DE3806762A1 - Verfahren zur lokalen erhoehung der optischen transparenz von siliziummembranen - Google Patents

Verfahren zur lokalen erhoehung der optischen transparenz von siliziummembranen

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    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0019779B1 (de) * 1979-06-01 1983-10-12 International Business Machines Corporation Schattenwurfmaske zum Strukturieren von Oberflächenbereichen und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE3338717A1 (de) * 1983-10-25 1985-05-02 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur herstellung einer roentgenmaske mit metalltraegerfolie

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US-Z.: Solid State Techn. Okt. 84, S. 205-208 *

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