DE3641728A1

DE3641728A1 - Verfahren zur herstellung von endstuecken, insbesondere fuer vakuumvorrichtungen, und damit hergestellte endstuecke

Info

Publication number: DE3641728A1
Application number: DE19863641728
Authority: DE
Inventors: Bernard Poli; Gerard Chincholle
Original assignee: Recif SA
Current assignee: Recif SA
Priority date: 1985-12-10
Filing date: 1986-12-06
Publication date: 1987-06-11
Also published as: JPS62188630A; FR2591138A1; FR2591138B1; US4736508A

Description

Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für Endstücke für Vakuumvorrichtungen insbesondere, und die durch die Anwendung des Verfahrens hergestellten Endstücke.

Der Gegenstand der Erfindung gehört in den technischen Bereich der Mikroelektronik.

Es ist bekannt, für Vakuumvorrichtungen Endstücke zu verwenden, die so ausgebildet sind, daß sie bestimmte Komponenten, insbesondere Siliziumplättchen, durch Ansaugen greifen können. Diese Endstücke sind im allgemeinen aus Quarz oder rostfreiem Stahl hergestellt.

Die Endstücke aus Quarz bringen verhältnismäßig hohe Selbstkosten mit sich und sind empfindlich in der Anwendung. Bei Endstücken aus Stahl treten aufgrund der technologischen Bauweise Probleme der Verunreinigung der Plättchen und die Gefahr von Luftlecks auf, was das richtige Greifen der Plättchen beeinträchtigen kann.

Angesichts dieser Probleme bezweckt die vorliegende Erfindung, diesen Nachteilen Abhilfe zu schaffen mittels der Ausarbeitung eines Herstellungsverfahrens, das sich durch die folgenden Schritte auszeichnet :

- Ausgegangen wird von einer hohlen Röhre eines bestimmten Durchmessers, aus rostfreiem Stahl,

- die Röhre wird über eine bestimmte Länge eingezogen, der übrige Teil abgeflacht, so daß zwei sich gegenüberliegende, nicht aneinanderstoßende flache Flächen gebildet werden,

- in eine Fläche wird ein Ausschnitt, in die andere Fläche ein Loch eingebracht,

- zwischen die beiden Flächen wird ein Schieber eingefügt, der ausgehend von einem Rand einen axialen Einschnitt aufweist,

- die beiden flachen Flächen werden auf dem Schieber abgeflacht,

- durch das in einer der Flächen gebildete Loch wird ein Pulver eingebracht, das nach Erhitzen eine Mikrolötung gewährleistet,

- das Ganze wird in einen Ofen eingebracht, um das Zusammenfügen des Schiebers mit den abgeflachten Teilen und gleichzeitig das Füllen der zwischen dem Schieber und den abgeflachten Teilen verbliebenen Hohlräumen mit Löt zu gewährleisten,

- die Enden der abgeflachten Greifteile werden abgerundet,

- die abgeflachten Greifzonen werden geschliffen.

Die Erfindung wird nachstehend weiter im Einzelnen anhand von Abbildungen erläutert, die lediglich eine Ausführungsmethode darstellen :

- Die Fig. 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 und 9 stellen die Hauptschritte des Verfahrens dar,

-Fig. 2 ist ein Querschnitt nach der Linie 2.2 aus Fig. 1,

-Fig. 4 ist ein Querschnitt nach der Linie 4.4 aus Fig. 2,

-Fig. 6 ist ein Querschnitt größeren Maßstabs des Greifteils, vor dem Quetschen der gegenüberliegenden flachen Flächen,

-Fig. 7 ist ein Querschnitt größeren Maßstabs des Greifteils, nach dem Quetschen der gegenüberliegenden flachen Flächen,

-Fig. 10 ist eine Perspektivzeichnung eines Ausführungsbeispiels des nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gefertigten Endstücks.

Zur konkreteren Erläuterung des Gegenstands der Erfindung wird dieser nun auf nicht beschränkende Weise unter Bezugnahme auf die Ausführungsbeispiele der Abbildungen beschrieben.

Das Endstück wird ausgehend von einer hohlen Röhre (1) insbesondere aus rostfreiem Stahl und bestimmten Durchmessers gefertigt (Fig. 1 und 2). Erfindungsgemäß wird das Ende der Röhre (1) über eine bestimmte Länge (1 a) eingezogen. So hat beispielsweise die Röhre (1) einen Ausgangsdurchmesser von 9 mm; nach dem Einziehen beträgt der Durchmesser 6,2 mm (Fig. 4). Der übrige Teil wird abgeflacht, so daß zwei parallele flache Flächen (1 b) und (1 c) gebildet werden, die sich gegenüberliegen und dabei nicht aneinanderstoßen (Fig. 3 und 5).

In die Stärke einer Fläche (1 b) wird ein länglicher axialer Ausschnitt (1 b 1), in die andere Fläche ein Loch (1 c 1) gearbeitet (Fig. 3). Anschließend wird ein Schieber (2) der gleichen Art wie die Röhre (1) zwischen die beiden gegenüberliegenden Flächen (1 b) und (1 c) eingefügt.

Dieser Schieber weist ausgehend von einem seiner Querränder einen axialen Einschnitt (2 a) auf. Nach dem Einfügen des Schiebers (2) in den abgeflachten Teil wird der Einschnitt seitens der eingezogenen Röhre (1 a) positioniert und beläßt in Verbindung mit dem entsprechenden Rand des Ausschnitts (1 b 1) eine freie Zone (a), die als Vakuumvorrat dient und die Greifkraft des Endstücks bestimmt.

Anschließend werden die beiden flachen Flächen (1 b) und (1 c) auf dem Schieber (2) abgeflacht (Fig. 6) und durch das Loch (1 c 1) ein Pulver eingeführt, das nach Erhitzen eine Mikrolötstelle sicherstellt. Anschließend wird die Einheit in einen Ofen eingebracht, um das Zusammenlöten des Schiebers (2) mit dem abgeflachten Teil (1 b-1 c) und gleichzeitig das Füllen der verbliebenen Hohlräume insbesondere zwischen dem Schieber (2) und dem abgeflachten Teil zu gewährleisten (Fig. 7).

Die Enden des abgeflachten Teils werden abgerundet (Fig. 8) und dieser anschließend geschliffen. Die so gebildete Greifzone kann nunmehr gemäß einem im Hinblick auf die geplante Anwendung festgelegten Winkel ( ) gebogen werden.

Die Endstück-Einheit wird mit einem mechanisch hochfesten fluorierten Copolymer unter Einleitung von Stickstoff beschichtet, um jegliches Verstopfen und Verunreinigungen zu vermeiden. Diese Beschichtung kann beispielsweise die unter dem Namen HALAR bekannte Beschichtung sein.

Die Endstück-Einheit kann aber auch gemäß einer vorzugsweisen Ausführungform eine im Handel unter der Markenbezeichnung PEEK bekannte Polyätherätherketon-Beschichtung erhalten.

Die Vorteile gehen klar aus der Beschreibung hervor. Zu unterstreichen ist insbesondere, daß die abgerundeten Ecken und die äußere Beschichtung die Gefahren von Verunreinigung und Verkratzen der Plättchen in hohem Maße vermindern. Ebenso bewirkt die Mikro-Lötung die Vermeidung jeglicher Leckgefahr.

Schließlich kann nach dem erfindungsgemäßen Verfahren, insbesondere angesichts des Vorgangs des Einziehens der Röhre, die Breite des Greifteils des Endstücks verringert werden, was für das Greifen bestimmter Plattchen in größtmöglicher Nähe ihres Randes ohne Gefahr der Beschädigung der Chips besonders interessant ist.

Die Erfindung beschränkt sich keinesfalls auf die besonders aufgeführte Verwendungsart noch auf die besonders aufgeführten Ausführungsarten ihrer verschiedenen Teile; sie umfaßt im Gegenteil sämtliche Abarten. Beispielsweise kann das Endstück in der beschriebenen Ausführung, das heißt mit insbesondere einem eingezogenen zylindrischen Teil (1 a) zum Einfügen im Körper einer Vakuumvorrichtung und einem Greifteil (1 b-1 c) veränderlichen Durchmessers und verringerter Breite, aus jedem beliebigen Werkstoff, insbesondere aus Quarz, gefertigt werden.

Vorgesehen ist ebenfalls die Fertigung dieser besonderen Endstückform im Formverfahren, durch Einspritzen eines unter der Markenbezeichung PEEK bekannten Polyätherätherketon-Stoffs.

Claims

-1- Verfahren für die Herstellung anpaßbarer Endstücke, insbesondere für Vakuumvorrichtungen, dadurch gekennzeichnet, daß:
- von einer hohlen Röhre (1) bestimmten Durchmessers aus rostfreiem Stahl ausgegangen wird,
- die Röhre (1) über eine bestimmte Länge (1 a) eingezogen und der übrige Teil abgeflacht wird, so daß zwei gegenüberliegende flache, nicht aneinandergrenzende Flächen (1 b) und (1 c) gebildet werden,
- in eine der abgeflachten Flächen (1 b) ein Ausschnitt (1 b 1) und in die andere Fläche ein Loch (1 c 1) angebracht wird,
- zwischen die beiden Flächen (1 b) und (1 c) ein Schieber (2) eingefügt wird, der ausgehend von einem Rand einen axialen Einschnitt (2 a) aufweist,
- die beiden flachen Flächen (1 b) und (1 c) auf dem Schieber (2) abgeflacht werden,
- durch das Loch (1 c 1) in einer der Flächen ein Pulver eingebracht wird, das so beschaffen ist, daß es nach Erhitzen eine Mikrolötung gewährleistet,
- die Einheit in einen Ofen eingebracht wird, um die Lötverbindung des Schiebers (2) mit den abgeflachten Teilen und gleichzeitig das Füllen von zwischen den Schiebern und den abgeflachten Teilen verbliebenen Hohlräumen zu gewährleisten,
- die Enden der abgeflachten Greifteile abgerundet werden,
- die abgeflachten Greifzonen geschliffen werden.
-2- Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Greifzone mit einem Winkel ( ) gebogen wird.
-3- Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß das gesamte Endstück eine Oberflächenbehandlung erfährt, um eine Beschichtung aus mechanisch hochfestem fluorierten Copolymer unter Einleiten von Stickstoff zu erhalten.
-4- Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß das gesamte Endstück eine Oberflächenbehandlung erfährt, um eine Beschichtung aus Polyätherätherketon, im Handel unter der Markenbezeichnung PEEK bekannt, zu erhalten.
-5- Endstück, direkt durch die Anwendung des Verfahrens nach einem beliebigen der Ansprüche 1, 2, 3 und 4 erhalten, dadurch gekennzeichnet, daß es einen eingezogenen zylindrischen Teil (1 a) zum Einstecken und einen Greifteil (1 b) (1 c) variablen Durchmessers und geringer Breite aufweist.
-6- Endstück nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, daß es aus Quarz gefertigt ist.
-7- Herstellungsverfahren für Endstücke zur Anpassung an Vakuumvorrichtungen, mit einem eingezogenen zylindrischen Teil (1 a) zum Einstecken und einem Greifteil (1 b)-(1 c) variabler Neigung und geringen Durchmessers, dadurch gekennzeichnet, daß das Endstück im Formverfahren durch Einspritzen eines Materials aus Polyätherätherketon, im Handel unter der Markenbezeichnung PEEK bekannt, gefertigt wird.