CN112729195A - 一种陶瓷盘量测设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种陶瓷盘量测设备，包括量测平台、位于所述量测平台一侧的上料组件以及位于所述量测平台上的量测组件；所述量测平台上设置有定位吸盘，所述上料组件包括送料小车与位于所述送料小车一侧的机械手，所述量测组件包括X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组以及位于所述Y轴模组运动端的量测头，所述量测头与所述定位吸盘位置对应。本发明在量测平台、上料组件以及量测组件的配合作用下，采用量测头对陶瓷盘上晶片贴附后的晶片厚度进行检测，无需人工操作，减少了人力的消耗，提高了检测效率，并且减震平台与直线电机模组的配合使用，能够极大地降低检测过程中陶瓷盘所受的震动，提高检测精度。
Description
技术领域
本发明属于陶瓷盘量测技术领域，尤其涉及一种陶瓷盘量测设备。
背景技术
目前，随着电子行业的快速发展，对于产品的加工精度，需要逐步提高，并且在加工过程中越来越为精细化，质量要求也越来越高。
陶瓷盘表面的晶片贴附完成之后，往往需要对晶片贴附的厚度进行检测，传统的检测方式为人工手持工具进行检测，这种方式需要消耗大量人力，并且检测效率低下，由于检测过程中存在人为因素影响，因此会大大影响检测精度，导致检测不准确。
发明内容
本发明克服了现有技术的不足，提供一种陶瓷盘量测设备，以解决现有技术中存在的问题。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种陶瓷盘量测设备，包括量测平台、位于所述量测平台一侧的上料组件以及位于所述量测平台上的量测组件；所述量测平台上设置有定位吸盘，所述上料组件包括送料小车与位于所述送料小车一侧的机械手，所述量测组件包括X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组以及位于所述Y轴模组运动端的量测头，所述量测头与所述定位吸盘位置对应。
本发明一个较佳实施例中，所述上料组件还包括料架，所述料架上设有凹槽，所述送料小车位于所述凹槽内。
本发明一个较佳实施例中，所述机械手位于所述料架上。
本发明一个较佳实施例中，所述送料小车上设有料槽。
本发明一个较佳实施例中，所述量测平台为减震平台。
本发明一个较佳实施例中，所述X轴模组与所述Y轴模组均为直线电机驱动模组。
本发明一个较佳实施例中，所述定位吸盘上方设置有定位相机。
本发明解决了背景技术中存在的缺陷，本发明具备以下有益效果：
本发明在量测平台、上料组件以及量测组件的配合作用下，采用量测头对陶瓷盘上晶片贴附后的晶片厚度进行检测，无需人工操作，减少了人力的消耗，提高了检测效率，并且减震平台与直线电机模组的配合使用，能够极大地降低检测过程中陶瓷盘所受的震动，提高检测精度。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明；
图1为本发明优选实施例的整体结构示意图；
图2为本发明优选实施例的局部结构示意图；
图中：1、量测平台；2、上料组件；21、送料小车；22、机械手；23、料架；3、量测组件；31、X轴模组；32、Y轴模组；33、量测头；4、定位吸盘；5、定位相机。
具体实施方式
现在结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1与图2所示，一种陶瓷盘量测设备，包括量测平台1、位于量测平台1一侧的上料组件2以及位于量测平台1上的量测组件3；量测平台1上设置有定位吸盘4，上料组件2包括送料小车21与位于送料小车21一侧的机械手22，量测组件3包括X轴模组31、能够沿X轴模组31长度方向进行运动的Y轴模组32以及位于Y轴模组32运动端的量测头33，量测头33与定位吸盘4位置对应。
在本实施例中，机械手22从送料小车21上将陶瓷盘取下，移至定位吸盘4上，由定位吸盘4对陶瓷盘进行定位，定位后，在X轴模组31与Y轴模组32作用下，驱动量测头33移动至相应的检测位置，对陶瓷盘表面的晶片厚度进行检测。
具体地，上料组件2还包括料架23，料架23上设有凹槽，送料小车21位于凹槽内。
在本实施例中，机械手22位于料架23上，该机械手22为协作机器人。
进一步地，送料小车21上设有料槽。
在本实施例中，量测平台1为减震平台，能够有效地降低检测过程中产生的震动，保证检测精度。
在本实施例中，X轴模组31与Y轴模组32均为直线电机驱动模组，保证驱动的平顺性，提高检测的精度。
在本实施例中，定位吸盘4上方设置有定位相机5，定位相机5能够对陶瓷盘进行定位确认，确保陶瓷盘位于定位吸盘4的指定位置上。
总而言之，本发明在量测平台1、上料组件2以及量测组件3的配合作用下，采用量测头33对陶瓷盘上晶片贴附后的晶片厚度进行检测，无需人工操作，减少了人力的消耗，提高了检测效率，并且减震平台与直线电机模组的配合使用，能够极大地降低检测过程中陶瓷盘所受的震动，提高检测精度。
以上依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
Claims (7)
1.一种陶瓷盘量测设备，其特征在于，包括量测平台、位于所述量测平台一侧的上料组件以及位于所述量测平台上的量测组件；所述量测平台上设置有定位吸盘，所述上料组件包括送料小车与位于所述送料小车一侧的机械手，所述量测组件包括X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组以及位于所述Y轴模组运动端的量测头，所述量测头与所述定位吸盘位置对应。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘量测设备，其特征在于，所述上料组件还包括料架，所述料架上设有凹槽，所述送料小车位于所述凹槽内。
3.根据权利要求2所述的一种陶瓷盘量测设备，其特征在于，所述机械手位于所述料架上。
4.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘量测设备，其特征在于，所述送料小车上设有料槽。
5.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘量测设备，其特征在于，所述量测平台为减震平台。
6.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘量测设备，其特征在于，所述X轴模组与所述Y轴模组均为直线电机驱动模组。
7.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘量测设备，其特征在于，所述定位吸盘上方设置有定位相机。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110026949.9A CN112729195A (zh) | 2021-01-09 | 2021-01-09 | 一种陶瓷盘量测设备 |
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| CN202110026949.9A CN112729195A (zh) | 2021-01-09 | 2021-01-09 | 一种陶瓷盘量测设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN112729195A true CN112729195A (zh) | 2021-04-30 |
Family
ID=75589952
Family Applications (1)
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| CN202110026949.9A Pending CN112729195A (zh) | 2021-01-09 | 2021-01-09 | 一种陶瓷盘量测设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN112729195A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113267144A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-08-17 | 拓思精工科技(苏州)有限公司 | 一种陶瓷盘形貌量测设备及其使用方法 |
| CN113465554A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-10-01 | 拓思精工科技(苏州)有限公司 | 一种晶圆形貌量测设备及其使用方法 |
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2021
- 2021-01-09 CN CN202110026949.9A patent/CN112729195A/zh active Pending
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