WO2005030433A1 - Vorrichtung und verfahren zur überwachung eines schutzglases einer laseroptik auf bruch und/oder verschmutzung - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur überwachung eines schutzglases einer laseroptik auf bruch und/oder verschmutzung Download PDF

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WO2005030433A1
WO2005030433A1 PCT/EP2004/010814 EP2004010814W WO2005030433A1 WO 2005030433 A1 WO2005030433 A1 WO 2005030433A1 EP 2004010814 W EP2004010814 W EP 2004010814W WO 2005030433 A1 WO2005030433 A1 WO 2005030433A1
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protective glass
photodetectors
electromagnetic radiation
radiation
radiation sources
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PCT/EP2004/010814
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Inventor
Carsten RÖSLER
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Scansonic Gmbh
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    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
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    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • B23K26/707Auxiliary equipment for monitoring laser beam transmission optics

Definitions

  • the invention relates to a device and a method for monitoring a protective glass of a laser optics of a material processing device, in particular a laser welding device or laser soldering device, for breakage and / or contamination, with a plurality of photodetectors arranged at a distance from one another on the lateral surface of the protective glass.
  • the lenses of a laser welding optic are usually protected from contamination by a protective glass, since the metal splashes and vapors which occur during material processing would contaminate the laser optics without this protective glass.
  • a laser processing head with a sensor arrangement for monitoring a protective gas is known from DE 100 60 176 A1.
  • the sensor arrangement comprises a plurality of sensors which detect scattered light coming from the protective glass.
  • the sensors are tuned to the wavelength of the working laser beam used and are oriented so that they essentially only detect the scattered light component running perpendicular to the beam path of the working laser beam.
  • the light sensors can be distributed evenly over the circumference of the protective glass.
  • the evaluation of the scattered light emerging laterally from the protective glass is negatively influenced by the laser radiation reflected back from the workpiece, so that the evaluation is sometimes incorrect.
  • DE 100 40 921 A1 discloses a hand-held processing head for a high-power diode laser, the protective glass of which is arranged in a carrier.
  • the carrier contains a thermocouple for measuring the protective glass temperature, the thermocouple being in direct contact with the protective glass. The increase in the protective glass temperature after switching on the laser is dependent on the
  • BESTATIGUNGSKOPIE laser power used as a measure of the degree of contamination or as an indication of a defect in the protective glass.
  • the protective glass is thus monitored for both contamination and destruction.
  • the measurement result depends on the convection conditions on the outside of the protective glass, which are influenced by the movement of the processing head.
  • complex measures are required.
  • a relatively high level of electronic effort is required for accurate measurement results.
  • the specific heat capacity of the protective glass and, if necessary, the convection on the outside of the glass must also be taken into account.
  • this known measuring method can only be used if the working interval is not less than a certain length. Because the soiled protective glass must warm up measurably at the edge during this working interval.
  • the present invention has for its object to provide a method for monitoring a protective glass of a laser optics for breakage and / or contamination, which works independently of the laser radiation. Furthermore, a device for performing such a method is to be created.
  • the device has a plurality of photodetectors which are arranged at a distance from one another on the lateral surface of the protective glass and are connected to an evaluation device. Furthermore, the device comprises the electromagnetic radiation sources or radiation conductors assigned to the photodetectors, with which electromagnetic radiation can be coupled in alternately via the outer surface of the protective glass at various points arranged on the circumference of the outer surface of the protective glass. The electromagnetic radiation is preferably radially coupled into the protective glass.
  • the monitoring device according to the invention thus works independently of the working laser.
  • the protective glass monitoring can be carried out independently of the material processing process, ie during the processing breaks.
  • a major advantage of the device according to the invention is that it provides a negative influence on the photodetectors by reflected radiation from the working laser or radiation from the machining process can be avoided.
  • the invention is based on the knowledge that the course of a light beam coupled in via the end face (i.e. lateral surface) of the protective glass changes when the light beam falls on an interface created by a broken glass.
  • a photodetector that is aligned with the light beam that is not deflected when the protective glass is intact, a glass breakage can therefore be determined on the basis of a change in the measured light intensity.
  • the device according to the invention can be implemented without direct mechanical contact between the protective glass and the measuring device.
  • a device according to the invention not only enables monitoring of a protective glass for glass breakage, but also measurement of the degree of contamination of the glass surface.
  • a coating of particles from the welding process or other coatings significantly disrupts the total reflection at the relevant interface of the protective glass, which is noticeable by a decrease in the intensity of the light at the exit point on the end face.
  • a connection can be established between the measurement signal when the protective glass is clean and the signal change caused by contamination of the glass surface.
  • a particularly reliable protective glass monitoring can be achieved if, according to a preferred embodiment of the invention, at least three independently controllable radiation sources are arranged at substantially uniform intervals over the circumference of the end face of the protective glass and at least one photodetector is assigned to the radiation sources.
  • the electromagnetic radiation from the respective radiation source can also are each coupled into the protective glass via its end face (lateral surface) by means of a radiation guide, in particular a light guide.
  • the photodetectors are provided with a shield against extraneous light.
  • the protective glass together with the photodetectors and the associated electromagnetic radiation sources, can be displaced relative to the laser optics. This makes it possible to adapt the distance between the protective glass and the laser optics, which can be expedient when the focal length of the laser optics changes and / or for measurement reasons.
  • Another advantageous embodiment of the invention consists in that a compressed air source is associated with the photodetectors and / or the electromagnetic radiation sources, with compressed air counteracting contamination of the photodetectors or the radiation sources due to deposits.
  • the method according to the invention is thus essentially characterized in that, with at least one electromagnetic radiation source or at least one radiation guide, in particular light guide, electromagnetic radiation is alternately coupled in at various points arranged on the circumference of the outer surface of the protective glass via the outer surface of the protective glass, the coupled-in electromagnetic radiation measured with the photodetectors and the measured value of the respective photodetector is compared with an earlier measured value.
  • a breakpoint and / or contamination point of the protective glass is located on the basis of the comparison of the measured values.
  • Figure 1 is a plan view of an intact protective glass, the light from a light source is coupled over the end face.
  • FIG. 2 shows the protective glass according to FIG. 1, but in a broken state
  • FIG. 3 shows a plan view of an intact protective glass with three light sources and six light sensors
  • FIG. 4 shows a plan view of an intact protective glass with three light sources and six light sensors, in an arrangement which differs from FIG. 3;
  • FIG. 5 shows a plan view of an intact protective glass with three light sources and five light sensors
  • FIG. 6 shows a graphical representation of the results of a spectrometer measurement, which shows the different attenuation of electromagnetic radiation of different wavelengths with the same degree of contamination for different protective glasses;
  • Fig. 7 is a plan view of an intact protective glass with seven light sources and seven light sensors.
  • the invention is based on the idea of using the electromagnetic radiation of an auxiliary source 1 for protective glass monitoring instead of the radiation from the working laser in a material processing device (not shown) working with a laser beam, the radiation of the auxiliary source 1 being above the end face is coupled into the circular protective glass 2. The radiation thus coupled in is then guided through total reflection in the protective glass 2, with some scatter within the protective glass 2.
  • the electromagnetic radiation reaches the opposite side of the protective glass 2 without significant loss of intensity, where it passes through the interface due to the almost vertical angle of incidence and leaves the protective glass 2.
  • the intensity of the electromagnetic radiation is measured at the exit point by means of one or more photosensors or photodetectors 3.
  • the measured radiation intensity is dependent on the position of the photodetector 3 in relation to the radiation source 1 or on the course of the radiation emanating from it.
  • a maximum radiation intensity is measured when the center line of the electromagnetic radiation which expands as a result of the scattering within the protective glass 2 runs through the center of the circular-shaped protective glass 2 and is aligned with the photodetector 3.
  • the radiation course changes compared to the radiation course with the protective glass intact (cf. FIG. 2).
  • the measurement signal of the photodetector 3 will change to an extreme value.
  • a prerequisite for a signal change is, however, in any case that the interface 4 created by a glass break crosses the beam path between the radiation source 1 and the photodetector 3.
  • several electromagnetic radiation sources and several photodetec- gates can be arranged at suitable angles. Corresponding exemplary embodiments are described below.
  • three electromagnetic radiation sources 1.1, 1.2 and 1.3 are arranged symmetrically distributed over the circumference of a protective glass 2 of a laser optics (not shown).
  • the radiation sources 1.1, 1.2 and 1.3 can be controlled separately or together and emit divergent radiation. They preferably consist of light diodes (LED).
  • Each radiation source has two photosensors or photodetectors 3.11, 3.12; 3.21, 3.22 and 3.31, 3.32 assigned in the form of photodiodes.
  • the photodetectors 3.11, 3.12; 3.21, 3.22 and 3.31, 3.32 are connected to an evaluation device (not shown) which is constructed from a programmable circuit and / or a microprocessor.
  • the radiation sources 1.1, 1.2 and 1.3 are each rotatably mounted such that the beam axis of the electromagnetic radiation emanating from them can be pivoted in the plane of the protective glass 2.
  • the swivel range corresponds to the distance between the two photodetectors 3.11, 3.12 assigned to the respective radiation source; 3.21, 3.22 or 3.31, 3.32.
  • the angle of rotation or pivoting can be, for example, 30 °. However, smaller or larger swivel angles are also possible.
  • the beam axis of the injected radiation can be pivoted about the center of the protective glass 2.
  • the highest radiation intensity should strike the sensors, which, as a pair, is opposite to the respectively active radiation source 1.1, 1.2 or 1.3. If the radiation source 1.1 is active, the photodetectors 3.11 and 3.12 deliver the highest signal level. If, on the other hand, the radiation source 1.2 is active, the photodetectors 3.21 and 3.22 deliver the highest signal level, whereas the highest signal level is measured at the photodetectors 3.31 and 3.32 when the radiation source 1.3 is active.
  • the photodetectors 3.11, 3.12; 3.21, 3.22; 3.31, 3.32 are preferably shielded against scattered light or electromagnetic scattered radiation from external sources.
  • the protective glass 2 is mechanically defective, the beam is deflected or coupled out at the newly created interface, as a result of which the initially existing measurement value scheme is changed. Tests have shown that a glass break can be reliably detected with this system.
  • the device according to the invention can not only be used for the breakage monitoring of a protective glass of a laser optics.
  • the degree of soiling of the glass surface can also be measured with the device according to the invention. Corresponding measurements have shown that dirt deposits on the glass surface significantly interfere with the total reflection, so that in addition to the different attenuation of the wavelengths, there is also a significant loss in intensity in the absolute value over the entire spectral range of the coupled electromagnetic radiation.
  • FIG. 1 An alternative sensor arrangement is shown in FIG.
  • three radiation sources 1.1, 1.2 and 1.3 which can be pivoted in the plane of the protective glass 2 are arranged symmetrically distributed on the circumference of the protective glass 2.
  • the radiation sources 1.1, 1.2 and 1.3 have different angles of rotation or pivoting here.
  • the radiation source 1.1 can be rotated by about 15 ° while the Radiation sources 1.2 and 1.3 can be rotated by approximately 10 ° or 5 °.
  • This arrangement a more uniform detection of the middle protective glass area is achieved. It is assumed that with this arrangement there is less dependence on a change in distance between the lenses of the laser optics and the protective glass 2 or on the focal length.
  • the sensor arrangement shown in FIG. 5 is also suitable for ensuring a sufficiently precise measurement result. Due to the one-sided arrangement of the three radiation sources 1.1, 1.2 and 1.3, which can each be pivoted in the plane of the protective glass 2 by approximately 20 °, it is possible here with only five photodetectors 3.11, 3.12, 3.21, 3.22 and 3.31, the central area of the protective glass 2 as far as possible. In this case, a significantly lower radiation intensity should be coupled out to the photodetectors not aligned axially to the respectively active radiation source 1.1, 1.2 or 1.3 because of the higher reflected radiation components.
  • FIG. 7 illustrates a further exemplary embodiment in which a plurality, for example seven, electromagnetic radiation sources 1.1 to 1.7 and a corresponding number of photodetectors 3.1 to 3.7 are arranged along the circumference of the outer surface of the protective glass 2.
  • the radiation sources 1.1 to 1.7 preferably consist of light-emitting diodes (LED) which emit infrared light in the wave range of approximately 880 nm.
  • the photo detectors 3.1 to 3.7 are photo transistors. It can be seen that the light-emitting diodes 1.1 to 1.7 and the photodetectors 3.1 to 3.7 are arranged in an alternating sequence and at the same distance from one another along the circumference of the outer surface of the protective glass 2.
  • Each radiation source (light-emitting diode) 1.1 to 1.7 is assigned its own photodetector (phototransistor), the beam axis of the radiation emanating from the respective radiation source running through the center of the protective glass 2.
  • the radiation sources 1.1 to 1.7 and the photodetectors 3.1 to 3.7 are connected to a processing unit (not shown) which comprises a control and an evaluation device. Furthermore, at least one temperature sensor for detecting the ambient temperature is connected to the processing unit.
  • the processing unit or control switches on the radiation sources 1.1 to 1.7 in sequence, the measured values of all photodetectors 3.1 to 3.7 being read into the processing unit and compared with reference values or earlier measured values.
  • a measuring cycle is complete when each of the Radiation sources 1.1 to 1.7 was switched on once.
  • the ambient temperature is preferably measured and ambient light is recorded. The current ambient temperature and any external light that may be present are measured and evaluated with regard to a correction of the measured values detected with the photodetectors 3.1 to 3.7 which may be necessary.
  • the arrangement of the radiation sources and photodetectors shown in FIG. 7 enables localization of crack or breakage damage and contamination on the protective glass 2, since these are more or less irradiated from different directions, the measurement signals of the photodetectors 3.1 to 3.7 possibly correspondingly be distinguished. For example, contamination would be detected exactly in the middle of the protective glass 2 by all the photodetectors 3.1 to 3.7 opposite the radiation sources 1.1 to 1.7. If, on the other hand, contamination is not in the middle of the protective glass 2 but at the edge thereof, the photodetectors 3.1 to 3.7 would emit correspondingly different measurement signals.
  • the auxiliary radiation can be coupled into the protective glass 2 on the lateral surface side, for example via one or more radiation or light guides, for example glass fiber guides (not shown), which are assigned to the respective radiation source and end without contact on the lateral surface of the protective glass 2.
  • the invention is also not limited to the monitoring of round protective glasses.
  • a device according to the invention can also be used to monitor breakage and / or contamination monitoring of non-round protective glasses of laser processing optics, for example polygonal protective glasses.
  • a different coupling direction is also possible.
  • the device according to the invention it is also possible to check the correct position of the protective glass in a protective glass holder or the presence of the protective glass. If, for example, a definable limit value is not reached on one or more photodetectors, it can be concluded from this that the protective glass is not correctly placed in the holder. If the specified limit value is not measured at any of the photodetectors, this means that the protective glass is missing.
  • the limit value is preferably set at the factory.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Überwachung eines Schutzglases (2) einer Laseroptik einer Materialbearbeitungsvorrichtung, insbesondere einer Laserschweissvorrichtung, auf Bruch und/oder Verschmutzung, mit mehreren an der Mantelfläche des Schutzglases (2) beabstandet zueinander angeordneten Photodetektoren (3.1 bis 3.7), die an einer Auswerteeinrichtung angeschlossen sind. Damit diese Überwachung unabhängig von der Laserstrahlung, funktioniert, umfasst die Vorrichtung zudem den Photodetektoren zugeordnete elektromagnetische Strahlungsquellen (1.1 bis 1.7) oder Strahlungsleiter, insbesondere Lichtleiter, mit denen an verschiedenen am Umfang der Mantelfläche des Schutzglases (2) angeordneten Stellen abwechselnd elektromagnetische Strahlung über die Mantelfläche des Schutzglases (2) vorzugsweise radial einkoppelbar ist.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung eines Schutzglases einer Laseroptik auf Bruch und/oder Verschmutzung
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Überwachung eines Schutzglases einer Laseroptik einer Materialbearbeitungsvorrichtung, insbesondere einer Laserschweißvorrichtung oder Laserlötvorrichtung, auf Bruch und/oder Verschmutzung, mit mehreren an der Mantelfläche des Schutzglases beabstandet zueinander angeordneten Photodetektoren.
Die Linsen einer Laserschweißoptik werden üblicherweise durch ein Schutzglas vor Verschmutzung geschützt, da die bei der Materialbearbeitung auftretenden Metallspritzer und Dämpfe ohne dieses Schutzglas die Laseroptik verschmutzen würden.
Aus der DE 100 60 176 A1 ist ein Laserbearbeitungskopf mit einer Sensoranordnung zur Überwachung eines Schutzgiases bekannt. Die Sensoranordnung umfasst mehrere Sensoren, die vom Schutzglas kommendes Streulicht erfassen. Die Sensoren sind dabei auf die Wellenlänge des verwendeten Arbeitslaserstrahls abgestimmt und so ausgerichtet, dass sie im wesentlichen nur den senkrecht zum Strahlengang des Arbeitslaserstrahls verlaufenden Streulichtanteil erfassen. Die Lichtsensoren können dabei gleichmäßig über den Umfang des Schutzglases verteilt angeordnet sein. Die Auswertung des seitlich aus dem Schutzglas austretenden Streulichtes wird allerdings von der vom Werkstück zurückreflektierten Laserstrahlung negativ beeinflusst, so dass die Auswertung mitunter fehlerhaft ist.
Die DE 100 40 921 A1 offenbart einen handgeführten Bearbeitungskopf für einen Hochleistungsdiodenlaser, dessen Schutzglas in einem Träger angeordnet ist. Der Träger enthält ein Thermoelement zur Messung der Schutzglastemperatur, wobei das Thermoelement in direktem Kontakt mit dem Schutzglas steht. Der Anstieg der Schutzglastemperatur nach Einschalten des Lasers wird in Abhängigkeit von der
BESTATIGUNGSKOPIE verwendeten Laserleistung als Maß für den Verschmutzungsgrad bzw. als Indiz für einen Defekt am Schutzglas betrachtet. Das Schutzglas wird hier somit sowohl auf Verschmutzung als auch auf Zerstörung hin überwacht. Bei dieser berührenden Temperaturmessung ist das Messergebnis allerdings von den Konvektionsverhältnissen an der Außenseite des Schutzglases abhängig, die durch die Bewegung des Bearbeitungskopfes beeinflusst werden. Um konstante Konvektionsverhältnissen sicherzustellen, sind aufwändige Maßnahmen erforderlich. Für genaue Messergebnisse ist ein relativ hoher elektronischer Aufwand notwendig. Dabei muss neben der Umgebungstemperatur auch die spezifische Wärmekapazität des Schutzglases und gegebenenfalls die Konvektion an der Glasaußenseite berücksichtigt werden. Außerdem ist dieses bekannte Messverfahren nur einsetzbar, wenn eine bestimmte Arbeitsintervalllänge nicht unterschritten wird. Denn das verschmutzte Schutzglas muss sich während dieses Arbeitsintervalls am Rand messbar erwärmen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Überwachung eines Schutzglases einer Laseroptik auf Bruch und/oder Verschmutzung anzugeben, das unabhängig von der Laserstrahlung funktioniert. Ferner soll eine Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens geschaffen werden.
Hinsichtlich der Vorrichtung wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist mehrere an der Mantelfläche des Schutzglases beabstandet voneinander angeordnete Photodetektoren auf, die an einer Auswerteeinrichtung angeschlossen sind. Des weiteren umfasst die Vorrichtung den Photodetektoren zugeordnete elektromagnetische Strahlungsquellen oder Strahlungsleiter, mit denen an verschiedenen am Umfang der Mantelfläche des Schutzglases angeordneten Stellen abwechselnd elektromagnetische Strahlung über die Mantelfläche des Schutzglases einkoppelbar ist. Die elektromagnetische Strahlung wird dabei vorzugsweise radial in das Schutzglas eingekoppelt.
Die erfindungsgemäße Überwachungsvorrichtung funktioniert somit unabhängig vom Arbeitslaser. Die Schutzglasüberwachung kann unabhängig vom Materialbearbei- tungsprozess, d.h. in den Bearbeitungspausen, durchgeführt werden. Ein wesentlicher Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht darin, dass mit ihr eine negative Beeinflussung der Photodetektoren durch reflektierte Strahlung des Arbeitslasers oder Strahlung aus dem Bearbeitungsprozess vermieden werden kann.
Die Erfindung basiert auf der Erkenntnis, dass sich der Verlauf eines über die Stirnseite (d.h. Mantelfläche) des Schutzglases eingekoppelten Lichtstrahles ändert, wenn der Lichtstrahl auf eine durch einen Glasbruch entstandene Grenzfläche fällt. Mittels eines Photodetektors, der mit dem bei intaktem Schutzglas nicht abgelenkten Lichtstrahl fluchtet, lässt sich daher ein Glasbruch anhand einer Änderung der gemessenen Lichtintensität feststellen. Mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung sind sogar Sprünge im Schutzglas detektierbar, bevor ein das Glas vollständig durchziehender Bruch eingetreten ist.
Gegenüber thermischen Überwachungsvorrichtungen, bei denen Thermoelemente am Schutzglas anliegen und dessen Temperatur erfassen, kann die erfindungsgemäße Vorrichtung ohne einen direkten mechanischen Kontakt zwischen Schutzglas und Messeinrichtung realisiert werden.
Darüber hinaus haben Versuche gezeigt, dass eine erfindungsgemäße Vorrichtung nicht nur eine Überwachung eines Schutzglases auf Glasbruch, sondern auch eine Messung des Verschmutzungsgrades der Glasoberfläche ermöglicht. Durch einen Belag aus Partikeln aus dem Schweißprozess oder andere Beläge wird die Totalreflexion an der betreffenden Grenzfläche des Schutzglases erheblich gestört, was sich an einer Intensitätsabnahme des Lichtes am stirnseitigen Austrittspunkt bemerkbar macht. Dementsprechend lässt sich ein Zusammenhang herstellen zwischen dem Messsignal bei sauberem Schutzglas und der durch Verschmutzung der Glasoberfläche bedingten Signaländerung.
Eine besonders zuverlässige Schutzglasüberwachung lässt sich erreichen, wenn gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung mindestens drei unabhängig voneinander ansteuerbare Strahlungsquellen über den Umfang der Stirnfläche des Schutzglases im wesentlich gleichmäßig beabstandet angeordnet werden und den Strahlungsquellen jeweils mindestens ein Photodetektor zugeordnet ist. Die elektromagnetische Strahlung der jeweiligen Strahlungsquelle kann dabei auch jeweils mittels eines Strahlungsleiters, insbesondere Lichtleiters in das Schutzglas über dessen Stirnseite (Mantelfläche) eingekoppelt werden.
Für eine fehlerfreie Erfassung eines Glasbruches sowie eine genaue Messung des Verschmutzungsgrades ist es des weiteren vorteilhaft, wenn die Photodetektoren mit einer Abschirmung gegen Fremdlicht versehen sind.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Schutzglas gemeinsam mit den Photodetektoren und den zugeordneten elektromagnetischen Strahlungsquellen relativ zur Laseroptik verschiebbar ist. Hierdurch wird eine Anpassung des Abstandes des Schutzglases zur Laseroptik ermöglicht, die bei einer Änderung der Brennweite der Laseroptik und/oder aus messtechnischen Gründen zweckmäßig sein kann.
Eine andere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, dass den Photodetektoren und/oder den elektromagnetischen Strahlungsquellen eine Druckluftquelle zugeordnet ist, wobei mittels Druckluft einer durch Ablagerungen bedingten Verschmutzung der Photodetektoren bzw. der Strahlungsquellen entgegengewirkt wird.
Hinsichtlich des Verfahrens wird die oben genannte Aufgabe durch die in Anspruch 13 angegebenen Merkmale gelöst. Das erfindungsgemäße Verfahren ist somit im wesentlichen dadurch gekennzeichnet, dass mit mindestens einer elektromagnetischen Strahlungsquelle oder mindestens einem Strahlungsleiter, insbesondere Lichtleiter, an verschiedenen am Umfang der Mantelfläche des Schutzglases angeordneten Stellen abwechselnd elektromagnetische Strahlung über die Mantelfläche des Schutzglases eingekoppelt wird, wobei die eingekoppelte elektromagnetische Strahlung mit den Photodetektoren gemessen und der Messwert des jeweiligen Photodetektors mit einem früheren Messwert verglichen wird.
Durch die Verwendung von mehreren am Umfang der Mantelfläche des Schutzglases verteilt angeordneten Photodetektoren und der abwechselnden, vorzugsweise radialen Einkopplung von elektromagnetischer Strahlung an verschiedenen am Umfang der Mantelfläche des Schutzglases angeordneten Stellen lassen sich verschiedene mögliche Bruchverläufe im Schutzglas zuverlässig detektieren.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass anhand des Vergleichs der Messwerte eine Bruchstelle und/oder Verschmutzungsstelle des Schutzglases geortet wird.
Weitere bevorzugte und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer mehrere Ausführungsbeispiele darstellenden Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Draufsicht auf ein intaktes Schutzglas, über dessen Stirnseite das Licht einer Lichtquelle eingekoppelt wird;
Fig. 2 das Schutzglas gemäß Fig. 1 , jedoch in einem gebrochenen Zustand;
Fig. 3 eine Draufsicht auf ein intaktes Schutzglas mit drei Lichtquellen und sechs Lichtsensoren;
Fig. 4 eine Draufsicht auf ein intaktes Schutzglas mit drei Lichtquellen und sechs Lichtsensoren, in einer von Fig. 3 abweichenden Anordnung;
Fig. 5 eine Draufsicht auf ein intaktes Schutzglas mit drei Lichtquellen und fünf Lichtsensoren;
Fig. 6 eine grafische Darstellung der Ergebnisse einer Spektrometermessung, die die unterschiedliche Dämpfung von elektromagnetischer Strahlung unterschiedlicher Wellenlängen bei gleichem Verschmutzungsgrad für verschiedene Schutzgläser zeigt; und
Fig. 7 eine Draufsicht auf ein intaktes Schutzglas mit sieben Lichtquellen und sieben Lichtsensoren. Wie in Fig. 1 schematisch gezeigt, basiert die Erfindung auf der Idee, bei einer mittels eines Laserstrahls arbeitenden Materialbearbeitungsvorrichtung (nicht gezeigt) anstelle der Strahlung des Arbeitslasers die elektromagnetische Strahlung einer Hilfsquelle 1 für eine Schutzglasüberwachung zu nutzen, wobei die Strahlung der Hilfsquelle 1 über die Stirnfläche in das kreisscheibenförmige Schutzglas 2 eingekoppelt wird. Die so eingekoppelte Strahlung wird dann durch Totalreflexion im Schutzglas 2 geführt, wobei es zu einer gewissen Streuung innerhalb des Schutzglases 2 kommt.
Bei intaktem Schutzglas 2 gelangt die elektromagnetische Strahlung ohne wesentliche Intensitätsverluste zur gegenüberliegenden Seite des Schutzglases 2, wo sie auf Grund des nahezu senkrechten Einfallswinkels durch die Grenzfläche tritt und das Schutzglas 2 verlässt.
Die Intensität der elektromagnetischen Strahlung wird an der Austrittsstelle mittels eines oder mehrerer Photosensoren oder Photodetektoren 3 gemessen. Die gemessene Strahlungsintensität ist abhängig von der Lage des Photodetektors 3 in Bezug auf die Strahlungsquelle 1 bzw. vom Verlauf der von ihr ausgehenden Strahlung. Eine maximale Strahlungsintensität wird gemessen, wenn die Mittellinie der infolge der Streuung innerhalb des Schutzglases 2 sich weitenden elektromagnetischen Strahlung durch den Mittelpunkt des kreisscheibenförmigen Schutzglases 2 verläuft und mit dem Photodetektor 3 fluchtet.
Fällt die in das Schutzglas 2 eingekoppelte elektromagnetische Strahlung auf eine durch einen Glasbruch entstandene Grenzfläche 4, so ändert sich der Strahlungsverlauf gegenüber dem Strahlungsverlauf bei intaktem Schutzglas (vgl. Fig. 2). Bei ausreichend großem Einfallswinkel bzw. entsprechenden Brechungsindizes kann es an solchen Bruchflächen auch zur Totalreflexion kommen. In diesem Fall wird sich das Messsignal des Photodetektors 3 zu einem Extremwert verändern. Voraussetzung für eine Signaländerung ist allerdings in jedem Fall, dass die durch einen Glasbruch entstandene Grenzfläche 4 den Strahlverlauf zwischen Strahlungsquelle 1 und Photodetektor 3 kreuzt. Um die Sicherheit der Glasbrucherkennung zu erhöhen, können mehrere elektromagnetische Strahlungsquellen und mehrere Photodetek- toren unter geeigneten Winkeln angeordnet werden. Entsprechende Ausführungsbeispiele werden nachfolgend beschrieben.
Bei dem in Fig. 3 schematisch gezeigten Ausführungsbeispiel sind drei elektromagnetische Strahlungsquellen 1.1 , 1.2 und 1.3 über den Umfang eines Schutzglases 2 einer Laseroptik (nicht gezeigt) symmetrisch verteilt angeordnet. Die Strahlungsquellen 1.1 , 1.2 und 1.3 sind getrennt oder gemeinsam ansteuerbar und geben eine divergente Strahlung ab. Sie bestehen vorzugsweise aus Lichtdioden (LED). Jeder Strahlungsquelle sind zwei Photosensoren oder Photodetektoren 3.11 , 3.12; 3.21 , 3.22 und 3.31 , 3.32 in Form von Photodioden zugeordnet. Die Photodetektoren 3.11 , 3.12; 3.21 , 3.22 und 3.31 , 3.32 sind an einer Auswerteeinrichtung (nicht gezeigt) angeschlossen, die aus einer programmierbaren Schaltung und/oder einem Mikroprozessor aufgebaut ist.
Die Strahlungsquellen 1.1 , 1.2 und 1.3 sind jeweils drehbar gelagert, derart, dass die Strahlachse der von ihnen ausgehende elektromagnetische Strahlung in der Ebene des Schutzglases 2 verschwenkbar ist. Der Schwenkbereich entspricht dabei dem Abstand der beiden der jeweiligen Strahlungsquelle zugeordneten Photodetektoren 3.11 , 3.12; 3.21 , 3.22 bzw. 3.31 , 3.32. Der Dreh- bzw. Schwenkwinkel kann beispielsweise 30° betragen. Es sind jedoch auch kleinere oder größere Schwenkwinkel möglich. Die Strahlachse der eingekoppelten Strahlung ist dabei über den Mittelpunkt des Schutzglases 2 schwenkbar.
Obwohl es bei dieser Anordnung sechs kleinere Bereiche gibt, die von der Sensorik nicht erfasst werden, ist dies für die Überwachung des Schutzglases 2 praktisch nicht kritisch.
Wird nur eine einzelne der drei Strahlungsquellen 1.1 , 1.2 oder 1.3 eingeschaltet, so ergibt sich ein für diesen Fall typisches Schema der Sensorsignale. Bei mechanisch intaktem Schutzglas 2 sollten an den Sensoren die höchste Strahlungsintensität auftreffen, die als Paar der jeweils aktiven Strahlungsquelle 1.1 , 1.2 oder 1.3 gegenüberliegen. Ist die Strahlungsquelle 1.1 aktiv, liefern die Photodetektoren 3.11 und 3.12 den höchsten Signalpegel. Ist dagegen die Strahlungsquelle 1.2 aktiv, so liefern die Photodetektoren 3.21 und 3.22 den höchsten Signalpegel, wohingegen der höchste Signalpegel an den Photodetektoren 3.31 und 3.32 gemessen wird, wenn die Strahlungsquelle 1.3 aktiv ist. Die Photodetektoren 3.11 , 3.12; 3.21 , 3.22; 3.31 , 3.32 sind vorzugsweise jeweils gegen Streulicht bzw. elektromagnetische Streustrahlung aus Fremdquellen abgeschirmt.
Bei einem mechanischen Defekt des Schutzglases 2 kommt es zur Strahlumlenkung oder zur Strahlauskopplung an der neu entstandenen Grenzfläche, wodurch das anfangs vorhandene Messwertschema verändert wird. In Versuchen wurde nachgewiesen, dass ein Glasbruch mit diesem System sicher erkannt wird.
Es ergeben sich bei der Auswertung der Sensorsignale somit zwei Indikatoren. Erstens kann die Einhaltung der Grundforderung überprüft werden, wonach die der jeweiligen Lichtquelle 1.1 , 1.2 oder 1.3 zugeordneten Photodetektoren 3.11 , 3.12; 3.21 , 3.22 bzw. 3.31 , 3.32 bei intaktem Schutzglas den stärksten Signalpegel liefern müssen. Zweitens lässt sich eine möglicherweise auftretende Differenz zwischen diesen beiden Photodetektoren 3.11 , 3.12; 3.21 , 3.22 bzw. 3.31 , 3.32 feststellen, wobei ein hier zulässiger Grenzwert in der Speicherprogrammierung der Auswerteeinrichtung leicht geändert werden kann.
Wie bereits erwähnt, kann die erfindungsgemäße Vorrichtung nicht nur für die Bruchüberwachung eines Schutzglases einer Laseroptik eingesetzt werden. Alternativ oder ergänzend kann mit der erfindungsgemäße Vorrichtung auch der Verschmutzungsgrad der Glasoberfläche gemessen werden. Entsprechende Messungen haben gezeigt, dass Schmutzablagerungen auf der Glasoberfläche die Totalreflexion erheblich stören, so dass neben der unterschiedlichen Dämpfung der Wellenlängen auch ein deutlicher Intensitätsverlust im Absolutwert über den gesamten Spektralbereich der eingekoppelten elektromagnetischen Strahlung zu verzeichnen ist.
In Fig. 4 ist eine alternative Sensoranordnung dargestellt. Es sind wiederum drei in der Ebene des Schutzglases 2 verschwenkbare Strahlungsquellen 1.1 , 1.2 und 1.3 am Umfang des Schutzglases 2 symmetrisch verteilt angeordnet. Die Strahlungsquellen 1.1 , 1.2 und 1.3 weisen hier jedoch unterschiedliche Dreh- bzw. Schwenkwinkel auf. Die Strahlungsquelle 1.1 kann um etwa 15° gedreht werden, während die Strahlungsquellen 1.2 und 1.3 um etwa 10° bzw. 5° gedreht werden können. Es ergibt sich somit eine unsymmetrische Strahlengangverteilung der über die Stirnseite des Schutzglases 2 eingekoppelten elektromagnetischen Strahlung. Mit dieser Anordnung wird eine gleichmäßigere Erfassung des mittleren Schutzglasbereiches erreicht. Es wird angenommen, dass sich mit dieser Anordnung eine geringere Abhängigkeit gegenüber einer Abstandsänderung zwischen den Linsen der Laseroptik und dem Schutzglas 2 bzw. gegenüber der Brennweite ergibt.
Die in Fig. 5 dargestellte Sensoranordnung ist ebenfalls geeignet, ein hinreichend genaues Messergebnis zu gewährleisten. Durch die einseitige Anordnung der drei Strahlungsquellen 1.1 , 1.2 und 1.3, die jeweils in der Ebene des Schutzglases 2 um etwa 20° verschwenkbar sind, ist es hier möglich, mit nur fünf Photodetektoren 3.11 , 3.12, 3.21 , 3.22 und 3.31 , den zentralen Bereich des Schutzglases 2 weitestgehend zu erfassen. Dabei dürfte an den nicht axial zu der jeweils aktiven Strahlungsquelle 1.1 , 1.2 oder 1.3 ausgerichteten Photodetektoren wegen der höheren reflektierten Strahlungsanteile eine deutlich geringere Strahlungsintensität ausgekoppelt werden.
Versuche zur Überwachung des Verschmutzungsgrades des Schutzglases haben gezeigt, dass unterschiedliche Wellenlängen bei gleichem Verschmutzungsgrad des Schutzglases unterschiedlich stark gedämpft werden. Es wurde eine Messreihe angelegt, bei der das Licht einer weißen LED jeweils über die Stirnseite verschieden stark verschmutzter Schutzgläser eingekoppelt wurde. Von der gegenüberliegenden stirnseitigen Auskoppelfläche wurde das Licht über ein Glasfaserkabel einem Spektralphotometer zugeführt. Aus den aufgenommenen Spektren wurden für die weiteren Berechnungen zwei unterschiedliche Wellenlängen ausgewählt, und zwar die Wellenlängen 650 nm und 460 nm. Die bei diesen Wellenlängen gemessenen Intensitätswerte wurden für die verschieden stark verschmutzten Schutzgläser durch Cursorbewegung in einem Spektraldiagramm abgerufen.
In Fig. 6 sind die Ergebnisse der Spektrometermessung grafisch dargestellt. Vergleicht man bei den verschiedenen Verschmutzungsgraden die Intensität bei 650 nm und 460 nm und denkt man sich beide Werte jeweils durch eine Gerade verbunden, wird deutlich, dass es bei zunehmender Verschmutzung des Schutzglases zu einer Abnahme der Steigung der gedachten Gerade kommt. Alternativ oder ergänzend zu der oben beschriebenen Intensitätsauswertung besteht somit erfindungsgemäß auch die Möglichkeit, eine Auswertung der Dämpfung bei verschiedenen Wellenlängen und eine Auswertung der Steigungsveränderung bei einer Verschmutzung des Schutzglases durchzuführen. Für die technische Ausführung einer solchen Messung bzw. Auswertung können mehrere Strahlungsquellen unterschiedlicher Wellenlänge verwendet und/oder optische Filterelemente vor den Photodetektoren 3.11 , 3.12; 3.21, 3.22; 3.31 , 3.32 angeordnet werden, wobei die optischen Filterelemente elektromagnetische Strahlung bestimmter Wellenlängenbereiche filtern.
In Fig. 7 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel veranschaulicht, bei dem mehrere, beispielweise sieben elektromagnetische Strahlungsquellen 1.1 bis 1.7 und eine entsprechende Anzahl von Photodetektoren 3.1 bis 3.7 entlang des Umfangs der Mantelfläche des Schutzglases 2 angeordnet sind. Die Strahlungsquellen 1.1 bis 1.7 bestehen vorzugsweise aus Leuchtdioden (LED), die Infrarotlicht im Wellenbereich von etwa 880 nm aussenden. Bei den Photodetektoren 3.1 bis 3.7 handelt es sich um Fototransistoren. Es ist zuerkennen, dass die Leuchtdioden 1.1 bis 1.7 und die Photodetektoren 3.1 bis 3.7 in abwechselnder Reihenfolge und mit gleichem Abstand voneinander entlang des Umfangs der Mantelfläche des Schutzglases 2 angeordnet sind. Jeder Strahlungsquelle (Leuchtdiode) 1.1 bis 1.7 ist ein eigener Photodetektor (Fototransistor) zugeordnet, wobei die Strahlachse der von der jeweiligen Strahlungsquelle ausgehenden Strahlung durch den Mittelpunkt des Schutzglases 2 verläuft.
Die Strahlungsquellen 1.1 bis 1.7 und die Photodetektoren 3.1 bis 3.7 sind an einer Verarbeitungseinheit (nicht gezeigt) angeschlossen, die eine Steuerung sowie eine Auswerteeinrichtung umfasst. Ferner ist an der Verarbeitungseinheit mindestens ein Temperatursensor zur Erfassung der Umgebungstemperatur angeschlossen.
Die Verarbeitungseinheit bzw. Steuerung schaltet die Strahlungsquellen 1.1 bis 1.7 der Reihe nach ein, wobei die Messwerte aller Photodetektoren 3.1 bis 3.7 in die Verarbeitungseinheit eingelesen und mit Referenzwerten oder früheren Messwerten verglichen werden. Ein Messzyklus ist abgeschlossen, wenn jede der Strahlungsquellen 1.1 bis 1.7 einmal eingeschaltet wurde. Vorzugsweise erfolgt vor jedem Messzyklus eine Messung der Umgebungstemperatur sowie eine Fremdlichterfassung. Die momentane Umgebungstemperatur und eventuell vorhandenes Fremdlicht werden gemessen und hinsichtlich einer gegebenenfalls erforderlichen Korrektur der mit den Photodetektoren 3.1 bis 3.7 erfassten Messwerte ausgewertet.
Die in Fig. 7 dargestellte Anordnung der Strahlungsquellen und Photodetektoren ermöglicht die Lokalisierung einer Sprung- bzw. Bruchbeschädigung sowie einer Verschmutzung auf dem Schutzglas 2, da diese aus verschiedenen Richtungen mehr oder weniger bestrahlt werden, wobei sich die Messsignale der Photodetektoren 3.1 bis 3.7 gegebenenfalls entsprechend unterscheiden werden. So würde zum Beispiel eine Verschmutzung genau in der Mitte des Schutzglases 2 von allen den Strahlungsquellen 1.1 bis 1.7 gegenüberliegenden Photodetektoren 3.1 bis 3.7 erfasst werden. Liegt eine Verschmutzung dagegen nicht in der Mitte des Schutzglases 2, sondern an dessen Rand, so würden die Photodetektoren 3.1 bis 3.7 entsprechend unterschiedliche Messsignale abgeben. Bei einer außermittigen Lage der Verschmutzung werden bestimmte Photodetektoren ein von der Verschmutzung mehr oder weniger stark beeinflusstes Messsignal abgeben, während ein oder mehrere andere Photodetektoren ein Messsignal abgeben, welches keine Verschmutzung signalisiert. In der Auswerteeinrichtung sind geeignete Algorithmen enthalten, mit denen Beschädigungen bzw. Verschmutzungen am Schutzglas ermittelt sowie geortet werden.
Durch die Ortung (Lokalisierung) der Verschmutzung bzw. Beschädigung an dem Schutzglas 2 ist es möglich, Rückschlüsse auf die Laserleistung bzw. die Dämpfung der Laserleistung zu ziehen. Eine Beschädigung oder Verschmutzung in der Mitte des Schutzglases 2 mindert die Laserleistung mehr als eine Beschädigung bzw. Verschmutzung am Rand des Schutzglases 2.
Die Erfindung beschränkt sich in ihrer Ausführung nicht auf die vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele. Vielmehr sind eine Reihe von Varianten denkbar, die auch bei grundsätzlich abweichender Gestaltung von dem in den beiliegenden Ansprüchen definierten Erfindungsgedanken Gebrauch machen. So kann die mantelflächenseitige Einkopplung der Hilfsstrahlung in das Schutzglas 2 beispielsweise auch über einen oder mehrere Strahlungs- bzw. Lichtleiter, beispielsweise Glasfaserleiter (nicht gezeigt) erfolgen, die der jeweiligen Strahlungsquelle zugeordnet sind und berührungsfrei an der Mantelfläche des Schutzglases 2 enden. Auch ist die Erfindung nicht auf die Überwachung von runden Schutzgläsern beschränkt. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung kann ebenso zur Bruchüberwachung und/oder Verschmutzungsüberwachung von nicht runden Schutzgläsern einer Laserbearbeitungsoptik, beispielsweise von polygonalen Schutzgläsern verwendet werden. Neben der radialen Einkopplung der elektromagnetischen Strahlung, ist auch eine davon abweichende Einkopplungsrichtung möglich.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist es zudem möglich, die korrekte Lage des Schutzglases in einem Schutzglashalter bzw. das Vorhandensein des Schutzglases zu prüfen. Wird beispielsweise an einem oder mehreren Photodetektoren ein festlegbarer Grenzwert nicht erreicht, so kann hieraus geschlossen werden, dass das Schutzglas nicht korrekt in die Halterung gelegt ist. Wird an keinem der Photodetektoren der festgelegte Grenzwert gemessen, so bedeutet dies, dass das Schutzglas fehlt. Die Einstellung des Grenzwertes erfolgt vorzugsweise werksseitig.

Claims

PATENTANSPRÜCHE
1. Vorrichtung zur Überwachung eines Schutzglases (2) einer Laseroptik einer Materialbearbeitungsvorrichtung, insbesondere einer Laserschweißvorrichtung, auf Bruch und/oder Verschmutzung, mit mehreren an der Mantelfläche des Schutzglases (2) beabstandet zueinander angeordneten Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11, 3.12; 3.21, 3.22; 3.31, 3.32), die an einer Auswerteeinrichtung angeschlossen sind, gekennzeichnet durch den Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11, 3.12; 3.21, 3.22; 3.31, 3.32) zugeordnete elektromagnetische Strahlungsquellen (1.1 bis 1.7; 1.1, 1.2, 1.3) oder Strahlungsleiter, insbesondere Lichtleiter, mit denen an verschiedenen am Umfang der Mantelfläche des Schutzglases (2) angeordneten Stellen abwechselnd elektromagnetische Strahlung über die Mantelfläche des Schutzglases einkoppelbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass mindestens drei elektromagnetische Strahlungsquellen (1.1, 1.2, 1.3) über den Umfang der Mantelfläche des Schutzglases (2) verteilt angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die elektromagnetische Strahlungsquellen (1.1 bis 1.7; 1.1, 1.2, 1.3) und die Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11, 3.12, 3.21, 3.22, 3.31, 3.32) gleichmäßig und/oder symmetrisch über den Umfang der Mantelfläche des Schutzglases (2) verteilt angeordnet sind.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die elektromagnetischen Strahlungsquellen (1.1 bis 1.7; 1.1, 1.2, 1.3) voneinander getrennt ansteuerbar sind.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Strahlungsleiter, insbesondere Lichtleiter, zur Einkopplung von elektromagnetischer Strahlung einer Strahlungsquelle oder mehrerer Strahlungsquellen (1.1 , 1.2, 1.3) in das Schutzglas (2) über den Umfang der Mantelfläche des Schutzglases (2) verteilt angeordnet sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsleiter und Photodetektoren (3.11, 3.12, 3.21, 3.22, 3.31, 3.32) gleichmäßig und/oder symmetrisch über den Umfang der Mantelfläche des Schutzglases (2) verteilt angeordnet sind.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweilige Strahlungsquelle (1.1, 1.2, 1.3) eine divergente elektromagnetische Strahlung aussendet.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11 , 3.12, 3.21, 3.22, 3.31, 3.32) mit einer Abschirmung gegen elektromagnetische Fremdstrahlung, insbesondere Fremdlicht versehen sind.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass den Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11 , 3.12, 3.21, 3.22, 3.31, 3.32) und/oder den elektromagnetischen Strahlungsquellen (1.1 bis 1.7; 1.1, 1.2, 1.3) eine Druckluftquelle zugeordnet ist, wobei mittels Druckluft einer durch Ablagerungen bedingten Verschmutzung des jeweiligen Photodetektors und/oder der Strahlungsquellen (1.1 bis 1.7; 1.1, 1.2, 1.3) entgegengewirkt wird.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Schutzglas (2) gemeinsam mit den Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11, 3.12; 3.21, 3.22; 3.31, 3.32) und den Strahlungsquellen (1.1 bis 1.7; 1.1, 1.2, 1.3) relativ zur Laseroptik verschiebbar ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquellen (1.1 bis 1.7; 1.1, 1.2, 1.3) elektromagnetische Strahlung unterschiedlicher Wellenlänge aussenden.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, dass die Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11 , 3.12; 3.21, 3.22; 3.31, 3.32) mit optischen Filterelementen versehen sind, die elektromagnetische Strahlung bestimmter Wellenlängenbereiche filtern.
13. Verfahren zur Überwachung eines Schutzglases (2) einer Laseroptik einer Materialbearbeitungsvorrichtung, insbesondere einer Laserschweißvorrichtung, auf Bruch und/oder Verschmutzung, mit mehreren an der Mantelfläche des Schutzglases (2) beabstandet zueinander angeordneten Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11, 3.12; 3.21, 3.22; 3.31, 3.32), dadurch gekennzeichnet, dass mit mindestens einer elektromagnetischen Strahlungsquelle (1.1 bis 1.7; 1.1, 1.2, 1.3) oder mindestens einem Strahlungsleiter, insbesondere Lichtleiter, an verschiedenen am Umfang der Mantelfläche des Schutzglases (2) angeordneten Stellen abwechselnd elektromagnetische Strahlung über die Mantelfläche des Schutzglases (2) eingekoppelt wird, wobei die eingekoppelte elektromagnetische Strahlung mittels der Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11, 3.12; 3.21, 3.22; 3.31, 3.32) gemessen und der Messwert des jeweiligen Photodetektors mit einem früheren Messwert verglichen wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass anhand des Vergleichs der Messwerte eine Bruchstelle und/oder Verschmutzungsstelle des Schutzglases (2) geortet wird.
15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass vor einem Messzyklus, in dem jeweils an mehreren verschiedenen am Umfang der Mantelfläche des Schutzglases (2) angeordneten Stellen abwechselnd elektromagnetische Strahlung über die Mantelfläche des Schutzglases (2) eingekoppelt wird, die Umgebungstemperatur und/oder eventuell vorhandenes Fremdlicht bei ausgeschalteten Strahlungsquellen (1.1 bis 1.7; 1.1, 1.2, 1.3) gemessen und zum Zwecke einer Korrektur der mit den Photodetektoren (3.1 bis 3.7; 3.11, 3.12; 3.21, 3.22; 3.31 , 3.32) erfassten Messwerte ausgewertet wird.
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