corresponding points after the branches. The magnetic field 30 is particularly strong at the tapered ends of the pole plate.

FigurenlegendeFigure legend

 1 Gaseinlaß
 2 Regelventil
 3, 4, 5 Strömungskanäle
 6 Strömungsgleichrichter
 7 Gasauslaß
10 Thermoanemometer
11a, b Thermoanemometer
12a, b Oxidbrücken
20 Substrat
30 Magnetfeld
A Strömungskanal
B Strömungskanal 1 gas inlet
2 control valve
3, 4, 5 flow channels
6 flow straighteners
7 gas outlet
10 thermal anemometers
11 a, b thermoanemometer
12 a, b oxide bridges
20 substrate
30 magnetic field
A flow channel
B flow channel

Claims (8)

1. Vorrichtung zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts eines Gasgemisches, mit einem Gaseinlaß und einem Gasauslaß, die durch Strömungskanäle zur Führung des Gasstromes miteinander verbunden sind, wobei mindestens ein Strö­ mungskanal sich stromabwärts in zwei Strömungskanäle verzweigt und einer der beiden Strömungskanäle von einem Magnetfeld durchsetzt ist, und Mittel zur Messung der Strömungsdifferenz in den beiden Strömungskanälen vor­ handen sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungs­ kanäle (3, 4, 5) in einem Substrat (20) aus vorzugsweise Silizium mikromechanisch, vorzugsweise in anisotroper Ätztechnik erzeugt und mit einer auf dem Substrat auf­ liegenden Abdeckung begrenzt sind.1.Device for determining the oxygen content of a gas mixture, with a gas inlet and a gas outlet, which are connected to one another by flow channels for guiding the gas flow, at least one flow channel branching downstream into two flow channels and one of the two flow channels being penetrated by a magnetic field, and means for measuring the flow difference in the two flow channels are present, characterized in that the flow channels ( 3 , 4 , 5 ) in a substrate ( 20 ) made of preferably silicon micromechanically, preferably in anisotropic etching technology and with one on the substrate are limited to lying cover. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung aus Glas besteht.2. Device according to claim 1, characterized in that the cover is made of glass. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung aus einer mikromechanisch strukturierten Siliziumplatte besteht.3. Device according to claim 1, characterized in that the cover from a micromechanically structured Silicon plate exists. 4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Strömungskanäle (4 und 5) von einer Oxidbrücke (12b) überspannt sind, daß an der Oberseite dieser Oxidbrücke (12b) im Bereich der Strömungskanäle Heizmäander angebracht sind und daß elektronische Mittel vorhanden sind, den Widerstands­ unterschied der beiden Heizmäander und damit die unter­ schiedliche Gasgeschwindigkeit in den Strömungskanälen (4 und 5) zu bestimmen.4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the two flow channels ( 4 and 5 ) are spanned by an oxide bridge ( 12 b), that heating meanders are attached to the top of this oxide bridge ( 12 b) in the region of the flow channels and that Electronic means are available to determine the difference in resistance between the two heating meanders and thus the different gas velocity in the flow channels ( 4 and 5 ). 5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Verzweigung Stege vorhanden sind, die als Strömungsgleichrichter (6) dienen.5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that webs are present before the branching, which serve as flow straighteners ( 6 ). 6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Verzweigung ein Regelventil (2) angebracht ist.6. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a control valve ( 2 ) is attached before the branching. 7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Brückenschaltung zur Messung der Widerstandsdifferenz der beiden Thermoanemometer (11a und 11b).7. Device according to one of the preceding claims, characterized by a bridge circuit for measuring the difference in resistance of the two thermoanemometers ( 11 a and 11 b). 8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Gaseinlaß (1) und dem Strömungskanal (3) auf dem Substrat mindestens eine weitere Verzweigung in zwei Teilkanäle (A und B) vorhanden ist, derart, daß der Teilkanal (B) von einem Magnetfeld (30) durchsetzt ist, daß der Teilkanal (A) mit dem Gasauslaß (7) direkt verbunden ist und daß der Teilkanal (B) mit dem Strömungskanal (3) verbunden ist.8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that between the gas inlet ( 1 ) and the flow channel ( 3 ) on the substrate at least one further branch in two sub-channels (A and B) is present, such that the sub-channel (B ) is penetrated by a magnetic field ( 30 ) that the subchannel (A) is directly connected to the gas outlet ( 7 ) and that the subchannel (B) is connected to the flow channel ( 3 ).
DE19924201216 1992-01-18 1992-01-18 Oxygen@ sensor for gas mixt. - measures difference in flow speed in two stream channels etched into wafer substrate by two thermo anemometers Expired - Fee Related DE4201216C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19924201216 DE4201216C1 (en) 1992-01-18 1992-01-18 Oxygen@ sensor for gas mixt. - measures difference in flow speed in two stream channels etched into wafer substrate by two thermo anemometers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19924201216 DE4201216C1 (en) 1992-01-18 1992-01-18 Oxygen@ sensor for gas mixt. - measures difference in flow speed in two stream channels etched into wafer substrate by two thermo anemometers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4201216C1 true DE4201216C1 (en) 1993-02-25

Family

ID=6449760

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19924201216 Expired - Fee Related DE4201216C1 (en) 1992-01-18 1992-01-18 Oxygen@ sensor for gas mixt. - measures difference in flow speed in two stream channels etched into wafer substrate by two thermo anemometers

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4201216C1 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998012552A1 (en) * 1996-09-20 1998-03-26 Siemens Aktiengesellschaft Arrangement for the paramagnetic measurement of the oxygen content of a gas to be measured
WO2001087009A2 (en) * 2000-05-08 2001-11-15 Microbridge Technologies Inc. Gas flow sensor, speaker system and microphone
EP0861419B1 (en) * 1995-11-14 2002-01-09 Ernst Messerschmid Method and device for simultaneous measurement of a volume flow and of at least one partial pressure
EP1202051A1 (en) * 2000-10-27 2002-05-02 ABB Research Ltd. Apparatus for measuring the oxygen concentration in a gas using an inhomogeneous magnetic field
EP2278323A1 (en) * 2009-07-16 2011-01-26 M & C TechGroup Germany GmbH Device for determining the oxygen content of a gas
EP2515105A1 (en) * 2011-04-21 2012-10-24 General Electric Company Gas sensor for measurement of paramagnetic gas component
DE102006037805B4 (en) * 2005-08-30 2013-01-17 Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. Apparatus and method for enriching or depleting oxygen or oxygen compounds in an oxygen-containing gas mixture

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD239876A1 (en) * 1985-07-30 1986-10-08 Medizin Labortechnik Veb K OXYGEN SENSOR

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD239876A1 (en) * 1985-07-30 1986-10-08 Medizin Labortechnik Veb K OXYGEN SENSOR

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-B.: "Chemische Sensoren Funktion, Bauformen, Anwendungen", Friedrich Ohme, Vieweg-Verlag, Braunschweig, 1991 *
DE-Firmenprospekt der Panametrics GmbH Analysen und Prüftechnik, Hofheim: "Modell T1102 Sauerstoffanalysator", März 1990 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0861419B1 (en) * 1995-11-14 2002-01-09 Ernst Messerschmid Method and device for simultaneous measurement of a volume flow and of at least one partial pressure
WO1998012552A1 (en) * 1996-09-20 1998-03-26 Siemens Aktiengesellschaft Arrangement for the paramagnetic measurement of the oxygen content of a gas to be measured
WO2001087009A2 (en) * 2000-05-08 2001-11-15 Microbridge Technologies Inc. Gas flow sensor, speaker system and microphone
WO2001087009A3 (en) * 2000-05-08 2003-01-03 Microbridge Technologies Inc Gas flow sensor, speaker system and microphone
EP1202051A1 (en) * 2000-10-27 2002-05-02 ABB Research Ltd. Apparatus for measuring the oxygen concentration in a gas using an inhomogeneous magnetic field
DE102006037805B4 (en) * 2005-08-30 2013-01-17 Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. Apparatus and method for enriching or depleting oxygen or oxygen compounds in an oxygen-containing gas mixture
EP2278323A1 (en) * 2009-07-16 2011-01-26 M & C TechGroup Germany GmbH Device for determining the oxygen content of a gas
EP2515105A1 (en) * 2011-04-21 2012-10-24 General Electric Company Gas sensor for measurement of paramagnetic gas component
US9557298B2 (en) 2011-04-21 2017-01-31 General Electric Company Device for generating magnetic field, method for preparing such device and gas sensor for measurement of paramagnetic gas component

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19847952C2 (en) Fluid flow switch
DE69129279T2 (en) Capillaries for capillary electrophoresis with an elongated cross section
EP0285833A2 (en) Method for determining the concentrations of gases in a gaseous mixture, and probe for measuring the thermal conductivity
EP0210509A1 (en) Method for measuring the properties of a fluid, and sensor element for carrying out this method
DE10146321B4 (en) Sensor module with a sensor element, which is surrounded by a heating element
DE69212416T2 (en) Method and device for the continuous monitoring of gas dissolved in oil
DE4201216C1 (en) Oxygen@ sensor for gas mixt. - measures difference in flow speed in two stream channels etched into wafer substrate by two thermo anemometers
DE10245947A1 (en) Micro gas sensor has a heated filter, in front of the heated gas sensor, with a micro pump to generate intermittent gas flows and a flow sensor to register flow speeds
DE69901701T2 (en) DEVICE FOR DETERMINING WATER QUALITY WITH A SENSOR WAFER HOLDING BETWEEN O-RINGS
DE102011018670B4 (en) Measuring head via a device for measuring the concentration of at least one gas in a gas sample
DE19916797C2 (en) Semiconductor gas sensor with housing and method for measuring gas concentrations
DE69635160T2 (en) DEVICE FOR MAGNIFYING SENSOR ELECTRICITY
DE69621502T2 (en) Electrochemical gas sensor arrangement
EP0846947A3 (en) Apparatus for performing electrochemical and/or optical measurements in liquids
DE102016202537B4 (en) Method and device for determining the concentration of gas components in a gas mixture
DE3617770A1 (en) THERMAL FLOW SENSOR
DE10392699B4 (en) High-precision measurement and control of low fluid flow rates
EP2278323B1 (en) Device for determining the oxygen content of a gas
WO2002095338A2 (en) Thermal flow sensor
DE19900017A1 (en) Gas sensor for investigating exhaust gas of motor vehicle, has temperature sensor arranged on surface of electrolyte board to measure temperature of position of electrode
DE102005029070B3 (en) Analytical compound separating and analytic substance detection, involves subjecting electrodes with uniform alternating voltage signal, measuring voltage and/or current values in electrodes to determine conductivity values
DE10003676A1 (en) Determining concentration of mixed hydrogen and helium from thermal conductivity, comprises determination and calibration at two or more temperatures
DE2141936A1 (en) Device for quantitative analysis in liquid-solid chromatography or electrophoresis
DE69600162T2 (en) Method for measuring the intake air quantity of an internal combustion engine with electronic injection
DE2926787C2 (en) Device for testing throttle points of variable flow cross-section in a flow channel, in particular of carburetors for internal combustion engines

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of the examined application without publication of unexamined application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: GFS GESELLSCHAFT FUER SENSORIK MBH, 78048 VILLINGE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee