DE3812020A1 - Einrichtung zur beruehrungslosen temperaturmessung - Google Patents
Einrichtung zur beruehrungslosen temperaturmessungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Einrichtung nach dem
Oberbegriff des 1. Anspruchs. Sie ist überall dort verwendbar,
wo die Messung auf optischem Wege durch ein durchsichtiges
Medium hindurch erfolgen muß, dessen Transparenz in nicht genau
vorauszubestimmender und nur schlecht quantifizierbarer Weise
Änderungen unterworfen ist. Sie wird im folgenden am Beispiel
eines besonderen Anwendungszweckes beschrieben, der sich im
Geschäftsbetrieb der Anmelderin ergeben hat. Dieser umfaßt auch
die Beschichtung von Gegenständen, insbesondere von Werkzeugen
mit einer harten, verschleißhemmenden Schicht aus Titannitrid
oder einem verwandten Material. Die Beschichtung erfolgt in
einer vorher evakuierten Kammer, in der (gegebenenfalls in
einer danach hergestellten Atmosphäre definierter
Zusammensetzung, z. B. aus Stickstoff) das Material einer
verzehrbare Kathode, z. B. aus Titan durch Zündung eines
Lichtbogens zwischen dieser und einer Anode in den
Plasmazustand überführt wird. Das Plasma (bzw. seine
Reaktionsprodukte) schlägt sich auf den in der Kammer in
geeigneter Weise angeordneten zu beschichtenden Gegenständen
nieder und unvermeidlicherweise auch auf der Innenwand der
Kammer selbst. Letzterer Niederschlag ist zwar nur gering, da
an die zu beschichten Gegenstände (die sogenannten "Substrate")
eine Spannung angelegt wird, durch die das Plasma vorzugsweise
auf dieselben gelenkt wird; er reicht jedoch aus, um zur
Beobachtung des Prozesses in der Kammerwand angeordnete
Sichtfenster von innen mit einem dünnen Überzug zu versehen,
durch den die Transparenz derselben herabgesetzt wird. Der
Beschichtungsprozeß läuft bei Temperaturen von 200-500°C ab
und bietet gegenüber bekannten ähnlichen Verfahren den Vorteil,
daß in diesem Temperaturbereich der Werkstoff der
Substrate (der im Falle von Werkzeugen durch vorhergehende
Behandlungen, z. B. Härten ein besonderes Gefüge erhalten haben
kann) in seinen Eigenschaften nicht ungünstig verändert wird.
Dazu ist selbstverständlich Voraussetzung, daß die für den
jeweiligen Werkstoff zulässigen Höchsttemperaturen im Laufe des
Prozesses nicht überschritten werden. Eine Temperaturmessung an
den Substraten selbst, etwa durch Thermoelemente ist
verhältnismäßig reaktionsträge und sehr aufwendig, da jedes
Substrat für sich mit einem solchen Temperaturaufnehmer
versehen werden müßte; zusätzliche Schwierigkeiten ergeben sich
dadurch, daß an die Substrate, wie oben dargelegt, eine
Spannung in der Größenordnung von 1000 V angelegt wird, um den
Plasmastrom zu lenken. Eine berührungslose Temperaturmessung,
wie sie auch bei der Beobachtung von Metallschmelzen verwendet
wird unter Einsatz einer Infrarotkamera oder eines Pyrometers
ist daher vorzuziehen. Die Meßgenauigkeit wird jedoch in nicht
genau nachvollziehbarer Weise durch die obenerwähnte
Transparenzänderung des Beobachtungsfensters beeinträchtigt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist eine Einrichtung zur
berührungslosen Temperaturmessung, insbesondere in PVD-
Beschichtungskammern, bei der der nachteilige Einfluß des
Niederschlages von Beschichtungs- oder anderen Stoffen
eliminiert wird; insbesondere soll die Einrichtung dazu
dienen, die Einhaltung von vorgegebenen Höchsttemperaturen
während der Durchführung der in der Kammer ablaufenden Prozesse
zu gewährleisten.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch die im kennzeichnenden
Teil des 1. Anspruchs angegebenen Merkmale. Unabhängig von den
vom Sensor gelieferten absoluten Werten bleibt das Verhältnis
zwischen den am Referenzkörper gemessenen, einer bekannten
Temperatur entsprechenden Werten und den an den Substraten
selbst gemessenen Werten gleich. Soll eine bestimmte Temperatur
eingehalten bzw. nicht überschritten werden, so wird
zweckmäßigerweise der Referenzkörper auf eben diese Temperatur
aufgeheizt, um den Einfluß von Unlinearitäten möglichst gering
zu halten. Der optische Sensor braucht nicht ständig, dem
fortschreitenden Grad der Verschmutzung des Sichtfensters
entsprechend nachjustiert werden und ebensowenig, wenn dieses
schließlich gesäubert oder ersetzt wird.
Die Ausgestaltung der Erfindung gemäß dem 2. Anspruch ist
geeignet, den Einfluß eines etwa unterschiedlichen Emissions
vermögens des Referenzkörpers und der Substrate auszuschalten.
Unter dem Begriff "Oberflächenbeschaffenheit" soll in diesem
Zusammenhang der Komplex aus werkstoffabhängigen Eigenschaften
und solchen Eigenschaften verstanden werden, die sich aus der
Struktur der Oberfläche ergeben.
Die weitere Ausgestaltung dieses Erfindungsgedankens im 3.
Anspruch bietet eine einfache Möglichkeit, den Referenzkörper
in seiner Oberflächenbeschaffenheit der möglicherweise
wechselnden Oberflächenbeschaffenheit der Substrate anzupassen,
bzw. nach Durchführung eines jeden Prozeßzyklus, wenn die
Kammer erneut mit noch unbeschichteten Substraten beschickt
wird, den Referenzkörper von dem ihm anhaftenden Belag aus dem
vorigen Zyklus zu befreien.
Im 4. Anspruch schließlich wird ein bevorzugter
Verwendungszweck der erfindungsgemäßen Einrichtung genannt.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist schematisch in der
Zeichnung dargestellt und zwar zeigt Fig. 1 eine mit der
erfindungsgemäßen Einrichtung versehene PVD-Beschichtungs
kammer im Längsaxialschnitt und Fig. 2 ein mit Hilfe der
Einrichtung gewonnenes typisches Meßdiagramm.
In einer mit Hilfe einer Pumpe 2 evakuierbaren Kammer 1 sind
auf einem wie angedeutet drehbaren Gestell 3 Gegenstände 4,
sogenannte Substrate 4 (z. B. Schneidwerkzeuge), die mit einer
verschleiß- und korrosionshemmenden Schicht, z. B. aus
Titannitrid versehen werden sollen. Hierzu wird zwischen als
Kathode geschalteten, im beschriebenen Fall aus Titan
bestehenden Verdampfern 5 und der als Anode geschalteten Wand
der Kammer 1 ein Lichtbogen gezündet, wodurch das Material der
Verdampfer 5 in den Plasmazustand überführt wird. Über einen
Einlaß 6 ist in die evakuierte Kammer 1 ein Reaktionsgas, im
Beispiel Stickstoff eingelassen worden, mit dem das Plasma
reagiert. Das Reaktionsprodukt, eben das gewünschte Titannitrid
schlägt sich dann bevorzugt auf den Substraten 4 nieder, da an
diese über das Gestell 3 wie angedeutet eine Spannung angelegt
wird, die das Plasma in Richtung derselben lenkt. Dennoch läßt
sich nicht vermeiden, daß sich geringe Mengen des
Reaktionsproduktes auf der Innenwand der Kammer 1
niederschlagen, darunter auch auf einem darin eingelassenen
Sichtfenster 7 aus einem temperaturfesten Glas. Durch das
Fenster 7 hindurch kann ein bekanntes optisches Temperatur
meßgerät, da es um einen Winkel Alpha (α) schwenkbar ist
nacheinander auf die verschiedenen Substrate 4 gerichtet
werden, um deren Temperatur zu messen. Der Schwenkvorgang
erfolgt zyklisch und im Verlaufe desselben wird durch den
Sensor 8 auch ein an der Kammer 1 befestigter Referenzkörper 9
erfaßt, der aus einer externen Stromquelle 10 mit einem
Heizstrom versorgt wird. Der Heizstrom wird in einer Regelungs
und Auswertungseinheit 11 so eingestellt, daß der
Referenzkörper 9 auf eine bestimmte, vorgegebene Temperatur
aufgeheizt wird. Der Sensor 8 liefert dann (siehe Fig. 2) in
dem mit A bezeichneten Bereich den über dem Winkel Alpha
aufgetragenen Wert, der definitionsgemäß der Temperatur des
Referenzkörpers entspricht. In dem mit B bezeichneten Bereich,
über den nacheinander die verschiedenen Substrate 4 abgetastet
werden, ergeben sich dann Werte, die durch Inbezugsetzung mit
dem Referenzwert die gesuchten Temperaturen der Substrate 4
ergeben. Dies ist unabhängig von dem im Verlaufe des
Beschichtungsprozesses zunehmenden Belag auf dem Sichtfenster
7, da der Referenzmeßkörper 9 zweckmäßigerweise vor Beginn
jedes Beschichtungszyklus mit einer neuen Umhüllung 12 (z. B.
in Form von Folie) aus dem gleichen Material versehen wird, aus
dem die Substrate 4 hergestellt sind. Es ergibt sich dann ein
gleiches Emissionsverhalten für beide, und in der Regelungs
und Auswerteeinheit 11 brauchen hierfür keine Korrekturen am
vom Sensor 8 gelieferten Wert angebracht werden. Dagegen muß
ein Ausgleich für den unterschiedlichen Abstand geschaffen
werden, den der Referenzmeßkörper 9 und die Substrate 4 vom
Sensor 8 haben. Dieser ist jedoch nur von der (bekannten)
Geometrie abhängig und während des Prozesses unveränderlich.
Claims (4)
1. Einrichtung zur berührungslosen Messung der Temperatur
von Gegenständen (4), die in einer geschlossenen, mit einem
Sichtfenster (7) versehenen Kammer (1) angeordnet sind, mittels
eines richtbaren optischen Sensors (8),
dadurch gekennzeichnet,
daß der Sensor (8) zyklisch auf die Gegenstände (4) richtbar
ist und auf einen eine Referenzmeßstelle bildenden, innerhalb
der Kammer (1) angeordneten und auf eine definierte Temperatur
aufheizbaren Körper (9).
2. Einrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Referenzkörper (9) die gleiche
Oberflächenbeschaffenheit wie die zu messenden Gegenstände (4)
aufweist.
3. Einrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Referenzkörper mit einer gegebenenfalls auswechselbaren
Umhüllung (12) aus dem Werkstoff der zu messenden Gegenstände
(4) versehbar ist.
4. Verwendung einer Einrichtung nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 3 zur Temperaturmessung von Gegenständen (4),
die in einer evakuierbaren Kammer (1) angeordnet sind und durch
Niederschlag eines gegebenenfalls mit einer definierten
Gasatmosphäre reagierten, durch eine Lichtbogenentladung in den
Plasmazustand überführten Material beschichtbar sind.
Priority Applications (2)
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Publications (1)
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ID=6351744
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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1988
- 1988-04-11 DE DE19883812020 patent/DE3812020A1/de not_active Withdrawn
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