DE3762472D1 - Verfahren und vorrichtung zur entladung nichtleitender proben waehrend einer ionenstrahl-analyse. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur entladung nichtleitender proben waehrend einer ionenstrahl-analyse.

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DE3762472D1 DE8787401592T DE3762472T DE3762472D1 DE 3762472 D1 DE3762472 D1 DE 3762472D1 DE 8787401592 T DE8787401592 T DE 8787401592T DE 3762472 T DE3762472 T DE 3762472T DE 3762472 D1 DE3762472 D1 DE 3762472D1
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
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