EP0210509A1 - Method for measuring the properties of a fluid, and sensor element for carrying out this method - Google Patents

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EP0210509A1 EP86109577A EP86109577A EP0210509A1 EP 0210509 A1 EP0210509 A1 EP 0210509A1 EP 86109577 A EP86109577 A EP 86109577A EP 86109577 A EP86109577 A EP 86109577A EP 0210509 A1 EP0210509 A1 EP 0210509A1
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    • G01F23/24Indicating or measuring liquid level, or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume, indicating by means of an alarm by measurement of physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of resistance of resistors due to contact with conductor fluid
    • G01F23/246Indicating or measuring liquid level, or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume, indicating by means of an alarm by measurement of physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of resistance of resistors due to contact with conductor fluid thermal devices

Abstract

In the method a sensor element is in thermal contact with the fluid by means of a temperature-dependent electrical resistor. During a first predetermined and limited time interval, the sensor element, for example a semiconductor, has current flowing through it and is heated with a predetermined electrical power. During a subsequent predetermined and limited time interval, the sensor element is cooled. From the change in resistance of the sensor element, which corresponds to the temperature behaviour of the element during the heating or cooling phase, it is possible to draw direct conclusions about the properties of the fluid, for example its nature, composition, flow velocity or mass flow, or even the level of a fluid in a container. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Messen der Eigenschaften eines Fluids sowie ein zur Durchführung des Verfahrens geeignetes Sensorelement. The invention relates to a method for measuring the characteristics of a fluid as well as a suitable method for carrying out the sensor element.
  • Unter Eigenschaften des Fluids seien insbesondere die Art bzw. Zusammensetzung des Fluids, die Strömungsgeschwindigkeit bzw. der Massenstrom eines strömenden Fluids oder das Niveau eines in einem Behälter befindlichen Fluids verstanden. Among properties of the fluid in particular the type and composition of the fluid, the flow rate or the mass flow of a flowing fluid or the level of a fluid in a container are understood.
  • Es sind Verfahren bekannt, bei welchen aus der Widerstandsänderung eines von elektrischem Strom durchflossenen Sensorelementes mit temperaturabhängigem Widerstand auf die Fluideigenschaft rückgeschlossen wird. Methods are known, in which from the change in resistance of a carrying electric current sensor element deduced with temperature-dependent resistance on the fluid property. Es ist auch bekannt, als Sensorelement einen Halbleiter zu verwenden. It is also known to use as a sensor element a semiconductor.
  • Aus der D E-PS 813 968 ist beispielsweise eine derartige Anordnung zur Messung des Flüssigkeitsstandes bekannt, bei welcher ein Widerstandskörper mit großem, insbesondere negativem Temperaturkoeffizienten in wärmeaustauschender Berührung mit der Flüssigkeit steht. From the E-PS 813 968 such an arrangement for measuring the level of liquid is known, for example, in which a resistor body with a large, in particular a negative temperature coefficient is in heat exchanging contact with the liquid. Bei Austauchen des Widerstandskörpers aus der Flüssigkeit erfolgt eine Änderung der Wärmeabfuhr, die eine Widerstandsänderung zur Folge hat. In emersion of the resistor body from the liquid a change in the heat dissipation, which has a resistance change result occurs. Diese Widerstandsänderung kann zur Erzeugung eines Steuersignales, z. This change in resistance may for generating a control signal z. B. eines Warnsignales, ausgenutzt werden. As a warning signal to be exploited.
  • Eine derartige Anordnung ist ungeeignet für quantitative Messungen sowie für dynamische Betriebsweise, also bei sich während der Messung ändernden Fluideigenschaften, insbesondere sich ändernder Temperatur. Such an arrangement is not suitable for quantitative measurements and for dynamic operation, ie when during the measurement varying fluid properties, in particular changing temperature.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren auf der im Oberbegriff des Hauptanspruchs angegebenen Basis zu schaffen, mit welchem die Fluideigenschaften quantitativ gemessen werden können und das auch für dynamischen Betrieb geeignet ist. The present invention has for its object to provide a method as indicated in the preamble of the main claim base with which the fluid properties can be measured quantitatively, and that is also suitable for dynamic operation.
  • Gelöst wird diese Aufgabe mit dem gemäß Anspruch 1 gekennzeichneten Verfahren. This object is achieved with the designated according to claim 1.
  • Charakteristisch für dieses Verfahren ist, daß das Sensorelement derart bestromt ist, daß es abwechselnd, geheizt und gekühlt und aus dem Verlauf der Heizkurve bzw. Abkühlüngskurve Meßwerte hergeleitet werden, welche für die eingangs angegebenen Fluideigenschaften charakteristisch sind. It is characteristic of this process is that the sensor element is energized in such a way that it can be alternately heated and cooled, and derived from the curve slope or Abkühlüngskurve measured values ​​which are characteristic for the initially mentioned fluid properties.
  • Zur Ermittlung der Aufheizgeschwindigkeit bzw. des Verlaufes der Heizkurve kann folglich die Widerstandsänderung des Sensorelementes schon während der Aufheizphase gemessen werden. To determine the rate of heating or the course of the heating curve, the resistance change of the sensor element consequently can be measured even during the heating phase. Ebenso kann zur Ermittlung der Abkühlgeschwindigkeit, also der Abkühlungskurve, die Widerstandsänderung des Sensorelementes während der Kühlphase gemessen werden. Likewise, so the cooling curve, the change in resistance of the sensor element during the cooling phase can be used to determine the cooling rate can be measured.
  • Nach einem einfach realisierbaren Vorschlag wird zur Ermittlung der Widerstandsänderung die Differenz der Widerstandswerte des Sensorelementes jeweils am Anfang und am Ende der Heiz- bzw. Kühlphase gemessen. After an easy to implement the proposal, the difference in the resistance values ​​of the sensor element is measured at the beginning and at the end of the heating and cooling phase for determining the change in resistance.
  • Vorteilhafter ist es, wie nach einem weiteren Vorschlag angegeben, zur Ermittlung der Widerstandsänderung die Steigung der Widerstandskurve in Abhängigkeit von der Zeit in einem vorgegebenen Zeitpunkt zu messen. It is more advantageous, as indicated by a further proposal to measure for determining the resistance change of the slope of the resistance curve as a function of time in a predetermined time. Bei dieser Verfahrensweise beeinflußt die absolute Temperatur des zu untersuchenden Fluids nicht den Meßwert. In this procedure, the absolute temperature of the test fluid does not affect the measured value.
  • Zweckmäßig für Messung und Auswertung der Meßergebnisse ist, wenn das Zeitintervall der Heizphase und/oder Kühlphase mindestens so lang ist, daß sich Sensorelement und Fluid in einem stationären thermischen Gleichgewicht befinden. is useful for measurement and evaluation of the measurement results, if the time interval of the heating phase and / or cooling period is at least long enough so that the sensor element and the fluid are in a steady thermal equilibrium.
  • Um die möglicherweise wechselnden Eigenschaften eines Fluids kontinuierlich zu erfassen, sollten sich einem weiteren Vorschlag der Erfindung Heizphasen- und Kühlphasenintervalle periodisch wiederholen. To capture the possibly changing properties of a fluid continuously, should be repeated with a further proposal of the invention Heizphasen- and cooling phase intervals periodically.
  • Von den bekannten Verfahren unterscheidet sich das erfindungsgemäße vor allem dadurch, daß das Sensorelement abwechselnd aufgeheizt und gekühlt wird und selbst vorzugsweise während der Kühlphase als Meßelement geschaltet ist. Of the known method according to the invention mainly characterized in that the sensor element is alternately heated and cooled, and is itself preferably connected as a measuring element during the cooling phase is different. Bei dieser Verfahrensweise wird das Element, das eine vorbestimmte Wärmekapazität aufweist, auf eine vorbestimmte Temperatur aufgeheizt, worauf anschließend nach Beendigung des Aufheizvorganges aus dem Verlauf der Abkühlungskurve für das Fluid charakteristische Daten hergeleitet werden. In this procedure, the element which has a predetermined heat capacity, is heated to a predetermined temperature, and then characteristic data is derived after completion of the heating of the course of the cooling curve for the fluid.
  • Der Verlauf dieser Abkühlungskurve ist hierbei wesentlich durch Art und Zustand des Fluids bestimmt. The course of the cooling curve here is essentially determined by the type and condition of the fluid.
  • Bei stehendem Fluid kann das Fluidniveau, also z. In stationary fluid, the fluid level can thus, for. B. die Füllstandshöhe in einem Behälter, gemessen oder überwacht werden. For example, be the filling level in a container, as measured or monitored.
  • Bei einem Massenstrom kann bei wechselnder Strömungsgeschwindigkeit diese Strömungsgeschwindigkeit laufend erfaßt werden. At a mass flow with changing flow rate, this flow rate can be continuously detected.
  • Bei gleichbleibender Strömung kann dagegen die Fluidart bestimmt werden, da für jede Fluidart eine bestimmte Abkühlungskurve charakterisch ist. With a constant flow of the fluid type, however, can be determined as a certain cooling curve is characteristically for each fluid type.
  • Darüber hinaus ist es bei Kenntnis der Abkühlungskurven bestimmter Fluidarten möglich, aus diesen auf die Zusammensetzung eines Fluidgemisches rückzuschließen. Moreover, it is possible with regard to the cooling curves of certain types of fluids to infer from these to the composition of a fluid mixture.
  • In entsprechender Weise kann anhand der Abkühlungskurve auf etwaige Verschmutzungen und damit den Verschmutzungsgrad eines Fluids rückgeschlossen werden. In a corresponding manner may be inferred based on the cooling curve at any dirt and thus the degree of contamination of a fluid.
  • Als Sensorelement eignet sich vorzugsweise ein aus Halbleitermaterial bestehendes, vom elektrischen Strom aufheizbares Element mit wenigstens einem für Temperaturmessung geeigneten pn-Ubergang. The sensor element is preferably suitable consisting of a semiconductor material, heatable by the electric power element with at least one suitable for temperature measurement pn junction. Damit ist mit demselben Element Aufheizen und Messen möglich. Thus is possible with the same element heating and fairs. Die Verwendung von Halbleitermaterial hat den besonderen Vorteil, daß Sensorelemente kleinster Abmessungen auf einfache und kostengünstige Art hergestellt werden können, wobei Temperaturen bis zu 300°C ohne Glüheffekte oder dergl. erreicht werden können. The use of semiconductor material has the particular advantage that the sensor elements of very small dimensions can be manufactured in a simple and inexpensive way, with temperatures up to 300 ° C without glows or the like can be achieved.. Sensorelemente dieser Art können folglich unter schwierigen Verhältnissen zuverlässig eingesetzt werden. Sensor elements of this type can be used reliably under difficult conditions therefore.
  • Dieses Halbleiterelement kann, wie ferner vorgeschlagen ist, als Sperrschicht- oder MOS-Feldeffekttransistor ausgebildet sein. This semiconductor element can, as also proposed, be formed as a barrier layer or MOS field effect transistor.
  • Nach einem weiteren Vorschlag der Erfindung ist es ratsam, dieses Sensorelement in einem wärmeleitenden, jedoch fluiddichten Gehäuse zu kapseln. According to a further proposal of the invention it is advisable to encapsulate this sensor element in a thermally conductive, but fluid-tight housing.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ist nachfolgend anhand schematischer in der Zeichnung wiedergegebener Darstellungen näher erläutert. The inventive method is explained in more detail with reference to schematic illustrations of reproduced in the drawing. In diesen Zeichnungen zeigen In these drawings
    • Figur 1 - schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Sensorelementes, das als Meßsonde in einer fluiddurchströmten Leitung angeordnet ist, Figure 1 - schematic representation of a sensor element according to the invention which is arranged as a measuring probe in a fluid-operated duct,
    • Figur 2a - Diagramm des der Aufheizung des Sensorelementes dienenden Stromes I in Abhängigkeit von der Zeit t. Figure 2a - diagram of the heating of the sensor element serving the current I as a function of time t.
    • Figur 2b - Temperatur T des Sensorelementes in Abhängigkeit von der Zeit t, bei Bestromung mit Stromimpulsen gemäß Figur 2a. Figure 2b - temperature T of the sensor element as a function of the time t 2 when energized with current pulses as shown in FIG.
  • Als Sensorelement zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens eignet sich grundsätzlich jeder elektrische Leiter, der durch Stromwärme aufheizbar ist und dessen elektrischer Widerstand von der Temperatur abhängig ist, so daß seine Widerstandsänderung ein Maß für die Temperaturänderung ist. As a sensor element for performing the method according to the invention, each electrical conductor which can be heated by Joule heat and the electric resistance of the temperature dependent so that its change in resistance is a measure of the temperature change is in principle.
  • Vorzugsweise eignet sich als Sensorelement ein aus Halbleitermaterial bestehendes Element, das stromdurchflossen ist. Preferably suitable as a sensor element consisting of a semiconductor material element which is current flowing through it. Als Halbleiterelement kann eine einfache Diode mit pn-Ubergang oder auch nur eine einfache Halbleiterstrecke Verwendung finden. As a semiconductor element can be used a simple diode with pn junction, or even a simple semiconductor path. Dieses Halbleiterelement ist während der Heizphase zu bestromen, während es zur Messung der Temperaturänderung in eine geeignete Meßschaltung zu schalten ist. This semiconductor element is to be supplied with current during the heating phase, while it is to switch to measure the temperature change in a suitable measuring circuit. Zweckmäßigerweise findet als Heizelement ein stromdurchflossenes Halbleiterelement Verwendung, das mit einer Steuerstrecke kombiniert ist. Conveniently, the heating element is used as a current-carrying semiconductor element use which is combined with a control track. Bevorzugt ist hierbei ein Sperrschichtfeldeffekttransistor. this is preferably a junction field effect transistor.
  • In Figur 1 ist schematisch ein Anwendungsfall gezeigt. 1 shows an application is schematically shown. Mit 10 sei ein Ausschnitt einer von einem Fluid durchströmten Rohrleitung gezeigt. 10 a section of a through which a fluid conduit is shown. Im Inneren 11 dieser Rohrleitung 10 ist ein Sensorelement nach der Erfindung so angeordnet, daß es von dem in Richtung der Pfeile 12 strömenden Fluid umströmt ist. In the interior 11 of the pipe 10, a sensor element is arranged according to the invention so that it is flowed around by the flowing in the direction of arrows 12 fluid. Zweckmäßigerweise ist das Sensorelement 13 wärmeleitend jedoch fluiddicht gekapselt. Conveniently, the sensor element 13 is, however, a heat-conducting fluid-tightly encapsulated.
  • Zu Meßzwecken werden diesem Sensorelement 13 über die Leitungen 14 Stromimpulse in einem vorbestimmten und Degrenzten Zeitintervall zugeleitet, wie dies mit dem Diagramm gemäß Figur 2a veranschaulicht ist. For measurement purposes this sensor element 13 are fed via the lines 14 and current pulses in a predetermined time interval Degrenzten, as is illustrated by the graph of Figure 2a. Die Zeitintervalle sind so bemessen, daß das Sensorelement, wie mit Figur 2b veranschaulicht ist, auf eine vorbestimmte Temperatur aufheizbar ist Kurven a, b in Fig. 2 b. The time intervals are dimensioned such that the sensor element, as illustrated by Figure 2b, can be heated to a predetermined temperature curves a, b in Fig. 2 b. Mittels eines über die Gate-Leitung 15 eingespeisten Steuerstromes kann die Heizleistung und damit die Endtemperatur eingestellt werden. By means of a fed via the gate line 15 control current, the heating power and thus the final temperature can be adjusted. Nach Beendigung des Heizintervalles, also zwischen zwei Stromimpulsen, während der sogenannten Kühlphase, kühlt das Sensorelement 13, das eine bestimmte Wärmekapazität hat, ab. After completion of the Heizintervalles, between two current pulses, during the so-called cooling phase, cooling the sensor element 13, which has a specific heat capacity decreases. Der Verlauf der aus Figur 2b während der Kühlphase ersichtlichen Abkühlungskurve hängt von Eigenschaften des Fluids, insbesondere der Fluidart und der Strömungsgeschwindigkeit, weitgehend ab. The course of from 2b apparent during the cooling phase cooling curve depends on properties of the fluid, particularly the fluid type and flow rate, largely on. Diese Abkühlungskurve kann durch Messung der Widerstandsänderung des Sensorelementes während der Kühlphase gemessen und zur Anzeige bzw. Aufzeichnung gebracht werden. This cooling curve can be measured by measuring the change in resistance of the sensor element during the cooling phase and brought to the display or recording. Zu diesem Zweck ist an die Leitungen 14 und 15 eine geeignete Meßschaltung anzuschließen. For this purpose, a suitable measuring circuit to be connected to the lines 14 and 15 °.
  • Aus dem Verlauf der Abkühlungskurve kann auf Strömungsgeschwindigkeit und damit auf den die Leitung durchfließenden Massenstrom rückgeschlossen werden. From the course of the cooling curve can be applied to flow velocity and thus draw conclusions on the line by flowing mass flow. Folglich eignet sich eine derartige Anordnung entweder zur Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit oder auch zur Bestimmung des Fluidverbrauches. Consequently, such an arrangement either for determining the flow speed or for determining the fluid consumption is suitable.
  • Bei konstanter Strömungsgeschwindigkeit in der Leitung 10 kann durch Analyse der Abkühlungskurven auf Art bzw. Zusammensetzung des Fluids in gleicher Weise geschlossen werden, da jede Fluidart eine spezifische Wärmeleitfähigkeit besitzt, die bei vorbestimmter Strömungsgeschwindigkeit zu einer vorbestimmten Abkühlungskurve, die mit dem Sensorelement 13 ermittelbar ist, führt. At a constant flow rate in the conduit 10 of the cooling curves on the type or composition of the fluid in the same way can be closed by analysis because each type of fluid having a thermal conductivity which, at a predetermined flow rate to a predetermined cooling curve is determined with the sensor element 13 leads. Handelt es sich hierbei um ein Fluidgemisch mit vorbestimmter Strömungsgeschwindigkeit und sind die spezifischen Wärmeleitfähigkeiten der Fluidbestandteile bekannt, so läßt sich mit Hilfe dieser Messung auch die Zusammensetzung oder das Mischungsverhältnis des Fluidgemisches bestimmen. Is this a fluid mixture with a predetermined flow rate and the specific thermal conductivity of the fluid components are known, as well as the composition or the mixture ratio of the fluid mixture can be determined by this measurement.
  • Schließlich ist es mit der gleichen Methode möglich, die Verschmutzung des Fluids, z. Finally, it is possible with the same method, the contamination of the fluid, z. B. bei hydraulischen Kreisen, durch Fremdstoffe festzustellen. Example, in hydraulic circuits to determine by foreign substances. Die in Figur 2b mit b und c bezeichneten Kurven veranschaulichen die unterschiedlichen Endtemperaturen bei Fluids mit unterschiedlichen Mischungsverhältnissen. The curves indicated in Figure 2b with b and c illustrate the different final temperatures in the fluid with different mixing ratios.
  • Die Auswerteelektronik kann sowohl mit dem Halbleiterplättchen des Sensorelementes integriert als auch, was bei höheren Temperaturen möglicherweise ratsam ist, getrennt vorgesehen sein. The transmitter can both integrated with the semiconductor die of the sensor element as well, which is probably a good idea at higher temperatures, be provided separately.
  • Die Bestimmung der Temperaturänderung während der Kühlphase, als die Messung der Abkühlgeschwindigkeit, reicht in vielen Anwendungsfällen, insbesondere bei statischen Verhältnissen. The determination of the temperature change during the cooling phase, as the measurement of the cooling rate is sufficient in many applications, in particular in static conditions. Es kann aber auch von Vorteil sein, stattdessen die Aufheizkurve der Meßsonde zu erfassen. but it can also be advantageous to instead capture the heating curve of the probe. Wie mit den Kurven a, b und c in Figur 2b während der Heizphase veranschaulicht ist, hängt deren Verlauf auch genauso wie der Verlauf der Abkühlkurve von den Eigenschaften des Fluids ab. As illustrated by the curves a, b and c in Figure 2b during the heating phase, the course also depends just as the course of the cooling curve of the characteristics of the fluid from.
  • Eine Auswertung dieser Kurven kann unter dynamischen Verhältnissen besonders nützlich sein. An analysis of these curves can be particularly useful in dynamic conditions. Hierbei ist ein periodisch intermittierender Betrieb, bei welchem das Sensorelement während der Heizphase aufgeheizt wird und während der Kühlphase als Meßelement dient, besonders vorteilhaft. Here, a periodically intermittent operation in which the sensor element during the heating phase is heated up and during the cooling phase acts as a measuring element, is particularly advantageous.
  • Bei Anordnung mehrerer, nahezu punktförmig ausbildbarer Sensorelemente der erfindungsgemäßen Art nach einem vorbestimmten Muster lassen sich Unterschiede in einem strömenden Medium, z. If a plurality of nearly point-like ausbildbarer sensor elements of the inventive type according to a predetermined pattern, differences in a flowing medium can be, for. B. Strömungsunterschiede wie Ubergänge laminarer Strömung in Turbulenz oder Abreißströmungen, gut erfassen. B. flow differences as transitions laminar flow in turbulence or Abreißströmungen, good capture.

Claims (10)

1. Verfahren zum Messen der Eigenschaften eines Fluids, insbesondere der Art, der Zusammensetzung, der Strömungsgeschwindigkeit bzw. des Massenstromes oder des Niveaus eines Fluids unter Verwendung eines mit dem Fluid in Wärmekontakt stehenden, von elektrischem Strom durchflossenen Sensorelementes mit temperaturabhängigem elektrischem Widerstand, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement während eines ersten vorbestimmten und begrenzten Zeitintervalls, der Heizphase, mit vorbestimmter elektrischer Leistung aufgeheizt, daß das Sensorelement während eines sich anschließenden, vorbestimmten und begrenzten Zeitintervalls, der Kühlphase, abgekühlt wird und da ß die Widerstandsänderung des Sensorelementes mindestens während einer der beiden Phasen gemessen wird. 1. A method for measuring the properties of a fluid, particularly of the type of the composition, the flow rate or the mass flow or the level in a fluid using a standing with the fluid in thermal contact through which electric current sensor element with temperature-dependent electrical resistance, characterized that the sensor element during a first predetermined and limited time interval, the heating phase, is heated at a predetermined electric power, that the sensor element subsequent during a is predetermined and limited time interval, the cooling phase, is cooled and as the resistance change ß of the sensor element at least during one of the both phases is measured.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung der Aufheizgeschwindigkeit die Widerstandsänderung des Sensorelementes während der Heizphase gemessen wird. 2. The method according to claim 1, characterized in that for determining the heating rate, the resistance change of the sensor element is measured during the heating phase.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung der Abkühlgeschwindigkeit die Widerstandsänderung des Sensorelementes während der Kühlphase gemessen wird. 3. The method according to claim 1, characterized in that for determining the cooling rate of the change in resistance of the sensor element is measured during the cooling phase.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Zeitintervall der Heizphase und/ oder Kühlphase mindestens so lang ist, daß sich Sensorelement und Fluid in einem stationären thermischen Gleichgewicht befinden. 4. The method of claim 1, 2 or 3, characterized in that the time interval of the heating phase and / or cooling period is at least as long that the sensor element and the fluid are in a steady thermal equilibrium.
5. Verfahren nach nur einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sich Heizphasen - und Kühlphasenintervall periodisch wiederholen. That 5. A method according to one of claims 1 to 4, characterized in heating phases - repeat and cooling phase interval periodically.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung der Widerstandsänderung die Steigung der Widerstandskurve in Abhängigkeit von der Zeit in einem vorgegebenen Zeitpunkt gemesssen wird. 6. A method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that for determining the resistance change of the slope of the resistance curve is precisely measured in function of time in a predetermined time.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung der Widerstandsänderung die Differenz der Widerstandswerte des Sensorelementes am Anfang und Ende der Heiz- bzw. Kühlphase gemessen wird. 7. A method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that for determining the resistance change of the difference of the resistance values ​​of the sensor element is measured at the beginning and end of the heating or cooling phase.
8. Sensorelement zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß es aus durch elektrischen Strom aufheizbaren Halbleitermaterial besteht und wenigstens einen für Temperaturmessung geeigneten pn-Ubergang aufweist. 8. The sensor element for performing the method according to one of claims 1 to 7, characterized in that it comprises heatable by electric current semiconductor material and at least one suitable for temperature measurement pn junction.
9. Sensorelement nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß es als Sperrschicht - oder MOS-Feldeffekttransistor ausgebildet ist. 9. A sensor element according to claim 8, characterized in that it as a barrier layer - is formed or MOS field effect transistor.
10.Sensor nach Anspruch 8 oder 9, gekennzeichnet durch die Anordnung in einem wärmeleitenden, jedoch fluiddichten Gehäuse. 10.Sensor according to claim 8 or 9, characterized by the arrangement in a heat-conducting, but fluid-tight housing.
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Legal Events

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18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 19870805

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: SCHUHWERK, ROLAND