DE3688096T2 - Vorrichtung zur pruefung einer duennen schicht von ueberzugsmaterial. - Google Patents

Vorrichtung zur pruefung einer duennen schicht von ueberzugsmaterial.

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Description

    HINTERGRUND DER EREINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Prüfvorrichtung zur Prüfung einer dünnen Schicht von Überzugsmaterial, das auf einem behandelten Material aufgetragen ist. Die Vorrichtung wird z. B. eingesetzt zum Untersuchen der Qualität eines Primers oder einer Grundierung, die auf Randbereiche einer Frontscheibe, einer Rückscheibe oder ähnlichem eines Automobils aufgebracht ist.
  • Bei Montageprozessen des Automobils wird eine Fensterscheibe, wie etwa eine Front- und Heckscheibe an einem Fensterrahmen einer Automobilkarosserie befestigt, nachdem ihr gesamter Umfang mit einem Dichtungsmaterial beschichtet ist. Ferner, vor dem Auftragen des Dichtungsmaterials, wird schwarzer Primer auf eine Oberfläche der Fensterscheibe und des Fensterrahmens aufgetragen, um die Zuverlässigkeit der Adhäsion dazwischen zu steigern. Eine derartige Auftragearbeit des Dichtungsmaterials und des Primers nützt eine Vielfalt von Manipulatortypen und ist somit automatisiert.
  • Die Überzugsmaterialien verändern sich jedoch üblicherweise stark hinsichtlich des Fließvermögens, des Oberflächenzustands oder ähnlichem mit der Temperatur oder in Abhängigkeit davon, ob sie mit Luft oder ähnlichem Kontakt haben oder nicht. Ferner, verändern sich die beschichteten Materialien in aufgetragenem Zustand mit der verwendeten Menge, der Auftragsgeschwindigkeit oder ähnlichem. Folglich wird es relativ schwierig, die quantitative Steuerung der Materialien beim Überzugsprozeß zu erzielen und die Materialien in einem konstanten Zustand aufzubringen. Daher wird der normale Überzug nicht immer erwartet. Z.B. tritt oft ein Problem dahingehend auf, daß der aufgebrachte Primer durchscheinende Abschnitte aufgrund seiner unzureichenden Filmdicke besitzt oder daß der Überzug als solcher ungenau wird, was auf die unzureichende Menge des verwendeten Primers zurückzuführen ist.
  • Bislang, während die Überzugsarbeit automatisiert ist, beobachtet im Hinblick auf die zu untersuchende Arbeit eine Bedienperson immer noch direkt oder indirekt, z. B. über ITV (industrielle Television), ob der Überzug normal durchgeführt wird oder nicht. Dementsprechend, als Ergebnis der Veränderung des Kriteriums der Bedienperson, ist die Qualität des Überzugs Unregelmäßigkeiten unterworfen, und ferner können Überprüfungsfehler auftreten. Daneben führt die für eine derartige Überprüfungstätigkeit aufgewandte Arbeit zu einem Kostenanstieg. Ferner, da Fensterglas, das einer Schwarz-Keramik-Behandlung an seinem Randbereich unterzogen wurde, die heutzutage in zunehmendem Maße eingesetzt wird, wird es nahezu unmöglich, mit dem menschlichen Auge den Zustand des aufgetragenen schwarzen Primers zu untersuchen.
  • Es trifft zu, daß ITV eingesetzt werden kann, um eine automatische Untersuchung durchzuführen, nichts desto trotz treten Schwierigkeiten bei einer derartigen Untersuchung aufgrund der Tatsache auf, daß die Schwarz-Keramik-Behandlung und der Primer bezüglich der Farbe identisch sind. Zusätzlich dazu besteht das Problem, daß hohe Kosten auftreten, da das ITV mit vergleichsweise großer Größe vorliegt und dessen Signaloperationen kompliziert sind.
  • NL-A-7 105 871 beschreibt eine Überprüfungsvorrichtung zur Überprüfung einer dünnen Schicht von Überzugsmaterial, aufgetragen auf ein behandeltes Material, wobei die Überprüfungsvorrichtung umfaßt: einen Projektor und einen Fotoempfänger, angeordnet vertikal über dem behandelten Material, einen Manipulator zum Ermöglichen von relativer Bewegung des Projektors und des Fotoempfängers entlang des Überzugsmaterials, aufgebracht auf das behandelte Material; und einen elektrischen Schaltkreisteil zum Erzeugen eines Steuersignals, wenn ein Ausgangssignal des Fotoempfängers einen bestimmten Wert überschreitet.
  • US-A-2 641 158 beschreibt eine Vorrichtung zur Bestimmung der Dichteschwankung in einem Film, umfassend eine Lichtquelle und einen Fotoempfänger, angeordnet auf gegenüberliegenden Seiten des Films. Das Licht von der Lichtquelle wird durch den Film auf einen rohrartigen Vergrößerer geworfen, der ein einfaches Mikroskop sein kann, bevor es auf dem Lichtempfänger fokussiert wird. Ein Meßschaltkreis zur Bestimmung der Reaktion des Lichtempfängers ist vorgesehen.
  • Die Identifikation von schwachen, streifenartigen Fehlern in laufenden Geweben und Blättern durch transversales Abtasten unterschiedlicher, lateraler Abschnitte der Gewebe oder Blätter mittels Linien von Strahlungsenergie, die parallel zur Bewegungsrichtung der Gewebe oder Blätter verlaufen, ist in EP-A-0 006 648 beschrieben. Die übertragene oder reflektierte Strahlung wird auf korrespondierenden Fotozellen empfangen, die sich synchron mit den Linien von Strahlungsenergie bewegen. Während jeder Abtastung jedes Abschnitts der Gewebe oder Blätter tritt eine große Anzahl von Vergleichen zwischen den Ausgangssignalen von jeder Fotozelle bei einer gegebenen, ersten lateralen Position und einer zweiten lateralen Position auf, die von der ersten durch eine Entfernung b getrennt ist, der in der Größenordnung der Breite a und vorzugsweise der Hälfte der Breite eines zu identifizierenden, streifenartigen Defekts ist.
  • Die Vorrichtung erfordert zwei Gruppen von Lichtstrahlern und Fotodetektoren und ist entworfen, um als selbständiges Ausrüstungsteil verwendet zu werden.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung wurde mit dem Ziel gemacht, die zuvor erwähnten Probleme zu lösen.
  • Demnach ist es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine einfache und kleine Prüfvorrichtung zur Überprüfung der Qualität einer dünnen Schicht von Überzugsmaterial, aufgebracht auf ein behandeltes Material, durch eine optische Einrichtung zu schaffen, die für Streulicht unempfindlich ist.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine Überzugsvorrichtung zu schaffen, die die Automatisierung eines Prüfvorgangs ebenso wie eines Überzugsvorgangs gestattet und gleichzeitig die beiden Vorgänge im wesentlichen simultan in demselben Prozeß bewirkt.
  • Die Aufgaben der Erfindung werden gelöst durch eine Prüfvorrichtung zur Prüfung einer dünnen Schicht von Überzugsmaterial wie im Anspruch 1 festgelegt.
  • Andere Merkmale der Erfindung werden deutlicher aus der folgenden Beschreibung und den folgenden Zeichnungen, in denen
  • Fig. 1 eine Frontansicht ist, die eine Prüfvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung zeigt;
  • Fig. 2 eine Seitenansicht ist, gesehen aus der Richtung des Pfeiles II in Fig. 1;
  • Fig. 3 eine vergrößerte Ausschnittsvorderansicht ist, die eine Fotosensorvorrichtung aus Fig. 1 zeigt;
  • Fig. 4 eine allgemeine schematische Draufsicht ist, die die Prüfvorrichtung der Erfindung zeigt;
  • Fig. 5 ein Blockdiagramm ist, das ein Ausführungsbeispiel eines elektrischen Schaltkreisteils der Prüfvorrichtung darstellt;
  • Fig. 6A und 6B jeweils Ansichten sind, die Beispiele der Bewegung der Fotosensorvorrichtung in einem Eckbereich eines Werkstücks darstellen.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DES BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS
  • Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Überzugsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben, die ausgelegt ist, um eine schwarze Grundierung auf eine Frontscheibenoberfläche bei einem Automobil aufzubringen und sie ferner zu prüfen.
  • In Fig. 4 wird das Werkstück W einer Frontscheibe, die einer Schwarz-Keramik-Behandlung C an ihrem Umfang unterzogen wurde, sukzessiv auf einem schrittweise arbeitenden Förderer 1 transportiert. Das Werkstück W wird positioniert und steht in einer Station für den Prozeß des Überziehens der schwarzen Grundierung still. An dieser Station ist eine Überzugsvorrichtung angeordnet, bestehend aus einem Roboter 2 mit mehreren Gelenkarmen, der dafür ausgelegt ist, die schwarze Grundierung P in einer vorgegebenen Breite auf den gesamten Umfang der oberen Oberfläche des Werkstücks W aufzubringen, wie durch eine unterbrochene Linie dargestellt ist, und um automatisch nachzuprüfen, ob der Überzug regelmäßig erfolgt ist oder nicht.
  • Ebenfalls bezugnehmend auf die Fig. 1 bis 3 besitzt der Roboter 2 ein Drehhandgelenk 2b und eine gebogenes Handgelenk 2c am Ende eines Arms 2a. Der untere Flanschabschnitt des Handgelenks 2c ist mit einem Pinsel 4 als Überzugsmittel und mit einer Fotosensorvorrichtung 5 als Prüfvorrichtung über einen Träger 3 ausgestattet. Der Pinsel 4 ist aus einem hohlen Kernmaterial und einer Anzahl von darum herum angeordneten Haaren hergestellt.
  • Die Grundierung wird unter Druck von einer nicht-dargestellten Druckzuführeinrichtung für das Überzugsmaterial über Zuleitungen 6a und 6b und ein Ventil 7 zugeführt. Die Grundierung fließt dann in einen Basisteil 4a des Pinsel 4 und tritt durch einen hohlen Teil und durchdringt danach den Haarteil 4b, so daß sie auf die Oberfläche des Werkstücks W aufgetragen werden kann, das der Schwarz-Keramik-Behandlung unterzogen wurde, um darauf einen Film von ungefähr einigen Millimetern Breite und zehn und einige um Dicke zu bilden.
  • Die Fotosensorvorrichtung 5, die in einer vorgegebenen Entfernung hinter dem Pinsel 4 angeordnet ist, dient zur Untersuchung der Beschaffenheit der mit Hilfe des Pinsels 4 aufgetragenen Grundierung. Ein Fotoempfänger 8 und ein Projektor 9 sind vertikal über und unter dem Werkstück w vorgesehen, um eine Änderung der durch den Fotoempfänger 8 empfangenen Lichtmenge zu bestimmen, die von der Filmbeschaffenheit des Grundierers abhängt. Der Fotoempfänger 8 besitzt einen Fotodetektor 12, der in einem zylindrischen Halter 11 am Ende eines Fotoempfangsarmes 10 angeordnet ist, und eine streulichtausschließende Röhre 14, die mit Hilfe einer Justierschraube 13 festzustellen ist. Dabei besitzt der Projektor 9 ein lichtaussendendes Element 17, das in einem zylindrischen Halter 16 am Ende des Projektionsarmes 15 gehalten wird. Als Fotodetektor 12 wird eine Fotodiode, ein Fototransistor oder dgl. eingesetzt, während als lichtaußendes Element eine lichtemittierende Diode, eine elektrische Glühbirne oder dgl. verwendet wird.
  • Der Fotoempfangsarm 10 und der Projektionsarm 15 sind jeweils an ihren Grundabschnitten an Befestigungsgrundteilen 18 und 19 befestigt. Diese Grundteile 18 und 19 sind mit dem Träger 3 über Gewindestangen 20a und 20b, einer Mutter 21 usw. auf eine Art befestigt, daß sie bezüglich ihrer relativen Höhe justierbar sind.
  • Daneben kennzeichnen Bezugszeichen 10a und 15a einzeln Halteteile, die an den Enden des Fotoempfangsarmes 10 und des Projektionsarmes 15 installiert sind, 10b und 15b Abdeckungen, 22 eine transparente Abdeckung, 23 einen Relaiskasten und 23a eine elektrische Leitung.
  • Fig. 5 zeigt ein Blockdiagramm, das den Relaiskasten 23 und einen elektrischen Schaltungsteil 24 zeigt, der in einem nicht-dargestellten Steuerkasten vorgesehen ist. In Fig. 5 wird das Ausgangssignal eines Treiberteils 26 mit Hilfe eines Oszillators 25 amplitudenmoduliert, der in der Lage ist, die Frequenz um einige kHz herum so zu regeln, daß das lichtaussendende Element 17, z. B. in diesem Fall die lichtemittierende Diode, veranlaßt wird, Licht zu emittieren durch Zuführen eines elektrischen Stroms. Aus dem Ausgangssignal des Fotodetektors 12 wird eine Lichtkomponente von dem lichtaussendenden Element allein weitergeleitet und mit Hilfe eines Bandpaßfilters 27 zurückgewonnen und dann durch einen Verstärker 28 auf einen geeigneten Pegel verstärkt.
  • Danach wird dieses Signal durch einen Vergleicher 29 mit einem Bezugswert verglichen. Wenn das Ausgangssignal des Verstärkers 28 größer ist als der Bezugswert, d. h. wenn die Menge des vom Fotodetektor 12 empfangenen nichts größer ist als eine Bezugsmenge, betätigt der Vergleicher 29 einen Ausgangsteil 30, um ein Ein-/Aus-Steuersignal S1 hervorzubringen. Ein externer Eingang 31 ist vorgesehen, um zwangsweise das Steuersignal S1 in einen Aus-Zustand zu versetzen. Die Aufgabe des externen Eingang 31 ist es, zu verhindern, daß ein unnötiges Steuersignal S1 erzeugt wird, wenn der Fotodetektor 12 sich in einer Stellung befindet, die für die Untersuchung der Grundierung auf dem Werkstück W, wie unten beschrieben, ungeeignet ist (da eine derartige Situation üblicherweise durch den Steuerungszustand des Roboters 2 bestimmt wird, kann ein Signal durch den Steuerschaltkreis des Roboters 2 erzeugt werden).
  • Daneben bezeichnen die Bezugszeichen 25a, 28a und 29a Frequenz-, Verstärkungs- bzw. Bezugswertregeleinrichtungen.
  • Nachfolgend wird nunmehr beschrieben, wie der Roboter 2 arbeitet, und inbesondere, wie der Pinsel 4 und die Fotosensorvorrichtung 5 hinsichtlich ihrer Positionen, bezogen auf das Werkstück w, gesteuert werden.
  • Zuerst wird die Grundierung mit vorgegebener Breite und Dicke auf das Werkstück W aufgetragen, das an einer vorbestimmten Position angeordnet ist, nachdem sich der Pinsel 4 auf dem gesamten Umfang und entlang der Oberfläche des Werkstücks bewegt. Dabei werden im voraus Justierungen der Flußrate und der Temperatur der Grundierung, die unter Druck über die Zuleitungen 6a und 6b zugeführt wird, der Ein-/Aus-Zeitsteuerung des Ventils 7 und des Maßes des Anpressens und der Geschwindigkeit des Haarteils 4b des Pinsels 4 gegen das Werkstück W vorgenommen.
  • Dann wird das Ende der streulichtausschließenden Röhre 14 der Fotosensorvorrichtung 5, gehalten in einer bestimmten, geringen Entfernung zur Oberfläche des Werkstücks W, entlang der darauf durch den Pinsel 4 aufgetragenen Grundierung bewegt. Um dies zu tun, sind der Fotoempfänger 8 und der Projektor 9 bezüglich ihrer Höhen mittels der Gewindestange 20a und 20b justiert, und auch die Mutter 21 und die streulichtausschließende Röhre 14 ist hinsichtlich des Maßes des Einfügens in den Halteteil 10a ebenfalls justiert. Ferner wird dem Roboter 2 ein Befehl oder ein Programm gegeben, um eine derartige, bestimmte Bewegung, wie oben erwähnt, durchzuführen.
  • Bezugnehmend auf die Bewegung in einem Eckbereich des Werkstücks w kann der Pinsel 4 und die lichtausschließende Röhre 14 so bewegt werden, daß sie denselben Weg verlassen, wie in Fig. 6A dargestellt, selbst bei geringfügig unterschiedlichen Geschwindigkeiten, wenn der Haarteil 4b wie bei diesem Ausführungsbeispiel im Querschnitt kreisförmig ist, und somit besitzt der Pinsel 4 keine Möglichkeit fortschreitender Richtungen.
  • Im Gegensatz dazu wird der Pinsel 4 im Eckbereich gedreht, um die Richtung zu ändern, in der er sich bewegt, wenn der Pinsel 4, der einen Haarteil 4b mit großer Länge besitzt oder der eine spezielle Form aufweist, unveränderlich in eine bestimmte Richtung zu gehen hat. Dementsprechend verläßt die streulichtausschließende Röhre 14 die Spur des Pinsels 4, wie in Fig. 6B dargestellt. In diesem Fall überträgt der Steuerschaltkreis des Roboters 2 ein Signal an den externen Eingang 31 des elektrischen Schaltkreisteils 24 in der Fotosensorvorrichtung 5, so daß kein Steuersignal S1 irrtümlicherweise irgendwie übertragen werden kann.
  • Durch dieses Steuersignal ist der folgende Schritt gegen die außerordentliche Situation zu unternehmen. Dann wird eine Warnlampe oder ein Summer betätigt, der Roboter angehalten, erfaßte, unregelmäßige Abschnitte erneut überzogen oder das ganze fehlerhafte Werkstück W von einer Hauptlinie entfernt oder dgl.
  • Nunmehr bezugnehmend auf das detaillierte Arbeiten der Vorrichtung, wenn das durch den Förderer 1 transportierte Werkstück W in eine vorbestimmte Position gebracht wird, betätigt der Roboter 2 den Pinsel 4, um ihn zu einem Überzugsanfangspunkt zu bewegen und das Ventil 7 wird geöffnet. Dann trägt der eine vorbestimmte Spur auf dem Werkstück W machende Pinsel 4 die Grundierung P darauf auf und gleichzeitig überprüft die Fotosensorvorrichtung 5 die derart aufgetragene Grundierung. Wenn transparente oder unscharfe Abschnitte in der Grundierung festgestellt werden, wird ein Steuersignal S1 erzeugt, so daß ein außerordentlicher Alarm ertönt, und ein vorbestimmter Schritt vorgenommen wird.
  • Bei der Fotosensorvorrichtung 5 verläuft vom lichtaussendenden Element 17 ausgesandtes Licht durch die Abdeckung 22 und ferner nach oben durch das Werkstück W und dann durch die streulichtausschließende Röhre 14, um den Fotodetektor 12 zu erreichen, in dem das Licht in eine elektrisches Signal umgewandelt wird, das dessen Intensität entspricht. Dabei blenden die Schwarz-Keramik-Behandlung C auf dem Werkstück W und die darauf aufgebrachte Grundierung P teilweise das durch das Werkstück verlaufende Licht aus und daher wird die übertragene Lichtmenge reduziert.
  • Je mehr transparente oder unscharfe Bereiche die aufgetragene Grundierung besitzt oder je schmaler sie ist, desto größer wird die beobachtete Lichtmenge, die durch das Werkstück W hindurchtritt, als die normale Menge. Somit wird das durch das Werkstück hindurchlaufende Licht durch die Schwarz-Keramik-Behandlung C um einige Prozent reduziert und ggf. durch die Grundierung um einige Zehntel reduziert. Dementsprechend kann es selbst festgestellt werden, daß eine derartig kleine Menge von hindurchgelaufenem Licht entsprechend der Beschaffenheit der Grundierung P sich veränderte.
  • Der Grenzwert zwischen normalen und anormalen Werten wird durch die Regeleinrichtung 29a bestimmt. Der externe Eingang 31 verhindert, daß ein Steuersignal S1 abgegeben wird, wenn die Überzugsarbeit begonnen wird oder wenn die Fotosensorvorrichtung 5 nicht in der Lage ist, normal die Prüfung der Grundierung durchzuführen, wie in Fig. 6B gezeigt.
  • Beim obigen Ausführungsbeispiel ermöglicht es der Pinsel 4, daß die Grundierung P auf das Werkstück W entlang der vorgegebenen Spur oder Linie aufgebracht wird. Ferner kann die Fotosensorvorrichtung 5 die Qualität der aufgebrachten Grundierung P überprüfen. Wenn sie feststellt, daß die Grundierung P unregelmäßige Abschnitte, wie etwa transparente oder unscharfe Abschnitte besitzt, erzeugt sie ein Signal, so daß ein geeigneter Schritt unternommen werden kann. Da die Fotosensorvorrichtung 5 integral mit dem Pinsel 4 ausgebildet und dafür ausgelegt ist, in einem vorgegebenen Abstand hinter dem Pinsel 4 unter dessen Steuerung sich zu bewegen, kann sie die Prüfung der Grundierung im wesentlichen gleichzeitig mit dem Überzugsvorgang des Pinsels 4 durchführen. Dementsprechend ist kein spezieller Prozeß zur Überprüfung erforderlich und daher ist die erforderliche Zeit in großem Maße reduziert.
  • Ferner können Ausrüstungskosten und -raum auf die Hälfte abgesenkt werden, da es nicht notwendig ist, einen zusätzlichen Prüfroboter zu installieren. Die erforderliche Zeit kann auf die Hälfte im Vergleich zu den Fällen reduziert werden, in denen ein einzelner Roboter abwechselnd den Pinsel 4 und die Fotosensorvorrichtung 5 zu tragen hat, um seinen Betrieb durchzuführen. Ferner ist es extrem einfach, Maßnahmen gegen die Situation zu unternehmen, in der der außerordentliche Zustand durch Überprüfen erfaßt wird, und minderwertige Güter des Werkstücks W können auf ein Minimum reduziert werden, wodurch es möglich wird, den Ausstoß zu verbessern.
  • Da die Fotosensorvorrichtung 5 einen einfachen Aufbau besitzt, kann sie klein und leicht sein und dementsprechend kann sie zu geringen Kosten hergestellt werden. Daneben kann der elektrische Schaltkreisteil 24 in kleiner Größe zu geringen Kosten hergestellt werden, da die Signaloperationen einfach sind. Zusätzlich kann die Fotosensorvorrichtung 5 mit einer höheren Präzision versehen werden, indem die streulichtausschließende Röhre 14 in der Lage ist, sämtliches, unnötig gebrochenes, störendes oder ähnliches Licht auszublenden.
  • Beim obigen Ausführungsbeispiel wurden ein einzelner Fotodetektor 12 und ein einzelnes lichtaussendendes Element 17 eingesetzt, jedoch können eine Vielzahl von Fotodetektoren und lichtaussendenden Elementen nebeneinander gestellt werden, um die Detektionsweite zu vergrößern. Eine Kombination eines geeigneten Schlitzes und einer Linse kann eingesetzt werden, um die aufgetragene Breite zu untersuchen. Die Bestimmung kann kaum durch störendes Licht beeinflußt werden, wenn Infrarotlicht dafür-eingesetzt wird. Anstelle des Pinsels 4 kann eine Düse, ein Roller oder ähnliches eingesetzt werden. Als Roboter 2 können andere Arten von Manipulatoren verwendet werden, die dafür ausgelegt sind, das Werkstück W während des Überziehens zu bewegen.
  • Das Überzugsmaterial kann als Anstrich und Kleber ebenso wie als Grundierung verwendet werden. Als Werkstück W wird Glas verwendet mit einem Umfang, der der Schwarz-Keramik-Behandlung unterzogen wurde, aber ebenso kann Glas verwendet werden, das einer derartigen Behandlung nicht unterzogen wurde, in welchem Fall die in großer Breite aufzutragende schwarze Grundierung anstelle der Schwarz-Keramik-Behandlung C gesetzt werden kann. Es kann ebenfalls veranlaßt werden, daß ein Teil des von dem lichtaussendenden Element 17 ausgesandten Lichts nicht durch das Werkstück w hindurchverläuft, sondern von einem weiteren Fotodetektor empfangen wird, um die Veränderung der Menge des ausgesandten Lichts mit einem resultierenden Signal zu korrigieren.

Claims (3)

1. Prüfvorrichtung zur Prüfung eines Dünnfilm-Überzugsmaterials, aufgebracht auf einer vorbestimmten Spur auf einem behandelten Material, wobei die Prüfvorrichtung umfaßt:
einen Projektor (9) und einen Fotoempfänger (8), angeordnet in einer Art entgegengesetzt zueinander, während das behandelte Material (W) dazwischen angeordnet ist;
einen Manipulator (2) zum Ermöglichen einer relativen Bewegung des Projektors (9) und des Fotoempfängers (8) entlang des Überzugsmaterials, aufgebracht auf das behandelte Material (W);
einen elektrischen Schaltkreisteil (24) zum Erzeugen eines ersten Steuersignals (51), das einen Defekt in dem Dünnfilm-Überzugsmaterials anzeigt, aufgebracht auf das behandelte Material (W);
wobei der elektrische Schaltkreisteil (24) umfaßt, einen Treiberteil (26) zum Antreiben eines lichtaussendenden Elements (17) des Projektors (9) durch einen elektrischen Strom; wobei die Amplitude des elektrischen Stroms in dem Treiberteil (26) bei einer gegebenen Frequenz von einigen kHz durch einen Oszillator (25) moduliert ist; wobei ein Bandpaßfilter (27) an den Ausgang des Fotodetektors (12) angeschlossen ist, der das von dem lichtaussendenden Element (17) ausgesandte Licht empfängt;
Vergleichermittel (29, 30) zum Vergleichen eines Ausgangssignals vom Bandpaßfilter (27) mit einem anderen Wert und zum Erzeugen des ersten Steuersignals (S1), wenn das Ausgangssignal vom Bandpaßfilter (27) sich von dem anderen Wert um einen vorbestimmten Betrag unterscheidet; und einen Steuerschaltkreis;
wobei der Bandpaßfilter (27) eine Komponente des Ausgangssignals des Fotodetektors (12) wiederherstellt, die nur von dem von dem lichtaussendenden Element (17) ausgesandten Licht herrührt, das auf den Fotodetektor (12) fällt;
wobei der andere Wert ein einstellbarer Bezugswert ist;
wobei das erste Steuersignal (S1) abgegeben wird, wenn das Ausgangssignal des Bandpaßfilters (27) den einstellbaren Bezugswert als Ergebnis eines Anstiegs der Lichtübertragung zwischen dem Projektor (9) und dem Fotodetektor (8) überschreitet; und
wobei der Manipulator (2) integral befestigt ist mit Überzugsmitteln (4) zum Auftragen oder Entfernen des Überzugsmaterials auf das behandelte Material (W) und wobei der Projektor (9) und der Fotodetektor (8) angeordnet sind, um hinter den Überzugsmitteln (4) in der Richtung zu folgen, in der die Überzugsmittel (4) voranschreiten und wobei der Steuerschaltkreis ein zweites Steuersignal (31) abgibt, um zu verhindern, daß die Vergleichermittel (29, 30) das erste Steuersignal (S1) abgegeben, wenn der Projektor (9) und der Fotoempfänger (8) abseits der Spur des Dünnfilm-Überzugsmaterials sind, das auf das behandelte Material aufgebracht wird.
2. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Fotoempfänger (8) einen in einem Halter (11) gehaltenen Fotodetektor (12) und eine lichtausblendende Röhre (14) aufweist, die ein Ende besitzt, das im wesentlichen benachbart zu einer Oberfläche des behandelten Materials angeordnet ist.
3. Prüfvorrichtung nach Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das lichtaussendende Element (17) ein infrarotlichtaussendendes Element ist.
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