CN110118529B - 一种圆片尺寸的测量方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种圆片尺寸的测量方法。该测量方法利用机器人根据接收到的测量信号，带动机械抓手移动真空吸头至相应的吸取工位并吸取超薄圆片；其次带动吸取的圆片移动至拍照工位，拍照机构根据不同类型的圆片提取内外径及圆心后，将数据反馈给机器人，机器人根据圆心信息调整坐标系将其放置至测量工位；测量机构完成圆片厚度测量并将数据反馈给机器人，机器人对测量厚度进行判定，最后吸取测量工位处的圆片按照放回方法自动放回至托盘的相应位置。本发明的圆片尺寸的测量方法具有自动、高效、智能化的优点，可用于工业推广。

Description

一种圆片尺寸的测量方法
技术领域
本发明属于自动测量技术领域，具体涉及一种圆片尺寸的测量方法。
背景技术
在工程项目中，有时涉及到多种超薄圆片的厚度及直径测量，包括特殊几何尺寸相差较大的圆片，超薄圆片在自然状态下，存在重量轻、易漂浮、厚度薄、易弯曲变形等特性，易漂浮特性使得圆片厚度测量存在偏差，易弯曲变形的特性使得直径测量精度难以保证。
目前超薄圆片的厚度测量常采用螺旋测微仪单个测量逐个测量，耗时较长，圆片直径测量采用多个同类圆片重叠增加厚度，利用卡尺等工具测量，测量精度难以保证，且无法用于自动化生产线的多种超薄圆片自动测量。
当前，针对多种超薄圆片的自动测量方法尚未见报道。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种圆片尺寸的测量方法。
本发明的一种圆片尺寸的测量方法使用的测量装置包括拍照机构、托盘机构、测量机构、机械抓手、机器人和支撑台，所述的拍照机构安装在支撑台的下表面，托盘机构、测量机构和具有机械抓手的机器人安装在支撑台的上表面；
托盘机构放置待测量圆片，机器人驱动机械抓手吸取托盘机构上的待测量圆片，拍照机构测量待测量圆片的直径和圆心位置坐标，测量机构测量待测量圆片的厚度；
所述的测量机构包括测量台、测量笔I、测量笔II、测量笔III、测量笔IV、测量过渡件、锁紧螺钉、真空发生器I、真空发生器II和旋转气缸，测量过渡件通过螺纹与旋转气缸固定，测量笔I、测量笔II、测量笔III和测量笔IV分别插入测量过渡件的装配孔内，并分别通过锁紧螺钉固定测量笔I、测量笔II、测量笔III和测量笔IV在装配孔中的轴向位置；测量台具有测量水平面，真空发生器I和真空发生器II为测量台的测量水平面提供真空吸力，通过螺纹固定于支撑台上，旋转气缸为测量笔I、测量笔II、测量笔III、测量笔IV提供下压力；
所述的测量台的测量水平面上钻有六个内小深孔和六个外小深孔，在测量台正面钻有两组通孔，两组通孔的两端分别攻有螺纹，利用螺钉对通孔进行密封，一组通孔只与6个外小深孔相连，并在测量台侧面钻有一组盲孔与通孔相连，盲孔攻有螺纹，利用螺钉对通孔进行密封，其中A盲孔利用气管接头进行密封，并通过气管与真空发生器I相连；另一组通孔只与6个内小深孔相连，并在测量台侧面钻有B盲孔与通孔相连，B盲孔攻有螺纹孔，利用气管接头进行密封，并通过气管与真空发生器II相连；调整测量笔I和测量笔III的位置，使其测量头下压落在内小深孔组中心圆上，用以测量内小深孔吸住的超薄圆片，调整测量笔II和测量笔IV的位置，使其测量头下压落在外小深孔组中心圆上，用以测量外小深孔吸住的超薄圆片；所述的机械抓手包括真空吸头I、真空吸头II、吸头连接件、滑轨、小型弹簧、滑轨固定块、安装块、气缸连接件、三点气缸、三点抓手、真空发生器III和真空发生器IV，真空吸头I通过轴孔配合与真空吸头II相连接，通过粘接胶对连接面进行密封，真空吸头II与吸头连接件通过配合固定，吸头连接件通过螺纹与滑轨的移动部分连接，滑轨的固定部分通过螺纹与滑轨固定块固定，滑轨的移动部分通过小型弹簧和滑轨固定块连接，对滑轨进行浮动补偿，消除吸取过程的刚性冲击，滑轨固定块通过螺纹与安装块连接固定；三点抓手共三个，分别通过螺纹与三点气缸的三个移动块连接固定，三点气缸通过螺纹与气缸连接件固定，气缸连接件通过螺纹与安装块连接固定，安装块上表面中心开有内孔，与机器人的移动轴连接固定；所述的真空吸头I上端面中心的开有导向固定孔，且开有内外两层环形槽，内外两层环形槽内分别均匀的钻有六个小孔，形成内小孔组和外小孔组；真空吸头II下端面加工有导向轴结构，用于和真空吸头I的导向固定孔配合定心固定，真空吸头II下端面还开有外环形槽，其外环形槽和真空吸头I上端面的外环形槽直径相同，真空吸头II的侧面开有孔C，孔C与下端面的外环形槽连通，保证气体流通，真空吸头II上端面中心开有孔D，且孔D底部开有均布的六个小孔，六个小孔与真空吸头I上端面的内环形槽重合，保证气体流通；真空吸头I通过轴孔配合与真空吸头II相连接，通过粘接胶对连接面进行密封，真空吸头II的侧面孔C通过气管与真空发生器III的相连，真空吸头II的上端面孔D通过气管与真空发生器IV的相连；所述的测量方法包括以下步骤：
a.对托盘的圆片1区域划分为A，圆片2区域划分为B，小圆片1区域划分为C，小圆片2区域划分为D；针对不同圆片的测量，定义模块间的测量数据的传输格式为X+i/j，X为A、B、C或D中的一种，表示对相应区域的第i行第j列圆片进行测量；
b.机器人接收到测量数据后，对测量数据进行提取分析处理后，带动机械抓手的真空吸头I移至托盘X区域的第i行第j列处，若X为A或B，则打开真空发生器III，若X为C或D，则打开真空发生器IV，若X为其他值，系统则报警并显示无此类测量零件；等待△t时间后，机器人带动机械抓手上吸取有圆片的真空吸头I移动至拍照机构的拍照工位处，并发送X数据至拍照机构；
c.拍照机构接收到机器人发送的X数据后，对X数据进行分析处理后，根据X数据按照直径测量方法对真空吸头I吸取的圆片进行直径和圆心测量，测量后发送圆片直径和圆心数据至机器人；
d.机器人对接收到圆片直径和圆心数据处理，将圆片直径进行存储，根据圆心数据调整机器人的工具坐标系至圆片中心，带动机械抓手的真空吸头I将圆片中心放置至测量机构的测量台中心，若X为A或B，则关闭真空发生器III，打开真空发生器I，若X为C或D，则关闭真空发生器IV，打开真空发生器II，等待△t时间后，机器人带动机械抓手移至等待位；
e.打开旋转气缸，旋转气缸带动测量笔I、测量笔II、测量笔III、测量笔IV旋转后下压，接触测量吸附在测量台中心的圆片，等待△t1时间至测量数据稳定，关闭旋转气缸，带动测量笔I、测量笔II、测量笔III、测量笔IV旋转回位，机器人带动机械抓手的真空吸头I移至测量机构的测量台中心，若X为A或B，则读取测量笔II和测量笔IV的测量值并计算平均值作为厚度测量值，关闭真空发生器I，打开真空发生器III，若X为C或D，则读取测量笔I和测量笔III的测量值，计算平均值作为厚度测量值并存储，关闭真空发生器II，打开真空发生器IV，等待△t时间后，机器人带动机械抓手的真空吸头I按照放回方法将圆片放置在指定位置。
步骤c所述的直径测量方法包括以下步骤：
c1.拍照机构接收到机器人发送的X数据后，对分析处理后的X数据进行判定，若传输的X数据为A、B、C或D中的一种，则拍照机构启动拍照功能，对真空吸头I吸取的圆片进行拍照并数字化处理图片，若传输的X数据不是A、B、C或D中的一种，则报警提示并请求机器人重新发送数据；
c2.拍照机构对传输的X数据进行判定，若X为A，则对数字化图片进行搜索区域划分，在搜索区域内找寻圆片的轮廓特征，提取内外轮廓特征后拟合计算内外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片1的内外径值和圆心坐标传输给机器人；
c3.拍照机构对传输的X数据进行判定，若X为B，则对数字化图片进行光顺和模板比对分析，根据比对情况提取内外轮廓特征，拟合计算内外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片2的内外径值和圆心坐标传输给机器人；
c4.拍照机构对传输的X数据进行判定，若X为C，则对数字化图片进行搜索区域划分，在搜索区域内找寻圆片的轮廓特征，提取外轮廓特征后拟合计算内外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片1的外径值和圆心坐标传输给机器人；
c5.拍照机构对传输的X数据进行判定，若X为D，则对数字化图片进行光顺和模板比对分析，根据比对情况提取外轮廓特征，拟合计算外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片2的内外径值和圆心坐标传输给机器人。
步骤e所述的放回方法包括以下步骤：
e1.对测量后的圆片进行厚度合格判定，若厚度不满足要求，则对X数据进行判定，若X为A或B，则机器人带动机械抓手的真空吸头I将圆片放置至托盘的圆片不合格区，若X为C或D，则机器人带动机械抓手的真空吸头I将圆片放置至托盘的小圆片不合格区；关闭所有真空发生器，等待△t时间后，机器人带动机械抓手移至等待位，测量结束；
e2.对测量后的圆片进行厚度合格判定，若厚度满足要求，则对测量厚度与给定厚度△H进行比较；
e3.若测量厚度小于给定厚度△H，则机器人带动机械抓手的真空吸头I将圆片放置至托盘的初始吸取位，关闭所有真空发生器，等待△t时间后，机器人带动机械抓手移至等待位，测量结束；
e4.若测量厚度大于等于给定厚度△H，则机器人带动机械抓手的真空吸头I将圆片移至拍照机构工位，按照步骤c的直径测量方法获取圆片圆心，机器人根据接收到圆心数据调整工具坐标系至圆片中心，带动机械抓手的真空吸头I将圆片中心放置至托盘的初始吸取位，关闭所有真空发生器，等待△t时间后，机器人带动机械抓手移至等待位，测量结束。
本发明的圆片尺寸的测量方法利用机器人根据接收到的测量信号，带动机械抓手移动真空吸头至相应的吸取工位并吸取超薄圆片；其次带动吸取的圆片移动至拍照工位，拍照机构根据不同类型的圆片提取内外径及圆心后，将数据反馈给机器人，机器人根据圆心信息调整坐标系将其放置至测量工位；测量机构完成圆片厚度测量并将数据反馈给机器人，机器人对测量厚度进行判定，最后吸取测量工位处的圆片按照放回方法自动放回至托盘的相应位置。本发明的圆片尺寸的测量方法具有自动、高效、智能化的优点，可用于工业推广。
附图说明
图1为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置结构示意图；
图2为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的托盘结构示意图；
图3a为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的测量机构示意图(主视图)；
图3b为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的测量机构示意图(俯视图)；
图4a为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的测量台主视图；
图4b为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的测量台剖视图(A-A剖视图)；
图4c为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的测量台剖视图(B-B剖视图)；
图5为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的机械抓手主视图；
图6为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的机械抓手左视图；
图7a为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的真空吸头结构示意图；
图7b为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的真空吸头结构示意图(A-A剖视图)；
图7c为本发明的圆片尺寸测量方法所使用装置中的真空吸头结构示意图(B-B剖视图)；
图8为本发明的圆片尺寸测量方法流程图；
图9为本发明的圆片尺寸测量方法中直径测量方法流程图；
图10为本发明的圆片尺寸测量方法中放回方法流程图。
图中，1.拍照机构 2.托盘机构 3.测量机构 4.机械抓手 5.机器人 6.支撑台；
301.测量台 302.测量笔I 303.测量笔II 304.测量笔III 305.测量笔IV 306.测量过渡件 307.锁紧螺钉 308.真空发生器I 309.真空发生器II 310.旋转气缸；
401.真空吸头I 402.真空吸头II 403.吸头连接件 404.滑轨 405.小型弹簧406.滑轨固定块 407.安装块 408.气缸连接件 409.三点气缸 410.三点抓手 411.真空发生器III 412.真空发生器IV。
具体实施方式
下面结合附图和实施例详细说明本发明。
如图1所示，本发明的一种圆片尺寸的测量方法所使用的测量装置包括拍照机构1、托盘机构2、测量机构3、机械抓手4、机器人5和支撑台6，所述的拍照机构1安装在支撑台6的下表面，托盘机构2、测量机构3和具有机械抓手4的机器人5安装在支撑台6的上表面；
托盘机构2放置待测量圆片，机器人5驱动机械抓手4吸取托盘机构2上的待测量圆片，拍照机构1测量待测量圆片的直径和圆心位置坐标，测量机构3测量待测量圆片的厚度。
如图3a、3b所示，所述的测量机构3包括测量台301、测量笔I 302、测量笔II 303、测量笔III304、测量笔IV305、测量过渡件306、锁紧螺钉307、真空发生器I 308、真空发生器II 309和旋转气缸310，测量过渡件306通过螺纹与旋转气缸310固定，测量笔I 302、测量笔II 303、测量笔III304和测量笔IV305分别插入测量过渡件306的装配孔内，并分别通过锁紧螺钉307固定测量笔I 302、测量笔II 303、测量笔III304和测量笔IV305在装配孔中的轴向位置；测量台301具有测量水平面，真空发生器I 308和真空发生器II 309为测量台301的测量水平面提供真空吸力，通过螺纹固定于支撑台6上，旋转气缸310为测量笔I 302、测量笔II 303、测量笔III304、测量笔IV305提供下压力；
如图4a、4b、4c所示，所述的测量台301的测量水平面上钻有六个内小深孔和六个外小深孔，在测量台301正面钻有两组通孔，两组通孔的两端分别攻有螺纹，利用螺钉对通孔进行密封，一组通孔只与6个外小深孔相连，并在测量台301侧面钻有一组盲孔与通孔相连，盲孔攻有螺纹，利用螺钉对通孔进行密封，其中A盲孔利用气管接头进行密封，并通过气管与真空发生器I 308相连；另一组通孔只与6个内小深孔相连，并在测量台301侧面钻有B盲孔与通孔相连，B盲孔攻有螺纹孔，利用气管接头进行密封，并通过气管与真空发生器II309相连；调整测量笔I 302和测量笔III304的位置，使其测量头下压落在内小深孔组中心圆上，用以测量内小深孔吸住的超薄圆片，调整测量笔II303和测量笔IV305的位置，使其测量头下压落在外小深孔组中心圆上，用以测量外小深孔吸住的超薄圆片；
如图5、6所示，所述的机械抓手4包括真空吸头I 401、真空吸头II402、吸头连接件403、滑轨404、小型弹簧405、滑轨固定块406、安装块407、气缸连接件408、三点气缸409、三点抓手410、真空发生器III411和真空发生器IV412，真空吸头I 401通过轴孔配合与真空吸头II 402相连接，通过粘接胶对连接面进行密封，真空吸头II 402与吸头连接件403通过配合固定，吸头连接件403通过螺纹与滑轨404的移动部分连接，滑轨404的固定部分通过螺纹与滑轨固定块406固定，滑轨404的移动部分通过小型弹簧405和滑轨固定块406连接，对滑轨进行浮动补偿，消除吸取过程的刚性冲击，滑轨固定块406通过螺纹与安装块407连接固定；三点抓手410共三个，分别通过螺纹与三点气缸409的三个移动块连接固定，三点气缸409通过螺纹与气缸连接件408固定，气缸连接件408通过螺纹与安装块407连接固定，安装块407上表面中心开有内孔，与机器人5的移动轴连接固定；
如图7a、7b、7c所示，所述的真空吸头I 401上端面中心的开有导向固定孔，且开有内外两层环形槽，内外两层环形槽内分别均匀的钻有六个小孔，形成内小孔组和外小孔组；真空吸头II402下端面加工有导向轴结构，用于和真空吸头I 401的导向固定孔配合定心固定，真空吸头II 402下端面还开有外环形槽，其外环形槽和真空吸头I 401上端面的外环形槽直径相同，真空吸头II 402的侧面开有孔C，孔C与下端面的外环形槽连通，保证气体流通，真空吸头II402上端面中心开有孔D，且孔D底部开有均布的六个小孔，六个小孔与真空吸头I401上端面的内环形槽重合，保证气体流通；真空吸头I 401通过轴孔配合与真空吸头II 402相连接，通过粘接胶对连接面进行密封，真空吸头II 402的侧面孔C通过气管与真空发生器III411的相连，真空吸头II 402的上端面孔D通过气管与真空发生器IV412的相连；
实施例1
如图8所示，本实施例的测量方法包括以下步骤：
a.如图2所示，对托盘的圆片1区域划分为A，圆片2区域划分为B，小圆片1区域划分为C，小圆片2区域划分为D；针对不同圆片的测量，定义模块间的测量数据的传输格式为X+i/j，X为A、B、C或D中的一种，表示对相应区域的第i行第j列圆片进行测量；
b.机器人5接收到测量数据后，对测量数据进行提取分析处理后，带动机械抓手4的真空吸头I 401移至托盘X区域的第i行第j列处，若X为A或B，则打开真空发生器III411，若X为C或D，则打开真空发生器IV412，若X为其他值，系统则报警并显示无此类测量零件；等待△t时间后，机器人5带动机械抓手4上吸取有圆片的真空吸头I 401移动至拍照机构1的拍照工位处，并发送X数据至拍照机构1；
c.拍照机构1接收到机器人5发送的X数据后，对X数据进行分析处理后，根据X数据按照直径测量方法对真空吸头I 401吸取的圆片进行直径和圆心测量，测量后发送圆片直径和圆心数据至机器人5；
d.机器人5对接收到圆片直径和圆心数据处理，将圆片直径进行存储，根据圆心数据调整机器人5的工具坐标系至圆片中心，带动机械抓手4的真空吸头I 401将圆片中心放置至测量机构3的测量台301中心，若X为A或B，则关闭真空发生器III411，打开真空发生器I308，若X为C或D，则关闭真空发生器IV412，打开真空发生器II 309，等待△t时间后，机器人5带动机械抓手4移至等待位；
e.打开旋转气缸310，旋转气缸310带动测量笔I 302、测量笔II 303、测量笔III304、测量笔IV305旋转后下压，接触测量吸附在测量台301中心的圆片，等待△t1时间至测量数据稳定，关闭旋转气缸310，带动测量笔I 302、测量笔II 303、测量笔III304、测量笔IV305旋转回位，机器人5带动机械抓手4的真空吸头I 401移至测量机构3的测量台301中心，若X为A或B，则读取测量笔II 303和测量笔IV305的测量值并计算平均值作为厚度测量值，关闭真空发生器I 308，打开真空发生器III411，若X为C或D，则读取测量笔I 302和测量笔III304的测量值，计算平均值作为厚度测量值并存储，关闭真空发生器II 309，打开真空发生器IV412，等待△t时间后，机器人5带动机械抓手4的真空吸头I 401按照放回方法将圆片放置在指定位置。
如图9所示，步骤c所述的直径测量方法包括以下步骤：
c1.拍照机构1接收到机器人5发送的X数据后，对分析处理后的X数据进行判定，若传输的X数据为A、B、C或D中的一种，则拍照机构1启动拍照功能，对真空吸头I 401吸取的圆片进行拍照并数字化处理图片，若传输的X数据不是A、B、C或D中的一种，则报警提示并请求机器人5重新发送数据；
c2.拍照机构1对传输的X数据进行判定，若X为A，则对数字化图片进行搜索区域划分，在搜索区域内找寻圆片的轮廓特征，提取内外轮廓特征后拟合计算内外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片1的内外径值和圆心坐标传输给机器人5；
c3.拍照机构1对传输的X数据进行判定，若X为B，则对数字化图片进行光顺和模板比对分析，根据比对情况提取内外轮廓特征，拟合计算内外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片2的内外径值和圆心坐标传输给机器人5；
c4.拍照机构1对传输的X数据进行判定，若X为C，则对数字化图片进行搜索区域划分，在搜索区域内找寻圆片的轮廓特征，提取外轮廓特征后拟合计算内外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片1的外径值和圆心坐标传输给机器人5；
c5.拍照机构1对传输的X数据进行判定，若X为D，则对数字化图片进行光顺和模板比对分析，根据比对情况提取外轮廓特征，拟合计算外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片2的内外径值和圆心坐标传输给机器人5。
如图10所示，步骤e所述的放回方法包括以下步骤：
e1.对测量后的圆片进行厚度合格判定，若厚度不满足要求，则对X数据进行判定，若X为A或B，则机器人5带动机械抓手4的真空吸头I 401将圆片放置至托盘的圆片不合格区，若X为C或D，则机器人5带动机械抓手4的真空吸头I 401将圆片放置至托盘的小圆片不合格区；关闭所有真空发生器，等待△t时间后，机器人5带动机械抓手4移至等待位，测量结束；
e2.对测量后的圆片进行厚度合格判定，若厚度满足要求，则对测量厚度与给定厚度△H进行比较；
e3.若测量厚度小于给定厚度△H，则机器人5带动机械抓手4的真空吸头I 401将圆片放置至托盘的初始吸取位，关闭所有真空发生器，等待△t时间后，机器人5带动机械抓手4移至等待位，测量结束；
e4.若测量厚度大于等于给定厚度△H，则机器人5带动机械抓手4的真空吸头I401将圆片移至拍照机构1工位，按照步骤c的直径测量方法获取圆片圆心，机器人5根据接收到圆心数据调整工具坐标系至圆片中心，带动机械抓手4的真空吸头I 401将圆片中心放置至托盘的初始吸取位，关闭所有真空发生器，等待△t时间后，机器人5带动机械抓手4移至等待位，测量结束。

Claims (3)

1.一种圆片尺寸的测量方法，其特征在于，所述的测量方法使用的测量装置包括拍照机构(1)、托盘机构(2)、测量机构(3)、机械抓手(4)、机器人(5)和支撑台(6)，所述的拍照机构(1)安装在支撑台(6)的下表面，托盘机构(2)、测量机构(3)和具有机械抓手(4)的机器人(5)安装在支撑台(6)的上表面；
托盘机构(2)放置待测量圆片，机器人(5)驱动机械抓手(4)吸取托盘机构(2)上的待测量圆片，拍照机构(1)测量待测量圆片的直径和圆心位置坐标，测量机构(3)测量待测量圆片的厚度；所述的测量机构(3)包括测量台(301)、测量笔I(302)、测量笔II(303)、测量笔III(304)、测量笔IV(305)、测量过渡件(306)、锁紧螺钉(307)、真空发生器I(308)、真空发生器II(309)和旋转气缸(310)，测量过渡件(306)通过螺纹与旋转气缸(310)固定，测量笔I(302)、测量笔II(303)、测量笔III(304)和测量笔IV(305)分别插入测量过渡件(306)的装配孔内，并分别通过锁紧螺钉(307)固定测量笔I(302)、测量笔II(303)、测量笔III(304)和测量笔IV(305)在装配孔中的轴向位置；测量台(301)具有测量水平面，真空发生器I(308)和真空发生器II(309)为测量台(301)的测量水平面提供真空吸力，通过螺纹固定于支撑台(6)上，旋转气缸(310)为测量笔I(302)、测量笔II(303)、测量笔III(304)、测量笔IV(305)提供下压力；
所述的测量台(301)的测量水平面上钻有六个内小深孔和六个外小深孔，在测量台(301)正面钻有两组通孔，两组通孔的两端分别攻有螺纹，利用螺钉对通孔进行密封，一组通孔只与6个外小深孔相连，并在测量台(301)侧面钻有一组盲孔与通孔相连，盲孔攻有螺纹，利用螺钉对通孔进行密封，其中A盲孔利用气管接头进行密封，并通过气管与真空发生器I(308)相连；另一组通孔只与6个内小深孔相连，并在测量台(301)侧面钻有B盲孔与通孔相连，B盲孔攻有螺纹孔，利用气管接头进行密封，并通过气管与真空发生器II(309)相连；调整测量笔I(302)和测量笔III(304)的位置，使其测量头下压落在内小深孔组中心圆上，用以测量内小深孔吸住的超薄圆片，调整测量笔II(303)和测量笔IV(305)的位置，使其测量头下压落在外小深孔组中心圆上，用以测量外小深孔吸住的超薄圆片；
所述的机械抓手(4)包括真空吸头I(401)、真空吸头II(402)、吸头连接件(403)、滑轨(404)、小型弹簧(405)、滑轨固定块(406)、安装块(407)、气缸连接件(408)、三点气缸(409)、三点抓手(410)、真空发生器III(411)和真空发生器IV(412)，真空吸头I(401)通过轴孔配合与真空吸头II(402)相连接，通过粘接胶对连接面进行密封，真空吸头II(402)与吸头连接件(403)通过配合固定，吸头连接件(403)通过螺纹与滑轨(404)的移动部分连接，滑轨(404)的固定部分通过螺纹与滑轨固定块(406)固定，滑轨(404)的移动部分通过小型弹簧(405)和滑轨固定块(406)连接，对滑轨进行浮动补偿，消除吸取过程的刚性冲击，滑轨固定块(406)通过螺纹与安装块(407)连接固定；三点抓手(410)共三个，分别通过螺纹与三点气缸(409)的三个移动块连接固定，三点气缸(409)通过螺纹与气缸连接件(408)固定，气缸连接件(408)通过螺纹与安装块(407)连接固定，安装块(407)上表面中心开有内孔，与机器人(5)的移动轴连接固定；
所述的真空吸头I(401)上端面中心的开有导向固定孔，且开有内外两层环形槽，内外两层环形槽内分别均匀的钻有六个小孔，形成内小孔组和外小孔组；真空吸头II(402)下端面加工有导向轴结构，用于和真空吸头I(401)的导向固定孔配合定心固定，真空吸头II(402)下端面还开有外环形槽，其外环形槽和真空吸头I(401)上端面的外环形槽直径相同，真空吸头II(402)的侧面开有孔C，孔C与下端面的外环形槽连通，保证气体流通，真空吸头II(402)上端面中心开有孔D，且孔D底部开有均布的六个小孔，六个小孔与真空吸头I(401)上端面的内环形槽重合，保证气体流通；真空吸头I(401)通过轴孔配合与真空吸头II(402)相连接，通过粘接胶对连接面进行密封，真空吸头II(402)的侧面孔C通过气管与真空发生器III(411)的相连，真空吸头II(402)的上端面孔D通过气管与真空发生器IV(412)的相连；
所述的测量方法包括以下步骤：
a.对托盘的圆片1区域划分为A，圆片2区域划分为B，小圆片1区域划分为C，小圆片2区域划分为D；针对不同圆片的测量，定义模块间的测量数据的传输格式为X+i/j，X为A、B、C或D中的一种，表示对相应区域的第i行第j列圆片进行测量；
b.机器人(5)接收到测量数据后，对测量数据进行提取分析处理后，带动机械抓手(4)的真空吸头I(401)移至托盘X区域的第i行第j列处，若X为A或B，则打开真空发生器III(411)，若X为C或D，则打开真空发生器IV(412)，若X为其他值，系统则报警并显示无此类测量零件；等待△t时间后，机器人(5)带动机械抓手(4)上吸取有圆片的真空吸头I(401)移动至拍照机构(1)的拍照工位处，并发送X数据至拍照机构(1)；
c.拍照机构(1)接收到机器人(5)发送的X数据后，对X数据进行分析处理后，根据X数据按照直径测量方法对真空吸头I(401)吸取的圆片进行直径和圆心测量，测量后发送圆片直径和圆心数据至机器人(5)；
d.机器人(5)对接收到圆片直径和圆心数据处理，将圆片直径进行存储，根据圆心数据调整机器人(5)的工具坐标系至圆片中心，带动机械抓手(4)的真空吸头I(401)将圆片中心放置至测量机构(3)的测量台(301)中心，若X为A或B，则关闭真空发生器III(411)，打开真空发生器I(308)，若X为C或D，则关闭真空发生器IV(412)，打开真空发生器II(309)，等待△t时间后，机器人(5)带动机械抓手(4)移至等待位；
e.打开旋转气缸(310)，旋转气缸(310)带动测量笔I(302)、测量笔II(303)、测量笔III(304)、测量笔IV(305)旋转后下压，接触测量吸附在测量台(301)中心的圆片，等待△t1时间至测量数据稳定，关闭旋转气缸(310)，带动测量笔I(302)、测量笔II(303)、测量笔III(304)、测量笔IV(305)旋转回位，机器人(5)带动机械抓手(4)的真空吸头I(401)移至测量机构(3)的测量台(301)中心，若X为A或B，则读取测量笔II(303)和测量笔IV(305)的测量值并计算平均值作为厚度测量值，关闭真空发生器I(308)，打开真空发生器III(411)，若X为C或D，则读取测量笔I(302)和测量笔III(304)的测量值，计算平均值作为厚度测量值并存储，关闭真空发生器II(309)，打开真空发生器IV(412)，等待△t时间后，机器人(5)带动机械抓手(4)的真空吸头I(401)按照放回方法将圆片放置在指定位置。
2.根据权利要求1所述的一种圆片尺寸的测量方法，其特征在于，步骤c所述的直径测量方法包括以下步骤：
c1.拍照机构(1)接收到机器人(5)发送的X数据后，对分析处理后的X数据进行判定，若传输的X数据为A、B、C或D中的一种，则拍照机构(1)启动拍照功能，对真空吸头I(401)吸取的圆片进行拍照并数字化处理图片，若传输的X数据不是A、B、C或D中的一种，则报警提示并请求机器人(5)重新发送数据；
c2.拍照机构(1)对传输的X数据进行判定，若X为A，则对数字化图片进行搜索区域划分，在搜索区域内找寻圆片的轮廓特征，提取内外轮廓特征后拟合计算内外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片1的内外径值和圆心坐标传输给机器人(5)；
c3.拍照机构(1)对传输的X数据进行判定，若X为B，则对数字化图片进行光顺和模板比对分析，根据比对情况提取内外轮廓特征，拟合计算内外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片2的内外径值和圆心坐标传输给机器人(5)；
c4.拍照机构(1)对传输的X数据进行判定，若X为C，则对数字化图片进行搜索区域划分，在搜索区域内找寻圆片的轮廓特征，提取外轮廓特征后拟合计算内外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片1的外径值和圆心坐标传输给机器人(5)；
c5.拍照机构(1)对传输的X数据进行判定，若X为D，则对数字化图片进行光顺和模板比对分析，根据比对情况提取外轮廓特征，拟合计算外径和圆心坐标，根据输出设定，将圆片2的内外径值和圆心坐标传输给机器人(5)。
3.根据权利要求1所述的一种圆片尺寸的测量方法，其特征在于，步骤e所述的放回方法包括以下步骤：
e1.对测量后的圆片进行厚度合格判定，若厚度不满足要求，则对X数据进行判定，若X为A或B，则机器人(5)带动机械抓手(4)的真空吸头I(401)将圆片放置至托盘的圆片不合格区，若X为C或D，则机器人(5)带动机械抓手(4)的真空吸头I(401)将圆片放置至托盘的小圆片不合格区；关闭所有真空发生器，等待△t时间后，机器人(5)带动机械抓手(4)移至等待位，测量结束；
e2.对测量后的圆片进行厚度合格判定，若厚度满足要求，则对测量厚度与给定厚度△H进行比较；
e3.若测量厚度小于给定厚度△H，则机器人(5)带动机械抓手(4)的真空吸头I(401)将圆片放置至托盘的初始吸取位，关闭所有真空发生器，等待△t时间后，机器人(5)带动机械抓手(4)移至等待位，测量结束；
e4.若测量厚度大于等于给定厚度△H，则机器人(5)带动机械抓手(4)的真空吸头I(401)将圆片移至拍照机构(1)工位，按照步骤c的直径测量方法获取圆片圆心，机器人(5)根据接收到圆心数据调整工具坐标系至圆片中心，带动机械抓手(4)的真空吸头I(401)将圆片中心放置至托盘的初始吸取位，关闭所有真空发生器，等待△t时间后，机器人(5)带动机械抓手(4)移至等待位，测量结束。
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